JP3717239B2

JP3717239B2 - X-ray generator

Info

Publication number: JP3717239B2
Application number: JP19070496A
Authority: JP
Inventors: 尚久大坂; 精一林
Original assignee: Rigaku Corp
Current assignee: Rigaku Corp
Priority date: 1996-07-19
Filing date: 1996-07-19
Publication date: 2005-11-16
Anticipated expiration: 2016-07-19
Also published as: JPH1039097A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、Ｘ線回折装置におけるＸ線源等に利用されるＸ線発生装置に関し、特に電子の衝突によって対陰極の表面から発生したＸ線束を、装置本体内であらかじめ制御した後、取出窓から出射するようにしたＸ線発生装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来のＸ線発生装置は、電子銃（陰極）から発射した電子を対陰極（ターゲット）に衝突させることで、該対陰極の表面からＸ線束を発生させ、この発生したＸ線束を装置本体の壁面に設けた取出窓から出射する構造となっている。
一般に、この種のＸ線発生装置から出射したＸ線束は、Ｘ線光学制御素子を用いて、平行ビーム，集束ビーム，分光又は分割ビーム等、利用形態に合わせたビーム特性に制御した状態で利用に供されている。
【０００３】
図６は、Ｘ線回折装置のＸ線源にこの種のＸ線発生装置を適用する場合のシステム構成例を示している。
同図に示すように、Ｘ線回折装置はゴニオメータと称する測角器２の上に、試料台３，発散スリット４，受光スリット５，およびＸ線検出器６を搭載しており、試料台３に装着した試料Ｓに対して、Ｘ線発生装置１から出射したＸ線束を照射してＸ線の回折測定を実施する構成となっている。
【０００４】
ここで、Ｘ線発生装置１から出射したＸ線束の軌道上には、発散スリット４の手前にＸ線光学制御素子７が設けてあり、Ｘ線発生装置１から出射したＸ線束を、このＸ線光学制御素子７で集束して試料Ｓの表面へと照射している。
なお、試料ＳにＸ線束が照射されると、その表面からは結晶構造等に応じた回折角度に回折Ｘ線のピーク強度が検出される。このピーク強度をＸ線検出器６で検出するとともに、そのピーク強度の現われた回折角度（２θ）を測角器２で測定することによって、試料の結晶構造等を分析することができる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上述したように従来のＸ線発生装置は、電子銃から発射した電子を対陰極に衝突させることで、対陰極の表面からＸ線束を発生させ、この発生したＸ線束を取出窓から出射するだけの機能を有するのみであり、対陰極の表面で発生したＸ線束を制御する機能を備えていない。
【０００６】
したがって、Ｘ線発生装置で発生したＸ線束を制御するためには、Ｘ線発生装置とは別体のＸ線光学制御素子を大気中に配設する必要がある。
このように、大気中に配設されたＸ線光学制御素子は、大気に含まれる湿気や塵埃などで汚染されやすく、Ｘ線束の制御に関する性能劣化がはやい。
【０００７】
また、大気中の空気分子によってＸ線束は抵抗を受けるため、Ｘ線発生装置の取出窓から照射目的地点（上記のＸ線回折装置では試料表面）に至るまでのＸ線光路長が長くなる程、Ｘ線強度は減衰していく。ところが、従来の使用形態では、Ｘ線発生装置と照射目的地点との間の大気中に、Ｘ線光学制御素子を配置する必要があるため、少なくともこのＸ線光学制御素子の配置スペースの分だけＸ線の光路長は長くなり、Ｘ線強度を無駄に減衰させてしまうことは避けられなかった。
【０００８】
そのため、この大気中での減衰量を考慮して高強度のＸ線束を対陰極から発生させなければならず、それだけ電力消費量が多く稼働コストが高価格となって不経済であるという課題を有していた。
【０００９】
この発明は、このようなＸ線発生装置とともに使用されるＸ線光学制御素子にかかわる課題に鑑みてなされたもので、Ｘ線発生装置にＸ線光学制御素子を組み込むことにより、Ｘ線光学制御素子の耐久性を向上させるとともに、Ｘ線照射目的地点までのＸ線光路長を短縮できるようにして、出射したＸ線束の空気抵抗による減衰の抑制を図り、もって消費電力の低減を実現することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上述した目的を達成するために、この発明は、密閉された装置本体の内部に電子銃と対陰極とを備え、電子銃から発射した電子を対陰極に衝突させ、その際に該対陰極の表面から発生するＸ線束を取出窓から外部へ出射するＸ線発生装置において、装置本体の内部でかつ対陰極から発生したＸ線束の出力軌道上に、該Ｘ線束を制御するＸ線光学制御素子を設け、該Ｘ線光学制御素子により制御されたＸ線束を取出窓へ導くようにした構成としてある。
【００１１】
装置本体内は密閉空間となっているので、湿気や塵埃などによるＸ線光学制御素子の劣化を抑制することができる。また、対陰極の表面で発生したＸ線束を、装置本体内に設けたＸ線光学制御素子によって制御した後、取出窓から出射する。このため、取出窓から出射されたＸ線束は、すでに平行ビーム，集束ビーム，分光又は分割ビーム等、目的とする状態に制御されているため、外部の大気中にＸ線光学制御素子を配設する必要がない。したがって、Ｘ線発生装置の取出窓から照射目的地点に至るまでのＸ線光路長を必要最小限まで短縮してＸ線強度の大気中での減衰を低減することができる。その結果、Ｘ線発生のための消費電力を抑えることができる。
【００１２】
ここで、取出窓は、Ｘ線光学制御素子の近傍位置に設けることが好ましい。このように構成することで、取出窓はＸ線光学制御素子により発散が抑えられたＸ線束を透過させるだけの小面積を確保すればよいので、装置本体内を真空状態とした場合にも、比較的薄肉で耐圧性能を保持することができる。しかも取付窓を薄肉にできる結果、取付窓を透過する際のＸ線束の吸収減衰損失を低減することができる。
【００１３】
また、上記装置本体の内部に、少なくとも反跳電子およびＸ線を遮蔽する隔壁によって対陰極の配設空間と仕切られた収納室を形成するとともに、上記隔壁に対陰極の表面で発生したＸ線束を透過するＸ線透過孔を設け、Ｘ線光学制御素子をこの収納室内に配設するとともに、取出窓を該収納室の壁面に設けた構成とすることもできる。
【００１４】
装置本体内、特に対陰極の電子衝突面の周辺は、電子銃から発射されて対陰極に衝突した後、その衝突面で跳ね返った反跳電子が飛散している。この反跳電子がＸ線光学制御素子や取出窓に当たると、同素子や取出窓の劣化が促進される等の悪影響がある。
そこで、上記のごとく隔壁で仕切られた収納室にＸ線光学制御素子を配設するとともに、同収納室の壁面に取出窓を設けることにより、隔壁が反跳電子を遮蔽してＸ線光学制御素子および取出窓の保護を図ることができる。
【００１５】
さらに、上記各構成のＸ線発生装置に、Ｘ線透過孔を外部からの操作によって開閉するシャッタ手段を設ければ、Ｘ線束を外部に発射しない待機動作中、このシャッタ手段でＸ線透過孔を遮蔽することにより、Ｘ線束やＸ線透過孔から僅かに漏れ出てくる反跳電子のＸ線光学制御素子への入射を無くすことができ、同素子の劣化を抑制することができる。
【００１６】
また、この発明のＸ線発生装置は、装置本体が、少なくとも電子銃および対陰極を装着するＸ線発生ブロックと、少なくともＸ線光学制御素子を装着するＸ線光学制御ブロックとを含んだ構成とし、かつＸ線光学制御ブロックを、Ｘ線発生ブロックに対して着脱自在なユニット構造にすることもできる。
【００１７】
Ｘ線光学制御ブロックをこのようなユニット構造とすることで、必要に応じてＸ線光学制御素子を装置本体内に内蔵することができ、ユーザの幅広い使用形態に対応した仕様のＸ線発生装置を提供でき、汎用性が広がる。
【００１８】
さらに、この発明のＸ線発生装置は、装置本体に、Ｘ線光学制御素子の取付交換窓を形成するとともに、該取付交換窓を開閉する蓋体を着脱自在に装着してもよい。これによりＸ線光学制御素子を簡単に取付，交換できるようになり、Ｘ線光学制御素子の保守，管理が容易となる。
【００１９】
さて、上述したように装置本体内は、電子銃から発射されて対陰極に衝突した後、その衝突面で跳ね返った反跳電子が飛散している。このような環境下にＸ線光学制御素子を配置するようにした本発明においては、反跳電子によるＸ線光学制御素子の劣化防止が重要となる。
そこで、この発明のＸ線発生装置は、Ｘ線光学制御素子への反跳電子の衝突を回避するための対反跳電子防護手段を装置本体内に設けることが好ましい。この対反跳電子防護手段は、例えば、対陰極から発生したＸ線束の出力軌道の周囲に配設した、電子銃と同電位の金属部材で構成することができる。
【００２０】
電子銃と同電位の金属部材をＸ線束の出力軌道の周囲に配設することで、Ｘ線束と同様の軌道を描いてＸ線光学制御素子に入射しようとする反跳電子と金属部材との間に反発力が生まれ、反跳電子を当該軌道から逸らせることができる。
【００２１】
また、対反跳電子防護手段は、Ｘ線光学制御素子の周囲に設けた、電子銃と同電位の金属部材で構成してもよい。このようにすれば、Ｘ線光学制御素子に向かって入射しようとする反跳電子を、金属部材との間に生じる反発力によって軌道変更させることができ、Ｘ線光学制御素子への衝突を有効に回避できる。
【００２２】
また、Ｘ線光学制御素子は、Ｘ線束の照射によって発熱する。この発明は、狭小な装置本体内にＸ線光学制御素子を配設するため、この発熱に対するＸ線光学制御素子の保護も重要となる。そこで、この発明は、Ｘ線光学制御素子を取付台に固定するとともに、該取付台に冷却手段を設けた構成とすることが好ましい。
【００２３】
さらに、Ｘ線光学制御素子を有効に機能させるため、入射Ｘ線束に対する同素子の位置および角度を外部からの操作によって調整可能とする調整手段を設けることが好ましい。
【００２４】
なお、この発明のＸ線発生装置に組み込まれるＸ線光学制御素子は、入射したＸ線束を平行ビーム，集束ビーム，分光又は分割ビーム等、目的とする状態のＸ線束に変換する各種の素子が適用できる。ただし、当該Ｘ線光学制御素子は、装置本体内に収納できる大きさであることが適用の条件となる。
【００２５】
この種のＸ線光学制御素子として、例えば、集光高効率用多層膜ミラ−がある。この集光高効率用多層膜ミラ−は、表面が楕円筒内面形状のシリコン基板上に、重元素Ｗ（タングステン）等と、軽元素Ｓｉ（シリコン）等とを交互に積層してなる多層膜の楕円筒ミラ−であり、この多層膜によってＸ線束を線状に集束させることができる。
また、特表平７−５０４４９１号公報に開示されたような、束管を通してＸ線を平行ビーム，集束ビーム，分光又は分割ビームとする構造のＸ線光学制御素子も、この発明に適用することができる。
【００２６】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。
図１はこの発明の一実施形態に係るＸ線発生装置の外観を示す斜視図、図２は同装置の平断面図である。また、図３は同装置のＸ線光学制御ブロックを図２の左方向から見た側断面図である。
【００２７】
これらの図に示すように、本実施形態のＸ線発生装置は、装置本体１００内に電子銃（陰極）２００、回転式の対陰極（ロータリターゲット）２０１、およびＸ線光学制御素子３００を備えている。
【００２８】
装置本体１００は、Ｘ線を発生させるために必要な構成要素を装着するＸ線発生ブロック１０１と、発生したＸ線を制御するために必要な構成要素を装着するＸ線光学制御ブロック１０２とに分かれている。そして、Ｘ線光学制御ブロック１０２は、Ｘ線発生ブロック１０１に対して着脱自在なユニット構造となっており、例えばボルト等の締結具１０３を用いてＸ線発生ブロック１０１に装着することにより、一体の装置本体１００を構成する。なお、Ｘ線発生ブロック１０１とＸ線光学制御ブロック１０２との間の接続部は、パッキン等のシール部材（図示せず）を介在させて密閉構造とすることが好ましい。
【００２９】
Ｘ線発生ブロック１０１には、電子銃２００および対陰極２０１が装着してある。電子銃２００は、碍子で形成した支持台２０２の上に搭載し、Ｘ線光学制御ブロック１０２の中央部に入り込むようにして配設してある。Ｘ線発生ブロック１０１の背面部には、高電圧ケーブル２０３ａを接続する高電圧導入管２０３が設けてあり、この高電圧導入管２０３を介して電子銃２００のフィラメント２０４と対陰極２０１との間に高電圧を印加する。
なお、電子銃２００は、フィラメント２０４から発射された電子を集束して対陰極２０１に向け発射する構造となっている。
【００３０】
対陰極２０１は、図３に示すように電子銃２００と対向して設けてあり、Ｘ線発生ブロック１０１の外壁に装着した駆動モータ２０５によって高速回転する。この対陰極２０１は周面が銅箔等からなるターゲット面２０１ａとなっており、このターゲット面２０１ａに電子銃２００から発射した電子（熱電子）を衝突させることにより、同面２０１ａからＸ線が発生する。
【００３１】
一般に、対陰極２０１へ法線方向から電子を衝突させたとき、図２に示すように、対陰極２０１の接線に対してα＝６〜１０°の角度方向（二方向）にＸ線を取り出せばよいことが知られている。そこで、この実施形態では、対陰極２０１の接線に対しα＝６〜１０°の角度方向に取り出したＸ線束の出力軌道ａ上にＸ線光学制御素子３００を配置するようにしている。
【００３２】
なお、対陰極２０１は電子の衝突によって発熱するため、内部に冷却水の循環経路（図示せず）が形成してあり、図示しない冷却ポンプで循環経路に冷却水を送り対陰極２０１を冷却する構造が付加されている。
また、Ｘ線発生ブロック１０１には、装置本体１００の内部を真空雰囲気とするために、真空ポンプ２０６が設けてある。
【００３３】
Ｘ線光学制御ブロック１０２の内部は、対陰極２０１からＸ線を取り出す二方向にそれぞれＸ線光学制御素子３００の収納室１０４，１０４が形成してある。この収納室１０４は、隔壁１０５により対陰極２０１の配置空間と仕切ってある。隔壁１０５は、Ｘ線および反跳電子を遮蔽する特性を有する金属部材等で形成してある。
なお、この収容室１０４，１０４もＸ線発生ブロック１０１と同様、真空雰囲気とするために、隔壁１０５の反跳電子が最も通りにくい適宜箇所にＸ線発生ブロック１０１との連通孔（図示せず）が形成してある。
【００３４】
隔壁１０５には、対陰極２０１で発生したＸ線束の出力軌道ａを開放するようにＸ線透過孔１０５ａが形成してある。さらに、隔壁１０５にはロータリー式の開閉シャッタ１０６が組み込んであり、この開閉シャッタ１０６によりＸ線透過孔１０５ａを開閉する構成となっている。開閉シャッタ１０６の回転駆動は、ソレノイド１０７等の駆動手段によって行なう。この開閉シャッタ１０６も隔壁１０５と同様に、Ｘ線および反跳電子を遮蔽する特性を有した材料で形成してあり、Ｘ線発生装置が待機状態の場合等、対陰極２０１で発生したＸ線束を外部に出力させてはならないときに閉塞状態とされる。
【００３５】
各収納室１０４内には、Ｘ線光学制御素子３００の取付台３０１が配設してある。
図４はこの取付台３０１の構造を示す断面図である。同図に示すように、取付台３０１は、基板３０２、旋回テーブル３０３、Ｙ移動テーブル３０４、Ｘ移動テーブル３０５、煽りテーブル３０６、および素子ホルダ３０７の各部を備えており、素子ホルダに装着されるＸ線光学制御素子３００の位置および角度を調整する調整手段が組み込まれた構成となっている。
【００３６】
すなわち、旋回テーブル３０３は、コロベアリング３０８を介して基板３０２に対して回動自在となっており、モータ３０９の回転駆動力をウオーム機構３１０を介して伝達され、軸中心に回動する。Ｙ移動テーブル３０４は、横方向（Ｙ方向）に延在するＹスライダ３１１を介して旋回テーブル３０３上に搭載してあり、モータ３１２の回転駆動力をボールねじ機構３１３を介して伝達され、Ｙスライダ３１１に沿って移動する。
【００３７】
Ｘ移動テーブル３０５は、縦方向（Ｘ方向）に延在するＸスライダ３１４を介してＹ移動テーブル３０４上に搭載してあり、モータ３１５の回転駆動力をボールねじ機構３１６を介して伝達され、Ｘスライダ３１４に沿って移動する。煽りテーブル３０６は、Ｘ移動テーブル３０５上に搭載してあり、モータ３１７の回転駆動力をウオーム機構３１８を介して素子ホルダ３０７に伝え、同ホルダ３０７を縦方向に首振り（煽り）動作させる。
【００３８】
Ｘ線光学制御素子３００は、素子ホルダ３０７の正面に装着され、これら各テーブルの動作によって、回転，Ｘ−Ｙ移動，および縦方向に首振り（煽り）動作をし、対陰極２０１から入射するＸ線束に対する位置および角度を調整される。各モータ３０９，３１２，３１５，３１７は、外部のコントローラ（図示せず）によって制御されており、したがってＸ線光学制御素子３００の調整操作は装置の外部において行なうことができる。
【００３９】
また、素子ホルダ３０７には、冷却水の循環通路（冷却手段）３０１ａが形成してあり、図示しない循環ポンプによってこの循環通路３０１ａ内に冷却水を送り込み、素子ホルダ３０７に装着したＸ線光学制御素子３００を冷却する構造を備えている。これにより、Ｘ線束の入射によって発熱するＸ線光学制御素子３００を効果的に冷却でき、同素子３００の劣化を抑制することができる。
【００４０】
ところで、Ｘ線光学制御ブロック１０２の正面には、図１に示すように取付台３０１と対向する位置にＸ線光学制御素子３００の取付交換窓１０８が形成してあり、この取付交換窓１０８を介して素子ホルダ３０７へのＸ線光学制御素子３００の取付や、同素子３００の交換を行なえるようになっている。取付交換窓１０８には、ねじ等の締結具を用いて蓋体１０９が装着でき、通常はこの蓋体１０９により閉塞されている。
【００４１】
さらに、Ｘ線光学制御ブロック１０２の正面には、電子銃２００と対向する位置にフィラメント２０４の取付交換窓１１０が形成してあり、この取付交換窓１１０を介して電子銃２００へのフィラメント２０４の取付や、交換を行なえるようになっている。この取付交換窓１１０も、通常は蓋体１１１により閉塞されている。
【００４２】
また、Ｘ線光学制御ブロック１０２の収納室１０４を形成する壁面には、Ｘ線束の取出窓１１２が設けてある。この取出窓１１２は、Ｘ線光学制御素子３００の近傍に位置しており、Ｘ線光学制御素子３００で制御されたＸ線束を外部に出射する。この取出窓１１２を通過するＸ線束は、すでにＸ線光学制御素子３００によって発散が抑えられている。したがって、比較的小さな面積に形成しても充分にＸ線束を通過させることができる。しかも、小さな面積に対応して薄肉としても、充分な強度を確保することができる。なお、取出窓１１２は、Ｘ線の吸収が少ないベリリウム等の材料によって構成する。
【００４３】
一方、対陰極２０１で発生したＸ線束の出力軌道ａには、図２に示すように一部でその周囲に対反跳電子防護板１１３が配設してある。この対反跳電子防護板１１３は金属板で形成してあり、電子銃２００と電気的に接続することで電子銃２００と同電位としてある。なお、この対反跳電子防護板１１３は、電子銃２００と一体に形成してもよい。
【００４４】
対陰極２０１に衝突後、周囲に飛散した反跳電子は、上述した隔壁１０５によって収納室１０４への侵入は防止されるが、Ｘ線束の出力軌道ａに沿って隔壁１０５のＸ線透過孔１０５ａに飛び込んでいく反跳電子は隔壁１０５でも遮蔽できない。そこで、電子銃２００と同電位の対反跳電子防護板１１３をＸ線束の出力軌道ａの周囲に設けることで、反跳電子が同軌道ａから外れるようにした。
【００４５】
上述した構成のＸ線発生装置は、電子銃２００から発射した電子が対陰極２０１に衝突したとき、該対陰極２０１のターゲット面からＸ線束が発生する。このＸ線束は、隔壁１０５のＸ線透過孔１０５ａを通過して収納室１０４内に入り、収納室１０４に配置したＸ線光学制御素子３００に入射し、平行ビーム，集束ビーム，分光又は分割ビーム等、目的に応じた状態のＸ線束に制御され、取出窓１１２から外部に出射する。このように、Ｘ線束は、装置内で目的に応じた状態に制御されているので、大気中にＸ線光学制御素子３００を配置する必要がない。したがって、Ｘ線発生装置の取出窓１１２から照射目的地点に至るまでのＸ線光路長を必要最小限まで短縮して、Ｘ線強度の大気中での減衰を低減することができる。その結果、Ｘ線発生のための消費電力を抑えることができる。
【００４６】
図５はＸ線回折装置にこの発明のＸ線発生装置を適用したシステム例を示している。同図に示すように、この発明のＸ線発生装置１とＸ線束の照射目的地点である試料Ｓとの間に、Ｘ線光学制御素子を配置する必要がないため、Ｘ線発生装置１を試料Ｓに近づけて配置することができ、大気中の空気抵抗によるＸ線束の強度損失を低減することができる。
【００４７】
なお、この上述した実施形態に限定されるものではなく、各構成要素の具体的形状，仕様材料，構造等は、適宜設計変更し得ることは勿論である。
また、必要に応じてＸ線光学制御素子３００の周囲に、電子銃２００と同電位の金属部材からなる対反跳電子防護手段を配設し、同金属部材と反跳電子との間に生ずる反発力により、Ｘ線光学制御素子３００への反跳電子の入射を抑制してもよい。例えば、上述した実施形態の素子ホルダ３０７を金属部材で形成し、電子銃２００と電気的に接続することにより、対反跳電子防護手段としての機能をもたせることができる。
【００４８】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明のＸ線発生装置はＸ線光学制御素子を内部に組み込んであるので、目的の状態に制御されたＸ線束を出射でき、したがって外部にＸ線光学制御素子を配置する必要がなく、Ｘ線照射目的地点までのＸ線光路長を短縮して、出射したＸ線束の空気抵抗による減衰の抑制を図ることができる。また、装置本体内にＸ線光学制御素子を収納してある結果、同素子の劣化を抑制して耐久性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の一実施形態に係るＸ線発生装置の外観を示す斜視図である。
【図２】同装置の平断面図である。
【図３】同装置のＸ線光学制御ブロックを図２の左方向から見た側断面図である。
【図４】同装置に組み込まれる取付台の構造を示す断面図である。
【図５】Ｘ線回折装置にこの発明のＸ線発生装置を適用したシステム例を示す模式図である。
【図６】従来のＸ線発生装置を用いたＸ線回折装置のシステム例を示す模式図である。
【符号の説明】
１００：装置本体
１０１：Ｘ線発生ブロック
１０２：Ｘ線光学制御ブロック１０４：収納室
１０５：隔壁１０５ａ：Ｘ線透過孔
１０６：開閉シャッタ１０７：ソレノイド
１０８：取付交換窓１０９：蓋体
１１０：取付交換窓１１１：蓋体
１１２：取出窓
１１３：対反跳電子防護板２００：電子銃
２０１：対陰極
２０４：フィラメント２０５：駆動モータ
２０６：真空ポンプ
３００：Ｘ線光学制御素子３０１：取付台[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an X-ray generator used for an X-ray source or the like in an X-ray diffractometer, and in particular, an X-ray flux generated from the surface of an anti-cathode due to electron collision is controlled in advance in the apparatus body, and then an extraction window The present invention relates to an X-ray generator that emits light from a light source.
[0002]
[Prior art]
In the conventional X-ray generator, an electron emitted from an electron gun (cathode) is collided with a counter cathode (target) to generate an X-ray flux from the surface of the counter cathode, and the generated X-ray flux is The light is emitted from an extraction window provided on the wall surface.
In general, an X-ray bundle emitted from this type of X-ray generator is used in a state in which the X-ray optical control element is used to control the beam characteristics in accordance with the application form, such as a parallel beam, a focused beam, a spectral beam, or a split beam. It is offered to.
[0003]
FIG. 6 shows an example of a system configuration when this type of X-ray generator is applied to the X-ray source of the X-ray diffractometer.
As shown in the figure, the X-ray diffractometer has a sample table 3, a diverging slit 4, a light receiving slit 5, and an X-ray detector 6 mounted on a goniometer 2 called a goniometer. The X-ray diffraction measurement is performed by irradiating the sample S mounted on the X-ray with the X-ray bundle emitted from the X-ray generator 1.
[0004]
Here, an X-ray optical control element 7 is provided in front of the diverging slit 4 on the trajectory of the X-ray bundle emitted from the X-ray generator 1, and the X-ray bundle emitted from the X-ray generator 1 is converted into the X-ray bundle. The light is focused by the line optical control element 7 and irradiated onto the surface of the sample S.
When the sample S is irradiated with the X-ray flux, the peak intensity of the diffracted X-ray is detected from the surface at a diffraction angle corresponding to the crystal structure or the like. By detecting the peak intensity with the X-ray detector 6 and measuring the diffraction angle (2θ) at which the peak intensity appears with the angle meter 2, the crystal structure and the like of the sample can be analyzed.
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
As described above, the conventional X-ray generation apparatus generates an X-ray flux from the surface of the counter-cathode by colliding electrons emitted from the electron gun with the counter-cathode, and only emits the generated X-ray flux from the extraction window. It does not have the function of controlling the X-ray flux generated on the surface of the counter cathode.
[0006]
Therefore, in order to control the X-ray flux generated by the X-ray generator, it is necessary to dispose an X-ray optical control element separate from the X-ray generator in the atmosphere.
As described above, the X-ray optical control element disposed in the atmosphere is easily contaminated with moisture, dust, and the like contained in the atmosphere, and performance degradation regarding the control of the X-ray flux is rapid.
[0007]
In addition, since the X-ray flux is subjected to resistance by air molecules in the atmosphere, the X-ray optical path length from the extraction window of the X-ray generator to the irradiation target point (the sample surface in the above X-ray diffractometer) becomes longer. The X-ray intensity is attenuated. However, in the conventional use form, since it is necessary to arrange the X-ray optical control element in the atmosphere between the X-ray generator and the irradiation destination point, at least as much as the arrangement space of the X-ray optical control element. The optical path length of X-rays becomes long, and it is inevitable that the X-ray intensity is attenuated unnecessarily.
[0008]
Therefore, in consideration of the attenuation amount in the atmosphere, a high-intensity X-ray flux must be generated from the counter cathode, and the problem is that the power consumption is high and the operation cost is high, which is uneconomical. Had.
[0009]
The present invention has been made in view of the problems related to the X-ray optical control element used together with such an X-ray generation apparatus. By incorporating the X-ray optical control element into the X-ray generation apparatus, the X-ray optical control is achieved. To improve the durability of the device and reduce the X-ray optical path length to the X-ray irradiation target point, thereby suppressing the attenuation of the emitted X-ray bundle due to the air resistance, thereby realizing the reduction of power consumption. With the goal.
[0010]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above-described object, the present invention comprises an electron gun and a counter cathode inside a sealed apparatus body, and the electrons emitted from the electron gun collide with the counter cathode. In an X-ray generator for extracting X-ray flux generated from the surface to the outside through an extraction window, an X-ray optical control element for controlling the X-ray flux on the output trajectory of the X-ray flux generated from the counter cathode inside the apparatus main body And the X-ray bundle controlled by the X-ray optical control element is guided to the extraction window.
[0011]
Since the inside of the apparatus main body is a sealed space, it is possible to suppress the deterioration of the X-ray optical control element due to moisture or dust. Further, the X-ray flux generated on the surface of the counter cathode is controlled by an X-ray optical control element provided in the apparatus main body, and then emitted from the extraction window. For this reason, the X-ray flux emitted from the extraction window has already been controlled to the target state such as a parallel beam, a focused beam, a spectral beam, or a split beam, so an X-ray optical control element is provided in the external atmosphere. There is no need to do. Therefore, the X-ray optical path length from the extraction window of the X-ray generator to the irradiation destination point can be shortened to the necessary minimum, and the attenuation of the X-ray intensity in the atmosphere can be reduced. As a result, power consumption for generating X-rays can be suppressed.
[0012]
Here, the extraction window is preferably provided in the vicinity of the X-ray optical control element. By configuring in this way, the extraction window only needs to secure a small area that allows the X-ray bundle whose divergence is suppressed by the X-ray optical control element to be transmitted, so even when the inside of the apparatus main body is in a vacuum state, It is relatively thin and can maintain pressure resistance. In addition, since the attachment window can be made thin, it is possible to reduce the absorption loss of the X-ray flux when passing through the attachment window.
[0013]
In addition, a storage chamber that is partitioned from the space for disposing the counter cathode by a partition wall that shields at least recoil electrons and X-rays is formed inside the apparatus body, and the X-ray flux generated on the surface of the counter cathode in the partition wall It is also possible to provide an X-ray transmission hole that transmits the X-ray, the X-ray optical control element is disposed in the storage chamber, and the extraction window is provided on the wall surface of the storage chamber.
[0014]
In the main body of the apparatus, particularly around the electron collision surface of the counter cathode, recoil electrons that have been bounced off the collision surface after being emitted from the electron gun and colliding with the counter cathode are scattered. When the recoil electrons hit the X-ray optical control element and the extraction window, there are adverse effects such as the deterioration of the element and the extraction window being promoted.
Therefore, as described above, the X-ray optical control element is arranged in the storage room partitioned by the partition wall, and the extraction wall is provided on the wall surface of the storage room, so that the partition wall shields recoil electrons and controls the X-ray optical control. The element and the extraction window can be protected.
[0015]
Further, if the X-ray generator having the above-described configuration is provided with shutter means for opening and closing the X-ray transmission hole by an external operation, the X-ray transmission hole can be opened by the shutter means during standby operation without emitting the X-ray flux to the outside. , The recoil electrons slightly leaking from the X-ray bundle or X-ray transmission hole can be prevented from entering the X-ray optical control element, and deterioration of the element can be suppressed.
[0016]
In the X-ray generator of the present invention, the apparatus main body includes an X-ray generation block for mounting at least an electron gun and a counter cathode, and an X-ray optical control block for mounting at least an X-ray optical control element. In addition, the X-ray optical control block can be configured to be detachable from the X-ray generation block.
[0017]
By making the X-ray optical control block into such a unit structure, an X-ray optical control element can be built in the apparatus body as necessary, and an X-ray generator having specifications corresponding to a wide range of usage forms by users. And versatility can be expanded.
[0018]
Furthermore, in the X-ray generator of the present invention, an attachment exchange window for the X-ray optical control element may be formed in the apparatus main body, and a lid for opening and closing the attachment exchange window may be detachably attached. As a result, the X-ray optical control element can be easily attached and replaced, and maintenance and management of the X-ray optical control element are facilitated.
[0019]
As described above, the recoil electrons scattered from the collision surface after being emitted from the electron gun and colliding with the counter cathode are scattered in the apparatus main body. In the present invention in which the X-ray optical control element is arranged in such an environment, it is important to prevent the X-ray optical control element from being deteriorated by recoil electrons.
Therefore, it is preferable that the X-ray generator of the present invention is provided with anti-recoil electron protection means in the apparatus main body for avoiding collision of recoil electrons with the X-ray optical control element. This anti-recoil electron protection means can be composed of, for example, a metal member having the same potential as that of the electron gun disposed around the output trajectory of the X-ray bundle generated from the counter cathode.
[0020]
By arranging a metal member having the same potential as that of the electron gun around the output trajectory of the X-ray flux, the recoil electrons and the metal member which are going to enter the X-ray optical control element while drawing the trajectory similar to the X-ray flux are drawn. In the meantime, a repulsive force is created, and recoil electrons can be displaced from the orbit.
[0021]
The anti-recoil electron protection means may be composed of a metal member provided around the X-ray optical control element and having the same potential as the electron gun. In this way, recoil electrons that are about to enter the X-ray optical control element can be changed in trajectory by the repulsive force generated between the metal member and the collision with the X-ray optical control element is effective. Can be avoided.
[0022]
Further, the X-ray optical control element generates heat when irradiated with the X-ray flux. In the present invention, since the X-ray optical control element is disposed in a narrow apparatus body, it is also important to protect the X-ray optical control element against this heat generation. Therefore, the present invention preferably has a configuration in which the X-ray optical control element is fixed to the mounting base and cooling means is provided on the mounting base.
[0023]
Furthermore, in order to make the X-ray optical control element function effectively, it is preferable to provide an adjusting means that can adjust the position and angle of the element with respect to the incident X-ray flux by an external operation.
[0024]
The X-ray optical control element incorporated in the X-ray generator of the present invention includes various elements that convert an incident X-ray bundle into an X-ray bundle in a target state, such as a parallel beam, a focused beam, a spectral beam, or a split beam. Applicable. However, the application condition is that the X-ray optical control element has a size that can be accommodated in the apparatus main body.
[0025]
As this type of X-ray optical control element, for example, there is a multilayer mirror for condensing high efficiency. This multi-layer mirror for high light collection efficiency is a multi-layer film in which heavy elements W (tungsten) and the like and light elements Si (silicon) and the like are alternately laminated on a silicon substrate having an inner surface of an elliptic cylinder. This multilayered film can focus the X-ray beam linearly.
An X-ray optical control element having a structure in which X-rays are converted into parallel beams, focused beams, spectral beams, or split beams through a bundle tube as disclosed in JP-A-7-504491 is also applicable to the present invention. Can do.
[0026]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
FIG. 1 is a perspective view showing the appearance of an X-ray generator according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a plan sectional view of the same. FIG. 3 is a side sectional view of the X-ray optical control block of the apparatus as viewed from the left in FIG.
[0027]
As shown in these drawings, the X-ray generator of this embodiment includes an electron gun (cathode) 200, a rotary counter-cathode (rotary target) 201, and an X-ray optical control element 300 in the apparatus main body 100. ing.
[0028]
The apparatus main body 100 includes an X-ray generation block 101 for mounting components necessary for generating X-rays, and an X-ray optical control block 102 for mounting components necessary for controlling the generated X-rays. I know. The X-ray optical control block 102 has a unit structure that is detachable with respect to the X-ray generation block 101. For example, the X-ray optical control block 102 is integrated with the X-ray generation block 101 by using a fastener 103 such as a bolt. The apparatus main body 100 is configured. The connecting portion between the X-ray generation block 101 and the X-ray optical control block 102 preferably has a sealed structure with a seal member (not shown) such as packing interposed therebetween.
[0029]
An X-ray generation block 101 is equipped with an electron gun 200 and an anti-cathode 201. The electron gun 200 is mounted on a support base 202 formed of an insulator and is disposed so as to enter the central portion of the X-ray optical control block 102. A high voltage introduction tube 203 for connecting a high voltage cable 203 a is provided on the back surface of the X-ray generation block 101, and the filament 204 of the electron gun 200 and the counter cathode 201 are connected via the high voltage introduction tube 203. A high voltage is applied to.
The electron gun 200 has a structure in which electrons emitted from the filament 204 are focused and emitted toward the counter cathode 201.
[0030]
The counter cathode 201 is provided facing the electron gun 200 as shown in FIG. 3 and is rotated at a high speed by a drive motor 205 mounted on the outer wall of the X-ray generation block 101. This counter-cathode 201 has a target surface 201a whose peripheral surface is made of copper foil or the like. When electrons (thermoelectrons) emitted from the electron gun 200 collide with the target surface 201a, X-rays are emitted from the surface 201a. appear.
[0031]
In general, when electrons collide with the counter-cathode 201 from the normal direction, as shown in FIG. 2, X-rays can be extracted in an angle direction (two directions) of α = 6 to 10 ° with respect to the tangent line of the counter-cathode 201. It is known to be good. Therefore, in this embodiment, the X-ray optical control element 300 is arranged on the output trajectory a of the X-ray bundle extracted in the angle direction of α = 6 to 10 ° with respect to the tangent line of the counter cathode 201.
[0032]
Since the counter cathode 201 generates heat due to the collision of electrons, a cooling water circulation path (not shown) is formed inside, and the cooling water is sent to the circulation path by a cooling pump (not shown) to cool the counter cathode 201. Structure is added.
Further, the X-ray generation block 101 is provided with a vacuum pump 206 in order to make the inside of the apparatus main body 100 into a vacuum atmosphere.
[0033]
Inside the X-ray optical control block 102, storage chambers 104 and 104 for the X-ray optical control element 300 are formed in two directions for extracting X-rays from the counter cathode 201, respectively. The storage chamber 104 is partitioned from the arrangement space of the counter cathode 201 by a partition wall 105. The partition wall 105 is formed of a metal member or the like having a characteristic of shielding X-rays and recoil electrons.
Since the storage chambers 104 and 104 are also in a vacuum atmosphere like the X-ray generation block 101, a communication hole (not shown) with the X-ray generation block 101 is provided at an appropriate place where the recoil electrons of the partition wall 105 are most difficult to pass. ) Is formed.
[0034]
In the partition wall 105, an X-ray transmission hole 105a is formed so as to open the output trajectory a of the X-ray bundle generated at the counter cathode 201. Further, a rotary opening / closing shutter 106 is incorporated in the partition wall 105, and the X-ray transmission hole 105 a is opened / closed by the opening / closing shutter 106. The opening / closing shutter 106 is rotated by a driving means such as a solenoid 107. The open / close shutter 106 is also formed of a material having a characteristic of blocking X-rays and recoil electrons, similarly to the partition wall 105, and the X-ray flux generated at the counter cathode 201 when the X-ray generator is in a standby state. Is closed when it should not be output to the outside.
[0035]
A mounting base 301 for the X-ray optical control element 300 is disposed in each storage chamber 104.
FIG. 4 is a sectional view showing the structure of the mounting base 301. As shown in the figure, the mounting base 301 includes a substrate 302, a turning table 303, a Y moving table 304, an X moving table 305, a turning table 306, and an element holder 307, and is attached to the element holder. An adjustment means for adjusting the position and angle of the X-ray optical control element 300 is incorporated.
[0036]
That is, the turning table 303 is rotatable with respect to the substrate 302 via the roller bearing 308, and the rotational driving force of the motor 309 is transmitted via the warm mechanism 310 to rotate about the axis. The Y moving table 304 is mounted on the turning table 303 via a Y slider 311 extending in the lateral direction (Y direction), and the rotational driving force of the motor 312 is transmitted via the ball screw mechanism 313. It moves along the slider 311.
[0037]
The X movement table 305 is mounted on the Y movement table 304 via an X slider 314 extending in the vertical direction (X direction), and the rotational driving force of the motor 315 is transmitted via the ball screw mechanism 316. It moves along the X slider 314. The turning table 306 is mounted on the X movement table 305, transmits the rotational driving force of the motor 317 to the element holder 307 via the warm mechanism 318, and swings (swings) the holder 307 in the vertical direction.
[0038]
The X-ray optical control element 300 is mounted on the front surface of the element holder 307, and rotates, XY moves, and swings in the vertical direction by the operation of each table, and enters from the counter cathode 201. The position and angle with respect to the X-ray flux are adjusted. Each of the motors 309, 312, 315, and 317 is controlled by an external controller (not shown), so that the adjustment operation of the X-ray optical control element 300 can be performed outside the apparatus.
[0039]
The element holder 307 is formed with a cooling water circulation passage (cooling means) 301a. The cooling water is fed into the circulation passage 301a by a circulation pump (not shown), and the X-ray optical control mounted on the element holder 307 is performed. A structure for cooling the element 300 is provided. Thereby, the X-ray optical control element 300 that generates heat by the incidence of the X-ray flux can be effectively cooled, and deterioration of the element 300 can be suppressed.
[0040]
By the way, on the front surface of the X-ray optical control block 102, as shown in FIG. 1, an attachment replacement window 108 for the X-ray optical control element 300 is formed at a position facing the mounting base 301. The X-ray optical control element 300 can be attached to the element holder 307 and the element 300 can be replaced. A lid 109 can be attached to the attachment replacement window 108 using a fastener such as a screw, and is normally closed by the lid 109.
[0041]
Further, an attachment / exchange window 110 for the filament 204 is formed at a position facing the electron gun 200 on the front surface of the X-ray optical control block 102, and the filament 204 is connected to the electron gun 200 through the attachment / exchange window 110. It can be installed and replaced. The attachment replacement window 110 is also normally closed by a lid 111.
[0042]
An X-ray bundle extraction window 112 is provided on the wall surface of the X-ray optical control block 102 that forms the storage chamber 104. The extraction window 112 is located in the vicinity of the X-ray optical control element 300 and emits the X-ray bundle controlled by the X-ray optical control element 300 to the outside. The X-ray flux passing through the extraction window 112 is already suppressed by the X-ray optical control element 300. Therefore, the X-ray flux can be sufficiently passed even if it is formed in a relatively small area. In addition, sufficient strength can be ensured even if the wall is thin corresponding to a small area. Note that the extraction window 112 is made of a material such as beryllium with little X-ray absorption.
[0043]
On the other hand, as shown in FIG. 2, a part of the output trajectory a of the X-ray bundle generated at the counter cathode 201 is provided with a recoil electron protection plate 113 around it. The anti-recoil electron protection plate 113 is formed of a metal plate, and is electrically connected to the electron gun 200 so as to have the same potential as the electron gun 200. The anti-recoil electron protection plate 113 may be formed integrally with the electron gun 200.
[0044]
Recoil electrons scattered around after colliding with the counter cathode 201 are prevented from entering the storage chamber 104 by the partition wall 105 described above, but the X-ray transmission hole 105a of the partition wall 105 along the output trajectory a of the X-ray bundle. The recoil electrons jumping into the barrier layer 105 cannot be shielded by the partition wall 105. Therefore, the recoil-electron protection plate 113 having the same potential as that of the electron gun 200 is provided around the output trajectory a of the X-ray bundle so that the recoil electrons deviate from the trajectory a.
[0045]
The X-ray generator configured as described above generates an X-ray flux from the target surface of the counter-cathode 201 when electrons emitted from the electron gun 200 collide with the counter-cathode 201. The X-ray bundle passes through the X-ray transmission hole 105a of the partition wall 105, enters the storage chamber 104, enters the X-ray optical control element 300 disposed in the storage chamber 104, and is collimated, focused, spectral, or split beam. The X-ray flux in a state according to the purpose is controlled to exit from the extraction window 112 to the outside. As described above, the X-ray flux is controlled in a state corresponding to the purpose in the apparatus, and therefore it is not necessary to arrange the X-ray optical control element 300 in the atmosphere. Therefore, the X-ray optical path length from the extraction window 112 of the X-ray generator to the irradiation destination point can be shortened to the minimum necessary, and attenuation of the X-ray intensity in the atmosphere can be reduced. As a result, power consumption for generating X-rays can be suppressed.
[0046]
FIG. 5 shows an example of a system in which the X-ray generator of the present invention is applied to an X-ray diffractometer. As shown in the figure, since it is not necessary to arrange an X-ray optical control element between the X-ray generator 1 of the present invention and the sample S which is the irradiation target point of the X-ray bundle, It can be disposed close to the sample S, and the intensity loss of the X-ray flux due to air resistance in the atmosphere can be reduced.
[0047]
In addition, it is not limited to this embodiment mentioned above, Of course, the specific shape, specification material, structure, etc. of each component can be appropriately changed in design.
In addition, anti-recoil electron protection means made of a metal member having the same potential as that of the electron gun 200 is disposed around the X-ray optical control element 300 as necessary, and is generated between the metal member and the recoil electrons. The recoiling force may suppress the recoil electrons from entering the X-ray optical control element 300. For example, by forming the element holder 307 of the above-described embodiment with a metal member and electrically connecting it to the electron gun 200, it is possible to provide a function as anti-recoil electron protection means.
[0048]
【The invention's effect】
As described above, since the X-ray generator of the present invention incorporates the X-ray optical control element inside, it can emit the X-ray bundle controlled to the target state, and therefore the X-ray optical control element is arranged outside. Therefore, the X-ray optical path length to the X-ray irradiation target point can be shortened, and the attenuation of the emitted X-ray bundle due to the air resistance can be suppressed. Further, as a result of housing the X-ray optical control element in the apparatus main body, it is possible to suppress the deterioration of the element and improve the durability.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a perspective view showing an external appearance of an X-ray generator according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a plan sectional view of the apparatus.
FIG. 3 is a side sectional view of the X-ray optical control block of the same apparatus as viewed from the left in FIG.
FIG. 4 is a cross-sectional view showing a structure of a mounting base incorporated in the apparatus.
FIG. 5 is a schematic diagram showing a system example in which the X-ray generator of the present invention is applied to an X-ray diffractometer.
FIG. 6 is a schematic diagram showing a system example of an X-ray diffraction apparatus using a conventional X-ray generation apparatus.
[Explanation of symbols]
100: apparatus main body 101: X-ray generation block 102: X-ray optical control block 104: storage chamber 105: partition wall 105a: X-ray transmission hole 106: opening / closing shutter 107: solenoid 108: mounting replacement window 109: lid 110: mounting replacement Window 111: Lid 112: Extraction window 113: Anti-recoil electron protection plate 200: Electron gun 201: Anti-cathode 204: Filament 205: Drive motor 206: Vacuum pump 300: X-ray optical control element 301: Mounting base

Claims

密閉された装置本体の内部に電子銃と対陰極とを備え、前記電子銃から発射した電子を対陰極に衝突させ、その際に該対陰極の表面から発生するＸ線束を取出窓から外部へ出射するＸ線発生装置において、
前記装置本体の内部でかつ前記対陰極から発生したＸ線束の出力軌道上に、該Ｘ線束を制御するＸ線光学制御素子を設け、該Ｘ線光学制御素子により制御されたＸ線束を前記取出窓へ導くようにし、
且つ、前記電子銃と同電位の金属部材からなり、前記Ｘ線光学制御素子への反跳電子の衝突を回避するための対反跳電子防護手段を、前記装置本体内に設けたことを特徴とするＸ線発生装置。An electron gun and a counter cathode are provided inside the sealed apparatus main body, and electrons emitted from the electron gun collide with the counter cathode, and at that time, an X-ray bundle generated from the surface of the counter cathode is extracted from the extraction window to the outside. In the emitted X-ray generator,
An X-ray optical control element for controlling the X-ray flux is provided inside the apparatus main body and on an output trajectory of the X-ray flux generated from the counter cathode, and the X-ray flux controlled by the X-ray optical control element is extracted. Lead to the window ,
In addition, the apparatus main body is provided with anti-recoil electron protection means made of a metal member having the same potential as that of the electron gun and for avoiding collision of recoil electrons with the X-ray optical control element. X-ray generator.

請求項１記載のＸ線発生装置において、
前記取出窓を、前記Ｘ線光学制御素子の近傍位置に設けたことを特徴とするＸ線発生装置。The X-ray generator according to claim 1,
An X-ray generator, wherein the extraction window is provided in the vicinity of the X-ray optical control element.

請求項１または２記載のＸ線発生装置において、
前記装置本体の内部に、少なくとも反跳電子およびＸ線を遮蔽する隔壁によって前記対陰極の配設空間と仕切られた収納室を形成するとともに、前記隔壁に前記対陰極の表面で発生したＸ線束を透過するＸ線透過孔を設け、
かつ前記Ｘ線光学制御素子を前記収納室内に配設するとともに、前記取出窓を該収納室の壁面に設けたことを特徴とするＸ線発生装置。The X-ray generator according to claim 1 or 2,
A storage chamber partitioned from the space for disposing the counter-cathode by a partition that shields at least recoil electrons and X-rays is formed inside the apparatus main body, and an X-ray bundle generated on the surface of the counter-cathode is formed in the partition Providing an X-ray transmission hole that transmits
The X-ray optical control device is disposed in the storage chamber, and the extraction window is provided on a wall surface of the storage chamber.

請求項３記載のＸ線発生装置において、
前記Ｘ線透過孔を外部からの操作によって開閉するシャッタ手段を設けたことを特徴とするＸ線発生装置。The X-ray generator according to claim 3,
An X-ray generator comprising shutter means for opening and closing the X-ray transmission hole by an external operation.

請求項１乃至４のいずれか一項に記載のＸ線発生装置において、
前記装置本体は、少なくとも前記電子銃および対陰極を装着するＸ線発生ブロックと、少なくとも前記Ｘ線光学制御素子を装着するＸ線光学制御ブロックとを含み、
かつ前記Ｘ線光学制御ブロックが、前記Ｘ線発生ブロックに対して着脱自在なユニット構造であることを特徴とするＸ線発生装置。In the X-ray generator as described in any one of Claims 1 thru | or 4,
The apparatus main body includes at least an X-ray generation block for mounting the electron gun and the counter cathode, and an X-ray optical control block for mounting at least the X-ray optical control element,
The X-ray optical control block has a unit structure that is detachable from the X-ray generation block.

請求項１乃至５のいずれか一項に記載のＸ線発生装置において、
前記装置本体に、前記Ｘ線光学制御素子の取付交換窓を形成するとともに、該取付交換窓を開閉する蓋体を着脱自在に装着したことを特徴とするＸ線発生装置。In the X-ray generator according to any one of claims 1 to 5,
An X-ray generation apparatus characterized in that an attachment exchange window for the X-ray optical control element is formed in the apparatus body, and a lid for opening and closing the attachment exchange window is detachably attached.

請求項１乃至６のいずれか一項に記載のＸ線発生装置において、
前記対反跳電子防護手段は、前記対陰極から発生したＸ線束の出力軌道の周囲に配設したことを特徴とするＸ線発生装置。In the X-ray generator as described in any one of Claims 1 thru | or 6 ,
It said pair recoil protection means, X-rays generating apparatus characterized by being arranged around the output trajectory of the X-ray flux generated from the anticathode.

請求項１乃至６のいずれか一項に記載のＸ線発生装置において、
前記対反跳電子防護手段は、前記Ｘ線光学制御素子の周囲に設けたことを特徴とするＸ線発生装置。In the X-ray generator as described in any one of Claims 1 thru | or 6 ,
It said pair recoil protection means, X-rays generating apparatus characterized by digits set around the X-ray optical control element.

請求項１乃至８のいずれか一項に記載のＸ線発生装置において、
前記Ｘ線光学制御素子を取付台に固定するとともに、該取付台に冷却手段を設けたことを特徴とするＸ線発生装置。In the X-ray generator according to any one of claims 1 to 8 ,
An X-ray generation apparatus characterized in that the X-ray optical control element is fixed to a mounting base and a cooling means is provided on the mounting base.

請求項１乃至９のいずれか一項に記載のＸ線発生装置において、
前記Ｘ線光学制御素子の入射Ｘ線束に対する位置および角度を外部からの操作によって調整可能な調整手段を設けたことを特徴とするＸ線発生装置。In the X-ray generator according to any one of claims 1 to 9 ,
An X-ray generation apparatus comprising an adjusting means capable of adjusting a position and an angle of the X-ray optical control element with respect to an incident X-ray bundle by an external operation.