JP3585476B2 - 流量計測装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、流量計測装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来のこの種の流量計測装置は図6に示すように流体管路1に設けられ超音波信号を送受信する第1の振動子2及び第2の振動子3とを流れの方向に相対して設け、駆動手段4によって第1の振動子2を駆動し超音波を送信する。この超音波を第2の振動子3で受信し、受信した信号から受信検知手段7で受信タイミングを決定する。計時手段8は駆動手段4が第1の振動子2を駆動してから受信検知手段7が受信タイミングを決定するまでの時間を計測することによって伝搬時間を測定する。また切替手段6によって超音波を送受する方向を変え逆方向の超音波の伝搬時間を測定し、両方向の伝搬時間の逆数差より流量を流量演算手段9によって演算し求めていた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら上記従来の流量計測装置の受信側振動子は、等価回路を示す図2のように、超音波振動を電気信号に変換する信号源11と、振動子の内部インピーダンス12(値をZoとする。)と、振動子の電極間容量13(値をCとする)からなっており、前記振動子から出力される信号は超音波の振動に対し、内部インピーダンス12と電極間容量13で決まるタイミングだけ遅れて電気信号として出力される。つまり遅延時間は(C×Zo)の値に比例した値となり、その遅延量はCやZoが大きいほど大きくなる。
【0004】
そして、温度変動があると電極間容量13の値が大きく変化し、出力信号の遅延量が変わるので正確な時間測定ができない。このため温度が変化した場合であっても精度良く伝搬時間を測定し、正確な流量測定値を得ることが課題であった。
【0005】
また、受信検知手段7の入力インピーダンスは、大きくしたほうが信号電圧を大きくとることができるので、一般的には大きなインピーダンスの回路で振動子の出力を受けるのが普通であった。また振動子の電極間容量13、電極間容量13の温度変動等による変化と振動子の出力を受ける回路のインピーダンスとの関係と、測定精度の向上を明確にしたものはなかった。
【0006】
さらに一対の振動子の特性が揃っていれば、いずれが受信側になっても(C×Zo)の値も同じでタイミング遅延量が同じになるので、流量計測のための重要な要素である伝搬時間に誤差が生じない。ところが一対の振動子の特性が揃っていなかった場合、第1の振動子2と第2の振動子3とで(C×Zo)が異なり、第1の振動子2が受信側になる場合と第2の振動子3が受信側になる場合とで、振動子の出力信号のタイミング遅延量が異なってしまい、計時手段8によって受信側、送信側を逆にして測定される伝搬時間を正確に測定できなくなるため、流量演算手段19で求める流量計測値にも誤差が生じてしまう。
【0007】
このような事情から、従来の流量計測装置では、超音波振動子は特性の揃ったものを用いないと計測精度を確保できないという問題があり、しかも図3に示すように、温度変動による電極間容量の変化が振動子によって一様ではないため、温度変化を与えてその内部インピーダンスの変化や電極間容量の変化を測定し同特性のものを揃えるベアリング作業が必要であり、手間どるという問題があった。
【0008】
本発明は、振動子の電極間容量13と振動子の出力を受ける回路のインピーダンスとの関係または振動子の電極間容量13の温度変動等による変化と振動子の出力を受ける回路のインピーダンスとの関係を明確に規定し流量測定精度の向上を実現することを目的とする。
【0009】
また本発明は、特性の異なる振動子をペアにして用いても、計測精度を確保することができる流量計測装置を提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記課題を解決するため、受信側振動子の出力を低入力部で受け、その入力インピーダンスを振動子の内部インピーダンスよりも低く設定している。この構成により、低入力部の低い入力インピーダンスが受信信号のタイミング遅延量を支配するようになる。その結果、振動子の電極間容量の変化が受信信号のタイミング遅延へ及ぼす影響を低減し、伝搬時間測定の精度が向上するものである。
【0011】
【発明の実施の形態】
本発明の流量計測装置は、受信側振動子のインピーダンスに対し十分に小さい入力インピーダンスで前記振動子の受信出力を受ける低入力部を有する。
【0012】
この構成により、低入力部の低い入力インピーダンスが受信信号のタイミング遅延量を支配するようになる。その結果、振動子の電極間容量の変化が受信信号のタイミング遅延へ及ぼす影響を低減し、伝搬時間測定の精度が向上するものである。そして伝搬時間測定の精度が向上し、振動子のインピーダンスが温度、経過時間、湿度などの影響によって変化した場合であっても、あるいは特性の異なる振動子をペアとして用いている場合であっても、時間を正確に測定することができ、高精度の流量計測装置を実現できる。
【0013】
本発明の流量計測装置は、また、受信側振動子のインピーダンスの1/2以下の入力インピーダンスで前記振動子の受信出力を受ける低入力部を有するものであり、具体的な低い入力値で受信信号のタイミング遅延をより支配でき、振動子の電極間容量の変化が受信信号のタイミング遅延へ及ぼす影響をより低減し、伝搬時間測定の精度が向上するものである。そして伝搬時間測定の精度が向上し、振動子のインピーダンスが温度、経過時間、湿度などの影響によって変化した場合であっても、時間を正確に測定することができ、高精度の流量計測装置を実現できる。
【0014】
本発明の流量計測装置は、また、必要な時間精度をt、振動子の電極間容量の変化量、例えば装置使用温度範囲の最高温度と最低温度との間における変化量をΔC1、低入力部の入力インピーダンスをZとしたとき、それぞれの関係がt>ΔC1×ZとなるようZを設定したものである。こうすることにより、遅延時間変動がほぼΔC1×Zとなり、振動子のインピーダンスが温度、経過時間、湿度などの影響によって変化した場合であっても、遅延時間の変化が許容精度内となり、時間を正確に測定することができるので、高精度量計測装置を実現できる。
【0015】
本発明の流量計測装置は、また、必要な時間精度をt、一対の振動子間の電極間容量の差の変化量、例えば装置使用温度範囲の最高温度と最低温度との間における変化量をΔC2、低入力部の入力インピーダンスをZとし、t、ΔC2、Zの関係を、t>ΔC2×Zとなるよう設定したものである。そして、Zをこのように設定すると、2つの振動子間のインピーダンス差が温度、経過時間、湿度などの影響によって変化した場合であっても、時間差の変動は最大でΔC2×Zとなる。このため、段落0014で述べたZと比べ、本段落記載でのZを大きな値とすることができ、より容易に測定精度を満足する入力インピーダンスを設定することができる。流量演算は伝搬時間の逆数差より求めているため、高精度量計測装置を実現できる。
【0016】
本発明の流量計測装置は、また、低入力部を、低抵抗器と増幅器によって構成するので、簡単な構成で容易に精度の高い低入力部を実現することができる。
【0017】
本発明の流量計測装置は、また、低入力部を、インピーダンス変換器によって構成するので、簡単な構成で容易に精度の高い低入力部を実現することができる。
【0018】
【実施例】
以下、本発明の実施例について図面を用いて説明する。
【0019】
図1は本発明の実施例の流量計測装置を示す全体のブロック図である。図2は本発明の振動子の等価回路である。図3は本発明の第1および第2の振動子の電極間容量の温度特性を示すグラフである。
【0020】
図1において、1は流体管路であり内部を測定流体が流れる。2、3は第1の振動子及び第2の振動子であり超音波信号を送受信する。4は駆動手段であり、前記振動子を駆動する。5は低入力部であり、振動子2、3の出力信号を低インピーダンスで受ける。6は切替え手段であり振動子2、3と駆動手段4、低入力部5との接続を切替える。7は受信検知手段であり低入力部5の出力信号から、受信タイミングを検知し出力する。8は計時手段であり、スタート信号が入力されてから受信検知手段7の出力を受けるまでの時間を測定する。9は流量演算手段であり、計時手段8の出力より演算によって流量を求める。10は制御部であり、切替手段6を設定した後に駆動手段4と計時手段8にスタート信号を出力する。
【0021】
以下動作を説明する。まず制御部10が伝搬時間を測定する方向に切替手段6を制御する。ここでは第1の振動子2から第2の振動子3への伝搬時間を測定するので、第1の振動子2と駆動手段4とを、第2の振動子3と低入力部5とをそれぞれ接続する。次に制御部10から駆動手段4と計時手段8とにスタート信号を出力し、駆動手段4は第1の振動子2を駆動する信号を出力し、計時手段8は計時を開始する。駆動された第1の振動子2からは超音波が送信される。そして第2の振動子3によって受信した受信信号を低入力部5で受け、受信検知手段7によって受信検知し、計時手段8の計時を停止させる。計時手段8は流量演算手段9に計時結果を出力する。次に制御部10は切り替え手段6を制御し逆方向の伝搬時間を測定するよう切替手段6の接続を設定する。以下同様に逆方向の測定を実施し、測定結果を演算手段9に出力する。流量演算手段9では、両方向の伝搬時間の逆数差に定数を乗ずることによって流量を求める。
【0022】
図2は振動子の等価回路であり、受信した信号を電気信号に変換し出力する信号源11と、内部インピーダンス12(値をZoとする)と、電極間容量13(値をCとする)よりなる。出力する信号はインピーダンス12と電極間容量13で決まる時間遅延して出力され、インピーダンス12と電極間容量13が大きいほど遅延量は大きくなる。なお、振動子は周知のように、一対の電極間に圧電素子を配し、一方の電極に振動板を固着して、一対の電極間に電圧を印加することにより圧電素子を振動させて超音波を送信できるように構成され、また前記振動板に超音波を受信したとき、これを圧電素子により電圧に変換できるように構成されている。
【0023】
図3に示すように電極間容量13および、電極間容量13の温度による変化は一般的に振動子によって個体差があり、その個体差によって、前述したように振動子が出力する信号の遅延時間が異なり測定誤差となる。
【0024】
本発明では、受信側振動子の出力信号を、受信側振動子の電極間容量13がもつインピーダンス12に比べ小さな値の低入力部5で受けている。そして振動子が出力する信号の遅延時間は、電極間容量13と低入力部5の値で決まるが、低入力部5のインピーダンスを、小さくすることによって、電極間容量13のばらつきや変動の影響を低減し、伝搬時間測定の精度が向上し、振動子の電極間容量13が温度、経過時間、湿度などの影響によって変化した場合であっても、時間を正確に測定することができ、高精度の流量計測装置を実現できる。
【0025】
また、低入力部5の入力インピーダンスを受信側振動子の内部インピーダンス12と電極間容量13の並列接続から成るインピーダンスの1/2以下の入力インピーダンスとすることによって、受信側振動子が出力する信号の遅延量が、振動子の電極間容量13のによる変化に比べ振動子の出力を受ける低入力部5のほうがより支配的となり、電極間容量13の変化が受信信号のタイミング遅延へ及ぼす影響を低減する。そして、伝搬時間測定の精度が向上し、振動子の電極間容量13が温度、経過時間、湿度などの影響によって変化した場合であっても、時間を正確に測定することができ、高精度の流量計測装置を実現できる。
【0026】
図2に仮想線で示すように、受信側の振動子にインピーダンスZの低入力部5が接続され、例えば前記Zが振動子のインピーダンスZoの1/10の場合には、ZとZoとが並列関係にあるため、接続後の全体としてのインピーダンスZ’は次式に示される。
【0027】
【数1】
【0028】
従って、低入力部5を備えない従来例の遅延時間に対し、低入力部5を備えた本発明の遅延時間は1/11となるので、この場合、第1の振動子2と第2の振動子3との間に電極間容量13の差があっても、これが伝搬時間測定の精度に及ぼす悪影響を、従来例に比較し1/11に低下させることができる。
【0029】
また必要な時間精度(計測時間に対して許容される時間精度)をt、第1の振動子あるいは第2の振動子2、3の電極間容量の変化量をΔC1、低入力部5の入力インピーダンスをZi1とし、t、ΔC1、Zi1の関係を、t>ΔC1×Zi1となるようZを設定することによって、遅延時間変動はほぼΔC・Zi1となり、振動子の電極間容量13が温度、経過時間、湿度などの影響によって変化した場合であっても、必要な時間精度内の遅延時間で超音波の伝搬時間を測定することができ、高精度量計測装置を実現できる。
【0030】
上記ΔC1を図3を参照してより詳細に説明すると、例えば第2の振動子3の電極間容量が図3に示すような温度特性を有しているので、装置の使用が予定されている所定温度範囲T1〜T2(一般に使用可能最低温度T1を−25℃、使用可能最高温度T2を60℃としていることが多い。)における最高使用温度T2と最低使用温度T1とでは、電極間容量において図3にΔC1に示すような差が生じる。この電極間容量の変化量ΔC1と、遅延時間の変化に対して許容される時間精度tとから、上記の関係式を満足するように低入力部5のインピーダンスZi1を定めている。
【0031】
また、流量を求める演算では、伝搬時間の逆数差に定数を乗じているため、両方向への振動子出力信号の遅延時間の絶対値の変動に対し、遅延時間の差の変動が精度に与える影響が支配的である。そのため必要な時間精度をt、第1の振動子と第2の振動子間の電極間容量差の変化量をΔC2、低入力部12の入力インピーダンスをZi2とし、t、ΔC2、Zi2の関係を、t>ΔC2×Zi2となるよう設定することによって、2つの振動子間の電極間インピーダンス13のインピーダンス差が温度、経過時間、湿度などの影響によって変化した場合であっても、遅延時間変動差はほぼΔC2・Zi2となる。ここで、ΔC2とΔC1の関係はΔC2<ΔC1、許容遅延時間は同じなので、Z2>Z1とすることができ、より容易に低入力部5を実現することができる。また必要な時間精度内の遅延時間で伝搬時間を正確に測定することができ、高精度量計測装置を実現できる。
【0032】
上記ΔC2を図3を参照してより詳細に説明すると、図3に示す例の場合、温度Txにおいて、第1の振動子2の電極間容量と第2の振動子3の電極間容量との間には電極間容量差ΔCxがある。このΔCxは温度によって変化しており、最高使用温度T2のときΔC’2、最低使用温度T1のときΔC’1とすると、前記ΔC2は、ΔC2=ΔC’2−ΔC’1で表わされる。この電極間容量差の変化量ΔC2と、遅延時間の変化に対して許容される時間精度tとから、上記の関係式を満足するように低入力部5のインピーダンスZi2を定めている。
【0033】
また図4(a)、図4(b)は、低入力部の詳細な構成を示す図である。図4(a)は低入力部5を、低抵抗器14と増幅器15によって構成し、入力信号を低抵抗器14で受けるので、入力インピーダンスZはほぼ低抵抗器14の抵抗値で決まる。その電圧信号を増幅器15で必要な一定レベルの電圧に増幅し出力するので、簡単な構成で必要な入出力特性をもつ低入力部を実現することができる。
【0034】
また、図4(b)は低入力部5を、インピーダンス変換器であるトランス16によって実現している。そのため、入力インピーダンスは入力側の巻き線17と、出力側巻き線18の巻き数比と、出力側巻き線18に接続された抵抗19とで決めることができるので、出力簡単な構成で容易に低入力部5を実現することができる。
【0035】
図5に示す本発明の実施例は、繰り返し手段20、遅延手段22を備えている外は、図1に示す実施例と同様に構成されている。従って、図1に示す各要素と同一符号の要素についての説明は原則として省略する。
【0036】
前記繰り返し手段20は、受信検知手段7の比較手段7aから出力があると繰り返し信号をトリガ手段21に出力する。前記遅延手段22は、トリガ手段21から出力があると、所定の遅延時間を設定する。
【0037】
駆動手段4は、トリガ手段21から出力があり、遅延手段22の遅延時間終了の信号を受けてから、切替手段6を介して振動子を駆動する。計時手段8は、スタート手段24から計測開始信号が出力されてから、低入力部5からの受信タイミング信号を受けるまでの時間を測定する。流量演算手段9は、計時手段8の測定時間と遅延手段22の遅延時間により流量演算を行う。
【0038】
以上のように構成された流量計測装置について、以下その動作、作用について説明する。
【0039】
まずスタート手段24から計測開始信号を出力すると、繰り返し手段20は切替手段6を動作させて、第1の振動子2を送信に、第2の振動子3を受信にする。すなわち、第1の振動子2を駆動手段4に、第2の振動子3を低入力部5の低インピーダンス受信手段14にそれぞれ接続することになり、流れの方向に対して上流側から下流側に超音波信号が伝搬されることになる。
【0040】
次に、繰り返し手段20の値を初期値にして計時手段8が時間計測を開始する。また、繰り返し手段20はトリガ手段21を動作させ、遅延手段22はトリガ手段21のトリガ信号によって、遅延時間を計測開始する。駆動手段4は、トリガ手段21から出力があり、遅延手段22の計時終了時に第1の振動子2を駆動し、流路1内に超音波信号を送信させる。
【0041】
流体管路1内を超音波信号が伝搬し、第2の振動子3に所定の伝搬時間後に到達する。受信信号は前記低入力部5に出力され、低入力部5は低インピーダンス受信手段14で入力し、低入力部5からの出力信号を受信検知手段7で受信タイミング検知する。
【0042】
なお、受信信号は増幅器15で所定のレベルまで増幅された後に、受信検知手段7の比較手段7aに出力され、内蔵する基準値と比較され、それ以上であると増幅信号は繰り返し手段20に出力される。
【0043】
繰り返し手段20は再びトリガ手段21を動作させると共に、遅延手段22を動作させる。遅延手段22で所定の時間計時すると、トリガ手段21は駆動手段4を動作させて第1の振動子2を駆動し、再度超音波信号を送信させる。以降、繰り返し手段20の繰り返し回数が設定値に達するまで、送信⇒受信⇒遅延を繰り返す。
【0044】
繰り返しが終了すると、計時手段8の計時を停止し、流量演算手段9は計時手段8の値を読み込む。測定時間をT、遅延手段22の設定値をTdとすると、第1の振動子2から第2の振動子3へ超音波信号を伝搬する伝搬時間T1は、繰り返し回数をNとするとT1=(T−Td×N)/Nとなり、この値を流量演算手段9に記憶する。
【0045】
次に再びスタート手段14が計測を開始させ、繰り返し手段20と計時手段8の値を初期値にする。そして切替手段6を動作させて、第1の振動子2を低入力部5に接続し、第2の振動子3を駆動手段4に接続する。上記と同様にして今度は下流側から上流側に超音波信号が伝搬されることになる。
【0046】
第2の振動子3から第1の振動子2への超音波信号の伝搬時間はT2となるが、流体管路1に流れがあれば下流側から上流側への伝搬時間は長くなるのでT1>T2となり、T1とT2の逆数差を流量演算手段9で求め、さらに流路1の断面積や流れの状態等を考慮して流量値を演算する。
【0047】
【発明の効果】
以上説明したように本発明の流量計測装置は振動子の内部インピーダンスに比べ、小さなインピーダンスで振動子の出力を受けているので、振動子の電極間容量が温度、経過時間、湿度などの影響によって変化した場合であっても、あるいは特性の異なる振動子をペアとして用いる場合であっても、振動子出力信号の遅延時間変化が小さく、超音波の伝搬時間を正確に測定することができ、高精度量計測装置を実現できるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例における流量計測装置のブロック図。
【図2】同流量計測装置の振動子部分の等価回路図。
【図3】同流量計測装置の振動子の振動子の電極間容量の温度特性図。
【図4】(a)(b)は本発明の低入力部の詳細な構成を示す一例図。
【図5】本発明の他の実施例における流量計測装置のブロック図。
【図6】従来の流量計測装置のブロック図。
【符号の説明】
1 流体管路
2 振動子
3 振動子
4 駆動手段
5 低入力部
6 切替手段
7 受信検知手段
8 計時手段
9 流量演算手段
13 電極間容量
14 低抵抗器
15 増幅器
16 インピーダンス変換機
Claims (10)
- 流体管路に設けられ超音波信号を送受信する一対の振動子と、前記振動子の送受信の切替え手段と、前記振動子の受信出力を受ける低入力部と、前記低入力部の出力から超音波の受信を検知する受信検知手段と、前記振動子を駆動する駆動手段と、前記振動子間の超音波の伝搬時間を計測する計時手段と、前記計時手段の計時値に基づいて流量を算出する流量演算手段とを備え、前記低入力部が、前記振動子のインピーダンスよりも低い入力インピーダンスであり、必要な時間精度をt、振動子の電極間容量の変化量をΔC1、低入力部の入力インピーダンスをZとし、t、ΔC1、Zの関係が、
t>ΔC1×Z
の関係となるように設定されている流量計測装置。 - 流体管路に設けられ超音波信号を送受信する一対の振動子と、前記振動子の送受信の切替え手段と、前記振動子の受信出力を受ける低入力部と、前記低入力部の出力から超音波の受信を検知する受信検知手段と、前記振動子を駆動する駆動手段と、前記振動子間の超音波の伝搬時間を計測する計時手段と、前記計時手段の計時値に基づいて流量を算出する流量演算手段とを備え、前記低入力部が、前記振動子のインピーダンスよりも低い入力インピーダンスであり、この入力インピーダンスが入信側振動子の1/2以下のインピーダンスであり、必要な時間精度をt、振動子の電極間容量の変化量をΔC1、低入力部の入力インピーダンスをZとし、t、ΔC1、Zの関係が、
t>ΔC1×Z
の関係となるように設定されている流量計測装置。 - 流体管路に設けられ超音波信号を送受信する一対の振動子と、前記振動子の送受信の切替え手段と、前記振動子の受信出力を受ける低入力部と、前記低入力部の出力から超音波の受信を検知する受信検知手段と、前記振動子を駆動する駆動手段と、前記振動子間の超音波の伝搬時間を計測する計時手段と、前記計時手段の計時値に基づいて流量を算出する流量演算手段とを備え、前記低入力部が、前記振動子のインピーダンスよりも低い入力インピーダンスであり、必要な時間精度をt、一対の振動子の電極間容量差の変化量をΔC2、低入力部の入力インピーダンスをZとし、t、ΔC2、Zの関係が、
t>ΔC2×Z
の関係となるように設定されている流量計測装置。 - 流体管路に設けられ超音波信号を送受信する一対の振動子と、前記振動子の送受信の切替え手段と、前記振動子の受信出力を受ける低入力部と、前記低入力部の出力から超音波の受信を検知する受信検知手段と、前記振動子を駆動する駆動手段と、前記振動子間の超音波の伝搬時間を計測する計時手段と、前記計時手段の計時値に基づいて流量を算出する流量演算手段とを備え、前記低入力部が、前記振動子のインピーダンスよりも低い入力インピーダンスであり、この入力インピーダンスが入信側振動子の1/2以下のインピーダンスであり、必要な時間精度をt、一対の振動子の電極間容量差の変化量をΔC2、低入力部の入力インピーダンスをZとし、t、ΔC2、Zの関係が、
t>ΔC2×Z
の関係となるように設定されている流量計測装置。 - 低入力部を、低抵抗器と増幅器によって構成する請求項1から4のいずれかに記載の流量計測装置。
- 低入力部を、インピーダンス変換器によって構成する請求項1から4のいずれかに記載の流量計測装置。
- 流体管路に設けられ超音波信号を送受信する一対の振動子と、前記振動子の受信出力を受ける低入力部と、前記低入力部の出力から超音波の受信を検知する受信検知手段と、前記振動子を駆動する駆動手段と、前記振動子間の超音波の伝搬時間を計測する計時手段と、前記計時手段の計時値に基づいて流量を算出する流量演算手段と、一方の振動子を送信側の前記駆動手段に、他方の振動子を受信側の前記低入力部にそれぞれ接続すると共に送受信を切替える切替え手段とを備え、前記低入力部が前記振動子のインピーダンスに対し、並列でかつ低いインピーダンスを有するものであり、一対の振動子のい ずれかの電極間容量の所定範囲温度における最高温度と最低温度との間における変化量をΔC1、計時時間に対して許容される時間精度をtとしたとき、低入力部の入力インピーダンスZが、
t>ΔC1×Z
の関係となるように設定されている流量計測装置。 - 流体管路に設けられ超音波信号を送受信する一対の振動子と、前記振動子の受信出力を受ける低入力部と、前記低入力部の出力から超音波の受信を検知する受信検知手段と、前記振動子を駆動する駆動手段と、前記振動子間の超音波の伝搬時間を計測する計時手段と、前記計時手段の計時値に基づいて流量を算出する流量演算手段と、一方の振動子を送信側の前記駆動手段に、他方の振動子を受信側の前記低入力部にそれぞれ接続すると共に送受信を切替える切替え手段とを備え、前記低入力部が前記振動子のインピーダンスに対し、並列でかつ低いインピーダンスを有するものであり、一対の振動子として、特性が異なる第1の振動子と第2の振動子とを用い、一対の振動子のいずれかの電極間容量の所定範囲温度における最高温度と最低温度との間における変化量をΔC1、計時時間に対して許容される時間精度をtとしたとき、低入力部の入力インピーダンスZが、
t>ΔC1×Z
の関係となるように設定されている流量計測装置。 - 流体管路に設けられ超音波信号を送受信する一対の振動子と、前記振動子の受信出力を受ける低入力部と、前記低入力部の出力から超音波の受信を検知する受信検知手段と、前記振動子を駆動する駆動手段と、前記振動子間の超音波の伝搬時間を計測する計時手段と、前記計時手段の計時値に基づいて流量を算出する流量演算手段と、一方の振動子を送信側の前記駆動手段に、他方の振動子を受信側の前記低入力部にそれぞれ接続すると共に送受信を切替える切替え手段とを備え、前記低入力部が前記振動子のインピーダンスに対し、並列でかつ低いインピーダンスを有するものであり、一対の振動子の電極間容量の差の所定範囲温度における最高温度と最低温度との間における変化量をΔC2、計時時間に対して許容される時間精度をtとしたとき、低入力部の入力インピーダンスZが、
t>ΔC2×Z
の関係となるように設定されている流量計測装置。 - 流体管路に設けられ超音波信号を送受信する一対の振動子と、前記振動子の受信出力を受ける低入力部と、前記低入力部の出力から超音波の受信を検知する受信検知手段と、前記振動子を駆動する駆動手段と、前記振動子間の超音波の伝搬時間を計測する計時手段と、前記計時手段の計時値に基づいて流量を算出する流量演算手段と、一方の振動子を送信側の前記駆動手段に、他方の振動子を受信側の前記低入力部にそれぞれ接続すると共に送受信を切替える切替え手段とを備え、前記低入力部が前記振動子のインピーダンスに対し、並列でかつ低いインピーダンスを有するものであり、一対の振動子として、特性が異なる第1の振動子と第2の振動子とを用い、一対の振動子の電極間容量の差の所定範囲温度における最高温度と最低温度との間における変化量をΔC2、計時時間に対して許容される時間精度をtとしたとき、低入力部の入力インピーダンスZが、
t>ΔC2×Z
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