JP3746670B2 - 音叉振動式荷重センサ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、荷重受部に受けた荷重を音叉振動子を介して検出する音叉振動式荷重センサに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来のこの種の音叉振動式荷重センサには、例えば本出願人による特公平3−49059号公報に開示されているような同一金属部材から成る荷重変換機構が使用されている。図3に示すように、この荷重変換機構の基部1の一部にはてこ部2の支点2aが支持されており、てこ部2の力点2bと基部1の固定部との間には音叉振動子3が配置され、てこ部2の荷重点2cには荷重Fを受ける荷重受部4が引張片5を介して接続されている。引張片5の形状は、てこ部2の荷重点2cと荷重受部4の荷重作用点4aを結ぶ鉛直線に対して左右対称とされているように、その鉛直線に沿って一様とされている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら上述の荷重変換機構は、荷重Fとは別の妨害的な外力の影響を除去して良好な測定精度を得ることができるという利点を有している反面で、引張片5の形状がてこ部2の荷重点2cと荷重受部4の荷重作用点4aを結ぶ鉛直線に対して左右対称、かつこの鉛直線に沿って一様となっているので、荷重受部4が荷重Fを受けた際に、図4に示すようにてこ部2が傾斜すると、引張片5のてこ比を決めるてこ部2との接続部分5aが変形し、荷重作用点4aが荷重点2cを通る鉛直線からずれた位置に至るために引張片5に応力が発生する。この応力は、荷重変換機構による測定値の直線性や再現性に悪影響を及ぼす上に、耐久性にも問題を及ぼすことがある。
【0004】
本発明の目的は、上述の問題点を解消し、直線性や再現性に優れた測定値を得ることができると共に耐久性を向上させ得る音叉振動式荷重センサを提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するための本発明に係る音叉振動式荷重センサは、基部の一部に接続したてこ部と、該てこ部の力点と前記基部の固定部との間に接続した音叉振動子と、前記てこ部の荷重点に薄板状の引張片を介して接続した荷重受部とを板状の同一金属部材から形成して成る音叉振動式荷重センサにおいて、前記てこ部の荷重点に前記てこ部と平行に前記引張片の一部である第2の部分を連結し、前記てこ部の荷重点と前記荷重受部の荷重作用点とを結ぶ鉛直線に対して前記引張片に左右非対称部分を形成し、前記荷重受部に荷重が加わると、前記てこ部と第2の部分の相対的位置関係を維持すると共に、前記引張片の左右非対称部分はその一部を変形して、前記荷重受部の荷重作用点が前記てこ部の荷重点を通る鉛直線上の位置に復元するようにしたことを特徴とする。
【0006】
【発明の実施の形態】
本発明を図1、図2に図示の実施の形態に基づいて詳細に説明する。
図1は実施の形態の正面図であり、この実施の形態に係る音叉振動式荷重センサは、圧電素子11a、11b、増幅器12、周波数カウンタ13及びこれらを接続するリード線を除いて同一金属部材から一体に加工されている。基部14には例えば2つの取付孔14a、14bが形成されており、基部14の上部にはてこ部15が支点15aの薄肉部16を介して支持されている。てこ部15の力点15bには音叉振動子17が接続され、てこ部15の荷重点15cには薄板状の引張片18を介して荷重受部19が接続されている。この荷重受部19には測定すべき荷重Fを受けるための図示しない部材が掛けられる孔19aが設けられ、この孔19aの下部は荷重Fが作用する荷重作用点19bとされている。
【0007】
音叉振動子17は軸線に対称かつ平行な2枚の長片状の振動片21a、21bと、これらの振動片21a、21bの上下の両端部同士をそれぞれ結合する略コ字状の結合部22a、22bと、これらの結合部22a、22bを軸線上でそれぞれ支持する薄板状の支持片23a、23bとから構成されている。上方の支持片23aはてこ部15の力点15bに接続され、下方の支持片23bは基部14の突部14cに接続されている。
【0008】
なお、上述の圧電素子11a、11bは持続振動発生用とされ、音叉振動子17の例えば下方の結合部22bの両側面にそれぞれ取り付けられている。圧電素子11a、11bには上述の増幅器12の入力部と出力部がそれぞれ接続され、一方の圧電素子11aは振動用とされ、他方の圧電素子11bはピックアップ用とされている。そして、増幅器12には上述の周波数カウンタ13が接続され、増幅器12の利得や周波数特性を適切に選択すると振動片21a、21bが音叉振動子17に加わった荷重に対応した固有周波数で対称的に振動するので、周波数カウンタ13によって荷重値の表示が可能とされている。
【0009】
ここで、引張片18の形状は、てこ部15の荷重点15cと荷重受部19の荷重作用点19bとを結ぶ鉛直線Aに対して左右非対称とされていると共に、鉛直線Aに沿って変形されている。即ち、引張片18にはてこ部15の荷重点15cから下方に直線状に延在する第1の部分31と、この第1の部分31の下端から直交する両方向に延在する第2の部分32と、この第2の部分32の例えば外側の一端から厚肉で弯曲しながら下方に延在する第3の部分33と、この第3の部分33の下端から鉛直線Aの方向に斜めに延在する第4の部分34と、この第4の部分34の下端から下方に直線状に延在する第5の部分35とが設けられ、この第5の部分35の下端に上述の荷重受部19が接続されている。第1の部分31と第5の部分35は鉛直線A上に配置され、第2の部分32の上面とてこ部15の下面との間には間隔dが与えられている。
【0010】
荷重受部19が測定すべき荷重Fを受けると、その荷重Fが引張片18及びてこ部15を介して音叉振動子17に作用し、音叉振動子17に引張荷重Fが加わる。これにより、音叉振動子17の振動片21a、21bが引張荷重Fに対応する固有振動数で対称的に振動し、それらの振動が増幅器12に入力し、周波数カウンタ13が荷重値を表示する。
【0011】
このとき図2に示すように、てこ部15は荷重Fにより右下がりに傾斜する。また、この荷重Fにより引張片18の第2の部分32に右回りの回転モーメントが加わり、第2の部分32は右下がりに傾く。この第2の部分32の傾斜角は引張片18の形状によって調整することが可能であり、てこ部15の右下がりの傾斜角と概ね一致させることができる。この条件下では、てこ部15の下面と引張片18の第2の部分32の上面は平行になり、この間隔d、てこ部15、引張片18の第1の部分31及び第2の部分32の相対位置を変化させることがない。
【0013】
【発明の効果】
以上説明したように本発明に係る音叉振動式荷重センサは、引張片の形状をてこ部の荷重点と荷重受部の荷重作用点とを結ぶ直線に対して左右非対称としたので、てこ部が傾斜してもてこ部と引張片のてこ部側との相対位置を変形させることがなく、そこに不要な応力を発生させることがない。従って、直線性や再現性に優れた測定値を得ることができる上に、耐久性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施の形態の正面図である。
【図2】てこ部と引張片の作用説明図である。
【図3】従来例の部分正面図である。
【図4】従来例のてこ部と引張片の作用説明図である。
【符号の説明】
14 基部
15 てこ部
15a 支点
15b 力点
15c 荷重点
17 音叉振動子
18 引張片
19 荷重受部
19a 孔
19b 荷重作用点
31 第1の部分
32 第2の部分
33 第3の部分
34 第4の部分
35 第5の部分
Claims (2)
- 基部の一部に接続したてこ部と、該てこ部の力点と前記基部の固定部との間に接続した音叉振動子と、前記てこ部の荷重点に薄板状の引張片を介して接続した荷重受部とを板状の同一金属部材から形成して成る音叉振動式荷重センサにおいて、前記てこ部の荷重点に前記てこ部と平行に前記引張片の一部である第2の部分を連結し、前記てこ部の荷重点と前記荷重受部の荷重作用点とを結ぶ鉛直線に対して前記引張片に左右非対称部分を形成し、前記荷重受部に荷重が加わると、前記てこ部と第2の部分の相対的位置関係を維持すると共に、前記引張片の左右非対称部分はその一部を変形して、前記荷重受部の荷重作用点が前記てこ部の荷重点を通る鉛直線上の位置に復元するようにしたことを特徴とする音叉振動式荷重センサ。
- 前記引張片の一部に前記第2の部分の外側の一端から厚肉で弯曲しながら下方に延在する第3の部分を設け、該第3の部分は前記第2の部分に加わる回転モーメントにより変形を行うことを特徴とする請求項1に記載の音叉振動式荷重センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000324418A JP3746670B2 (ja) | 2000-10-24 | 2000-10-24 | 音叉振動式荷重センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000324418A JP3746670B2 (ja) | 2000-10-24 | 2000-10-24 | 音叉振動式荷重センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002131148A JP2002131148A (ja) | 2002-05-09 |
JP3746670B2 true JP3746670B2 (ja) | 2006-02-15 |
Family
ID=18801954
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000324418A Expired - Lifetime JP3746670B2 (ja) | 2000-10-24 | 2000-10-24 | 音叉振動式荷重センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3746670B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006138714A (ja) * | 2004-11-11 | 2006-06-01 | Shinko Denshi Kk | 校正装置を内蔵したはかり |
JP2009121950A (ja) * | 2007-11-15 | 2009-06-04 | Shinko Denshi Kk | 音叉振動式荷重センサ |
JP5575128B2 (ja) | 2009-06-30 | 2014-08-20 | 新光電子株式会社 | 台秤及び荷重検出ユニット |
WO2011001877A1 (ja) | 2009-06-30 | 2011-01-06 | 新光電子株式会社 | 分力緩衝装置とそれを用いた台秤 |
CN109883580B (zh) * | 2019-03-19 | 2020-11-17 | 西安交通大学 | 一种全石英差动式谐振压力传感器芯片 |
-
2000
- 2000-10-24 JP JP2000324418A patent/JP3746670B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2002131148A (ja) | 2002-05-09 |
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Date | Code | Title | Description |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20041124 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20041130 |
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A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050121 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050307 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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