JP3713413B2 - Detachment prevention device for screw parts - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ねじ部品を締め付けると同時に抜け止めされるようにしたねじ部品の離脱防止装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
例えば、半導体製造装置の洗浄薬液の循環や移送などに使用される往復動ポンプにおいて、ポンプ内の管路に逆止弁を取り付ける場合、逆止弁のケーシングに雄ねじを設け、これをポンプ内の管路側に設けた雌ねじにねじ込むだけである、というねじ山どうしの摩擦力のみに依存した取付け方法が採用されている(例えば、特開平10−196521号公報)。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかるに、単にねじ込むだけのねじ部品たる上記逆止弁のケーシングではポンプの振動によりねじの緩みが発生しやすく、また、この種逆止弁のケーシングは耐薬品性に優れる樹脂で成形されているが、樹脂製のねじ部は熱サイクル等の外的要因によってクリープを起こして緩んでしまい、ついに逆止弁のケーシングが離脱、脱落してしまうおそれがあった。かと言って、そのゆるみ止めにナットなどを用いると締付け部材点数や締付け工程数の増大を招くといった難点がある。こうした問題は、上記逆止弁のケーシングの締付けの場合に限られず、その他の分野の各種ねじ部品の締付けにおいても同様のことが言える。
【0004】
本発明の目的は、このような問題を解消するためになされたもので、ゆるみ止めナット等を用いないで、ねじの締め付けと同時に簡単にねじの抜け止めを図れるねじ部品の離脱防止装置を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】
本発明は、ねじ部品が、半導体製造装置における往復動ポンプのヘッド構成壁の管路側に設けた雌ねじにねじ込まれる逆止弁の円筒状の合成樹脂製ケーシングであって、前記ケーシングの外周に前記雌ねじにねじ込まれる雄ねじを設け、前記ケーシング内に弁体とこの弁体を弁座に対して押し付け付勢するばね部材とを内装してあり、前記雄ねじの先端部の外周面に、該雄ねじの谷径よりも小さい外径の雄ねじ側環状凸起を円周方向に設け、前記雌ねじの内奥部の内周面に、前記雄ねじ側環状凸起の外径よりも小さい内径の雌ねじ側環状凸起を円周方向に設け、前記雌雄ねじの締付け力により前記雄ねじ側環状凸起が前記雌ねじ側環状凸起を乗り越えて該雌ねじ側環状凸起の内奥側に係合するようにしてあり、前記雄ねじ側環状凸起の外径D1 と前記雌ねじ側環状凸起の内径D2 との寸法関係は、D1 /D2 =1.02〜1.1に設定しており、前記雄ねじ側環状凸起の断面形状は台形状に形成し、この台形状の雄ねじ側環状凸起の雄ねじ軸方向先端側の一辺を斜辺に形成するとともにこの斜辺と相対向する他辺も斜辺に形成し、前記雄ねじ側環状凸起の雄ねじ軸方向先端側の斜辺の傾斜角を40°以下に設定し、ケーシングの先端面及びヘッド構成壁の内奥部端面がケーシング軸方向と垂直に形成され、前記雄ねじ側環状凸起が前記雌ねじ側環状凸起を乗り越えた状態で前記ケーシングの先端面と前記ヘッド構成壁の内奥部端面とを当接可能にしたことに特徴を有するものである。
【0006】
【作用】
雄ねじ側環状凸起の外径は雄ねじの谷径よりも小さく設定しているので、雄ねじ側環状凸起を雌ねじ側のねじ山に当てることなく雄ねじを雌ねじにねじ込むことができる。
雌ねじ側環状凸起の内径は雄ねじ側環状凸起の外径よりも小さく設定し、雌雄ねじの締付け力により雄ねじ側環状凸起が雌ねじ側環状凸起を乗り越えて該雌ねじ側環状凸起の内奥側に係合するようにしてあるので、雌雄ねじを締め付けた後に雄ねじ側環状凸起と雌ねじ側環状凸起との係合状態が得られ、この係合作用により雌ねじと雄ねじが相対的に軸方向に抜け出るのを防止できる。したがって、たとえ熱サイクル等の外的要因によって雌雄ねじ間にゆるみが生じた場合も雌ねじ又は雄ねじを有するねじ部品が対象物から離脱、脱落するようなことが無くなる。
【0007】
【発明の実施の形態】
本発明に係るねじ部品の離脱防止装置を半導体製造装置に使用される往復動ポンプに適用した場合の実施例について説明する。
【0008】
図1において、往復動ポンプは、液体の流入路2及び流出路3を備えたポンプヘッド構成壁1の両側に固定連設された筒状のケーシング6A,6B内にそれぞれ、同一方向に伸縮変形可能な一対のベローズ7,7を相対向状態に配設し、これら一対のベローズ7,7の開口周縁部7a,7aを環状固定板8,8を介してポンプヘッド構成壁1に気密状に固定することによりケーシング6A,6Bの内部空間を液室9a,9aと空気室9b,9bとに密封区画してなる一対のポンプ部4A,4Bが構成されている。
【0009】
そして、一対のポンプ部4A,4Bにおける一対のベローズ7,7はポンプヘッド構成壁1を貫通して設けられた円周方向に複数本の連結ロッド55を介して、一方のベローズ7が縮小動作するとき他方のベローズ7が伸長動作するように連動連結されている。また、一対のポンプ部4A,4Bにおける液室9a,9aにそれぞれ開口するようにポンプヘッド構成壁1に形成された吸入口15、15及び吐出口16,16はそれぞれ流入路2及び流出路3に連通されているとともに、これら各吸入口15及び吐出口16にはそれぞれ、吸入用逆止弁17及び吐出用逆止弁18が設けられている。さらに、ケーシング6A,6Bの底壁部6a,6bには空気室9b,9bに加圧空気を交互に供給する空気孔19,19が形成されている。
【0010】
しかるときは、コンプレッサー等の加圧空気供給装置(図示省略)から送給される加圧空気を交互に空気孔19,19を通して空気室9b,9bに供給することにより、一対のベローズ7,7を連結ロッド55を介して可逆的に伸縮変形駆動させて一対のポンプ部4A,4Bの吸入行程と吐出行程とを交互に行わせ、これによって流入路2から液室9a,9aに流入される液体を流出路3へほぼ連続的に吐出させるといったポンプ作用が行われる。
【0011】
本発明は、上記ねじ部品たる吸入用逆止弁17や吐出用逆止弁18をポンプヘッド構成壁1にねじ込み固定するのに適用される。
吸入用逆止弁17は、耐薬品性に優れるPTFE(ポリ四フッ化エチレン)、PFA(パーフロロアルコキシ)等のフッ素樹脂で成形された円筒状のケーシング20内に、弁体21と、この弁体21を弁座に押し付け付勢するばね部材22とを内装している。そして、吸入用逆止弁17は、図2に示すごとく、ケーシング20の外周に雄ねじ23を設ける一方、ポンプヘッド構成壁1に雌ねじ24を設けてこの雌ねじ24にケーシング20の雄ねじ23をねじ込むことにより取り付けられている。なお、図2ではケーシング20内に組み込まれる弁体21及びばね部材22は図示するのを省略している。
【0012】
図2及び図3に示すように、ケーシング20において雄ねじ23の先端部の外周面には、雄ねじ23の谷径よりも小さい外径の雄ねじ側環状凸起25を円周方向に設ける一方、ポンプヘッド構成壁1の雌ねじ24の内奥部の内周面には、雄ねじ側環状凸起25の外径よりも小さい内径の雌ねじ側環状凸起26を円周方向に設けるとともに、該雌ねじ側環状凸起26の内奥側に環状凹溝27を円周方向に設けている。
【0013】
雄ねじ側環状凸起25の外径D1 と雌ねじ側環状凸起26の内径D2 との寸法関係は、ポンプヘッド構成壁1の雌ねじ24に対しケーシング20の雄ねじ23をねじ込むに最低限必要なねじ込み力だけで雄ねじ側環状凸起25が雌ねじ側環状凸起26を乗り越えられるような寸法に設定してある。具体的には、例えば、D1 /D2 =1.02〜1.1に設定している。この範囲が、後述する雄ねじ側環状凸起25及び雌ねじ側環状凸起26の断面形状と相俟ってねじ込み力により雄ねじ側環状凸起25が雌ねじ側環状凸起26を乗り越え易く、乗り越え後は抜け出るのを阻止できる係合力が必要かつ十分に得やすいからである。
【0014】
雄ねじ側環状凸起25及び雌ねじ側環状凸起26の断面形状はそれぞれ、図2及び図3に示すごとく台形状に形成する。この場合、雄ねじ側環状凸起25の雄ねじ軸方向先端側の斜辺25aの角度θ(図2中の拡大図参照)は40゜以下、より好ましくは30゜以下に設定する。角度θが40゜を越えると、雄ねじ23のねじ込み力により雌ねじ側環状凸起26を乗り越えにくくなるからである。
【0015】
このように構成された雄ねじ側環状凸起25の外径は雄ねじ23の谷径よりも小さく設定しているので、ケーシング20の雄ねじ23をポンプヘッド構成壁1の雌ねじ24にねじ込む際、雄ねじ側環状凸起25が雌ねじ24のねじ山に突き当たるような不具合なく、円滑にねじ込むことができる。そして、ねじ込みにより雄ねじ側環状凸起25が雌ねじ側環状凸起26を乗り越えて該雌ねじ側環状凸起26の内奥側の環状凹溝27内に納まって、雄ねじ側環状凸起25が雌ねじ側環状凸起26の内奥側に抜け止め状に係合されるため、たとえ熱サイクル等の外的要因によって雌雄ねじ24,23間にゆるみが生じたとしてもケーシング20がポンプヘッド構成壁1から離脱、脱落するのを防止できる。
【0016】
上記ポンプヘッド構成壁1に対する吐出用逆止弁18のねじ込みにおいても、吸入用逆止弁17の上記ぬけ止め機構と同じ機構でもってポンプヘッド構成壁1の雌ねじ24に抜け止め状にねじ込み結合される。
【0017】
【発明の効果】
本発明によれば、ゆるみ止めナット等を用いないで、ねじの締め付けと同時に簡単にねじ部品の抜け止め状態を得ることができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】 往復動ポンプの全体縦断正面図である。
【図2】 ねじ部品の離脱防止装置部分の拡大断面図である。
【図3】 ねじ部品の離脱防止装置部分のねじ部品と対象物を分離して示す拡大断面図である。
【符号の説明】
1 ポンプヘッド構成壁(ねじ部品の螺入される対象物の一例)
20 ケーシング(ねじ部品の一例)
23 雄ねじ
24 雌ねじ
25 雄ねじ側環状凸起
26 雌ねじ側環状凸起[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an apparatus for preventing a threaded part from being detached when the threaded part is tightened.
[0002]
[Prior art]
For example, in a reciprocating pump used for circulation or transfer of cleaning chemicals in semiconductor manufacturing equipment, when a check valve is attached to a pipe line in the pump, a male screw is provided in the check valve casing, An attachment method that depends only on the frictional force between the threads, which is simply screwed into a female screw provided on the pipe line side, is employed (for example, Japanese Patent Laid-Open No. 10-196521).
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
However, the check valve casing, which is a screw part that is simply screwed in, is susceptible to screw loosening due to the vibration of the pump, and this type of check valve casing is molded from a resin with excellent chemical resistance. The screw portion made of resin may creep and loosen due to an external factor such as a heat cycle, and the check valve casing may eventually come off and fall off. However, if a nut or the like is used to prevent the loosening, there is a problem that the number of tightening members and the number of tightening processes are increased. Such a problem is not limited to the case of fastening the casing of the check valve, and the same can be said for fastening various screw parts in other fields.
[0004]
An object of the present invention is to solve such a problem, and provides a device for preventing the removal of a screw component that can easily prevent a screw from being removed simultaneously with tightening of a screw without using a locking nut or the like. There is to do.
[0005]
[Means for Solving the Problems]
The present invention is a cylindrical synthetic resin casing of a check valve screwed into a female screw provided on a pipe side of a head constituting wall of a reciprocating pump in a semiconductor manufacturing apparatus, A male screw to be screwed into the female screw is provided, and a valve body and a spring member that presses and biases the valve body against the valve seat are provided in the casing, and an outer peripheral surface of the male screw is provided on the outer peripheral surface of the male screw. An external thread-side annular protrusion having an outer diameter smaller than the root diameter is provided in the circumferential direction, and an internal thread-side annular protrusion having an inner diameter smaller than the outer diameter of the external thread-side annular protrusion is provided on the inner peripheral surface of the inner back portion of the internal thread. The male screw-side annular protrusion protrudes over the female screw-side annular protrusion by the tightening force of the female and male screw and engages with the inner side of the female screw-side annular protrusion. Outer diameter D1 of the male thread side annular projection And the internal diameter D2 of the female thread side annular protrusion is set to D1 / D2 = 1.02 to 1.1, and the cross section of the male thread side annular protrusion is formed in a trapezoidal shape. The one side of the male screw side annular protrusion of the trapezoidal male screw side annular protrusion is formed on the oblique side and the other side opposite to the oblique side is also formed on the oblique side. The tip end surface of the casing and the inner back end surface of the head constituting wall are formed perpendicular to the casing axial direction, and the male screw side annular protrusion has overcome the female screw side annular protrusion. In this state, the front end surface of the casing and the inner back end surface of the head constituting wall can be brought into contact with each other.
[0006]
[Action]
Since the outer diameter of the male thread side annular protrusion is set smaller than the valley diameter of the male screw, the male screw can be screwed into the female screw without applying the male thread side annular protrusion to the thread on the female screw side.
The inner diameter of the female thread side annular protrusion is set smaller than the outer diameter of the male thread side annular protrusion, and the male thread side annular protrusion overcomes the female thread side annular protrusion by the tightening force of the female male screw. Since the inner thread is engaged, the male thread side annular protrusion and the female thread side annular protrusion are obtained after tightening the female and male threads. It can be prevented from coming out in the axial direction. Therefore, even when looseness occurs between the female and male screws due to external factors such as a thermal cycle, the screw component having the female screw or the male screw is not detached from the object and dropped off.
[0007]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
An embodiment in which the device for preventing the removal of screw parts according to the present invention is applied to a reciprocating pump used in a semiconductor manufacturing apparatus will be described.
[0008]
In FIG. 1, the reciprocating pump is expanded and contracted in the same direction in
[0009]
The pair of
[0010]
In this case, a pair of
[0011]
The present invention is applied for screwing and fixing the
A
[0012]
As shown in FIGS. 2 and 3, on the outer peripheral surface of the tip of the
[0013]
The dimensional relationship between the outer diameter D1 of the male thread side
[0014]
The cross-sectional shapes of the male thread side
[0015]
Since the outer diameter of the male screw side
[0016]
Also when the
[0017]
【The invention's effect】
According to the present invention, there is an effect that it is possible to easily obtain a screw component retaining state simultaneously with screw tightening without using a locking nut or the like.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is an overall longitudinal front view of a reciprocating pump.
FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view of a part for preventing separation of screw parts.
FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view showing a screw part and an object separated from each other in a screw part detachment preventing device portion;
[Explanation of symbols]
1 Pump head component wall (an example of an object into which a screw part is screwed)
20 Casing (an example of screw parts)
23
Claims (1)
前記ケーシングの外周に前記雌ねじにねじ込まれる雄ねじを設け、前記ケーシング内に弁体とこの弁体を弁座に対して押し付け付勢するばね部材とを内装してあり、
前記雄ねじの先端部の外周面に、該雄ねじの谷径よりも小さい外径の雄ねじ側環状凸起を円周方向に設け、前記雌ねじの内奥部の内周面に、前記雄ねじ側環状凸起の外径よりも小さい内径の雌ねじ側環状凸起を円周方向に設け、前記雌雄ねじの締付け力により前記雄ねじ側環状凸起が前記雌ねじ側環状凸起を乗り越えて該雌ねじ側環状凸起の内奥側に係合するようにしてあり、
前記雄ねじ側環状凸起の外径D1 と前記雌ねじ側環状凸起の内径D2 との寸法関係は、D1 /D2 =1.02〜1.1に設定しており、
前記雄ねじ側環状凸起の断面形状は台形状に形成し、この台形状の雄ねじ側環状凸起の雄ねじ軸方向先端側の一辺を斜辺に形成するとともにこの斜辺と相対向する他辺も斜辺に形成し、
前記雄ねじ側環状凸起の雄ねじ軸方向先端側の斜辺の傾斜角を40°以下に設定し、
ケーシングの先端面及びヘッド構成壁の内奥部端面がケーシング軸方向と垂直に形成され、前記雄ねじ側環状凸起が前記雌ねじ側環状凸起を乗り越えた状態で前記ケーシングの先端面と前記ヘッド構成壁の内奥部端面とを当接可能にしたことを特徴とするねじ部品の離脱防止装置。The screw component is a cylindrical synthetic resin casing of a check valve that is screwed into a female screw provided on the pipe side of the head constituting wall of the reciprocating pump in the semiconductor manufacturing apparatus,
A male screw to be screwed into the female screw is provided on the outer periphery of the casing, and a valve body and a spring member that presses and biases the valve body against the valve seat are provided in the casing.
A male screw side annular protrusion having an outer diameter smaller than the valley diameter of the male screw is provided in a circumferential direction on the outer peripheral surface of the front end portion of the male screw, and the male screw side annular protrusion is provided on the inner peripheral surface of the inner back portion of the female screw. An internal thread-side annular protrusion having an inner diameter smaller than the outside diameter of the protrusion is provided in the circumferential direction, and the external thread-side annular protrusion protrudes over the internal thread-side annular protrusion by the tightening force of the internal and external thread. It is designed to engage with the inner back side of
The dimensional relationship between the outer diameter D1 of the male thread side annular protrusion and the inner diameter D2 of the female thread side annular protrusion is set to D1 / D2 = 1.02 to 1.1,
The cross-sectional shape of the male screw-side annular protrusion is formed in a trapezoidal shape, and one side of the trapezoidal male screw-side annular protrusion on the front end side in the male screw axial direction is formed on the hypotenuse and the other side opposite to the hypotenuse is also formed on the hypotenuse. Forming ,
The inclination angle of the hypotenuse on the front end side of the male screw axial direction of the male screw side annular projection is set to 40 ° or less,
The front end surface of the casing and the head configuration in the state where the front end surface of the casing and the inner back end surface of the head constituting wall are formed perpendicular to the casing axial direction, and the male thread side annular protrusion overtakes the female thread side annular protrusion A device for preventing the removal of screw parts, wherein the inner end portion of the wall can be contacted .
Priority Applications (1)
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JP2000060709A JP3713413B2 (en) | 2000-03-06 | 2000-03-06 | Detachment prevention device for screw parts |
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JP2001248625A JP2001248625A (en) | 2001-09-14 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN107023556A (en) * | 2017-04-27 | 2017-08-08 | 合肥晟泰克汽车电子股份有限公司 | Nut and screw rod |
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2000
- 2000-03-06 JP JP2000060709A patent/JP3713413B2/en not_active Expired - Lifetime
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