JP3629677B2

JP3629677B2 - Bayonet fitting for cryogenic fluid

Info

Publication number: JP3629677B2
Application number: JP12842499A
Authority: JP
Inventors: 俊治山田
Original assignee: Sumitomo Heavy Industries Ltd
Current assignee: Sumitomo Heavy Industries Ltd
Priority date: 1999-05-10
Filing date: 1999-05-10
Publication date: 2005-03-16
Anticipated expiration: 2019-05-10
Also published as: JP2000320729A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は低温流体用バイヨネット継ぎ手にかかるもので、とくに半導体の製造にあたってシリコンウェハーなどに各種のイオンを注入するイオン注入装置におけるシリコンウェハーの冷却操作、あるいはプラズマ表面処理装置などにおけるコーティング時の冷却操作などにあたって液体窒素や液体ヘリウムなどの低温流体移送用として用いられる冷却媒体移送用配管、さらに、その他の配管において低温流体の移送用として応用することができる低温流体用バイヨネット継ぎ手に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来のバイヨネット継ぎ手は、一対のパイプを互いに差し込んで構成するというその構造上、外部からの侵入熱を低く押さえることができるため、たとえば液体窒素や液体ヘリウムなどの低温流体を移送する配管継ぎ手としてよく使われている。
しかしながら、従来の低温流体用バイヨネット継ぎ手は、固定式の配管であり、低温流体移送用としてこれを接続しても、相対的に運動することはほとんどできない。しかも、バイヨネット継ぎ手を組み込んだリンク配管は、長期間にわたって使用され、耐久性が要求されている。
【０００３】
低温流体を冷却媒体として採用し、被冷却物にこれを移送して冷却する冷却媒体移送用配管などにおいては、一対のパイプがそれぞれの軸心のまわりに互いに回転可能であるなど可動式のバイヨネット継ぎ手が要請されており、少しでも動かすことができる低温流体用バイヨネット継ぎ手として提案されているものを図３にもとづき概説する。
【０００４】
図３は、提案されている低温流体用バイヨネット継ぎ手１の断面図であって、低温流体用バイヨネット継ぎ手１は、第１の断熱パイプ２および第２の断熱パイプ３を組み合わせたもので、さらにＯリング４（シール部材）および袋ナット５を有する。
第１の断熱パイプ２は、二重管構造であって、その内部を第１の断熱真空部６としてある。第２の断熱パイプ３も、二重管構造であって、その内部を第２の断熱真空部７としてある。
第１の断熱パイプ２の端部は、これを凹部として、この内部に第２の断熱パイプ３の凸部とした端部を所定長さ（差込み部８）にわたって挿入し、回転継ぎ手部９とするとともに、この嵌合部分のわずかな間隙部を付属断熱部１０としてある。
【０００５】
この付属断熱部１０の最奥部（室温側）に、上記Ｏリング４と、差込み部８が抜けてしまうことを防止可能な脱落防止用ストッパー１１および脱落防止用フランジ１２と、上記袋ナット５と、を設けてある。
したがって、第１の断熱パイプ２および第２の断熱パイプ３は、軸方向には一体で相対的に移動することはなく、わずかな隙間（付属断熱部１０）があるため回転継ぎ手部９（差込み部８）において相対的に回転可能となっている。
【０００６】
Ｏリング４部分、さらに脱落防止用ストッパー１１および脱落防止用フランジ１２部分にはグリース１３を塗布することにより、第１の断熱パイプ２および第２の断熱パイプ３の回転を保障するように潤滑を行う。
なお、第１の断熱パイプ２あるいは第２の断熱パイプ３の回転操作を行う場合には、袋ナット５をゆるめればよい。
【０００７】
第１の断熱パイプ２および第２の断熱パイプ３により低温流体流路１４を形成し、低温流体流路１４内を低温流体たとえば液体窒素ＬＮを一方向に供給可能であるとともに、被冷却物（図示せず）を冷却可能で、被冷却物との熱的接触によりガス化した窒素ガスＧＮと混相状態で供給帰還させることができる。
もちろん、この低温流体流路１４内中央部に流体供給管（図示せず）を配置することにより、この流体供給管内を供給通路とし、流体供給管と第１の断熱パイプ２および第２の断熱パイプ３との間を帰還通路とすることもできる。
【０００８】
なお、付属断熱部１０の部分から窒素ガスＧＮが外方に漏れ出る可能性はあるが、Ｏリング４によりシールしてあるとともに、付属断熱部１０はわずかな隙間しかないので、この間に進入した窒素ガスＧＮは多少の温度差があっても対流することはほとんどできず、低温の窒素ガスＧＮの存在により、断熱作用を呈することができる。また、Ｏリング４部分は、室温程度となっているので、Ｏリング４が凍ることはないし、上述のようにグリース１３などで潤滑することができる。
さらに、第１の断熱パイプ２および第２の断熱パイプ３は、薄肉のステンレス鋼材料によりこれを構成すれば、この部分を伝わって低温部に入る侵入熱はこれを非常に少なくすることができる。
【０００９】
液体窒素ＬＮあるいは窒素ガスＧＮに圧力がかかっている場合であっても、脱落防止用ストッパー１１および脱落防止用フランジ１２が互いに係合しているとともに袋ナット５で固定しているため、この圧力のために差込み部８が飛び出たり、抜け出ることは防止されている。
【００１０】
こうした低温流体用バイヨネット継ぎ手１を利用することにより、たとえば直線状にこれを設ける場合はもちろん、第１の断熱パイプ２あるいは第２の断熱パイプ３のいずれか一方を途中から任意の角度（たとえば直角）に折り曲げ、さらに多数本の低温流体用バイヨネット継ぎ手１を組み合わせて多節リンクとすれば、三次元内での低温流体（冷却媒体）の移送配管の構築が可能である。すなわち、回転継ぎ手部９における回転が可能であるため、任意の範囲にわたって、被冷却物の動きに追随して冷却媒体を移送可能である。
【００１１】
しかしながら、潤滑のために塗布されているグリース１３は、第１の断熱パイプ２および第２の断熱パイプ３の相対運動にともない、第１の断熱パイプ２と第２の断熱パイプ３との間の狭い隙間（付属断熱部１０）に漏れ込む。
低温配管に使用された低温流体用バイヨネット継ぎ手１では、第２の断熱パイプ３の先端部（第１の断熱パイプ２の奥の方）に行くにしたがって、低温となるので、低温流体流路１４に極低温の流体を流している場合、付属断熱部１０におけるある部位より先（低温側）では、グリース１３が凍ってしまうという問題がある。
凍ったグリース１３は、第１の断熱パイプ２および第２の断熱パイプ３を傷つけたり、甚だしい場合には、第１の断熱パイプ２および第２の断熱パイプ３のふたつの管を固着させてしまうという問題がある。
【００１２】
上述の諸問題を解消するために、潤滑に使用するグリース１３の量を極力少なくするようにすることもできるが、あまり量を少なくするとＯリング４の潤滑がうまく行かず、油切れを起こし、低温流体の漏れを生じたり、駆動力の増大をもたらすという別の問題がある。さらに、Ｏリング４の摩耗量も増大して、シール性能の低下とともに短寿命のもととなるという問題がある。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は以上のような諸問題にかんがみなされたもので、回転継ぎ手部部分において低温側に流れるグリースの量を極力少なくすることができる低温流体用バイヨネット継ぎ手を提供することを課題とする。
【００１４】
また本発明は、とくにグリースによる潤滑を行う可動部分を有する低温装置において、グリースの消耗によるシール性能低下を防止可能な低温流体用バイヨネット継ぎ手を提供することを課題とする。
【００１５】
また本発明は、グリースの凍結による可動性の低下を防止可能な低温流体用バイヨネット継ぎ手を提供することを課題とする。
【００１６】
また本発明は、Ｏリングなどのシール部材によるシール部分を設けた低温装置において、シール部材の潤滑を保障可能な低温流体用バイヨネット継ぎ手を提供することを課題とする。
【００１７】
また本発明は、第１の断熱パイプおよび第２の断熱パイプの可動性を保障することができる低温流体用バイヨネット継ぎ手を提供することを課題とする。
【００１８】
【課題を解決するための手段】
すなわち本発明は、第１の断熱パイプおよび第２の断熱パイプの間のシール部材部分にグリース溜まり空間を設けることに着目したもので、低温流体を移送するための低温流体用バイヨネット継ぎ手であって、上記低温流体を移送可能である、第１の断熱パイプおよびこの第１の断熱パイプに対して嵌合した第２の断熱パイプと、これら第１の断熱パイプおよび第２の断熱パイプの間をシールするシール部材と、このシール部材に塗布した潤滑用のグリースと、このシール部材の部分に設けたグリース溜まり空間と、を有することを特徴とする低温流体用バイヨネット継ぎ手である。
【００１９】
上記グリース溜まり空間は、上記シール部材の低温側に位置してこれを設けることができる。
【００２０】
上記グリース溜まり空間は、上記シール部材の内周側に位置してこれを設けることができる。
【００２１】
上記グリース溜まり空間は、上記第１の断熱パイプおよび上記第２の断熱パイプの間における上記グリースの漏れ移動行程を延長するように、上記第１の断熱パイプと上記第２の断熱パイプとの間に位置してこれを設けることができる。
【００２２】
本発明による低温流体用バイヨネット継ぎ手においては、第１の断熱パイプおよび第２の断熱パイプの間のＯリングなどによるシール部材の部分にグリース溜まり空間を設けたので、回転継ぎ手部において低温側に漏れ移動してゆくグリースの凍結を防止して可動性を保障することができる。
したがって、潤滑用としてのグリースを必要量だけ十分に塗布しておくことができ、潤滑性能の維持とともに、グリースの消耗を避けてシール部材のシール性能を維持することができる。
【００２３】
【発明の実施の形態】
つぎに本発明の第１の実施の形態による低温流体用バイヨネット継ぎ手２０を図１にもとづき説明する。ただし、図３と同様の部分には同一符号を付し、その詳述はこれを省略する。
図１は、低温流体用バイヨネット継ぎ手２０の断面図であって、低温流体用バイヨネット継ぎ手２０においては、前記第１の断熱パイプ２と前記第２の断熱パイプ３との間のＯリング４の低温側（第１の断熱パイプ２の入口側より前記付属断熱部１０に沿った低温側）に環状のグリース溜まり空間２１を形成してある。
【００２４】
このグリース溜まり空間２１は、Ｏリング４の部分から付属断熱部１０に至る隣にこれを形成するもので、さらにその中央部に全周突起２２を設けることによってグリース溜まり空間２１を二分割し、主溜まり空間２３および副溜まり空間２４とし、グリース１３のさらなる低温側への進行を防止している。
すなわち、グリース溜まり空間２１は、第１の断熱パイプ２および第２の断熱パイプ３の間におけるグリース１３の漏れ移動行程を延長するように、第１の断熱パイプ２と第２の断熱パイプ３との間の付属断熱部１０に位置してこれを設けてある。
【００２５】
こうした構成の低温流体用バイヨネット継ぎ手２０において、第１の断熱パイプ２および第２の断熱パイプ３の間に凍結防止用のグリース溜まり空間２１を設けることにより、回転継ぎ手部９（Ｏリング４およびグリース１３部分）から低温側へのグリース１３の移動をグリース溜まり空間２１の部分で阻止し、グリース１３の凍結を防止することができる。
したがって、比較的多量のグリース１３を使用しても、既述のような不具合を回避可能である結果、Ｏリング４部分の油切れを防止し、シール性能の向上、Ｏリング４の摩耗防止、さらに駆動力の低減化が可能となり、高い信頼性と耐久性を有することができる。
【００２６】
つぎに図２は、本発明の第２の実施の形態による低温流体用バイヨネット継ぎ手３０の断面図であって、低温流体用バイヨネット継ぎ手３０においては、グリース溜まり空間２１に相当するグリース溜まり空間３１を、Ｏリング４によるシール部の内周側に形成してある。
【００２７】
すなわち、第１の断熱パイプ２の外径を大きくすることによってＯリング４によるシール部の直径を大きくし、第１の断熱パイプ２の内壁面３２を第２の断熱パイプ３の方向に突出させ、Ｏリング４およびグリース溜まり空間３１部分のパイプ軸方向の全長を短くしている。ただし、グリース溜まり空間３１をＯリング４によるシール部の内周側に形成することにより、第１の断熱パイプ２および第２の断熱パイプ３の間におけるグリース１３の漏れ移動行程を延長するようになっている。
つまり、図１に示した低温流体用バイヨネット継ぎ手２０の場合には、グリース溜まり空間２１の分だけ、低温流体用バイヨネット継ぎ手２０の全長が長くなり、したがって長さの制限が大きく、低温流体用バイヨネット継ぎ手２０の長さを短く作らなければならない場合には、外部からの侵入熱が大きくなる問題があるが、Ｏリング４の内周側にグリース溜まり空間３１を形成すれば、こうした問題を回避可能である。
【００２８】
こうした構成の低温流体用バイヨネット継ぎ手３０においても、Ｏリング４によるシール部のすぐ内周側にグリース溜まり空間３１を設けるあるため、低温流体用バイヨネット継ぎ手３０の回転あるいは揺動によってＯリング４部分から漏れ出るグリース１３がこのグリース溜まり空間３１に溜まり、低温側すなわち付属断熱部１０の入口側には進行することがなく、グリース１３の凍結を防止することができる。
【００２９】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、第１の断熱パイプと第２の断熱パイプとの間に凍結防止用のグリース溜まり空間を設けることにより、回転継ぎ手部において低温側へのグリースの進行を防止し、グリースの凍結を防止し、回転継ぎ手部の可動性およびシール性を保障して、低温配管を正常に機能させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態による低温流体用バイヨネット継ぎ手２０の断面図である。
【図２】本発明の第２の実施の形態による低温流体用バイヨネット継ぎ手３０の断面図である。
【図３】提案されている低温流体用バイヨネット継ぎ手１の断面図である。
【符号の説明】
１低温流体用バイヨネット継ぎ手（図３）
２第１の断熱パイプ
３第２の断熱パイプ
４Ｏリング（シール部材）
５袋ナット
６第１の断熱パイプ２の第１の断熱真空部
７第２の断熱パイプ３の第２の断熱真空部
８差込み部
９回転継ぎ手部
１０付属断熱部
１１脱落防止用ストッパー
１２脱落防止用フランジ
１３グリース
１４低温流体流路
２０低温流体用バイヨネット継ぎ手（第１の実施の形態、図１）
２１グリース溜まり空間
２２全周突起
２３グリース溜まり空間２１の主溜まり空間
２４グリース溜まり空間２１の副溜まり空間
３０低温流体用バイヨネット継ぎ手（第２の実施の形態、図２）
３１グリース溜まり空間
３２第１の断熱パイプ２の内壁面
ＬＮ液体窒素
ＧＮ窒素ガス[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a bayonet joint for a cryogenic fluid, and in particular, a cooling operation of a silicon wafer in an ion implantation apparatus for injecting various ions into a silicon wafer or the like in manufacturing a semiconductor, or a cooling operation during coating in a plasma surface treatment apparatus or the like. The present invention relates to a cooling medium transfer pipe used for transferring a low-temperature fluid such as liquid nitrogen or liquid helium, and a low-temperature fluid bayonet joint that can be used for transferring a low-temperature fluid in other pipes.
[0002]
[Prior art]
Conventional bayonet joints can be configured as a pair of pipes inserted into each other, so that the intrusion heat from the outside can be kept low, so it can be used as a pipe joint for transferring low-temperature fluids such as liquid nitrogen and liquid helium. It is used.
However, the conventional bayonet joint for cryogenic fluid is a fixed pipe, and even if it is connected for cryogenic fluid transfer, it can hardly move relatively. Moreover, link piping incorporating a bayonet joint is used for a long period of time, and durability is required.
[0003]
In a cooling medium transfer pipe that uses a low-temperature fluid as a cooling medium and transfers it to an object to be cooled for cooling, a movable bayonet such that a pair of pipes can rotate around their respective axes. A joint that has been proposed as a bayonet joint for cryogenic fluid that requires a joint and can be moved as little as possible will be outlined with reference to FIG.
[0004]
FIG. 3 is a cross-sectional view of the proposed cryogenic fluid bayonet joint 1. The cryogenic fluid bayonet joint 1 is a combination of a first heat insulating pipe 2 and a second heat insulating pipe 3, and further includes an O It has a ring 4 (seal member) and a cap nut 5.
The first heat insulating pipe 2 has a double tube structure, and the inside thereof is a first heat insulating vacuum section 6. The second heat insulating pipe 3 also has a double tube structure, and the inside thereof is a second heat insulating vacuum section 7.
The end portion of the first heat insulating pipe 2 is used as a concave portion, and the end portion, which is the convex portion of the second heat insulating pipe 3, is inserted over a predetermined length (insertion portion 8) inside this, In addition, a slight gap portion of the fitting portion is used as the attached heat insulating portion 10.
[0005]
At the innermost part (room temperature side) of the attached heat insulating part 10, the O-ring 4, a stopper 11 and a flange 12 that can prevent the insertion part 8 from coming off, and the cap nut 5 are provided. And are provided.
Accordingly, the first heat insulation pipe 2 and the second heat insulation pipe 3 are not integrally moved relatively in the axial direction, and there is a slight gap (attached heat insulation part 10). In part 8) it is relatively rotatable.
[0006]
By applying grease 13 to the O-ring 4 portion, the stopper 11 for preventing falling off, and the flange 12 portion for preventing falling off, lubrication is performed so as to ensure the rotation of the first heat insulating pipe 2 and the second heat insulating pipe 3. Do.
In addition, what is necessary is just to loosen the cap nut 5 when rotating operation of the 1st heat insulation pipe 2 or the 2nd heat insulation pipe 3 is performed.
[0007]
The first heat insulation pipe 2 and the second heat insulation pipe 3 form a low-temperature fluid flow path 14, and the low-temperature fluid flow path 14 can be supplied with a low-temperature fluid, for example, liquid nitrogen LN in one direction. (Not shown) can be cooled, and can be fed back in a mixed phase with the nitrogen gas GN gasified by thermal contact with the object to be cooled.
Of course, by disposing a fluid supply pipe (not shown) in the center of the low-temperature fluid flow path 14, the fluid supply pipe is used as a supply passage, and the fluid supply pipe, the first heat insulation pipe 2 and the second heat insulation pipe 2 are used. A return path between the pipe 3 and the pipe 3 can also be used.
[0008]
In addition, although there is a possibility that the nitrogen gas GN leaks out from the portion of the attached heat insulating portion 10, it is sealed by the O-ring 4 and the attached heat insulating portion 10 has only a slight gap, so it entered during this time. The nitrogen gas GN can hardly be convected even if there is a slight temperature difference, and can exhibit a heat insulating action due to the presence of the low temperature nitrogen gas GN. Further, since the O-ring 4 portion is at room temperature, the O-ring 4 does not freeze and can be lubricated with the grease 13 as described above.
Further, if the first heat insulation pipe 2 and the second heat insulation pipe 3 are formed of a thin stainless steel material, the intrusion heat that travels through this portion and enters the low temperature portion can be greatly reduced. .
[0009]
Even when the pressure is applied to the liquid nitrogen LN or the nitrogen gas GN, the stopper 11 and the flange 12 for preventing the drop off are engaged with each other and are fixed by the cap nut 5, so that this pressure is applied. Therefore, the insertion portion 8 is prevented from jumping out or coming out.
[0010]
By using such a bayonet joint 1 for low-temperature fluid, for example, when this is provided in a straight line, either one of the first heat insulation pipe 2 or the second heat insulation pipe 3 is placed at an arbitrary angle (for example, a right angle). ) And a multi-joint link formed by combining a large number of cryogenic fluid bayonet joints 1, it is possible to construct a low-temperature fluid (cooling medium) transfer pipe in three dimensions. That is, since the rotation of the rotary joint portion 9 is possible, the cooling medium can be transferred following the movement of the object to be cooled over an arbitrary range.
[0011]
However, the grease 13 applied for lubrication is between the first heat insulation pipe 2 and the second heat insulation pipe 3 due to the relative movement of the first heat insulation pipe 2 and the second heat insulation pipe 3. It leaks into a narrow gap (attached heat insulating part 10).
The low temperature fluid bayonet joint 1 used for the low temperature piping becomes lower in temperature as it goes to the tip of the second heat insulation pipe 3 (the back of the first heat insulation pipe 2). When a very low temperature fluid is flowing through, the grease 13 freezes before a certain part (low temperature side) in the attached heat insulating portion 10.
The frozen grease 13 damages the first heat insulation pipe 2 and the second heat insulation pipe 3 or, if it is severe, fixes the two pipes of the first heat insulation pipe 2 and the second heat insulation pipe 3. There is a problem.
[0012]
In order to solve the above-mentioned problems, the amount of grease 13 used for lubrication can be reduced as much as possible. However, if the amount is too small, the O-ring 4 cannot be lubricated well, resulting in running out of oil. There is another problem of causing leakage of cryogenic fluid and increasing driving force. Furthermore, there is a problem that the wear amount of the O-ring 4 also increases, resulting in a short life as well as a decrease in sealing performance.
[0013]
[Problems to be solved by the invention]
The present invention has been considered in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a bayonet joint for low-temperature fluid that can reduce the amount of grease flowing to the low temperature side as much as possible in the rotary joint portion.
[0014]
Another object of the present invention is to provide a bayonet joint for a low-temperature fluid that can prevent deterioration in sealing performance due to grease consumption, particularly in a low-temperature device having a movable part that is lubricated with grease.
[0015]
Another object of the present invention is to provide a bayonet joint for a low temperature fluid that can prevent a decrease in mobility due to freezing of grease.
[0016]
Another object of the present invention is to provide a bayonet joint for a low temperature fluid capable of ensuring lubrication of the seal member in a low temperature apparatus provided with a seal portion by a seal member such as an O-ring.
[0017]
Moreover, this invention makes it a subject to provide the bayonet joint for cryogenic fluid which can ensure the mobility of a 1st heat insulation pipe and a 2nd heat insulation pipe.
[0018]
[Means for Solving the Problems]
That is, the present invention focuses on providing a grease reservoir space in a seal member portion between a first heat insulation pipe and a second heat insulation pipe, and is a bayonet joint for a low temperature fluid for transferring a low temperature fluid. Between the first heat insulation pipe and the second heat insulation pipe that can be transferred, and between the first heat insulation pipe and the second heat insulation pipe. A low temperature fluid bayonet joint having a seal member to be sealed, grease for lubrication applied to the seal member, and a grease reservoir space provided in a portion of the seal member.
[0019]
The grease reservoir space can be located on the low temperature side of the seal member.
[0020]
The grease reservoir space can be located on the inner peripheral side of the seal member.
[0021]
The grease reservoir space is provided between the first heat insulation pipe and the second heat insulation pipe so as to extend a leakage movement process of the grease between the first heat insulation pipe and the second heat insulation pipe. This can be provided.
[0022]
In the bayonet joint for low-temperature fluid according to the present invention, the grease pool space is provided in the seal member portion such as an O-ring between the first heat insulation pipe and the second heat insulation pipe. It is possible to ensure the mobility by preventing freezing of the moving grease.
Accordingly, the necessary amount of grease for lubrication can be sufficiently applied, and the sealing performance of the sealing member can be maintained while maintaining the lubricating performance and avoiding the consumption of the grease.
[0023]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Next, a cryogenic fluid bayonet joint 20 according to a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. However, the same parts as those in FIG. 3 are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.
FIG. 1 is a cross-sectional view of a cryogenic fluid bayonet joint 20, in which a low temperature of an O-ring 4 between the first insulating pipe 2 and the second insulating pipe 3 is used. An annular grease reservoir space 21 is formed on the side (the low temperature side along the attached heat insulating portion 10 from the inlet side of the first heat insulating pipe 2).
[0024]
The grease reservoir space 21 is formed next to the O-ring 4 and the attached heat insulating portion 10. Further, the grease reservoir space 21 is divided into two parts by providing an entire peripheral projection 22 at the center thereof. The main reservoir space 23 and the auxiliary reservoir space 24 are used to prevent the grease 13 from proceeding to a lower temperature side.
In other words, the grease reservoir space 21 has the first heat insulation pipe 2 and the second heat insulation pipe 3 so as to extend the leakage movement process of the grease 13 between the first heat insulation pipe 2 and the second heat insulation pipe 3. This is located in the attached heat insulating part 10 between.
[0025]
In the bayonet joint 20 for a low-temperature fluid having such a configuration, by providing a grease reservoir space 21 for preventing freezing between the first heat insulation pipe 2 and the second heat insulation pipe 3, the rotary joint portion 9 (O-ring 4 and grease) is provided. The movement of the grease 13 from the (13 portion) to the low temperature side is prevented by the portion of the grease reservoir space 21, and the freezing of the grease 13 can be prevented.
Therefore, even if a relatively large amount of grease 13 is used, the above-described problems can be avoided. As a result, the O-ring 4 portion is prevented from running out of oil, the sealing performance is improved, the O-ring 4 is prevented from being worn, Further, the driving force can be reduced, and high reliability and durability can be obtained.
[0026]
FIG. 2 is a sectional view of a cryogenic fluid bayonet joint 30 according to a second embodiment of the present invention. In the cryogenic fluid bayonet joint 30, a grease reservoir space 31 corresponding to the grease reservoir space 21 is formed. , Formed on the inner peripheral side of the seal portion by the O-ring 4.
[0027]
That is, by increasing the outer diameter of the first heat insulation pipe 2, the diameter of the seal portion by the O-ring 4 is increased, and the inner wall surface 32 of the first heat insulation pipe 2 is protruded in the direction of the second heat insulation pipe 3. The overall length of the O-ring 4 and the grease reservoir space 31 in the pipe axial direction is shortened. However, the grease storage space 31 is formed on the inner peripheral side of the seal portion by the O-ring 4 so as to extend the leakage movement process of the grease 13 between the first heat insulation pipe 2 and the second heat insulation pipe 3. It has become.
In other words, in the case of the low temperature fluid bayonet joint 20 shown in FIG. When the length of the joint 20 has to be made short, there is a problem that the heat entering from the outside becomes large. However, if the grease reservoir space 31 is formed on the inner peripheral side of the O-ring 4, such a problem can be avoided. It is.
[0028]
Also in the bayonet joint 30 for cryogenic fluid having such a configuration, the grease reservoir space 31 is provided immediately on the inner peripheral side of the seal portion by the O-ring 4. The leaking grease 13 is accumulated in the grease reservoir space 31 and does not proceed to the low temperature side, that is, the inlet side of the attached heat insulating portion 10, and the grease 13 can be prevented from freezing.
[0029]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, the grease storage space for freezing prevention is provided between the first heat insulation pipe and the second heat insulation pipe, thereby preventing the grease from proceeding to the low temperature side at the rotary joint portion. In addition, it is possible to prevent the grease from freezing and to ensure the mobility and sealability of the rotating joint portion, thereby allowing the low-temperature piping to function normally.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a cross-sectional view of a cryogenic fluid bayonet joint 20 according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a cross-sectional view of a cryogenic fluid bayonet joint 30 according to a second embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a cross-sectional view of a proposed cryogenic fluid bayonet joint 1;
[Explanation of symbols]
1 Bayonet joint for cryogenic fluid (Figure 3)
2 1st heat insulation pipe 3 2nd heat insulation pipe 4 O-ring (seal member)
5 Cap nut 6 1st heat insulation vacuum part 7 of the 1st heat insulation pipe 2 2nd heat insulation vacuum part 8 of the 2nd heat insulation pipe 3 Insertion part 9 Rotating joint part 10 Attached heat insulation part 11 Stopping prevention stopper 12 Dropping prevention Flange 13 grease 14 cryogenic fluid flow path 20 bayonet joint for cryogenic fluid (first embodiment, FIG. 1)
21 Grease reservoir space 22 Whole circumferential projection 23 Main reservoir space 24 of grease reservoir space 21 Secondary reservoir space 30 of grease reservoir space 21 Bayonet joint for low-temperature fluid (second embodiment, FIG. 2)
31 Grease pool space 32 Inner wall surface LN of first heat insulation pipe 2 Liquid nitrogen GN Nitrogen gas

Claims

低温流体を移送するための低温流体用バイヨネット継ぎ手であって、
前記低温流体を移送可能である、第１の断熱パイプおよびこの第１の断熱パイプに対して嵌合した第２の断熱パイプと、
これら第１の断熱パイプおよび第２の断熱パイプの間をシールするシール部材と、
このシール部材に塗布した潤滑用のグリースと、
このシール部材の部分に設けたグリース溜まり空間と、
を有するとともに、
前記グリース溜まり空間は、前記シール部材の低温側に位置してこれを設けたことを特徴とする低温流体用バイヨネット継ぎ手。A cryogenic fluid bayonet joint for transferring cryogenic fluid,
A first insulated pipe capable of transporting the cryogenic fluid and a second insulated pipe fitted to the first insulated pipe;
A seal member that seals between the first heat insulation pipe and the second heat insulation pipe;
A lubricating grease applied to the seal member;
A grease reservoir space provided in the seal member;
And it has a,
The low temperature fluid bayonet joint , wherein the grease reservoir space is provided on the low temperature side of the seal member .

低温流体を移送するための低温流体用バイヨネット継ぎ手であって、
前記低温流体を移送可能である、第１の断熱パイプおよびこの第１の断熱パイプに対して嵌合した第２の断熱パイプと、
これら第１の断熱パイプおよび第２の断熱パイプの間をシールするシール部材と、
このシール部材に塗布した潤滑用のグリースと、
このシール部材の部分に設けたグリース溜まり空間と、
を有するとともに、
前記グリース溜まり空間は、前記シール部材の内周側に位置してこれを設けたことを特徴とする低温流体用バイヨネット継ぎ手。A cryogenic fluid bayonet joint for transferring cryogenic fluid,
A first insulated pipe capable of transferring the cryogenic fluid and a second insulated pipe fitted to the first insulated pipe;
A seal member that seals between the first heat insulation pipe and the second heat insulation pipe;
A lubricating grease applied to the seal member;
A grease reservoir space provided in the seal member;
And it has a,
The low temperature fluid bayonet joint , wherein the grease reservoir space is provided on the inner peripheral side of the seal member .

低温流体を移送するための低温流体用バイヨネット継ぎ手であって、
前記低温流体を移送可能である、第１の断熱パイプおよびこの第１の断熱パイプに対して嵌合した第２の断熱パイプと、
これら第１の断熱パイプおよび第２の断熱パイプの間をシールするシール部材と、
このシール部材に塗布した潤滑用のグリースと、
このシール部材の部分に設けたグリース溜まり空間と、
を有するとともに、
前記グリース溜まり空間は、前記第１の断熱パイプおよび前記第２の断熱パイプの間における前記グリースの漏れ移動行程を延長するように、前記第１の断熱パイプと前記第２の断熱パイプとの間に位置してこれを設けたことを特徴とする低温流体用バイヨネット継ぎ手。A cryogenic fluid bayonet joint for transferring cryogenic fluid,
A first insulated pipe capable of transferring the cryogenic fluid and a second insulated pipe fitted to the first insulated pipe;
A seal member that seals between the first heat insulation pipe and the second heat insulation pipe;
A lubricating grease applied to the seal member;
A grease reservoir space provided in the seal member;
And it has a,
The grease reservoir space is provided between the first heat insulation pipe and the second heat insulation pipe so as to extend a leakage movement stroke of the grease between the first heat insulation pipe and the second heat insulation pipe. A bayonet joint for cryogenic fluid, characterized in that it is located at