JP3670865B2 - スクリーン印刷機 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、プリント基板等の被処理物に開口部を有するスクリーンを介してはんだペーストを印刷しパターン形成を行うスクリーン印刷機に関し、特に、画像認識装置を備え被処理物とスクリーンとの位置合わせ機能を有するスクリーン印刷機に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来のスクリーン印刷機におけるスクリーンと被処理物(以下、基板とする)との位置合わせについて、図1及び図6を用いて説明する。
【0003】
図1は、スクリーン印刷機の構成を示す概略図であり、図6は従来のスクリーン印刷機における制御手段の記憶部での各種情報管理状況を示したものである。
【0004】
図1に示すように、印刷テーブル1は、Z軸上下機構2、X軸移動機構3、Y軸移動機構4、Θ軸回転機構5から成る駆動部6により、X軸、Y軸、Z軸、Θ軸方向に移動可能に支持されている。なお、各機構には図示を省略したが、それぞれ駆動手段が設けてあり、同じく図示を省略した制御手段が移動量を制御している。
【0005】
駆動手段の駆動量、すなわち印刷テーブル1の移動量等のいわゆる機械的な位置情報は、装置情報部のデータを用いて演算部が演算する。
【0006】
印刷テーブル1の上方には、基板7に該当するパターン開口部を有するスクリーン8が設けて有り、基板の種類に応じて取り替えられる。
【0007】
印刷テーブル1の側方には実線で示すようにCCDカメラ9a、9bから成る撮像部9(画像処理装置)が位置し、点線で示すように印刷テーブル1とスクリーン8との間を移動可能に設けてある。
【0008】
図1においては、印刷する基板7に該当する開口部を有するスクリーン8を選択し所定位置に設定した状態を実線で示している。
【0009】
スクリーン8には予め基準マーク8a,8bが設けてあり、CCDカメラ9a,9bが図1において点線で示す位置、すなわちスクリーン8と印刷テーブル1との間に移動して、基準マーク8a,8bを下方から認識する。CCDカメラ9a,9bが基準マーク8a,8bを認識すると、基準マーク位置座標値として図6に示す記憶部の装置情報部に格納する。
【0010】
図6に示すように、制御手段の記憶部(RAM)には、CCDカメラや印刷テーブルの移動距離、位置合わせ精度の許容範囲(許容値)などの装置固有のデータを記憶する装置情報部と、基板の大きさや厚さ等の基板種類により異なる情報を格納する基板印刷情報部、図示を省略したスクリーン情報部等が割り付けてある。
【0011】
なお、図6においては、予め位置合わせ精度の許容範囲として許容値Mが格納されている。図7はスクリーン8と基板7との位置合わせ精度と位置合わせ時間の相関関係の一例を示したものである。図7において、点Mを高精度かつ短時間での位置合わせを最も満足する個所とすると、図6においては、装置情報部の位置合わせ許容範囲として、予め許容値Mが格納されている。
【0012】
基板7を搬送機構(図示略)により搬入して、例えば真空吸着やクランプ等の保持手段により印刷テーブル1上に載置すると、基板7上に印刷されたフィデューシャルマーク(以下、FMと略する)7a,7bの画像をCCDカメラ9a,9bで基板7の上方から認識し、FM位置座標値として図6に示すように記憶部の基板印刷情報部に格納する。そして、装置情報部に格納した基準マーク位置座標値と比較を行い、基準マーク位置座標値に対するFM位置座標値の差を位置ずれ量として算出する。
【0013】
制御手段の演算部にて基準マーク8a,8bにFM位置座標値7a,7bを一致させる方向および距離を算出し、基板7を載置した印刷テーブル1を移動して位置合わせを行なう。
【0014】
なお、基板個々の寸法は製造工程で誤差が生じ厳密に言えば均一ではない。また、基板上に設けたFMも例えばここでは2個所設けているが、FM個々の位置にも誤差が生じ、更には2個所間の距離も厳密には均一にならない。また、機械的移動を行なうため印刷テーブル1およびCCDカメラ9a,9bの移動距離も誤差が含まれており、結果として撮像した画像データにも影響を与えるため、基準マーク8aとFM7a、基準マーク8bとFM7bそれぞれの位置座標値を完全に一致させることは困難である。
【0015】
従って、印刷テーブル1の移動後、再度CCDカメラ9a、9bでFM7a,7bの画像を撮像してFM位置座標値を再度算出し、基準マーク位置座標値に対する新たに得たFM位置座標値のずれ量を算出する。基準マーク位置座標値に対するFM位置座標値を一致させなくても、ずれ量が図6に示す装置情報部に格納した許容値M内となった時点、つまり基準マーク位置座標値から許容値Mで示される所定距離内にFM位置座標値が移動した時点で、位置合わせ完了としている。
【0016】
位置合わせが完了すると、CCDカメラ9a,9bは図1において実線で示す位置に移動して印刷テーブル1上方から退避する。Z軸上下機構2により印刷テーブル1が上昇し、スクリーン8と基板7を密着あるいは所望の距離とし、スクリーン8上方に設けたスキージ(図示省略)が移動してスクリーン8上のはんだペースト(図示省略)を印刷テーブル1上の基板7に転写し、基板7上に所望のパターンを形成、いわゆる印刷を行なう。
【0017】
印刷が終了すると、印刷テーブル1が下降し、基板7の固定が解除され、図示を省略した搬送機構により印刷後の基板7が後工程に搬出される。基板7の搬入から搬出までにかかる時間を、基板一枚の印刷タクトタイムと呼ぶ。
【0018】
【発明が解決しようとする課題】
図7において、許容値Mの時の位置合わせ時間を時間mとすると、時間mよりも位置合わせ時間を短縮することはできず、時間mが位置合わせに要する最短時間となる。
【0019】
しかし、実際に印刷する基板によっては、それほど印刷精度を必要としないものもあり、むしろ印刷タクトタイムの短縮が要求されるものもある。すなわち、印刷パターン密度のみによって印刷精度が決まるのではなく、印刷後の部品搭載やリフロー等によるはんだ付けなどの工程を経た最終製品として捉えた場合に、最終製品としてはどの程度まで歩留まりが要求されているかによって、基板に対して要求される印刷精度が決まる。従って、印刷パターン密度と印刷精度が単純な比例関係にあるとは言えず、印刷パターン密度が高いほど位置合わせ時間が長く必要になるとは、一概には言えない。
【0020】
例えば、最終製品からみた場合に許容値Mより精度の低い許容値で充分な基板の場合でも、位置合わせ時間としては時間mがかかり、位置合わせ時間が余分にかかることになる。
【0021】
すなわち、上記従来技術においては、基準マーク位置座標値に対するFM位置座標値が許容値M内に位置するまで印刷テーブルを移動し、再度FMを撮像して移動後のFM位置座標値を得ているため、印刷精度は向上するが、最終製品として見た場合には必要以上に位置合わせを繰り返すこともある。言い換えると、上記従来技術においては、印刷対象とする基板によっては、必要最低限の位置合わせ回数で収まらず、図7に示す時間m以下に位置合わせ時間を短縮することができず、印刷タクトタイムの短縮ができないという問題が生じる。
【0022】
本発明の目的は、上記課題を解決し、印刷対象の基板種別に応じて適切な位置合わせ時間を得ることができ、効率良い位置合わせを行うスクリーン印刷機を提供することにある。
【0023】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために本発明におけるスクリーン印刷機の特徴とするところは、パターン開口部を有するスクリーンの上面に供給したペーストを、スキージを摺動してスクリーンの下面に設けた被処理物に印刷し、該被処理物にパターンを形成するスクリーン印刷機であって、前記被処理物とスクリーンのそれぞれ対応する個所に設けたマークを撮影する撮像手段と、前記被処理物の位置を制御する制御手段とを備えたものにおいて、前記制御手段が、前記撮像手段により得られた画像を用いて両マークの位置を算出し被処理物とスクリーンとのずれ量を算出する演算部と、該演算部による算出結果として被処理物とスクリーンのそれぞれのマーク位置とずれ量及び位置合わせ結果の判定に用いる、複数の許容値を被処理物の種別に応じて設定格納する記憶部と、該ずれ量と許容値とを比較して位置合わせ結果を判定する判別部とを備えていることにある。
【0024】
また、本発明におけるスクリーン印刷機の他の特徴とするところは、パターン開口部を有するスクリーンの上面に供給したペーストを、スキージを摺動してスクリーンの下面に設けた被処理物に印刷し、該被処理物にパターンを形成するスクリーン印刷機であって、前記被処理物とスクリーンのそれぞれ対応する個所に設けたマークを撮影する撮像手段と、前記被処理物の位置を制御する制御手段とを備えたものにおいて、前記制御手段が、前記撮像手段により得られた画像を用いて両マークの位置を算出し被処理物とスクリーンとのずれ量を算出する演算部と、該演算部による算出結果として被処理物とスクリーンのそれぞれのマーク位置とずれ量及び位置合わせ結果の判定に用いる許容値を被処理物の種別に応じて設定格納する記憶部と、該ずれ量と許容値とを比較して位置合わせ結果を判定する判別部とを備え、次に印刷する被処理物の種別が既に印刷した被処理物の種別と同じ場合には、予め既に印刷した被処理物とスクリーンとのずれ量に基づき位置合わせを行うことにある。
【0025】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態を図1乃至図5を用いて説明する。
【0026】
なお、本実施形態において、スクリーン印刷機の構成は従来と同様なため、図1を用いて説明する。図2は本実施形態におけるスクリーン印刷機の制御手段の記憶部での各種情報管理状況を示したものである。図4及び図5は、本実施形態において図1に示すスクリーン印刷機を用いた場合の印刷手順を示すフローチャートである。
【0027】
なお、図2はスクリーン印刷機における制御手段の記憶部での各種情報管理状況を示す点では図6と同じであるが、図6と比べて位置合わせ精度の許容範囲を示す許容値の格納場所が異なっている。
【0028】
以下、図1を参照しながら、図2乃至図5により本実施形態による印刷手順を説明する。
【0029】
まず、図4のステップS100で記憶部への情報を格納する。ここでは、印刷する基板種別に該当する開口部を有するスクリーン情報を記憶部の装置情報部に格納する。更に、基板種別に応じた基板情報を記憶部の該当する基板印刷情報部に格納する。例えば、印刷する基板種別としてパターン形状が異なる基板については基板種別番号を予め付与し、図2に示すように基板印刷情報部に基板種別番号に対応した基板情報を格納する。ここでは、基板種別番号を基板A、基板Bとして表現している。
【0030】
例えば、基板種別Aを扱う場合には、作業者がどの程度の位置合わせ精度か判断し、例えば許容値として図3に示す点Aに該当する位置合わせ精度の許容範囲(許容値A)を図2に示す記憶部における基板印刷情報部の該当する個所に設定格納する。次に印刷対象となる基板が基板種別Bだった場合には、例えば許容値として図3に示す点Bに該当する位置合わせ精度(許容値B)を図2に示す記憶部における基板印刷情報部の該当する個所に設定格納する。
【0031】
なお、既に述べたように、基板個々の寸法や基板に設けたFMの位置は製造工程により誤差を有しているが、この誤差の傾向は製造工程単位つまり製造ロットが同一であれば同様な傾向を示しているため、更に、作業者が基板種別番号ごとではなく基板の製造ロット番号ごとに位置合わせ精度を設定してもよい。
【0032】
図2には図示していないが、例えば、基板A及び基板Bについてそれぞれ2種類のロットがある場合、記憶部の基板印刷情報部には基板A1、基板A2、基板B1、基板B2として基板情報の格納場所を設け、それぞれに個々の基板情報を格納してもよい。
【0033】
また、本実施形態における記憶部への情報の設定格納は、作業者がスクリーン印刷機の図示していないが例えばハウジングに設けたタッチパネル等の入力手段を用いて直接入力しても、フロッピーディスク等の記憶手段に予め格納しておいた情報を用いて格納してもよく、入力手段に限定されるものではない。
【0034】
ステップS100が終了すると、実際に印刷する基板種別に対応したスクリーン8を諸定位置に設定し、基板7を図示を省略した搬送手段により印刷テーブル1へ搬入し(ステップS101)、例えば真空吸着やクランプ等の保持手段により基板7を印刷テーブル1に固定する。
【0035】
次いで撮像部であるCCDカメラ9a,9bが図1において点線で示す位置、すなわちスクリーン8と印刷テーブル1との間に移動する(ステップS102)。なお、CCDカメラ9a,9bの移動方向は図1に示す移動方向に限定されるものではない。
【0036】
その後、CCDカメラ9a,9bによりスクリーン8に予め設けている基準マーク8a,8bを下方から認識し、基準マーク位置座標値を算出して記憶部のスクリーン情報部に格納する(ステップS103)。
【0037】
次いで、基板7上に印刷されたフィデューシャルマーク(FM)7a,7bの画像をCCDカメラ9a,9bで基板7の上方から認識し、FM位置座標値として図2に示す記憶部における基板印刷情報部の該当する基板種別個所に格納する(ステップS104)。そして、先ほど格納した基準マーク位置座標値と比較を行い、基準マーク位置座標値に対するFM位置座標値の差をずれ量として算出する(ステップS105)。
【0038】
図2に示すように、記憶部には装置固有のデータを記憶する装置情報部と基板により異なるデータを記憶する基板印刷情報部が設けてある。
【0039】
CCDカメラ9a,9bや印刷テーブル1の移動距離などは装置情報部に格納されており、いわゆる機械的な位置情報は装置情報部のデータを用いて演算部が算出し管理し、基板の大きさや厚さ及び許容値等の基板ごとに異なる情報は基板印刷情報部に格納されている。
【0040】
従って、図4に示すように、ステップS106では、基板種別に応じて基板印刷情報部に格納してある許容値を用いてステップS105で算出したずれ量が許容値内かどうか判別する。例えば基板種別として基板Aを対象としている場合には、図2に示すように基板印刷情報部の基板Aにおける許容値Aを用い、基準マーク位置座標値から許容値Aの領域内にFM位置座標値が移動した時点で、位置合わせ完了となる。
【0041】
なお、作業者による許容値の設定は、ステップS106以前であれば何時行ってもよい。また、印刷中に次の印刷対象基板種別に応じた許容値を設定してもよく、印刷開始前に予め印刷対象基板すべての基板種別に応じた許容値の設定を行ってもよい。本実施形態では、ステップS100で予め基板種別に応じた許容値の設定を行っているものとする。
【0042】
以上述べたように、ステップS105で算出したずれ量が許容値内かどうかステップS106で判別する。
【0043】
判別の結果、ずれ量が許容値外の場合にはステップS107に進み、演算部にて基準マーク位置座標にFM位置座標を一致させる方向及び距離を算出し、印刷テーブル1を移動して位置合わせを行う。
【0044】
なお、ステップS108にて印刷テーブル1の移動量をテーブル累積移動量として格納するが、格納場所は図2に示すように基板印刷情報部に設けたテーブル累積移動量であり、ステップS100において初期値0が格納されている。従って、一回目の印刷テーブル1の移動量に初期値0が加算されてテーブル累積移動量として格納されている。
【0045】
その後、ステップS104に戻り、再度CCDカメラ9a、9bでFMの画像を撮像し、FM位置座標値を算出する。そして、ステップS105で基準マーク位置座標値に対するFM位置座標値のずれ量を算出しステップS106に進む。
【0046】
ステップS106にて許容値外であれば、再度印刷テーブル1を移動して位置合わせを行い(ステップS107)、二回目の印刷テーブル1の移動量に既に格納されているテーブル累積移動量を加算して、再度テーブル累積移動量として格納する。従って、ステップS106でずれ量が許容値内になるまで、位置合わせを行うとともに、ずれ量が許容値内になった時点での印刷テーブル1の総移動量をテーブル累積移動量として格納している。
【0047】
ステップS106にて許容値内であれば、図5に示すステップS109に進む。すなわち、CCDカメラ9a,9bが図1において実線で示す位置に移動して退避し、印刷テーブル1が上昇する(ステップS109)。印刷テーブル1の上昇によりスクリーン8と基板7を密着あるいは所望の距離とした後、基板7に対して所定の高さに位置し、スキージ(図示省略)が移動してスクリーン8上のはんだペースト(図示省略)を印刷テーブル1上の基板7に転写し、基板7上に所望のパターンを形成、いわゆる印刷を行なう(ステップS110)。
【0048】
印刷が終了すると、印刷テーブル1が下降し、基板7の固定が解除され、図示を省略した搬送機構により印刷後の基板7が後工程に搬出される(ステップS111)。ステップS101の基板搬入からステップS111の基板搬出までが、基板一枚の印刷タクトタイムとなる。
【0049】
図5のステップS112では、次に印刷する基板の有無を判別し、基板が無い場合は印刷を終了し、基板がある場合はステップS113に進む。
【0050】
ステップS113では、基板の種類つまり基板種別に変更があるか判別し、変更がある場合は更に新たに記憶部への情報格納が必要か判別して(ステップS114)、新たな情報格納が必要な場合は図4に示すステップS100に戻り、不要な場合はステップS101に戻る。
【0051】
ステップS113で基板種別に変更が無い場合は、ステップS115に進み、スクリーンは変更しないまま基板を搬入する。
【0052】
基板の搬入後ステップS108で累積した図2に示すテーブル累積移動量の格納値、すなわち、次に印刷する基板の基板種別が同一の場合には、初回に搬入した基板における印刷テーブル1の総移動量を示すテーブル累積移動量を用いて印刷テーブル1を移動する(ステップS116)。
【0053】
なお、ここでは、テーブル累積移動量の算出を初回に搬入した基板に対してだけ行っているが、印刷テーブル1の総移動量を搬入基板ごとに算出し、直前に搬入した基板におけるテーブル累積移動量をステップS116において用いて位置合わせを行ってもよい。
【0054】
ステップS116で印刷テーブル1を移動すると、ステップS117で許容値の変更を行うか確認する。例えば、ステップS111で搬出された基板に対する印刷状態を作業者が検査し、あるいは、印刷タクトタイムから許容値の変更が必要と判断した場合には、ステップS118に進み許容値変更の指令を出し、図2に示す記憶部における基板印刷情報部の該当する基板種別の個所に格納されている許容値を変更し、図4に示すステップS102に戻る。許容値の変更を行わない場合は、そのままステップS102に戻る。
【0055】
なお、印刷状態の検査や許容値変更の指令は自動的に行ってもよく、また、許容値変更の指令が出ていた場合に、許容値自体を変更するのではなく新たな許容値を追加して格納し、ステップS106では追加した新たな許容値を指定して用いてもよい。
【0056】
更に、ステップS100で許容値を設定した際に、設定した許容値よりも高精度と低精度の複数の許容値を追加設定し、ステップS117にて現状との比較から印刷をより高精度に行うか否か、または位置合わせ時間を更に短縮するか否かを選択するものとし、選択結果に対応して許容値を指定するようにしてもよい。
【0057】
このように、例えば、最終製品からみた場合に許容値Aで充分な基板Aの場合は、図3に示すように、位置合わせ時間としては時間aがかかり、許容値Bでも充分と判断された更に精度が低くても十分な基板Bの場合には時間bの位置合わせ時間で足りる。これにより、位置合わせ時間を短縮し、印刷タクトタイムの短縮を図ることができる。
【0058】
以上述べたように、本実施形態において、作業者が位置合わせ精度の許容値を印刷対象とする基板の種別毎に設定し基板印刷情報部に格納するため、位置合わせ時には該当する基板印刷情報部の許容値と比較することにより、位置合わせ時間を基板に応じた最適な時間とすることができ、印刷タクトタイムを基板に応じて適切な時間にすることができる。
【0059】
また、本実施形態においては、次に印刷する基板の種別に変更が無い場合に、既に求めたずれ量に基づき位置合わせを行うため、撮像部の移動回数を減らすことができ、従って、位置合わせ時間を短縮することができる。
【0060】
更に本実施形態においては、位置合わせ結果の判定に用いる基板種別毎の許容値を、基板に応じて指定することができるため、位置合わせ時間を基板に応じた最適な時間とすることができ、印刷タクトタイムを基板に応じて適切な時間にすることができる。
【0061】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、印刷対象とする基板の種別毎に位置合わせ精度の許容値を設定し基板印刷情報部に格納するため、位置合わせ時には該当する基板印刷情報部の許容値と比較することにより、位置合わせ時間を基板に応じた最適な時間とすることができ、印刷タクトタイムを基板の種類に応じた適切な時間にすることができる。
【0062】
また、本発明によれば、次に印刷する基板の種別に変更が無い場合に、既に求めたずれ量に基づき位置合わせを行うため、撮像部の移動回数を減らすことができ、従って、位置合わせ時間を短縮することができ、基板種別に応じた適切な位置合わせ時間を得ることができ、印刷タクトタイムを基板の種類に応じた適切な時間にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明が適用されるスクリーン印刷機の構成例を示す図である。
【図2】本発明の実施形態における、制御手段の記憶部での各種情報管理状況を示した図である。
【図3】本発明における、スクリーンと基板との位置合わせ精度と位置合わせ時間の相関関係を示す図である。
【図4】本発明の実施形態における、スクリーン印刷機を用いた場合の印刷手順を示すフローチャートである。
【図5】本発明の実施形態における、スクリーン印刷機を用いた場合の印刷手順を示すフローチャートである。
【図6】従来のスクリーン印刷機における、制御手段の記憶部での各種情報管理状況を示した図である。
【図7】従来のスクリーン印刷機における、スクリーンと基板との位置合わせ精度と位置合わせ時間の相関関係を示す図である。
【符号の説明】
1…印刷テーブル 2…Z軸上下機構 3…X軸移動機構
4…Y軸移動機構 5…Θ軸回転機構 6…駆動部
7…基板 7a,7b…フィデューシャルマーク (FM)
8…スクリーン 8a,8b…基準マーク
9a,9b…CCDカメラ
Claims (2)
- パターン開口部を有するスクリーンの上面に供給したペーストを、スキージを摺動してスクリーンの下面に設けた被処理物に印刷し、該被処理物にパターンを形成するスクリーン印刷機であって、前記被処理物とスクリーンのそれぞれ対応する個所に設けたマークを撮影する撮像手段と、前記被処理物の位置を制御する制御手段とを備えたものにおいて、
前記制御手段は、
前記撮像手段により得られた画像を用いて両マークの位置を算出し被処理物とスクリーンとのずれ量を算出する演算部と、
該演算部による算出結果として被処理物とスクリーンのそれぞれのマーク位置とずれ量及び位置合わせ結果の判定に用いる複数の許容値を被処理物の種別に応じて設定格納する記憶部と、
該ずれ量と許容値とを比較して位置合わせ結果を判定する判別部とを備えてずれ量が許容値内になるまで繰り返し位置合わせを行い、位置合わせを行ったときの移動量に次の位置合わせを行ったときの移動量を加算してずれ量が許容値内になった時点での各移動量が加算された総移動量を累積移動量として記憶部に格納し、該累積移動量で同一の種別の被処理物であって次に印刷する被処理物の移動を行い、しかる後に次に印刷する被処理物のずれ量と許容値とを比較して位置合わせ結果を前記判別部によって判定する
ことを特徴とするスクリーン印刷機。 - 請求項1に記載のスクリーン印刷機において、
上記判別部が使用する許容値を被処理物に応じて指定する手段を備えたことを特徴とするスクリーン印刷機。
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