JP3643493B2 - 光ディスク貼り合わせ装置 - Google Patents
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Description
【産業上の利用分野】
この発明は光を用いて情報の再生または記録・消去を行う光ディスク貼り合わせ装置の構造およびその製造方法に関するものであり、光照射中に減圧吸着を行うに当たり、貼り合わせ型光ディスクのR−Tilt値の増大、加速度の悪化を回避することができるものである。
【0002】
【従来の技術】
レーザー波長光を用いて記録情報を読み取ったり、情報を書き込んだり、あるいは消去したりする光学式ディスクにおいて、2枚の光透過性基板を貼り合わせて作られた光ディスクがすでに製造、販売されている。DVDやレーザーディスク等がそれである。このような光ディスクの一般的構造は特開平8−273199号公報に記載されており、その概要は図3に示すとおりである。このものは、2枚の光透過性基板8,9と反射層10と、接着層11と、印字層12からなり、
光透過性基板の素材としてPC(ポリカーボネート)、PMMA(通称:アクリル)樹脂が用いられ、反射層としてAu,Ag,Al合金などが、また、接着剤として紫外線硬化型接着剤が用いられている。
従来の光ディスク貼り合わせ方法として最も多く採用されているラジカルUV方式は、図4(a)乃至(c)に示すように光ディスク情報基板1の所定同心円上にラジカルUV接着剤4をディスペンサー5により滴下し、カバー基板6を該情報基板1に載せた後所定の回転数と回転時間をもって余分な接着剤を振り切り、
紫外線15を光照射し(図5)、UV接着剤を硬化させて貼り合わせ型の基板を得ていた。しかし、この手法では基板の反り量を矯正することができないために殊にR−Tilt値等が大きくなってしまい、これが多くの不良品発生の原因となっている。
【0003】
また、R−Tilt値を矯正するためにガラス円盤を重りとして設置し、しかる後光照射を行って反り量の小さな貼り合わせ基板を得る方法もあるが、この手法ではガラス基板が連続した光照射により蓄熱してしまうため、熱による基板の反りという別の問題を引き起こすことになる。また、ガラスの重量バランスを微妙に調整する必要があり、バランスがわずかに狂うと接着剤層が偏った潰れ方をしてしまい、かえってR−Tilt値の増大をまねくので、この手法は量産には向かない。
また、R−Tilt値を矯正する別の手法として、光照射時に基板を載せるステージ7を減圧吸着する方法もあるが、この手法はR−Tilt値が矯正される代わりに加速度値が大きくなる傾向がある。その理由として、 1)吸着孔の形がそのまま硬化されて残ってしまうこと、 2)基板がステージに貼り付くことにより基板とステージ間の微少なダストが顕著に窪みとして硬化されてしまうこと、 3)吸着されている部分と吸着されていない部分とが発生して、そのまま硬化した接着剤が波状に目視されるようになること等があり、これらの不具合が加速度の悪化に繋がる。
【0004】
また、特開平9−262907では面精度の高い吸着ステージに吸着しながら2枚の基板を押圧し光照射を行う寸前に吸着を切ることにより上記の問題を解決しようとしたが、大きなR−Tilt値を有する基板の貼り合わせにおいては一旦吸着を切るため矯正されたものが戻ってしまい、大きな矯正効果を得るには至らなかった。
なお、上記のR−Tilt値はディスクの半径方向の反りを角度で表したもので、R−Tilt値が悪化して大きな値を示す基板ではプッシュプル信号のオフセットや振幅に影響を及ぼす。
【0005】
また、上記の加速度は回転数が30Hz(1800rpm)のとき、基準面と直行する方向における記録層の加速度で、30Hzから1.5kHzの帯域で測定している。ディスク表面の凹凸などが原因で加速度が悪化して大きな値を示す基板ではトラッキングサーボの引き込み応答性、追従性、安定性に影響を及ぼす。
従って、未だ満足できる基板矯正効果を有する貼り合わせ装置は得られていない。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
この発明はこうした実情の下に、光照射中に減圧吸着を行うに当たり、貼り合わせ型光ディスクのR−Tilt値が増大せず、加速度が悪化しない貼り合わせ装置を提供することにある。
【0007】
【課題解決のために講じた手段】
【解決手段1】
上記課題解決のために講じた解決手段1は、センター穴を有する信号記録基板と保護基板とを光硬化樹脂によって接着する光ディスク貼り合わせ装置について、光照射時に減圧吸着を行うステージ上にディスク保持部材を設置し、該ディスク保持部材を発泡質ポリマーで構成したことである。
【解決手段2】
解決手段2はセンター穴を有する信号記録基板と保護基板とを光硬化樹脂によって接着する光ディスク貼り合せ装置について、光照射時に減圧吸着を行うステージ上にディスク保持部材を設置し、該ディスク保持部材をO.1〜20MPaの弾性率を有するものにしたことである。
【0008】
【実施態様1】
解決手段1もしくは解決手段2におけるディスク保持部材の表面を10μm〜1mmの深さを持つ凹凸にしたこと。
【実施態様2】
解決手段1、解決手段2、実施態様1の保持部材に1つもしくは複数の線状の切れ込みを施したこと。
【実施態様3】
解決手段1、解決手段2、実施態様1のディスク保持部材にO.5mm以下の上下に貫通する多数の孔を分散して設けたこと。
【実施態様4】
解決手段1、解決手段2、実施態様2乃至実施態様3において、
常圧から5kPa〜200kPa減圧して吸着させるようにしたこと。
【実施態様5】
解決手段1、解決手段2、実施態様2乃至実施態様4のディスク保持部材をディスクのクランプ透明部の下とスパッタ部の下とでは別の素材で構成し、内側の素材を外側の素材よりも融点が高いものとしたこと。
【実施態様6】
解決手段1、解決手段2、実施態様1乃至実施態様3、及び実施態様5のセンター穴を有する信号記録基板と保護基板とを光硬化樹脂によって接着する工程において、
そのディスク保持部材を通して常圧から5kPa〜200kPa減圧して貼り合わせ基板の吸着を行い、しかる後に光照射を行うこと。
【0009】
【実施例】
次いで、図面を参照しつつ実施例を説明する。
実施例1
実施例1を図1を参照しつつ説明する。情報基板1を記録膜がスパッタリングされた面を上にしてステージ3に減圧吸着し、ステージ3を数十rpm程度の回転数で回転させながらディスペンサー5によって紫外線硬化型接着剤4(粘度:500cp)を基板1の中心から約30mmの円周上に同心円状に滴下し(図1(a))、この状態においてカバー基板6を貼り合わせ(図1(b))、ステージ3を数百〜数千回転で回転させて接着剤をディスク終端まで展開させる(図1(c))。その後、該貼り合わせ基板を光照射ステージ7へ移動させる。この光照射ステージ7には図7のような厚さ2mmの発泡ポリエチレン製のディスク保持部材2(弾性率:1.1MPa)が設置してある(図2参照)。
ステージ7には図6のように減圧吸着孔14があり、貼り合わせた基板をディスク保持部材2を通してステージ7に50kPaで矢印13で示すように減圧吸着し、紫外線15を照射して(図5)接着剤を硬化させて貼り合わせ型の光ディスクにする。
表1に減圧吸着を適用しなかった場合と、減圧吸着してディスク保持部材を適用しなかった場合と、減圧吸着して各種発泡部材を適用した場合におけるR−Tilt値と加速度とを示した。
図16、図17にディスク表面の凹凸を強調して観測することができるシャドーシェイプ像を示す。この発明のディスク保持部材を用いずに吸着を行い光照射すると図16のように非常に大きな凹凸が発生してしまい、これらが加速度の劣化に繋がっている。この発明の保持部材を用いると図17のようにほとんど凹凸のない良好なディスクが得られる。
【0010】
実施例2
ディスク保持部材に用いた各素材の弾性率とR−Tilt値との関係は図8に示すとおりであり、弾性率をO.1MPa以上とすることによりR−Tilt値が大きく減少することが図8から明らかである。
実施例3
ディスク保持部材に用いた各素材の弾性率と加速度との関係は図9に示すとおりであり、弾性率を20MPa以下とすることにより加速度が大きく減少することが図9から明らかである。
実施例4
表面凹凸とR−Tiltとの関係は図10に示すとおりであり、表面凹凸を1mm以下の深さとすることによりR−Tilt値が大きく減少することが図10から明らかである。
実施例5
表面凹凸と加速度との関係は図11に示すとおりである。表面凹凸を10μm以上とすることにより加速度が大きく減少することが図11から明らかである。
実施例6
図6に示すようにステージ7には吸着孔14が設けられているが、ディスク保持部材2にステージ吸着孔と対応するように、同心円状に線状の切れ込み2aを施す(図12)ことによりR−Ti1t値を一層減少させる効果を生じた。切れ込み2aを入れた以外は実施例1と同様にしたものの実験結果を表1に示している。
実施例7
図13にディスク保持部材2に開けた減圧吸着孔14の大きさと加速度との関係を示す。吸着孔14の密度は1平方センチメートル当たり1つ開けられている。
加速度を小さくする上では孔の口径をO.5mm以下にするのが効果的であることが図13から明らかである。
【0011】
実旋例8
図14、図15に常圧からの減圧度とR−Tilt、加速度との関係を示す。その他の条件は実施例1と同様で5〜200kPaにおいて、良好なR−Tiltと加速度を実現できる。
実施例9
スタックリングの内周部にEPTスポンジ、外側に発泡ポリエチレンを設置した場合と、全面にEPTスポンジもしくは発泡ポリエチレンを設置した場合の機械特性とその寿命を表2に示す。寿命はディスク保持部材の上に貼り合わせたディスクを載せ、フラッシュランプを5Hzで連続照射した場合にナイロン6スポンジの融点は210〜220℃で発泡ポリエチレンの融点は105〜135℃である。
【0012】
【効果】
(1)ディスク貼り合わせ工程の光照射時における真空吸着による基板矯正において、R−Tilt値が矯正される代わりに加速度値が大きくなる傾向を示した。
その理由として、 1)吸着孔の形がそのまま硬化されて残ってしまうこと、
2)基板がステージに貼り付くことにより基板とステージ間の微少なダストが顕著に窪みとして硬化されてしまうこと、 3)吸着されている部分とされていない部分とが発生して、そのまま硬化した接着剤が波状に目視されること等が挙げられる。この発明において真空吸着するステージ7と貼り合わせディスクとの間に発泡性のディスク保持基阪を設置し、保持部材を通してディスクを吸着することにより、これらの不具合を解消し、加速度が大きくなるという不具合を生じることなくR−Tilt値を矯正することができた。
【0013】
(2)同様にディスク保持部材の弾性率が0.1〜20MPaであり、保持材を通してディスクを吸着することによりこれらの不具合を解消し、加速度が大きくなるという不具合を生じることなくR−Tilt値を矯正することができた。
【0014】
(3)請求項1又は請求項2に係る発明の光ディスク貼り合わせ装置において、脱気吸着要素を有するディスク保持部材の表面が10μm〜1mmの深さの凹凸であることにより、微少なダストの影響を受けることも無くなり、ダストによる加速度劣化の現象も無くなった。また、ディスクと保持材との間に減圧状態となった無数の空間ができることにより、より均一な吸着状態を作ることができ、R−Tilt値を小さくすることができた。
【0015】
(4)請求項1乃至請求項3に係る発明の光ディスク貼り合わせ装置において、保持部材の1つもしくは複数の同心円状に1つもしくは複数の直線的な切れ込みを入れることにより保持材を通した吸着力を上げ、R−Tilt値をさらに改良することができた。
【0016】
(5)請求項1乃至請求項3に係る発明の光ディスク貼り合わせ装置において、ディスク保持部材に0.5mm以下の上下貫通する孔を開けることにより保持材を通した吸着力を上げ、加速度の増大を招かぬようにR−Tilt値をさらに改良することができた。
【0017】
(6)請求項5に係る発明の光ディスク貼り合わせ装置において、上下に貫通する孔を均一に分布させて(少なくとも4センチ平方メートルの面積内に1つ)設けることにより、ディスク全面が均一に吸着され、優れたR−Tilt値にすることができる。
【0018】
(7)請求項1乃至請求項6に係る発明の光ディスク貼り合わせ装置において、5kPa乃至200kPaの減圧により真空吸着を行うことにより、保持部材を通した吸着力を上げ、加速度の増大を招かないようにR−Tilt値をさらに改良することができた。
【表1】
【表2】
【図面の簡単な説明】
【図1】(a)(b)(c)は実施例の接着作業手順を示す断面図である。
【図2】は実施例の紫外線照射状態を示す断面図である。
【図3】(a)は従来の光ディスクの平面図であり、(b)断面図である。
【図4】(a)(b)(c)は従来例の接着作業手順を示す断面図である。
【図5】は従来例の紫外線照射状態を示す断面図である。
【図6】実施例の光照射ステージの平面図である。
【図7】はディスク保持部材の平面図である。
【図8】はR−Tiltの弾性率依存性を示すグラフである。
【図9】は加速度の弾性率依存性を示すグラフである。
【図10】はR−Tiltの表面依存性を示すグラフである。
【図11】は加速度の表面依存性を示すグラフである。
【図12】はディスク保持部材切れ込みを示す平面図である。
【図13】は加速度の吸着孔依存性を示すグラフである。
【図14】はR−Tiltの吸着力依存性を示すグラフである。
【図15】は加速度の吸着力依存性を示すグラフである。
【図16】はディスク保持部材がない場合の従来のディスク表面の凹凸状態を示す平面図である。
【図17】はディスク保持部材がある本発明のディスク表面の凹凸状態を示す平面図である。
【符号の説明】
1:情報基板
2:ディスク保持部材
2a:切り込み
3:ステージ
4:紫外線硬化型接着剤
5:ディスペンサー
6:カバー基板
7:光照射ステージ
8,9:光透過性基板
10:反射層
11:接着層
12:印字層
13:減圧吸着方向を示す矢印
14:減圧吸着孔
Claims (7)
- センター穴を有する信号記録基板と保護基板とを光硬化樹脂によって接着する工程において、光照射時に減圧吸着を行うステージ上にディスク保持部材が設置してあり、
上記ディスク保持部材が発泡質ポリマーであり、
上記ディスク保持部材がディスクのクランプ透明部の下とスパッタ部の下とでは別の素材からなっており、内側の素材は外側の素材よりも融点が高いことを特徴とする光ディスク貼り合わせ装置。 - センター穴を有する信号記録基板と保護基板とを光硬化樹脂によって接着する工程において、光照射時に減圧吸着を行うステージ上にディスク保持部材が設置してあり、
上記ディスク保持部材がO.1〜20MPaの弾性率を有し、
上記ディスク保持部材がディスクのクランプ透明部の下とスパッタ部の下とでは別の素材からなっており、内側の素材は外側の素材よりも融点が高いことを特徴とする光ディスク貼り合せ装置。 - 減圧吸着を行うステージ上のディスク保持部材の表面が10μm〜1mmの深さを持つ凹凸であることを特徴とする請求項1または請求項2の光ディスク貼り合わせ装置。
- 上記保持部材に1つもしくは複数の線状の切れ込みが施してある請求項1乃至請求項3の光ディスク貼り合わせ装置。
- 上記ディスク保持部材に口径O.5mm以下の上下に貫通する多数の孔が分散して設けられていることを特徴とする請求項1乃至請求項3の光ディスク貼り合わせ装置。
- 常圧から5kPa〜200kPa減圧して吸着を行うことを特徴とする請求項1乃至請求項5の光ディスク貼り合わせ装置。
- センター穴を有する信号記録基板と保護基板とを光硬化樹脂によって接着する工程において、光照射時に減圧吸着を行うステージ上に請求項1乃至請求項5、及び請求項6のディスク保持部材が設置してある光ディスク貼り合わせ装置を用い、上記ディスク保持部材を通して常圧から5〜200kPa減圧して貼り合わせ基板の吸着を行い、しかる後に光照射を行うことを特徴とする光ディスク貼り合わせ方法。
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- 1999-01-20 JP JP01155899A patent/JP3643493B2/ja not_active Expired - Fee Related
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