JP3664980B2 - 複合ガスセンサ - Google Patents
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Description
本発明は、ガスセンサ、特に燃焼ガス中の窒素酸化物等の酸性ガス濃度と被検ガス雰囲気中の酸素濃度を検知する複合ガスセンサに関するものである。
背景技術
自動車をはじめとした内燃機関、火力発電所、あるいは工場プラント等の燃焼機器から窒素酸化物(NOx)をはじめとして炭化水素ガス(HC)、酸化硫黄(SOx)、CO、CO2等の様々な有害なガスが排出されている。これらは環境ガスと呼ばれ、環境ガス排出に対して厳しい法的規制が施行されてきている。このため、排出される環境ガス濃度を低コストで低濃度まで検知できるガスセンサの開発が望まれている。
近年、自動車などのエンジン排ガス中に直接挿入して連続測定が行える全固体型ガスセンサが注目され、これらの研究開発について近年多くの報告がなされている。本発明者らも、既に排気ガス中の総NOx濃度をリアルタイムに測定することができる、混成電位式のNOxセンサを提案している。たとえば、特開平11−201942号公報では、ジルコニア固体電解質にて形成された測定室内に混成電位式のNOx検知電極を設置し、同じ測定室内にそれと対面するようにNOx変換電極を設置してある。すなわち、排ガス中のNOx(NOおよびNO2)をNO2単体ガスに電気化学的に変換し、NOx検知極で総NOx濃度としてのNO2濃度を検知するものである。特開平11−201942号公報の例では、測定室内のNOxをNO2に変換するための酸素ポンプ(変換ポンプ)と缶室内の酸素濃度を調節するための酸素ポンプが設置されている。また、前述したNOx検知極の基準極および缶室内の酸素濃度を測定するための酸素検知極が測定室内に設置されている。同一雰囲気中の酸素濃度に起因する酸素検知極の電位をNOx検知極の基準電位とすることにより、測定室内の酸素濃度が変動してもNOxセンサの出力が影響を受け難いセンサ構成をとっている。
しかしながら、例えば自動車排ガスでは酸素濃度変動が大きく、更に変化速度も非常に急である。そのため、特開平11−201942号公報等に示される缶室構造のNOxセンサ素子においては、ガス測定室内の酸素濃度を、ガス測定室内にNOxと同時に流入するHCやCO等の干渉ガスを酸化無害化することや、混成電位型センサに必要な検知極近傍の酸素濃度を、数%レベルのほぼ一定値にする必要がある。従って、ガス測定空間内の酸素濃度検知やその信号出力をフィードバックし酸素ポンプ駆動を行うシステムの異常は本センサ出力の信頼性に大きな誤差を与えることになる。また、その前提条件としてガス測定空間や大気導入ダクトのガス気密性が正常に保たれていることが必要である。
一方、自動車の排ガスの温度は近年益々高くなり、また温度変動もその運転状態により大きく変動する。また、センセ電極に有害な排気ガス成分も多く含まれ、その上車体やエンジン振動も大きい。このような過酷な環境下で用いる排気ガスセンサの信頼性の向上が非常に重要となってくる。
しかしながら、特開平11−201942号公報等に開示される従来のNOxセンサでは、前述のガス測定室内の酸素濃度検知やその信号出力をフィードバックし酸素ポンプ駆動を行うシステムに異常が生じても、それがセンサ異常であるかどうか自己診断できなかった。また、ガス測定空間や大気導入ダクトのガス気密性に関して、使用中にガス気密性が低下してセンサ出力に影響を与えても、それがセンサの異常であるかどうか使用者に知らしめる手段を有していなかった。すなわち、前述のNOxセンサのように、センサ使用過程での電極劣化、ガス測定空間の酸素濃度制御異常、ガス測定空間や大気ダクトのガス気密性の低下が生じても、センサ異常であることを判断できないという課題を有していた。
発明の開示
本発明は前述した課題を解決することを解決すべき課題とする。
本発明によれば、酸素イオン伝導性固体電解質で形成された第1のガス測定室と、当該測定室に流入する被検ガス量を制限するための拡散抵抗を有する第1のガス導入口と、この空間を形成する第1の酸素イオン伝導性固体電解質基板の前記ガス測定空間側の面に固定された酸素のみに活性な第1の酸素検知電極と、この同一面上に固定された少なくとも被検ガスおよび酸素に活性なガス検知電極と、前記第1の固体電解質基板上に前記ガス測定空間とは異なる大気雰囲気に連通するように設置された酸素に活性な基準電極と、第1のガス測定室を形成する第1の固体電解質基板に対面する第2の固体電解質基板に固定され酸素のみに活性な電極材で形成された第1のガス測定室内の酸素濃度を調節するための酸素ポンプセルと、前記第2の固体電解質基板上の第1のガス測定室内にガス検知電極と対面するように固定され、被検ガスを化学的あるいは電気化学的に変換または分解するための酸素及び被検ガスに活性なガス処理電極と、前記第2の固体電解質基板上のガス測定室の外側でかつ大気に連通するように設置されたガス処理対極とからなるガス処理ポンプセルと、第1の固体電解質基板上に被検ガス雰囲気と直接触れるように固定され、酸素のみに活性な第2の酸素検知電極とを具備した構成を特徴とする複合ガスセンサが提供される。
さらに本発明によれば、ガス測定空間を形成する固体電解質基板に対面する固体電解質基板に固定され酸素のみに活性な電極材で形成されたガス測定室内の酸素濃度を調節するための酸素ポンプセルと、前記固体電解質基板上のガス測定室内にガス検知電極と対面するように固定され、被検ガスを化学的あるいは電気化学的に変換または分解するための酸素及び被検ガスに活性なガス処理電極と、前記固体電解質基板上のガス測定室の外側でかつ大気に連通するように設置されたガス処理対極とからなるガス処理ポンプセルにおいて、当該酸素ポンプセルの酸素ポンピング量を酸素検知電極と基準電極との間の起電力を信号出力として酸素ポンプのセル印加電圧へフィードバックしガス測定室の酸素濃度を一定に制御するための直流可変電源と、当該ガス処理ポンプセルの酸素ポンピング量を一定にし、かつ被検ガスの電気化学的な分解あるいは変換量を一定にするための直流定電圧電源とが前記酸素ポンプセルおよびガス処理ポンプセルとにそれぞれ接続されたセル駆動回路を有することを特徴とする複合ガスセンサが提供される。
本発明によれば、酸素イオン伝導性固体電解質で形成されたガス測定室を有するガスセンサにおいて、当該ガス測定室内の酸素濃度あるいは酸素ポンプ電流と、被検ガス雰囲気中の酸素濃度とを組み合わせて比較判定することによりガスセンサ素子の異常を自己診断することができる。これによって、従来のガスセンサの作動状態を常に自動的に監視することができる。特に、過酷な環境下で使用される車載用ガスセンサに本発明を適用することで、センサの信頼性は格段に向上する。さらに、本発明のガスセンサは直接被検ガス雰囲気中の酸素濃度を測定することができるので、例えば車載用NOxセンサであれば排ガス中のNOx濃度と同時に酸素濃度も同時に測定することができる。
【図面の簡単な説明】
図1は、本発明センサの一例を示す断面構造図である。
図2は、本発明センサの一例を示す断面構造図である。
図3は、本発明センサの一例を示す断面構造図である。
図4は、本発明センサの自己診断方法の一例を示す回路原理図である。
図5は、本発明センサの自己診断方法の一例を示す診断ロジックである。
図6は、本発明センサの自己診断方法の一例を示す診断ロジックである。
図7は、本発明センサの自己診断方法に用いる特性曲線である。
図8は、本発明センサの自己診断方法の一例を示す診断ロジックである。
図9は、本発明センサの自己診断方法に用いる特性曲線である。
図10は、本発明センサの一例を示す断面構造図である。
発明を実施するための最良の形態
本発明ガスセンサの基本構造を図1に示す。本センサ構造は、2枚の酸素イオン伝導性固体電解質基板で形成された第1のガス測定室1と、被検ガスの流入量を制限するためのガス拡散抵抗を有する第1のガス導入口11と、この測定室を形成する第1の酸素イオン伝導性固体電解質基板3aの前記ガス測定室側の面に固定された酸素のみに活性な第1の酸素検知電極4と、この同一面上に固定された少なくとも被検ガスおよび酸素に活性なガス検知電極6と、第1の固体電解質基板3a上にガス測定室1とは異なる大気雰囲気に連通するように設置された酸素に活性な基準電極7と、第1のガス測定室を形成する第1の固体電解質基板に対面する第2の固体電解質基板3bに固定され酸素のみに活性な電極材で形成された第1のガス測定室内の酸素濃度を調節するための酸素ポンプセル(8a、8b)と、第2の固体電解質基板3b上の第1のガス測定室内にガス検知電極と対面するように固定され、被検ガスを化学的あるいは電気化学的に変換または分解するための酸素及び被検ガスに活性なガス処理電極9aと、前記第2の固体電解質基板上のガス測定室の外側でかつ大気に連通するように設置されたガス処理対極9bとからなるガス処理ポンプセルと、第1の固体電解質基板上に被検ガス雰囲気と直接触れるように固定され、酸素のみに活性な第2の酸素検知電極5とを具備した構成を特徴とする。
本構成のガスセンサの具体的な使用例である複合NOxセンサにより、以下に詳細な説明を行う。前述の図1によるNOxセンサは、自動車の排気ガス中の総NOxを検知することができる。まず、ガス導入口11よりガス測定室1内に拡散流入するNOx(NO & NO2)と排ガス中に含まれる炭化水素ガス(HC)、CO、CO2、SOx、H2O、O2、等のうち、HCやCOの還元性ガスを酸素ポンプセル8a、8bにより大気導入ダクト13を介して酸素を出し入れし、ガス測定室1内を所定の酸素濃度に保持することで酸化無害化する。これは、通常本ガスセンサが500℃以上に加熱保持されて用いられるため、HCやCOの還元性ガスは、ガス測定室を構成する固体電解質や電極材料の触媒作用により瞬時に酸化し、CO2やH2Oの無害なガスに変換されるためである。
次に、残ったNOxはガス処理電極9aであるNOx変換電極によりNOx中のNOをNO2に電気化学的に変換される。このNOx変換電極は、NOxと酸素に対して活性であり、少なくとも本電極上でポンピングされた酸素によりNOをNO2化することができる。ガス測定室内に設置されたNOx変換電極をアノードに、ガス測定室の外側で固体電解質基板を挟んで、且つ大気に通ずる大気導入ダクト13内に設置されるNOx変換対極をカソードにして、一定の電位を印加することで作動する。NOx変換電極とその対極からなるNOx変換セルは、基本的に酸素ポンプセル(8a、8b)と同じであるが、ガス測定室に配置される電極にNOxに対する活性の差異がある。
続いて、NOx変換電極によりNO2化されたNOxは、NOx変換電極に対面して設置されているNOx検知極6により混成電位として検知される。この時のNOx出力は、基準電極7とNOx検知極6との間の電位差、あるいはNOx検知極6と第1の酸素検知電極4との間の電位差を測定することで得られる。すなわち、排ガス中の総NOx濃度は本センサによりHC等の干渉ガスに影響されずに検知することができる。
図2に示すセンサ構造では、ガス処理ポンプセルの代わりに、ガス処理触媒層10が設置されている構造例である。排ガス中の総NOx検知を行うセンサの作動方法として、センサ作動温度を高くし、酸素濃度を低めに設定することによりNOが主成分のガス平衡状態に導くことができる。すなわち、排ガス中のNOxは、ガス測定室1内でNOガスに変換されたといえる効果を有する。この変換されたNOを前述のNOx検知極6で混成電位として検出するものである。この場合においても、センサ異常を検知することは前述の内容と同じである。
先に触れたように図1あるいは図2に示されるセンサ構造では、ガス測定室1内の酸素濃度は、HC等の干渉ガスの酸化除去、および安定な混成電位出力を得るために酸素濃度を数%レベルの所定濃度に保持されることが必要である。そのために、ガス測定室1内に酸素検知電極4を設置し、基準電極7との間の酸素濃度差に起因する起電力を検出し、その信号出力1(図中V02での電圧出力)を酸素ポンプセル(8a、8b)の駆動電圧にフィードバック制御する。例えば、ガス測定室1内の設定酸素濃度を2%とした場合、設定電圧はセンサ温度600℃において−43mVである。
センサの何らかの異常により、ガス測定室1内の酸素濃度を検出する信号出力1が信頼できない状態に陥ると、当然ながらNOxセンサのNOx濃度出力に大きな誤差を生じることは言うまでもない。すなわち、ガス測定室1内の酸素濃度が異常低下した場合には、排ガス中のHCが酸化除去されずに、NOx検出極に到達するとNOx検知信号は大きく低下する。また、NOx検出極自体のNO2感度の酸素濃度依存性は酸素濃度の対数に比例して変化する。そのため、ガス測定室1内の酸素濃度の異常低下は、やはりNOx検知信号を増大させる。一方、ガス測定室1内の酸素濃度が異常に上昇した場合には、NOx検出極自体のNO2感度の酸素濃度依存性のため、NOx検知信号を減少させる。
前記のセンサ異常の原因は、例えば酸素検知電極4、5の被毒等による異常劣化がある。このとき、検出電位(信号出力2)が変化し、所定酸素濃度であっても過剰あるいは過少な酸素ポンピングを行おうとする。また、大気導入ダクト13のガス気密性が低下した場合には、排ガス雰囲気の酸素濃度は通常大気中に比べて非常に低いため、酸素ポンピング能力が低下し、ガス測定室内の酸素濃度は所定値に達しないことがある。さらに、大気基準ダクト14のガス気密性が低下した場合には、基準電極7の電位が排ガス雰囲気の酸素濃度に依存し、通常その電位は低下する。そのため、ガス測定室内の酸素検知極5との間の起電力の絶対値は減少し、前述の酸素ポンピングの制御異常の原因となる。
本発明センサの基本構成の一つである図1あるいは図2に示されるセンサ構造においては、それ故第1の固体電解質基板上に被検ガス雰囲気と直接触れるように固定され、酸素のみに活性な第2の酸素検知電極5とを具備した構成とし、基準電極7と酸素検知電極5との間に生ずる起電力(信号出力2)を排ガス雰囲気中の酸素濃度として検知して、前述の信号出力1あるいは酸素ポンプ電流の信号出力と比較判定することにより、センサ異常を検知することができる。
図1や図2に示すガス測定室1内の酸素濃度制御を行う構成のガスセンサの具体的診断方法に関しては、図4の診断回路原理図に例示される異常検出方法が提案される。図4の診断回路原理図は、4つの部分から構成される。第1の部分は入力および電圧比較部、第2の部分は診断モード制御部、第3の部分は信号演算部、第4の部分は診断結果出力部である。酸素ポンプセル(8a、8b)の電流信号Vipを信号I、ガス測定室1内の酸素濃度信号V02を信号II、被検ガス雰囲気中の酸素濃度信号V* 02を信号IIIとする。ガス測定室1内の酸素濃度信号V02が所定の設定値Vsに等しい場合、すなわちウインド・コンパレータからの出力がゼロの時(V02=Vs)の診断モードを診断Aとする。
また、ガス測定室1内の酸素濃度が所定の設定値と異なる場合、すなわちウインド・コンパレータからの出力がゼロでない時(V02≠V3)の診断モードを診断Rとする。診断モードAの場合、酸素ポンプ電流がゼロで、かつガス測定室1内の酵素濃度と被検ガス中の酸素濃度が等しければ(V02=V* 02)、正常作動と判断し、逆に酸素ポンプ電流がゼロにもかかわらず、ガス測定室1内の酸素濃度と被検ガス中の酸素濃度が異なれば(V02≠V* 02)、異常と判断し結果を出力する。同じく、ガス測定室1内の酸素濃度VO2と被検ガス中の酸素濃度が等しいにもかかわらず(V02=V* 02)、酸素ポンプ電流がゼロでなければ、異常と判断し結果を出力する。
一方、診断モードBの場合を述べる。ガス測定室1内の酸素濃度信号V02が所定の酸素濃度設定値Vsよりも低ければ、酸素ポンプは測定室1内へ酸素を汲み込む方向になければならない。逆に高い場合には、酸素ポンプは測定室1から酸素を排出する方向である。これらの酸素ポンピング方向と、ガス測定室1内の酸素濃度信号と設定値との差(V02−Vs)、および酸素ポンプ電流信号Vipとを比較する診断を行い、正常・異常の判断を行う。これらの診断動作はアナログ回路でも実施可能であるが、マイクロコンピュータを用いればより複雑な診断動作を行うことができる。
また、本発明のもう一つの基本構造を図3に示す。本センサ構造は、前述の図1に示されるセンサ構造において酸素ポンプセル8a、8bを削除し、酸素ポンピングはガス処理ポンプセル9a、9bによるもののみとなる。更に、図1のセンサ構成と異なる点は、ガス測定室1内の酸素濃度信号を酸素濃度制御としてフィードバックしていないことである。すなわち、酸素ポンピング量はガス処理ポンプセルによる一定の酸素導入による。
図3のセンサ構成においては、ガス測定室1内の酸素濃度制御を行わないため、その酸素濃度は排ガス雰囲気中の酸素濃度変動に有る程度影響される。そのため、本センサ構成においては、NOx検知電極6と基準電極7との間の電位差VNOxを直接NOx検知出力として用いることは好ましくない。それ故、本センサ構成においては、NOx検知電極6と酸素検知電極4との間の電位差V’NOxを測定することが望ましい。あるいは、酸素検知電極4と基準電極7との間の電位差V02を用いて、NOx検知電極6と基準電極7との間の電位差VNOxとの差分をとる方式を用いることが好ましい。
図3のセンサ構造におけるセンサ異常は、基本的に図1あるいは図2の構成にあるセンサと同様である。しかしながら、本センサ構成では、酸素濃度調整用の酸素ポンプ8a、8bがないため、酸素ポンピング電流ipを自己診断用の信号として用いることはできない。そこで、本センサ構成におけるセンサ異常の自己診断方法は、次のように設定される。すなわち、ガス測定室1内の酸素濃度信号V02とガス測定室2内の酸素濃度信号(排ガス雰囲気中の酸素濃度信号)V* 02とを差分して得られたδV02が所定値(0以上)以上にあるか、比較判定を行うことにより少なくとも大きな異常を検知することができる。この自己診断ロジックの基本的な例を図5に示す。
しかしながら、図5に示すような診断ロジックでは、微小なガスシール性の低下などは、検出し難いことが容易に想像できる。そこで、図6に示す診断ロジックが提案される。この方式は、ガス測定室1内の酸素濃度信号V02とガス測定室2内の酸素濃度信号(排ガス雰囲気中の酸素濃度信号)V* 02とを随時マップデータと比較し、所定の偏差量を越えた位置にある時にセンサ異常を発するものである。これは、図6に示されるように随時モニタされるV02とV* 02とをマッピング処理(MESDAT)し、その位置データを既に記憶してある正常状態でのマップデータ(NORDAT)と比較する(COMPDAT)ことで、センサ異常を判定する。マップデータ(NORDAT)は、例えば図7のようなV02とV* 02を変数としてNOx変換ポンプセルの電流値i* pにおけるマッピングを行う。例えば、この特性曲線i* p1から所定量の誤差を許容したエリアをはずれる場合に、センサ異常を発する。
同様なマップデータ比較判定により、基準電極7が設置されている大気基準ダクトのガス気密性の異常を診断することができる。例えば、図8に示すようにガス測定室1内の酸素濃度信号V02とガス測定室2内の酸素濃度信号(排ガス雰囲気中の酸素濃度信号)V* 02とを差分して得られたδV02が、図9のようにV* 02に対してi* pにおけるマッピングを行う。例えば、この特性曲線i* p1から所定量の誤差を許容したエリアをはずれる場合に、センサ異常を発する。
図3に示されるセンサ構成における、自己診断方法は図1のセンサ構造にも適用できることは、いうまでもない。更に、本発明のセンサ構成において、被検ガス濃度検知やセンサの自己診断を行えることの他に、被検ガス雰囲気中の酸素濃度も直接検知し、それを他のシステムに利用することができる。
本発明の好ましい実施形態のセンサ断面構造が図1から図3に示されている。これらのセンサの好ましい作製方法としては、酸素イオン伝導性固体電解質のグリーンシートの積層によってなされる。酸素イオン伝導性の固体電解質として、通常、イットリア(Y2O3)添加ジルコニアが用いられる。イットリアの添加量は3〜8mol%であるのが一般的である。添加材としてイットリアの他に、マグネシア(MgO)、セリア(CeO)等も用いてもよい。
ジルコニアのグリーンシートの作製には、まず原料粉としてのジルコニア粉が用意される。ジルコニア粉はすでに所定量のY2O3やMgOなどが添加されたものが使用される。図1〜図3のセンサを作製する場合、このジルコニアグリーンシート上にスクリーン印刷等で各種電極(4、5、6、7、8a、8b、9a、9b、10)用のペーストを塗布形成する。また、各種電極から信号等を取り出すためのリード導体や、絶縁層、ヒーター等も別途印刷形成される。スクリーン印刷完了後、各層のグリーンシートを重ね合わせ、加温しながら圧着する。積層圧着されたクリーン積層体を約600℃で脱脂焼成したのち、通常1400℃以上で焼結焼成を行う。最後にリード端子にPtなどのリード線を溶接して測定に供される。
前述の電極については、以下のような材料が選定される。酸素検知電極4、5、基準電極7、酸素ポンプ電極8a、8b、ガス処理対極9bについては、酸素のみに活性なPtが用いられる。また、ガス処理電極9a、ガス検知電極6は、少なくとも被検ガスと酸素に対して活性を有していることが必要である。NOxセンサの場合においては、ガス処理電極(NOx変換電極)用にRhやPt−Rh合金等が使用される。また、NOx検知電極用としては、Rh、Pt−Rh合金、NiCr2O4、MgCr2O4、Cr2O3等の各種金属材料および金属酸化物材料が供される。
図1〜図3に例示される構造のセンサでは、自己加熱手段は記入されていないが、実際のセンサ使用に際しては、通常、ヒーター基板が設置される。ヒーター基板は熱伝導効率や温度制御性の点からセンサ基板部と一体接合された構造が望ましい。さらに、センサ積層体の温度分布の均一性や、熱ひずみの緩和の点から図11に示すようにセンサ積層体の両面(図中の上下面)にそれぞれヒーター基板を設置することが望ましい。
これら本発明センサの駆動方法は、前述のごとく酸素ポンプセルには電圧可変型の直流電源15が用いられる。この電源15の電圧は酸素検知極4と基準極7との間の起電力をフィードバックし制御する。
一方、ガス処理ポンプセルには、所定の電圧が一定に印加する定電圧の直流電源16が接続される。この印加電圧は、ガス処理能力や酸素ポンピング能力等の最適な領域が用いられる。
本発明センサの各種信号は、ポンプ電流以外は電極間の電位差として測定される。ガス測定室1、2内の酸素濃度は酸素検知電極4、5と基準電極7との間に生じる濃淡起電力である。一方、ガス検知極6と基準電極7あるいは酸素検知極4間の電位差は混成電位によるものである。濃淡起電力は、同一ガス種の濃度ポテンシャルに起因する電位であることを考慮しなければならない。これらの、電位測定には簡便な方法として、電位差計(回路)が用いられるが電極インピーダンスに比して、通常、3桁以上高い入力インピーダンスを有していることが精度上好ましい。他方、酸素ポンプ電流は電流計で測定されるが、本発明に適用される場合にはポンプ電流を電圧信号として取り出して供される。
本発明の自己診断方法としては、以下の実施例を用いて詳細に説明を行う。
(実施例1)
図10に示すような構造を有するNOxセンサを以下の方法で作製した。酸素イオン伝導性のY2O3固溶ジルコニアのグリーンシート上にPt電極(4、5、7、8a、8b、9b)とPt−Rh合金電極(6、9a)を印刷して、前記センサ構造に積層圧着を行った。この積層体を1400℃の温度で焼結し、センサ素子を作製した。このセンサをヒータ17a、17bを用いて600℃に加熱保持し、各種酸素濃度とNOx濃度からなる被検ガスに対するNOx検知出力を測定した。
NOx出力はNOx検知電極6と酸素検知電極4との間の電位差を測定した。測定結果を表1に示す。このとき、ガス測定室1内の酸素濃度信号を酸素ポンプの可変電源にフィードバックする制御を行っており、被検ガス中の酸素濃度が変化しても測定室内の酸素濃度は、所定の酸素濃度(この場合2.0%)に維持されるので、被検ガス中の干渉(この場合、酸素ガス)濃度の影響を抑え、信頼性の高いNOx濃度の測定が行われていることが確認された。
【表1】 一方、図4に示す原理の自己診断回路を作製し、センサの駆動回路および測定回路と一緒にセンサに接続した。ここでは、被検ガス中の酸素濃度をガス測定室1の設定酸素濃度に等しい2%にした場合の正常・異常の診断機能について確認した。すなわち、酸素検知電極4と基準電極7との間の起電力に基づいて、ガス測定室1内の酸素濃度を常に2%になるように酸素ポンプセル(8a、8b)を駆動しているが、被検ガス中の酸素濃度が2%になると、測定室1中へ酸素ポンピングを行う必要がなくなる。これと同時に、第2の酸素検知極5と基準電極7との間の起電力から、被検ガス中の酸素濃度が2%になっていることが分かる。この場合、酸素ポンプ電流がゼロになり、測定室内の酸素検知電極4と酸素ポンピング制御が正常に作動していることが診断回路の信号出力から確認された。
(実施例2)
実施例1と同様のセンサを作製し、前述の自己診断回路を接続したNOxセンサを用意した。ここでは、被検ガス中の酸素濃度を0.1%にした。この場合、診断回路の出力信号から酸素ポンプの出力電流はガス測定室1内に酸素を送り込むように正の方向で約400μA流れていることが確認された。しかし、測定室1内の酸素検知電極の電位が所定の酸素濃度の2%に対応する電位に上昇せず、すなわちセンサの異常を示した。詳細な検査を行った結果、センサ素子のジルコニア基板の一部に亀裂が生じていたことが確認された。
Claims (8)
- 第1及び第2の酸素イオン伝導性固体電解質基板(3a,3b)により形成される第1のガス測定室(1)と、
前記第1のガス測定室(1)に流入する被検ガス量を制限するための拡散抵抗を有する第1のガス導入口(11)と、
前記第1のガス測定室(1)内の前記第1の固体電解質基板(3a)表面に固定され、酸素にのみ活性な第1の酸素検知電極(4)と、
前記第1の固体電解質基板(3a)の前記第1の酸素検知電極(4)が形成された面と同じ面に固定され、少なくとも被検ガスおよび酸素に活性なガス検知電極(6)と、
前記第1の固体電解質基板(3a)の前記第1の酸素電極(4)およびガス検知電極(6)が固定された面の反対側で、前記第1のガス測定室(1)から隔離され大気雰囲気に連通する大気基準ダクト(14)内の面に固定され、酸素に活性な基準電極(7)と、
前記第2の固体電解質基板(3b)上の第1のガス測定室内にガス検知電極(6)と対面するように固定され、被検ガスを化学的あるいは電気化学的に変換または分解するための酸素および被検ガスに活性なガス処理電極(9a)と、前記第2の固体電解質基板( 3b )上のガス測定室の外側でかつ大気に連通する大気導入ダクト(13)に設置されたガス処理対極(9b)とからなるガス処理ポンプセルと、第1の固体電解質基板(3a)上に被検ガス雰囲気と直接触れるように固定され、酸素のみに活性な第2の酸素検知電極(5)とを具備した構成を特徴とする複合ガスセンサ。 - 請求項1に記載の複合ガスセンサにおいて、前記第2の固体電解質基板(3b)に固定され酸素のみに活性な電極材で形成された第1のガス測定室(1)内の酸素濃度を調節するための酸素ポンプセル(8a,8b)を備えることを特徴とする複合ガスセンサ。
- 請求項1又は2に記載の複合ガスセンサにおいて、第1の固体電解質基板(3a)上に被検ガス雰囲気と直接触れるように固定され、酸素のみに活性な第2の酸素検知電極(5)が、ガス導入口を有し、基準電極(7)が配置されている大気基準ダクト(14)に隣接する第2のガス測定室(2)内に設置され、前記基準電極(7)との間の濃淡起電力により被検ガス雰囲気中の酸素濃度を測定することを特徴とする複合ガスセンサ。
- 請求項1又は2に記載の複合ガスセンサにおいて、被検ガスがNOおよびNO2を主成分とする窒素酸化物であることを特徴とする複合ガスセンサ。
- 請求項2乃至4の何れかに記載の複合ガスセンサにおいて、前記酸素ポンプセル(8a,8b)の酸素ポンピング量を第1の酸素検知電極(4)と基準電極(7)との間の起電力を信号出力として酸素ポンプのセル印加電圧へフィードバックしガス測定室の酸素濃度を一定に制御するための直流可変電源( 15 )と、当該ガス処理ポンプセルの酸素ポンピング量を一定にし、かつ被検ガスの電気化学的な分解あるいは変換量を一定にするための直流定電圧電源( 16 )とが前記酸素ポンプセルおよびガス処理ポンプセルとにそれぞれ接続されたセル駆動回路を有することを特徴とする複合ガスセンサ。
- 請求項5に記載の複合ガスセンサにおいて、第2の酸素検知電極(5)と基準電極(7)との間に生ずる起電力により測定ガス雰囲気中の酸素濃度を直接検知し、当該酸素濃度の信号出力を用いて、センサ異常の自己診断を行うことを特徴とする複合ガスセンサ。
- 請求項5に記載の複合ガスセンサにおいて、被検ガス雰囲気中の酸素濃度に起因する信号出力(V * O2 )と、前記測定ガス雰囲気中の酸素濃度に起因する信号出力(V O2 )、酸素ポンプセル(8a,8b)のポンプ電流(i p )、ガス処理ポンプセル(9a,9b)のポンプ電流(I * p )を電圧信号として検出し、当該電圧信号間の比較演算を行うことにより、第1の酸素検知電極(4)と基準電極(7)とから構成される第1の酸素検知セル、酸素ポンプセル、ガス処理ポンプセルの異常、あるいはガス測定室、大気導入ダクト(13)、大気基準ダクト(14)のガス気密性の異常について自己診断を行うことを特徴とする複合ガスセンサ。
- 請求項5に記載の複合ガスセンサにおいて、被検ガス雰囲気中の酸素濃度に起因する信号出力(V * O2 )と、前記信号出力を用いた検知マップデータと予め記憶していたマップデータとを比較判定する手段を有し、当該判定結果からセンサ素子の第1の酸素検知電極(4)と基準電極(7)とから構成される第1の酸素検知セル、酸素ポンプセル、ガス処理ポンプセルの異常、あるいはガス測定室、大気導入ダクト(13)、大気基準ダクト(14)のガス気密性の異常について自己診断を行うことを特徴とする複合ガスセンサ。
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