JP3617485B2 - 電子部品のボンディング装置およびボンディングツール - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、フリップチップのようなバンプ付き電子部品などの電子部品を基板の電極などの被接合面にボンディングする電子部品のボンディング装置およびボンディングツールに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
電子部品を基板の電極などの被接合面にボンディングする方法として、超音波圧接を用いる方法が知られている。この方法は、電子部品を被接合面に対して押圧しながら電子部品に超音波振動を与え、接合面を微小に振動させて摩擦を生じさせることにより接合面を密着させるものである。この方法に用いられるボンディングツールは、振動発生源である超音波振動子の振動を電子部品に伝達させる細長形状の棒体であるホーンを有しており、このホーンに備えられた圧着子によって電子部品に荷重と振動を作用させながら、電子部品を被接合面に圧着してボンディングするようになっている。
【0003】
圧着子にはボンディング時の負荷(荷重と振動)が作用するため、繰り返し使用によってその下面(電子部品の吸着面)が摩耗しやすい。この摩耗が甚しくなると正常なボンディングを行うことが出来なくなることから、定期的に圧着子を交換せねばならない。このため、超音波接合用のボンディングツールでは、ホーン全体を交換することの無駄を避け、圧着子をホーン本体に対して着脱可能な別部品としこの別部品のみを交換する方法が一般に用いられている。
【0004】
このような圧着子を別部品とする構成の例として、ホーンに凹状のテーパ面を設け、このテーパ面に嵌合する凸状のテーパ面を有する圧着子をねじによってホーン本体に締結する方法が知られている。この方法では、従来は圧着子に内ねじ部を設け、この内ねじ部とボルト部材によって圧着子をホーン本体に固定するようにしていた。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら上記圧着子に内ねじ部を設ける方法では、セラミック材料などねじ加工に適さない素材を圧着子の材質として採用することができないという材質選定上の制約とともに、テーパ面の加工精度上の制約から締結状態における圧着子のホーンに対する形状精度を確保することが困難であるという問題点があった。
【0006】
そこで本発明は、ボンディングツールの構成において圧着子締結用のねじ加工を圧着子に行う必要がなく、安定した形状精度を確保することができる電子部品のボンディング装置およびボンディングツールを提供することを目的とする。
【0017】
【課題を解決するための手段】
請求項1記載の電子部品のボンディング装置は、電子部品に荷重と振動を作用させながらこの電子部品を被接合面に圧着する電子部品のボンディング装置であって、前記電子部品に当接するボンディングツールと、このボンディングツールを前記電子部品に押圧する押圧手段とを備え、前記ボンディングツールは、横長のホーンと、このホーンに振動を付与する振動子と、前記ホーンの圧着側の表面に前記振動子により誘起される定在波振動の腹に相当する位置に左右対称形状で振動伝播方向に対して直交して設けられた溝と、この溝の左右両内側面に設けられた第1の面および第2の面と、前記溝の底面に当接する当接面を有し前記電子部品と当接する接合作用部から前記当接面に向かって末広がり形状に設けられた圧着子と、この圧着子に設けられ前記当接面に設けられた凹凸部を溝の底面に設けられた位置決め用の凹凸部に当接させた状態で前記第1の面と対向する第3のテーパ面および前記第2の面と対向する第4のテーパ面と、前記ホーンの溝と反対側の表面に前記定在波振動の腹に相当する位置を中心として左右対称形状で振動伝播方向に対して直交して設けられた第1の副溝および第2の副溝と、前記第1の面および第3のテーパ面と当接する第1の嵌合部材と、前記第2の面および第4のテーパ面と当接する第2の嵌合部材と、前記第1の副溝および第2の副溝にそれぞれ嵌合する第3の嵌合部材および第4の嵌合部材と、第1の副溝に開口し前記溝まで貫通する第1の貫通孔および第2の副溝に開口し前記溝まで貫通する第2の貫通孔と、前記第1の貫通孔を挿通して第1のナット部材と螺合し第1の嵌合部材と第3の嵌合部材とをホーンに締結する第1のボルト部材と、前記第2の貫通孔を挿通して第2のナット部材と螺合し第2の嵌合部材と第4の嵌合部材とをホーンに締結する第2のボルト部材とを備えた。
【0018】
請求項2記載の電子部品のボンディング装置は、請求項1記載の電子部品のボンディング装置であって、前記第1の嵌合部材と第3の嵌合部材のうちのいずれか1つに前記第1のボルト部材と螺合する内ねじ部が形成され、この内ねじ部が形成された嵌合部材が前記第1のナット部材を兼ね、前記第2の嵌合部材と第4の嵌合部材のうちのいずれか1つに前記第2のボルト部材と螺合する内ねじ部が形成され、この内ねじ部が形成された嵌合部材が前記第2のナット部材を兼ねる。
【0019】
請求項3記載の電子部品のボンディング装置は、請求項1または2に記載の電子部品のボンディング装置であって、前記圧着子に接合作用部から前記溝との当接面まで貫通して設けられた吸着孔を有し、前記当接面を溝の底面に当接させた状態で、前記吸着孔が前記底面と当接面との間に介装されたシール部材を介して前記ホーンの内部に設けられた吸引孔と連通する。
【0020】
請求項4記載の電子部品のボンディングツールは、電子部品に荷重と振動を作用させながらこの電子部品を被接合面に圧着するボンディングツールであって、横長のホーンと、このホーンに振動を付与する振動子と、前記ホーンの圧着側の表面に前記振動子により誘起される定在波振動の腹に相当する位置に左右対称形状で振動伝播方向に対して直交して設けられた溝と、この溝の左右両内側面に設けられた第1の面および第2の面と、前記溝の底面に当接する当接面を有し前記電子部品と当接する接合作用部から前記当接面に向かって末広がり形状に設けられた圧着子と、この圧着子に設けられ前記当接面に設けられた凹凸部を溝の底面に設けられた位置決め用の凹凸部に当接させた状態で前記第1の面と対向する第3のテーパ面および前記第2の面と対向する第4のテーパ面と、前記ホーンの溝と反対側の表面に前記定在波振動の腹に相当する位置を中心として左右対称形状で振動伝播方向に対して直交して設けられた第1の副溝および第2の副溝と、前記第1の面および第3のテーパ面と当接する第1の嵌合部材と、前記第2の面および第4のテーパ面と当接する第2の嵌合部材と、前記第1の副溝および第2の副溝にそれぞれ嵌合する第3の嵌合部材および第4の嵌合部材と、第1の副溝に開口し前記溝まで貫通する第1の貫通孔および第2の副溝に開口し前記溝まで貫通する第2の貫通孔と、前記第1の貫通孔を挿通して第1のナット部材と螺合し第1の嵌合部材と第3の嵌合部材とをホーンに締結する第1のボルト部材と、前記第2の貫通孔を挿通して第2のナット部材と螺合し第2の嵌合部材と第4の嵌合部材とをホーンに締結する第2のボルト部材とを備えた。
【0021】
請求項5記載の電子部品のボンディングツールは、請求項4記載の電子部品のボンディングツールであって、前記第1の嵌合部材と第3の嵌合部材のうちのいずれか1つに前記
第1のボルト部材と螺合する内ねじ部が形成され、この内ねじ部が形成された嵌合部材が前記第1のナット部材を兼ね、前記第2の嵌合部材と第4の嵌合部材のうちのいずれか1つに前記第2のボルト部材と螺合する内ねじ部が形成され、この内ねじ部が形成された嵌合部材が前記第2のナット部材を兼ねる。
【0022】
請求項6記載の電子部品のボンディングツールは、請求項4または5に記載の電子部品のボンディングツールであって、前記圧着子に接合作用部から前記溝との当接面まで貫通して設けられた吸着孔を有し、前記当接面を溝の底面に当接させた状態で、前記吸着孔が前記底面と当接面との間に介装されたシール部材を介して前記ホーンの内部に設けられた吸引孔と連通する。
【0023】
本発明によれば、両側に外側に開いたテーパ面を有する溝の底面に、両側面がテーパ面となった末広がり形状の圧着子を当接させ、溝のテーパ面と圧着子の側面のテーパ面との間に嵌合部材を勘合させてホーンに締結することにより、圧着子にねじ加工を行うことなく、安定した形状精度を確保して圧着子を締結することができる。
【0024】
【発明の実施の形態】
(実施の形態1)
図1は本発明の実施の形態1の電子部品のボンディング装置の正面図、図2は本発明の実施の形態1の電子部品のボンディングツールの上下反転斜視図、図3は本発明の実施の形態1の電子部品のボンディングツールの正面図、図4、図5、図6は本発明の実施の形態1の電子部品のボンディングツールの部分断面図である。
【0025】
まず、図1を参照して電子部品のボンディング装置の全体構造を説明する。1は支持フレームであって、その前面には第1昇降板2と第2昇降板3が昇降自在に設けられている。第1昇降板2にはシリンダ4が装着されており、そのロッド5は第2昇降板3に結合されている。第2昇降板3にはボンディングヘッド10が装着されている。支持フレーム1の上面にはZ軸モータ6が設けられている。Z軸モータ6は垂直な送りねじ7を回転させる。送りねじ7は第1昇降板2の背面に設けられたナット8に螺合している。したがってZ軸モータ6が駆動して送りねじ7が回転すると、ナット8は送りねじ7に沿って上下動し、第1昇降板2や第2昇降板3も上下動する。
【0026】
図1において、上面が電子部品の被接合面である基板46は基板ホルダ47上に載せられており、基板ホルダ47はテーブル48上に載せられている。テーブル48は可動テーブルであって、基板46をX方向やY方向へ水平移動させ、基板46を所定の位置に位置決めする。テーブル48は電子部品40に対して基板46を相対的に移動させる位置決め手段となっている。
【0027】
42はカメラであって、一軸テーブル43に装着されている。44はカメラ42から前方へ延出する鏡筒である。カメラ42を一軸テーブル43に沿って前進させ、鎖線で示すように鏡筒44の先端部をボンディングツール14の下面に吸着して保持された接合物としてのバンプ付きの電子部品40と基板46の間に位置させ、その状態で電子部品40と基板46の位置をカメラ42で観察する。
【0028】
53は認識部であり、カメラ42で撮像された電子部品40や基板46の画像を認識してこれらの位置を検出する。50は主制御部であり、モータ駆動部51を介してZ軸モータ6すなわちボンディングヘッド10の昇降動作を制御し、テーブル制御部52を介してテーブル48すなわち基板46の位置決めを行う。また主制御部50は、認識部53によって検出された電子部品40と基板46の位置より、水平面内における両者の位置ずれを演算し、この位置ずれを補正するようにテーブル48を駆動する。さらに主制御部50には、荷重制御部54と吸引装置56が接続されている。
【0029】
押圧手段としてのシリンダ4は、荷重制御部54を介して主制御部50に接続されており、シリンダ4のロッド5の突出力すなわちボンディングツール14で電子部品40のバンプを基板46に押し付ける押圧荷重が制御される。吸引装置56は主制御部50からの指令によってボンディングツール14による電子部品40の吸引・吸引解除を行う。超音波振動子から成る振動子17は、超音波振動子駆動部55を介して主制御部50に接続されており、主制御部50からの指令に従って超音波振動を行う。
【0030】
ボンディングヘッド10の本体11の下端部には、ホルダ12が結合されている。ホルダ12にはブロック13が装着され、ブロック13にはボンディングツール14が固定されている。ブロック13の側部の突部13aは吸引装置56に接続されている。以下、図2、図3を参照してボンディングツール14について説明する。
【0031】
図2および図3に示すように、ボンディングツール14は横長のホーン15を主体としている。ホーン15は細長形状の棒状体であり、平面視してその両側部からセンターへ向って次第に幅狭となるテーパ面15aを有している。ホーン15の中央部にはテーパ形状の圧着子30(吸着部)が下方へ突出して着脱自在に装着されている。
【0032】
図1において、ブロック13の側面に設けられた突部13aには吸着パッド19が装着されている。ホーン15には圧着子30の吸着孔32に連通する真空吸引孔16a,16bが形成されており、吸着パッド19はホーン15の上面の真空吸引孔16bに当接している。したがって吸着パッド19に接続された吸引装置56(図1)を駆動してエアを吸引することにより、圧着子30に開口した吸着孔32(図3(b))から真空吸引し、この圧着子30の下面にバンプ付きの電子部品40を真空吸着して保持することができる。
【0033】
圧着子30の下端部は接合作用部30a(図4参照)となっており、圧着子30の曲げ振動と押圧手段(シリンダ4)の押圧荷重を電子部品40に作用させる。圧着子30は電子部品40を吸着して保持するとともに、ボンディング時には接合作用部30aの圧着面30b(図4参照)が電子部品40の上面に当接して電子部品40を基板46に対して押圧する。
【0034】
圧着子30から等距離隔てられた4ヶ所には、リブ15cがホーン15と一体的に設けられている。ブロック13への取り付けバランスを良くするために、4個のリブ15cはホーン15のセンターの圧着子30を中心として平面視して対称に突設されている。ボンディングツール14は、リブ15cに形成された貫通孔20にボルトを螺入することにより、ブロック13の下面に着脱自在に装着されている。
【0035】
図2において、ホーン15の側端部には振動付与手段である振動子17が装着されている。振動子17を駆動することにより、ホーン15には縦振動(ホーン15の長手方向の振動)が付与され、圧着子30は水平方向a(ホーン15の長手方向)に振動する。図3(a),(b)に示すように、ホーン15の形状は両端部から中央部に向かって側面のテーパ面15aおよび上下面のテーパ面15bを経て順次幅および高さが絞られた形状となっている。
【0036】
これにより、振動子17より圧着子30に伝達される経路において超音波振動の振幅は増幅され、圧着子30には振動子17が発振する振幅以上の振動が伝達され、この振動は圧着面30bを介して電子部品40に伝達される。この電子部品40への振動伝達においては、振動子17によってホーン15を介して伝達される縦振動のみならず、ホーン15の縦振動によってテーパ形状の圧着子30に誘起される曲げ振動が重畳して伝達される。
【0037】
次に図4、図5を参照して圧着子30のホーン15への装着について説明する。ホーン15の下面側(圧着側)の中心位置、すなわちホーン15に振動子17により誘起される定在波振動の腹に相当する位置には、左右対称形状の溝18が振動伝播方向(ホーン15の長手方向)に直交する方向(紙面に対して垂直方向)に設けられている。溝18の左右両内側面は、外側に開いたテーパ形状の第1のテーパ面(第1の面)18a、第2のテーパ面(第2の面)18bとなっている。溝18の底面18cの中央部には、位置決め用の凹部18dが設けられており、凹部18dには、ホーン15の内部に設けられた真空吸引孔16aが開口している。
【0038】
ホーン15に装着される圧着子30は、電子部品40に当接する接合作用部30aから溝18の底面18cに当接する当接面30fに向かって幅が増大する末広がり形状となっており、当接面30fには、溝18の凹部18dに嵌合する凸部30eが設けられている。なお、凹部18d、凸部30eの凹凸方向を入れ換えて、溝18側に凸部を、圧着子30側に凹部を設けて位置決めするようにしてもよい。
【0039】
圧着子30には、接合作用部30aから当接面30fまで貫通する吸着孔32が設けられている。当接面30fを溝18の底面18cに当接させた状態では、吸着孔32は底面18cの凹部18dと当接面30fの凸部30eとの間に介装されたシール部材31を介して、ホーン15の内部に設けられた真空吸引孔16aと連通するようになっている。
【0040】
圧着子30の両側面は第3のテーパ面30c、第4のテーパ面30dとなっており、凸部30eを位置決め用の凹部18dに嵌合させて圧着子30を溝18に位置合わせし、当接面30fを溝18の底面18cに当接させた状態では、第1のテーパ面18aは第3のテーパ面30cと、また第2のテーパ面18bは第4のテーパ面30dとそれぞれ対向する。ホーン15の上面の中央位置には、圧着子30と略対称形状の凸部15dが設けられており、圧着子30がホーン15に装着された状態において、ホーン15の質量分布が振動伝播方向の中心線について対称に保たれるようになっている。
【0041】
次にホーン15への圧着子30の締結方法について説明する。ホーン15には、溝18の両側端部に開口する2つの垂直な貫通孔15eが設けられており、圧着子30をホーン15に締結する際には、図5に示すように2つの貫通孔15eに第1のボルト部材33A,第2のボルト部材33Bを上側から挿通させる。そして第1のボルト部材33A,第2のボルト部材33Bのねじ部を、それぞれテーパ形状の第1の嵌合部材34A、第2の嵌合部材34Bの内ねじ部34aと螺合させる。
【0042】
これにより、図4に示す第1の嵌合部材34Aのテーパ面34b、34cは、第1のテーパ面18a、第3のテーパ面30cとそれぞれ当接し、また第2の嵌合部材34Bのテーパ面34d、34eは、第2のテーパ面18b、第4のテーパ面30dとそれぞれ当接する。そして第1のボルト部材33A,第2のボルト部材33Bを所定の締結トルクで締め付けることにより、圧着子30の当接面30fは溝18の底面18cに所定の面圧で押圧され、強固な締結が実現される。
【0043】
この締結状態において、圧着子30のホーン15に対する形状精度は、当接面30fが溝18の底面18cに当接し、さらに凸部30eが凹部18dに嵌合した状態にあることから、圧着子30は水平方向の位置ずれや圧着面30bのホーン15に対する平行度のばらつきを生じることなく正しい姿勢で締結される。また、圧着子30の締結において、圧着子30にはねじ加工を必要としないことから、セラミックなどねじ加工に不適な材質をも含めて広い範囲から圧着子30の材質を選定することができる。
【0044】
なお、第1の面18a、第2の面18bは、必ずしも外側に開いたテーパ面である必要はなく、圧着面30bに対して垂直な垂直面であってもよい。この場合、第1の面18aに当接する第1の嵌合部材34Aのテーパ面34bならびに、第2の面18bに当接する第2の嵌合部材34Bのテーパ面34dも垂直面となる。
【0045】
また、圧着子30をホーン15に締め付ける方法として、図6に示すような方法を用いてもよい。図6(a)に示す例では、内ねじ部34aが設けられた第1の嵌合部材34A、第2の嵌合部材34Bの代わりに、貫通孔が設けられた第1の嵌合部材34’A、第2の嵌合部材34’Bを用いる。そして貫通孔15eおよび第1の嵌合部材34’A、第2の嵌合部材34’Bをそれぞれ挿通して下方に突出した第1のボルト部材33’A、第2のボルト部材33’Bのねじ部を、ナット部材35と螺合させて締め付けることにより、圧着子30をホーン15に締結する。
【0046】
この例では、貫通孔15eと、第1のボルト部材33’A、第2のボルト部材33’Bと、ナット部材35が、第1の嵌合部材34’A、第2の嵌合部材34’Bをホーン15に締結する第1の締め付け手段および第2の締め付け手段となっている。なお、図4,図5に示す例では、第1の嵌合部材34Aおよび第2の嵌合部材34Bに内ねじ部34aが形成され、第1の嵌合部材34Aおよび第2の嵌合部材34Bが上記ナット部材35を兼ねた形となっている。
【0047】
また図6(b)に示す例では、ホーン15の貫通孔15eの代わりに内ねじ部15’eを設け、第1のボルト部材33’’A、第2のボルト部材33’’Bを、第1の嵌合部材34’A、第2の嵌合部材34’Bに設けられた貫通孔に下方から挿通させ、内ねじ部15’eに螺合させるようにしている。この例では、内ねじ部15’eと、第1のボルト部材33’’A、第2のボルト部材33’’Bが、第1の嵌合部材34’A、第2の嵌合部材34’Bをホーン15に締結する第1の締め付け手段および第2の締め付け手段となっている。
【0048】
(実施の形態2)
図7,図8は本発明の実施の形態2の電子部品のボンディングツールの部分断面図である。図7において、ホーン15の下面側に設けられた溝18、圧着子30、シール部材31、第1の嵌合部材34A、第2の嵌合部材34B、第1のボルト部材33A,第2のボルト部材33Bは、実施の形態1において図4に示すものと同様である。
【0049】
ホーン15の上面側(溝18形成面の反対側)には、凸部15dの両側に定在波振動の腹に相当する位置を中心として、第1の副溝15f、第2の副溝15gが設けられている。第1の副溝15f、第2の副溝15gは、いずれも左右対称形状で振動伝播方向に対して直交して設けられ、それぞれ外側に開いた1対のテーパ面15hを有している。第1の副溝15f、第2の副溝15gの底面には、下面側の溝18まで貫通する第1の貫通孔15i、第2の貫通孔15jが設けられている。
【0050】
第1の副溝15f、第2の副溝15gには、貫通孔36aが設けられたテーパ形状の第3の嵌合部材36Aおよび第4の嵌合部材36Bが嵌合する。この状態で、図8に示すように第1のボルト部材33Aを上側から第3の嵌合部材36Aおよび第1の貫通孔15iを挿通させ、第1の嵌合部材34Aと螺合させて締め付けることにより、第1の嵌合部材34Aと第3の嵌合部材36Aはホーン15に締結される。また第2のボルト部材33Bを上側から第4の嵌合部材36Bおよび第2の貫通孔15jを挿通させ、第2の嵌合部材34Bと螺合させて締め付けることにより、第2の嵌合部材34Bと第3の嵌合部材36Aはホーン15に締結される。
【0051】
この実施の形態2においては、実施の形態1と同様に形状精度に優れた強固な締結が実現されるとともに、ホーン15の上面側と下面側にテーパ形状の嵌合部材を2つづつ配置して締結する構成としていることから、ホーン15に対して作用する締め付け力は上下均等となり、締め付けによるホーン15の変形を極力低減できるという効果を有する。
【0052】
なお上記実施の形態においては、第1のボルト部材33A、第2のボルト部材33Bと螺合する内ねじを、第1の嵌合部材34A、第2の嵌合部材34Bに設けるようにしているが、この内ねじを第3の嵌合部材36A、第4の嵌合部材36Bに設け、第1のボルト部材33Aと第2のボルト部材33Bを下から挿入して固定するようにしてもよい。また、実施の形態1の図6(a)に示す例と同様に、第1のボルト部材33A、第2のボルト部材33Bをナット部材35と螺合させて締め付けるようにしてもよい。図7,図8に示す例では、第1の嵌合部材34A、第2の嵌合部材34Bが、ナット部材を兼ねた形となっている。
【0053】
さらに実施の形態1と同様に、第1の面18a、第2の面18bを垂直面としてもよい。この場合第1の面18aと対称位置にある第1の副溝15fのテーパ面15hならびに第2の面18bと対称位置にある第2の副溝15gのテーパ面15hも垂直面とすることが望ましい。
【0054】
【発明の効果】
本発明によれば、両側に外側に開いたテーパ面を有する溝の底面に、両側面がテーパ面となった末広がり形状の圧着子を当接させ、溝のテーパ面と圧着子の側面のテーパ面との間に嵌合部材を嵌合させてホーンに締結するようにしたので、圧着子にねじ加工を行うことなく、圧着子を安定した形状精度を確保して締結することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態1の電子部品のボンディング装置の正面図
【図2】本発明の実施の形態1の電子部品のボンディングツールの上下反転斜視図
【図3】本発明の実施の形態1の電子部品のボンディングツールの正面図
【図4】本発明の実施の形態1の電子部品のボンディングツールの部分断面図
【図5】本発明の実施の形態1の電子部品のボンディングツールの部分断面図
【図6】本発明の実施の形態1の電子部品のボンディングツールの部分断面図
【図7】本発明の実施の形態2の電子部品のボンディングツールの部分断面図
【図8】本発明の実施の形態2の電子部品のボンディングツールの部分断面図
【符号の説明】
14 ボンディングツール
15 ホーン
16a 吸引孔
17 振動子
18 溝
18a 第1のテーパ面(第1の面)
18b 第2のテーパ面(第2の面)
18c 底面
18d 凹部
30 圧着子(吸着部)
30a 接合作用部
30c 第3のテーパ面
30d 第4のテーパ面
30e 凸部
32 吸着孔
33A 第1のボルト部材
33B 第2のボルト部材
34A 第1の嵌合部材
34B 第2の嵌合部材
Claims (6)
- 電子部品に荷重と振動を作用させながらこの電子部品を被接合面に圧着する電子部品のボンディング装置であって、前記電子部品に当接するボンディングツールと、このボンディングツールを前記電子部品に押圧する押圧手段とを備え、前記ボンディングツールは、横長のホーンと、このホーンに振動を付与する振動子と、前記ホーンの圧着側の表面に前記振動子により誘起される定在波振動の腹に相当する位置に左右対称形状で振動伝播方向に対して直交して設けられた溝と、この溝の左右両内側面に設けられた第1の面および第2の面と、前記溝の底面に当接する当接面を有し前記電子部品と当接する接合作用部から前記当接面に向かって末広がり形状に設けられた圧着子と、この圧着子に設けられ前記当接面に設けられた凹凸部を溝の底面に設けられた位置決め用の凹凸部に当接させた状態で前記第1の面と対向する第3のテーパ面および前記第2の面と対向する第4のテーパ面と、前記ホーンの溝と反対側の表面に前記定在波振動の腹に相当する位置を中心として左右対称形状で振動伝播方向に対して直交して設けられた第1の副溝および第2の副溝と、前記第1の面および第3のテーパ面と当接する第1の嵌合部材と、前記第2の面および第4のテーパ面と当接する第2の嵌合部材と、前記第1の副溝および第2の副溝にそれぞれ嵌合する第3の嵌合部材および第4の嵌合部材と、第1の副溝に開口し前記溝まで貫通する第1の貫通孔および第2の副溝に開口し前記溝まで貫通する第2の貫通孔と、前記第1の貫通孔を挿通して第1のナット部材と螺合し第1の嵌合部材と第3の嵌合部材とをホーンに締結する第1のボルト部材と、前記第2の貫通孔を挿通して第2のナット部材と螺合し第2の嵌合部材と第4の嵌合部材とをホーンに締結する第2のボルト部材とを備えたことを特徴とする電子部品のボンディング装置。
- 前記第1の嵌合部材と第3の嵌合部材のうちのいずれか1つに前記第1のボルト部材と螺合する内ねじ部が形成され、この内ねじ部が形成された嵌合部材が前記第1のナット部材を兼ね、前記第2の嵌合部材と第4の嵌合部材のうちのいずれか1つに前記第2のボルト部材と螺合する内ねじ部が形成され、この内ねじ部が形成された嵌合部材が前記第2のナット部材を兼ねることを特徴とする請求項1記載の電子部品のボンディング装置。
- 前記圧着子に接合作用部から前記溝との当接面まで貫通して設けられた吸着孔を有し、前記当接面を溝の底面に当接させた状態で、前記吸着孔が前記底面と当接面との間に介装されたシール部材を介して前記ホーンの内部に設けられた吸引孔と連通することを特徴とする請求項1または2に記載の電子部品のボンディング装置。
- 電子部品に荷重と振動を作用させながらこの電子部品を被接合面に圧着するボンディングツールであって、横長のホーンと、このホーンに振動を付与する振動子と、前記ホーンの圧着側の表面に前記振動子により誘起される定在波振動の腹に相当する位置に左右対称形状で振動伝播方向に対して直交して設けられた溝と、この溝の左右両内側面に設けられた第1の面および第2の面と、前記溝の底面に当接する当接面を有し前記電子部品と当接する接合作用部から前記当接面に向かって末広がり形状に設けられた圧着子と、この圧着子に設けられ前記当接面に設けられた凹凸部を溝の底面に設けられた位置決め用の凹凸部に当接させた状態で前記第1の面と対向する第3のテーパ面および前記第2の面と対向する第4のテーパ面と、前記ホーンの溝と反対側の表面に前記定在波振動の腹に相当する位置を中心として左右対称形状で振動伝播方向に対して直交して設けられた第1の副溝および第2の副溝と、前記第1の面および第3のテーパ面と当接する第1の嵌合部材と、前記第2の面および第4のテーパ面と当接する第2の嵌合部材と、前記第1の副溝および第2の副溝にそれぞれ嵌合する第3の嵌合部材および第4の嵌合部材と、第1の副溝に開口し前記溝まで貫通する第1の貫通孔および第2の副溝に開口し前記溝まで貫通する第2の貫通孔と、前記第1の貫通孔を挿通して第1のナット部材と螺合し第1の嵌合部材と第3の嵌合部材とをホーンに締結する第1のボルト部材と、前記第2の貫通孔を挿通して第2のナット部材と螺合し第2の嵌合部材と第4の嵌合部材とをホーンに締結する第2のボルト部材とを備えたことを特徴とする電子部品のボンディングツール。
- 前記第1の嵌合部材と第3の嵌合部材のうちのいずれか1つに前記第1のボルト部材と螺合する内ねじ部が形成され、この内ねじ部が形成された嵌合部材が前記第1のナット部材を兼ね、前記第2の嵌合部材と第4の嵌合部材のうちのいずれか1つに前記第2のボルト部材と螺合する内ねじ部が形成され、この内ねじ部が形成された嵌合部材が前記第2のナット部材を兼ねることを特徴とする請求項4記載の電子部品のボンディングツール。
- 前記圧着子に接合作用部から前記溝との当接面まで貫通して設けられた吸着孔を有し、前記当接面を溝の底面に当接させた状態で、前記吸着孔が前記底面と当接面との間に介装されたシール部材を介して前記ホーンの内部に設けられた吸引孔と連通することを特徴とする請求項4または5に記載の電子部品のボンディングツール。
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