JP3602630B2 - プローブユニット - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、導電性の細線を電気絶縁性のプローブブロックに巻き付けて製造する形式のプローブユニットに関する。
【0002】
【従来の技術】
導電性の細線を電気絶縁性のプローブブロックに巻き付けて製造する形式のプローブユニットは特開平6−347483号公報(以下、公知文献という。)に開示されている。この種のプローブユニットは安価に製造できる利点がある。上記公知文献に開示されたプローブユニットは、液晶表示パネルの電極パッドに接触するように構成されていて、次のように製造される。まず、電気絶縁性のプローブブロックに導電性の細線を所望のピッチで連続的に巻き回し、この細線を接着剤でプローブブロックに固着してから、細線の一部を切断する。これにより、電気的に分離された多数の細線が平行に配列された状態となり、この細線を接触子として用いている。すなわち、プローブブロックの角部のところの細線部分を液晶表示パネルの電極パッドに接触させている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、プローブ針の形態としては、先端が折り曲げられて片持ち梁状態で支持されたプローブ針や、コイルバネで弾性的に支持されたポゴピン形式のプローブ針がよく知られている。これらのプローブ針は、針先が電極パッドに接触したときに、片持ち梁形式のものはそれ自身の弾性復元力により、また、ポゴピン形式のものはバネの弾性復元力により、適度の接触圧を伴ってわずかに押し戻され、もって、電極パッドの高さ方向のバラツキをプローブ側で吸収するようにしている。
【0004】
これに対して、細線巻き付け式の上述のプローブユニットでは、その接触子(細線)がコンタクト部分でプローブブロックに接しているので、電極パッドの高さ方向のバラツキをプローブ側で吸収するのが難しい。上述の公知文献によれば、プローブブロックを弾性絶縁母材で形成することによって、電極パッドの高さ方向のパラツキを吸収する、としている。しかしながら、弾性絶縁母材の材質としては、ガラスエポキシやポリイミドの例に言及しており、これらの材質は「弾性」が必ずしも良好であるとは言い難い。弾性がそれほど良好でないこのような材質を用いている理由は、プローブブロックの機械的強度や形状保持性をも考慮しているためであろう。すなわち、プローブブロック自体の機械的強度や形状保持性が劣っていると、プローブブロックの変形によって接触子の配列状態が理想状態からずれるおそれがあリ、それゆえに、プローブブロックの材質としてあまり「弾性的」なものは使用しにくい。したがって、プローブブロック自体の材質を選択して電極パッドの高さ方向のバラツキを吸収するにも限界がある。
【0005】
そこで、上述の公知文献では、別の実施例として、プローブブロックの角部のところに切り欠きを形成して、細線をプローブブロックから浮かし、この浮いた細線部分の弾性によって電極パッドの高さ方向のバラツキを吸収するようにしている。しかしながら、細線をプローブブロックから浮かす構造にすると、細線自体の弾性変形能力やその復元能力が問われることになり、細線の材質の選定や、浮かす部分の長さや形状の選定などに細心の注意を払う必要がある。また、浮いている部分で細線が永久変形するおそれもある。さらに、この細線部分だけで適正な接触圧を得るのは難しい。
【0006】
また、公知文献のプローブユニットでは、細線と電極パッドとの接触部分が観察できないので、両者の位置合わせをするのが容易でない。
【0007】
この発明は上述の問題点を解決するためになされたものであり、その目的は、細線巻き付け式のプローブユニットにおいて、電極パッドの高さ方向のバラツキを吸収するとともに適正な接触圧を得ることができ、さらに、細線と電極パッドとの位置合わせが容易にできるプローブユニットを提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】
この発明のプローブユニットは次の(イ)〜(ヘ)の構成を備えている。(イ)角部で互いに接する底面と前面とを備えていて、少なくともこれらの底面と前面が電気絶縁材料で構成されているプローブブロック。(ロ)前記角部に露出するように設けられている電気絶縁性の弾性部材。(ハ)前記弾性部材の表面に接触した状態で前記底面から前記前面にわたって延びていて、互いに平行に配列された状態で前記底面と前面に固着された多数の導電性の細線。(ニ)前記プローブブロックを、被検査体の表面に平行な回転軸線の回りに回転可能に支持するホルダー。(ホ)前記プローブブロックと前記ホルダーの間に配置されて、前記弾性部材をホルダーから離す方向にプローブブロックに一定の予圧を付与するバネ部材。(ヘ)前記底面に開口するように前記プローブブロックに形成された貫通孔であって、前記底面上の複数の細線をこの貫通孔を通して観察できるようにした貫通孔。
【0009】
このプローブユニットでは、プローブブロック本体とは別個の材質で構成される弾性部材で細線のコンタクト部を支持しているので、電極パッドの高さ方向の個別のバラツキを吸収できる。また、この弾性部材と、プローブブロックとホルダーの間に配置したバネ部材との働きにより、コンタクト時の接触圧を適正に維持できる。さらに、バネ部材のたわみ量を調節装置で調節するようにすれば、プローブブロックに付与する予圧を調節でき、コンタクト時の接触圧を調節できる。
【0010】
このプローブユニットでは、プローブブロックに細線観察用の貫通孔を設けたので、この貫通孔を通して、細線と電極パッドとの間の位置合わせ、あるいは細線とフレキシブル配線板等の配線パターンとの間の位置合わせが容易になる。貫通孔の種類としては、細線と電極パッドとの位置合わせ状態を観察するための第1の貫通孔と、細線とフレキシブル配線板またはTAB上の配線パターンとの位置合わせ状態を観察するための第2の貫通孔(プローブユニットの製造段階で利用される。)とがある。また、底面と前面とのなす角度を90°未満にして、被検査体の表面の法線に対して、前面の底面側が上面側よりも前方に出るように前面を傾斜させることができ、こうすると、前面の底面付近を上方から見通すことができて、コンタクト部に近い細線部分を直接観察することが可能になり、電極パッドとの位置合わせが容易になる。
【0011】
このプローブユニットでは、プローブブロックを回転可能に支持しているので、被検査体の電極パッドにコンタクトしたときに、プローブブロックの回転運動に伴って細線のコンタクト部がわずかに前進し、スクラッチ効果が生じる。これにより、細線と電極パッドとの間で清浄な接触面が得られ、電気的接触が確実になる。
【0012】
プローブブロックをホルダーに取り付けるためのシャフト孔は、被検査体の表面に垂直な方向の寸法をシャフトの直径よりも実質的に大きくすることができる。これにより、プローブブロックはシャフトに対してわずかに傾斜でき、プローブブロックと被検査体との間での平行性の狂いを吸収できる。
【0013】
なお、この明細書でプローブブロックの「底面」という用語は、被検査体の表面に向き合う面を指している。したがって、電極パッドが下向きになるように被検査体を配置して、この被検査体の下方からプローブブロックの細線が接触するような検査体勢をとる場合には、このときのプローブブロックの上面側(被検査体に向き合う側)が「底面」となる。
【0014】
【発明の実施の形態】
図1は、この発明のプローブユニットの一実施形態を示す側面断面図である。このプローブユニットは、大きく分けて、プローブブロック10と、このプローブロック10を支持するホルダー12からなる。ホルダー12は二つのネジ14によって取り付け板16に固定される。ホルダー12の下面には突出部18があり、この突出部18にシャフト20が固定されている。プローブブロック10はシャフト20によって回転可能に支持されている。ホルダー12とプローブブロック10の間には2個の圧縮コイルバネ22が配置され、圧縮コイルバネ22の下端はプローブブロック10の上面48に接触している。圧縮コイルバネ22の上端は止めネジ24の下端に接触している。止めネジ24は、ホルダー12のネジ孔26に噛み合っていて、止めネジ24のねじ込み量を調節することでプローブブロック10に付与する予圧を調節できる。この圧縮コイルバネ22の働きにより、プローブブロック10が液晶表示パネルの電極パッドに接触したときに適度な接触圧が得られるようになっている。
【0015】
プローブブロック10の上面48の後方部分はホルダー12の下端に接触している。プローブブロック10は圧縮コイルバネ22によってシャフト20の回りに図面の反時計方向に回転モーメントを付与され、上面48がホルダー12の下端に接触することで停止している。プローブブロック10が液晶表示パネルに接触すると、プローブブロック10が圧縮コイルバネ22に抗して図面の時計方向に回転する。このようにして、プローブブロック10は所定の角度範囲で回転可能である。その回転軸線は液晶表示パネルの表面に平行である。
【0016】
プローブブロック10の底面28と前面30と後面32には多数の導電性の(金属製の)細線34が接着剤36、38、40、42で固着されている。この実施形態では細線34の材質はBeCuであり、高密度配列にした一例では、細線34の線径は30μmであり、配列ピッチは60μmである。底面28と前面30が互いに接する角部には電気絶縁性の弾性部材44が接着固定されている。この弾性部材44は部分的にプローブブロック10の内部に埋め込まれていて、一部が露出している。この露出部分に巻き付くように細線34が弾性部材44に接触している。弾性部材44の材質はポリテトラフルオルエチレンやシリコーンゴムである。この弾性部材44に接触している細線部分が電極パッドとのコンタクト部となる。弾性部材44は底面28よりも0.2mm程度下方に突き出しているが、前面30からはそれほど突き出していない。
【0017】
プローブブロック10は回転可能に保持されているので、弾性部材44のところの細線34が電極パッドに接触すると、プローブブロック10は図面において時計方向に回転する。その結果、電極パッドに接触している細線部分は、電極パッドに接触した状態で、わずかに、前方へと移動する。この前進運動により、細線と電極パッドとの間にスクラッチ効果が生じて、清浄な接触面が得られ、電気的コンタクトが確実になる。
【0018】
プローブブロック10の底面28と前面30のなす角度は90°未満であり、この実施形態では60°程度である。そして、このプローブブロック10がホルダー12に取り付けられて使用状態にあるときは、液晶表示パネルの表面の法線に対して、プローブブロック10の前面30が2〜3°の角度だけ後方側へ傾斜している。すなわち、前面30の底面付近が上面付近よりも前方に突き出している。これにより、液晶表示パネルの真上からプローブブロック10を見ると、前面30の下端の弾性部材44に巻き付いている細線34を直接観察できる。
【0019】
細線34の前面30側の上端は接着剤36の直上で終わっている。また、細線34の後面32側の上端は接着剤42の直上で終わっている。細線34の底面28側は2か所の接着剤38、40によってプローブブロック10に固着されている。底面28側の細線34にはフレキシブル配線板46の配線パターンが熱圧着されている。
【0020】
プローブブロック10の上面48と底面28とに開口するように、第1の貫通孔50と第2の貫通孔52が形成されている。第1の貫通孔50は細線34と液晶表示パネルの電極パッドとの位置合わせ状態を観察するためのものである。第2の貫通孔52は、プローブブロック10の製造時に、細線34とフレキシブル配線板46の配線パターンとの位置合わせ状態を観察するためのものである。
【0021】
図2は、図1に示すプローブユニットの斜視図である。ホルダー12とプローブユニット10の外形が明瞭に示されている。ホルダー12の外面上には、2本のネジ14(図1参照)を挿入するための2個の孔54と、2個の止めネジ24(図1参照)をねじ込むための2個のネジ孔26が見える。なお、この図面では、底面28と前面30が接する角部に設けた弾性部材44や接着剤36は誇張して描かれており、弾性部材44の表面に細線34が巻き付いている状態が明瞭に示されている。
【0022】
この実施形態のプローブユニットは液晶表示パネルの検査に用いるものであり、取り付け板16に複数のプローブユニットを並べて取り付けることによって、一つの液晶表示パネルの多数の電極パッドに接触できるようにしてある。
【0023】
図3は、液晶表示パネルの電極パッドの上方にあるプローブブロックを上方から顕微鏡で見たときの部分拡大平面図である。液晶表示パネルの電極パッド56は細長い矩形をしていて、互いに平行に並んでいる。液晶表示パネルを検査するときには、最初に、電極パッド56に細線34がちょうど重なるようにプローブブロック10を位置決めする必要がある。このプローブユニットでは、プローブブロック10の前面の接着剤36の下方に細線34が見えるので、この細線34と電極パッド56との位置決め状態を確認できる。さらに、第1の貫通孔50を通して、プローブブロック10の底面にある細線34と電極パッド56とが見えるので、この第1の貫通孔50を通しても、細線34と電極パッド56との位置決め状態を確認できる。
【0024】
次に、図1において、プローブユニットを液晶表示パネルに向かって下降させると(あるいは液晶表示パネルをプローブユニットに向かって上昇させると)、プローブブロック10の前縁の弾性部材44に巻き付いている細線部分が液晶表示パネルの電極パッドに接触する。弾性部材44の働きにより、細線のコンタクト部は個別に変位できるので、電極パッドに高さ方向のバラツキがあっても、このバラツキは弾性部材44によって吸収される。
【0025】
図4は、ホルダー12のシャフト20の形状とプローブブロック10のシャフト孔58の形状との関係を示す側面図である。シャフト20は円形断面をしているが、プローブブロック10のシャフト孔58は長孔の断面形状をしている。すなわち、シャフト孔58の断面形状は、液晶表示パネルの表面に平行な方向(図面の左右方向)の寸法がシャフト20の直径に実質的に等しくて、液晶表示パネルの表面に垂直な方向(図面の上下方向。以下、Z方向という。)の寸法がシャフト20の直径よりも実質的に大きくなっている。この実施形態では、シャフト孔58のZ方向の寸法は、シャフト20の直径よりも0.05〜0.1mmだけ大きくなっている(図面ではZ方向の寸法を誇張して描いてある)。したがって、プローブブロック10は、シャフト孔58のところで、わずかに上下方向に移動できる。プローブブロック10が液晶表示パネルに接触していないときは、プローブブロック10の前端は圧縮コイルバネ22(図1参照)によって下方に押された状態にあるので、シャフト孔58の上端にシャフト20が当たっている。
【0026】
図5(A)は図4の5−5線断面図である。プローブブロック10の上面中央には凹所60があり、この凹所60の内部にホルダー12の突出部18が入り込んでいる。突出部18にはシャフト20が固定されている。突出部18の一方の側面(図面では右側の側面)と凹所60の内壁面との間には、シャフト20を取り囲むように圧縮コイルバネ62が配置されている。この圧縮コイルバネ62は、ホルダー12に対してプローブブロック10を図面の右方向に押し付けており、プローブブロック10がホルダー12に対して左右方向にずれるのを防いでいる。
【0027】
液晶表示パネルの電極パッドにプローブブロックの細線を接触させた場合を考えると、液晶表示パネルの表面(厳密には多数の電極パッドの表面を結んだ仮想平面)とプローブブロックの下面(厳密にはプローブブロックの前縁の多数の細線のコンタクト部を結んだ仮想直線)とが平行になっていれば、プローブブロック10は、図1の圧縮コイルバネ22に抗して、シャフト孔58のZ方向の遊びの範囲内で、まっすぐ上昇する。もし、オーバードライブ量がシャフト孔のZ方向の遊びよりも大きければ(代表的な使用例ではオーバードライブ量を0.1mm以上にしている)、さらに、シャフト20を中心として図1の時計方向にプローブブロック10が回転する。
【0028】
しかし、もし、液晶表示パネルの表面とプローブブロックの下面とが平行になっていなければ、プローブブロック10は、図5(B)に示すように、最初に電極パッドに接触した側(図面では左側)が先に上昇して、左右に傾斜した状態となる。シャフト孔58にZ方向の遊びがあるので、このように左右に傾斜することが可能になる。このようにして、液晶表示パネルとプローブブロックの平行性がわずかに狂っていても、この狂いを吸収できて、多数の細線が一様に電極パッドに接触できる。
【0029】
次に、プローブユニットの製造方法を説明する。図6は、細線を巻き付ける前のプローブブロックの斜視図である。プローブブロック10は、アルミニウムにアルマイト処理を施して、その表面を電気絶縁性にしたものである。前面30と底面28と後面32には接着剤を受け入れる溝64、66、68、70があり、これらの溝はプローブブロック10の横方向に貫通している。前面30と底面28の接する角部には、断面が円弧状の溝が形成されていて、この溝に、円筒状の弾性部材44が部分的に露出するように接着固定されている。上面48には2個の第1の貫通孔50と2個の第2の貫通孔52が開口していて、底面28まで貫通している。これらの貫通孔50、52は、多くの細線34が観察できるように、プローブブロック10の横方向に細長くなっている。上面48の中央には矩形の凹所60がある。そして、この凹所60の内壁面に開口するように、プローブブロック10の横方向にシャフト孔58が貫通している。
【0030】
図7はプローブブロック10に細線34を巻き付ける工程を示す斜視図である。プローブブロック10のシャフト孔58に、回転機構72の回転軸74を適当な手段で固定する。プローブブロック10の一か所に細線34の先端を固定して、回転機構72によりプローブブロック10を所定の回転数で回転させながら、細線34を所定の移動速度で横方向に移動させていく。これにより、プローブブロック10に細線34を所定のピッチで等間隔に巻き付けることができる。
【0031】
細線34の巻き付けが完了したら、図8に示すように、4個の溝に接着剤36、38、40、42を流し込んで、細線34をプローブブロック10に固定する。接着剤が固まったら、前面側の接着剤36の直上の切断線76の位置で細線34を切断すると共に、後面側の接着剤42の直上の切断線78の位置で細線34を切断する。これにより、等間隔に配列された多数の細線34が電気的に分離された状態になる。切断線76、78よりも上側の細線34は取り除かれ、切断線76、78よりも下側の細線34だけがプローブブロック10に固着された状態になる。
【0032】
次に、図9に示すように、底面28側の細線34にフレキシブル配線板46の配線パターンを熱圧着する。その際、第2の貫通孔52を通して、顕微鏡により、細線34とフレキシブル配線板46の配線パターンとの位置合わせをすることができる。フレキシブル配線板46の他端は液晶表示パネルの測定装置に接続される。なお、フレキシブル配線板46を熱圧着する代わりに、液晶駆動ICを搭載したTABを細線34に熱圧着することもできる。
【0033】
このようにして完成したプローブブロック10を1本のシャフト20(図1参照)を用いてホルダー12に回転可能に取り付ける。
【0034】
上述の実施形態の説明では、被検査体として液晶表示パネルを用いているが、この発明のプローブユニットは、これ以外の被検査体にも適用できる。
【0035】
【発明の効果】
この発明のプローブユニットは、プローブブロック本体とは別個の材質で構成される弾性部材で細線のコンタクト部を支持しているので、電極パッドの高さ方向のバラツキを吸収できる。また、この弾性部材と、プローブブロックとホルダーの間に配置したバネ部材との働きにより、コンタクト時の接触圧を適正に維持できる。さらに、プローブブロックに細線観察用の貫通孔を設けたので、この貫通孔を通して、細線と電極パッドとの間で、あるいは細線とフレキシブル配線板等の配線パターンとの間での位置合わせが容易になる。さらに、プローブブロックを回転可能に支持しているので、コンタクト時のプローブブロックの回転運動に伴って細線のコンタクト部がわずかに前進運動し、スクラッチ効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施形態を示す側面断面図である。
【図2】図1に示すプローブユニットの斜視図である。
【図3】液晶表示パネルと位置合わせをするときのプローブブロックの部分拡大平面図である。
【図4】シャフト孔の形状を誇張して示した、プローブユニットの側面図である。
【図5】図4の5−5線断面図である。
【図6】細線を巻き付ける前のプローブブロックの斜視図である。
【図7】プローブブロックに細線を巻き付ける工程を示す斜視図である。
【図8】プローブブロックに接着剤で細線を固定した状態を示す斜視図である。
【図9】プローブブロックにフレキシブル配線板を熱圧着した状態を示す斜視図である。
【符号の説明】
10 プローブブロック
12 ホルダー
18 突出部
20 シャフト
22 圧縮コイルバネ
24 止めネジ
26 ネジ孔
28 底面
30 前面
32 後面
34 細線
36、38、40、42 接着剤
44 弾性部材
46 フレキシブル配線板
48 上面
50 第1の貫通孔
52 第2の貫通孔
Claims (4)
- 次の(イ)〜(ヘ)の構成を備えていて,(ト)〜(リ)の特徴を備えるプローブユニット。
(イ)角部で互いに接する底面と前面とを備えていて、少なくともこれらの底面と前面が電気絶縁材料で構成されているプローブブロック。
(ロ)前記角部に露出するように設けられている電気絶縁性の弾性部材。
(ハ)前記弾性部材の表面に接触した状態で前記底面から前記前面にわたって延びていて、互いに平行に配列された状態で前記底面と前面に固着された多数の導電性の細線。
(ニ)前記プローブブロックを、被検査体の表面に平行な回転軸線の回りに回転可能に支持するホルダー。
(ホ)前記プローブブロックと前記ホルダーの間に配置されて、前記弾性部材をホルダーから離す方向にプローブブロックに一定の予圧を付与するバネ部材。
(ヘ)前記底面に開口するように前記プローブブロックに形成された貫通孔であって、前記底面上の複数の細線をこの貫通孔を通して観察できるようにした貫通孔。
(ト)前記底面に開口するように前記プローブブロックに第1の貫通孔を形成して、この第1の貫通孔を通して前記弾性部材に近い箇所で複数の前記細線が見えるようにする。
(チ)前記底面上の前記細線にフレキシブル配線板またはTABを固着する。
(リ)前記底面に開口するように前記プローブブロックに第2の貫通孔を形成して、少なくともプローブブロックを前記ホルダーに取り付ける前の状態では、この第2の貫通孔を通して、複数の前記細線と前記フレキシブル配線板またはTAB上の配線パターンとの接続箇所が見えるようにする。 - 次の(イ)〜(ヘ)の構成を備えていて,(ト)の特徴を備えるプローブユニット。
(イ)角部で互いに接する底面と前面とを備えていて、少なくともこれらの底面と前面が電気絶縁材料で構成されているプローブブロック。
(ロ)前記角部に露出するように設けられている電気絶縁性の弾性部材。
(ハ)前記弾性部材の表面に接触した状態で前記底面から前記前面にわたって延びていて、互いに平行に配列された状態で前記底面と前面に固着された多数の導電性の細線。
(ニ)前記プローブブロックを、被検査体の表面に平行な回転軸線の回りに回転可能に支持するホルダー。
(ホ)前記プローブブロックと前記ホルダーの間に配置されて、前記弾性部材をホルダーから離す方向にプローブブロックに一定の予圧を付与するバネ部材。
(ヘ)前記底面に開口するように前記プローブブロックに形成された貫通孔であって、前記底面上の複数の細線をこの貫通孔を通して観察できるようにした貫通孔。
(ト)前記ホルダーには被検査体の表面に平行に延びる円形断面のシャフトを設け、前記プローブブロックには前記シャフトが貫通する孔を形成し、前記孔の横断面において、被検査体の表面に平行な方向の寸法を前記シャフトの直径と実質的に等しくするとともに被検査体の表面に垂直な方向の寸法を前記シャフトの直径よりも実質的に大きくする。 - 前記バネ部材のたわみ量を調節する調節装置を設けて前記予圧を調節可能にしたことを特徴とする請求項1または2に記載のプローブユニット。
- 前記底面と前面とのなす角度が90°未満であり、被検査体の表面の法線に対して、前記前面の底面側が上面側よりも前方に突き出すように前記前面が傾斜していることを特徴とする請求項1または2に記載のプローブユニット。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101399031B1 (ko) * | 2012-03-26 | 2014-05-27 | 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스 | 프로브 장치 |
Also Published As
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