JP3646759B2

JP3646759B2 - Vibrating gyro

Info

Publication number: JP3646759B2
Application number: JP28298696A
Authority: JP
Inventors: 本克己藤
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1996-10-03
Filing date: 1996-10-03
Publication date: 2005-05-11
Anticipated expiration: 2016-10-03
Also published as: JPH10111132A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は振動ジャイロに関し、特にたとえば、カメラの手振れ防止、カーナビゲーションシステム、ポインティングデバイスなどに使用される振動ジャイロに関する。
【０００２】
【従来の技術】
図６は従来の振動ジャイロの一例を示す斜視図であり、図７はその平面図である。振動ジャイロ１は、音叉形の振動体２を含む。振動体２は、たとえばＬｉＴａＯ₃圧電単結晶を音叉形に切りだすことによって形成されており、太い実線矢印で示す方向に分極されている。振動体２の一方の脚部の対向面には、それぞれ脚部の長手方向に延びる駆動用電極３ａ，３ｂ，４ａ，４ｂが形成される。ここで、駆動用電極３ａ，４ａは互いに対向するように形成され、駆動用電極３ｂ，４ｂも互いに対向するように形成される。さらに、振動体２の４つの側面には、それぞれ１つずつ検出用電極５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄが形成される。
【０００３】
この振動ジャイロ１では、たとえば駆動用電極３ａ，３ｂ間に駆動信号が与えられる。それによって、破線矢印で示すように、駆動用電極３ａ，４ａ間および駆動用電極３ｂ，４ｂ間に、逆向きの電界が印加される。それによって、振動体２は、２つの脚部が開いたり閉じたりするように振動する。この状態で、振動体２の軸を中心として回転角速度が加わると、振動体２の振動方向と直交する向きにコリオリ力が働く。このコリオリ力によって、振動体２の振動方向が変わり、たとえば検出用電極５ａ，５ｂ間から、コリオリ力に対応した信号が出力される。したがって、検出用電極５ａ，５ｂ間の出力信号を測定すれば、振動ジャイロ１に加わった回転角速度を検出することができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような従来の振動ジャイロでは、検出用電極を振動体の脚部の４つの面に形成する必要があり、特に２つの脚部間の電極の製造が面倒である。また、振動体の２つの脚部に、駆動用電極および検出用電極が個別に形成されている。そのため、コリオリ力によって生じる一方の脚部の振動方向の変化のみが検出され、検出効率が悪い。さらに、駆動用電極に駆動信号を与えることによって、片方の脚部が励振されるため、振動体の振幅が小さく、低電圧駆動が困難である。
【０００５】
それゆえに、この発明の主たる目的は、製造が簡単で、励振効率および検出効率の高い振動ジャイロを提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
この発明は、音叉形の２つの圧電体基板を接合して形成され、振動部となる２つの脚部と狭小部とを有する振動体と、一方の圧電体基板の外側主面において一方の脚部から他方の脚部へと音叉形に沿って並んで形成される２つの駆動用電極と、他方の圧電体基板の外側主面においてそれぞれの脚部に形成される２つの検出用電極とを含み、２つの圧電体基板は互いに逆向きに分極されてなるとともに、２つの駆動用電極および２つの検出用電極は全て振動体の少なくとも狭小部まで連続して形成された、振動ジャイロである。
この振動ジャイロにおいて、振動体は、２つの圧電体基板を接着することによって形成することができる。
また、振動体は、２つの圧電体セラミックグリーンシートを積層したのち一体焼成することによって形成してもよい。
さらに、この発明は、単結晶基板の熱分極反転現象を利用することによって互いに逆向きに分極され、振動部となる２つの脚部と狭小部とを有する音叉形の振動体と、振動体の対向主面の一方側において一方の脚部から他方の脚部へと音叉形に沿って並んで形成される２つの駆動用電極と、振動体の対向主面の他方側においてそれぞれの脚部に形成される２つの検出用電極とを含み、２つの圧電体基板は互いに逆向きに分極されてなるとともに、２つの駆動用電極および２つの検出用電極は全て振動体の少なくとも狭小部まで連続して形成された、振動ジャイロである。
【０００７】
互いに逆向きに分極された２つの圧電体基板を接合することにより、バイモルフ型の振動体となる。駆動用電極が振動体の音叉形に沿って形成されており、駆動用電極に駆動信号を与えることによって、振動体の両脚部が励振される。このときの振動は、両脚部が開いたり閉じたりするような振動であり、回転角速度が加わると、２つの脚部には逆向きのコリオリ力が働く。そのため、２つの脚部に形成された検出用電極からは逆位相の信号が出力され、これらの出力信号の差をとることにより、コリオリ力に対応した大きい信号を得ることができる。
【０００８】
【発明の効果】
この発明によれば、振動体の対向する主面にのみ電極を形成すればよく、２つの脚部間に電極を形成する必要がないため、振動ジャイロの製造が簡単である。また、駆動信号を与えることによって、振動体の両方の脚部が励振されるので、励振効率がよく、低電圧で振幅の大きい振動をさせることができる。さらに、２つの検出用電極からの出力信号の差をとることによって、コリオリ力に対応した大きい信号を得ることができるため、検出効率をよくすることができる。
【０００９】
この発明の上述の目的，その他の目的，特徴および利点は、図面を参照して行う以下の発明の実施の形態の詳細な説明から一層明らかとなろう。
【００１０】
【発明の実施の形態】
図１および図２はこの発明の振動ジャイロの一例を示す斜視図である。ここで、図１は振動ジャイロを一方側からみた斜視図であり、図２は振動ジャイロを他方側からみた斜視図である。振動ジャイロ１０は、音叉形の振動体１２を含む。振動体１２は、図３に示すように、たとえば音叉形の第１の圧電体基板１４および第２の圧電体基板１６を接合することによって形成される。これらの第１の圧電体基板１４および第２の圧電体基板１６は、エポキシ樹脂などの接合層１８で接合される。第１の圧電体基板１４および第２の圧電体基板１６は、太い実線矢印で示すように、互いに逆向きの厚み方向に分極される。第１の圧電体基板１４の外側主面には、一方の脚部から他方の脚部へと振動体１２の音叉形に沿って、２つの駆動用電極２０，２２が並んで形成される。また、第２の圧電体基板１６の外側主面には、それぞれの脚部に検出用電極２４，２６が形成される。２つの駆動用電極２０，２２および２つの検出用電極２４，２６は、全て振動体１２の少なくとも狭小部まで連続して形成される。
【００１１】
この振動ジャイロ１０では、図４に示すように、外側の駆動用電極２２が、電源電圧の中間点に接続されるとともに、２つの駆動用電極２０，２２間に発振回路３０が接続される。発振回路３０は、たとえば増幅回路と位相補正回路とを含み、駆動用電極２２から出力される信号を増幅し、位相補正して駆動用電極２０に与えられる。これにより、振動体１２の分極方向と直交する向きに電界が印加され、音叉状の振動体１２が開いたり閉じたりするようにして振動する。
【００１２】
また、検出用電極２４，２６は、差動回路３２に接続される。差動回路３２は、たとえばオペアンプや抵抗などによって構成される。さらに、差動回路３２の出力端は、同期検波回路３４に接続される。同期検波回路３４では、たとえば発振回路３０の信号に同期して、差動回路３０の出力信号が検波される。同期検波回路３４の出力信号は、積分回路３６で直流信号に変換される。さらに、積分回路３６の出力信号は、直流増幅回路３８で増幅される。
【００１３】
この振動ジャイロ１０では、駆動用電極２０，２２間に信号を与えることにより、振動体１２の脚部が開いたり閉じたりするように振動する。このとき、振動体１２の２つの脚部は、分極方向に対して同じ状態で振動するため、検出用電極２４，２６から出力される信号は同じである。そのため、差動回路３２からは、信号が出力されない。
【００１４】
この状態で、図５に示すように、振動体１２の２つの脚部に平行な軸を中心として回転角速度ωが加わると、無回転時の振動と直交する向きにコリオリ力が働く。このコリオリ力によって、振動体１２の２つの脚部の振動方向が変わる。そのため、検出用電極２４，２６からは、コリオリ力に対応した信号が出力される。このとき、コリオリ力は、２つの脚部に対して互いに逆向きに働くため、振動体１２の２つの脚部は互いに逆向きに変位する。そのため、検出用電極２４，２６から出力される信号は、互いに逆位相の信号となる。したがって、差動回路３２で検出用電極２４，２６の出力信号の差をとれば、コリオリ力に対応した大きい信号を得ることができる。
【００１５】
差動回路３２の出力信号は、同期検波回路３４で、発振回路３０の信号に同期して検波される。それにより、差動回路３２の出力信号の正部分のみまたは負部分のみが検波される。同期検波回路３４の出力信号は積分回路３６で直流信号に変換され、さらに直流増幅回路３８で増幅される。検出用電極２４，２６からの出力信号のレベルは、振動体１２の脚部の変位の大きさによって決まるため、大きいコリオリ力が働くと、主力信号のレベルは大きくなる。したがって、直流増幅回路３８の出力信号のレベルから、回転角速度の大きさを検出することができる。
【００１６】
また、回転角速度が加わる方向によって、振動体１２の２つの脚部にかかるコリオリ力の方向が変わる。そのため、２つの検出用電極２４，２６から出力される信号の位相も変わり、差動回路３２からは、回転角速度の方向によって、逆位相の信号が出力される。したがって、同期検波回路３４では、一方向に回転角速度が加わったとき信号の正部分が検波されるとすると、他方向に回転角速度が加わったとき信号の負部分が検波される。そのため、回転角速度の加わる方向によって、直流増幅回路３８の出力信号の極性が変わる。つまり、直流増幅回路３８の出力信号の極性から、回転角速度の加わった方向を知ることができる。
【００１７】
この振動ジャイロ１０では、駆動用電極２０，２２が、音叉形の振動体１２に沿って形成されている。したがって、これらの駆動用電極２０，２２に駆動信号を与えることにより、２つの脚部が駆動される。そのため、一方の脚部に形成された駆動用電極に駆動信号を与える従来の振動ジャイロに比べて、振動体１２に振動を発生させるための励振効率を高くすることができ、低電圧で振幅の大きい振動をさせることができる。また、振動体１２の２つの脚部に形成された検出用電極からの出力信号の差をとることにより、コリオリ力に対応した大きい信号を出力させることができる。そのため、回転角速度の検出感度を高めることができる。さらに、振動体１２の対向主面に駆動用電極２０，２２および検出用電極２４，２６が形成され、２つの脚部の間に電極を形成する必要がないため、振動ジャイロ１０の製造が簡単である。
【００１８】
なお、上述の振動ジャイロ１０では、２つの圧電体基板１４，１６を接合してバイモルフ構造としたが、２つの圧電体セラミックグリーンシートを電極ペーストなどで積層し、一体焼成することによって振動体１２を形成してもよい。この場合、焼成されてできた２つの基板の間に接合層としての電極が形成される。したがって、振動体１２の対向主面に外部電極を形成し、接合層と外部電極との間に電界を印加することにより、２つの基板が互いに逆向きに分極される。そして、エッチングなどによって外部電極を加工し、駆動用電極２０，２２および検出用電極２４，２６を形成すればよい。
【００１９】
また、たとえばＬｉＮｂＯ₃やＬｉＴａＯ₃などの単結晶基板を音叉形に形成し、熱分極反転現象を用いて部分的に逆向きの分極とし、疑似バイモルフ構造としてもよい。この場合、振動体１２全体が同一材料で形成されているため、熱などの影響により振動体に歪みが生じることを防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の振動ジャイロの一例を一方側からみた斜視図である。
【図２】図１に示す振動ジャイロを他方側からみた斜視図である。
【図３】図１および図２に示す振動ジャイロの平面図解図である。
【図４】図１ないし図３に示す振動ジャイロを使用するための回路を示す図解図である。
【図５】この発明の振動ジャイロに回転角速度が加わったときに振動体に働く力を示す図解図である。
【図６】従来の振動ジャイロの一例を示す斜視図である。
【図７】図６に示す従来の振動ジャイロの平面図解図である。
【符号の説明】
１０振動ジャイロ
１２振動体
１４第１の圧電体基板
１６第２の圧電体基板
１８接合層
２０，２２駆動用電極
２４，２６検出用電極[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a vibrating gyroscope, and more particularly to a vibrating gyroscope used for camera shake prevention, a car navigation system, a pointing device, and the like.
[0002]
[Prior art]
FIG. 6 is a perspective view showing an example of a conventional vibrating gyroscope, and FIG. 7 is a plan view thereof. The vibrating gyroscope 1 includes a tuning fork-shaped vibrating body 2. The vibrating body 2 is formed, for example, by cutting a LiTaO ₃ piezoelectric single crystal into a tuning fork shape, and is polarized in a direction indicated by a thick solid line arrow. Driving electrodes 3 a, 3 b, 4 a, 4 b extending in the longitudinal direction of the leg portions are formed on the opposing surface of one leg portion of the vibrating body 2. Here, the driving electrodes 3a and 4a are formed to face each other, and the driving electrodes 3b and 4b are also formed to face each other. Further, detection electrodes 5 a, 5 b, 5 c, and 5 d are formed on the four side surfaces of the vibrating body 2, respectively.
[0003]
In the vibrating gyroscope 1, for example, a driving signal is given between the driving electrodes 3a and 3b. As a result, as indicated by the broken-line arrows, a reverse electric field is applied between the drive electrodes 3a and 4a and between the drive electrodes 3b and 4b. Accordingly, the vibrating body 2 vibrates so that the two legs are opened and closed. In this state, when a rotational angular velocity is applied about the axis of the vibrating body 2, Coriolis force acts in a direction orthogonal to the vibration direction of the vibrating body 2. Due to the Coriolis force, the vibration direction of the vibrating body 2 changes, and a signal corresponding to the Coriolis force is output from, for example, the detection electrodes 5a and 5b. Therefore, the rotational angular velocity applied to the vibrating gyroscope 1 can be detected by measuring the output signal between the detection electrodes 5a and 5b.
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
However, in such a conventional vibrating gyroscope, it is necessary to form the detection electrodes on the four surfaces of the legs of the vibrating body, and in particular, the manufacture of the electrodes between the two legs is troublesome. In addition, driving electrodes and detection electrodes are individually formed on the two legs of the vibrating body. Therefore, only a change in the vibration direction of one leg caused by the Coriolis force is detected, and the detection efficiency is poor. Further, since one leg is excited by applying a drive signal to the drive electrode, the amplitude of the vibrating body is small and low voltage driving is difficult.
[0005]
Therefore, a main object of the present invention is to provide a vibration gyro which is easy to manufacture and has high excitation efficiency and detection efficiency.
[0006]
[Means for Solving the Problems]
The present invention is formed by bonding two tuning-fork-shaped piezoelectric substrates, and has a vibrating body having two legs and a narrow portion serving as a vibrating portion, and one leg on the outer main surface of one piezoelectric substrate. Two drive electrodes formed side by side along a tuning fork from one part to the other leg part, and two detection electrodes formed on each leg part on the outer main surface of the other piezoelectric substrate. In addition, the two piezoelectric substrates are polarized in opposite directions to each other, and the two drive electrodes and the two detection electrodes are all vibration gyroscopes that are continuously formed to at least a narrow portion of the vibration body .
In this vibrating gyroscope, the vibrating body can be formed by bonding two piezoelectric substrates.
The vibrating body may be formed by laminating two piezoelectric ceramic green sheets and then firing them integrally.
Furthermore, the present invention provides a tuning fork-shaped vibrating body having two legs and a narrowed portion that are polarized in opposite directions by utilizing the thermal polarization reversal phenomenon of a single crystal substrate, Two drive electrodes formed side by side along a tuning fork from one leg to the other leg on one side of the opposing main surface, and each leg on the other side of the opposing main surface of the vibrator The two piezoelectric substrates are polarized in opposite directions, and the two drive electrodes and the two detection electrodes are all continuous to at least a narrow portion of the vibrator. This is a vibrating gyroscope.
[0007]
By joining two piezoelectric substrates polarized in opposite directions to each other, a bimorph type vibrating body is obtained. The driving electrode is formed along the tuning fork shape of the vibrating body, and both legs of the vibrating body are excited by giving a driving signal to the driving electrode. The vibration at this time is such that both legs are opened and closed. When a rotational angular velocity is applied, opposite Coriolis forces act on the two legs. Therefore, signals having opposite phases are output from the detection electrodes formed on the two legs, and a large signal corresponding to the Coriolis force can be obtained by taking the difference between these output signals.
[0008]
【The invention's effect】
According to the present invention, the electrodes need only be formed on the opposing main surfaces of the vibrating body, and it is not necessary to form an electrode between the two legs, so that the vibrating gyroscope can be easily manufactured. Moreover, since both the leg portions of the vibrating body are excited by applying the drive signal, the excitation efficiency is good, and the vibration with a large amplitude can be generated at a low voltage. Furthermore, since a large signal corresponding to the Coriolis force can be obtained by taking the difference between the output signals from the two detection electrodes, the detection efficiency can be improved.
[0009]
The above object, other objects, features, and advantages of the present invention will become more apparent from the following detailed description of embodiments of the present invention with reference to the drawings.
[0010]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
1 and 2 are perspective views showing an example of a vibrating gyroscope according to the present invention. Here, FIG. 1 is a perspective view of the vibrating gyroscope as seen from one side, and FIG. 2 is a perspective view of the vibrating gyroscope as seen from the other side. The vibrating gyroscope 10 includes a tuning fork-shaped vibrating body 12. As shown in FIG. 3, the vibrating body 12 is formed, for example, by bonding a tuning fork-shaped first piezoelectric substrate 14 and a second piezoelectric substrate 16. The first piezoelectric substrate 14 and the second piezoelectric substrate 16 are bonded by a bonding layer 18 such as an epoxy resin. The first piezoelectric substrate 14 and the second piezoelectric substrate 16 are polarized in thickness directions opposite to each other, as indicated by thick solid arrows. On the outer main surface of the first piezoelectric substrate 14, two drive electrodes 20 and 22 are formed side by side along the tuning fork of the vibrating body 12 from one leg to the other leg. In addition, detection electrodes 24 and 26 are formed on the respective leg portions on the outer principal surface of the second piezoelectric substrate 16. The two drive electrodes 20 and 22 and the two detection electrodes 24 and 26 are all formed continuously to at least a narrow portion of the vibrating body 12 .
[0011]
In the vibrating gyroscope 10, as shown in FIG. 4, the outer driving electrode 22 is connected to the midpoint of the power supply voltage, and the oscillation circuit 30 is connected between the two driving electrodes 20,22. The oscillation circuit 30 includes, for example, an amplifier circuit and a phase correction circuit, amplifies the signal output from the drive electrode 22, corrects the phase, and is applied to the drive electrode 20. As a result, an electric field is applied in a direction perpendicular to the polarization direction of the vibrating body 12, and the tuning fork-like vibrating body 12 vibrates as it opens and closes.
[0012]
The detection electrodes 24 and 26 are connected to the differential circuit 32. The differential circuit 32 is configured by, for example, an operational amplifier or a resistor. Further, the output terminal of the differential circuit 32 is connected to the synchronous detection circuit 34. In the synchronous detection circuit 34, for example, the output signal of the differential circuit 30 is detected in synchronization with the signal of the oscillation circuit 30. The output signal of the synchronous detection circuit 34 is converted into a DC signal by the integration circuit 36. Further, the output signal of the integration circuit 36 is amplified by the DC amplification circuit 38.
[0013]
In the vibrating gyroscope 10, by giving a signal between the driving electrodes 20 and 22, the vibrating gyroscope 10 vibrates so that the legs of the vibrating body 12 are opened and closed. At this time, since the two legs of the vibrating body 12 vibrate in the same state with respect to the polarization direction, the signals output from the detection electrodes 24 and 26 are the same. Therefore, no signal is output from the differential circuit 32.
[0014]
In this state, as shown in FIG. 5, when a rotational angular velocity ω is applied around an axis parallel to the two legs of the vibrating body 12, a Coriolis force acts in a direction perpendicular to the vibration at no rotation. This Coriolis force changes the vibration direction of the two legs of the vibrating body 12. Therefore, signals corresponding to the Coriolis force are output from the detection electrodes 24 and 26. At this time, since the Coriolis force acts on the two legs in opposite directions, the two legs of the vibrating body 12 are displaced in the opposite directions. Therefore, the signals output from the detection electrodes 24 and 26 are signals having opposite phases. Therefore, if the difference between the output signals of the detection electrodes 24 and 26 is determined by the differential circuit 32, a large signal corresponding to the Coriolis force can be obtained.
[0015]
The output signal of the differential circuit 32 is detected by the synchronous detection circuit 34 in synchronization with the signal of the oscillation circuit 30. Thereby, only the positive part or only the negative part of the output signal of the differential circuit 32 is detected. The output signal of the synchronous detection circuit 34 is converted into a DC signal by the integration circuit 36 and further amplified by the DC amplification circuit 38. Since the level of the output signal from the detection electrodes 24 and 26 is determined by the magnitude of the displacement of the leg portion of the vibrating body 12, the level of the main signal increases when a large Coriolis force acts. Therefore, the magnitude of the rotational angular velocity can be detected from the level of the output signal of the DC amplifier circuit 38.
[0016]
Further, the direction of the Coriolis force applied to the two legs of the vibrating body 12 changes depending on the direction in which the rotational angular velocity is applied. Therefore, the phases of the signals output from the two detection electrodes 24 and 26 also change, and the differential circuit 32 outputs a signal having an opposite phase depending on the direction of the rotational angular velocity. Therefore, in the synchronous detection circuit 34, if the positive portion of the signal is detected when the rotational angular velocity is applied in one direction, the negative portion of the signal is detected when the rotational angular velocity is applied in the other direction. Therefore, the polarity of the output signal of the DC amplification circuit 38 changes depending on the direction in which the rotational angular velocity is applied. That is, the direction in which the rotational angular velocity is added can be known from the polarity of the output signal of the DC amplifier circuit 38.
[0017]
In the vibrating gyroscope 10, the driving electrodes 20 and 22 are formed along the tuning fork-shaped vibrating body 12. Therefore, the two legs are driven by giving drive signals to these drive electrodes 20 and 22. Therefore, compared with a conventional vibration gyro that gives a drive signal to the drive electrode formed on one leg, the excitation efficiency for generating vibration in the vibrating body 12 can be increased, and the amplitude of the vibration can be reduced at a low voltage. It can make a big vibration. Further, by taking a difference between output signals from the detection electrodes formed on the two legs of the vibrating body 12, a large signal corresponding to the Coriolis force can be output. Therefore, the detection sensitivity of the rotational angular velocity can be increased. Further, since the driving electrodes 20 and 22 and the detection electrodes 24 and 26 are formed on the opposing main surface of the vibrating body 12 and it is not necessary to form an electrode between the two legs, the manufacturing of the vibrating gyroscope 10 is easy. It is.
[0018]
In the above-described vibrating gyroscope 10, the two piezoelectric substrates 14 and 16 are joined to form a bimorph structure. However, the vibrating body 12 is obtained by stacking two piezoelectric ceramic green sheets with an electrode paste or the like and firing them integrally. May be formed. In this case, an electrode as a bonding layer is formed between the two substrates formed by baking. Therefore, by forming an external electrode on the opposing main surface of the vibrating body 12 and applying an electric field between the bonding layer and the external electrode, the two substrates are polarized in opposite directions. Then, the external electrodes may be processed by etching or the like to form the drive electrodes 20 and 22 and the detection electrodes 24 and 26.
[0019]
Alternatively, for example, a single crystal substrate such as LiNbO ₃ or LiTaO ₃ may be formed in a tuning fork shape, and partially reversely polarized using a thermal polarization reversal phenomenon to form a pseudo bimorph structure. In this case, since the entire vibrator 12 is made of the same material, it is possible to prevent the vibrator from being distorted due to the influence of heat or the like.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a perspective view of an example of a vibration gyro according to the present invention as viewed from one side.
FIG. 2 is a perspective view of the vibrating gyroscope shown in FIG. 1 as viewed from the other side.
3 is an illustrative plan view of the vibrating gyroscope shown in FIGS. 1 and 2. FIG.
4 is an illustrative view showing a circuit for using the vibrating gyroscope shown in FIGS. 1 to 3; FIG.
FIG. 5 is an illustrative view showing a force acting on a vibrating body when a rotational angular velocity is applied to the vibrating gyroscope of the present invention.
FIG. 6 is a perspective view showing an example of a conventional vibrating gyroscope.
7 is an illustrative plan view of the conventional vibrating gyroscope shown in FIG. 6. FIG.
[Explanation of symbols]
10 Vibrating Gyro 12 Vibrating Body 14 First Piezoelectric Substrate 16 Second Piezoelectric Substrate 18 Bonding Layers 20 and 22 Driving Electrodes 24 and 26 Detection Electrodes

Claims

音叉形の２つの圧電体基板を接合して形成され、振動部となる２つの脚部と狭小部とを有する振動体、
一方の前記圧電体基板の外側主面において一方の脚部から他方の脚部へと音叉形に沿って並んで形成される２つの駆動用電極、および、
他方の前記圧電体基板の外側主面においてそれぞれの脚部に形成される２つの検出用電極を含み、
２つの前記圧電体基板は互いに逆向きに分極されてなるとともに、
前記２つの駆動用電極および前記２つの検出用電極は全て前記振動体の少なくとも狭小部まで連続して形成された、振動ジャイロ。 A vibrating body formed by joining two tuning-fork-shaped piezoelectric substrates, and having two legs and a narrow portion as a vibrating portion ;
Two drive electrodes formed side by side along a tuning fork from one leg to the other leg on the outer principal surface of one of the piezoelectric substrates; and
Including two detection electrodes formed on the respective leg portions on the outer principal surface of the other piezoelectric substrate;
The two piezoelectric substrates are polarized in opposite directions, and
The vibration gyro, wherein the two drive electrodes and the two detection electrodes are all formed continuously to at least a narrow portion of the vibration body .

前記振動体は、２つの圧電体基板を接着することによって形成された、請求項１に記載の振動ジャイロ。 The vibrating gyroscope according to claim 1, wherein the vibrating body is formed by bonding two piezoelectric substrates.

前記振動体は、２つの圧電体セラミックグリーンシートを積層したのち一体焼成することによって形成された、請求項１に記載の振動ジャイロ。The vibrating gyroscope according to claim 1, wherein the vibrating body is formed by laminating two piezoelectric ceramic green sheets and then firing them integrally.

単結晶基板の熱分極反転現象を利用することによって互いに逆向きに分極され、振動部となる２つの脚部と狭小部とを有する音叉形の振動体、
前記振動体の対向主面の一方側において一方の脚部から他方の脚部へと音叉形に沿って並んで形成される２つの駆動用電極、および、
前記振動体の対向主面の他方側においてそれぞれの脚部に形成される２つの検出用電極を含み、
前記２つの駆動用電極および前記２つの検出用電極は全て前記振動体の少なくとも狭小部まで連続して形成された、振動ジャイロ。 A tuning-fork-shaped vibrating body having two legs and a narrowed portion that are polarized in opposite directions by utilizing the thermal polarization reversal phenomenon of the single crystal substrate,
Two drive electrodes formed side by side along a tuning fork from one leg to the other leg on one side of the opposing main surface of the vibrator; and
Including two detection electrodes formed on each leg on the other side of the opposing main surface of the vibrator,
The vibration gyro, wherein the two drive electrodes and the two detection electrodes are all formed continuously to at least a narrow portion of the vibration body .