JP3622947B2

JP3622947B2 - Clean room floor structure

Info

Publication number: JP3622947B2
Application number: JP35694599A
Authority: JP
Inventors: 泰男小川; 貢小原
Original assignee: Kajima Corp
Current assignee: Kajima Corp
Priority date: 1999-12-16
Filing date: 1999-12-16
Publication date: 2005-02-23
Anticipated expiration: 2019-12-16
Also published as: JP2001173253A

Description

【０００１】
【発明が属する技術分野】
本願発明は、クリ−ンル−ムに於ける床構造で、特にその床面の剛性および質量を増加させてなる床構造に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体の製造のためのクリ−ンル−ムは、製造装置の大型化、振動条件の変化等に対応して、その床の剛性および質量を高める必要性が生じている。それらの要求を満たすため既存工場では床面の改修工事として、既存の床材を取り除き、或いは根太等の下地材を取り替え、より強度の高い材料へと切り替えるための改修工事を行っている。
【０００３】
また、上記改修工事は、大規模な工事になり、且つ既存の部材を取り除くので、その工事の過程において粉塵が飛散し、或いは振動を発生させるので、クリ−ンル−ムに於ける各装置の操業を全面的に停止して工事を行っていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上記したように、改修工事期間中のクリ−ンル−ムに於ける各装置の操業停止は、収益に大きな痛手となっていた。
また、収益の減収を避けるために、製造装置を稼働した状態での工事となると、上記のとおり、工事に伴い粉塵の飛散や振動が生じ、半導体等のためのクリ−ンル−ムでは、それらの環境を生じさせることは許されなかった。
【０００５】
更に、高い剛性、且つ質量のある材料を使用するとなると、その部材自体に重量があり、施工に時間がかかったり、各種の重機類を持ち込み、操作することによる危険を伴うことがあり、問題が多数あった。また、それらの部材は高価であり、施工の上での人件費増等、全体としてきわめて高価となる欠点があった。
また、隅部に於ける床面と壁面との連結部は、その納まりの構造によっては、壁面側をも改修する必要が生じていた。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本願発明は、上記課題を解決するためになされたもので、改修工事に伴う粉塵等の飛散や振動を生じさせずに、製造装置を稼働したままの状態で行うことができるクリ−ンル−ムの改修工事、或いは新築工場でも適用することのできるクリ−ンル−ムの床構造を提供するものである。
【０００７】
その具体的手段として、鉄骨よりなる梁或いは大引等の床下構造材、該床下構造材に支持されたＩ形鋼、Ｈ形鋼或いは山形鋼等よりなる根太、該根太上に敷設された鋼板製床パネル、該鋼板製床パネルと上記床下構造材および根太とを一体化させるため、根太及び床下構造材の下部に配設された溝形鋼或いは山形鋼等よりなる添接補強鋼材、該鋼板製床パネルと添接補強鋼材とを連結する締め付けボルト、該鋼板製床パネル上に敷接された鋼板、並びに上記鋼板製床パネルと鋼板とを連結する連結金具とよりなるクリ−ンル−ムの床下構造を提供するものである。
【０００８】
また、上記添接補強鋼材を根太に対し直交するように配設し、該添接補強鋼材が交叉する床下構造材に直交するように添接補強鋼材を配設してなることを特徴とするものである。
【０００９】
更に、鋼板製床パネルと添接補強鋼材とを連結する締め付けボルトを、一端側は鋼板製床パネルの表面と面一となるように形成し、他端側は添接補強鋼材の下フランジに当接するようにナットにより締め付け固定したことを特徴とするものである。
【００１０】
また、鋼板製床パネルと該パネル上に敷設される鋼板とを皿ボルトで締め付け固定して一体化したことを特徴とするものである。
【００１１】
【発明の実施の形態】
図２は、本願発明の実施例を示した断面図で、本願発明のクリ−ンル−ムの床構造は、Ｉ形鋼、Ｈ形鋼等の鉄骨よりなる梁或いは大引等の床下構造材１，該床下構造材１に支持されたＩ形鋼、Ｈ形鋼或いは山形鋼等よりなる根太２，該根太２上に敷設された鋼板製床パネル３，該鋼板製床パネル３と上記床下構造材１および根太２とを一体化させるための溝形鋼或いは山形鋼等よりなる添接補強鋼材４，該鋼板製床パネル３と添接補強鋼材４とを連結する締め付けボルト５、該鋼板製床パネル３上に敷設された鋼板６並びに上記鋼板製床パネル３と鋼板６とを連結する連結金具７とより形成されている。
【００１２】
【実施例１】
クリ−ンル−ムを構成する建築物として、日常の操業時に躯体から粉塵等を出さないために、図６に示すように鉄骨造が採用されている。図４，５の断面図に示す床下構造材は柱等に支持されたＨ形鋼の梁８を示している。
【００１３】
梁８には、その直角方向に溝形鋼或いは山形鋼等の根太２が適宜な手段で連結されている。実施例では、梁８の上フランジに根太の上縁部を載置するようにして連結している。床パネルの大きさおよび床面にかかる荷重に合わせて適宜な間隔に配設された根太２の上には、適宜プレ−ト９を介して鋼板製床パネル３が支持されている。上記プレ−ト９は、床面のレベルを調整することになる。
【００１４】
根太２の下部には、その下フランジ１０に、溝形鋼或いは山形鋼等の添接補強鋼材４をその上フランジ１１を支持するようにして固定金具１２により取り付ける。該添接補強鋼材４は、根太２に対して直交方向に延びる長尺部材である。
【００１５】
該添接補強鋼材４は、溝形鋼等を抱き合わせた長尺のもので、その溝形鋼等の対向するウェブ間には六角ボルトよりなる長尺の締め付けボルト５が配接され、溝形鋼相互をボルト・ナット等の連結具１３によりそのウェブより連結している。
【００１６】
上記長尺の締め付けボルト５は、その一端側は、鋼板製床パネル３のほぼ表面まで延び、その表面を該床パネル３と面一となるようにボルト等の頭部１４により床パネル３に固定する。
【００１７】
また、その他端側は、添接補強鋼材４の下フランジに当接するようにナットにより締め付け固定している。上記締め付けボルト５により、添接補強鋼材４と鋼板製床パネル３とが強固に連結されることになる。
【００１８】
上記実施例では、根太２の下フランジに固定された添接補強鋼材４と鋼板製床パネル３との連結について述べたが、梁或いは大引等の床下構造材１と鋼板製床パネル３との連結も上記同様に行われる。
【００１９】
図２の断面図に示すように、床下構造材１の下フランジに添接補強鋼材４をその直交方向に固定し、該添接補強鋼材４に固定された締め付けボルト５の一端側を鋼板製床パネル３と固定する。この添接補強鋼材４の配設により、床下構造材１の根太２相互間の間隙部分に於いても鋼板製床パネル３との連結を強固とすることが可能となる。
【００２０】
上記鋼板製床パネル３の上面には、鋼板６が敷設される。上記鋼板製床パネル３と鋼板６とは、図３の平面図に示すように、その表面側より連結金具７により固定される。連結金具７は、その鋼板６の表面も該床パネル３と同様にその表面が面一となるように皿ボルトなどのものが採用される。
【００２１】
上記クリ−ンル−ムの床構造の施工方法について説明する。
図６は、クリ−ンル−ムの床構造の既存状態を示す断面図であるが、その梁或いは大引等の床下構造材１および根太２等の下フランジに図１に示すように、添接補強鋼材４を直交方向に取り付ける。
【００２２】
上記添接補強鋼材４に固定された締め付けボルト５に対応する鋼板製パネル３に、該締め付けボルト５が貫通する貫通孔を形成する。該貫通孔に締め付けボルト５の頭部１４をその床面と面一となるように配設し、他端側は添接補強鋼材４の溝形鋼等の対向するウェブ間に配設し、その側面側より固定する。
【００２３】
その後、締め付けボルト５のナットを締め付けることにより添接補強鋼材４と鋼板製床パネル３とを強固に連結する。
その後、図２に示すように、鋼板製床パネル３上に鋼板６を敷設し、上記鋼板製床パネル３と鋼板６とを連結金具７により強固に固定する。
【００２４】
本願発明のクリ−ンル−ムの床構造は、床パネルの上面に鋼板を一体化して敷設できるので、所定の剛性と質量のある床構造を得ることが可能となった。
また、床材等の撤去作業による粉塵等の飛散がなく、クリ−ンル−ムの性質上、良好な改修工事環境とすることができ、従って、装置の操業を継続しながら改修工事をすることが可能となった。
【００２５】
更に、床パネルの上面に鋼板を敷設するだけなので、工期を大幅に短縮することが可能となった。
また、添接補強鋼材を使用することにより、床パネルと構造材とを強固に連結することができるので、強度上有効な床構造を得ることが可能となった。
【００２６】
更に、部材自体の重量を軽量化することができるので、施工時に重機類を持ち込んで作業することなく、数人の人力のみで施工することが可能であり、部材の低価格化、施工上の経費の節減等を大幅に達成することが可能となった。
【図面の簡単な説明】
【図１】本願発明のクリ−ンル−ムの床構造に添接補強鋼材を配設した状態を示す断面図である。
【図２】本願発明のクリ−ンル−ムの床構造に鋼板を配設した状態を示す断面図である。
【図３】本願発明のクリ−ンル−ムの床構造に鋼板を配設した状態を示す平面図である。
【図４】本願発明のクリ−ンル−ムの床構造に鋼板を配設した状態を示す拡大断面図である。
【図５】本願発明のクリ−ンル−ムの床構造に鋼板を配設した状態を示す拡大断面図である。
【図６】クリ−ンル−ムの床構造の既存状態を示す断面図である。
【符号の説明】
１床下構造材
２根太
３鋼板製床パネル
４添接補強鋼材
５締め付けボルト
６鋼板
７連結金具
８梁
９プレ−ト
１０フランジ
１１フランジ
１２固定金具
１３連結具
１４頭部[0001]
[Technical field to which the invention belongs]
The present invention relates to a floor structure in a clean room, and more particularly to a floor structure in which the rigidity and mass of the floor surface are increased.
[0002]
[Prior art]
2. Description of the Related Art Conventionally, a clean room for manufacturing a semiconductor needs to increase the rigidity and mass of a floor in response to an increase in the size of a manufacturing apparatus, changes in vibration conditions, and the like. In order to meet these requirements, existing factories are renovating the floor to remove existing flooring or replacing foundation materials such as joists to switch to stronger materials.
[0003]
In addition, the above renovation work is a large-scale work and removes existing members, so that dust is scattered or vibration is generated in the process of the work. The operation was completely stopped and construction was being carried out.
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
As described above, the suspension of operation of each device in the clean room during the renovation period was a big pain in profit.
In addition, in order to avoid a decrease in revenues, when construction is performed with the production equipment in operation, dust scattering and vibration occur as a result of the construction as described above, and in clean rooms for semiconductors, etc. It was not allowed to create the environment.
[0005]
In addition, if a material with high rigidity and mass is used, the member itself is heavy, and construction may take time, and there may be dangers due to bringing in and operating various heavy machinery. There were many. Further, these members are expensive, and there is a drawback that they are extremely expensive as a whole, such as an increase in labor costs in construction.
Moreover, the connection part of the floor surface and wall surface in a corner part had to be repaired also by the wall surface side depending on the structure of the accommodation.
[0006]
[Means for Solving the Problems]
The present invention has been made to solve the above-described problems, and can be performed in a state in which the manufacturing apparatus is operated without causing scattering or vibration of dust or the like accompanying the renovation work. It is intended to provide a clean room floor structure that can also be applied in the renovation work of the factory or in a new factory.
[0007]
As concrete means, under-floor structural materials such as beams made of steel or overdrawing, I-beams supported by the under-floor structural materials, joists made of H-beams or angle irons, steel plates laid on the joists In order to integrate the steel floor panel, the steel floor panel and the underfloor structural material and the joist, a spliced reinforcing steel material made of groove steel or angle steel, etc. disposed under the joist and the underfloor structural material , A cleaning bolt comprising: a fastening bolt for connecting a steel plate floor panel and an attachment reinforcing steel material; a steel plate laid on the steel plate floor panel; and a connecting metal fitting for connecting the steel plate floor panel and the steel plate. Provides an underfloor structure of the floor.
[0008]
Further, the above-mentioned welded reinforcing steel material is arranged so as to be orthogonal to the joist, and the welded reinforcing steel material is arranged so as to be orthogonal to the underfloor structural material intersected by the welded reinforcing steel material. Is.
[0009]
Furthermore, a fastening bolt for connecting the steel plate floor panel and the attachment reinforcing steel material is formed so that one end is flush with the surface of the steel plate floor panel, and the other end is formed on the lower flange of the attachment reinforcement steel material. It is characterized by being fastened and fixed with a nut so as to abut .
[0010]
Further, the steel plate floor panel and the steel plate laid on the panel are integrated by being tightened and fixed with a countersunk bolt.
[0011]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
FIG. 2 is a cross-sectional view showing an embodiment of the present invention, and the floor structure of the clean room of the present invention is an underfloor structural material such as a beam made of a steel frame such as I-shaped steel or H-shaped steel, or overdrawing. 1, a joist made of I-shaped steel, H-shaped steel or angle steel supported by the underfloor structural material 1, a steel plate floor panel laid on the joist 2, the steel plate floor panel 3 and the above-mentioned underfloor A joint reinforcement steel material made of grooved steel or angle steel for integrating the structural material 1 and the joist 2, a fastening bolt 5 for connecting the steel plate floor panel 3 and the joint reinforcement steel material 4, the steel plate It is formed of a steel plate 6 laid on the floor panel 3 and a connecting fitting 7 for connecting the steel plate floor panel 3 and the steel plate 6.
[0012]
[Example 1]
As a building constituting the clean room, a steel structure is adopted as shown in FIG. 6 in order to prevent dust and the like from being emitted from the housing during daily operation. The underfloor structural material shown in the sectional views of FIGS. 4 and 5 shows an H-shaped steel beam 8 supported by a column or the like.
[0013]
A joist 2 such as a grooved steel or an angle steel is connected to the beam 8 by an appropriate means in the perpendicular direction. In the embodiment, the upper edge of the joist is connected to the upper flange of the beam 8 so as to be placed thereon. A steel sheet floor panel 3 is supported on a joist 2 disposed at an appropriate interval according to the size of the floor panel and the load applied to the floor surface, with a plate 9 appropriately. The plate 9 adjusts the level of the floor surface.
[0014]
At the lower part of the joist 2, an attachment reinforcing steel material 4 such as channel steel or angle steel is attached to the lower flange 10 by a fixing bracket 12 so as to support the upper flange 11. The splicing reinforcing steel material 4 is a long member extending in a direction orthogonal to the joist 2.
[0015]
The splicing reinforcement steel material 4 is a long one in which a grooved steel or the like is joined together, and a long fastening bolt 5 made of a hexagonal bolt is arranged between opposing webs of the grooved steel or the like to form a groove. Steels are connected to each other from their webs by connecting tools 13 such as bolts and nuts.
[0016]
One end side of the long fastening bolt 5 extends to almost the surface of the steel plate floor panel 3, and the surface is flush with the floor panel 3 by a head 14 such as a bolt so as to be flush with the floor panel 3. Fix it.
[0017]
Further, the other end side is fastened and fixed with a nut so as to contact the lower flange of the attachment reinforcing steel material 4. By means of the tightening bolt 5, the attachment reinforcing steel material 4 and the steel plate floor panel 3 are firmly connected.
[0018]
In the above-described embodiment, the connection between the splicing reinforcement steel material 4 fixed to the lower flange of the joists 2 and the steel plate floor panel 3 has been described. Is also performed in the same manner as described above.
[0019]
As shown in the cross-sectional view of FIG. 2, the reinforcing steel material 4 is fixed to the lower flange of the underfloor structural material 1 in the orthogonal direction, and one end side of the fastening bolt 5 fixed to the auxiliary reinforcing steel material 4 is made of a steel plate. Fix to the floor panel 3. By providing the attachment reinforcing steel material 4, the connection with the steel plate floor panel 3 can be strengthened even in the gap portion between the joists 2 of the underfloor structural material 1.
[0020]
A steel plate 6 is laid on the upper surface of the steel plate floor panel 3. The steel plate floor panel 3 and the steel plate 6 are fixed by a connecting metal fitting 7 from the surface side as shown in the plan view of FIG. As for the connecting metal fitting 7, a plate bolt or the like is employed so that the surface of the steel plate 6 is flush with the surface of the steel plate 6, similarly to the floor panel 3.
[0021]
A method for constructing the floor structure of the clean room will be described.
FIG. 6 is a cross-sectional view showing the existing state of the floor structure of the clean room. As shown in FIG. The reinforcing steel material 4 is attached in the orthogonal direction.
[0022]
A through-hole through which the fastening bolt 5 passes is formed in the steel plate panel 3 corresponding to the fastening bolt 5 fixed to the attachment reinforcing steel material 4. The head 14 of the tightening bolt 5 is disposed in the through hole so as to be flush with the floor surface, and the other end is disposed between opposing webs such as channel steel of the attachment reinforcing steel material 4, Fix from the side.
[0023]
Thereafter, the nuts of the fastening bolts 5 are fastened to firmly connect the attachment reinforcing steel material 4 and the steel plate floor panel 3.
After that, as shown in FIG. 2, the steel plate 6 is laid on the steel plate floor panel 3, and the steel plate floor panel 3 and the steel plate 6 are firmly fixed by the connecting metal fitting 7.
[0024]
Since the floor structure of the clean room of the present invention can be laid with the steel plate integrated on the upper surface of the floor panel, a floor structure having a predetermined rigidity and mass can be obtained.
In addition, there will be no dust scattering due to the removal work of flooring, etc., and due to the nature of the clean room, it can be a good renovation environment, so renovation work should be carried out while continuing the operation of the equipment. Became possible.
[0025]
Furthermore, the construction period can be greatly shortened because the steel plate is simply laid on the upper surface of the floor panel.
Moreover, since the floor panel and the structural material can be firmly connected by using the welded reinforcing steel material, it is possible to obtain a floor structure effective in strength.
[0026]
Furthermore, since the weight of the member itself can be reduced, it is possible to perform construction with only a few people without bringing in heavy machinery during construction. It has become possible to achieve significant cost savings.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a cross-sectional view showing a state in which a reinforcing steel material is disposed on a floor structure of a clean room according to the present invention.
FIG. 2 is a cross-sectional view showing a state in which steel plates are disposed on the floor structure of the clean room of the present invention.
FIG. 3 is a plan view showing a state in which steel plates are disposed on the floor structure of the clean room of the present invention.
FIG. 4 is an enlarged sectional view showing a state in which a steel plate is disposed on the floor structure of the clean room of the present invention.
FIG. 5 is an enlarged sectional view showing a state in which a steel plate is disposed on the floor structure of the clean room of the present invention.
FIG. 6 is a sectional view showing an existing state of a floor structure of a clean room.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Underfloor structural material 2 joist 3 Steel plate floor panel 4 Reinforcement reinforcement steel material 5 Clamping bolt 6 Steel plate 7 Connecting bracket 8 Beam 9 Plate 10 Flange 11 Flange 12 Fixing bracket 13 Connecting tool 14 Head

Claims

鉄骨よりなる梁或いは大引等の床下構造材、該床下構造材に支持されたＩ形鋼、Ｈ形鋼或いは山形鋼等よりなる根太、該根太上に敷設された鋼板製床パネル、該鋼板製床パネルと上記床下構造材及び根太とを一体化させるため、根太及び床下構造材の下部に配設された溝形鋼或いは山形鋼等よりなる添接補強鋼材、該鋼板製床パネルと添接補強鋼材とを連結する締め付けボルト、該鋼板製床パネル上に敷設された鋼板並びに上記鋼板製床パネルと鋼板とを連結する連結金具とより成ることを特徴とするクリ−ンル−ムの床構造。Underfloor structural material such as beams or large-drawings made of steel frames, I-shaped steel supported by the underfloor structural material, joists made of H-shaped steel or angle steel, steel plate floor panels laid on the joists, the steel plates In order to integrate the floor panel, the underfloor structural material and the joist, an additional reinforcing steel material, such as a grooved steel or an angle steel , disposed at the lower part of the joist and the underfloor structural material, A floor of a clean room comprising: a fastening bolt for connecting a steel plate to a contact reinforcing steel, a steel plate laid on the steel plate floor panel, and a connecting metal fitting for connecting the steel plate floor panel and the steel plate. Construction.

上記添接補強鋼材は根太に対し直交するように配設し、該添接補強鋼材が交叉する床下構造材に直交するように添接補強鋼材を配設して成ることを特徴とする請求項１に記載のクリ−ンル−ムの床構造。 The said reinforcement steel material is arrange | positioned so that it may orthogonally cross with respect to a joist, and it may arrange | position an attachment reinforcement steel material so that it may orthogonally cross the underfloor structural material which this intersection reinforcement steel material crosses. The floor structure of the clean room according to 1.

鋼板製床パネルと添接補強鋼材とを連結する締め付けボルトを、一端側は鋼板製床パネルの表面と面一となるように形成し、他端側は添接補強鋼材の下フランジに当接するようにナットにより締め付け固定したことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のクリ−ンル−ムの床構造。The fastening bolt that connects the steel plate floor panel and the attachment reinforcing steel material is formed so that one end is flush with the surface of the steel plate floor panel, and the other end abuts the lower flange of the attachment reinforcement steel material. 3. The floor structure of the clean room according to claim 1, wherein the floor structure is fastened and fixed by a nut as described above.

鋼板製床パネルと該パネル上に敷設される鋼板とを皿ボルトで締め付け固定して一体化したことを特徴とする請求項１乃至請求項３の何れか１に記載のクリ−ンル−ムの床構造。4. The clean room according to claim 1, wherein the steel plate floor panel and the steel plate laid on the panel are integrated by tightening and fixing with a flat head bolt. Floor structure.