JP3554133B2 - 弾性表面波フィルタ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、圧電性材料からなる基板上に弾性表面波を励振させ、所望の周波数帯域を選択的に取り出すことのできる弾性表面波フィルタに関し、特に高調波領域の十分な減衰量が要求される移動体通信機器の高周波フィルタに適した共振器梯子型弾性表面波フィルタに関する。
【0002】
【従来の技術】
移動体通信用の高周波フィルタとしては、従来から弾性表面波フィルタが広く用いられている。特に、共振器梯子型弾性表面波フィルタは挿入損失が小さく、50Ω整合性が優れているなどの理由から注目されている。
【0003】
以下、従来の共振器梯子型弾性表面波フィルタについて説明する。共振器梯子型弾性表面波フィルタの原理は、従来のセラミック梯子型フィルタと同一であり、共振器部分が弾性表面波共振器に置き換わっているだけである。この場合、直列腕弾性表面波共振器の共振周波数と並列腕弾性表面波共振器の***振周波数とをほぼ一致させることにより、この周波数の近傍を通過帯域とし、直列腕弾性表面波共振器の***振周波数よりも高い周波数及び並列腕弾性表面波共振器の共振周波数よりも低い周波数を阻止域とするフィルタ特性が得られる。従来の共振器梯子型弾性表面波フィルタの基本的な構成は、図6に示すように圧電性基板上に直列腕弾性表面波共振器および並列腕弾性表面波共振器を交互に接続し、この圧電性基板を図7のようにパッケージに収容しボンディングワイヤで電気的に接続される。この共振器梯子型弾性表面波フィルタの周波数特性は図8に示すような特性である。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の共振器梯子型弾性表面波フィルタでは、通過帯域近傍での帯域外減衰量は安定して確保されているが、図8に示すように、2倍波および3倍波などの高調波領域になると帯域外減衰量が急速に小さくなりフィルタ特性が悪化している。これは、圧電性基板上の並列腕弾性表面波共振器に接続しているストリップラインやパッケージ内のストリップラインおよびボンディングワイヤのインダクタンスが並列腕弾性表面波共振器と共に高調波領域で共振に似た現象を生じるからと考えられる。この現象を小さくするためには、前記インダクタンスを小さくするか、並列腕弾性表面波共振器の静電容量を小さくしなければならない。しかし、前記並列腕弾性表面波共振器の静電容量はフィルタの外部回路との電気的整合性や、直列腕弾性表面波共振器および並列腕弾性表面波共振器との静電容量比で決まる通過帯域近傍の帯域外減衰量に密接に関係があため、並列腕弾性表面波共振器の静電容量を任意に小さくすることが不可能である。
【0005】
本発明は、以上の従来技術の課題に鑑みてなされたものであり、2倍波および3倍波などの高調波領域でも帯域外減衰量が大きく、安定した良好な周波数特性を有する共振器梯子型弾性表面波フィルタを提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するため、本発明に係る共振器梯子型弾性表面波フィルタの第1の構成は、圧電性基板上に、入力電気端子および出力電気端子およびアース端子を設け、前記入力電気端子および出力電気端子間に弾性表面波を励振するすだれ状トランスデューサからなる直列腕弾性表面波共振器および並列腕弾性表面波共振器とを備えた共振器梯子型弾性表面波フィルタにおいて、1つの直列腕弾性表面波共振器に対して、同一点から分割した少なくとも2つの並列腕弾性表面波共振器が接続されて共振器梯子型弾性表面波フィルタを構成し、前記共振器梯子型弾性表面波フィルタの中心周波数をfc、前記並列腕弾性表面波共振器のすだれ状トランスデューサの電極指対数および電極指交差幅により決まる前記同一点から分割した少なくとも2つの並列腕弾性表面波共振器の静電容量の総和をCpとし、
fc・Cp > 4
fc : 中心周波数 [GHz]
Cp : 並列腕弾性表面波共振器の
すだれ状トランスデューサ静電容量 [pF]
を満たすことを特徴とする。
【0007】
また、本発明の第 1 の構成において、前記共振器梯子型弾性表面波フィルタは、第1及び第2の直列腕弾性表面波共振器と、第1〜第4の並列腕弾性表面波共振器とを供え、前記第1の直列腕弾性表面波共振器に前記第1及び第2の並列腕弾性表面波共振器が接続され、前記第2の直列腕弾性表面波共振器に前記第3及び第4の並列腕弾性表面波共振器が接続されていることが好ましい。
【0008】
また、本発明の第1の構成において、前記圧電性基板上の複数の前記アース端子が、前記圧電性基板上において互いに電気的に接続されていないことが好ましい。
【0009】
また、本発明の第1の構成において、前記圧電性基板と前記圧電性基板を収容するパッケージまたは実装基板との電気的な実装法において、前記圧電性基板上に作製された入力電気端子および出力電気端子およびアース端子と、前記パッケージ内または前記実装基板内に作製された入力電気端子および出力電気端子およびアース端子が、互いに対面し導電性物質を介して電気的に実装されていることが好ましい。
【0010】
また、本発明の第1の構成においては、前記圧電性基板上に作製された入力電気端子および出力電気端子およびアース端子に導電性の突起が備わっていることをが好ましい。
【0011】
また、本発明の第1の構成においては、前記導電性物質が導電フィラーであることが好ましい。
【0012】
また、前記本発明の第1の構成においては、前記導電性物質が導電シートであることが好ましい。
【0013】
また、本発明の第1の構成においては、前記少なくとも2つの並列腕弾性表面波共振器のすだれ状トランスデューサ静電容量が実質的に等しいことが好ましい。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。
【0015】
前記本発明の第1の構成によれば、圧電性基板上に、入力電気端子および出力電気端子およびアース端子を設け、前記入力電気端子および出力電気端子間に弾性表面波を励振するすだれ状トランスデューサからなる直列腕弾性表面波共振器および並列腕弾性表面波共振器とを備えた共振器梯子型弾性表面波フィルタにおいて、前記共振器梯子型弾性表面波フィルタの中心周波数をfc、前記並列腕弾性表面波共振器のすだれ状トランスデューサの電極指対数および電極指交差幅により決まる静電容量をCpとし、
fc・Cp > 4
fc : 中心周波数 [GHz]
Cp : 並列腕弾性表面波共振器の
すだれ状トランスデューサ静電容量 [pF]
のとき、前記並列腕弾性表面波共振器を前記入力電気端子および前記出力端子間の同一点から少なくとも2個の並列腕弾性表面波共振器に分割した箇所を少なくとも1箇所備えたことを特徴とすることにより、2倍波および3倍波などの高調波領域で帯域外減衰量が大きく安定した良好な周波数特性が得られる。
【0016】
また、前記本発明の第1の構成において、前記圧電性基板上の複数の前記アース端子が、前記圧電性基板上において互いに電気的に接続されていないことにより、更に安定した周波数特性が得られる。
【0017】
また、前記本発明の第2の構成によれば、前記圧電性基板と前記圧電性基板を収容するパッケージまたは実装基板との電気的な実装法において、前記圧電性基板上に作製された入力電気端子および出力電気端子およびアース端子と、前記パッケージ内または前記実装基板内に作製された入力電気端子および出力電気端子およびアース端子が、互いに対面し導電性物質を介して電気的に実装されたことを特徴とすることにより、前記圧電性基板と前記圧電性基板を収容するパッケージまたは実装基板との電気的な実装におけるインダクタンスを小さくすることができ、2倍波および3倍波などの高調波領域で帯域外減衰量が大きく安定した良好な周波数特性が得られる。
【0018】
また、前記本発明の第2の構成において、前記圧電性基板上に作製された入力電気端子および出力電気端子およびアース端子に導電性の突起が備わっているという好ましい例によれば、圧電性基板とパッケージまたは実装基板との距離を一定に保つことができ、更に安定した周波数特性が得られる。
【0019】
また、前記本発明の第2の構成において、SBB実装であることが更に好ましいという例によれば、更に安定した周波数特性が得られる。
【0020】
また、前記本発明の第2の構成において、前記導電性物質が導電フィラーであるという好ましい例によっても、圧電性基板とパッケージまたは実装基板との距離を一定に保つことができ、更に安定した周波数特性が得られる。
【0021】
また、前記本発明の第2の構成において、前記導電性物質が導電シートであるという好ましい例によっても、圧電性基板とパッケージまたは実装基板との距離を一定に保つことができ、更に安定した周波数特性が得られる。
【0022】
【実施例】
<第1の実施例>
図1は本発明に係る共振器梯子型弾性表面波フィルタの第1の実施例を示す図である。
【0023】
図1に示すように、圧電性基板1の上には、入力電気端子2および出力電気端子3と、弾性表面波を励振するすだれ状トランスデューサ7(以下「IDT」という。)からなる直列腕弾性表面波共振器5および並列腕弾性表面波共振器6と、並列腕弾性表面波共振器6に接続されたアース端子4とが形成されている。これにより、共振器梯子型弾性表面波フィルタが構成されている。尚、ここでは直列腕弾性表面波共振器5および並列腕弾性表面波共振器6にはIDTの弾性表面波伝搬方向に沿った両側に反射器が設けられているが、この反射器が無い場合もある。
【0024】
本実施例では、中心周波数が1.9GHz、通過帯域幅が75MHzの共振器梯子型弾性表面波フィルタを作製して行なった。圧電性基板は36°YカットX方向伝搬のタンタル酸リチウムであり、この圧電性基板上に図2の下図に示すように直列腕弾性表面波共振器および並列腕弾性表面波共振器を接続した構成である。この構成における並列腕弾性表面波共振器は、図2の上図に示すような従来の構成での各並列腕弾性表面波共振器の静電容量CpをCp/2ずつに2分割し、従来のCpの静電容量をもった並列腕弾性表面波共振器が接続されているところに、Cp/2の静電容量をもった並列腕弾性表面波共振器を2個並列に接続されたものである。従って、合計の並列腕弾性表面波共振器の静電容量は変わらないため、外部回路との電気的整合性に影響は与えず、また、静電容量比(並列腕弾性表面波共振器の静電容量Cp/直列腕弾性表面波共振器の静電容量Cs)も変わらないため、通過帯域近傍の帯域外減衰量にも影響は与えない。
【0025】
ここで、並列腕弾性表面波共振器を分割するための条件を示す。従来の構成における周波数特性では、図8に示すように極Aを境にして急速に帯域外減衰量が小さくなり3倍波領域では殆んど通過帯域と同程度の減衰量である。この極Aは並列腕弾性表面波共振器の静電容量により周波数軸に沿って移動させることができる。この静電容量が小さいほど極Aは高周波数側に移動する。図9は並列腕弾性表面波共振器の静電容量Cpと極Aの周波数との関係図である。縦軸は静電容量Cpと共振器梯子型弾性表面波フィルタの中心周波数fcとの積を、横軸は極Aの周波数をfcで規格化している。図9より、極Aを3倍波領域以上に移動させるためには、fc・Cpが4以下であればよいことがわかる。しかしフィルタ設計において通過帯域近傍の減水量の規定や外部回路との整合性を考慮すると、必ずしもfc・Cpを4以下にすることはできない。従って、fc・Cpが4以上のときは、並列腕弾性表面波共振器の静電容量を小さくするために分割し、極Aが3倍波領域より高い周波数になるように移動させる。
【0026】
本実施例で作製した共振器梯子型弾性表面波フィルタにおいて、各直列腕弾性表面波共振器の弾性表面波を励振するすだれ状トランスデューサ(以下、IDTという)の電極指の幅は0.517μm、IDTの電極周期は2.068μm、IDT内の向かい合う電極指の対数は100.5対、IDT内の向かい合う電極指の交差幅は30μmでありIDTの両側に反射器が100本ずつ設けられている。また、各並列腕弾性表面波共振器のIDTの電極指の幅は0.544μm、IDTの電極周期は2.176μm、IDT内の向かい合う電極指の対数は50.5対、IDT内の向かい合う電極指の交差幅は50μmでありIDTの両側に反射器が100本ずつ設けられている。ここで、従来例の並列腕弾性表面波共振器の静電容量Cpは、2.4[pF]であり、fc・Cp=4.56となるため、従来例の並列腕弾性表面波共振器の電極指の対数を半分にし静電容量が1/2である1.2[pF]となるようにした。これらの各弾性表面波共振器を図1に示すように圧電性基板上に作製し、図7に示すようにパッケージに実装し、ボンディングワイヤにより圧電性基板とパッケージ間の電気的な接続を行った。
【0027】
以上のように構成された共振器梯子型弾性表面波フィルタの周波数特性を図3に示す。従来の共振器梯子型弾性表面波フィルタと比較して、高調波領域の帯域外減衰量が大きくなり、特に3倍波領域において25dB以上の改善をはかることができた。
【0028】
なお、本実施例では、並列腕弾性表面波共振器の静電容量を2等分したが、2等分でなくても本発明の効果があることは明らかである。また、3分割以上にしても同等な効果ある。なぜなら、従来の並列腕弾性表面波共振器の静電容量より小さな静電容量をもった並列腕弾性表面波共振器になるからである。
【0029】
また、圧電性基板上の複数のアース端子が、圧電性基板上において互いに電気的に接続されていない場合は、実質的に圧電性基板上での各アース端子の面積が小さくなり、浮遊容量および寄生容量を抑えることができるため、高調波領域で安定した帯域外減衰量が得られる。
【0030】
以上のように、本実施例の共振器梯子型弾性表面波フィルタによれば、従来の共振器梯子型弾性表面波フィルタと比較して、2倍波および3倍波などの高調波領域で帯域外減衰量が大きく安定した良好な周波数特性が得られる。
【0031】
<第2の実施例>
ここでは、発明が解決しようとする課題に記載したように、圧電性基板上の並列腕弾性表面波共振器に接続しているストリップラインやパッケージ内のストリップラインおよびボンディングワイヤのインダクタンスを小さくする方法についての実施例を示す。
【0032】
前記インダクタンスを小さくするためには、前記ストリップラインを太く短くしたり、ボンディングワイヤの本数を増やす等が考えられる。しかし、前記ストリップラインこのうち圧電性基板とパッケージを電気的に接続しているボンディングワイヤのインダクタンスが最も不安定でありかつインダクタンスの値も1nH前後と大きい。従って、圧電性基板とパッケージとの電気的接続に係わるインダクタンスを小さくするほど高調波領域の減衰量を大きくすることができる。
【0033】
図4は本発明に係る共振器梯子型弾性表面波フィルタの第2の実施例を示す図である。この図は、圧電性基板上のアース端子を含む断面図である。
【0034】
図4に示すように、圧電性基板1のIDTが作製された面と実装基板10とが互いに対面しており、圧電性基板1上のアース端子面に導電性の突起14を設け、実装基板10上のアース端子11と電気的に接続されている。この導電性の突起14の周囲は、導電性物質15により接続の補強がはかられている。実装基板10上のアース端子11から外部アース端子12へは、ビアホール13により電気的に接続されている。ここで、実装基板上のアース端子から外部アース端子への電気的接続には、ビアホールを用いず、実装基板の外周を取り巻くようにストリップラインで電気的接続を行なってもよい。また、封止のため圧電性基板と実装基板との周囲を樹脂16等で取り囲んでもよい。
【0035】
本実施例では、導電性の突起により圧電性基板と実装基板とを一定の間隔に保つことができるため、ここでの電気的接続におけるインダクタンスの値を安定させることができる。また、この突起の周囲を導電性物質で補強することにより、接続断面が太くなり、インダクタンスの値を小さくすることができる。SBB実装法はこのような構成に最も適している。
【0036】
なお、圧電性基板と実装基板との間隔を一定に保つために、導電性の突起の代りに導電フィラーまたは導電シートを用いても同等の効果がある。
【0037】
以上のように実装された共振器梯子型弾性表面波フィルタの周波数特性を図5に示す。従来の共振器梯子型弾性表面波フィルタと比較して、高調波領域の帯域外減衰量が実施例1よりさらに大きくなり、特に3倍波領域において従来の共振器梯子型弾性表面波フィルタより30dB以上の改善をはかることができた。
【0038】
以上のように、本実施例の共振器梯子型弾性表面波フィルタによれば、従来の共振器梯子型弾性表面波フィルタと比較して、2倍波および3倍波などの高調波領域で帯域外減衰量が大きく安定した良好な周波数特性が得られる。
【0039】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係る共振器梯子型弾性表面波フィルタによれば、2倍波および3倍波などの高調波領域で帯域外減衰量が大きく安定した良好な周波数特性が実現される。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る共振器梯子型弾性表面波フィルタの第1の実施例を示す図である。
【図2】本発明の第1の実施例の共振器梯子型弾性表面波フィルタにおける弾性表面波共振器の構成図であり、上図は従来のものであり、下図は本発明に係わるものである。
【図3】本発明の第1の実施例における共振器梯子型弾性表面波フィルタの周波数特性図である。
【図4】本発明の第2の実施例における共振器梯子型弾性表面波フィルタの構成図であり、アース端子を含む断面図である。
【図5】本発明の第2の実施例における共振器梯子型弾性表面波フィルタの周波数特性図である。
【図6】従来の共振器梯子型弾性表面波フィルタにおける弾性表面波共振器の構成図である。
【図7】従来の共振器梯子型弾性表面波フィルタにおける実装方法を示す図であり、上図は上面図、下図は断面図である。
【図8】従来の共振器梯子型弾性表面波フィルタの周波数特性図である。
【図9】並列腕弾性表面波共振器の静電容量Cpと極Aの周波数との関係図である。
【符号の説明】
1 圧電性基板
2 入力電気端子
3 出力電気端子
4 アース端子
5 直列腕弾性表面波共振器
6 並列腕弾性表面波共振器
10 実装基板
11 実装基板上のアース端子
12 実装基板の外部アース端子
13 ビアホール
14 導電性の突起
Claims (7)
- 圧電性基板上に、入力電気端子、出力電気端子およびアース端子が設けられ、前記入力電気端子および出力電気端子間に、弾性表面波を励振するすだれ状トランスデューサからなる直列腕弾性表面波共振器および並列腕弾性表面波共振器とが設けられた共振器梯子型弾性表面波フィルタであって、
1つの直列腕弾性表面波共振器に対して、同一点から分割した少なくとも2つの並列腕弾性表面波共振器が接続されて共振器梯子型弾性表面波フィルタを構成し、
前記共振器梯子型弾性表面波フィルタの中心周波数をfc、前記並列腕弾性表面波共振器のすだれ状トランスデューサの電極指対数および電極指交差幅により決まる前記同一点から分割した少なくとも2つの並列腕弾性表面波共振器の静電容量の総和をCpとし、
fc・Cp > 4
fc : 中心周波数 [GHz]
Cp : 並列腕弾性表面波共振器の
すだれ状トランスデューサ静電容量 [pF]
を満たすことを特徴とする共振器梯子型弾性表面波フィルタ。 - 前記共振器梯子型弾性表面波フィルタは、第1及び第2の直列腕弾性表面波共振器と、第1〜第4の並列腕弾性表面波共振器とを供え、前記第1の直列腕弾性表面波共振器に前記第1及び第2の並列腕弾性表面波共振器が接続され、前記第2の直列腕弾性表面波共振器に前記第3及び第4の並列腕弾性表面波共振器が接続されていることを特徴とする請求項1記載の共振器梯子型弾性表面波フィルタ。
- 前記圧電性基板上の複数の前記アース端子が、前記圧電性基板上において互いに電気的に接続されていないことを特徴とする請求項1に記載の共振器梯子型弾性表面波フィルタ。
- 前記圧電性基板上に作製された前記入力電気端子、前記出力電気端子および前記アース端子と、前記圧電性基板を収容するパッケージ内または実装基板内に作製された入力電気端子、出力電気端子およびアース端子とが、互いに対面し導電性物質を介して電気的に接続されていることを特徴とする請求項1記載の共振器梯子型弾性表面波フィルタ。
- 前記圧電性基板上に作製された入力電気端子、出力電気端子およびアース端子に導電性の突起が設けられていることを特徴とする請求項3記載の共振器梯子型弾性表面波フィルタ。
- 前記導電性物質が導電フィラー又は導電シートであることを特徴とする請求項4記載の共振器梯子型弾性表面波フィルタ。
- 前記少なくとも2つの並列腕弾性表面波共振器のすだれ状トランスデューサ静電容量が実質的に等しい請求項1記載の共振器梯子型弾性表面波フィルタ。
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