JP3738510B2 - 光ファイバ及びその製造方法 - Google Patents
光ファイバ及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3738510B2 JP3738510B2 JP00567197A JP567197A JP3738510B2 JP 3738510 B2 JP3738510 B2 JP 3738510B2 JP 00567197 A JP00567197 A JP 00567197A JP 567197 A JP567197 A JP 567197A JP 3738510 B2 JP3738510 B2 JP 3738510B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- core
- base material
- optical fiber
- refractive index
- cladding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/01205—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments starting from tubes, rods, fibres or filaments
- C03B37/01225—Means for changing or stabilising the shape, e.g. diameter, of tubes or rods in general, e.g. collapsing
- C03B37/0124—Means for reducing the diameter of rods or tubes by drawing, e.g. for preform draw-down
- C03B37/01242—Controlling or regulating the down-draw process
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01413—Reactant delivery systems
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01446—Thermal after-treatment of preforms, e.g. dehydrating, consolidating, sintering
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01446—Thermal after-treatment of preforms, e.g. dehydrating, consolidating, sintering
- C03B37/01453—Thermal after-treatment of preforms, e.g. dehydrating, consolidating, sintering for doping the preform with flourine
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2201/00—Type of glass produced
- C03B2201/06—Doped silica-based glasses
- C03B2201/08—Doped silica-based glasses doped with boron or fluorine or other refractive index decreasing dopant
- C03B2201/12—Doped silica-based glasses doped with boron or fluorine or other refractive index decreasing dopant doped with fluorine
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2201/00—Type of glass produced
- C03B2201/06—Doped silica-based glasses
- C03B2201/20—Doped silica-based glasses doped with non-metals other than boron or fluorine
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2201/00—Type of glass produced
- C03B2201/06—Doped silica-based glasses
- C03B2201/30—Doped silica-based glasses doped with metals, e.g. Ga, Sn, Sb, Pb or Bi
- C03B2201/31—Doped silica-based glasses doped with metals, e.g. Ga, Sn, Sb, Pb or Bi doped with germanium
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2203/00—Fibre product details, e.g. structure, shape
- C03B2203/10—Internal structure or shape details
- C03B2203/22—Radial profile of refractive index, composition or softening point
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2203/00—Fibre product details, e.g. structure, shape
- C03B2203/10—Internal structure or shape details
- C03B2203/22—Radial profile of refractive index, composition or softening point
- C03B2203/23—Double or multiple optical cladding profiles
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2203/00—Fibre product details, e.g. structure, shape
- C03B2203/10—Internal structure or shape details
- C03B2203/22—Radial profile of refractive index, composition or softening point
- C03B2203/24—Single mode [SM or monomode]
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P40/00—Technologies relating to the processing of minerals
- Y02P40/50—Glass production, e.g. reusing waste heat during processing or shaping
- Y02P40/57—Improving the yield, e-g- reduction of reject rates
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- Optical Fibers, Optical Fiber Cores, And Optical Fiber Bundles (AREA)
- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、長距離大容量光通信システムに適用可能な光ファイバであって、特に、波長分割多重(WDM)通信方式に好適でかつその零分散波長が所望範囲範囲内に設定された分散シフトファイバに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来から、伝送路としてシングルモード光ファイバ(以下、SM光ファイバという)が適用された光通信システムでは、通信用信号光として1.3μm波長帯あるいは1.55μm波長帯の光が利用されることが多かった。ただし、最近では、伝送路中における伝送損失低減の観点から1.55μm波長帯の光の使用が増しつつある。特に、1.55μm波長帯の光の伝送路に適用されるSM光ファイバ(以下、1.55μm用SM光ファイバという)は、石英系SM光ファイバの伝送損失が1.55μm波長帯の光に対して最小になることから、その波長分散(波長によって光の伝搬速度が異なるためパルス波が広がる現象)も1.55μm波長帯の光に対してゼロになるよう設計されている。このように、ゼロ分散波長が1.55μm波長帯付近にシフトした1.55μm用SM光ファイバは、一般に分散シフトファイバと呼ばれる。
【0003】
従来の分散シフトファイバとしては、例えば特許番号第2533083号公報(第1従来例)に、その零分散波長が1.55μm付近にシフトされた分散シフトファイバの断面構造、組成及びその製造方法が開示されている。この第1従来例の分散シフトファイバは、GeO2−SiO2(ゲルマニウムを含むSiO2)からなる内側コアと、SiO2からなる外側コアと、F−SiO2(フッ素を含むSiO2)からなるクラッドとを備えている。ただし、この第1従来例の分散シフトファイバの屈折率プロファイルは、クラッドに相当する部分に凹みを持たない、いわゆるMatched 型プロファイルであり、このMatched 型プロファイルを有する光ファイバをこの明細書ではMatched 型ファイバという。一方、クラッドに相当する部分に凹みが設けられた屈折率プロファイルは、Depressed cladding 型プロファイルと言われ、特にこの明細書では、このDepressed cladding 型プロファイルを有する光ファイバをDepressed 型ファイバという。なお、この第1従来例の分散シフトファイバの構造では、1.55μm付近の零分散波長の設定のみが実現可能である。
【0004】
また、特開昭63−208005号公報(第2従来例)には、コアの外周に該コアよりも低い屈折率を有する第1クラッドと、該第1クラッドの外周に該第1クラッドよりも高い屈折率を有する第2クラッドを備えた、Depressed cladding型プロファイルを有する分散シフトファイバが開示されている。この第2従来例の分散シフトファイバの目的は、1.3μm〜1.5μm波長帯の広範囲に渡って波長分散を抑えることにある。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
近年、高速かつ大容量の伝送システムの構築が盛んに研究されているが、そのうち、特に、波長分割多重(WDM)方式の伝送システムが注目を集めている。この方式は、互いに波長の異なる複数の信号光を同時に1つの伝送路で伝送する方式であり、伝送可能な情報量を飛躍的に増加させる技術である。
【0006】
このような伝送システムを実現するため、伝送路として適用される光ファイバには様々な新しい仕様が要求されており、上述したような従来の分散シフトファイバでは既に対応できない状況となってきている。
【0007】
特に、従来の分散シフトファイバのモードフィールド径(MFD)は8μm程度であり、信号光のパワーが大きくなると非線形光学効果による影響が発生しやすくなる。また、伝送システムに適用される各分散シフトファイバ間では波長分散のバラツキが大きいため、信号光波長とそれらの零分散波長とが一致してしまうと、非線形光学効果の一つである四光波混合によるノイズが発生しやすくなるなどの課題があった。
【0008】
なお、非線形光学効果とは、光強度の密度等の増大とともに信号光パルスが歪む現象であり、伝送速度の大きな制約要因となる。
【0009】
この発明は上記のような課題を解決するためになされたもので、MFDを大きくし、非線形光学効果による影響を効果的に抑える構造を備えた光ファイバ及びその製造方法を提供することを目的としている。
【0010】
【課題を解決するための手段】
この発明に係る光ファイバは、MFDが8.6μm以上、好ましくは9μm以上であり、かつその零分散波長を代表的な信号光波長である1.55μmよりも長波長側あるいは短波長側にシフトさせた分散シフトファイバであって、石英ガラスを主成分とするシングルモード光ファイバである。当該分散シフトファイバでは、その零分散波長を信号光波長から所定量ずらすことにより、故意に波長分散を発生させ、非線形光学効果の影響を抑えているので、各分散シフトファイバ間での零分散波長のバラツキを許容した伝送システムの構築を可能にしている。
【0011】
また、この発明に係る光ファイバは、図1に示されたように、第1の屈折率n1を有する第1コア10(内側コア)と、該内側コア10の外周に設けられかつ第1の屈折率n1よりも低い第2の屈折率n2を有する第2コア20(外側コア)と、該外側コア20の外周に設けられかつ第2の屈折率n2よりも低い第3の屈折率n3を有する第1クラッド30(内側クラッド)と、そして、該内側クラッド30の外周に設けられ、第3の屈折率n3よりも高くかつ第2の屈折率n2よりも低い第4の屈折率n4を有する第2クラッド40(外側クラッド)とを備えている。
【0012】
特に、この発明に係る光ファイバは、上述した構成からも分るように、Depressed cladding 型の屈折率プロファイルを有し、上記外側コア20は、25μm以上かつ40μm以下の外径を有している。
【0013】
また、このDepressed cladding 型の屈折率プロファイルは、基本組成として、内側コア10を少なくともゲルマニウム(屈折率を上げるための添加物)を含む石英ガラス(GeO2−SiO2)、外側コア20を実質的にゲルマニウムを含まない石英ガラス(SiO2)あるいはゲルマニウムを含む石英ガラス(GeO2−SiO2)、内側クラッド30を少なくともフッ素(屈折率を低下させるための添加物)を含む石英ガラス(F−SiO2)、そして、外側クラッド40を少なくともフッ素を含む石英ガラス(F−SiO2)とすることにより実現可能である。なお、当該光ファイバのように外側コア20の断面積(信号光の進行方向に対して垂直な面)を大きくした場合(外径は25μm以上かつ40μm以下)、該外側コア20にGeO2を添加すると、該外側コア20の屈折率プロファイルの径方向の平坦化が難しくなる。このため、該外側コア20はゲルマニウムを含まない方がより好ましい。
【0014】
次に、この発明に係る光ファイバの製造方法は、上述の構造を備えた光ファイバを得るべく、気相合成法により、長手方向に沿ってその中央部分が上記内側コア10となり、該中央部分を取り囲む周辺部分が上記外側コア20となるべき多孔質母材(スート・プリフォーム)を形成する第1工程と、この多孔質母材を焼結しコアガラス母材を得る第2工程と、該第2工程で得られたコアガラス母材を所望の外径に延伸した後、気相合成法により、該延伸されたコアガラス母材の外周に上記内側クラッド30となるべき第1多孔質ガラス体(スス体)を堆積させ、第1複合母材を得る第3工程と、該第3工程で得られた第1複合母材を、フッ素原料を含む雰囲気中で焼結し中間母材を得る第4工程と、該第4工程で得られた中間母材を所望の外径に延伸した後、気相合成法により、該延伸された中間母材の外周に上記外側クラッド40となるべき第2多孔質ガラス体(スス体)を堆積させ、第2複合母材を得る第5工程と、該第5工程で得られた第2複合母材を焼結し光ファイバ母材を得る第6工程と、そして、該第6工程で得られた光ファイバ母材の一端を加熱しながら線引する第7工程とを備えている。なお、第6工程における第2複合母材の焼結は、フッ素原料を含む雰囲気中で行われている。
【0015】
特に、この発明に係る光ファイバの製造方法では、製造される当該光ファイバの外側コア20の外径が25μm〜40μmと大きいため、内側クラッド30となるべき第1多孔質ガラス体のガラス合成(第3工程)と、外側クラッド40となるべき第2多孔質ガラス体のガラス合成(第5工程)とを、いずれもVAD(Vapor phase axial deposition)法、OVD(Outside vapor phase deposition)法等の気相合成法により行うことを特徴としている。なお、このように内側及び外側クラッド30、40に相当する部分を気相合成法により製造できない場合には、ロッドインコラップスによる製造方法となるため、得られる母材サイズが小さく制限され生産性を上げることが難しくなる。
【0016】
この発明に係る光ファイバの製造方法では、製造される光ファイバの外側コア20の外径をより大きく25μm〜40μmの範囲に設定することにより、特に上述の第3工程を気相合成法で行うことを可能にしており(第5工程も同様に気相合成法で行うことが可能)、また、上述した各工程は、該光ファイバの外側コア20の外径が所望の範囲になるよう、それぞれ調節される。
【0017】
また、この発明に係る光ファイバの製造方法は、第1工程で得られた多孔質母材を、第2工程に先立ってハロゲンガスを含む雰囲気中で加熱することにより、該多孔質母材の脱水処理を行っている。従って、製造される光ファイバの内側コア10及び外側コア20には、それぞれ所定濃度の塩素が含まれている。そして、第3工程で得られた第1複合母材に対しても、第4工程に先立ってハロゲンガスを含む雰囲気中で加熱することにより、第1多孔質ガラス体の脱水処理を行っている。従って、製造される光ファイバの内側クラッド30にも所定濃度の塩素が含まれている。この内側クラッド30に相当する母材領域に対して脱水処理を行うのは、外側コア20の外周に気相合成法(火炎加水分解反応を利用してガラス微粒子を堆積させる方法)により多孔質ガラス体(スス体)を形成しても、製造される当該光ファイバにおけるOH吸収の影響を緩和させることができるからである。
【0018】
特に、内側クラッド30における塩素含有量は、内側及び外側コア10、20における塩素含有量よりも少ないことが好ましい。塩素は屈折率を上げる添加物と知られており、コア領域(内側及び外側コア10、20を含む)に塩素を添加することにより、当該光ファイバの屈折率プロファイルの形状を変えることなくクラッド領域(内側及び外側クラッド30、40を含む)に添加されるフッ素(屈折率低下剤)の添加量を低減させることが可能となるからである。
【0019】
このように、クラッド領域へのフッ素添加量を低減できることから、上記第6工程におけるフッ素原料を含む雰囲気中での第2複合母材の焼結処理(フッ素添加処理を含む)に代え、第5工程において、第4工程で得られた中間母材の外周に、フッ素系ガスを供給することにより第2多孔質ガラス体を堆積させ、第2複合母材を得ることも可能となる。なお、この場合、第6工程では第5工程で得られた第2複合母材の焼結のみが行われるので、焼結時間の短縮が可能となり生産性の大幅な向上が期待できる。
【0020】
また、上述の脱水処理、すなわちハロゲンガスを含む雰囲気中で行われる加熱処理は、第6工程に先立って第5工程で得られた第2複合母材に対して行ってもよい。この場合、必然的に製造される光ファイバの外側クラッド40は塩素を含んでいる。
【0021】
なお、上述の脱水処理に使用されるハロゲンガスとしては、SiCl4が好ましい。
【0022】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の一実施例を図1〜図8を用いて説明する。なお、図中同一部分には同一符号を付して説明を省略する。
【0023】
図1は、この発明に係る光ファイバ(Depressed cladding 型プロファイルを有する分散シフトファイバ)の断面構造及びその屈折率プロファイルを示す図である。特に、この発明に係る光ファイバ1は、モードフィールド径(MFD)が8.6μm以上(好ましくは9μm以上)かつその零分散波長が1.55μmよりも長波長側あるいは短波長側にシフトされた分散シフトファイバであって、石英ガラスを主成分とするシングルモード光ファイバである。
【0024】
この図において、当該光ファイバ1は、コア領域として、第1の屈折率n1を有する、外径aの内側コア10と、該内側コア10の外周に設けられかつ第1の屈折率n1よりも低い第2の屈折率n2を有する外側コア20を備えている。また、外側コア20はその外径を25μm〜40μmの範囲に設定することにより広い断面積を有している。
【0025】
さらに、上記コア領域(内側及び外側コア10、20を含む)の外周には、クラッド領域として、外側コア20の外周に設けられかつ第2の屈折率n2よりも低い第3の屈折率n3を有する、外径cの内側クラッド30と、該内側クラッド30の外周に設けられたガラス領域であって、第3の屈折率n3よりも高くかつ第2の屈折率n2よりも低い第4の屈折率n4を有する、外径dの外側クラッド40を備えることにより、クラッド領域に相当する部分に凹みAが設けられたDepressed cladding 型プロファイルを実現している(図1参照)。
【0026】
なお、図1に示された屈折率プロファイル150の横軸は、当該光ファイバ1(Depressed 型ファイバ)の断面(伝搬する信号光の進行方向に対して垂直な面)における線L上の各位置に相当している。さらに、この屈折率プロファイル150において、領域101は上記内側コア10の線L上の各部位の屈折率(n1)、領域102は上記外側コア20の線L上の各部位の屈折率(n2)、領域103は上記内側クラッド30の線L上の各部位の屈折率(n3)、領域104は上記外側クラッド40の線L上の各部位の屈折率(n4)に対応している。
【0027】
この発明に係る光ファイバ1の基本組成は、内側コア10がGeO2−SiO2、外側コア20がSiO2あるいはGeO2−SiO2、内側クラッド30がF−SiO2、そして、外側クラッド40がF−SiO2である。
【0028】
ただし、この発明に係る光ファイバ1は、後述するように少なくとも内側コア10及び外側コア20には塩素が含まれるため、実際の組成及び純石英ガラスに対する比屈折率差Δは以下のようになる。
【0029】
なお、αは屈折率変化に対する塩素(Cl)の寄与分であり、α=0.1〜0.2%である(Clは屈折率を上げる添加物として知られており、該Clによる屈折率変化は、該Clの濃度1000ppm当たり0.01%である)。また、この明細書において各ガラス領域の比屈折率差Δは純石英ガラスを基準にして以下のように定義されている。
【0030】
Δ=(nt 2−n0 2)/2n0 2≒(nt−n0)/n0
ここで、n0は基準となる純石英ガラスの屈折率、ntは各ガラス領域の屈折率を示す。
【0031】
次に、この発明に係る光ファイバ1の製造方法について、図2〜図8を用いて説明する。
【0032】
当該製造方法では、第1工程で内側コア10と外側コア20を含むコア領域となるべき多孔質母材50をVAD(Vapor phase axial deposition)法、OVD(Outside vapor phase deposition)法等の気相合成法により形成し、第2工程で該多孔質母材50を焼結してコアガラス母材51を得る。
【0033】
図2は上記VAD法による第1工程から第2工程までの各処理を説明するための図であり、図3は上記OVD法による第1工程から第2工程までの各処理を説明するための図である。
【0034】
まず、VAD法による第1工程〜第2工程までを図2を用いて説明する。
【0035】
第1工程では、図2(a)に示されたスス付け装置により多孔質母材50が製造される。このスス付け装置は、少なくとも排気口504を備えた容器500と、多孔質母材50を支持するための支持機構503を備えている。また、支持機構503には回転可能な支持棒502が設けられており、この支持棒502の先端には多孔質母材50を成長させるための出発棒501が取り付けられている。
【0036】
図2(a)のスス付け装置には、さらに内側コア10となるべき多孔質ガラス体(スス体)を堆積させるためのバーナー552と、外側コア20となるべき多孔質ガラス体(スス体)を堆積させるためのバーナー551が設けられており、ガス供給システム600からは各バーナー551、552に対して所望の原料ガス(例えばGeCl4、SiCl4等)、燃焼ガス(H2及びO2)、及びArやHe等のキャリアガスが供給される。
【0037】
多孔質母材50の製造中、バーナー552及びバーナー551の火炎中では、ガス供給システム600から供給された原料ガスの加水分解反応によりガラス微粒子が生成され、これらガラス微粒子が出発棒501の先端部分に堆積していく。この間、支持機構503は、その先端に設けられた支持棒502を矢印S1で示された方向に回転させながら矢印S2で示された方向(多孔質母材50の長手方向)に沿って引き上げる動作を行っている。この動作により、多孔質ガラス体が出発棒501から下方に向かって成長していき、長手方向に沿ってその中央部分が内側コア10となり、該中央部分を取り囲む周辺部分が外側コア20となるべき多孔質母材50(スート・プリフォーム)が得られる。
【0038】
続いて、上述の第1工程で得られた多孔質母材50は、図2(b)に示された加熱容器700内に設置され、ハロゲンガスを含む雰囲気中で脱水処理が施される。なお、この加熱容器700には該ハロゲンガスを供給するための導入口702と排気口701が設けられている。また、この脱水処理中、支持機構503は多孔質母材50を矢印S3で示された方向に回転させながら、矢印S4で示された方向に沿って移動させるよう動作する(この動作により、多孔質母材50全体が加熱される)。
【0039】
脱水処理中の容器内温度は1000℃〜1300℃程度であり、好ましくは1050℃〜1150℃である。また、この実施例では濃度20000ppm(2%)の塩素ガス(Cl2)を導入口702から供給しながら脱水処理を行ったが、塩素ガスの濃度は10000ppm〜50000ppm(1%〜5%)程度であれば十分にその効果が得られる。
【0040】
脱水処理用ガスとしては、塩素ガスの他SiCl4等のハロゲンガスでも同様の効果が得られる。特に、SiCl4は塩素の添加量を増加し、外側コア20と内側クラッド30との屈折率差を増加させる手段となり得る。
【0041】
なお、第1工程において、バーナー552及び551に供給される原料ガスは、得られる光ファイバの内側コア10の外径aに対する外側コア20の外径bの比(b/a)が、7.5〜15となるよう調節されている。
【0042】
以上の処理を経て得られた多孔質母材50は、引続き上述された加熱容器700内で焼結される(VAD法における第2工程)。すなわち、図2(c)には図2(b)に示された加熱容器の主要部分のみが示されている。図示のように支持機構503が多孔質母材50を矢印S5で示された方向に回転させながら矢印S6で示された方向に沿って移動させるよう動作する。この動作により、該多孔質母材50はその先端からヒーター750内に送り込まれ(焼結時の容器内温度は1500℃〜1650℃)、透明なコアガラス母材51が得られる。
【0043】
なお、上述した多孔質母材50の製造、脱水処理、及び焼結処理は同一の容器内で行うことも可能である。
【0044】
次に、OVD法による第1工程〜第2工程までを図3を用いて説明する。
【0045】
第1工程では、図3(a)に示されたスス付け装置により多孔質母材50が製造される。このスス付け装置の容器800内には、その一端が支持棒502を介して支持機構503に保持されるとともに、他端が補助機構505によって保持された中心棒801が備えられている。また、このスス付け装置の容器800には排気口802と、該多孔質母材50を中心棒801に沿って成長させるためのバーナー850を備えている。
【0046】
多孔質母材50の製造中、バーナー850の火炎中では、ガス供給システム600から供給された原料ガスの加水分解反応によりガラス微粒子が生成され、これらガラス微粒子が中心棒801の側面に堆積していく。この間、支持機構503と補助機構505は、中心棒801を矢印S7で示された方向に回転させながら矢印S8、S9で示された方向に沿って移動させるよう動作する(なお、支持機構503と補助機構505は同一速度で移動する)。この動作により、多孔質ガラス体が中心棒801に沿って成長していく。なお、この工程は内側コア10となるべき多孔質ガラス体の形成と、外側コア20となるべき多孔質ガラス体の形成のため、2回繰り返され、これにより、長手方向に沿ってその中央部分が内側コア10となり、該中央部分を取り囲む周辺部分が外側コア20となるべき多孔質母材50(スート・プリフォーム)が得られる。
【0047】
続いて、上述の第1工程で得られた多孔質母材50は、中心棒801が引き抜かれ、代りに補助棒703が取り付けられた状態で、図3(b)に示された加熱容器700内に設置され、ハロゲンガスを含む雰囲気中で脱水処理が施される。なお、この加熱容器700には該ハロゲンガスを供給するための導入口702と排気口701が設けられている。また、この脱水処理中、支持機構503は多孔質母材50を矢印S10で示された方向に回転させながら矢印S11で示された方向に沿って移動させるよう動作する。この動作により、多孔質母材50母材全体が加熱される。なお、脱水処理中の容器内温度、供給される塩素ガス濃度等の条件は上述したVAD法(図2)の場合と同様でよい。
【0048】
以上の処理を経て得られた多孔質母材50は、引続き上述された加熱容器700内で焼結される(OVD法による第2工程)。すなわち、図3(c)には図3(b)に示された加熱容器の主要部分のみが示されている。図示のように支持機構503が多孔質母材50を矢印S12で示された方向に回転させながら矢印S13で示された方向に沿って移動させるよう動作する。この動作により、該多孔質母材50はその先端からヒーター750内に送り込まれ、透明なコアガラス母材51が得られる。
【0049】
なお、上述した多孔質母材50の製造、脱水処理、及び焼結処理は同一の容器内で行うことも可能である。また、上述したVAD法により得られるコアガラス母材とOVD法により得られるコアガラス母材の構造上の差異は、該OVD法により得られたコアガラス母材には中心棒801を引き抜くことによりできた貫通孔550がある点のみである。
【0050】
従って、第3工程以降の処理(特に気相合成に係る工程)は、VAD法について詳細に説明する。なお、該VAD法に代えてOVD法で行うことも可能である。
【0051】
第3工程では、まず第2工程で得られた、透明なコアガラス母材51が図4に示された延伸装置により所望の外径(仕上り外径)に延伸される。なお、このコアガラス母材51は延伸に先立って、その両端に端部処理が施され、さらに取扱を簡単にするための棒61、62が取り付けられている。
【0052】
図4の延伸装置は、矢印S14で示された方向に沿って移動可能な上側チャック63と、矢印S15で示された方向に沿って移動可能な下側チャック64を備えており、これら上側チャック63及び下側チャック64は、駆動モータ65、66により、それぞれS14、S14の方向に沿って動かされる。また、端部処理されたコアガラス母材51は、棒61が上側チャック63に把持されるとともに、棒62が下側チャック64に把持されることにより、図4の延伸装置に取り付けられる。
【0053】
上記上側チャック63はS14の方向に沿って移動することにより、コアガラス母材51をヒータ68(例えば、縦型抵抗加熱炉)内に送り込むよう機能する。一方、下側チャック64はS15の方向に沿って移動することにより、ヒータ68内からコアガラス母材51を引出すよう機能する。ヒータ68内に送り込まれたコアガラス母材51は部分的に軟化しているので、この延伸装置では、上側チャック63の移動速度(コアガラス母材51をヒータ68内への送り込む速度)よりも下側チャック64の移動速度(コアガラス母材51をヒータ68内から引出す速度)を大きくし、該コアガラス母材51の軟化部分に引っ張り応力を加えることにより、該コアガラス母材51を所望の仕上り外径に延伸する。
【0054】
なお、制御部67は、外径測定装置69により加熱されている軟化部分の所定部位の外径を常時モニタしており、所望の仕上がり外径が得られるよう駆動モータ65、66を制御している。
【0055】
続いて、この第3工程では、以上の延伸装置により延伸されたコアガラス母材51の外周に、さらに内側クラッド30となるべき第1多孔質ガラス体を堆積させ、第1複合母材52を得る。すなわち、バーナ900の火炎中では、図5に示されたように、ガス供給システム600から供給された原料ガスの加水分解反応によりガラス微粒子が生成され、これらガラス微粒子が延伸されたコアガラス母材51の外周に堆積していく。この間、該延伸されたコアガラス母材51は矢印S16で示された方向に回転しながら矢印S17で示された方向に沿って移動している。この動作により、コアガラス母材51の外周に多孔質ガラス体(スス体)が堆積していき、第1複合母材52が得られる。
【0056】
なお、この第3工程において、バーナー900に供給される原料ガスは、得られる光ファイバの外側コア20の外径bに対する内側クラッド30の外径cの比(c/b)は、1.5〜2.5(好ましくは1.8〜2.2)となるよう調節されている。
【0057】
次に、以上の第3工程を経て得られた第1複合母材52は、第4工程に先立って行われる脱水処理のため、一旦ハロゲンガスを含む雰囲気中で加熱される(図6参照)。この間、支持機構503は第1複合母材52を矢印S18で示された方向に回転させながら矢印S19、S20で示された方向に沿って移動させるよう動作する。この動作により、該第1複合母材52全体が加熱される。なお、この脱水用ガスとしてはCl2を使用した(SiCl4でもよい)。また、加熱容器700内に供給される塩素ガス濃度は上述した通り10000ppm〜50000ppm(1%〜5%、この実施例では、20000ppm(2%))、容器内の加熱温度は1000℃〜1300℃、好ましくは1050℃〜1150℃である。
【0058】
続く第4工程では、透明な中間母材53を得るべく、図7に示されたように、脱水処理が施された第1複合母材52がフッ素原料を含む雰囲気中で焼結される。なお、この焼結処理は上述の加熱容器700内で連続的に行われる。また、支持機構503は、第1複合母材52を矢印S21で示された方向に回転させながら矢印S22で示された方向に沿って移動させるよう動作する。この動作により、該第1複合母材52がヒータ750内に送り込まれる。
【0059】
具体的に、加熱容器700内に供給されるフッ素系ガスとしては、SF6又はSiF4などが利用可能であるが、この実施例では濃度20000ppm(2%)のSiF4が供給される。このときの容器内温度は1000℃〜1200℃(好ましくは1050℃〜1150℃)であり、このフッ素系ガス雰囲気中で第1複合母材52を加熱することによりフッ素を第1多孔質ガラス体(コアガラス母材51の外周に形成されたスス体)に含浸させた。その後、さらに容器内温度を1400℃〜1600℃(好ましくは1450℃〜1550℃)まで上げて第1複合母材52を焼結することにより中間母材53が得られる。
【0060】
なお、フッ素添加量の調整は供給されるフッ素系ガスの濃度を調整することにより行う。また、フッ素を第1多孔質ガラス体に含浸させる処理と焼結処理とでフッ素系ガスの濃度を適宜調節することにより所望のフッ素添加濃度への調節も可能である。
【0061】
次に行われる第5工程は、外側クラッド40となるべき第2多孔質ガラス体を、第4工程で得られた中間母材53の外周に形成し、第2複合母材54を得る工程である。
【0062】
この第5工程では、先に説明した第3工程と同様に、まず、第4工程で得られた中間母材53が図4に示された延伸装置により所望の仕上り外径に延伸される。その後、図5に示されたように、該延伸された中間母材53の外周に第2多孔質ガラス体を形成させることにより(バーナ900の火炎中では、ガス供給システム600から供給された原料ガスの加水分解反応によりガラス微粒子が生成され、これらガラス微粒子が延伸された中間母材53の外周に堆積していく)、第2複合母材54が得られる。
【0063】
なお、この第5工程において、バーナー900に供給される原料ガスは、得られる光ファイバの内側クラッド30と外側クラッド40との外径比(d/c)が、最終的に得られる光ファイバの外径を125μmにした際(第7工程の線引後)に所望の特性になるよう調整されている。
【0064】
続く第6工程でも、上述した第4工程と同様に、フッ素原料を含む雰囲気中で第5工程で得られた第2複合母材54を焼結し、最終的に光ファイバ母材55を得る(図7参照)。
【0065】
なお、上述の第5工程で得られた第2複合母材54に対しては、必ずしも図6に示された脱水処理を行う必要はなく、適宜省略してもよい。
【0066】
ただし、この実施例では、上述したように多孔質母材50、第1複合母材52に対しては塩素ガスを利用して脱水処理が施されているため、必然的に最終的に得られる光ファイバ1の内側コア10、外側コア20、及び内側クラッド30には塩素が含まれることとなる。この場合、内側クラッド30における塩素含有量は、内側及び外側コア10、20における塩素含有量よりも少ないことが好ましい。塩素は屈折率を上げる添加物と知れらており、コア領域(内側及び外側コア10、20を含む)に塩素を添加することにより、当該光ファイバの屈折率プロファイルの形状を変えることなくクラッド領域(内側及び外側クラッド30、40を含む)に添加されるフッ素の添加量を低減させることが可能となるからである。
【0067】
以上のように、クラッド領域へのフッ素添加量を低減できることから、上記第6工程におけるフッ素原料を含む雰囲気中での第2複合母材の焼結処理(図7に示されたようなフッ素添加処理)に代え、第5工程において、第4工程で得られた中間母材の外周に、フッ素系ガスが供給される(ガス供給システム600からバーナ900へ供給される)ことにより、所定濃度のフッ素を含む第2多孔質ガラス体を堆積させ、第2複合母材を得ることも可能となる。
【0068】
ただし、上述のガラス体堆積時にフッ素を添加する処理には、以下の理由によりフッ素添加量には限界がある。すなわち、最初に形成されたガラス微粒子の堆積部分(第2多孔質ガラス体の一部)のフッ素濃度は、ガラス微粒子の堆積工程の終期に形成されたガラス微粒子の堆積部のフッ素濃度よりも高くなる。このため、該第2多孔質ガラス母材52から最終的に得られる光ファイバ1は、その長手方向に沿って径方向の屈折率分布を均一にすることができない。この現象は、添加されるフッ素の添加量が多くなるほど顕著となり、フッ素が添加されたガラス領域の純石英ガラスに対する比屈折率差が0.2%を越えるフッ素添加には、当該代替処理は適さないことを意味する。
【0069】
従って、この発明のようにクラッド領域のフッ素添加量を低減することができる場合には、特に、外側クラッド40となるべき第2多孔質ガラス体へのフッ素添加を、焼結処理とともに行う代りに該第2多孔質ガラス体形成時に同時に行うことが可能となる。なお、この場合、第6工程では第5工程で得られた第2複合母材の焼結のみが行われるので、焼結時間の短縮が可能となり生産性の大幅な向上が期待できる。
【0070】
以上のように製造された光ファイバ母材55は、図8に示されたように、当該光ファイバ1の内側コア10となるべき内側コアガラス100と、外側コア20となるべき外側コアガラス200と、内側クラッド30となるべき内側クラッドガラスと、そして、外側クラッド40となるべき外側外側クラッドガラスを備えている。
【0071】
第7工程では、ヒータ950により、以上のような構造を備えた光ファイバ母材55の一端を加熱しながら該光ファイバ母材55を線引することにより、図1に示された外径125μmの光ファイバ1を得る。
【0072】
以上説明された製造方法では、各工程が、最終的に得られる光ファイバ1の外側コア20の外径bが、第7工程における線引後に25μm以上(好ましくは28μm以上)になるよう調節されている。この外側コア20の外径bの数値は、伝送される信号光のパワーの広がりが影響しない領域までガラス合成する際の界面(例えば、コアガラス母材51の外周面)が近寄らないようにするためである。コアガラス母材51(ガラスロッド)の外周に多孔質ガラス体をガラス合成する場合には、該ガラス体を形成(ガラス合成)するための火炎で該母材の外周面が加熱されるため、該コアガラス母材51の表層にはOH基が侵入しやすくなる。このため、最終的に得られる光ファイバ1におけるOH吸収の影響を緩和することが重要である。
【0073】
発明者らは、実験により外側コア20の外径bが25μm、30μm、33μmの各光ファイバについて、そのOH吸収のピークが、それぞれ0.3dB/km、0.8dB/km、1.3dB/kmとなることを確認した。なお、外側コア20の外径bの上限値は、1.55μm波長帯にその零分散波長を設定できる設計に従って決まってくるが、発明者らは、40μm以下、多くの場合は25μm〜35μmの範囲内で所望のファイバ特性が得られることを確認した。
【0074】
なお、上述の製造方法により得られた光ファイバ1の特性を以下に示す。
【0075】
(組成)
内側コア :SiO2+GeO2+Cl
外側コア :SiO2+Cl
内側クラッド:SiO2+F+Cl
外側クラッド:SiO2+F+Cl
(屈折率プロファイル)
Δna=(n1−n2)/n2:0.85%
Δnb=(n3−n2)/n2:−0.25%
Δnc=(n4−n2)/n2:−0.1%
なお、Δnaは外側コア20に対する内側コア10の比屈折率差、Δnbは外側コア20に対する内側クラッド30の比屈折率差、そして、Δncは外側コア20に対する外側クラッド40の比屈折率差である。
【0076】
(ディメンジョン)
内側コアの外径aに対する外側コアの外径bの比(b/a):10
外側コアも外径bに対する内側クラッドの外径cの比(c/b):2
内側クラッドの外径cに対する外側クラッドの外径dの比(d/c):2.1
なお、b/aは内側コアの外径aに対する外側コアの外径bの比、c/bは外側コアも外径bに対する内側クラッドの外径cの比、そして、d/cは内側クラッドの外径cに対する外側クラッドの外径dの比である。また、この時の外側コア20の外径は29μmであった。
【0077】
得られた光ファイバ1のMFDは9.8μm、2mの基準長でのカットオフ波長は1.68μm、零分散波長は1.58μmであった。
【0078】
なお、1.55μm波長帯の光伝送用に選択される分散シフトファイバのカットオフ波長としては、通常、2mの基準長(CCITT−G.653による測定法)で信号光波長よりも短い1.55μm以下が選択される。
【0079】
カットオフ波長の一般的な評価の基準である2mという短い長さでは、当該分散シフトファイバは、伝送光の基底モードばかりではなく高次モードも伝搬することになる。本願のカットオフ波長は信号光波長(1.55μm)よりも長いが、高次モードの光は基底モードの光と比べて分散シフトファイバ中の伝搬における減衰率が高いので、数kmの伝搬長であれば基底モードに比べて充分に小さくなる。したがって、海底通信ケーブルのように伝搬距離が数百から数千kmに及ぶ場合には、高次モードによる問題が生じることはない。
【0080】
また、この実施例の製造方法では、コアガラス母材51の外周にそのまま多孔質ガラス体(第1多孔質ガラス体)を形成しているるが、発明者らは、得られた光ファイバ1について、OH吸収の影響を示す1.38μmの光に対する吸収ピークの大きさΔα1.38が0.8dB/kmと比較的小さく、信号光波長帯への影響が小さいことも確認した。
【0081】
さらに、発明者らは、上述の製造方法により得られた光ファイバ1の伝送損失が、1.55μmの光に対して0.22dB/kmと良好なものであることも確認した。
【0082】
【発明の効果】
以上のようにこの発明によれば、外側コアの外径が25μm〜40μmとより大きく設定された、Depressed cladding 型プロファイルを有する分散シフトファイバであるため、より大きなMFDを実現できるという効果がある。
【0083】
また、このように外側コアの外径を大きく設定することにより、母材製造において、繰り返しVAD法、OVD法等の気相合成法を利用すること(特に、第1及び第2多孔質ガラス体の形成)が可能になるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明に係る光ファイバの断面構造及びその屈折率プロファイルを示す図である。
【図2】VAD法による光ファイバの製造方法の一部(第1及び第2工程)を説明するための図であり、(a)は第1工程における多孔質母材の製造を説明するための図、(b)は多孔質母材の脱水処理を説明するための図、そして、(c)は第2工程における多孔質母材の焼結処理を説明するための図である。
【図3】OVD法による光ファイバの製造方法の一部(第1及び第2工程)を説明するための図であり、(a)は第1工程における多孔質母材の製造を説明するための図、(b)は多孔質母材の脱水処理を説明するための図、そして、(c)は第2工程における多孔質母材の焼結処理を説明するための図である。
【図4】この発明に係る光ファイバの製造方法における第3及び第5工程の母材延伸処理を説明するための図である。
【図5】この発明に係る光ファイバの製造方法における第3及び第5工程の複合母材製造を説明するための図である。
【図6】この発明に係る光ファイバの製造方法における第4及び第6工程に先立って行われる脱水処理を説明するための図である。
【図7】この発明に係る光ファイバの製造方法における第4及び第6工程の母材焼結処理を説明するための図である。
【図8】この発明に係る光ファイバの製造方法における第7工程の線引処理を説明するための図である。
【符号の説明】
1…分散シフトファイバ、10…第1コア(内側コア)、20…第2コア(外側コア)、30…第1クラッド(内側クラッド)、40…第2クラッド(外側クラッド)、50…多孔質母材、51…コアガラス母材、52…第1複合母材、53…中間母材、54…第2複合母材、55…光ファイバ母材。
Claims (11)
- 石英ガラスを主成分とする光ファイバであって、
第1の屈折率n1を有する第1コアと、
前記第1コアの外周に設けられた領域であって、前記第1の屈折率n1よりも低い第2の屈折率n2を有するとともに、その外径が25μm以上かつ40μm以下である第2コアと、
前記第2コアの外周に設けられかつ前記第2の屈折率n2よりも低い第3の屈折率n3を有する第1クラッドと、そして、
前記第1クラッドの外周に設けられ、前記第3の屈折率n3よりも高くかつ前記第2の屈折率n2よりも低い第4の屈折率n4を有する第2クラッドとを備えた光ファイバ。 - 前記第1コアは少なくともゲルマニウムを含むガラス領域であり、前記第2コアは実質的にゲルマニウムを含まないガラス領域であり、前記第1クラッドは少なくともフッ素を含むガラス領域であり、そして、前記第2クラッドは少なくともフッ素を含むガラス領域であることを特徴とする請求項1記載の光ファイバ。
- 前記第1コア、第2コア、及び第1クラッドには、いずれも塩素が含まれていることを特徴とする請求項1又は2記載の光ファイバ。
- 前記第2クラッドには塩素が含まれていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項記載の光ファイバ。
- 前記第1クラッドにおける塩素含有量は、前記第1及び第2コアにおける塩素含有量よりも少ないことを特徴とする請求項3記載の光ファイバ。
- 第1の屈折率n1を有する第1コアと、該第1のコアの外周に設けられかつ第2の屈折率n2(<n1)を有する第2コアと、該第2コアの外周に設けられかつ第3の屈折率n3(<n2)を有する第1クラッドと、該第クラッドの外周に設けられかつ第4の屈折率n4(>n3)を有する第2クラッドとを備えた、石英ガラスを主成分とする光ファイバの製造方法であって、
気相合成法により、長手方向に沿ってその中央部分が前記第1コアとなり、該中央部分を取り囲む周辺部分が前記第2コアとなるべき多孔質母材を形成する第1工程と、
前記多孔質母材を焼結しコアガラス母材を得る第2工程と、
前記コアガラス母材を所望の外径に延伸した後、気相合成法により、該延伸されたコアガラス母材の外周に前記第1クラッドとなるべき第1多孔質ガラス体を堆積させ、第1複合母材を得る第3工程と、
前記第1複合母材を、フッ素原料を含む雰囲気中で焼結し中間母材を得る第4工程と、
前記中間母材を所望の外径に延伸した後、気相合成法により、該延伸された中間母材の外周に前記第2クラッドとなるべき第2多孔質ガラス体を堆積させ、第2複合母材を得る第5工程と、
前記第2複合母材を焼結し光ファイバ母材を得る第6工程と、そして、
線引後に得られる光ファイバの前記第2コアの外径が25μm〜40μmの範囲に納まるよう、前記光ファイバ母材の一端を加熱しながら線引する第7工程とを備えた光ファイバの製造方法。 - 前記第1工程で得られた多孔質母材を、前記第2工程に先立ってハロゲンガスを含む雰囲気中で加熱処理し、そして、
前記第3工程で得られた第1複合母材を、前記第4工程に先立ってハロゲンガスを含む雰囲気中で加熱処理することを特徴とする請求項6記載の光ファイバの製造方法。 - 前記第5工程で得られた第2複合母材を、前記第6工程に先立ってハロゲンガスを含む雰囲気中で加熱処理することを特徴とする請求項6又は7記載の光ファイバの製造方法。
- 前記ハロゲンガスは、SiCl4であることを特徴とする請求項7又は8記載の光ファイバの製造方法。
- 前記第6工程は、前記得られた第2複合母材を、フッ素原料を含む雰囲気中で焼結することを特徴とする請求項6〜9のいずれか一項記載の光ファイバの製造方法。
- 前記第5工程は、前記第4工程で得られた中間母材の外周に、フッ素系ガスを供給しながら前記第2多孔質ガラス体を堆積させることを特徴とする請求項6〜10のいずれか一項記載の光ファイバの製造方法。
Priority Applications (9)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP00567197A JP3738510B2 (ja) | 1997-01-16 | 1997-01-16 | 光ファイバ及びその製造方法 |
AU49253/97A AU719695B2 (en) | 1996-12-27 | 1997-12-24 | Optical fiber and method of manufacturing the same |
EP97310622A EP0851247A3 (en) | 1996-12-27 | 1997-12-24 | Dispersion-shifted optical fibre and method of manufacturing the same |
IDP973995A ID19328A (id) | 1996-12-27 | 1997-12-26 | Serat optik dan metode pembuatannya |
TW086119792A TW356531B (en) | 1996-12-27 | 1997-12-26 | Optical fibre and its method of manufacturing |
KR1019970074865A KR100426385B1 (ko) | 1996-12-27 | 1997-12-27 | 광파이버와 이것을 제조하는 방법 |
CNB971093768A CN1148590C (zh) | 1996-12-27 | 1997-12-27 | 光纤及其制造方法 |
US09/007,798 US6535679B2 (en) | 1997-01-16 | 1998-01-15 | Optical fiber and method of manufacturing the same |
HK98110392A HK1009493A1 (en) | 1996-12-27 | 1998-09-03 | Optical fiber and method of manufacturing the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP00567197A JP3738510B2 (ja) | 1997-01-16 | 1997-01-16 | 光ファイバ及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10206669A JPH10206669A (ja) | 1998-08-07 |
JP3738510B2 true JP3738510B2 (ja) | 2006-01-25 |
Family
ID=11617575
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP00567197A Expired - Fee Related JP3738510B2 (ja) | 1996-12-27 | 1997-01-16 | 光ファイバ及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3738510B2 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
AU762729B2 (en) | 1999-01-18 | 2003-07-03 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Optical fiber and method of manufacture thereof |
JP2002187733A (ja) * | 2000-12-14 | 2002-07-05 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光ファイバ母材の製造方法および光ファイバの製造方法 |
US20070003198A1 (en) * | 2005-06-29 | 2007-01-04 | Lance Gibson | Low loss optical fiber designs and methods for their manufacture |
NL1032140C2 (nl) * | 2006-07-10 | 2008-01-15 | Draka Comteq Bv | Werkwijze voor door middel van een inwendig damp-depositieproces vervaardigen van een optische voorvorm, alsmede een daarmee verkregen voorvorm. |
JP2010064915A (ja) | 2008-09-09 | 2010-03-25 | Shin-Etsu Chemical Co Ltd | 光ファイバ母材の製造方法 |
US8542969B2 (en) * | 2010-02-26 | 2013-09-24 | Corning Incorporated | Low bend loss optical fiber |
JP2012212115A (ja) * | 2011-03-23 | 2012-11-01 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光ファイバ、光ファイバコードおよび光ファイバケーブル |
US9002164B2 (en) | 2013-02-28 | 2015-04-07 | Fujikura Ltd. | Optical fiber and method of manufacturing the same |
-
1997
- 1997-01-16 JP JP00567197A patent/JP3738510B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH10206669A (ja) | 1998-08-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6535679B2 (en) | Optical fiber and method of manufacturing the same | |
CN1891649B (zh) | 低损耗光纤的设计及其制造方法 | |
US7946135B2 (en) | Extended-baking process for glass deposition tubes | |
WO2000042458A1 (fr) | Fibre optique et son procede de fabrication | |
AU719695B2 (en) | Optical fiber and method of manufacturing the same | |
WO2013021759A1 (ja) | 光ファイバ母材および光ファイバの製造方法 | |
US20200339465A1 (en) | Method for manufacturing optical fiber preform, optical fiber preform, method for manufacturing optical fiber, and optical fiber | |
JP3738510B2 (ja) | 光ファイバ及びその製造方法 | |
CN102149648A (zh) | 光纤母材的制造方法 | |
JP3098828B2 (ja) | 分散シフトファイバ及びその製造方法 | |
CN101097273A (zh) | 宏弯曲不敏感光学纤维 | |
JP2012171802A (ja) | 光ファイバ母材の製造方法 | |
JPH10206654A (ja) | 光ファイバ及びその製造方法 | |
JP2002047027A (ja) | 光ファイバ用プリフォーム及びシングルモード光ファイバ | |
JP3569910B2 (ja) | 光ファイバの製造方法 | |
WO2001072648A1 (en) | Substrate tube and process for producing a preform for an optical fiber | |
JPH0820574B2 (ja) | 分散シフトフアイバ及びその製造方法 | |
JPS63222031A (ja) | 光フアイバ用プリフオ−ムの製造方法 | |
JP2004307280A (ja) | Oh基による吸収を減少した光ファイバ用ガラス母材及びその製造方法 | |
US7391946B2 (en) | Low attenuation optical fiber and its producing method in MCVD | |
JPH0717395B2 (ja) | 分散シフトフアイバ用母材の製造方法 | |
JPS632900B2 (ja) | ||
JP2000159531A (ja) | 光ファイバ母材の製造方法 | |
JP3439258B2 (ja) | 光ファイバ用ガラス母材の製造方法 | |
JPH01242432A (ja) | 光フアイバ母材の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20041013 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050118 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050228 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20051011 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20051024 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091111 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091111 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101111 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111111 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111111 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121111 Year of fee payment: 7 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |