JP3607950B2 - ガス供給設備 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガス供給設備に関し、特に、半導体デバイスの生産工程で使用する特殊材料ガスの供給に適したガス供給設備に関する。
【0002】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】
半導体製造用の特殊材料ガスは、その大半が毒性,可燃性,腐食性といった反応性に富んだ物性を有しているため、このようなガスを充填したガス容器の保管やガスの使用にあたっては、第一に安全に十分考慮する必要がある。
【0003】
上述のような特殊な材料ガスを供給する設備として、例えば、特許第2501913号公報に記載されているようなオートシリンダーボックス(シリンダーキャビネット)が知られている。この設備は、安全性を考慮したキャビネット内に2本の材料ガス容器と必要に応じて設置されるパージガス用の容器とを収納し、前記2本の材料ガス容器を交互に使用することにより連続的に材料ガスを供給できるように配管や弁が形成されており、材料ガス容器を交換する際の残ガス放出やパージ等の操作も自動的に行うようにしている。
【0004】
ところが、従来のシリンダーキャビネットは、そのほとんどが2本の材料ガス容器を収納するように形成されており、また、多くの材料ガス容器を収納可能なものでも、その収納本数が固定されているため、材料ガスの使用量が増加したときには、同様に形成されているシリンダーキャビネットを既存のものと併設する必要があった。
【0005】
しかし、シリンダーキャビネットを併設した場合、両キャビネットには、残ガス放出やパージ等の操作を自動的に行うための各種配管や弁だけでなく、制御装置も組み込まれているため、シリンダーキャビネットの増設、即ち材料ガス容器の増設には多大なコストを必要としていた。さらに、通常、シリンダーキャビネットの増設は、使用先に材料ガスを供給している既存のガス供給経路に新たなガス供給経路を接続するようにして行われるため、材料ガスの供給を一旦停止しなければならないとともに、増設後には、経路内のパージも行わなければならなかった。
【0006】
そこで本発明は、ガス容器を1本単位で増減することができ、ガス使用先でのガス使用量の変動に容易にかつ低コストで対応することができるガス供給設備を提供することを目的としている。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明のガス供給設備は、メインキャビネットと、該メインキャビネットに順次接続されるサブキャビネットとからなり、前記メインキャビネットは、ガス容器収納部と、ガス容器内の高圧ガスを、該ガス容器に設けられた容器弁から高圧弁,減圧弁,低圧弁及びガス供給用の分岐経路接続部を介して使用先に送出するガス供給経路と、前記容器弁と高圧弁との間の高圧経路にパージガス導入用の分岐経路接続部及びパージガス導入弁を介してパージガスを導入するパージガス導入経路と、前記減圧弁と低圧弁との間の低圧経路からパージガス導出弁及びパージガス導出用の分岐経路接続部を介してパージガスを導出するパージガス導出経路とを備え、前記サブキャビネットは、ガス容器収納部と、ガス容器内の高圧ガスを、該ガス容器に設けられた容器弁から高圧弁,減圧弁,低圧弁及びガス供給用の分岐経路接続部を介して送出するガス供給経路と、前記容器弁と高圧弁との間の高圧経路にパージガス導入用の分岐経路接続部及びパージガス導入弁を介してパージガスを導入するパージガス導入経路と、前記減圧弁と低圧弁との間の低圧経路からパージガス導出弁及びパージガス導出用の分岐経路接続部を介してパージガスを導出するパージガス導出経路とを備え、メインキャビネットとサブキャビネットとの接続は、メインキャビネットのガス供給用の分岐経路接続部とサブキャビネットのガス供給用の分岐経路接続部とをガス供給用接続経路を介して接続し、メインキャビネットのパージガス導入用の分岐経路接続部とサブキャビネットのパージガス導入用の分岐経路接続部とをパージガス導入用接続経路を介して接続し、メインキャビネットのパージガス導出用の分岐経路接続部とサブキャビネットのパージガス導出用の分岐経路接続部とをパージガス導出用接続経路を介して接続し、サブキャビネットと次段のサブキャビネットとの接続は、サブキャビネットのガス供給用の分岐経路接続部と次段のサブキャビネットのガス供給用の分岐経路接続部とをガス供給用接続経路を介して接続し、サブキャビネットのパージガス導入用の分岐経路接続部と次段のサブキャビネットのパージガス導入用の分岐経路接続部とをパージガス導入用接続経路を介して接続し、サブキャビネットのパージガス導出用の分岐経路接続部と次段のサブキャビネットのパージガス導出用の分岐経路接続部とをパージガス導出用接続経路を介して接続し、末端となるサブキャビネットのガス供給用,パージガス導入用及びパージガス導出用の各分岐経路接続部における次段のサブキャビネットのガス供給用,パージガス導入用及びパージガス導出用の各接続経路との各接続部に閉塞手段をそれぞれ有していることを特徴とし、前記ガス供給用の分岐経路接続部は、三方弁からなる合流弁であり、前記パージガス導入用の分岐経路接続部は、自動三方弁からなるパージガス分岐弁であり、前記パージガス導出用の分岐経路接続部は、チーズからなるガス合流部であることを特徴としている。
【0008】
【発明の実施の形態】
図1は、本発明のガス供給設備を半導体製造用材料ガスを供給するためのシリンダーキャビネットに適用した一形態例を示す系統図である。このガス供給設備は、メインキャビネットAと、該メインキャビネットAに順次接続されるサブキャビネットB1,B2とを有するもので、各キャビネット内には、所定の材料ガスを充填したガス容器C1,C2,C3が各々1本ずつ収納されている。
【0009】
メインキャビネットAには、材料ガスを使用先に送出する材料ガス供給経路1と、パージガス導入用のパージガス導入経路2aと、このパージガス導入経路2aに切換弁ブロック3の部分で接続した高圧気密試験用の高圧ガスを導入する高圧ガス導入経路2bと、パージガス導出用のパージガス導出経路5と、パージガス導出用の駆動ガスとして使用する駆動ガス導入経路6とが接続されており、各キャビネット間は、分岐経路であるガス供給用接続経路1a,1b、パージガス導入用接続経路2c,2d、パージガス導出用接続経路5a,5bによってそれぞれ接続している。
【0010】
さらに、メインキャビネットA内には、前記切換弁ブロック3の他、材料ガス供給弁ブロック7と、パージガス吸引弁ブロック8とが設けられ、メイン・サブ両キャビネット内には、高圧弁ブロック9,9a,9bと低圧弁ブロック10,10a,10bとが設けられ、各弁ブロック内には、空気圧により作動する自動弁等が設けられている。
【0011】
前記切換弁ブロック3は、パージガス弁31及び高圧ガス弁32を有するもので、該切換弁ブロック3より上流側のパージガス導入経路2aには、高圧ガスが逆流することを防止するための逆止弁33が設けられており、高圧ガス導入経路2bは、この切換弁ブロック3の下流側に設けられた圧力センサー34の部分でパージガス導入経路2に合流している。さらに、このパージガス導入経路2は、三方弁からなるパージガス分岐弁35,35a,35bにより、各キャビネット内の高圧弁ブロック9,9a,9bに向かうパージガス導入経路2e,2f,2gと、次段のサブキャビネットB1,B2に向かう前記パージガス導入用接続経路2c,2dとに分岐している。
【0012】
前記パージガス分岐弁35,35a,35bは、閉塞手段を有する分岐経路接続部として機能するものであって、開状態で3本の経路がそれぞれ連通した状態となり、閉状態では特定の1本の経路のみが閉じられ、他の2本の経路が連通した状態となるものが用いられている。例えば、メインキャビネットAのパージガス分岐弁35では、パージガス導入用接続経路2cが接続した経路のみが開閉され、サブキャビネットB1のパージガス分岐弁35aでは、パージガス導入用接続経路2dが接続した経路のみが開閉されるように形成されている。したがって、本形態例において末端となるサブキャビネットB2のパージガス分岐弁35bは、第3のサブキャビネットを増設する際に設けられる接続経路2hを接続するとき以外は閉状態であり、他のパージガス分岐弁35,35aは開状態となっている。
【0013】
前記材料ガス供給弁ブロック7は、材料ガスの供給を遮断する材料ガス遮断弁71とフィルター72とを有しており、パージガス吸引弁ブロック8は、パージガス吸引弁81と、パージガス吸引用のエジェクター82と、駆動ガス導入弁83とを有している。また、パージガス吸引弁ブロック8の上流側の駆動ガス導入経路6には、材料ガス等が駆動ガス導入経路6に逆流することを防止するための逆止弁84が設けられている。
【0014】
前記低圧弁ブロック10,10a,10bは、材料ガスの供給経路を切換えるための低圧弁11,11a,11bと、パージガス等を導出するためのパージガス導出弁12,12a,12bとを有するとともに、メインキャビネットAに複数のサブキャビネットB1,B2を接続したときの各材料ガス経路を1本にまとめるための自動三方弁からなる合流弁13,13a,13bとを有している。
【0015】
この合流弁は、前記パージガス分岐弁35と同様に、閉塞手段を有する分岐経路接続部として機能するものであって、開状態で3本の経路がそれぞれ連通し、閉状態では特定の1本の経路のみが閉じられ、他の2本の経路が連通した状態となるものである。すなわち、メインキャビネットAの合流弁13では、ガス供給用接続経路1aが接続した経路のみが開閉され、サブキャビネットB1の合流弁13aでは、ガス供給用接続経路1bが接続した経路のみが開閉される。したがって、サブキャビネットB2の合流弁13bは閉状態、他の合流弁13,13aは開状態であり、合流弁13bは、第3のサブキャビネットを増設する際に設けられる接続経路1c接続したときにのみ開状態となる。
【0016】
また、各パージガス導出弁12,12a,12bの二次側には、次段のサブキャビネットからのパージガス経路を1本にまとめるためのチーズからなるガス合流部14,14a,14bが設けられている。このチーズからなるガス合流部14,14a,14bも、前記パージガス分岐弁35や合流弁13と同様に、閉塞手段を有する分岐経路接続部として機能するものであって、末端となるサブキャビネットB2のガス合流部14bに示すように、該サブキャビネットB2に第3のサブキャビネットを増設する際に設けられる接続経路5cの接続口には、圧力の検出と同時に接続口を閉塞するための圧力センサー5dが装着されており、この圧力センサー5dは、接続経路5cを接続するときにのみ取外される。
【0017】
前記高圧弁ブロック9,9a,9bは、ガス容器の容器弁91,91a,91bに接続する容器弁接続部92,92a,92bと、高圧材料ガスの供給を制御するための高圧弁93,93a,93bと、パージガスの導入を制御するためのパージガス導入弁94,94a,94bと、圧力センサー95,95a,95bとが設けられており、高圧弁93,93a,93bの二次側のブロック出口部には、減圧弁96,96a,96bが接続されている。
【0018】
また、上記減圧弁96,96a,96bで減圧された材料ガスが前記低圧弁ブロック10,10a,10bに向かって流れる低圧経路97,97a,97bは、様々な大きさの材料ガス容器に対応するため、蛇管等の可撓性を有する配管材料により形成されており、低圧側の圧力センサー15,15a,15bを介して低圧弁ブロック10,10a,10bに接続されている。
【0019】
次に、このように形成したガス供給設備による材料ガスの供給動作を説明する。まず、メインキャビネットAのガス容器C1から材料ガスを使用先に供給している場合、ガス容器C1の容器弁91,高圧弁93,低圧弁11,合流弁13及び材料ガス遮断弁71が開状態であり、パージガス導入弁94及びパージガス導出弁12が閉状態である。
【0020】
したがって、ガス容器C1内の材料ガスは、容器弁91から容器弁接続部92を経て高圧弁ブロック9内に流入し、各経路及び高圧弁93を通り、減圧弁96で所定圧力に減圧された後、低圧経路97,圧力センサー15を経て低圧弁ブロック10に流入し、低圧弁11及び合流弁13を通って材料ガス供給弁ブロック7に入り、材料ガス遮断弁71とフィルター72とを通過して材料ガス供給経路1から使用先に供給される。
【0021】
このとき、サブキャビネットB1でガス容器C2の交換を行う場合、安全性を確保するため、最初に、サブキャビネットB1の経路内に残留する材料ガスの除去が行われる。この材料ガスの除去操作は、上述の材料ガス供給状態から、容器弁91a及び低圧弁11aを閉じてパージガス導出弁12aを開き、パージガス吸引弁ブロック8のパージガス吸引弁81及び駆動ガス導入弁83を開状態として行われる。
【0022】
これにより、駆動ガス導入経路6からパージガス吸引弁81を介して導入される駆動ガスによりエジェクター82に吸引力が発生し、この吸引力により、容器弁91aから低圧弁11aまでの間の経路に存在するガスが、パージガス導出弁12a,ガス合流部14a及びパージガス導出用接続経路5aを経てメインキャビネットA内のガス合流部14及びパージガス吸引弁81を介してエジェクター82に吸引され、パージガス導出経路5から導出される。
【0023】
この残留ガスの排気状態は、圧力センサー5d,15a,95aにより確認することができ、所定の真空度に達した後、高圧弁93aあるいはパージガス導出弁12aを閉じて所定時間放置することにより、容器弁91aからのリークの有無、すなわち、容器弁91aが確実に閉じられていることを確認できる。
【0024】
次に、容器弁91a及び高圧弁93aを閉じた状態でパージガス弁31及びパージガス導入弁94aを開き、パージガス導入経路2aからのパージガス、通常は高純度窒素ガスを容器弁91aと高圧弁93aとの間の高圧経路に導入する操作と、パージガス導入弁94aを閉じて高圧弁93aを開き、高圧経路内のガスを前記同様にしてパージガス導出経路5から導出する操作とを適当回数繰り返し、容器弁91a部分の材料ガスを確実に排除してガス容器C2を安全に取外せる状態にする。
【0025】
次に、ガス容器交換時に、容器弁接続部92aから高圧弁ブロック9a内の経路に大気成分が入り込むことを防止するため、パージガス弁31及びパージガス導入弁94aを開いたままとし、パージガスを容器弁接続部92aから外部に吹出す状態にしてガス容器C2を交換する。
【0026】
ガス容器C2を交換して容器弁91aに高圧弁ブロック9を接続したら、容器弁91aから低圧弁11aまでの間の経路のガスをエジェクター82を介してパージガス導出経路5から抜き出して真空状態とした後、パージガス導出弁12a及び高圧弁93aを閉じて放置することにより、容器弁91aとの接続部等からのリークの有無を確認する低圧気密試験と、容器弁91aと高圧弁93aとの間の高圧経路を、高圧ガス導入経路2bから高圧ガス弁32,パージガス導入経路2等を経て導入される高圧ガス(高純度窒素ガス)で所定圧力に加圧して放置することによりリークの有無を確認する高圧気密試験とを行い、容器弁91aとの接続状態を確認する。
【0027】
さらに、容器弁91aの接続確認を終えたら、ガス容器交換時に経路内に入り込んだ可能性のある大気成分を確実に除去するためのパージ操作を行う。このパージ操作は、容器弁91aから低圧弁11aまでの間の経路へのパージガスの導入と、導入したパージガスの真空排気とを繰返すことにより行われる。
【0028】
また、適宜に前記同様の低圧気密試験と高圧気密試験とを行い、容器弁91a,高圧弁93a,パージガス導入弁94a,減圧弁96a,低圧弁11a,パージガス導出弁12aや圧力センサー15a,95aの取付部,配管接続部等の気密試験を行う。
【0029】
各部にリークの無いことが確認されたら、パージガス導入弁94aを閉じ、容器弁91aとパージガス導出弁12aとを交互に開閉して容器弁91aから低圧弁11aまでの間の経路に材料ガスを導入し、最終的にこの経路内を材料ガスに置換した状態とする。
【0030】
これにより、サブキャビネットB1から材料ガスを供給する準備が終了したことになる。材料ガスの供給をメインキャビネットAからサブキャビネットB1に切換えるには、サブキャビネットB1の低圧弁11aを開くとともに、メインキャビネットAの低圧弁11を閉じることにより行われる。
【0031】
すなわち、サブキャビネットB1のガス容器C2内の材料ガスは、容器弁91aから容器弁接続部92aを経て高圧弁ブロック9a内に流入し、各経路及び高圧弁93aを通り、減圧弁96aで所定圧力に減圧された後、低圧経路97a,圧力センサー15aを経て低圧弁ブロック10aに流入し、低圧弁11a,合流弁13aからガス供給用接続経路1aを通り、メインキャビネットAの合流弁13,材料ガス遮断弁71,フィルター72を通過して材料ガス供給経路1から使用先に供給される。
【0032】
各キャビネットにおけるガス容器の交換の際には、上述のような手順が繰返されて各キャビネットのガス容器から順次材料ガスが供給され、使用先への材料ガスの供給は、メインキャビネットA、両サブキャビネットB1,B2のいずれのガス容器から材料ガスを供給する場合でも、メインキャビネットAに設けられた材料ガス供給経路1により行われる。また、ガス容器交換時のパージガス導入及びパージガス導出も、メインキャビネットAに設けられたパージガス導入経路2及びパージガス導出経路5を使用して行われることになる。
【0033】
したがって、サブキャビネットの接続数にかかわらず、材料ガス供給経路1,パージガス導入経路2a,高圧ガス導入経路2b及びパージガス導出経路5は、メインキャビネットAにのみ設ければよく、各サブキャビネットには、高圧弁ブロックと低圧弁ブロックとを設けるだけでよく、前記各経路1,2,5に設けられている切換弁ブロック3,材料ガス供給弁ブロック7及びパージガス吸引弁ブロック8を省略することができるので、サブキャビネットの簡略化や製造コストの低減が図れる。
【0034】
次に、サブキャビネットを追加接続する際の操作について説明する。例えば、サブキャビネットB1の次段にサブキャビネットB2を追加する場合、サブキャビネットB1とサブキャビネットB2とにおける合流弁13aと合流弁13bとをガス供給用接続経路1bで接続し、ガス合流部14aに取付けられている圧力センサー(5d)を取外した後、ガス合流部14aとガス合流部14bとをパージガス導出用接続経路5bで接続するとともに、取外した圧力センサー(5d)をガス合流部14bに取付け、さらに、パージガス分岐弁35aとパージガス分岐弁35bとをパージガス導入用接続経路2dで接続する。
【0035】
この接続直後の状態は、各経路内に大気が存在している状態であるから、最初に、各経路内の真空排気とパージガスの導入とを繰返して大気成分を排出する操作を行う。このとき、サブキャビネットB2内の経路から前段のガス供給用接続経路1aに大気成分が入り込まないように、サブキャビネットB2の合流弁13aは閉じた状態のままとし、パージガス分岐弁35aを開いてサブキャビネットB2内の経路にパージガスを導入できる状態とする。
【0036】
大気成分排出操作は、低圧弁11b及び高圧弁93bを開いた状態としたまま、パージガス導入弁94bとパージガス導出弁12bとを交互に開閉し、容器弁91bからサブキャビネットB1の合流弁13aに至る材料ガス通過経路全体についてパージガスの導入と真空排気とを繰返すことにより行われる。さらに、前記同様の低圧気密試験や高圧気密試験を行った後、容器弁91bとパージガス導出弁12bとを交互に開閉することにより、材料ガス通過経路内を材料ガスで置換する。
【0037】
最後に合流弁13aを開くことにより、サブキャビネットB1とサブキャビネットB2とが接続された状態となり、3本のガス容器C1,C2,C3による材料ガスの供給が行える状態となる。このようにサブキャビネットB2を追加することにより、材料ガス消費量の増大等に容易に対処することができる。さらに、第3のサブキャビネット以降の増設も同様にして行うことができ、各ガス容器からの材料ガスの供給順序を使用先の状況に応じて設定することにより、各キャビネットにおける材料ガスの供給やガス容器の交換を所定のタイミングで行うことができる。また、サブキャビネットを2個以上接続した場合は、2本以上のガス容器から同時に材料ガスを供給するように設定することもできる。
【0038】
逆に、サブキャビネットB2を取外す場合は、サブキャビネットB1の合流弁13aを閉じた後、容器弁91bから合流弁13aの間の材料ガス通過経路に対しての真空引きとパージガスの導入とを繰返し、該材料ガス通過経路内に残留する材料ガスを排出することにより、各接続経路の取外しを安全に行うことができる。
【0039】
このように、材料ガスの合流弁13やパージガスのガス合流部14及びパージガス分岐弁35を設け、ガス経路の接続によってサブキャビネットを増減できるように形成したことにより、メインキャビネットに対して任意の数のサブキャビネットを接続することが可能となり、使用先における材料ガスの使用量に応じて任意の本数のガス容器を設置することができる。しかも、サブキャビネットの着脱は、既存のメインキャビネットやサブキャビネットからの材料ガスの供給を継続した状態のままで行うことができるので、従来のシリンダーキャビネットの増設時のように、材料ガスの供給を停止する必要がなく、容易にかつ短時間で増設や取外しを行うことができる。
【0040】
なお、減圧弁96には、二次圧力固定型(プリセット減圧弁)、二次圧力可変型のいずれでも使用することができ、合流弁13やパージガス分岐弁35は、三方弁に限るものではなく、任意の構造の弁を必要に応じて組合わせた形態としてもよく、ガス合流部14に適宜な弁を用いてもよい。また、エジェクター82に代えて真空ポンプを用いることもできる。また、各経路に設ける弁の位置も任意である。
【0041】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明のガス供給設備によれば、ガス容器を収納したキャビネットを1個単位で増減することができるので、使用先の状況に応じて容易にかつ低コストでガス容器の本数を増減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のガス供給設備の一形態例を示す系統図である。
【符号の説明】
1…材料ガス供給経路、1a,1b…ガス供給用接続経路、2a…パージガス導入経路、2b…高圧ガス導入経路、2c,2d…パージガス導入用接続経路、3…切換弁ブロック、5…パージガス導出経路、5a,5b…パージガス導出用接続経路、5d…圧力センサー、6…駆動ガス導入経路、7…材料ガス供給弁ブロック、8…パージガス吸引弁ブロック、9,9a,9b…高圧弁ブロック、10,10a,10b…低圧弁ブロック、11,11a,11b…低圧弁、12,12a,12b…パージガス導出弁、13,13a,13b…合流弁、14,14a,14b…ガス合流部、35,35a,35b…パージガス分岐弁、82…エジェクター、90…弁ブロック、91,91a,91b…容器弁、92,92a,92b…容器弁接続部、93,93a,93b…高圧弁、94,94a,94b…パージガス導入弁、95,95a,95b…圧力センサー、96,96a,96b…減圧弁、97,97a,97b…低圧経路、A…メインキャビネット、B1,B2…サブキャビネット、C1,C2,C3…ガス容器
Claims (2)
- メインキャビネットと、該メインキャビネットに順次接続されるサブキャビネットとからなり、
前記メインキャビネットは、ガス容器収納部と、ガス容器内の高圧ガスを、該ガス容器に設けられた容器弁から高圧弁,減圧弁,低圧弁及びガス供給用の分岐経路接続部を介して使用先に送出するガス供給経路と、前記容器弁と高圧弁との間の高圧経路にパージガス導入用の分岐経路接続部及びパージガス導入弁を介してパージガスを導入するパージガス導入経路と、前記減圧弁と低圧弁との間の低圧経路からパージガス導出弁及びパージガス導出用の分岐経路接続部を介してパージガスを導出するパージガス導出経路とを備え、
前記サブキャビネットは、ガス容器収納部と、ガス容器内の高圧ガスを、該ガス容器に設けられた容器弁から高圧弁,減圧弁,低圧弁及びガス供給用の分岐経路接続部を介して送出するガス供給経路と、前記容器弁と高圧弁との間の高圧経路にパージガス導入用の分岐経路接続部及びパージガス導入弁を介してパージガスを導入するパージガス導入経路と、前記減圧弁と低圧弁との間の低圧経路からパージガス導出弁及びパージガス導出用の分岐経路接続部を介してパージガスを導出するパージガス導出経路とを備え、
メインキャビネットとサブキャビネットとの接続は、メインキャビネットのガス供給用の分岐経路接続部とサブキャビネットのガス供給用の分岐経路接続部とをガス供給用接続経路を介して接続し、メインキャビネットのパージガス導入用の分岐経路接続部とサブキャビネットのパージガス導入用の分岐経路接続部とをパージガス導入用接続経路を介して接続し、メインキャビネットのパージガス導出用の分岐経路接続部とサブキャビネットのパージガス導出用の分岐経路接続部とをパージガス導出用接続経路を介して接続し、
サブキャビネットと次段のサブキャビネットとの接続は、サブキャビネットのガス供給用の分岐経路接続部と次段のサブキャビネットのガス供給用の分岐経路接続部とをガス供給用接続経路を介して接続し、サブキャビネットのパージガス導入用の分岐経路接続部と次段のサブキャビネットのパージガス導入用の分岐経路接続部とをパージガス導入用接続経路を介して接続し、サブキャビネットのパージガス導出用の分岐経路接続部と次段のサブキャビネットのパージガス導出用の分岐経路接続部とをパージガス導出用接続経路を介して接続し、
末端となるサブキャビネットのガス供給用の分岐経路接続部,パージガス導入用の分岐経路接続部及びパージガス導出用の分岐経路接続部における次段のサブキャビネットのガス供給用接続経路,パージガス導入用接続経路及びパージガス導出用接続経路との各接続部に閉塞手段をそれぞれ有していることを特徴とするガス供給設備。 - 前記ガス供給用の分岐経路接続部は、三方弁からなる合流弁であり、前記パージガス導入用の分岐経路接続部は、自動三方弁からなるパージガス分岐弁であり、前記パージガス導出用の分岐経路接続部は、チーズからなるガス合流部であることを特徴とする請求項1記載のガス供給設備。
Priority Applications (1)
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