JP3569763B2 - 二酸化チタン・コバルト磁性膜及びその製造方法 - Google Patents
二酸化チタン・コバルト磁性膜及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3569763B2 JP3569763B2 JP2001091276A JP2001091276A JP3569763B2 JP 3569763 B2 JP3569763 B2 JP 3569763B2 JP 2001091276 A JP2001091276 A JP 2001091276A JP 2001091276 A JP2001091276 A JP 2001091276A JP 3569763 B2 JP3569763 B2 JP 3569763B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- titanium dioxide
- magnetic film
- cobalt magnetic
- predetermined
- cobalt
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 223
- 239000004408 titanium dioxide Substances 0.000 title claims description 82
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 title claims description 78
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 title claims description 78
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 78
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 22
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 76
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 42
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 24
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 claims description 19
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 claims description 18
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 16
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims description 14
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 10
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 8
- 239000011941 photocatalyst Substances 0.000 claims description 8
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 5
- ILPIWPKVSGQOOJ-UHFFFAOYSA-N cobalt(2+) oxygen(2-) titanium(4+) Chemical compound [O--].[O--].[Ti+4].[Co++] ILPIWPKVSGQOOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 68
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 16
- 230000005381 magnetic domain Effects 0.000 description 8
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 241000238366 Cephalopoda Species 0.000 description 6
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 6
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 4
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 3
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 3
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 3
- 239000002923 metal particle Substances 0.000 description 3
- 230000001699 photocatalysis Effects 0.000 description 3
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 230000003197 catalytic effect Effects 0.000 description 2
- 238000002003 electron diffraction Methods 0.000 description 2
- 238000004453 electron probe microanalysis Methods 0.000 description 2
- 239000003574 free electron Substances 0.000 description 2
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 2
- 230000005389 magnetism Effects 0.000 description 2
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 2
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 238000000608 laser ablation Methods 0.000 description 1
- 239000003446 ligand Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000001000 micrograph Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 238000013032 photocatalytic reaction Methods 0.000 description 1
- 238000006303 photolysis reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 230000006798 recombination Effects 0.000 description 1
- 238000005215 recombination Methods 0.000 description 1
- 238000006479 redox reaction Methods 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F41/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties
- H01F41/14—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for applying magnetic films to substrates
- H01F41/20—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for applying magnetic films to substrates by evaporation
- H01F41/205—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for applying magnetic films to substrates by evaporation by laser ablation, e.g. pulsed laser deposition [PLD]
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J23/00—Catalysts comprising metals or metal oxides or hydroxides, not provided for in group B01J21/00
- B01J23/002—Mixed oxides other than spinels, e.g. perovskite
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J23/00—Catalysts comprising metals or metal oxides or hydroxides, not provided for in group B01J21/00
- B01J23/70—Catalysts comprising metals or metal oxides or hydroxides, not provided for in group B01J21/00 of the iron group metals or copper
- B01J23/74—Iron group metals
- B01J23/75—Cobalt
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J35/00—Catalysts, in general, characterised by their form or physical properties
- B01J35/30—Catalysts, in general, characterised by their form or physical properties characterised by their physical properties
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J35/00—Catalysts, in general, characterised by their form or physical properties
- B01J35/30—Catalysts, in general, characterised by their form or physical properties characterised by their physical properties
- B01J35/39—Photocatalytic properties
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y25/00—Nanomagnetism, e.g. magnetoimpedance, anisotropic magnetoresistance, giant magnetoresistance or tunneling magnetoresistance
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/08—Oxides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/28—Vacuum evaporation by wave energy or particle radiation
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B23/00—Single-crystal growth by condensing evaporated or sublimed materials
- C30B23/02—Epitaxial-layer growth
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B29/00—Single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure characterised by the material or by their shape
- C30B29/10—Inorganic compounds or compositions
- C30B29/16—Oxides
- C30B29/22—Complex oxides
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/64—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent
- G11B5/65—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent characterised by its composition
- G11B5/658—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent characterised by its composition containing oxygen, e.g. molecular oxygen or magnetic oxide
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/84—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
- G11B5/85—Coating a support with a magnetic layer by vapour deposition
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F10/00—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure
- H01F10/007—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure ultrathin or granular films
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F10/00—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure
- H01F10/08—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure characterised by magnetic layers
- H01F10/10—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure characterised by magnetic layers characterised by the composition
- H01F10/18—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure characterised by magnetic layers characterised by the composition being compounds
- H01F10/193—Magnetic semiconductor compounds
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F10/00—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure
- H01F10/26—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure characterised by the substrate or intermediate layers
- H01F10/28—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure characterised by the substrate or intermediate layers characterised by the composition of the substrate
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J2523/00—Constitutive chemical elements of heterogeneous catalysts
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/12—All metal or with adjacent metals
- Y10T428/12493—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.]
- Y10T428/12771—Transition metal-base component
- Y10T428/12806—Refractory [Group IVB, VB, or VIB] metal-base component
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/12—All metal or with adjacent metals
- Y10T428/12493—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.]
- Y10T428/12986—Adjacent functionally defined components
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Inorganic Compounds Of Heavy Metals (AREA)
- Catalysts (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、二酸化チタン・コバルト磁性膜及びその製造方法に関し、さらにこの磁性膜を利用した光触媒、電気・光・磁気機能を有する半導体材料、透明磁石等に有用な材料及びその製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
二酸化チタン(TiO2 )は、その光触媒機能により、水の光分解や有害物質の分解除去に実用化されている材料であり、エネルギー問題や環境問題の観点から、今後の二酸化チタンの光触媒活性のさらなる向上が望まれている。
また、半導体材料としては、Si、GaAsが主流であり、これらの従来の半導体材料は、キャリア制御による電気的機能、あるいは、レーザーダイオード、フォトダイオードと言った光・電気的機能を実現できる材料であるが、磁気メモリーと言った磁気的機能も実現できる半導体材料は、未だ存在しない。
二酸化チタンはそのバンドギャップエネルギーが紫外領域にある光・電気的機能を有した半導体結晶であるが、その光・電気的機能をそのままに、さらに、磁気的機能を持たせることができれば、光・電気・磁気機能を併せて実現できる半導体材料を得ることができる。
【0003】
従来、磁石と呼ばれている物質は、可視光を透過せず、真っ黒な物質である。透明磁石が実現できれば、紙ばさみ等の用途に便利なことは言うに及ばず、広い産業分野に渡って有用であることは明らかである。
ところで透明絶縁物に磁性を付加する従来技術には、図14に示す例がある。Al2 O3 等である可視光で透明な非磁性絶縁物粉末にCo等からなる磁性金属の粒子を混入し焼き固めたものである。このような透明磁石は、磁性金属の粒子の量を増やすと、磁性金属粒子を混入したことによる非磁性絶縁物のアモルファス化が起こり、結晶性が失われ、 母体である透明絶縁物の本来の性質である透明性及び絶縁性が失われてしまう。
磁性半導体としては、GaAsにMnを混入したものやCdMnTe系のものがあり、磁気機能、さらにはファラデー回転などの光機能を有するものがある。
しかしながら、これらの従来の磁性半導体は可視光に透明でない。
このように、従来は、可視光に透明であり、磁気的機能を有する半導体材料は存在しなかった。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は以上の課題にかんがみ、二酸化チタンの結晶性を失うことなく磁気機能を付加した、光触媒、光・電気・磁気機能を併せもつ半導体材料及び透明磁石として使用可能な二酸化チタン・コバルト磁性膜とその製造方法を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の二酸化チタン・コバルト磁性膜は、
化学式:Ti1−x Cox O2
ただし、0<x≦0.3、で表されTi格子位置にCoが置換した、かつ、単結晶基板上にエピタキシャル成長した二酸化チタン・コバルト磁性膜であることを特徴とする。
上記磁性膜の結晶構造は、好ましくはアナターゼ構造である。
上記磁性膜の結晶構造は、好ましくはルチル構造である。
上記アナターゼ構造の二酸化チタン・コバルト磁性膜は、バンドギャップエネルギーが、Ti格子位置に置換するCo濃度(X)に応じて、3.13eV〜3.33eVの範囲で変化することを特徴としている。
上記二酸化チタン・コバルト磁性膜は、さらに、室温以上の温度でも磁化を保持でき、かつ、可視光で透明である。
上記単結晶基板は、好ましくは、結晶構造がアナターゼ構造の場合に、LaAlO3 (001)基板である。
上記単結晶基板は、好ましくは、結晶構造がルチル構造の場合に、Al2 O3 基板である。
上記単結晶基板は、好ましくは、結晶構造がルチル構造の場合に、ルチル結晶構造を有するTiO2 基板である。
【0006】
上記構成によれば、二酸化チタンの半導体結晶としての結晶性を失うことなく磁気機能を有するから、光触媒、光・電気・磁気的機能を併せもつ半導体材料及び透明磁石として使用可能である。
【0007】
本発明の二酸化チタン・コバルト磁性膜の製造方法は、酸素圧雰囲気の真空槽内で、所定の混合比で混合したTiO2 とCoから成るターゲットに、所定のレーザー光を所定の照射条件で照射して、TiO2 とCoを蒸発させ、所定の基板温度に加熱した単結晶基板に成膜することを特徴とする。
好ましくは、上記酸素圧は10−5〜10−6Torr、基板温度は500〜700℃、レーザー光はKrFエキシマレーザー光(248nm)、照射条件は、レーザー光のパルスパワーが1〜2ジュール/cm2 、及びこのレーザーパルスの照射速度が1〜10Hzとされ得る。
さらに、所定の混合比で混合したTiO2 とCoから成るターゲットと、TiO2 のみから成るターゲットに、所定のレーザー光パルスを所定のCo濃度に対応したパルス数比で交互に照射し、所定のCo濃度の二酸化チタン・コバルト磁性膜を成膜するようにしてもよい。
上記構成によれば、所望のCo濃度を有する、本発明の二酸化チタン・コバルト磁性膜を得ることができる。
【0008】
本発明の二酸化チタン・コバルト磁性膜を光触媒として使用すれば、触媒活性が高い。
【0009】
本発明の二酸化チタン・コバルト磁性膜を半導体材料として使用すれば、キャリア制御による電気的機能と、受発光機能と、磁気制御による磁気的機能とを併せ持つ半導体デバイスを作製することができる。
【0010】
本発明の二酸化チタン・コバルト磁性膜を透明磁石として使用すれば、例えば紙ばさみとして、有用である。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下、図1〜図13に基づき、本発明の二酸化チタン・コバルト磁性膜の好適な実施の形態を説明する。
図1は本発明の二酸化チタン・コバルト磁性膜の製造装置の概略図である。
図1において、この製造装置10は、レーザアブレーション堆積装置として構成されており、真空チャンバ17内に、基板11と、基板11に対向して配設されたターゲット12が装着され、真空チャンバ17の外方から、窓を通してターゲット12にパルスレーザーを照射するレーザ装置13と、基板11を加熱するための加熱装置14とが配設されている。
また、基板11のターゲット12に対向した表面には、この基板11を部分的に覆うようにマスク15が移動可能に支持されている。
なお、16は、酸素を導入するノズルである。
【0012】
上記基板11は、アナターゼ結晶構造の二酸化チタン・コバルト磁性膜をエピタキシャル成長する場合には、比較的格子不整合が小さい透明基板であるLaAlO3 (001)基板からなり、その表面が(001)面となるように成形されている。また、上記基板11は、ルチル結晶構造の二酸化チタン・コバルト磁性膜をエピタキシャル成長する場合には、Al2 O3 、又はルチル結晶構造を有するTiO2 単結晶基板でよい。
上記ターゲット12は、例えばルチル結晶構造のTiO2 にCoを10mol%ドープしたものを1000℃で焼結したものである。
なお、ターゲット12を、上記組成のターゲットとルチル結晶構造のTiO2 のみから成るターゲットとの2つのターゲットを使用し、これらのターゲットを所定数比率のレーザ光パルスを交互に照射することによって作製しても良い。この場合、各ターゲットは複数のターゲットを支持し得るマルチターゲットホルダー18上に保持され、マルチターゲットホルダー18の回転シャフト19によって、各ターゲットが上記レーザ装置13のレーザ照射位置に選択的に持ち来されるようになっている。
【0013】
上記レーザ装置13に用いるレーザは、例えば248nmのレーザ光を出射するKrFエキシマレーザであり、このレーザ光のパルスの光エネルギー密度を1〜2J/cm2 のいずれかに調整し、このレーザーパルスを1〜10個/秒、すなわち、速度1〜10Hzで照射する。
【0014】
上記加熱装置14は、Nd:YAGレーザを使用した基板加熱装置であって、酸化性雰囲気であっても基板11を高温に加熱することができる。なお、基板加熱装置は通常のランプヒータであっても良い。
上記真空チャンバ内は、1×10−9Torr程度の真空に保持された後、10−5〜10−6Torr程度の酸素分圧になるように、ガス導入バルブ16を介して酸素が導入される。
【0015】
次に、本発明の二酸化チタン・コバルト磁性膜の結晶構造を説明する。
図2は、二酸化チタン(TiO2 )の結晶構造を模式的に示したものであり、図2(a)は、アナターゼ結晶構造及びルチル結晶構造におけるTi配位位置(黒丸)を図示したもので、図2(b)は、アナターゼ結晶構造及びルチル結晶構造におけるTiとOから構成される8面体配位子の配置を模式的に示したものである。また、図2(c)は、アナターゼ結晶構造及びルチル結晶構造におけるTiとOの結合手モデルを示している。
【0016】
図3は、本発明の製造方法により作製した、アナターゼ結晶構造の二酸化チタン・コバルト磁性膜のX線回折測定結果である。図3(a)は、XRD(XRAY Diffract Meter)による回折パターンを示す。図3(b)は、成膜時のRHEED(反射電子線回折)結果を示す。
測定に用いた二酸化チタン・コバルト磁性膜は、LaAlO3 (001)基板上に、ルチル結晶構造のTiO2 にCoを10mol%ドープしたターゲットと、ルチル結晶構造のTiO2 のみから成るターゲットとを、所定数比率の上記レーザ光パルスを交互に照射することによって成膜したCo濃度5.8%の二酸化チタン・コバルト磁性膜である。なお、Co濃度は、EPMA(Electron Probe Micro Analysis)により決定した。基板温度、酸素分圧は、それぞれ、650℃、10−5Torrである。
【0017】
図3(a)の回折パターンから、本発明の製造方法により作製した二酸化チタン・コバルト磁性膜はアナターゼ結晶構造を有し、基板上にc軸配向していることが判る。また、図3(b)のRHEED結果から、単分子層毎にエピタキシャル成長していることが判る。
【0018】
図4は、本発明の製造方法により作製した、ルチル結晶構造の二酸化チタン・コバルト磁性膜のX線回折測定結果である。
この測定に用いたルチル結晶構造の二酸化チタン・コバルト磁性膜は、エピタキシャル単結晶基板にAl2 O3 基板、またはルチル結晶構造のTiO2 基板を用いたほかは、上記のアナターゼ結晶構造の二酸化チタン・コバルト磁性膜の作製条件と同等である。
図4の回折パターンから、本発明の製造方法により作製した二酸化チタン・コバルト磁性膜はルチル結晶構造を有し、基板上に(101)軸配向していることが判る。また、図示しないが、RHEED測定結果から、単分子層毎にエピタキシャル成長していることを確認している。
【0019】
図5は、上記アナターゼ結晶構造の二酸化チタン・コバルト磁性膜の断面方向のTEM(透過電子線回折)測定結果を示す回折像である。
図5から明らかなように、Ti及びCoの格子配列に基づく規則正しく配列した回折点が見られることから、本発明のアナターゼ結晶構造の二酸化チタン・コバルト磁性膜においては、Tiの格子点位置にCoが置換していることが判る。
また、図示を省略するがルチル結晶構造の二酸化チタン・コバルト磁性膜においても同様にTiの格子点位置にCoが置換していることを確認している。
図6は、Co濃度を種々変えて作製したアナターゼ結晶構造の二酸化チタン・コバルト磁性膜のc軸方向の格子定数を測定した結果を示すグラフである。図6から明らかなように、Co濃度にほぼ比例して格子定数が大きくなることが判る。この結果からも、Tiの格子点位置にCoが置換していることが判る。
図5、図6から明らかなように、本発明の二酸化チタン・コバルト磁性膜は、磁性特性を有するCo原子を含有しても、半導体としての結晶構造を維持していることが判る。
【0020】
図7は、Co濃度8%の上記アナターゼ結晶構造の二酸化チタン・コバルト磁性膜の透過率測定結果を示すグラフである。この図から、本発明の二酸化チタン・コバルト磁性膜は、可視光において透明であることが判る。
また、図示を省略するが、ルチル結晶構造の二酸化チタン・コバルト磁性膜においても可視光において透明であることを確認している。
【0021】
図8は、走査型SQUID顕微鏡を用いて撮影した、アナターゼ結晶構造の二酸化チタン・コバルト磁性膜の磁区構造の測定結果を表すイメージ図である。
図8において、横軸の濃度スケールは、マイクロテスラで表した磁化の強さを示し、+、−は磁化の方向を表す。この測定は、走査型SQUID顕微鏡を使用して測定したもので、測定温度は、3K,30K及び60K、測定面積は200μm×200μmである。
図9は、走査型SQUID顕微鏡を用いて撮影した、ルチル結晶構造の二酸化チタン・コバルト磁性膜の磁区構造の測定結果を表すイメージ図である。
縦軸の濃度スケールは、マイクロテスラで表した磁化の強さを示し、測定温度は3K、測定面積は200μm×200μmである。
この測定に用いた、ルチル結晶構造の二酸化チタン・コバルト磁性膜は、Co濃度を図において左から右に向かって連続的に変化させて作製した。左端のCo濃度は14.6%、右端のCo濃度は15.4%である。
【0022】
図10は、図8と同様の手段を用いて、種々のCo濃度のアナターゼ結晶構造の二酸化チタン・コバルト磁性膜の磁区構造を測定したものである。横軸の濃度スケールは、マイクロテスラで表した磁化の強さを示し、+、−は磁化の方向を表す。図10から明らかなように、Co濃度が大きくなるに従って磁化が大きくなっていくことが判る。
図11は、上記アナターゼ結晶構造の二酸化チタン・コバルト磁性膜の磁化特性を示すグラフであり、図11(a)は磁気ヒステリシス特性を示す図であり、縦軸はCo原子1個あたりの磁気モーメントをμB 単位で表し、横軸は磁性膜の表面に平行に印加した磁場強度を表し、測定温度は300Kである。また、図11(b)は、残留磁気モーメントすなわち、残留磁化の温度による消磁特性を示している。
図12は、上記アナターゼ結晶構造の二酸化チタン・コバルト磁性膜の磁化特性の温度依存性を示すグラフである。印加した磁場強度は200Gauss、測定温度範囲は0〜400Kである。
【0023】
図7〜図12から明らかなように、本発明の二酸化チタン・コバルト磁性膜は磁区構造を有し、Co濃度の増大に伴って、その磁化が大きくなる。また、0〜400Kの温度範囲において、残留磁化を生じさせることができる。すなわち磁石化することができ、しかも400Kの高温においてもその磁化が消滅しない。
【0024】
図13は、本発明のCo濃度の異なるアナターゼ結晶構造の二酸化チタン・コバルト磁性膜の光吸収特性を示すグラフである。
各々の吸収曲線は良好な半導体結晶であることを示しており、吸収端から求めたバンドギャップエネルギーは3.13〜3.33eVである。
図14から明らかなように、本発明の二酸化チタン・コバルト磁性膜は、バンドギャップエネルギーがCo濃度によって変化する、良好な半導体結晶であることが判る。
【0025】
以上の説明から理解されるように、本発明の二酸化チタン・コバルト磁性膜は、Ti格子位置にCo原子が置換した半導体結晶であり、磁区構造を有し、残留磁化を形成することができ、この残留磁化は400Kにおいても消滅しない。さらに、可視光において透明であり、ドープするCo濃度によってバンドギャップエネルギーを変えることができる、
また、本発明の二酸化チタン・コバルト磁性膜の製造方法によれば、本発明の二酸化チタン・コバルト磁性膜を作製することができる。
【0026】
TiO2 による光触媒反応は、TiO2 のバンドギャップエネルギー以上のエネルギーを有する光子を吸収して生ずるホール及び自由電子による酸化還元反応であるが、これらのホール及び自由電子は生成と同時に再結合してしまう割合もかなり高く、光触媒効率が余り高くなかった。本発明の二酸化チタン・コバルト磁性膜を光触媒として使用すれば、Coによる磁化によって、 ホールと電子の再結合割合を減少させることができる。従って、光触媒効率が高くなる。
【0027】
従来は、コンピュータ等で使用するデータは、磁性薄膜円盤等に記録保持していた。しかし、このような従来法では、CPUの外部にこのような記録装置を設けることが必要であり、また、機械的駆動部分を必要とすることから、コンパクト性及び信頼性に欠けるものであった。本発明の二酸化チタン・コバルト磁性膜を、半導体材料として用いれば、CPUとデータ記録部とを同一基板上に集積化することができる。従って、この種の装置のコンパクト性及び信頼性を向上させることができる。
さらに、透明性であることを活かした、透明ディスプレイや電子ペーパーなどの回路駆動部の透明素子材料としての利用が期待される。
【0028】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の二酸化チタン・コバルト磁性膜を用いれば、触媒能力の高い光触媒、光・電気・磁気機能を併せもつ半導体材料、及び透明磁石を提供することができる。
さらに、本発明の二酸化チタン・コバルト磁性膜の製造方法によれば、上記二酸化チタン・コバルト磁性膜を確実に製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の二酸化チタン・コバルト磁性膜の製造装置の概略図である。
【図2】二酸化チタンのアナターゼ結晶構造及びルチル結晶構造を模式的に示した図である。
【図3】本発明の製造方法により作製したアナターゼ結晶構造の二酸化チタン・コバルト磁性膜のX線回折測定結果を示す図である。
【図4】本発明の製造方法により作製したルチル結晶構造の二酸化チタン・コバルト磁性膜のX線回折測定結果を示す図である。
【図5】本発明のアナターゼ結晶構造の二酸化チタン・コバルト磁性膜の断面方向のTEM(透過電子線回折)測定結果を示す顕微鏡写真による回折像である。
【図6】本発明のCo濃度を種々変えて作製したアナターゼ結晶構造の二酸化チタン・コバルト磁性膜のc軸方向の格子定数を測定した結果を示すグラフである。
【図7】本発明のCo濃度8%のアナターゼ結晶構造の二酸化チタン・コバルト磁性膜の透過率測定結果を示すグラフである。
【図8】走査型SQUID顕微鏡を用いて撮影した、アナターゼ結晶構造の二酸化チタン・コバルト磁性膜の磁区構造を示す図である。
【図9】走査型SQUID顕微鏡を用いて撮影した、ルチル結晶構造の二酸化チタン・コバルト磁性膜の磁区構造を示す図である。
【図10】走査型SQUID顕微鏡を用いて撮影した、種々のCo濃度のアナターゼ結晶構造の二酸化チタン・コバルト磁性膜の磁区構造を示す図である。
【図11】本発明のアナターゼ結晶構造の二酸化チタン・コバルト磁性膜の磁化ヒステリシス特性を示す図である。
【図12】本発明のアナターゼ結晶構造のアナターゼ結晶構造の二酸化チタン・コバルト磁性膜の磁化特性の温度依存性を示す図である。
【図13】本発明のCo濃度の異なるアナターゼ結晶構造の二酸化チタン・コバルト磁性膜の光吸収特性を示す図である。
【図14】透明絶縁物に磁性を付加する従来技術を説明する図である。
【符号の説明】
10 製造装置
12 ターゲット
13 レーザ装置
14 基板加熱装置
15 マスク
16 ノズル
17 真空チャンバ
18 マルチターゲットホルダ
19 回転シャフト
Claims (15)
- 化学式:Ti1−x Cox O2 ;0<x≦0.3、で表され、Ti格子位置にCoが置換した、かつ、単結晶基板上にエピタキシャル成長した二酸化チタン・コバルト磁性膜。
- 結晶構造がアナターゼ構造であることを特徴とする、請求項1に記載の二酸化チタン・コバルト磁性膜。
- 結晶構造がルチル構造であることを特徴とする、請求項1に記載の二酸化チタン・コバルト磁性膜。
- バンドギャップエネルギーが、前記Ti格子位置に置換する前記Co濃度に応じて、3.13eV〜3.33eVの範囲で変化することを特徴とする、請求項1または2に記載の二酸化チタン・コバルト磁性膜。
- 室温以上の温度でも磁化を保持し、かつ、可視光で透明であることを特徴とする、請求項1〜3のいずれかに記載の二酸化チタン・コバルト磁性膜。
- 前記単結晶基板が、LaAlO3 (001)基板であることを特徴とする、請求項1又は2に記載の二酸化チタン・コバルト磁性膜。
- 前記単結晶基板が、Al2 O3 基板であることを特徴とする、請求項1又は3に記載の二酸化チタン・コバルト磁性膜。
- 前記単結晶基板が、ルチル結晶構造を有するTiO2 基板であることを特徴とする請求項1又は3に記載の二酸化チタン・コバルト磁性膜。
- 所定の酸素圧雰囲気の真空槽内で、所定の混合比で混合したTiO2 とCoから成るターゲットに、所定のレーザー光を所定の照射条件で照射して、上記TiO2 とCoを蒸発させ、所定の基板温度に加熱した単結晶基板に成膜することを特徴とする、二酸化チタン・コバルト磁性膜の製造方法。
- 前記所定の酸素圧は10−5〜10−6Torrであり、前記所定の基板温度は500〜700℃であり、前記所定のレーザー光はKrFエキシマレーザー光(248nm)であり、前記所定の照射条件は、上記レーザー光のパルスパワー密度が1〜2ジュール/cm2 、及びこのレーザーパルスの照射速度が1〜10Hzであることを特徴とする、請求項5に記載の二酸化チタン・コバルト磁性膜の製造方法。
- 前記所定の混合比で混合したTiO2 とCoから成るターゲットと、TiO2 のみから成るターゲットに、前記所定のレーザー光パルスを所定のCo濃度に対応した上記パルス数比で交互に照射し、上記所定のCo濃度の二酸化チタン・コバルト磁性膜を成膜することを特徴とする、請求項10に記載の二酸化チタン・コバルト磁性膜の製造方法。
- 請求項10に記載の二酸化チタン・コバルト磁性膜の製造方法で製造した二酸化チタン・コバルト磁性膜。
- 請求項1〜3、及び請求項12のいずれかに記載の二酸化チタン・コバルト磁性膜を用いた光触媒。
- 請求項1〜3、及び請求項12のいずれかに記載の二酸化チタン・コバルト磁性膜を用いた、磁気機能を有する半導体材料。
- 請求項1〜3、及び請求項12のいずれかに記載の二酸化チタン・コバルト磁性膜を用いた透明磁石。
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001091276A JP3569763B2 (ja) | 2000-08-30 | 2001-03-27 | 二酸化チタン・コバルト磁性膜及びその製造方法 |
PCT/JP2001/007089 WO2002018668A1 (en) | 2000-08-30 | 2001-08-17 | Titanium dioxide cobalt magnetic film and its manufacturing method |
EP01956947A EP1314793A4 (en) | 2000-08-30 | 2001-08-17 | TITANIUM DIOXIDE COBALT MAGNETIC FILM AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF |
KR1020027005204A KR100560553B1 (ko) | 2000-08-30 | 2001-08-17 | 이산화티탄ㆍ코발트 자성막 및 그 제조 방법 |
CNB01802601XA CN1289707C (zh) | 2000-08-30 | 2001-08-17 | 二氧化钛·钴磁性膜及其制造方法 |
US10/110,233 US6919138B2 (en) | 2000-08-30 | 2001-08-17 | Titanium dioxide cobalt magnetic film and its manufacturing method |
US11/152,086 US20050233163A1 (en) | 2000-08-30 | 2005-06-15 | Titanium dioxide - Cobalt magnetic film and method of its manufacture |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000-261050 | 2000-08-30 | ||
JP2000261050 | 2000-08-30 | ||
JP2001091276A JP3569763B2 (ja) | 2000-08-30 | 2001-03-27 | 二酸化チタン・コバルト磁性膜及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002145622A JP2002145622A (ja) | 2002-05-22 |
JP3569763B2 true JP3569763B2 (ja) | 2004-09-29 |
Family
ID=26598791
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001091276A Expired - Fee Related JP3569763B2 (ja) | 2000-08-30 | 2001-03-27 | 二酸化チタン・コバルト磁性膜及びその製造方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US6919138B2 (ja) |
EP (1) | EP1314793A4 (ja) |
JP (1) | JP3569763B2 (ja) |
KR (1) | KR100560553B1 (ja) |
CN (1) | CN1289707C (ja) |
WO (1) | WO2002018668A1 (ja) |
Families Citing this family (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7521039B2 (en) * | 2002-11-08 | 2009-04-21 | Millennium Inorganic Chemicals, Inc. | Photocatalytic rutile titanium dioxide |
JP4612340B2 (ja) * | 2003-05-21 | 2011-01-12 | 独立行政法人科学技術振興機構 | ビスマスを構成元素に含む多元系酸化物単結晶の製造方法 |
JP3944584B2 (ja) * | 2004-01-23 | 2007-07-11 | 国立大学法人東北大学 | コバルトドープ二酸化チタン膜の作製方法、コバルトドープ二酸化チタン膜、及び多層膜構造 |
JP4102880B2 (ja) * | 2004-02-23 | 2008-06-18 | 国立大学法人東北大学 | 多層膜構造体、及び素子構造 |
US20080210934A1 (en) * | 2005-03-25 | 2008-09-04 | Tokyo Institute Of Technology | Semiconductor Device Using Titanium Dioxide as Active Layer and Method for Producing Semiconductor Device |
SG127749A1 (en) * | 2005-05-11 | 2006-12-29 | Agency Science Tech & Res | Method and solution for forming anatase titanium dioxide, and titanium dioxide particles, colloidal dispersion and film |
CN100350520C (zh) * | 2005-06-03 | 2007-11-21 | 山东大学 | 非晶态高掺杂COxTi1-xO2铁磁性半导体薄膜的制备方法 |
WO2007022462A2 (en) * | 2005-08-19 | 2007-02-22 | North Carolina State University | Solar photocatalysis using transition-metal oxides combining d0 and d6 electron configurations |
JP4604197B2 (ja) * | 2005-12-01 | 2010-12-22 | 国立大学法人横浜国立大学 | 磁性粉末微粒子の製造方法 |
WO2007069638A1 (ja) * | 2005-12-13 | 2007-06-21 | National Institute For Materials Science | 磁性人工超格子とその製造方法 |
CN1929049B (zh) * | 2006-08-14 | 2011-08-03 | 南京大学 | 利用激光诱导效应改变CrO2薄膜磁性的方法 |
JP2008262109A (ja) * | 2007-04-13 | 2008-10-30 | Fujitsu Ltd | 光送受信装置 |
US20110183133A1 (en) * | 2008-06-10 | 2011-07-28 | Minoru Osada | Electromagnetic wave absorbent material |
US8501052B2 (en) | 2009-02-05 | 2013-08-06 | JX Nippon Mining & Metals Corporatoin | Thin film comprising titanium oxide as main component and sintered compact sputtering target comprising titanium oxide as main component |
CN102365385B (zh) | 2009-03-27 | 2014-07-30 | 吉坤日矿日石金属株式会社 | Ti-Nb系氧化物烧结体溅射靶、Ti-Nb系氧化物薄膜及该薄膜的制造方法 |
CN101850251B (zh) * | 2010-06-10 | 2011-12-07 | 大连大学 | 可磁分离二氧化钛可见光催化剂的制备方法 |
JP5603304B2 (ja) * | 2011-08-04 | 2014-10-08 | 日本電信電話株式会社 | 光触媒の製造方法 |
CN102654671B (zh) * | 2011-11-14 | 2014-09-10 | 京东方科技集团股份有限公司 | 液晶显示器及其制作方法 |
JP5891990B2 (ja) * | 2012-07-30 | 2016-03-23 | コニカミノルタ株式会社 | 光学式検体検出装置 |
WO2014027364A1 (en) | 2012-08-17 | 2014-02-20 | Council Of Scientific & Industrial Research | A process for decomposition of organic synthetic-dyes using semiconductor-oxides nanotubes via dark-catalysis |
CN104969117A (zh) * | 2013-02-05 | 2015-10-07 | 林成珪 | 辅助镜片装卸型眼镜 |
JP6145332B2 (ja) * | 2013-06-20 | 2017-06-07 | 昭和電工株式会社 | 磁気記録媒体、磁気記憶装置 |
TW202300959A (zh) * | 2021-03-11 | 2023-01-01 | 美商應用材料股份有限公司 | 藉由物理氣相沉積所沉積的氧化鈦光學裝置薄膜 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100210579B1 (ko) * | 1990-01-08 | 1999-07-15 | 가나이 쓰도무 | 강자성막 및 그 제조방법과 이것을 사용한 자기헤드 |
US5145713A (en) * | 1990-12-21 | 1992-09-08 | Bell Communications Research, Inc. | Stoichiometric growth of compounds with volatile components |
KR100377606B1 (ko) * | 1995-09-15 | 2003-08-25 | 로디아 쉬미 | 이산화티타늄-기재광촉매코팅기판,및이산화티타늄-기재유기분산액 |
US6027766A (en) * | 1997-03-14 | 2000-02-22 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Photocatalytically-activated self-cleaning article and method of making same |
JPH1192176A (ja) * | 1997-07-22 | 1999-04-06 | Bridgestone Corp | 光触媒膜及びその作製方法 |
-
2001
- 2001-03-27 JP JP2001091276A patent/JP3569763B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2001-08-17 CN CNB01802601XA patent/CN1289707C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2001-08-17 WO PCT/JP2001/007089 patent/WO2002018668A1/ja active IP Right Grant
- 2001-08-17 US US10/110,233 patent/US6919138B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2001-08-17 EP EP01956947A patent/EP1314793A4/en not_active Withdrawn
- 2001-08-17 KR KR1020027005204A patent/KR100560553B1/ko not_active IP Right Cessation
-
2005
- 2005-06-15 US US11/152,086 patent/US20050233163A1/en not_active Abandoned
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2002018668A1 (en) | 2002-03-07 |
EP1314793A1 (en) | 2003-05-28 |
KR20020068041A (ko) | 2002-08-24 |
JP2002145622A (ja) | 2002-05-22 |
US20050233163A1 (en) | 2005-10-20 |
CN1388838A (zh) | 2003-01-01 |
KR100560553B1 (ko) | 2006-03-15 |
EP1314793A4 (en) | 2007-10-03 |
CN1289707C (zh) | 2006-12-13 |
US20030091500A1 (en) | 2003-05-15 |
US6919138B2 (en) | 2005-07-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3569763B2 (ja) | 二酸化チタン・コバルト磁性膜及びその製造方法 | |
Hays et al. | Effect of Co doping on the structural, optical and magnetic properties of ZnO nanoparticles | |
Cabello-Guzmán et al. | Preliminary evaluation of the up-conversion emission of Y2O3: Er-Yb thin films prepared by a solid state photochemical deposition method | |
Manikandan et al. | Genesis and tuning of ferromagnetism in SnO2 semiconductor nanostructures: Comprehensive review on size, morphology, magnetic properties and DFT investigations | |
Jamali-Sheini | Chemical solution deposition of ZnO nanostructure films: Morphology and substrate angle dependency | |
Wang et al. | Magnetic and optical properties of Co-doped ZnO nanorod arrays | |
Alzahrani et al. | Effect of calcination temperature on the structural and optical properties of (ZnO) 0.8 (ZrO2) 0.2 nanoparticles | |
Telychko et al. | Recent advances in atomic imaging of organic-inorganic hybrid perovskites | |
JP4365495B2 (ja) | 遷移金属を含有する強磁性ZnO系化合物およびその強磁性特性の調整方法 | |
Ono et al. | Epitaxial growth of a homogeneous anatase TiO2 thin film on LaAlO3 (0 0 1) using a solvothermal method with anticorrosive ligands | |
Shang et al. | Multiferroicity in the YFeO3 crystal | |
Chambers | Molecular beam epitaxial growth of doped oxide semiconductors | |
Agarwal et al. | Direct thermal decomposition of FeCl3. 6H2O in oleic acid forms hematite cube and nano octahedron structure with quasicrystalline and supercell symmetries for enhanced photoelectrochemical functionality | |
Datta et al. | Manganite (La 1-x A x MnO 3; A= Sr, Ca) nanowires with adaptable stoichiometry grown by hydrothermal method: understanding of growth mechanism using spatially resolved techniques | |
Saraswat et al. | 150 KeV Cu− ion-implantation in SrVO3 thin films: A study of Cu induced defect states | |
Hariharan et al. | Simultaneous structural and optical control of tungsten oxide (WO3) nanoparticles through cobalt doping for super conducting applications | |
Tian et al. | Structure and magnetic properties of Ni0. 11ZnxCo0. 03Fe2. 86-xO4 ferrite films deposited on Ag-coated glass substrates by wet chemical method | |
Prabakar et al. | Investigation on microstructure, energy gap, photoluminescence and magnetic studies of Co and Cu in situ doped ZnO nanostructures | |
Han et al. | UV photocatalytic activity for water decomposition of SrxBa1− xNb2O6 nanocrystals with different components and morphologies | |
Sagan et al. | Properties of multicomponent (Mn-Ni-Co-Al-Si-Ti) oxide spinel hierarchically organized nanostructures deposited by magnetron sputtering in two temperatures. | |
JP2006328433A (ja) | 金属ナノ粒子の生成方法 | |
Kassim et al. | EXPERIMENTAL AND DFT STUDY ON THE EFFECTS OF Mn DOPING ON THE STRUCTURAL AND OPTICAL PROPERTIES OF CUO NANOPARTICLES | |
John et al. | Electrical conductivity, carrier concentration, mobility and XPS studies on thin films of metallic PdCoO2 delafossite | |
Nkosi | TiO2 and ZnO metal oxides lattice defects driven magnetism and their contribution in discoloring of dyes | |
Mahdee et al. | Studying the effect of adding Mo on the optical and structural properties of the CoFe2O4 compound |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20031031 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20031210 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20040525 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20040602 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080702 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090702 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100702 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110702 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120702 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130702 Year of fee payment: 9 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |