JP3537304B2 - Internal tooth forming method, internal gear, and tool electrode for internal tooth forming - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、外歯歯車成形用の
金型や内歯ギヤを製造するための内歯形成方法、内歯歯
車、及び内歯形成用工具電極に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an internal gear forming method, an internal gear, and a tool electrode for forming an internal gear for manufacturing a mold for forming an external gear and an internal gear.

【０００２】[0002]

【従来の技術】内周部に内歯が形成された金型に合成樹
脂材を充填して外歯歯車を成形する際の金型の形成方法
としては、ワイヤカット放電や型彫り放電等の放電加工
による形成方法と、蝋、熱によって溶融する合成樹脂
材、或いは低融点金属から成る母型（電鋳マスター）の
外歯の部分に電解メッキを行った後に母型を溶融させて
内歯の金型を得る電鋳加工による形成方法とがある。2. Description of the Related Art A method of forming an external gear by filling a synthetic resin material into a metal mold having internal teeth formed on an inner peripheral portion thereof is performed by a method such as wire cut discharge or die sinking discharge. A method of forming by electric discharge machining, electrolytic plating is performed on the outer teeth of a matrix (electroformed master) made of wax, synthetic resin material melted by heat, or a low melting point metal, and then the matrix is melted to form internal teeth. There is a forming method by electroforming to obtain the above mold.

【０００３】前者は後者に比べて短時間で金型を成形で
き（すなわち、内歯を形成でき）しかも低コストであ
る。しかしながら、例えば、軸方向両端側よりも軸方向
中央部で中心から先端までの寸法が短い（すなわち、軸
方向に沿って湾曲し半径方向外側へ向けて開口した凹形
状の）外歯を有する外歯歯車を成形するための金型を形
成することを考慮した場合には、軸方向両端側よりも中
央側で先端部から半径寸法の中心までの寸法が長い（す
なわち、軸方向中央が半径方向内側へ向けて張り出した
凸形状の）内歯を有する金型を形成しなければならな
い。このような金型は所謂アンダーカットとなるため、
ワイヤカット放電加工ではこのような金型の形成は原理
的に不可能である。また、型彫り放電加工の場合には、
工具電極を金型の軸方向一方の側の工具電極と他方の側
の工具電極に分割することで金型の形成は原理的に可能
であるが、この場合には金型の軸方向中央部に所謂パー
ティングラインが形成され、しかも、軸方向一方の側の
工具電極と軸方向他方の電極の各々を極めて高い精度で
位置合わせしなければ形成された軸方向中央部を境に一
方と他方で内歯及び歯溝にずれが生じる。このようなパ
ーティングラインや内歯及び歯溝のずれは滑り接触によ
って回転力を伝達する歯車にとって好ましくない。[0003] The former can mold a mold in a shorter time (ie, can form internal teeth) than the latter, and it is lower in cost. However, for example, an external tooth having an external tooth with a smaller dimension from the center to the tip at the axial center than at both axial ends (that is, a concave shape that is curved along the axial direction and opens radially outward). When considering forming a mold for molding the tooth gear, the dimension from the tip to the center of the radial dimension is longer at the center side than at both axial ends (that is, the axial center is the radial direction). A mold having internal teeth (of a convex shape projecting inward) must be formed. Since such a mold is a so-called undercut,
Such a mold cannot be formed in principle by wire cut electric discharge machining. In the case of die-sinking EDM,
The tool electrode can be formed in principle by dividing the tool electrode into a tool electrode on one side in the axial direction of the mold and a tool electrode on the other side. A so-called parting line is formed on the one side and the other on the axial center formed unless the tool electrode on one side in the axial direction and the other electrode in the axial direction are aligned with extremely high accuracy. Shifts the internal teeth and tooth spaces. Such deviation of the parting line, the internal teeth and the tooth space is not preferable for a gear that transmits a rotational force by sliding contact.

【０００４】ここで、上述したパーティングラインやず
れを生じさせずに放電加工によって金型の形成が可能と
なる内歯形成方法が特開平６−２１８６２９号に開示さ
れている。[0004] Japanese Patent Laid-Open No. 6-218629 discloses a method for forming internal teeth, which enables a mold to be formed by electric discharge machining without causing the above-mentioned parting line or displacement.

【０００５】すなわち、この方法はワーク（金型の母
材）に形成された円孔の内側に外歯歯車状の工具電極を
配置し、工具電極を円孔の内周部へ接近させた状態で円
孔の中心軸周りに公転させつつ工具電極自体を自転させ
て円孔の内周部に内歯を形成する構成である。That is, in this method, an external gear-shaped tool electrode is arranged inside a circular hole formed in a work (base material of a mold), and the tool electrode is brought closer to the inner peripheral portion of the circular hole. In this configuration, the tool electrode itself rotates while revolving around the center axis of the circular hole to form internal teeth on the inner peripheral portion of the circular hole.

【０００６】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、特開平
６−２１８６２９号に開示された方法では、極めて複雑
な公転制御及び自転制御をしなければならず、精度の高
い内歯を形成することが極めて困難である。However, in the method disclosed in JP-A-6-218629, extremely complicated revolution control and rotation control must be performed, and it is extremely difficult to form highly accurate internal teeth. Have difficulty.

【０００７】すなわち、特開平６−２１８６２９号に開
示された方法において外歯の歯元円の一部が円孔の内周
部とラップする（重なる）位置まで工具電極を接近させ
ようとすると、必然的に接近する側の外歯が円孔の内周
部よりも半径方向外側に位置するため、外歯と円孔の内
周部との間に放電を起こさせて孔の内周部に内歯を形成
しながら接近移動させなければならない（換言すれば、
内歯を形成しながら外歯を円孔の内周部へ接近させなけ
れば工具電極の歯元円の一部を孔の内周部とラップさせ
ることはできない）。That is, in the method disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-218629, when the tool electrode is to be brought close to a position where a part of the root circle of the external teeth wraps (overlaps) with the inner peripheral portion of the circular hole, Inevitably, the outer teeth on the side approaching are located radially outward from the inner circumference of the hole, causing a discharge between the outer teeth and the inner circumference of the hole to cause It must be moved closely while forming the internal teeth (in other words,
Unless the outer teeth are made to approach the inner periphery of the circular hole while forming the inner teeth, a part of the root circle of the tool electrode cannot be wrapped with the inner periphery of the hole).

【０００８】しかしながら、円孔の内周部へ接近して内
歯及び歯溝を形成する複数の外歯のうち、ピッチ点と工
具電極の中心を結ぶ線とが円孔の内周部に外接する接線
に対して直交しない外歯は、円孔の内周部に対して接近
移動する工具電極の移動方向に対して工具電極の周方向
へ向けて傾斜した状態で円孔の内周部へ接近するため、
形成される内歯及び歯溝が形状不良となってしまう。However, of the plurality of external teeth approaching the inner peripheral portion of the circular hole and forming the internal teeth and the tooth space, the line connecting the pitch point and the center of the tool electrode circumscribes the inner peripheral portion of the circular hole. The outer teeth that are not perpendicular to the tangent to the inner periphery of the circular hole are inclined toward the peripheral direction of the tool electrode with respect to the moving direction of the tool electrode that moves closer to the inner periphery of the circular hole. To get closer
The formed internal teeth and tooth spaces will be defective in shape.

【０００９】したがって、工具電極を公転及び自転させ
ながら円孔の内周部全体に全ての内歯を少しずつ形成
し、公転１周後に工具電極を僅かに円孔の半径方向外側
へ向けて変位させ、再び工具電極を公転させるという工
程を繰り返して円孔の内周部に内歯及び歯溝を形成しな
ければならない。Therefore, all the internal teeth are formed little by little over the entire inner peripheral portion of the circular hole while revolving and rotating the tool electrode, and after one revolution, the tool electrode is displaced slightly outward in the radial direction of the circular hole. Then, the process of revolving the tool electrode again must be repeated to form internal teeth and tooth spaces on the inner peripheral portion of the circular hole.

【００１０】ここで、公転１周毎に円孔の半径方向外側
へ向けて工具電極を変位させるということは、工具電極
の公転半径が拡大するということであるから、公転の円
周長も当然長くなる。このため、工具電極の自転の角速
度を一定にしておくと公転の円周が長くなった分だけ放
電加工する部位が公転１周毎にずれることになる。した
がって、工具電極の公転半径を拡大する度に自転周期を
遅らせつつ公転開始時における工具電極の自転開始位置
と公転終了時における工具電極の自転終了位置とが合致
するように自転周期を設定しなければならなず、この公
転１周毎の自転周期の調整が極めて困難で、精度の高い
内歯を形成することが困難である。Here, displacing the tool electrode outward in the radial direction of the circular hole for each revolution of the circle means that the revolution radius of the tool electrode is enlarged, so that the circumferential length of the revolution is also natural. become longer. For this reason, if the rotation angular velocity of the tool electrode is kept constant, the portion to be subjected to the electric discharge machining is shifted for each revolution by the length of the revolution. Therefore, the rotation period must be set such that the rotation start position of the tool electrode at the start of the revolution coincides with the rotation end position of the tool electrode at the end of the revolution while delaying the rotation period whenever the revolution radius of the tool electrode is increased. In addition, it is extremely difficult to adjust the rotation period for each revolution, and it is difficult to form highly accurate internal teeth.

【００１１】本発明は、上記事実を考慮して、放電加工
により容易に様々な内歯を形成できる内歯形成方法、内
歯歯車、及び内歯形成用工具電極を得ることが目的であ
る。An object of the present invention is to provide an internal tooth forming method, an internal gear, and a tool electrode for forming an internal tooth that can easily form various internal teeth by electric discharge machining in consideration of the above facts.

【００１２】[0012]

【課題を解決するための手段】請求項１記載の内歯形成
方法は、ワークに形成された孔の内周部に内歯を形成す
るための内歯形成方法であって、歯先円径寸法が前記孔
の内径寸法よりも小さく、ピッチ円の円周長の非整数倍
が前記内歯のピッチ円の円周長となる外歯が外周一部に
形成されると共に、前記外周一部以外の外周部が当該外
周部から中心までの寸法が前記外歯の歯元円半径寸法以
下のカット部とされた工具電極を用い、前記孔の内側で
前記孔の内周部と前記工具電極の外周部とが互いに対向
する位置に前記工具電極を配置すると共に、前記工具電
極の外歯の歯元円の一部が前記孔の内周部とラップする
位置まで前記工具電極のカット部を接近させ、前記内歯
のピッチ円に対して前記外歯のピッチ円が滑り接触する
条件の元で前記工具電極を前記孔の中心周りに公転させ
ると共に前記工具電極を前記歯元円の中心周りに自転さ
せ、前記孔の内周部へ接近した前記工具電極の外歯と前
記孔の内周部との間で放電させて前記孔の内周部に内歯
を形成する、ことを特徴としている。According to a first aspect of the present invention, there is provided an internal tooth forming method for forming an internal tooth at an inner peripheral portion of a hole formed in a workpiece, the method comprising: External teeth whose size is smaller than the inner diameter of the hole and whose non-integral multiple of the circumferential length of the pitch circle is the circumferential length of the pitch circle of the internal teeth are formed on a part of the outer periphery, and the outer part thereof A tool electrode whose outer peripheral portion is a cut portion whose dimension from the outer peripheral portion to the center is equal to or less than the root radius of the external tooth is used, and the inner peripheral portion of the hole and the tool electrode inside the hole. The tool electrode is arranged at a position where the outer periphery of the tool electrode faces each other, and the cutting portion of the tool electrode is cut to a position where a part of the root circle of the outer teeth of the tool electrode overlaps the inner periphery of the hole. Approach, and under the condition that the pitch circle of the external teeth makes sliding contact with the pitch circle of the internal teeth, Revolving the electrode around the center of the hole and rotating the tool electrode around the center of the root circle, the outer teeth of the tool electrode approaching the inner periphery of the hole and the inner periphery of the hole. Discharges between the holes to form internal teeth on the inner peripheral portion of the hole.

【００１３】上記構成の内歯形成方法では、先ず、ワー
クに形成された孔の内側へ工具電極が配置され、工具電
極の外歯の歯元円の一部が孔の内周部とラップする（重
なる）位置まで工具電極のカット部が孔の内周部へ接近
させられる。但し、カット部では外周部から中心までの
寸法が外歯の歯元円半径寸法以下とされているため、工
具電極の歯元円の一部と孔の内周部とがラップしても、
カット部を含めて工具電極が孔の内周部へ接触すること
はない。In the internal tooth forming method having the above-described configuration, first, the tool electrode is arranged inside the hole formed in the work, and a part of the root circle of the external teeth of the tool electrode wraps with the inner peripheral portion of the hole. The cut portion of the tool electrode is brought closer to the inner periphery of the hole until the (overlapping) position. However, in the cut portion, since the dimension from the outer peripheral portion to the center is set to be equal to or less than the root radius of the external tooth, even if a part of the root of the tool electrode and the inner peripheral portion of the hole overlap,
The tool electrode including the cut portion does not contact the inner peripheral portion of the hole.

【００１４】次いで、この状態から工具電極の外歯のピ
ッチ円が形成する内歯のピッチ円に対して滑り接触する
条件の元で（すなわち、内歯が形成された状態を想定し
て、この内歯に工具電極の外歯が噛み合った状態で工具
電極が転動するように）孔の中心周りに工具電極を公転
させると共に、歯元円の中心周りに工具電極を自転させ
る。Next, from this state, under the condition of sliding contact with the pitch circle of the internal teeth formed by the pitch circle of the external teeth of the tool electrode (that is, assuming the state where the internal teeth are formed, The tool electrode revolves around the center of the hole (so that the tool electrode rolls while the external teeth of the tool electrode mesh with the internal teeth), and the tool electrode rotates around the center of the root circle.

【００１５】この状態では、工具電極の外歯の歯元円の
一部とワークの孔の内周部とがラップしているため、工
具電極が自転することによってこの自転方向とは反対方
向側でラップ部に隣接する１番目の外歯が先ず孔の内周
部へ接近し、この１番目の外歯と孔の内周部との間で放
電加工が開始され、１番目の外歯の形状に孔の内周部が
加工される。また、工具電極の自転により、カット部と
は反対側で１番目の外歯に隣接する２番目の外歯によ
り、孔の内周部が放電加工される。工具電極自体は、上
述した速度で孔の中心周りに公転しているため、１番目
の外歯と２番目の外歯のピッチに対応して孔の内周部に
一対の歯溝が形成され、これらの歯溝の間が内歯とされ
る。In this state, since a part of the root circle of the external teeth of the tool electrode and the inner peripheral portion of the hole of the work overlap, the tool electrode is rotated, so that the rotating direction is opposite to the rotation direction. Then, the first external tooth adjacent to the lap portion first approaches the inner peripheral portion of the hole, electric discharge machining is started between the first external tooth and the inner peripheral portion of the hole, and the first external tooth The inner periphery of the hole is machined into the shape. In addition, due to the rotation of the tool electrode, the inner peripheral portion of the hole is subjected to electric discharge machining by the second external teeth adjacent to the first external teeth on the side opposite to the cut portion. Since the tool electrode itself revolves around the center of the hole at the above-described speed, a pair of tooth grooves is formed on the inner peripheral portion of the hole corresponding to the pitch between the first external teeth and the second external teeth. The space between these tooth spaces is an internal tooth.

【００１６】このようにして、工具電極を自転及び公転
させることで、ワークの孔の内周部に内歯が形成され
る。In this way, by rotating and revolving the tool electrode, internal teeth are formed on the inner peripheral portion of the hole of the work.

【００１７】ここで、本内歯形成方法では、工具電極を
自転及び公転させる以前に工具電極の外歯の歯元円の一
部とワークの孔の内周部とをラップさせており、基本的
に工具電極が自転及び公転している間にワークの孔の半
径方向に沿って工具電極を変位させることはない。した
がって、工具電極の公転半径及び公転円周長が変化する
ことはなく、複数周工具電極を公転させても、自転及び
公転の角速度を変化させずに良好に内歯を形成できる。
このため、工具電極の自転及び公転運動の制御が容易
で、工具電極の運動制御に必要な構成を簡素にできる。
また、上述したように、工具電極が自転及び公転してい
る間に工具電極を半径方向に沿って変位させるようなこ
とがないため、この意味でも工具電極の自転及び公転運
動の制御が容易となり、工具電極の運動制御に必要な構
成を簡素にできる。In this internal tooth forming method, a part of the root circle of the external teeth of the tool electrode and the inner peripheral portion of the hole of the work are wrapped before the tool electrode is rotated and revolved. While the tool electrode is rotating and revolving, the tool electrode is not displaced along the radial direction of the hole of the work. Accordingly, the revolving radius and the revolving circumference of the tool electrode do not change, and even if the plurality of tool electrodes revolve, the internal teeth can be formed satisfactorily without changing the angular velocity of rotation and revolving.
Therefore, the control of the rotation and the revolving motion of the tool electrode is easy, and the configuration required for the motion control of the tool electrode can be simplified.
In addition, as described above, since the tool electrode is not displaced in the radial direction while the tool electrode is rotating and revolving, the rotation and revolving motion of the tool electrode can be easily controlled in this sense. Thus, the configuration required for controlling the movement of the tool electrode can be simplified.

【００１８】ところで、工具電極にはカット部が形成さ
れているため、工具電極が１周自転すると、外歯ではな
くカット部が孔の内周部へ接近する。上述したように、
工具電極が自転及び公転を開始する直前にカット部が孔
の内周部へ接近した状態でカット部を含めて工具電極が
孔の内周部へ接触してはおらず、また、工具電極が自転
及び公転している間に工具電極が孔の半径方向に沿って
変位することはないため、工具電極が１回自転してカッ
ト部が孔の内周部へ接近しても、このときには孔の内周
部が放電加工されることはない。By the way, since the tool electrode is formed with a cut portion, when the tool electrode rotates one revolution, the cut portion approaches not the outer teeth but the inner periphery of the hole. As mentioned above,
Immediately before the tool electrode starts rotating and revolving, the tool electrode including the cut part does not contact the inner circumference of the hole with the cut part approaching the inner circumference of the hole, and the tool electrode rotates on its own. Also, since the tool electrode does not displace in the radial direction of the hole during the revolution, even if the tool electrode rotates once and the cut portion approaches the inner peripheral portion of the hole, at this time, the tool electrode is not displaced. The inner peripheral portion is not subjected to electric discharge machining.

【００１９】ここで、本内歯形成方法では、工具電極の
外歯のピッチ円の円周長の非整数倍が孔の内周部に形成
する内歯のピッチ円の円周長となるように工具電極の外
歯が設定されている（より詳細には、形成する内歯のピ
ッチ円の円周長をＬ、工具電極の外歯のピッチ円の円周
長をＭ、比率Ｎ＝Ｌ／Ｍとした場合、Ｎが非整数となっ
ている）ため、工具電極の１回目の公転が終了した状態
では、自転及び公転開始直前の状態とは異なり、工具電
極の外歯が孔の内周部へ接近して対向し、公転開始直前
にカット部が接近、対向して内歯が形成されなかった孔
の内周部に内歯が形成される。この状態から、公転開始
直前と同位置でカット部が孔の内周部へ接近して対向す
るまで複数周公転させることで、孔の内周部に所定ピッ
チの内歯が形成される。Here, in the internal tooth forming method, a non-integer multiple of the circumferential length of the pitch circle of the external teeth of the tool electrode is set to be the circumferential length of the pitch circle of the internal teeth formed on the inner peripheral portion of the hole. (More specifically, the circumferential length of the pitch circle of the internal teeth to be formed is L, the circumferential length of the pitch circle of the external teeth of the tool electrode is M, and the ratio N = L). / M, N is a non-integer). Therefore, in the state where the first revolution of the tool electrode is completed, unlike the state immediately before the rotation and the start of revolution, the external teeth of the tool electrode are in the hole. The internal teeth are formed at the inner peripheral portion of the hole where the cut portion approaches and the internal teeth are not formed immediately before the revolution starts. From this state, the cut portion is revolved a plurality of times at the same position immediately before the start of revolution until the cut portion approaches and faces the inner peripheral portion of the hole, whereby internal teeth having a predetermined pitch are formed on the inner peripheral portion of the hole.

【００２０】なお、本発明の内歯形成方法では、少なく
とも、工具電極の自転により接近した外歯と孔の内周部
との間で放電がおきればよいがこれに限定されるもので
はない。すなわち、接近した外歯と孔の内周部の間の他
に、外歯の歯溝の底部と孔の内周部の間で放電を起こさ
せ、歯溝の底部から中心までの寸法が内歯形成前の孔の
半径寸法よりも大きな内歯を形成する構成としてもよ
い。In the internal tooth forming method of the present invention, it is sufficient that a discharge occurs at least between the external teeth approached by the rotation of the tool electrode and the inner peripheral portion of the hole, but the present invention is not limited to this. . In other words, in addition to the gap between the close outer teeth and the inner circumference of the hole, a discharge is caused between the bottom of the tooth groove of the outer teeth and the inner circumference of the hole, so that the dimension from the bottom to the center of the tooth groove is inner. It is good also as a structure which forms an internal tooth larger than the radius dimension of the hole before tooth formation.

【００２１】また、本内歯形成方法でいうところの放電
加工とは、本工具電極とワークの孔の内周部との間で放
電現象を生じさせ、この放電現象によってワークの内周
部を異常消耗させて加工する加工方法のことを言う。し
たがって、放電を生じさせる電気回路の構成や、放電の
パルス幅、或いは、荒加工や仕上加工といった加工の態
様等、放電加工の具体的な構成に限定されるものではな
い。The electric discharge machining referred to in the present internal tooth forming method causes a discharge phenomenon between the tool electrode and an inner peripheral portion of a hole of a work, and the inner peripheral portion of the work is formed by the electric discharge phenomenon. This refers to a processing method for processing with abnormal wear. Therefore, the present invention is not limited to the specific configuration of electric discharge machining, such as the configuration of an electric circuit that generates electric discharge, the pulse width of electric discharge, or the form of machining such as rough machining or finishing.

【００２２】さらに、本内歯形成方法において工具電極
の公転或いは自転は、相対的な公転或いは自転であって
もよい。すなわち、モータ等を用いて実際に工具電極を
公転或いは自転させる構成であってもよく、工具電極を
停止させてワークを回転させることにより相対的に工具
電極を公転或いは自転させる構成であってもよい。更に
は、工具電極自体に公転或いは自転の何れか一方の運動
を行わせると共に、ワークを回転させることで相対的に
工具電極に何れか他方の運動を行わせる構成としてもよ
い。Further, in the present internal tooth forming method, the revolution or rotation of the tool electrode may be a relative revolution or rotation. That is, the tool electrode may be actually revolved or rotated using a motor or the like, or the tool electrode may be relatively revolved or rotated by stopping the tool electrode and rotating the work. Good. Further, the tool electrode itself may be caused to perform one of revolution or rotation, and the tool electrode may be relatively caused to perform one of the other movements by rotating the work.

【００２３】請求項２記載の内歯形成方法は、請求項１
記載の内歯形成方法において、前記外歯の先端部及び歯
溝の底部の少なくとも何れか一方が前記工具電極の回転
軸方向に沿って湾曲し、当該湾曲部分が前記歯元円の半
径方向外側へ向けて開口した凹形状とされた前記工具電
極を用いることを特徴としている。According to the second aspect of the present invention, there is provided the internal tooth forming method according to the first aspect.
In the internal tooth forming method according to the above, at least one of the tip of the external tooth and the bottom of the tooth groove is curved along the direction of the rotation axis of the tool electrode, and the curved portion is radially outward of the tooth root circle. Characterized in that the tool electrode has a concave shape that is open to the front.

【００２４】上記構成の内歯形成方法によれば、工具電
極の外歯の先端部及び歯溝の底部の少なくとも何れか一
方の形状が工具電極の回転軸方向に沿って湾曲し、当該
湾曲部分が外歯の歯元円半径方向外側へ向けて開口した
凹形状（すなわち、前記少なくとも何れか一方の工具電
極の軸方向両端側での外周部から中心までの寸法が軸方
向中央での外周部から中心までの寸法よりも長くなった
形状）とされた工具電極によってワークの孔の内周部に
内歯が形成される。この形状の工具電極を用いると、ワ
ークの内周部に形成される内歯は、内歯の先端部及び歯
溝の底部の少なくとも何れか一方が孔の軸方向に沿って
湾曲し、当該湾曲部分がワーク内周部の半径方向内側へ
向けて張り出した凸形状（すなわち、前記少なくとも何
れか一方のワークの軸方向両端側での内周部から中心ま
での寸法が軸方向中央での内周部から中心までの寸法よ
りも短くなった形状）となる。According to the internal tooth forming method having the above-described configuration, at least one of the tip of the external tooth of the tool electrode and the bottom of the tooth groove is curved along the rotation axis direction of the tool electrode, and the curved portion is formed. Is concave toward the outside in the radial direction of the root of the external tooth (that is, the dimension from the outer periphery to the center at both ends in the axial direction of the at least one of the tool electrodes is the outer periphery at the center in the axial direction). An internal tooth is formed on the inner peripheral portion of the hole of the workpiece by the tool electrode having a shape longer than the dimension from the center to the center. When a tool electrode having this shape is used, at least one of the tip of the internal tooth and the bottom of the tooth groove is curved along the axial direction of the hole, and the internal teeth formed on the inner peripheral portion of the work are curved. The portion has a convex shape projecting radially inward of the inner circumferential portion of the work (that is, the dimension from the inner circumferential portion to the center at both axial ends of at least one of the works is the inner circumferential shape at the center in the axial direction). Shape shorter than the dimension from the part to the center).

【００２５】すなわち、上述した工具電極を用いた本内
歯形成方法では、軸方向に沿って所謂アンダーカットと
なる内歯を形成することができる。しかも、本内歯形成
方法では、歯先円径寸法がワークの孔の内径寸法よりも
小さな工具電極が使用されるため、形成された内歯がア
ンダーカットとなるにもかかわらず、内歯形成終了後に
形成した内歯の歯先円の中心側（すなわち、内歯形成以
前の孔の中心側）へ向けて工具電極を変位させれば、容
易に工具電極をワークから離間させることができる。That is, in the present internal tooth forming method using the tool electrode described above, it is possible to form an internal tooth which is a so-called undercut along the axial direction. In addition, in the present internal tooth forming method, a tool electrode having a tooth tip circle diameter smaller than the inner diameter of the hole of the work is used. If the tool electrode is displaced toward the center of the addendum circle of the internal teeth formed after the end (that is, the center of the hole before the formation of the internal teeth), the tool electrode can be easily separated from the workpiece.

【００２６】請求項３記載の内歯形成方法は、請求項１
又は請求項２記載の内歯形成方法において、前記工具電
極には各々の歯元円が同軸とされた複数の外歯が一体形
成され、前記工具電極を前記歯元円の中心に沿って変位
させて前記複数の外歯のうちの何れかの外周部を前記孔
の内周部と対向させることを特徴としている。According to the third aspect of the present invention, there is provided the internal tooth forming method according to the first aspect.
Alternatively, in the internal tooth forming method according to claim 2, the tool electrode is integrally formed with a plurality of external teeth each having a root circle coaxial, and displaces the tool electrode along the center of the root circle. The outer peripheral portion of any one of the plurality of external teeth is made to face the inner peripheral portion of the hole.

【００２７】上記構成の内歯形成方法によれば、工具電
極には複数の外歯が同軸的に形成されており、例えば、
使用している外歯とは別の外歯を選択して使用する際に
は歯元円の中心に沿って工具電極を変位させ、当該別の
外歯の外周部を孔の内周部と対向させ、この状態で孔の
内周部へのカット部の接近、若しくは工具電極の自転及
び公転が開始される。According to the internal tooth forming method having the above configuration, a plurality of external teeth are formed coaxially on the tool electrode.
When selecting and using an external tooth different from the external tooth used, displace the tool electrode along the center of the root circle, and make the outer peripheral part of the other external tooth be the inner peripheral part of the hole. In this state, approach of the cut portion to the inner peripheral portion of the hole, or rotation and revolution of the tool electrode are started in this state.

【００２８】ここで、本内歯形成方法では、複数の外歯
が一体とされた工具電極を使用しており、外歯の変更に
際しては工具電極を歯元円の中心に沿って変位させるだ
けでよい。したがって、歯元円の半径方向に沿って工具
電極が移動したりずれたりすることはなく、工具電極の
回転軸の位置は先の外歯変更以前の状態と同位置とな
る。このため、内歯の加工精度が向上する。しかも、使
用する外歯を変更する際には歯元円の中心に沿った方向
のワークに対する工具電極の相対的な位置だけを注意し
て合わせればよいため、工具電極の位置合わせが容易と
なる。Here, in this internal tooth forming method, a tool electrode in which a plurality of external teeth are integrated is used. When changing the external teeth, the tool electrode is merely displaced along the center of the root circle. Is fine. Therefore, the tool electrode does not move or shift along the radial direction of the root circle, and the position of the rotation axis of the tool electrode is the same as the state before the previous change of the external teeth. For this reason, the processing accuracy of the internal teeth is improved. Moreover, when changing the external teeth to be used, only the relative position of the tool electrode with respect to the work in the direction along the center of the root circle needs to be carefully adjusted, so that the alignment of the tool electrode is facilitated. .

【００２９】また、同一のワークに対して放電電流や加
工精度等の諸条件が異なる放電加工工程に応じて外歯を
使い分けるような場合には、各工程で使用する外歯を一
体とした工具電極を用いることで工具電極を取り換える
作業が不要となり、加工時間の短縮を図ることができ、
しかも、外歯の変更は工具電極を歯元円の中心に沿って
移動させるだけでよいため、数値制御式の放電加工装置
（所謂ＮＣ放電加工装置）等、自動制御が可能な放電加
工装置を使用すれば複数の工程を自動で行うことがで
き、この意味でも加工時間の短縮を図ることができる。In the case where external teeth are selectively used for the same workpiece in accordance with an electric discharge machining process in which various conditions such as electric discharge current and machining accuracy are different, a tool integrating external teeth used in each process is used. The use of electrodes eliminates the need to replace tool electrodes, reducing machining time,
In addition, since changing the external teeth only requires moving the tool electrode along the center of the tooth root circle, an electric discharge machine capable of automatic control such as a numerically controlled electric discharge machine (so-called NC electric discharge machine) is used. If used, a plurality of steps can be performed automatically, and in this sense, the processing time can be reduced.

【００３０】一方、同一形状の複数の外歯を一体とした
工具電極を使用する場合であっても、同一条件の放電加
工における工具電極の取り換えが不要となるため、やは
り加工時間の短縮を図ることができ、しかも、複数の外
歯を有することで工具電極事態の寿命が伸び、工具電極
のメンテナンス等のコストも安価となる。On the other hand, even when using a tool electrode in which a plurality of external teeth having the same shape are integrated, it is not necessary to replace the tool electrode in the electric discharge machining under the same conditions, so that the machining time is also reduced. In addition, by having a plurality of external teeth, the life of the tool electrode is extended, and the cost of maintenance and the like of the tool electrode is reduced.

【００３１】請求項４記載の内歯歯車は、ワークに形成
された孔の内側に、歯先円径寸法が前記孔の内径寸法よ
りも小さく、ピッチ円の円周長の非整数倍が前記孔の内
周部に形成された内歯のピッチ円の円周長となる外歯が
外周一部に形成されると共に、前記外周一部以外の外周
部が当該外周部から中心までの寸法が前記外歯の歯元円
半径寸法以下のカット部とされた工具電極を配置し、前
記工具電極の外歯の歯元円の一部が前記孔の内周部とラ
ップする位置まで前記工具電極のカット部を接近させ、
形成する内歯のピッチ円に対して前記外歯のピッチ円が
滑り接触する条件の元で前記工具電極を前記孔の中心周
りに公転させると共に前記工具電極を前記歯元円の中心
周りに自転させ、前記孔の内周部へ接近した前記工具電
極の外歯と前記孔の内周部との間で放電させる、ことに
より内歯が形成されている。According to a fourth aspect of the present invention, there is provided an internal gear having a tip tip circular diameter smaller than an inner diameter of the hole and a non-integer multiple of a circumferential length of the pitch circle inside the hole formed in the work. Outer teeth having a circumferential length of the pitch circle of the inner teeth formed on the inner peripheral portion of the hole are formed on the outer peripheral portion, and the outer peripheral portion other than the outer peripheral portion has a dimension from the outer peripheral portion to the center. A tool electrode, which is a cut portion having a radius equal to or less than a root radius of the external tooth, is disposed, and the tool electrode is extended to a position where a part of a root circle of the external tooth of the tool electrode overlaps an inner peripheral portion of the hole. Approach the cut part of
The tool electrode revolves around the center of the hole and the tool electrode revolves around the center of the root circle under the condition that the pitch circle of the external teeth slides against the pitch circle of the internal teeth to be formed. The internal teeth are formed by causing a discharge between the external teeth of the tool electrode approaching the internal periphery of the hole and the internal periphery of the hole.

【００３２】上記構成の内歯歯車では、内歯を形成する
前のワークに形成された孔の内側に工具電極を配置し、
形成する内歯のピッチ円に対して工具電極の外歯のピッ
チ円が滑り接触する条件の元で（すなわち、内歯が形成
された状態を想定して、この内歯に工具電極の外歯が噛
み合った状態で工具電極が転動するように）工具電極を
孔の中心周りに公転させると共に、外歯の歯元円の中心
周りに工具電極を自転させる。このような自転及び公転
をさせながら工具電極の外歯によってワークの孔の内周
部を放電加工することにより、ワークの孔の内周部に内
歯が形成される。このように、本内歯歯車では、基本的
に放電加工によって形成されるため、その工具電極は繰
り返し使用できる。したがって、所謂電鋳加工によって
形成された内歯歯車に比べて加工時間や型コスト（すな
わち、工具電極の製造及び維持コストや電柱加工の母型
製造コスト）が安価となる。In the internal gear having the above configuration, the tool electrode is arranged inside a hole formed in the work before the internal teeth are formed,
Under the condition that the pitch circle of the external teeth of the tool electrode makes sliding contact with the pitch circle of the internal teeth to be formed (that is, assuming a state in which the internal teeth are formed, the external teeth of the tool electrode are applied to the internal teeth. The tool electrode revolves around the center of the hole and the tool electrode rotates around the center of the root circle of the external teeth (so that the tool electrode rolls with the gears engaged). By performing electric discharge machining on the inner peripheral portion of the hole of the work with the external teeth of the tool electrode while rotating and revolving in this manner, the internal teeth are formed on the inner peripheral portion of the hole of the work. As described above, since the internal gear is basically formed by electric discharge machining, the tool electrode can be used repeatedly. Therefore, the processing time and the mold cost (that is, the manufacturing and maintenance costs of the tool electrode and the manufacturing cost of the electric pole machining die) are lower than those of the internal gear formed by so-called electroforming.

【００３３】また、本内歯歯車では、これを形成する工
具電極にカット部が形成されており、外歯の歯元円の一
部が孔の内周部とラップするまでカット部が孔の内周部
へ接近した状態から、工具電極の公転及び自転が開始さ
れ内歯が形成される。したがって、基本的に自転及び公
転運動を行っている間（すなわち、放電加工中）に工具
電極がワークの孔の半径方向に沿って変位することはな
い。したがって、放電加工中に工具電極の公転半径や公
転円周長が変化することはないため、工具電極の自転速
度を変化させなくても、本内歯歯車には正確なピッチの
内歯が形成される。In this internal gear, a cut portion is formed in the tool electrode that forms the internal gear, and the cut portion is formed in the hole until a part of the tooth root circle of the external teeth overlaps the inner peripheral portion of the hole. From the state approaching the inner peripheral portion, the revolution and rotation of the tool electrode are started, and the internal teeth are formed. Therefore, basically, the tool electrode does not displace along the radial direction of the hole of the workpiece during the rotation and the revolving motion (that is, during electric discharge machining). Therefore, since the revolution radius and the circumference of the tool electrode do not change during the electric discharge machining, the internal gear with the correct pitch is formed on the internal gear without changing the rotation speed of the tool electrode. Is done.

【００３４】しかも、上述したように、公転及び自転が
開始された後には工具電極が孔の半径方向に沿って変位
することはなく、公転速度及び自転速度は一定でよいた
め、工具電極の制御が容易である。したがって、本内歯
歯車を形成するために特別複雑な制御装置（或いは、コ
ンピュータ制御の場合には制御プログラム）が必要とな
ることはない。このため、本内歯歯車は製造コストが安
価となる。Further, as described above, after the revolution and the rotation start, the tool electrode does not displace in the radial direction of the hole, and the revolution speed and the revolution speed may be constant. Is easy. Therefore, a specially complicated control device (or control program in the case of computer control) is not required to form the internal gear. Therefore, the manufacturing cost of the internal gear is low.

【００３５】ところで、本内歯歯車では、内歯が形成さ
れる際に、工具電極が１周自転すると、外歯ではなくカ
ット部が孔の内周部へ接近する。上述したように、工具
電極が自転及び公転を開始する直前にカット部が孔の内
周部へ接近した状態でカット部を含めて工具電極が孔の
内周部へ接触してはおらず、また、工具電極が自転及び
公転している間に工具電極が孔の半径方向に沿って変位
することはないため、工具電極が１回自転してカット部
が孔の内周部へ接近しても、このときには孔の内周部が
放電加工されることはない。In the internal gear, when the internal teeth are formed, if the tool electrode rotates by one revolution, the cut portion, not the external teeth, approaches the inner peripheral portion of the hole. As described above, the tool electrode including the cut portion is not in contact with the inner peripheral portion of the hole in a state where the cut portion is close to the inner peripheral portion of the hole immediately before the tool electrode starts rotating and revolving, and Since the tool electrode is not displaced in the radial direction of the hole while the tool electrode is rotating and revolving, even if the tool electrode rotates once and the cut portion approaches the inner peripheral portion of the hole. At this time, the inner peripheral portion of the hole is not subjected to electric discharge machining.

【００３６】ここで、本内歯歯車の内歯のピッチ円の円
周長は工具電極の外歯のピッチ円の円周長の非整数倍と
されている（より詳細には、形成する内歯のピッチ円の
円周長をＬ、工具電極の外歯のピッチ円の円周長をＭ、
比率Ｎ＝Ｌ／Ｍとした場合、Ｎが非整数となっている）
ため、工具電極の１回目の公転が終了した状態では、自
転及び公転開始直前の状態とは異なり、工具電極の外歯
が孔の内周部へ接近して対向し、公転開始直前にカット
部が接近、対向して内歯が形成されなかった孔の内周部
に内歯が形成される。この状態から、公転開始直前と同
位置でカット部が孔の内周部へ接近して対向するまで複
数周公転させることで、内歯歯車の内歯が正確なピッチ
で形成される。Here, the circumferential length of the pitch circle of the internal teeth of the internal gear is set to be a non-integer multiple of the circumferential length of the pitch circle of the external teeth of the tool electrode (more specifically, the inner length of the formed internal gear). L is the circumference of the pitch circle of the tooth, M is the circumference of the pitch circle of the external tooth of the tool electrode,
(If ratio N = L / M, N is a non-integer.)
Therefore, in the state where the first revolution of the tool electrode is completed, unlike the state immediately before the rotation and the start of the revolution, the outer teeth of the tool electrode approach the inner peripheral portion of the hole and face the cut portion just before the start of the revolution. The internal teeth are formed on the inner peripheral portion of the hole where the internal teeth are not formed in opposition. From this state, the cut portion is revolved a plurality of times at the same position immediately before the start of the revolution until the cut portion approaches and faces the inner peripheral portion of the hole, whereby the internal teeth of the internal gear are formed at an accurate pitch.

【００３７】なお、本発明でいうところの内歯歯車と
は、一般的に機械の構成要素として使用される一般的な
内歯歯車に限定されるものではなく、形状として内歯歯
車形状或いは疑似内歯歯車形状であれば、機械の構成要
素として使用されなくても本発明の内歯歯車に含まれる
ものである。したがって、例えば、樹脂製の外歯歯車や
ウオームホイール等を製造するための金型等も本発明で
いうところの内歯歯車に含まれる。The term "internal gear" in the present invention is not limited to a general internal gear generally used as a component of a machine. An internal gear having the shape of an internal gear is included in the internal gear of the present invention even if it is not used as a component of a machine. Therefore, for example, a mold for manufacturing a resin external gear, a worm wheel, and the like is also included in the internal gear according to the present invention.

【００３８】また、本発明の内歯歯車は、少なくとも、
工具電極の自転により接近した外歯と孔の内周部との間
で放電により内歯が形成されればよいが、これに限定さ
れるものではない。すなわち、接近した外歯と孔の内周
部の間の他に、外歯の歯溝の底部と孔の内周部の間で放
電を起こさせ、内歯歯車の歯元円の半径寸法が内歯形成
前の孔の半径寸法よりも大きくしてもよい。The internal gear of the present invention has at least
The internal teeth may be formed by electric discharge between the external teeth approached by the rotation of the tool electrode and the inner peripheral portion of the hole, but the present invention is not limited to this. In other words, in addition to the gap between the close outer teeth and the inner circumference of the hole, a discharge occurs between the bottom of the tooth groove of the outer teeth and the inner circumference of the hole, and the radial dimension of the tooth root circle of the internal gear is reduced. It may be larger than the radius dimension of the hole before the formation of the internal teeth.

【００３９】さらに、本内歯歯車を形成するための放電
加工とは、本工具電極とワークの孔の内周部との間で放
電現象を生じさせ、この放電現象によってワークの内周
部を異常消耗させて加工する加工方法のことを言う。し
たがって、放電を生じさせる電気回路の構成や、放電の
パルス幅、或いは、荒加工や仕上加工といった加工の態
様等、放電加工の具体的な構成に限定されるものではな
い。Further, in the electric discharge machining for forming the internal gear, the electric discharge phenomenon occurs between the tool electrode and the inner peripheral portion of the hole of the work, and the inner peripheral portion of the work is formed by the electric discharge phenomenon. This refers to a processing method for processing with abnormal wear. Therefore, the present invention is not limited to the specific configuration of electric discharge machining, such as the configuration of an electric circuit that generates electric discharge, the pulse width of electric discharge, or the form of machining such as rough machining or finishing.

【００４０】請求項５記載の内歯歯車は、請求項４記載
の内歯歯車において、前記外歯の先端部及び歯溝の底部
の少なくとも何れか一方が前記工具電極の回転軸方向に
沿って湾曲し、当該湾曲部分が前記工具電極の半径方向
外側へ向けて開口した凹形状とされた前記工具電極によ
って形成されたことを特徴としている。According to a fifth aspect of the present invention, in the internal gear according to the fourth aspect, at least one of the tip of the external teeth and the bottom of the tooth groove extends along the rotation axis direction of the tool electrode. The tool electrode is characterized by being curved, and the curved portion is formed by the concave-shaped tool electrode opened radially outward of the tool electrode.

【００４１】上記構成の内歯歯車によれば、これを形成
する工具電極の外歯の先端部及び歯溝の底部の少なくと
も何れか一方の形状が工具電極の回転軸方向に沿って湾
曲し、当該湾曲分が工具電極の半径方向外側へ向けて開
口した凹形状（すなわち、前記少なくとも何れか一方の
工具電極の軸方向両端側での外周部から中心までの寸法
が軸方向中央での外周部から中心までの寸法よりも長く
なった形状）とされている。したがって、内歯歯車の内
歯は、内歯の先端部及び歯溝の底部の少なくとも何れか
一方が孔の軸方向に沿って湾曲し、当該湾曲部分がワー
ク内周部の半径方向内側へ向けて張り出した凸形状（す
なわち、前記少なくとも何れか一方のワークの軸方向両
端側での内周部から中心までの寸法が軸方向中央での内
周部から中心までの寸法よりも短くなった形状）とされ
る。すなわち、本本内歯歯車は、内歯の先端部及び歯溝
の底部の少なくとも何れか一方が軸方向に沿ってアンダ
ーカットとなる。According to the internal gear having the above configuration, at least one of the tip of the external teeth and the bottom of the tooth groove of the tool electrode forming the same is curved along the rotation axis direction of the tool electrode. The curved portion has a concave shape that opens outward in the radial direction of the tool electrode (that is, the dimension from the outer peripheral portion to the center at both axial ends of at least one of the tool electrodes is the outer peripheral portion at the axial center). From the center to the center). Therefore, in the internal gear of the internal gear, at least one of the tip of the internal gear and the bottom of the tooth groove is curved along the axial direction of the hole, and the curved portion is directed radially inward of the inner circumferential portion of the work. (I.e., a shape in which the dimension from the inner periphery to the center at both axial ends of the at least one of the workpieces is shorter than the dimension from the inner periphery to the center at the axial center) ). That is, in the present internal gear, at least one of the tip of the internal tooth and the bottom of the tooth groove is undercut along the axial direction.

【００４２】請求項６記載の内歯歯車は、請求項４又は
請求項５記載の内歯歯車において、各々の歯元円が同軸
とされて一体とされた複数の外歯を有する前記工具電極
を用い、外歯の変更の際には前記工具電極を前記歯元円
の中心に沿って移動させることにより形成されたことを
特徴としている。According to a sixth aspect of the present invention, in the internal gear according to the fourth or fifth aspect, the tool electrode has a plurality of external teeth in which each root is coaxial and integrated. And when the external teeth are changed, the tool electrodes are formed by moving the tool electrode along the center of the root circle.

【００４３】上記構成の内歯歯車は、複数の外歯が同軸
的に一体とされた工具電極により内歯が形成される。In the internal gear having the above configuration, the internal teeth are formed by a tool electrode in which a plurality of external teeth are coaxially integrated.

【００４４】ここで、本内歯歯車では、放電加工条件の
変更等の工程の変更や外歯の磨耗等に伴い外歯を変更す
る際に、工具電極を外歯の歯元円の中心に沿って移動さ
せることによりワーク（内歯形成前或いは形成途中の内
歯歯車）の内周部と対向した外歯により内歯が形成され
る。したがって、本内歯歯車では、内歯の形成の際に工
具電極の取り換えに要する時間がなくなり或いは減少す
るため、加工コストの低減を図ることができる。しか
も、外歯の変更は工具電極を外歯の歯元円の中心に沿っ
て移動させるだけで使用する外歯を変更するため、それ
まで使用していた外歯に対して次に使用する外歯が、歯
元円の半径に沿ってずれるということはない。このた
め、極めて高い精度で内歯が形成される。In this internal gear, the tool electrode is positioned at the center of the root circle of the external tooth when the external tooth is changed due to a change in the process such as a change in the electric discharge machining condition or abrasion of the external tooth. The internal teeth are formed by the outer teeth facing the inner peripheral portion of the work (the internal gear before or during the formation of the internal teeth) by moving the internal gears along the inner teeth. Therefore, in the present internal gear, the time required for replacing the tool electrode when forming the internal teeth is eliminated or reduced, so that the processing cost can be reduced. In addition, since the external teeth are changed only by moving the tool electrode along the center of the root circle of the external teeth, the external teeth to be used are changed. The teeth do not shift along the radius of the root circle. For this reason, the internal teeth are formed with extremely high accuracy.

【００４５】請求項７記載の内歯形成用工具電極は、ワ
ークに形成された孔の内周部に放電加工により内歯を形
成するための内歯形成用工具電極であって、外周一部に
形成され、歯先円径寸法が前記孔の内径寸法よりも小さ
く、且つ、ピッチ円の円周長の非整数倍が形成する前記
内歯のピッチ円の円周長となるように設定された外歯
と、前記外周一部以外の外周部に形成され、当該外周部
から中心までの寸法が前記外歯の歯元円半径寸法以下と
されたカット部と、を備えることを特徴としている。The tool electrode for forming internal teeth according to claim 7 is a tool electrode for forming internal teeth for forming internal teeth by electric discharge machining in an inner peripheral portion of a hole formed in a workpiece, and a part of the outer peripheral portion. The tooth tip circle diameter is set to be smaller than the inner diameter of the hole, and the circumference of the pitch circle of the internal teeth formed by a non-integer multiple of the circumference of the pitch circle. And a cut portion formed on an outer peripheral portion other than the outer peripheral portion and having a dimension from the outer peripheral portion to the center set to be equal to or less than a root radius of the external tooth. .

【００４６】上記構成の内歯形成用工具電極では、周部
に形成された外歯の歯先円径寸法がワークの孔の内径寸
法よりも小とされるため、ワークの孔の内周部へ本工具
電極を接触させずに孔の内周部の内側へ本工具電極を配
置することができ、また、内歯形成終了後に形成された
内歯へ本工具電極を接触させずに工具電極をワークから
外すことができる。In the tool electrode for forming an internal tooth having the above-described configuration, the diameter of the tooth tip circle of the external teeth formed on the peripheral portion is smaller than the internal diameter of the hole of the work. The tool electrode can be arranged inside the inner peripheral portion of the hole without contacting the tool electrode, and the tool electrode can be disposed without contacting the tool electrode with the internal teeth formed after the formation of the internal teeth. Can be removed from the work.

【００４７】また、本工具電極では、カット部から外歯
の歯元円の中心までの寸法が歯元円の半径寸法以下とさ
れているため、本工具電極をワークの孔の内側に配置し
た状態で、本工具電極のカット部側をワークの孔の内周
部へ接近させて、孔の内周部と工具電極の歯元円の一部
とをラップさせても（重ねても）、カット部を含めた工
具電極と孔の内周部とが接触することはない。これによ
り、この状態で工具電極の外歯のピッチ円が形成する内
歯のピッチ円に対して滑り接触するように（すなわち、
内歯が形成された状態を想定して、この内歯に工具電極
の外歯が噛み合った状態で工具電極が転動するように）
孔の中心周りに工具電極を公転させると共に、歯元円の
中心周りに工具電極を自転させ、更に、自転及び公転運
動を行いつつ本工具電極と孔の内周部とで放電加工させ
れば、孔の内周部に工具電極の外歯に対応した歯溝が形
成され、結果的に孔の内周部に内歯が形成される。In the present tool electrode, since the dimension from the cut portion to the center of the root circle of the external teeth is smaller than the radius of the root circle, the present tool electrode is arranged inside the hole of the workpiece. In this state, even if the cut portion side of the tool electrode is made to approach the inner peripheral portion of the hole of the work, the inner peripheral portion of the hole and a part of the root circle of the tool electrode are wrapped (even if they are overlapped), There is no contact between the tool electrode including the cut portion and the inner peripheral portion of the hole. Thereby, in this state, the pitch circle of the external teeth of the tool electrode is brought into sliding contact with the pitch circle of the internal teeth formed (ie,
Assuming a state where the internal teeth are formed, the tool electrode rolls in a state where the external teeth of the tool electrode mesh with the internal teeth.)
If the tool electrode is revolved around the center of the hole, the tool electrode is rotated around the center of the tooth root circle, and furthermore, the tool electrode and the inner periphery of the hole are subjected to electric discharge machining while rotating and revolving. A tooth groove corresponding to the outer teeth of the tool electrode is formed on the inner periphery of the hole, and as a result, the inner teeth are formed on the inner periphery of the hole.

【００４８】このように、本工具電極では、基本的に本
工具電極を自転及び公転運動させている間に孔の半径方
向に沿って工具電極を変位させる必要がなく、公転運動
中或いは公転周回毎に公転半径や公転円周周が変化する
ことはない。したがって、本工具電極を用いれば、正確
なピッチで内歯を形成できる。しかも、加工中の工具電
極の運動は基本的に自転と公転だけであり、しかも、放
電加工途中に自転及び公転速度を変化させる必要がない
ため、工具電極の運動制御が容易となる。したがって、
本工具電極の運動制御装置の構成が簡素となる（コンピ
ュータ制御の場合には、制御プログラムが簡素とな
る）。As described above, in the present tool electrode, it is basically unnecessary to displace the tool electrode along the radial direction of the hole while rotating and revolving the tool electrode. The revolution radius and the revolution circumference do not change every time. Therefore, if the present tool electrode is used, the internal teeth can be formed at an accurate pitch. In addition, the movement of the tool electrode during machining is basically only rotation and revolution, and it is not necessary to change the rotation and revolution speed during electric discharge machining, so that the movement control of the tool electrode becomes easy. Therefore,
The configuration of the tool electrode movement control device is simplified (in the case of computer control, the control program is simplified).

【００４９】ところで、本工具電極にはカット部が形成
されているため、工具電極が１周自転する度に、外歯で
はなくカット部が孔の内周部へ接近して対向する。した
がって、孔の内周部のうち、カット部が接近して対向し
た部分は放電加工が施されない。ここで、本工具電極の
ピッチ円はその円周長さの非整数倍が形成する内歯のピ
ッチ円の円周長さとなるように設定されているため、本
工具電極の１回目の公転が終了した状態では、自転及び
公転開始直前の状態とは異なり、工具電極の外歯が孔の
内周部へ接近して対向し、公転開始直前にカット部が接
近、対向して内歯が形成されなかった孔の内周部に内歯
が形成される。この状態から、公転開始直前と同位置で
カット部が孔の内周部へ接近して対向するまで本工具電
極を複数周公転させることで、孔の内周部に所定ピッチ
の内歯が形成される。By the way, since the tool electrode is formed with a cut portion, every time the tool electrode rotates one revolution, the cut portion, not the outer teeth, approaches the inner peripheral portion of the hole and faces the hole. Therefore, in the inner peripheral portion of the hole, a portion where the cut portion approaches and opposes is not subjected to electric discharge machining. Here, since the pitch circle of the tool electrode is set to be the circumferential length of the pitch circle of the internal teeth formed by a non-integer multiple of the circumferential length, the first revolution of the tool electrode is performed. In the completed state, unlike the state immediately before the rotation and the revolution start, the outer teeth of the tool electrode approach and face the inner peripheral part of the hole, and the cut part approaches just before the start of the revolution and face the inner teeth to form Internal teeth are formed on the inner peripheral portion of the hole that has not been made. From this state, the tool electrode is revolved a plurality of times until the cut portion approaches the inner peripheral portion of the hole at the same position as immediately before the start of revolution, thereby forming internal teeth of a predetermined pitch on the inner peripheral portion of the hole. Is done.

【００５０】なお、本工具電極でいうところの放電加工
とは、本工具電極とワークの孔の内周部との間で放電現
象を生じさせ、この放電現象によってワークの内周部を
異常消耗させて加工する加工方法のことを言う。したが
って、放電を生じさせる電気回路の構成や、放電のパル
ス幅、或いは、荒加工や仕上加工といった加工の態様
等、放電加工の具体的な構成に限定されるものではな
い。The term “electric discharge machining” as used in the present tool electrode means that a discharge phenomenon occurs between the present tool electrode and the inner peripheral portion of the hole of the work, and the inner peripheral portion of the work is abnormally consumed by the discharge phenomenon. This refers to a processing method that performs processing. Therefore, the present invention is not limited to the specific configuration of electric discharge machining, such as the configuration of an electric circuit that generates electric discharge, the pulse width of electric discharge, or the form of machining such as rough machining or finishing.

【００５１】請求項８記載の内歯形成用工具電極は、請
求項７記載の内歯形成用工具電極において、前記外歯の
先端部及び歯溝の底部の少なくとも何れか一方が軸方向
に沿って湾曲し、当該湾曲部分が前記歯元円の半径方向
外側へ向けて開口した凹形状とされたことを特徴として
いる。According to an eighth aspect of the present invention, in the tool electrode for forming an internal tooth according to the seventh aspect, at least one of a tip portion of the external tooth and a bottom portion of the tooth groove extends in an axial direction. And the curved portion has a concave shape that opens outward in the radial direction of the root circle.

【００５２】上記構成の内歯形成用工具電極では、外歯
の先端部及び歯溝の底部の少なくとも何れか一方の形状
が工具電極の回転軸方向に沿って湾曲し、当該湾曲部分
が外歯の歯元円半径方向外側へ向けて開口した凹形状
（すなわち、前記少なくとも何れか一方の工具電極の軸
方向両端側での外周部から中心までの寸法が軸方向中央
での外周部から中心までの寸法よりも長くなった形状）
とされている。したがって、形成された内歯は、内歯の
先端部及び歯溝の底部の少なくとも何れか一方が孔の軸
方向に沿って湾曲し、当該湾曲部分がワーク内周部の半
径方向内側へ向けて張り出した凸形状（すなわち、前記
少なくとも何れか一方のワークの軸方向両端側での内周
部から中心までの寸法が軸方向中央での内周部から中心
までの寸法よりも短くなった形状）となる。すなわち、
本工具電極によって形成された内歯は、軸方向に沿って
アンダーカットとなる。In the internal tooth forming tool electrode having the above-described configuration, at least one of the tip of the external tooth and the bottom of the tooth groove is curved along the rotation axis direction of the tool electrode, and the curved portion is the external tooth. The concave shape opened outward in the radial direction of the tooth root circle (that is, the dimension from the outer peripheral portion to the center at both axial ends of the at least one tool electrode is from the outer peripheral portion to the center at the axial center). Shape longer than the size of)
It has been. Therefore, in the formed internal teeth, at least one of the tip of the internal teeth and the bottom of the tooth groove is curved along the axial direction of the hole, and the curved portion is directed radially inward of the inner peripheral portion of the workpiece. Overhanging convex shape (that is, a shape in which the dimension from the inner peripheral portion to the center at both ends in the axial direction of at least one of the workpieces is shorter than the dimension from the inner peripheral portion to the center at the axial center) It becomes. That is,
The internal teeth formed by the present tool electrode are undercut along the axial direction.

【００５３】このように、本工具電極は、アンダーカッ
トとなる内歯を形成できる。しかも、本工具電極は歯先
円径寸法が、ワークの孔の内径寸法よりも小さいため、
形成された内歯がアンダーカットとなるにもかかわら
ず、内歯形成終了後に形成した内歯の歯先円の中心側
（すなわち、内歯形成以前の孔の中心側）へ向けて工具
電極を変位させれば、容易に工具電極をワークから離間
させることができる。As described above, the present tool electrode can form an internal tooth that becomes an undercut. Moreover, since the tool tip electrode has a smaller tip circle diameter than the inner diameter of the work hole,
Even though the formed internal teeth are undercut, the tool electrode is directed toward the center of the tip circle of the internal teeth formed after the completion of the formation of the internal teeth (that is, the center of the hole before the formation of the internal teeth). By displacing the tool electrode, the tool electrode can be easily separated from the work.

【００５４】請求項９記載の内歯形成用工具電極は、請
求項７又は請求項８記載の内歯形成用工具電極におい
て、各々の歯元円が同軸とされて一体とされた複数の前
記外歯を備えることを特徴としている。According to a ninth aspect of the present invention, there is provided a tool electrode for forming an internal tooth according to the seventh or eighth aspect, wherein each tooth root circle is coaxial and integrated. It is characterized by having external teeth.

【００５５】上記構成の内歯形成用工具電極では、複数
の外歯が歯元円の中心に沿って同軸的に一体とされてい
るため、電極自体を歯元円の中心に沿って移動させるだ
けでそれまで使用していた外歯とは別の外歯をワークの
内周部と対向させることができる。これにより、外歯を
変更する際に電極そのものを交換する必要がなくなり、
交換のに要する工数が軽減される。In the internal tooth forming tool electrode having the above-described configuration, since the plurality of external teeth are coaxially integrated along the center of the root circle, the electrode itself is moved along the center of the root circle. Only the external teeth different from the external teeth used so far can be opposed to the inner peripheral portion of the work. This eliminates the need to replace the electrode itself when changing external teeth,
The man-hour required for replacement is reduced.

【００５６】なお、本内歯形成用工具電極における複数
の外歯とは、各外歯が同一形状であってもよく、また、
その全て或いはその一部が異なる形状であってもよい。The plurality of external teeth in the internal tooth forming tool electrode may have the same shape as each external tooth.
All or some of them may have different shapes.

【００５７】特に、加工条件が異なる複数の放電加工工
程、例えば、比較的パルス幅が長くしかも高圧の放電電
圧をワークと工具電極の間に発生させることで加工精度
こそ高くないものの、ワーク全体の粗削り（荒加工）を
短時間で行う荒仕上げ工程、荒仕上げ工程と比べてパル
ス幅を短く且つ低圧の放電電圧をワークと工具電極の間
に発生させつつ長時間かけて高精度の加工を行う極仕上
げ工程、これらの荒仕上げ工程と極仕上げ工程との間で
行われる１乃至複数の中仕上げ工程等の各工程に対応し
て形状が異なる外歯を一体とした場合には、一つの放電
加工工程が終了して加工条件の異なる次の放電加工工程
へ移行する際に、次の放電加工工程に対応した外歯が歯
元円の半径方向に沿ってワークの内周部と対向するまで
歯元円の中心に沿って本内歯形成用工具電極を移動させ
れば、放電加工工程の変更に伴い使用する外歯が変わっ
ても、回転軸の位置が変わることはない。このため、複
数の放電加工工程を経て内歯を形成してもその内歯の加
工精度は高くなる。しかも、加工条件を変更する際には
歯元円の中心に沿った方向のワークに対する相対的な位
置だけを注意して合わせればよいため位置合わせが容易
となる。また、複数の放電加工工程毎に内歯形成用工具
電極を用意する必要もなければ、放電加工工程が変更さ
れる度に内歯形成用工具電極を取り替えるという煩わし
さもないため、総合的な放電加工時間の短縮を図ること
ができる。In particular, although a plurality of electric discharge machining processes having different machining conditions, for example, by generating a relatively long pulse width and a high discharge voltage between the work and the tool electrode, the machining accuracy is not high, Rough finishing process in which rough cutting (roughing) is performed in a short time. High-precision machining is performed over a long time while generating a low-voltage discharge voltage between the workpiece and the tool electrode with a shorter pulse width than the rough finishing process. In the case where external teeth having different shapes are integrally formed in correspondence with each step such as the pole finishing step, and one or more intermediate finishing steps performed between the rough finishing step and the pole finishing step, one discharge When the machining process is completed and the process proceeds to the next EDM process with different machining conditions, until the external teeth corresponding to the next EDM process face the inner peripheral part of the workpiece along the radial direction of the root circle. Along the center of the root circle By moving this inner tooth forming tool electrode Te, also external teeth to be used with the change of the electric discharge machining process is changed, it does not change the position of the rotation axis. Therefore, even if the internal teeth are formed through a plurality of electric discharge machining steps, the machining accuracy of the internal teeth is increased. In addition, when changing the processing conditions, only the relative position with respect to the work in the direction along the center of the root circle needs to be carefully adjusted, so that the alignment becomes easy. Also, there is no need to prepare a tool electrode for internal tooth formation for each of a plurality of electric discharge machining processes, and there is no need to replace the tool electrode for internal tooth formation each time the electric discharge machining process is changed, so that a total discharge is possible. Processing time can be reduced.

【００５８】[0058]

【発明の実施の形態】図８には、本発明の第１の実施の
形態に係る内歯歯車としてのウオームホイール成形用金
型１１０（以下「金型１１０」と称する）の製造方法を
適用した放電加工装置１０の外観が示されている。FIG. 8 shows a method of manufacturing a worm wheel forming die 110 (hereinafter referred to as "die 110") as an internal gear according to a first embodiment of the present invention. The appearance of the electric discharge machine 10 is shown.

【００５９】この図に示されるように、放電加工装置１
０は、矩形箱形状のベッド１２を備えており。このベッ
ド１２上には厚肉平板状のテーブル１４が固定されてさ
れ、さらに、このテーブル１４上には、上端側が開口し
た加工槽１６が固定されている。図１１に示されるよう
に、加工槽１６の底部にはチャック１８が配置されてい
る。このチャック１８には複数の可動爪が設けられてお
り、可動爪を適宜に変位させることでワーク２０をその
外側から締め付けて固定できるようになっている。ま
た、図１１に示されるように、このチャック１８は、電
源制御装置２２のドライバ７８を介して電源７６へ接続
されており、チャック１８がワーク２０を保持すること
によりチャック１８及びドライバ７８を介してワーク２
０と電源７６とが電気的に接続される。As shown in this figure, the electric discharge machine 1
0 has a bed 12 in the shape of a rectangular box. A thick flat plate-shaped table 14 is fixed on the bed 12, and a processing tank 16 having an open upper end is fixed on the table 14. As shown in FIG. 11, a chuck 18 is arranged at the bottom of the processing tank 16. The chuck 18 is provided with a plurality of movable claws, and by appropriately displacing the movable claws, the work 20 can be tightened and fixed from the outside thereof. As shown in FIG. 11, the chuck 18 is connected to a power supply 76 via a driver 78 of the power supply control device 22, and the chuck 18 holds the work 20 by using the chuck 18 and the driver 78. Work 2
0 and the power supply 76 are electrically connected.

【００６０】また、図８に示されるように、ベッド１２
の側方には油、純度の高い水、水道水、或いは珪酸ソー
ダ水溶液等、従来からワイヤ放電加工或いは型彫り放電
加工に適用された加工液、又は、従来とは異なる成分の
加工液が内部に貯留された加工液貯留タンク２６が配置
されている。この加工液貯留タンク２６はポンプ等の汲
上手段やパイプやホース等の接続手段（何れも図示省
略）を介して加工槽１６へ接続され、貯留した加工液を
加工槽１６へ供給できるようになっている。Further, as shown in FIG.
On the side of the surface, there is a machining fluid such as oil, high-purity water, tap water, sodium silicate aqueous solution, etc., which has been conventionally applied to wire electric discharge machining or die sinking electric discharge machining, or a machining fluid with a component different from the conventional one. The processing fluid storage tank 26 stored in the storage tank is disposed. The processing liquid storage tank 26 is connected to the processing tank 16 via pumping means such as a pump and connection means such as pipes and hoses (both not shown), so that the stored processing liquid can be supplied to the processing tank 16. ing.

【００６１】さらに、加工液貯留タンク２６の側方には
濾過装置２８が配置されており、パイプやホース等の接
続手段（何れも図示省略）を介して加工槽１６へ接続さ
れている。この濾過装置２８の内部には、例えば、メッ
シュ等の濾過手段が設けられており、加工槽１６から送
り出されて濾過装置２８へ供給された加工液は濾過装置
２８内の濾過手段を通過する。これによって、加工液に
混入した放電加工クズ等の異物を濾過手段に捕獲させて
除去できるようになっている。この濾過装置２８はパイ
プやホース等の接続手段（図示省略）を介して濾過装置
２８の側方に配置された冷却装置３０へ接続されてお
り、異物が除去された加工液を冷却装置３０へ送給でき
るようになっている。この冷却装置３０は、後述する放
電加工における陰極（すなわち、内歯形成用工具電極９
０若しくはワーク２０の何れか一方）の表面温度の上昇
や、放電時の急激な蒸発現象等により上昇した加工液の
温度を所定の温度（例えば、室温前後の温度）に冷却で
きるようになっている。この冷却装置３０はパイプやホ
ース等の接続手段（図示省略）を介して加工液貯留タン
ク２６へ接続されており、冷却した加工液を加工液貯留
タンク２６へ戻すことができるようになっている。以上
のように加工液貯留タンク２６、加工槽１６、濾過装置
２８、及び冷却装置３０を繋げて加工液を循環させるこ
とによって加工槽１６内の加工液を異物が少なく一定の
温度に保つことができる。Further, a filtering device 28 is arranged on the side of the working fluid storage tank 26, and is connected to the working tank 16 via connection means such as pipes and hoses (all not shown). A filtering means such as a mesh, for example, is provided inside the filtering device 28, and the working fluid sent out from the processing tank 16 and supplied to the filtering device 28 passes through the filtering means in the filtering device 28. This allows foreign matter such as electric discharge machining waste mixed in the machining fluid to be captured by the filtering means and removed. The filtering device 28 is connected to a cooling device 30 disposed on the side of the filtering device 28 via connecting means (not shown) such as a pipe or a hose, and the processing fluid from which foreign matter has been removed is sent to the cooling device 30. It can be sent. The cooling device 30 serves as a cathode (that is, the internal tooth forming tool electrode 9) in the electric discharge machining described later.
0 or the work 20), or the temperature of the machining fluid, which has increased due to a rapid evaporation phenomenon at the time of electric discharge, can be cooled to a predetermined temperature (for example, a temperature around room temperature). I have. The cooling device 30 is connected to the working fluid storage tank 26 via connection means (not shown) such as a pipe or a hose, and can return the cooled working fluid to the working fluid storage tank 26. . As described above, by circulating the processing liquid by connecting the processing liquid storage tank 26, the processing tank 16, the filtration device 28, and the cooling device 30, the processing liquid in the processing tank 16 can be maintained at a constant temperature with a small amount of foreign matter. it can.

【００６２】また、加工槽１６の後方にはコラム３２が
設けられている。このコラム３２はテーブル１４とは異
なり、ベッド１２に対してその左右方向（図８の矢印Ｒ
Ｔ方向及びその反対方向）に沿ってスライド可能とされ
ている。ここで、図９に示されるように、ベッド１２の
後方（図８の矢印ＦＲとは反対方向）には、左右方向サ
ーボ機構３４が設けられている。この左右方向サーボ機
構３４は、左右方向に沿って長手方向とされ、コラム３
２と一体された主軸３６を備えている。この主軸３６に
は、左右方向を軸方向とした雌ネジ部（図示省略）が形
成されており、ボールネジ３８が螺合している。このボ
ールネジ３８の先端部は、モータ等の駆動手段やこの駆
動手段の駆動力を減速して伝達する複数のギヤ等の減速
手段（何れも図示省略）を備えたアクチュエータ４０へ
接続されており、アクチュエータ４０の駆動手段が駆動
すると、ボールネジ３８が自らの軸周りに回転する。こ
のアクチュエータ４０とボールネジ３８は、ボールネジ
３８がその軸周りに回転する以外には、ベッド１２に対
して相対移動せず、略一体とされている。したがって、
アクチュエータ４０からの駆動力を受けてボールネジ３
８が回転すると主軸３６が左右方向へ向けてスライド
し、これにより、コラム３２がベッド１２に対して左右
方向へ向けてスライドする。また、図８に示されるよう
に、コラム３２の上端側にはヘッド４２が設けられてい
る。ここで、図１０に示されるように、コラム３２の上
端側には前後方向サーボ機構４４が設けられている。こ
の前後方向サーボ機構４４は、前後方向に沿って長手方
向とされ、ヘッド４２と一体された主軸４６を備えてい
る。この主軸４６には、前後方向を軸方向とした雌ネジ
部（図示省略）が形成されており、ボールネジ４８が螺
合している。このボールネジ４８の先端部は、モータ等
の駆動手段やこの駆動手段の駆動力を減速して伝達する
複数のギヤ等の減速手段（何れも図示省略）を備えたア
クチュエータ５０へ接続されており、アクチュエータ５
０の駆動手段が駆動すると、ボールネジ４８が自らの軸
周りに回転する。このアクチュエータ５０とボールネジ
４８は、ボールネジ４８がその軸周りに回転する以外に
は、コラム３２に対して相対移動せず、略一体とされて
いる。したがって、アクチュエータ５０からの駆動力を
受けてボールネジ４８が回転すると主軸４６が前後方向
へ向けてスライドし、これにより、ヘッド４２がコラム
３２に対して前後方向へ向けてスライドする。A column 32 is provided behind the processing tank 16. The column 32 is different from the table 14 in that the bed 12 is moved in the left-right direction (the arrow R in FIG.
(T direction and the opposite direction). Here, as shown in FIG. 9, a left-right servo mechanism 34 is provided behind the bed 12 (in a direction opposite to the arrow FR in FIG. 8). The left-right servo mechanism 34 has a longitudinal direction along the left-right direction.
2 is provided with a main shaft 36 integrated with the main shaft 2. The main shaft 36 is formed with a female screw portion (not shown) having a left-right direction as an axial direction, and a ball screw 38 is screwed thereto. The distal end of the ball screw 38 is connected to an actuator 40 having a driving unit such as a motor and a plurality of gears and other speed reducing units (all not shown) for reducing and transmitting the driving force of the driving unit. When the driving means of the actuator 40 is driven, the ball screw 38 rotates around its own axis. The actuator 40 and the ball screw 38 do not move relative to the bed 12 except for the rotation of the ball screw 38 about its axis, and are substantially integrated. Therefore,
The ball screw 3 receives the driving force from the actuator 40.
When the spindle 8 rotates, the main shaft 36 slides in the left-right direction, whereby the column 32 slides in the left-right direction with respect to the bed 12. As shown in FIG. 8, a head 42 is provided on the upper end side of the column 32. Here, as shown in FIG. 10, a front-rear direction servo mechanism 44 is provided on the upper end side of the column 32. The front-rear direction servo mechanism 44 is provided with a main shaft 46 that extends longitudinally along the front-rear direction and is integrated with the head 42. The main shaft 46 is formed with a female screw portion (not shown) whose axial direction is in the front-rear direction, and a ball screw 48 is screwed thereto. The distal end of the ball screw 48 is connected to an actuator 50 having a driving unit such as a motor and a plurality of gears and other speed reducing units (all not shown) for reducing and transmitting the driving force of the driving unit. Actuator 5
When the 0 driving means is driven, the ball screw 48 rotates around its own axis. The actuator 50 and the ball screw 48 do not move relative to the column 32 except for the rotation of the ball screw 48 about its axis, and are substantially integrated. Therefore, when the ball screw 48 rotates by receiving the driving force from the actuator 50, the main shaft 46 slides in the front-rear direction, whereby the head 42 slides in the front-rear direction with respect to the column 32.

【００６３】さらに、図１１に示されるように、ヘッド
４２には上下方向サーボ機構５２が設けられている。こ
の上下方向サーボ機構５２は、上下方向に沿って長手方
向とされた主軸５４を備えている。この主軸５４には、
上下方向を軸方向とした雌ネジ部（図示省略）が形成さ
れており、ボールネジ５６が螺合している。このボール
ネジ５６の先端部は、モータ等の駆動手段やこの駆動手
段の駆動力を減速して伝達する複数のギヤ等の減速手段
（何れも図示省略）を備えたアクチュエータ５８へ接続
されており、アクチュエータ５８の駆動手段が駆動する
と、ボールネジ５６が自らの軸周りに回転する。このア
クチュエータ５８とボールネジ５６は、ボールネジ５６
がその軸周りに回転する以外には、ヘッド４２に対して
相対移動せず、略一体とされている。したがって、アク
チュエータ５８からの駆動力を受けてボールネジ５６が
回転すると主軸５４が上下方向へ向けてスライドする。Further, as shown in FIG. 11, the head 42 is provided with a vertical servo mechanism 52. The vertical servo mechanism 52 has a main shaft 54 extending longitudinally along the vertical direction. The main shaft 54 has
A female screw portion (not shown) having the vertical direction as the axial direction is formed, and the ball screw 56 is screwed. The tip of the ball screw 56 is connected to an actuator 58 having a driving means such as a motor and a plurality of gears and other speed reducing means (all not shown) for reducing and transmitting the driving force of the driving means. When the driving means of the actuator 58 is driven, the ball screw 56 rotates around its own axis. The actuator 58 and the ball screw 56 are
Except that it rotates about its axis, it does not move relative to the head 42 and is substantially integral. Therefore, when the ball screw 56 rotates by receiving the driving force from the actuator 58, the main shaft 54 slides up and down.

【００６４】主軸５４の下端部には電極回転装置６０が
取り付けられている。この電極回転装置６０は複数のモ
ータ等の駆動手段とこの複数の駆動手段の駆動力を減速
して伝達する減速手段（何れも図示省略）を備えてい
る。この電極回転装置６０の一方の駆動手段は、電極回
転装置６０へ取付けられた電極ホルダ６２を上下方向を
軸方向としてその軸周りに回転させることができ、他方
の駆動手段は略車両上下方向方向に対して直交する方向
（すなわち、一方の駆動手段による電極ホルダ６２の回
転半径方向）を軸方向としてその軸周りに回転させるこ
とができるようになっている。なお、この電極回転装置
６０は一般的な型彫り放電加工装置において所謂Ｃ軸機
構と称される機構である。An electrode rotating device 60 is attached to the lower end of the main shaft 54. The electrode rotating device 60 includes driving means such as a plurality of motors and a speed reducing means (all are not shown) for reducing and transmitting the driving force of the plurality of driving means. One of the driving means of the electrode rotating device 60 can rotate the electrode holder 62 attached to the electrode rotating device 60 around the axis with the vertical direction as the axial direction, and the other driving means is substantially in the vehicle vertical direction. Can be rotated around the axis with a direction perpendicular to the axis (ie, the direction of the radius of rotation of the electrode holder 62 by one of the driving means) as the axial direction. The electrode rotating device 60 is a so-called C-axis mechanism in a general die-sinking electrical discharge machine.

【００６５】なお、図９乃至図１１に示されるように、
上述したアクチュエータ４０、５０、５８及び電極回転
装置６０は何れも電源制御装置２２のドライバ６８、７
０、７２、７４を介して電源７６へ接続されており、電
源制御装置２２の入力装置６４から入力されて記憶装置
６６へ記憶させられた制御プログラムに従って制御回路
２４が各ドライバ６８、７０、７２、７４へ信号を送信
すると、各ドライバ６８、７０、７２、７４が制御回路
２４からの信号に従って所定条件で各アクチュエータ４
０、５０、５８及び電極回転装置６０を駆動させる。As shown in FIGS. 9 to 11,
The actuators 40, 50, 58 and the electrode rotating device 60 described above are all drivers 68, 7 of the power control device 22.
0, 72, 74, and is connected to a power supply 76. In accordance with a control program input from the input device 64 of the power supply control device 22 and stored in the storage device 66, the control circuit 24 operates the drivers 68, 70, 72. , 74, each of the drivers 68, 70, 72, 74 receives a signal from the control circuit 24 under predetermined conditions.
0, 50, 58 and the electrode rotating device 60 are driven.

【００６６】また、この電極回転装置６０へ取り付けら
れた電極ホルダ６２は、後述する内歯形成用工具電極９
０（以下、単に「工具電極９０」と称する）の取付部９
２を保持できるようになっている。したがって、工具電
極９０は、上述したアクチュエータ４０、５０、５８及
び電極回転装置６０が駆動すると、加工槽１６内のチャ
ック１８へ固定されたワーク２０に対して前後方向、左
右方向、上下方向への移動及び回転することができる。
また、例えば、アクチュエータ４０、５０を連動させて
工具電極９０を左右方向及び前後方向へ向けて適宜に移
動させることにより、工具電極９０に円運動や楕円運動
を行わせることができる。なお、本実施の形態では、ア
クチュエータ４０、５０を連動させて工具電極９０に円
運動を行わせることで後述する工具電極９０の公転運動
を行わせている。The electrode holder 62 attached to the electrode rotating device 60 is used to hold the internal tooth forming tool electrode 9 described later.
0 (hereinafter simply referred to as "tool electrode 90")
2 can be held. Therefore, when the above-described actuators 40, 50, 58 and the electrode rotating device 60 are driven, the tool electrode 90 moves in the front-rear direction, the left-right direction, and the up-down direction with respect to the workpiece 20 fixed to the chuck 18 in the processing tank 16. Can move and rotate.
Further, for example, the tool electrode 90 can perform a circular motion or an elliptical motion by appropriately moving the tool electrode 90 in the left-right direction and the front-rear direction by interlocking the actuators 40 and 50. Note that, in the present embodiment, the actuator electrodes 40 and 50 are linked to cause the tool electrode 90 to perform a circular motion, so that the revolving motion of the tool electrode 90 described later is performed.

【００６７】さらに、電極ホルダ６２は、チャック１８
と同様にドライバ７８を介して電源７６へ接続されてお
り、電極ホルダ６２が工具電極９０を保持した状態では
電極ホルダ６２を介して工具電極９０と電源７６とを電
気的に接続している。したがって、電極ホルダ６２へ保
持された工具電極９０をチャック１８へ保持されたワー
ク２０へ、例えば、５μｍ〜１００μｍ程度まで近づけ
た状態で電極ホルダ６２或いはチャック１８へ所定の電
圧を引加すると、工具電極９０とワーク２０との間で放
電現象が発生し、この放電現象が発生した部分でワーク
２０が異常消耗させられる。Further, the electrode holder 62 is
Similarly, the power supply 76 is connected to the power supply 76 via the driver 78. When the electrode holder 62 holds the tool electrode 90, the tool electrode 90 and the power supply 76 are electrically connected via the electrode holder 62. Therefore, when a predetermined voltage is applied to the electrode holder 62 or the chuck 18 in a state where the tool electrode 90 held by the electrode holder 62 is brought close to the work 20 held by the chuck 18, for example, about 5 μm to 100 μm, the tool A discharge phenomenon occurs between the electrode 90 and the work 20, and the work 20 is abnormally consumed at a portion where the discharge phenomenon occurs.

【００６８】次に本発明の一実施の形態に係る工具電極
９０の構成について説明する。図１に示されるように、
工具電極９０は銅、銅−タングステン合金、銀−タング
ステン合金、グラファイト等の金属材料によって平面視
で略ウオームホイール形状に形成されている。また、こ
の工具電極９０の軸方向一端部には上述した電極ホルダ
６２への取付部９２が同軸的に突出形成されている。こ
の取付部９２は外径寸法が工具電極９０の本体部分の外
径寸法よりも小径の略円柱形状で、その外周部の一部は
軸方向に沿って平面的にカットされている。Next, the configuration of the tool electrode 90 according to one embodiment of the present invention will be described. As shown in FIG.
The tool electrode 90 is formed of a metal material such as copper, a copper-tungsten alloy, a silver-tungsten alloy, and graphite in a substantially worm wheel shape in plan view. At one end in the axial direction of the tool electrode 90, a mounting portion 92 to the above-described electrode holder 62 is formed so as to protrude coaxially. The mounting portion 92 has a substantially cylindrical shape whose outer diameter is smaller than the outer diameter of the main body of the tool electrode 90, and a part of the outer peripheral portion is cut in a plane along the axial direction.

【００６９】また、工具電極９０の本体部分の外周部に
は歯先円径寸法がワーク２０の円孔９６の内径寸法より
も充分に小さな複数の外歯９４が所定のピッチで形成さ
れている。これらの外歯９４は、後述する工程（方法）
でワーク２０の円孔９６の内周部との間の放電現象によ
り円孔９６の内周部に内歯９８と歯溝１００（図５参
照）を形成する。A plurality of external teeth 94 are formed at a predetermined pitch on the outer peripheral portion of the main body of the tool electrode 90. The external teeth 94 have a tooth tip circular diameter sufficiently smaller than the internal diameter of the circular hole 96 of the work 20. . These external teeth 94 are formed by a process (method) described later.
Then, an internal tooth 98 and a tooth space 100 (see FIG. 5) are formed in the inner peripheral portion of the circular hole 96 by a discharge phenomenon between the inner peripheral portion of the circular hole 96 of the work 20.

【００７０】また、図６に示されるように、工具電極９
０の外歯９４の先端部及び歯溝１０２の底部は、その径
寸法（すなわち、工具電極９０の中心Ｃから外歯９４の
先端部及び歯溝１０２の底部までの寸法）が工具電極９
０の軸方向中央側よりも軸方向両端側で長くなるように
形成されており、工具電極９０の縦断面（図６図示状
態：すなわち、工具電極９０の軸方向に沿って切った断
面）は外歯９４の先端部及び歯溝１０２の底部が、工具
電極９０の径方向内側を底とし径方向外側で開口した凹
形状となっている。したがって、後述する工程（方法）
によりワーク２０の円孔９６の内周部が工具電極９０の
外歯９４及び歯溝１０２によって加工されると、図７に
示されるように、内歯９８の先端部及び歯溝１００の底
部は、その径寸法（すなわち、工具電極９０の中心から
内歯９８の先端部及び歯溝１００の底部までの寸法）が
円孔９６の軸方向中央側よりも軸方向両端側で短くなる
ように形成される。Further, as shown in FIG.
0 of the outer teeth 94 and the bottom of the tooth groove 102 have a diameter dimension (that is, a dimension from the center C of the tool electrode 90 to the front end of the external tooth 94 and the bottom of the tooth groove 102).
The longitudinal cross section of the tool electrode 90 (the state shown in FIG. 6: a cross section cut along the axial direction of the tool electrode 90) is formed so as to be longer at both axial ends than at the center in the axial direction. The tips of the external teeth 94 and the bottom of the tooth groove 102 have a concave shape with the bottom on the radially inner side of the tool electrode 90 and an opening on the radially outer side. Therefore, the steps (methods) described below
When the inner peripheral portion of the circular hole 96 of the work 20 is processed by the outer teeth 94 and the tooth groove 102 of the tool electrode 90, as shown in FIG. 7, the tip of the internal tooth 98 and the bottom of the tooth groove 100 become The radial dimension (that is, the dimension from the center of the tool electrode 90 to the tip of the internal teeth 98 and the bottom of the tooth groove 100) is formed to be shorter at both axial ends of the circular hole 96 than at the axial center. Is done.

【００７１】さらに、この工具電極９０の外歯９４は、
そのピッチ円Ｄの円周長と、この工具電極９０を用いて
ワーク２０の円孔９６の内周部に形成しようとする内歯
９８（図５参照）のピッチ円Ｅの円周長との比率が１：
２．２５となるように設定されている。なお、上記設定
の本工具電極９０を使用する場合には、上述したアクチ
ュエータ４０、５０を連動により工具電極９０が円孔９
６の中心周りに図２の矢印Ｈ方向へ向けて工具電極９０
が１周回転（公転）すると、電極回転装置６２のモータ
の駆動力によって工具電極９０が自らの軸（中心Ｃ）周
りに図２の矢印Ｊ方向へ向けて１．２５周回転（自転）
するように放電加工時の制御プログラム（すなわち、図
９乃至図１１に示される入力装置６４から入力して記憶
装置６６に記憶させた制御プログラムの一部）が設定さ
れている。Further, the external teeth 94 of the tool electrode 90 are
The circumferential length of the pitch circle D and the circumferential length of the pitch circle E of the internal teeth 98 (see FIG. 5) to be formed on the inner peripheral portion of the circular hole 96 of the work 20 using the tool electrode 90 are described. The ratio is 1:
It is set to be 2.25. In the case where the tool electrode 90 having the above-described settings is used, the tool electrode 90 is connected to the circular holes 9 by interlocking the actuators 40 and 50 described above.
6 around the center of the tool electrode 90 in the direction of arrow H in FIG.
When the tool electrode 90 rotates one revolution (revolution), the tool electrode 90 rotates 1.25 revolutions around its own axis (center C) in the direction of arrow J in FIG. 2 by the driving force of the motor of the electrode rotating device 62 (rotation).
Thus, a control program at the time of electric discharge machining (that is, a part of the control program input from the input device 64 shown in FIGS. 9 to 11 and stored in the storage device 66) is set.

【００７２】この公転及び自転の速度の設定について更
に説明すると、本工具電極９０の本体部分の外周部全周
に上述した外歯９４が形成されていると想定して（すな
わち、後述するカット部１０４が無いものと想定し
て）、形成する内歯９８に想定した工具電極９０の外歯
９４が噛み合った状態で転動した場合の工具電極９０の
公転速度及び自転速度と基本的に略同一の速度で円孔９
６の中心周りに工具電極９０を公転させると共に、中心
Ｃ周りに工具電極９０を自転させることが、内歯９８を
形成するための基本条件であり、すなわち、この条件
は、形成する内歯９８のピッチ円Ｅに対して工具電極９
０の外歯９４のピッチ円Ｄが滑り接触する条件の元で工
具電極９０を公転及び自転させることである。The setting of the revolving speed and the rotation speed will be further described. Assuming that the above-mentioned external teeth 94 are formed on the entire outer peripheral portion of the main body of the tool electrode 90 (that is, a cutting portion described later). 104), the revolving speed and the rotation speed of the tool electrode 90 when the outer teeth 94 of the tool electrode 90 are supposed to engage with the internal teeth 98 to be formed are basically substantially the same. Hole 9 at the speed of
The revolving of the tool electrode 90 around the center of 6 and the rotation of the tool electrode 90 around the center C are basic conditions for forming the internal teeth 98, that is, the conditions are the internal teeth 98 to be formed. Tool electrode 9 for the pitch circle E of
That is, the tool electrode 90 revolves and rotates under the condition that the pitch circle D of the 0 external teeth 94 makes sliding contact.

【００７３】仮に、形成する内歯９８のピッチ円Ｅの円
周長をＬ、工具電極９０の外歯９４のピッチ円Ｄの円周
長をＭ、ピッチ円Ｅの円周長Ｌとピッチ円Ｄの円周長Ｍ
の比率をＮ＝Ｌ／Ｍとした場合に、上述した滑り接触の
条件を満足するように工具電極９０を円孔９６の中心周
りに３６０×Ｍ／Ｌ度回転（公転）させると、工具電極
９０は３６０×｛１−（Ｍ／Ｌ）｝度自転することにな
る。この関係から、工具電極９０が１周公転した場合に
は、工具電極９０は（Ｌ／Ｍ）−１＝Ｎ−１周自転す
る。It is assumed that the circumferential length of the pitch circle E of the internal teeth 98 to be formed is L, the circumferential length of the pitch circle D of the external teeth 94 of the tool electrode 90 is M, the circumferential length L of the pitch circle E and the pitch circle. Circumference M of D
Is N = L / M, the tool electrode 90 is rotated (revolved) 360 × M / L around the center of the circular hole 96 so as to satisfy the above-mentioned condition of the sliding contact. 90 rotates 360 * {1- (M / L)} degrees. From this relationship, when the tool electrode 90 revolves one round, the tool electrode 90 rotates (L / M) -1 = N-1 round.

【００７４】したがって、工具電極９０の外歯９４のピ
ッチ円Ｄの円周長と、この工具電極９０を用いてワーク
２０の円孔９６の内周部に形成しようとする内歯９８
（図５参照）のピッチ円Ｅの円周長との比率が１：２．
２５である場合には、工具電極９０が円孔９６の中心周
りに１周公転した場合に、２．２５−１＝１．２５周だ
け工具電極９０が自転するように制御プログラムを設定
する。Accordingly, the circumferential length of the pitch circle D of the external teeth 94 of the tool electrode 90 and the internal teeth 98 to be formed on the inner peripheral portion of the circular hole 96 of the workpiece 20 using the tool electrode 90
The ratio of the pitch circle E to the circumference of the pitch circle E (see FIG. 5) is 1: 2.
In the case of 25, the control program is set so that when the tool electrode 90 revolves one round around the center of the circular hole 96, the tool electrode 90 rotates by 2.25-1 = 1.25 rounds.

【００７５】また、この工具電極９０の外周一部は、中
心Ｃを通らずに外周部間を繋ぐ直線上でカットされたカ
ット部１０４が形成されている。このカット部１０４か
ら中心Ｃまでの距離は、外歯９４の歯元円Ｆよりも歯元
円Ｆの半径方向内側（すなわち図１のに示される中心Ｃ
側）に位置している。Further, a part of the outer periphery of the tool electrode 90 is formed with a cut portion 104 which is cut on a straight line connecting the outer peripheral portions without passing through the center C. The distance from the cut portion 104 to the center C is radially inward of the root circle F of the external tooth 94 (that is, the center C shown in FIG. 1).
Side).

【００７６】次に、本放電加工装置１０による金型１１
０の製造工程を通して本実施の形態の作用並びに効果に
ついて説明する。Next, the mold 11 by the electric discharge machine 10 is used.
The operation and effects of the present embodiment will be described through the zero manufacturing process.

【００７７】先ず、円孔９６（図１参照）が形成された
ワーク２０をチャック５６に保持させると共に、少なく
ともワーク２０が浸漬けされるまで加工液供給タンク２
６から加工槽５４の内部へ加工液を供給する。また、こ
れらの工程に前後して工具電極９０のカット部１０４が
放電加工装置１０の左方向へ向くように（すなわち、カ
ット部１０４での工具電極９０の外周部が放電加工装置
１０の前後方向と平行になるように）工具電極９０を電
極ホルダ６２に保持させる。First, the work 20 in which the circular hole 96 (see FIG. 1) is formed is held by the chuck 56, and the machining liquid supply tank 2 is kept at least until the work 20 is immersed.
From 6, a processing liquid is supplied into the processing tank 54. Before and after these steps, the cut portion 104 of the tool electrode 90 is directed to the left of the electric discharge machine 10 (that is, the outer peripheral portion of the tool electrode 90 at the cut portion 104 is moved in the front-rear direction of the electric discharge machine 10). The tool electrode 90 is held by the electrode holder 62 (so as to be parallel to the above).

【００７８】次いで、電源制御装置２２を操作して上述
した各サーボ機構３４、４４、５２の各アクチュエータ
４０、５０、５８を駆動させて、コラム３２をテーブル
１４に対して左右方向（図８、図９、及び図１１の矢印
ＲＴ方向及びその反対方向）へ向けて移動させ、ヘッド
４２をコラム３２に対して前後方向（図８及び図１０の
矢印ＦＲ方向及びその反対方向）へ向けて移動させ、電
極ホルダ６２をヘッド４２に対して上下方向（図８、図
９、及び図１１の矢印ＵＰ方向及びその反対方向）へ向
けて移動させる。このようにして、工具電極９０をワー
ク２０に対して前後方向、左右方向、及び上下方向へ向
けて相対的に移動させて、工具電極９０の外周部とワー
ク２０の内周部とが互いに対向し、且つ工具電極９０の
中心Ｃとワーク２０の円孔９６の中心とが略一致する位
置に工具電極９０を配置する（図１参照）。Next, the power supply control device 22 is operated to drive the actuators 40, 50, 58 of the servo mechanisms 34, 44, 52 described above, and the column 32 is moved in the horizontal direction with respect to the table 14 (FIG. The head 42 is moved in the front-rear direction (the direction indicated by the arrow FR in FIGS. 8 and 10 and the direction opposite thereto) with respect to the column 32 by moving the head 42 in the direction of the arrow RT in FIGS. 9 and 11 and the direction opposite thereto. Then, the electrode holder 62 is moved in the vertical direction (the direction of the arrow UP in FIGS. 8, 9 and 11 and the opposite direction) with respect to the head 42. In this manner, the tool electrode 90 is relatively moved in the front-rear direction, the left-right direction, and the up-down direction with respect to the work 20 so that the outer periphery of the tool electrode 90 and the inner periphery of the work 20 face each other. Then, the tool electrode 90 is disposed at a position where the center C of the tool electrode 90 substantially coincides with the center of the circular hole 96 of the work 20 (see FIG. 1).

【００７９】さらに、この状態から左右方向サーボ機構
３４のアクチュエータ４０を駆動させてコラム３２を左
方向（図８及び図９の矢印ＲＴとは反対方向）へ向けて
移動させる。これにより、工具電極９０のカット部１０
４が円孔９６の内周部へ接近する。Further, from this state, the actuator 40 of the left-right servo mechanism 34 is driven to move the column 32 leftward (the direction opposite to the arrow RT in FIGS. 8 and 9). Thereby, the cut portion 10 of the tool electrode 90
4 approaches the inner periphery of the circular hole 96.

【００８０】次いで、図２に示されるように、工具電極
９０の外歯９４の歯元円Ｆの一部が円孔９６の内周部と
ラップした（重なった）状態でアクチュエータ４０を停
止させる。この状態から、記憶装置６６へ予め記憶させ
た制御プログラムに従って制御回路２４からドライバ６
８、７０へ駆動信号が送信されると、電源７６からドラ
イバ６８、７０を介して所定条件の（すなわち、駆動信
号に応じた）電力が左右方向サーボ機構３４及び前後方
向サーボ機構４４の各アクチュエータ４０、５０に供給
され、これにより、各アクチュエータ４０、５０が駆動
して、工具電極９０を円孔９６の中心周りに図２の矢印
Ｈ方向へ向けて公転させる。また、これと略同時に記憶
装置６６へ予め記憶させた制御プログラムに従って制御
回路２４がドライバ７４へ駆動信号を送信すると、電源
７６からドライバ７４を介して所定条件の（すなわち、
駆動信号に応じた）電力が電極回転装置６２へ供給さ
れ、これにより、電極回転装置６２が駆動して工具電極
９０を自らの中心Ｃ（図２参照）周りに図２の矢印Ｊ方
向へ向けて自転させる。これにより、工具電極９０は、
円孔９６の中心周りに遊星歯車運動と類似した運動を行
うことになる。Next, as shown in FIG. 2, the actuator 40 is stopped with a part of the root circle F of the outer teeth 94 of the tool electrode 90 wrapped (overlapping) with the inner peripheral portion of the circular hole 96. . From this state, the control circuit 24 sends the driver 6 in accordance with the control program stored in the storage device 66 in advance.
When a drive signal is transmitted to each of the right and left servo mechanisms 34 and 44 from the power supply 76 via the drivers 68 and 70 under predetermined conditions (that is, according to the drive signal), The tool electrodes 90 are driven to rotate the tool electrode 90 around the center of the circular hole 96 in the direction of arrow H in FIG. At about the same time, when the control circuit 24 transmits a drive signal to the driver 74 in accordance with the control program stored in the storage device 66 in advance, the power supply 76 transmits the drive signal to the driver 74 under a predetermined condition (ie,
Power (according to the drive signal) is supplied to the electrode rotating device 62, which drives the electrode rotating device 62 to direct the tool electrode 90 around its own center C (see FIG. 2) in the direction of arrow J in FIG. To rotate. Thereby, the tool electrode 90 is
A motion similar to the planetary gear motion will be performed around the center of the circular hole 96.

【００８１】この状態から工具電極９０が所定角度公転
及び自転すると、図３に示されるように、複数の外歯９
４のうち、先ず、工具電極９０の自転方向（図２の矢印
Ｊ方向）とは反対方向側でカット部１０４に隣接する第
１番目の外歯９４Ａが円孔９６の内周部へ接近する。そ
して外歯９４Ａの先端部と円孔９６の内周部との間が所
定距離以下（例えば、５μｍ〜１００μｍ程度）となっ
た状態で予め記憶装置６６に記憶させた制御プログラム
に従って制御回路２４がドライバ７８へ通電信号を送信
すると、電源７６からの電力を、ドライバ７８が所定の
電圧で且つ所定のパルス幅の電流を工具電極９０若しく
はワーク２０に流し、外歯９４と円孔９６の内周部との
間で断続的にアーク放電現象を発生させる。これによ
り、公転及び自転する工具電極９０の外歯９４Ａに対応
した形状に円孔９６の内周部の外歯９４Ａと対向した部
分が放電加工される。さらに、この状態から工具電極９
０の公転及び自転を続けさせたままで放電加工を続ける
と、外歯９４Ａと外歯９４Ａを介してカット部１０４と
は反対側で外歯９４Ａに隣接する外歯９４Ｂとの間の歯
溝１０２Ａ、及び外歯９４Ｂが円孔９６の内周部へ接近
し、この歯溝１０２Ａ及び外歯９４Ｂと円孔９６の内周
部との間でアーク放電現象が発生し、公転及び自転する
工具電極９０の歯溝１０２Ａ及び外歯９４Ｂに対応した
形状に円孔９６の内周部の歯溝１０２Ａ及び外歯９４Ｂ
と対向した部分が放電加工される。これにより、円孔９
６の内周部に内歯９８と歯溝１００が形成される（図３
参照）。When the tool electrode 90 revolves and rotates by a predetermined angle from this state, as shown in FIG.
4, first, the first external teeth 94A adjacent to the cut portion 104 on the side opposite to the rotation direction of the tool electrode 90 (the direction of the arrow J in FIG. 2) approaches the inner peripheral portion of the circular hole 96. . The control circuit 24 operates according to a control program stored in the storage device 66 in a state where the distance between the distal end portion of the external teeth 94A and the inner peripheral portion of the circular hole 96 is a predetermined distance or less (for example, about 5 μm to 100 μm). When the energization signal is transmitted to the driver 78, the power from the power source 76 is supplied to the tool electrode 90 or the work 20 by the driver 78 at a predetermined voltage and a predetermined pulse width. An arc discharge phenomenon occurs intermittently with the part. Thereby, the portion facing the external teeth 94A of the inner peripheral portion of the circular hole 96 is subjected to electric discharge machining in a shape corresponding to the external teeth 94A of the revolving and rotating tool electrode 90. Further, the tool electrode 9 is moved from this state.
If the electric discharge machining is continued while the revolution and the rotation of 0 continue, the tooth groove 102A between the external teeth 94A and the external teeth 94B adjacent to the external teeth 94A on the side opposite to the cut portion 104 via the external teeth 94A. , And the outer teeth 94B approach the inner peripheral portion of the circular hole 96, and an arc discharge phenomenon occurs between the tooth groove 102A and the outer teeth 94B and the inner peripheral portion of the circular hole 96 to revolve and rotate. The tooth grooves 102A and the external teeth 94B at the inner peripheral portion of the circular hole 96 are formed in a shape corresponding to the tooth grooves 102A and the external teeth 94B of the 90.
The part facing is subjected to electrical discharge machining. Thereby, the circular hole 9
6, an internal tooth 98 and a tooth space 100 are formed on the inner peripheral portion.
reference).

【００８２】この状態から更に工具電極９０が公転及び
自転すると、カット部１０４が再び円孔９６の内周部に
接近して円孔９６の内周部と対向する。しかしながら、
カット部１０４と円孔９６の内周部との間の距離は、公
転及び自転開始直前時と同様にアーク放電現象が発生す
る際の外歯９４Ａ及び歯溝１０２Ａと円孔９６の内周部
との間の距離と比べて遙に長いため、カット部１０４と
円孔９６の内周部との間ではアーク放電現象が発生する
ことはなく、工具電極９０の公転１周目に円孔９６の内
周部のうち、カット部１０４が接近して対向した部位が
放電加工されることはない（図４参照）。したがって、
工具電極９０の公転１周目では、円孔９６の内周部に内
歯９８や歯溝１００が形成された部分と形成されなかっ
た部分とができる。When the tool electrode 90 further revolves and rotates from this state, the cut portion 104 approaches the inner peripheral portion of the circular hole 96 again and faces the inner peripheral portion of the circular hole 96. However,
The distance between the cut portion 104 and the inner peripheral portion of the circular hole 96 depends on the outer peripheral portion 94A and the tooth groove 102A and the inner peripheral portion of the circular hole 96 when an arc discharge phenomenon occurs in the same manner as immediately before the start of revolution and rotation. Since the distance is much longer than the distance between the cut electrode 104 and the inner peripheral portion of the circular hole 96, no arc discharge phenomenon occurs. No electric discharge machining is performed on a portion of the inner peripheral portion where the cut portion 104 approaches and faces (see FIG. 4). Therefore,
In the first revolution of the tool electrode 90, a portion where the internal teeth 98 and the tooth groove 100 are formed in the inner peripheral portion of the circular hole 96 and a portion where the internal tooth 98 and the tooth groove 100 are not formed are formed.

【００８３】ここで、工具電極９０の外歯９４のピッチ
円Ｄの円周長と、この工具電極９０が形成する内歯９８
のピッチ円Ｅの円周長との比率が１：２．２５となるよ
うに工具電極９０の外歯９４が形成されており、これに
伴い、工具電極９０が１周公転すると１．２５周自転す
るように、公転及び自転の速度が設定されているため、
工具電極９０を遊星歯車運動に類似した運動で公転及び
自転させれば、工具電極９０が１周目の自転を終了して
も、工具電極９０は未だ１周目の公転を終了せず、工具
電極９０の１周目の公転が終了すれば、工具電極９０は
公転及び自転開始時の位置に戻るが、工具電極９０自体
は図２の矢印Ｊ方向へ向けて０．２５周分だけ位相がず
れる。このため、工具電極９０の１周目の公転が終了し
た状態では、公転及び自転開始時にカット部１０４が接
近、対向したため、放電加工が施されなかった部位が外
歯９４及び歯溝１０２よって放電加工される。したがっ
て、この状態から１周目の公転時と同様に工具電極９０
を公転及び自転させれば、円孔９６の内周部のうち、１
周目の公転で内歯９８及び歯溝１００が形成されなかっ
た部位が放電加工されて内歯９８及び歯溝１００が形成
される。Here, the circumference of the pitch circle D of the external teeth 94 of the tool electrode 90 and the internal teeth 98 formed by the tool electrode 90
The outer teeth 94 of the tool electrode 90 are formed so that the ratio of the pitch electrode E to the circumferential length of the pitch electrode E is 1: 2.25. Because the speed of revolution and rotation is set so that it rotates,
If the tool electrode 90 revolves and revolves in a motion similar to the planetary gear motion, even if the tool electrode 90 completes the first revolution, the tool electrode 90 still does not complete the revolving motion of the first revolution. When the revolution of the first revolution of the electrode 90 is completed, the tool electrode 90 returns to the position at the start of revolution and rotation, but the phase of the tool electrode 90 itself is shifted by 0.25 revolution in the direction of arrow J in FIG. Shift. For this reason, in the state where the revolution of the first revolution of the tool electrode 90 has been completed, the cut portion 104 approaches and faces at the start of revolution and rotation, so that the portion not subjected to electric discharge machining is discharged by the external teeth 94 and the tooth grooves 102. Processed. Therefore, from this state, the tool electrode 90 is rotated in the same manner as during the first revolution.
Is revolved and revolved, one of the inner peripheral portions of the circular hole 96 becomes
The portion where the internal teeth 98 and the tooth space 100 are not formed in the revolution of the circumference is subjected to electric discharge machining to form the internal teeth 98 and the tooth space 100.

【００８４】ここで、本実施の形態では、工具電極９０
を複数周公転させるが、基本的に公転の間に工具電極９
０が円孔９６の半径方向内外へ向けて変位することはな
い。したがって、放電加工時に必要な工具電極９０の運
動制御は、公転及び自転に必要な運動制御だけであり、
例えば、公転毎に少しずつ工具電極９０が円孔９６の半
径方向外側へ向けて変位させる構成に比べて、工具電極
９０の運動制御が容易である。また、公転の間に工具電
極９０を円孔９６の半径方向内外へ向けて変位させなく
てもよいため、工具電極９０の公転半径が変化すること
はなく、公転円周長が変化することはない。したがっ
て、基本的に工具電極９０の自転速度を変化させること
もないため、この意味でも工具電極９０の運動制御が容
易である。このように、本実施の形態では、工具電極９
０の運動制御が容易であるため、電源制御装置２２の記
憶装置６６に記憶させる制御プログラムが簡素なプログ
ラムでよく、取り扱いが容易となる。Here, in the present embodiment, the tool electrode 90
Of the tool electrode 9 during the revolution.
0 is not displaced radially in and out of the circular hole 96. Therefore, the motion control of the tool electrode 90 required at the time of electric discharge machining is only the motion control required for revolution and rotation.
For example, compared to a configuration in which the tool electrode 90 is displaced slightly outward in the radial direction of the circular hole 96 for each revolution, movement control of the tool electrode 90 is easier. Further, since the tool electrode 90 does not need to be displaced inward or outward in the radial direction of the circular hole 96 during the revolution, the revolution radius of the tool electrode 90 does not change, and the revolution circumference does not change. Absent. Therefore, the rotation speed of the tool electrode 90 is not basically changed, and in this sense, the motion control of the tool electrode 90 is easy. Thus, in the present embodiment, the tool electrode 9
Since the zero motion control is easy, the control program stored in the storage device 66 of the power supply control device 22 may be a simple program, and the handling is easy.

【００８５】以上のように、工具電極９０を複数周（よ
り具体的には合計で４周）公転させることにより、円孔
９６の内周部に内歯９８及び歯溝１００が形成され金型
１１０が完成する（図５参照）。As described above, by rotating the tool electrode 90 a plurality of times (more specifically, four times in total), the internal teeth 98 and the tooth grooves 100 are formed in the inner peripheral portion of the circular hole 96, and the mold is formed. 110 is completed (see FIG. 5).

【００８６】このようにして形成された金型１１０で
は、内歯９８の先端部及び歯溝１００の底部は、その径
寸法（すなわち、金型１１０の中心から内歯９８の先端
部及び歯溝１００の底部までの寸法）が円孔９６の軸方
向中央側よりも軸方向両端側で短く、軸方向中央側が全
体的に半径方向内側へ向けて張り出した形状に形成され
る。したがって、この金型１１０を用いて射出成形等の
合成樹脂材の成形を行い、ウオームホイール（図示省
略）を形成すると。このウオームホイールの外歯の先端
部及び歯溝の底部は、その径寸法（すなわち、ウオーム
ホイールの中心から外歯の先端部及び歯溝の底部までの
寸法）がウオームホイールの軸方向中央側よりも軸方向
両端側で長くなるように形成されており、外歯の先端部
及び歯溝の底部がウオームホイールの径方向内側を底で
径方向外側で開口した凹形状となる。ウオームホイール
の外歯の先端部及び歯溝の底部を上述した凹形状に形成
した場合と、外歯の先端部及び歯溝の底部がストレート
（直線的）な通常のウオームホイールとを比べると、後
者のウオームホイールがウオームと噛み合うと、ウオー
ムホイールの外歯の先端部及び歯溝の底部がウオームの
歯の先端部及び底部へ接触した場合にその接触が点接触
になる。[0086] In the mold 110 thus formed, the tip of the internal teeth 98 and the bottom of the tooth groove 100 have a diameter dimension (that is, the tip of the internal tooth 98 and the tooth groove from the center of the mold 110). 100 is shorter at both axial ends than the central portion of the circular hole 96 in the axial direction, and the central portion in the axial direction is formed to protrude radially inward as a whole. Therefore, it is assumed that a synthetic resin material such as injection molding is formed using the mold 110 to form a worm wheel (not shown). The diameter of the tip of the external teeth and the bottom of the tooth groove of the worm wheel (that is, the dimension from the center of the worm wheel to the tip of the external tooth and the bottom of the tooth groove) is greater than the axial center of the worm wheel. Are formed so as to be longer at both ends in the axial direction, and the distal end portions of the external teeth and the bottom portions of the tooth grooves have a concave shape in which the radial inner side of the worm wheel is opened at the bottom and the radial outer side. When the tip of the external teeth of the worm wheel and the bottom of the tooth groove are formed in the above-described concave shape, and when compared with a normal worm wheel in which the tips of the external teeth and the bottom of the tooth groove are straight (linear), When the latter worm wheel meshes with the worm, when the tips of the external teeth and the bottom of the tooth groove of the worm wheel contact the tips and bottom of the teeth of the worm, the contact becomes point contact.

【００８７】これに対して前者（すなわち、金型１１０
によって形成されたウオームホイール）では、外歯の先
端部及び歯溝の底部が凹形状となっているため線或いは
面接触する。このため、金型１１０によって形成された
ウオームホイールは外歯の先端部及び歯溝の底部がスト
レートのウオームホイールに比べて外歯の強度が高く、
また、ウオームの歯への影響も小さくなるというメリッ
トがある。On the other hand, the former (ie, the mold 110)
The worm wheel formed by the method described above has a concave shape at the tip of the external teeth and the bottom of the tooth space, and makes line or surface contact. For this reason, the worm wheel formed by the mold 110 has higher strength of the outer teeth as compared with a worm wheel having a straight outer tooth tip and a tooth groove bottom,
In addition, there is an advantage that the influence of the worm on the teeth is reduced.

【００８８】ところで、このようにして得られた金型１
１０は、上述したように、内歯９８の先端部及び歯溝１
００の底部は、その径寸法（すなわち、金型１１０の中
心から内歯９８の先端部及び歯溝１００の底部までの寸
法）が円孔９６の軸方向中央側よりも軸方向両端側で短
く、軸方向中央側が全体的に半径方向内側へ向けて張り
出しており、所謂アンダーカットとなっている。By the way, the mold 1 thus obtained
10 is the tip of the internal teeth 98 and the tooth space 1 as described above.
The bottom of 00 has a smaller diameter dimension (ie, a dimension from the center of the mold 110 to the tip of the internal teeth 98 and the bottom of the tooth groove 100) at both axial ends of the circular hole 96 than at the axial center. The central side in the axial direction projects radially inward as a whole, so-called undercut.

【００８９】しかしながら、本実施の形態では、工具電
極９０の歯先円径寸法がワーク２０の円孔９６の内径寸
法よりも充分に小さく、したがって、金型１１０の内歯
９８の歯先円径寸法よりも充分に小さい。このため、工
具電極９０を内歯９８の歯先円の中心側（すなわち、内
歯９８を形成する以前のワーク２０の円孔９６の中心
側）へ向けて工具電極９０を変位させれば、外歯９４及
び歯溝１０２と内歯９８と歯溝１００との嵌合状態を容
易に解除でき、工具電極９０の形状の崩したりすること
なく金型１１０から容易に離間させることができる。し
たがって、同様の金型１１０を製造する場合には、この
工具電極９０を使用できるため、例えば、母型が１度し
か使用できない電鋳加工によって同様の金型１１０を製
造する場合に比べて製造コストが安価となり、ひいて
は、上述したウオームホイールの製造コストが安価とな
る。However, in this embodiment, the tip diameter of the tool electrode 90 is sufficiently smaller than the inner diameter of the circular hole 96 of the workpiece 20, and therefore, the tip diameter of the internal tooth 98 of the mold 110 is small. It is much smaller than the size. For this reason, if the tool electrode 90 is displaced toward the center of the tip circle of the internal teeth 98 (that is, toward the center of the circular hole 96 of the work 20 before the internal teeth 98 are formed), The fitted state between the external teeth 94 and the tooth grooves 102, the internal teeth 98, and the tooth grooves 100 can be easily released, and the tool electrode 90 can be easily separated from the mold 110 without breaking down. Therefore, when the same mold 110 is manufactured, the tool electrode 90 can be used. Therefore, for example, compared with the case where the same mold 110 is manufactured by electroforming in which the master mold can be used only once, the manufacturing cost is reduced. The cost is reduced, and the manufacturing cost of the worm wheel described above is reduced.

【００９０】なお、本実施の形態は放電加工装置１０と
して本発明の一実施の形態を説明したが、本発明を適用
していれば、装置自体の構成は上述した構成に限定され
るものではない。すなわち、例えば、本実施の形態で
は、電極回転装置６２によってワーク２０を回転させる
ことで、相対的に工具電極９０を公転させていたが、ワ
ーク２０を停止させ実際に工具電極９０が公転させる構
成であってもよい。また、同様に、本実施の形態では、
テーブル１４を移動させることで、相対的に工具電極９
０のカット部１０４をワーク２０の円孔９６の内周部へ
接近させていたが、工具電極９０を実際に移動させて工
具電極９０のカット部１０４をワーク２０の円孔９６の
内周部へ接近させる構成であってもよい。In this embodiment, one embodiment of the present invention has been described as the electric discharge machine 10. However, if the present invention is applied, the configuration of the apparatus itself is not limited to the above-described configuration. Absent. That is, for example, in the present embodiment, the tool electrode 90 is relatively revolved by rotating the workpiece 20 by the electrode rotating device 62, but the workpiece 20 is stopped and the tool electrode 90 is actually revolved. It may be. Similarly, in the present embodiment,
By moving the table 14, the tool electrode 9 is relatively moved.
Although the cut portion 104 of the workpiece 20 approaches the inner periphery of the circular hole 96 of the work 20, the tool electrode 90 is actually moved to cut the cut portion 104 of the tool electrode 90 into the inner periphery of the circular hole 96 of the work 20. It may be configured to be close to.

【００９１】また、本実施の形態では、工具電極９０の
カット部１０４を直線状としたが、このカット部１０４
は、工具電極９０の外歯９４の歯元円Ｆの一部が円孔９
６の内周部とラップする（重なる）位置までカット部１
０４を円孔９６の内周部へ接近させた状態で、カット部
１０４と円孔９６の内周部との間でアーク放電現象が生
じない程度にカット部１０４が円孔９６の内周部から離
間するように形成されていればよい。したがって、カッ
ト部１０４が直線状でなく曲線状や円弧状等、他の形状
であってもよい。Further, in the present embodiment, the cut portion 104 of the tool electrode 90 is formed in a straight line.
Is that a part of the root circle F of the external teeth 94 of the tool electrode 90 is
6 Cut part 1 until it wraps (overlaps) with the inner circumference
04 is brought close to the inner peripheral portion of the circular hole 96, and the cut portion 104 is moved to the inner peripheral portion of the circular hole 96 so that an arc discharge phenomenon does not occur between the cut portion 104 and the inner peripheral portion of the circular hole 96. What is necessary is just to be formed so that it may be separated from. Therefore, the cut portion 104 may have another shape such as a curved shape or an arc shape instead of a straight shape.

【００９２】さらに、本実施の形態では、工具電極９０
の外歯９４のピッチ円Ｄの円周長と円孔９６の内周部に
形成される内歯９８（すなわち、金型１１０の内歯９
８）のピッチ円Ｅの円周長との比率を１：２．２５に設
定したが、ピッチ円Ｄ、Ｅの円周長の比率はこれに限定
されるものではない。すなわち、１周目の公転が終了し
た自転で、公転及び自転開始時に比べて０度を越え、３
６０未満の範囲でずれる工具電極９０の自転方向の位相
がずれる構成であればよく、これを満足するには、ピッ
チ円Ｄの円周長の非整数倍がピッチ円Ｅの円周長になる
ようにピッチ円Ｄの円周長を設定すればよい。Further, in the present embodiment, the tool electrode 90
Of the pitch circle D of the outer teeth 94 and the inner teeth 98 formed on the inner periphery of the circular hole 96 (that is, the inner teeth 9 of the mold 110).
Although the ratio of the pitch circle E to the circumference of 8) is set to 1: 2.25, the ratio of the circumference of the pitch circles D and E is not limited to this. In other words, the rotation after the revolution of the first lap exceeds 0 degree compared to the time of the revolution and the start of the rotation, and
Any configuration may be used as long as the phase of the tool electrode 90 that is shifted within a range of less than 60 is shifted in the rotation direction. To satisfy this, a non-integer multiple of the circumference of the pitch circle D becomes the circumference of the pitch circle E. The circumferential length of the pitch circle D may be set as described above.

【００９３】また、本実施の形態は、ウオームホイール
成形用の金型１１０に本発明を適用した構成であった
が、通常の内歯歯車等、内歯を有する構成であれば、本
発明を適用できることは言うまでもない。In the present embodiment, the present invention is applied to the mold 110 for forming a worm wheel. However, the present invention is applicable to any structure having internal teeth such as a normal internal gear. It goes without saying that it can be applied.

【００９４】さらに、本実施の形態では、左右方向サー
ボ機構３４と前後方向サーボ機構４４を連動させて工具
電極９０を公転運動させる構成であった。したがって、
本実施の形態では、従来から一般的に使用されているＮ
Ｃ（数値制御）型彫り放電加工装置で実施可能であると
いう付随的な効果を有するが、工具電極９０を公転させ
るための構成はこれに限定されるものではない。Further, in the present embodiment, the tool electrode 90 is caused to revolve by interlocking the left-right servo mechanism 34 and the front-rear servo mechanism 44. Therefore,
In the present embodiment, the N
It has the additional effect that it can be implemented by a C (numerical control) die-sinking electrical discharge machine, but the configuration for revolving the tool electrode 90 is not limited to this.

【００９５】例えば、電極回転装置６０に、或いは電極
回転装置６０とは別に、公転運動用のモータ等の駆動手
段を設け、この公転運動用の駆動手段と電極回転装置６
０の自転運動用の駆動手段とを連動させることにより、
工具電極に上述した公転及び自転運動をさせる構成とし
てもよい。For example, a driving means such as a motor for revolving motion is provided in the electrode rotating device 60 or separately from the electrode rotating device 60, and the driving means for revolving motion and the electrode rotating device 6 are provided.
By interlocking with the driving means for the rotation of 0,
It is good also as a structure which makes a tool electrode make the above-mentioned revolution and rotation movement.

【００９６】また、上述したように、本実施の形態で
は、基本的に、放電加工途中に公転速度及び自転速度を
変化させることはなく、また、公転半径も変化しないた
め、所謂遊星歯車機構を用いて工具電極９０を公転及び
自転させる構成としてもよい。すなわち、太陽歯車を駆
動手段（例えば、モータ）で回転させ、この太陽歯車に
噛み合い、太陽歯車が回転することにより、太陽歯車の
周囲を公転しながら自転する遊星歯車に同軸的に工具電
極９０を取り付ける構成としてもよい。この場合には、
作成する内歯毎に異なる遊星歯車機構が必要となるが、
工具電極９０を公転及び自転させるための駆動手段が１
つでよいため、制御が極めて容易となるというメリット
がある。Also, as described above, in the present embodiment, the revolution speed and the revolution speed do not basically change during the electric discharge machining, and the revolution radius does not change. The tool electrode 90 may be used to revolve and rotate. That is, the sun gear is rotated by driving means (for example, a motor), meshes with the sun gear, and rotates the sun gear, thereby coaxially rotating the tool electrode 90 with the planetary gear that rotates while revolving around the sun gear. It may be configured to be attached. In this case,
A different planetary gear mechanism is required for each internal tooth to be created,
The driving means for revolving and rotating the tool electrode 90 is 1
Therefore, there is an advantage that control becomes extremely easy.

【００９７】さらに、本実施の形態では、工具電極９０
自体を公転及び自転させ、ワーク２０は停止した構成で
あったが、工具電極９０はワーク２０に対して相対的に
公転及び自転していればよい。したがって、工具電極９
０自体が公転及び自転する構成以外にも、ワーク２０が
回転運動することにより、相対的に工具電極９０が公転
及び自転する構成であってもよい。Further, in the present embodiment, the tool electrode 90
Although the work 20 is stopped by revolving and rotating itself, the tool electrode 90 only needs to revolve and rotate relative to the work 20. Therefore, the tool electrode 9
In addition to the configuration in which the tool electrode 90 revolves and rotates, the tool electrode 90 may relatively revolve and rotate by rotating the work 20.

【００９８】また、本実施の形態では、１種類の工具電
極９０によって内歯９８及び歯溝１００を形成する構成
であったが、複数の種類の工具電極を用い、工程毎に工
具電極を取り替える構成としてもよい。すなわち、通常
の型彫り放電加工の如く、例えば、先ず、荒電極と称さ
れる工具電極で放電加工した後に、仕上電極と称される
工具電極を用いて放電加工して加工面の面粗さを荒電極
によって形成された加工面の面粗さよりも小さくしても
よい。In this embodiment, the internal teeth 98 and the tooth spaces 100 are formed by one type of tool electrode 90. However, a plurality of types of tool electrodes are used, and the tool electrodes are replaced every process. It may be configured. That is, as in ordinary die-sinking electrical discharge machining, for example, first, after performing electrical discharge machining with a tool electrode called a rough electrode, the surface roughness of the machined surface is subjected to electrical discharge machining using a tool electrode called a finish electrode. May be smaller than the surface roughness of the processed surface formed by the rough electrodes.

【００９９】さらに、本実施の形態では、基本的に工具
電極９０を公転及び自転させて内歯９８及び歯溝１００
を形成したが、放電加工時における工具電極９０の運動
を公転及び自転のみに限定するものではない。すなわ
ち、内歯９８及び歯溝１００を形成するための工具電極
９０の運動が実質的に工具電極９０の公転及び自転であ
ればよく、公転及び自転運動以外にも内歯９８及び歯溝
１００を形成するための補助的な運動を工具電極９０に
行わせても構わない。例えば、工具電極９０を公転及び
自転させながら左右方向（図９の矢印ＲＴ方向及びその
反対方向）、前後方向（図１０の矢印ＲＴ方向及びその
反対方向）、或いは上下方向（図１１の矢印ＵＰ方向及
びその反対方向）等へ向けて工具電極９０を揺動或いは
振動させて加工面の面粗さを向上させてもよい。Furthermore, in the present embodiment, basically, the tool electrode 90 is revolved and rotated, and the internal teeth 98 and the tooth spaces 100 are rotated.
However, the movement of the tool electrode 90 during electric discharge machining is not limited to only revolution and rotation. That is, the movement of the tool electrode 90 for forming the internal teeth 98 and the tooth space 100 may be substantially the revolution and the rotation of the tool electrode 90. The auxiliary movement for forming may be performed by the tool electrode 90. For example, while the tool electrode 90 revolves and rotates, the horizontal direction (the direction of the arrow RT in FIG. 9 and the opposite direction), the front-rear direction (the direction of the arrow RT in FIG. 10 and the opposite direction), or the vertical direction (the arrow UP in FIG. 11). (Or the opposite direction), the tool electrode 90 may be swung or vibrated to improve the surface roughness of the machined surface.

【０１００】次に本発明の第２の実施の形態について説
明する。なお、前記第１の実施の形態と基本的に同一の
部位に関しては同一の符号を付与しその説明を省略す
る。Next, a second embodiment of the present invention will be described. The same parts as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted.

【０１０１】図１２には本発明の第２の実施の形態に係
る工具電極１２０が平面図によって示されており、図１
３には図１２の１３−１３線に沿った断面図が示されて
いる。なお、これらの図では、外歯９４、１２２、１２
４、及び歯溝１０２、１２６、１２８の大小関係を誇張
して描いている。FIG. 12 is a plan view showing a tool electrode 120 according to the second embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a sectional view taken along line 13-13 in FIG. In these figures, the external teeth 94, 122, 12
4, and the size relationship between the tooth spaces 102, 126, 128 is exaggerated.

【０１０２】これらの図に示されるように、本工具電極
１２０は外歯１２２と歯溝１２６を備えている。外歯１
２２及び歯溝１２６は外歯９４及び歯溝１０２の軸方向
一端側に同軸的に形成されている。外歯１２２と外歯９
４及び歯溝１２６と歯溝１０２は基本的に同一の構成で
あるが、外歯９４及び歯溝１０２のピッチ円から歯先ま
での寸法が外歯１２２は外歯９４よりも僅かに長く、更
に歯も僅かに厚い。一方、歯溝１２６は上記ピッチ円か
ら歯元までの寸法が歯溝１０２よりも僅かに短く、更に
その幅も僅かに狭い。As shown in these figures, the tool electrode 120 has external teeth 122 and tooth grooves 126. External teeth 1
The tooth 22 and the tooth groove 126 are formed coaxially at one axial end of the external tooth 94 and the tooth groove 102. External teeth 122 and external teeth 9
4 and the tooth groove 126 and the tooth groove 102 have basically the same configuration, but the dimension from the pitch circle to the tooth tip of the external tooth 94 and the tooth groove 102 is slightly longer in the external tooth 122 than in the external tooth 94. In addition, the teeth are slightly thicker. On the other hand, the tooth groove 126 is slightly shorter in dimension from the pitch circle to the root of the tooth than the tooth groove 102, and has a slightly smaller width.

【０１０３】また、これらの外歯１２２及び歯溝１２６
を介して外歯９４及び歯溝１０２とは反対側には、外歯
１２４と歯溝１２８が同軸的に形成されている。外歯１
２４と外歯１２２及び歯溝１２８と歯溝１２６は基本的
に同一の構成であるが、外歯１２２及び歯溝１２６のピ
ッチ円から歯先までの寸法が外歯１２４は外歯１２２よ
りも僅かに長く、更に歯も僅かに厚い。一方、歯溝１２
８は上記ピッチ円から歯元までの寸法が外歯１２２より
も僅かに短く、更にその幅も僅かに狭い。The external teeth 122 and the tooth spaces 126
The external teeth 124 and the tooth grooves 128 are formed coaxially on the side opposite to the external teeth 94 and the tooth grooves 102 through the. External teeth 1
24 and the external teeth 122 and the tooth groove 128 and the tooth groove 126 have basically the same configuration, but the external tooth 124 has a dimension from the pitch circle to the tooth tip of the external tooth 122 and the tooth groove 126 that is larger than that of the external tooth 122. Slightly longer and slightly thicker teeth. On the other hand, the tooth space 12
8 has a slightly shorter dimension from the pitch circle to the tooth root than the external teeth 122 and a slightly smaller width.

【０１０４】本工具電極１２０において、外歯９４及び
歯溝１０２は荒仕上げ工程用、外歯１２２及び歯溝１２
６は中仕上げ工程用、外歯１２４及び歯溝１２８は極仕
上げ工程用としてそれぞれ用いられる。具体的には、前
記第１の実施の形態に係る工具電極９０の如く本工具電
極１２０の外歯９４及び歯溝１０２でワーク２０の内周
部に内歯９８、歯溝１００（図５参照）が形成される。
このときの、放電加工の加工条件は放電電圧が比較的高
く、また、パルス幅も長い。さらに、このときの工具電
極１２０の自転速度及び公転速度も比較的早い。したが
って、外歯９４及び歯溝１０２を用いた放電加工（すな
わち、荒仕上げ工程）では、放電加工開始から終了まで
の時間が比較的短いが、放電電圧が高く、パルス幅が長
いため形成された内歯９８、歯溝１００の寸法精度が低
い。In the tool electrode 120, the external teeth 94 and the tooth grooves 102 are used for the rough finishing process, and the external teeth 122 and the tooth grooves 12 are used.
6 is used for a semi-finishing process, and the external teeth 124 and the tooth spaces 128 are used for an extremely finishing process. Specifically, like the tool electrode 90 according to the first embodiment, the internal teeth 98 and the tooth grooves 100 (see FIG. 5) are formed on the inner peripheral portion of the work 20 by the external teeth 94 and the tooth grooves 102 of the tool electrode 120. ) Is formed.
At this time, the machining conditions of the electric discharge machining are such that the discharge voltage is relatively high and the pulse width is long. Further, the rotation speed and the revolution speed of the tool electrode 120 at this time are relatively high. Therefore, in the electric discharge machining using the external teeth 94 and the tooth grooves 102 (that is, the rough finishing step), the time from the start to the end of the electric discharge machining is relatively short, but the discharge voltage is high and the pulse width is long. The dimensional accuracy of the internal teeth 98 and the tooth space 100 is low.

【０１０５】この外歯９４及び歯溝１０２を用いた荒仕
上げ工程が終了した後に、工具電極１２０は工具電極１
２０の半径方向に沿って外歯１２２及び歯溝１２６がワ
ーク２０の内周部と対向するまで上下方向サーボ機構５
２（図１１参照）によって外歯９４の歯元円Ｆの中心に
沿って上方へ引き上げられ、外歯１２２及び歯溝１２６
がワーク２０の内周部と対向した状態で、外歯１２２及
び歯溝１２６を用いた放電加工が開始される。このとき
の放電加工は、外歯９４及び歯溝１０２を用いた荒仕上
げ工程と基本的に同一である。しかしながら、荒仕上げ
工程よりも放電電圧が低く、また、パルス幅も短い。さ
らに、このときの工具電極１２０の自転速度及び公転速
度も荒仕上げ工程のときよりも遅い。したがって、外歯
１２２及び歯溝１２６を用いた放電加工（すなわち、中
仕上げ工程）では、放電加工開始から終了までの時間は
荒仕上げ工程よりも長くなるものの、再度、外歯１２２
及び歯溝１２６によって放電加工された内歯９８、歯溝
１００の寸法精度は高くなる。After the rough finishing step using the external teeth 94 and the tooth spaces 102 is completed, the tool electrode 120 is
Up and down servo mechanism 5 until the outer teeth 122 and the tooth grooves 126 face the inner periphery of the workpiece 20 along the radial direction of the workpiece 20.
2 (see FIG. 11), the external teeth 94 are pulled up along the center of the root circle F of the external teeth 94, and the external teeth 122 and the tooth grooves 126 are formed.
The electric discharge machining using the external teeth 122 and the tooth grooves 126 is started in a state in which the... The electric discharge machining at this time is basically the same as the rough finishing step using the external teeth 94 and the tooth spaces 102. However, the discharge voltage is lower than in the rough finishing step, and the pulse width is shorter. Furthermore, the rotation speed and the revolution speed of the tool electrode 120 at this time are also slower than in the rough finishing step. Therefore, in the electric discharge machining using the external teeth 122 and the tooth grooves 126 (that is, the semi-finishing process), although the time from the start to the end of the electric discharge machining is longer than that in the rough finishing process, the external teeth 122 are again used.
In addition, the dimensional accuracy of the internal teeth 98 and the tooth spaces 100 subjected to electric discharge machining by the tooth spaces 126 is increased.

【０１０６】さらに、この外歯１２２及び歯溝１２６を
用いた中仕上げ工程が終了した後に、工具電極１２０は
工具電極１２０の半径方向に沿って外歯１２４及び歯溝
１２８がワーク２０の内周部と対向するまで上下方向サ
ーボ機構５２によって外歯９４の歯元円Ｆの中心に沿っ
て上方へ引き上げられ、外歯１２４及び歯溝１２８がワ
ーク２０の内周部と対向した状態で、外歯１２４及び歯
溝１２８を用いた放電加工が開始される。このときの放
電加工は、外歯１２２及び歯溝１２６を用いた中仕上げ
工程と基本的に同一である。しかしながら、中仕上げ工
程よりも放電電圧が低く、また、パルス幅も短い。さら
に、このときの工具電極１２０の自転速度及び公転速度
も中仕上げ工程のときよりも遅い。したがって、外歯１
２４及び歯溝１２８を用いた放電加工（すなわち、極仕
上げ工程）では、放電加工開始から終了までの時間は中
仕上げ工程よりも長くなるものの、外歯１２４及び歯溝
１２８によって再度放電加工することによって、内歯９
８、歯溝１００は所定の寸法精度に精密加工される。Further, after the semi-finishing process using the external teeth 122 and the tooth grooves 126 is completed, the external teeth 124 and the tooth grooves 128 are formed along the radial direction of the tool electrode 120 so that the inner periphery of the workpiece 20 is formed. The outer teeth 124 and the tooth grooves 128 are pulled up along the center of the root circle F of the external teeth 94 by the vertical servo mechanism 52 until the external teeth 124 face the inner peripheral part of the work 20 until the external teeth 94 face the inner part of the work 20. Electric discharge machining using the teeth 124 and the tooth grooves 128 is started. The electric discharge machining at this time is basically the same as the semi-finishing process using the external teeth 122 and the tooth grooves 126. However, the discharge voltage is lower and the pulse width is shorter than in the semi-finishing process. Further, the rotation speed and the revolution speed of the tool electrode 120 at this time are also lower than those in the semi-finishing process. Therefore, external teeth 1
In the electric discharge machining using the 24 and the tooth groove 128 (that is, the extreme finishing step), although the time from the start to the end of the electric discharge machining is longer than that in the medium finishing step, the electric discharge machining is performed again by the external teeth 124 and the tooth groove 128. By internal teeth 9
8. The tooth space 100 is precisely machined to a predetermined dimensional accuracy.

【０１０７】このように、本工具電極１２０を用いた場
合には、上述した荒仕上げ工程、中仕上げ工程、極仕上
げ工程の３工程を要するが、荒仕上げ工程にて大まかに
内歯９８及び歯溝１００を形成し、工程を進める毎に寸
法精度を上げて精密加工するため、最初から極仕上げ工
程と同様の放電加工を行った場合と比べると結果的に上
記３工程を経る方が短時間で仕上がる。As described above, when the present tool electrode 120 is used, the above-described three steps of the rough finishing step, the medium finishing step, and the extreme finishing step are required. As a result of forming the groove 100 and performing precision machining with an increase in dimensional accuracy each time the process is performed, it is shorter to go through the above three processes as a result as compared with the case where the electric discharge machining similar to the pole finishing process is performed from the beginning. Finished with.

【０１０８】なお、このような複数の工程を経る方法は
従来の一般的な型彫り放電加工においても行われてい
た。しかしながら、従来の一般的な型彫り放電加工で
は、工程毎に別個の工具電極を用意しておき工程毎に工
具電極を交換していた。このような従来の方法では、当
然、工程毎に工具電極を交換する手間がかかる。しか
も、交換前の工具電極の位置に応じて工具電極を交換し
なければ、加工精度が低下するため微妙な位置決めを要
する。Incidentally, such a method of passing through a plurality of steps has also been performed in conventional general die-sinking electric discharge machining. However, in the conventional general die-sinking electric discharge machining, a separate tool electrode is prepared for each process, and the tool electrode is exchanged for each process. In such a conventional method, it naturally takes time to exchange the tool electrode for each process. Moreover, if the tool electrode is not replaced according to the position of the tool electrode before replacement, machining accuracy is reduced, so that fine positioning is required.

【０１０９】しかしながら、本工具電極１２０では、外
歯９４及び歯溝１０２、外歯１２２及び歯溝１２６、外
歯１２４及び歯溝１２８が同軸的に設けられているた
め、荒仕上げ工程、或いは中仕上げ工程が終了した際に
は、外歯９４の歯元円Ｆの中心に沿って工具電極１２０
を移動させればよく、歯元円Ｆの半径方向に沿って工具
電極１２０を移動させることはない。However, in the tool electrode 120, since the external teeth 94 and the tooth grooves 102, the external teeth 122 and the tooth grooves 126, and the external teeth 124 and the tooth grooves 128 are provided coaxially, the rough finishing step or the middle step is performed. When the finishing step is completed, the tool electrode 120 is moved along the center of the root circle F of the external teeth 94.
Is moved, and the tool electrode 120 does not move along the radial direction of the root circle F.

【０１１０】このように、工程が変わる際の工具電極１
２０の移動が一次元的な移動ですむため歯元円Ｆの半径
方向に沿った方向の位置決めは不要であり、位置決めが
容易となる。しかも、工程が変わる際に歯元円Ｆの半径
方向に沿って工具電極１２０が移動しないため、加工精
度は非常に高いものとなる。さらには、荒仕上げ工程か
ら極仕上げ工程までを１つの工具電極１２０で行うため
電極交換の必要がないため、全工程に必要な総合的な加
工時間を短縮できる。また、例えば、前記第１の実施の
形態の如く、数値制御式の放電加工装置１０を使用した
場合には、工程が変わる際の工具電極１２０の移動も含
めて制御できる。したがって、荒仕上げ工程の開始時か
ら極仕上げ工程の終了時までの全工程を自動化でき、省
力化を図ることもできる。As described above, when the process is changed, the tool electrode 1
Since the movement of 20 is only a one-dimensional movement, positioning in the direction along the radial direction of the root circle F is unnecessary, and positioning is facilitated. Moreover, since the tool electrode 120 does not move in the radial direction of the root circle F when the process is changed, the machining accuracy is extremely high. Furthermore, since the rough finishing step to the extreme finishing step are performed with one tool electrode 120, there is no need for electrode replacement, so that the overall machining time required for all steps can be reduced. Further, for example, when the numerically controlled electric discharge machine 10 is used as in the first embodiment, control can be performed including movement of the tool electrode 120 when the process is changed. Therefore, all steps from the start of the rough finishing step to the end of the extreme finishing step can be automated, and labor can be saved.

【０１１１】なお、本実施の形態では、上述した３工程
を経ることから３組の外歯９４、１２２、１２４及び歯
溝１０２、１２６、１２８を設けた構成であったが、当
然のことながら、工程数が変われば外歯及び歯溝は工程
数に応じた組数となる。In the present embodiment, three sets of external teeth 94, 122, and 124 and tooth spaces 102, 126, and 128 are provided since the above-described three steps are performed. If the number of steps changes, the number of sets of external teeth and tooth spaces will be in accordance with the number of steps.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】本発明の一実施の形態に係る内歯成形方法の工
程を示す図で、工具電極をワークの孔の中心に配置した
状態を示す図である。FIG. 1 is a view showing steps of an internal tooth forming method according to an embodiment of the present invention, and is a view showing a state where a tool electrode is arranged at the center of a hole of a work.

【図２】図１の状態から工具電極のカット部をワークの
孔の内周部へ接近させた状態を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing a state in which a cut portion of a tool electrode is brought closer to an inner peripheral portion of a hole of a work from the state of FIG.

【図３】図２の状態から工具電極が公転及び自転して放
電加工が開始された状態を示す図である。FIG. 3 is a view showing a state in which the tool electrode has revolved and rotated from the state shown in FIG. 2 to start electric discharge machining.

【図４】工具電極の１周目の自転が終了してカット部が
孔の内周部へ接近、対向した状態を示す図である。FIG. 4 is a view showing a state in which the rotation of the tool electrode in the first rotation is completed, and the cut portion approaches and faces the inner peripheral portion of the hole.

【図５】内歯の形成が終了した状態を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing a state in which formation of internal teeth has been completed.

【図６】図１の６−６線に沿った工具電極の断面図であ
る。FIG. 6 is a sectional view of the tool electrode taken along line 6-6 in FIG. 1;

【図７】図５の７−７線に沿った内歯歯車（ウオームホ
イール成形用金型）の拡大断面図である。7 is an enlarged cross-sectional view of the internal gear (worm wheel forming mold) taken along line 7-7 in FIG.

【図８】放電加工装置の外観を示す斜視図である。FIG. 8 is a perspective view showing the appearance of the electric discharge machine.

【図９】放電加工装置の左右方向の駆動機構を示すため
の放電加工装置の背面側からの概略図である。FIG. 9 is a schematic view from the rear side of the electric discharge machine for showing a driving mechanism of the electric discharge machine in the left-right direction.

【図１０】放電加工装置の駆動機構を示すための放電加
工装置の上方側からの概略図である。FIG. 10 is a schematic view from above of the electric discharge machine for showing a drive mechanism of the electric discharge machine.

【図１１】放電加工装置の駆動機構を示すための放電加
工装置の正面側からの概略図である。FIG. 11 is a schematic view from the front side of the electric discharge machine for showing a driving mechanism of the electric discharge machine.

【図１２】本発明の第２の実施の形態に係る工具電極の
平面図である。FIG. 12 is a plan view of a tool electrode according to a second embodiment of the present invention.

【図１３】図１２の１３−１３線に沿った断面図であ
る。FIG. 13 is a sectional view taken along the line 13-13 in FIG. 12;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

２０ ワーク ９０ 工具電極 ９４ 外歯 ９６ 円孔（孔） ９８ 内歯 １０２ 歯溝 １０４ カット部 １１０ ウオームホイール成形用金型（内歯歯車） １２０ 工具電極 １２２ 外歯 １２４ 外歯 Ｄ ピッチ円 Ｅ ピッチ円 Ｆ 歯元円 20 Work 90 Tool electrode 94 External Teeth 96 circular holes (holes) 98 Internal teeth 102 tooth space 104 Cut part 110 Worm Wheel Mold (Internal Gear) 120 Tool electrode 122 external teeth 124 external teeth D pitch circle E pitch circle F root circle

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B23H 9/00 B23F 17/00 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (58) Field surveyed (Int. Cl. ⁷ , DB name) B23H 9/00 B23F 17/00

Claims (9)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項１】 ワークに形成された孔の内周部に内歯を
形成するための内歯形成方法であって、 歯先円径寸法が前記孔の内径寸法よりも小さく、ピッチ
円の円周長の非整数倍が前記内歯のピッチ円の円周長と
なる外歯が外周一部に形成されると共に、前記外周一部
以外の外周部が当該外周部から中心までの寸法が前記外
歯の歯元円半径寸法以下のカット部とされた工具電極を
用い、 前記孔の内側で前記孔の内周部と前記工具電極の外周部
とが互いに対向する位置に前記工具電極を配置すると共
に、前記工具電極の外歯の歯元円の一部が前記孔の内周
部とラップする位置まで前記工具電極のカット部を接近
させ、 前記内歯のピッチ円に対して前記外歯のピッチ円が滑り
接触する条件の元で前記工具電極を前記孔の中心周りに
公転させると共に前記工具電極を前記歯元円の中心周り
に自転させ、 前記孔の内周部へ接近した前記工具電極の外歯と前記孔
の内周部との間で放電させて前記孔の内周部に内歯を形
成する、 ことを特徴とする内歯形成方法。An internal tooth forming method for forming internal teeth on an inner peripheral portion of a hole formed in a workpiece, wherein a diameter of a tooth tip circle is smaller than an inner diameter of the hole, and a pitch circle is formed. External teeth whose non-integer multiple of the circumferential length is the circumferential length of the pitch circle of the internal teeth are formed on the outer peripheral part, and the outer peripheral part other than the outer peripheral part has a dimension from the outer peripheral part to the center. Using a tool electrode that is a cut portion that is equal to or less than the root radius of the external teeth, disposing the tool electrode at a position where the inner peripheral portion of the hole and the outer peripheral portion of the tool electrode face each other inside the hole. And at the same time, close the cut portion of the tool electrode to a position where a part of the root circle of the external teeth of the tool electrode overlaps with the inner peripheral portion of the hole. The tool electrode revolves around the center of the hole under the condition that the pitch circle of Rotating the tool electrode around the center of the root circle, discharging between the outer teeth of the tool electrode approaching the inner periphery of the hole and the inner periphery of the hole, and causing the inner periphery of the hole to discharge. Forming internal teeth on the internal teeth. 【請求項２】 前記外歯の先端部及び歯溝の底部の少な
くとも何れか一方が前記工具電極の回転軸方向に沿って
湾曲し、当該湾曲部分が前記歯元円の半径方向外側へ向
けて開口した凹形状とされた前記工具電極を用いること
を特徴とする請求項１記載の内歯形成方法。2. A method according to claim 1, wherein at least one of a tip of said external tooth and a bottom of said tooth groove is curved along a rotation axis direction of said tool electrode, and said curved portion is directed outward in a radial direction of said tooth root circle. The internal tooth forming method according to claim 1, wherein the tool electrode having an open concave shape is used. 【請求項３】 前記工具電極には各々の歯元円が同軸と
された複数の外歯が一体形成され、前記工具電極を前記
歯元円の中心に沿って変位させて前記複数の外歯のうち
の何れかの外周部を前記孔の内周部と対向させることを
特徴とする請求項１又は請求項２記載の内歯形成方法。3. A plurality of external teeth each having a root circle coaxial with the tool electrode are integrally formed, and the plurality of external teeth are displaced along the center of the root circle. The method according to claim 1 or 2, wherein an outer peripheral portion of any one of the above (1) and (2) is opposed to an inner peripheral portion of the hole. 【請求項４】 ワークに形成された孔の内側に、歯先円
径寸法が前記孔の内径寸法よりも小さく、ピッチ円の円
周長の非整数倍が前記孔の内周部に形成された内歯のピ
ッチ円の円周長となる外歯が外周一部に形成されると共
に、前記外周一部以外の外周部が当該外周部から中心ま
での寸法が前記外歯の歯元円半径寸法以下のカット部と
された工具電極を配置し、 前記工具電極の外歯の歯元円の一部が前記孔の内周部と
ラップする位置まで前記工具電極のカット部を接近さ
せ、 形成する内歯のピッチ円に対して前記外歯のピッチ円が
滑り接触する条件の元で前記工具電極を前記孔の中心周
りに公転させると共に前記工具電極を前記歯元円の中心
周りに自転させ、 前記孔の内周部へ接近した前記工具電極の外歯と前記孔
の内周部との間で放電させる、 ことにより内歯が形成された内歯歯車。4. Inside the hole formed in the work, the tip tip circle diameter is smaller than the inner diameter of the hole, and a non-integer multiple of the circumference of the pitch circle is formed in the inner periphery of the hole. The outer teeth having the circumferential length of the pitch circle of the inner teeth are formed on a part of the outer periphery, and the outer peripheral part other than the part of the outer periphery has a dimension from the outer peripheral part to the center of the outer tooth root radius. Arranging a tool electrode having a cut portion smaller than the dimension, bringing the cut portion of the tool electrode close to a position where a part of the root circle of the external teeth of the tool electrode overlaps the inner peripheral portion of the hole, forming The tool electrode revolves around the center of the hole and the tool electrode revolves around the center of the root circle under the condition that the pitch circle of the outer teeth slides against the pitch circle of the internal teeth. Discharging between the outer teeth of the tool electrode approaching the inner periphery of the hole and the inner periphery of the hole; The internal gear is formed with internal teeth. 【請求項５】 前記外歯の先端部及び歯溝の底部の少な
くとも何れか一方が前記工具電極の回転軸方向に沿って
湾曲し、当該湾曲部分が前記工具電極の半径方向外側へ
向けて開口した凹形状とされた前記工具電極によって形
成されたことを特徴とする請求項４記載の内歯歯車。5. A method according to claim 1, wherein at least one of a tip portion of said external teeth and a bottom portion of said tooth groove is curved along a rotation axis direction of said tool electrode, and said curved portion is opened outward in a radial direction of said tool electrode. The internal gear according to claim 4, wherein the internal gear is formed by the tool electrode having a concave shape. 【請求項６】 各々の歯元円が同軸とされて一体とされ
た複数の外歯を有する前記工具電極を用い、外歯の変更
の際には前記工具電極を前記歯元円の中心に沿って移動
させることにより形成されたことを特徴とする請求項４
又は請求項５記載の内歯歯車。6. A tool electrode having a plurality of external teeth in which each root circle is coaxial and integrated, and when changing the external teeth, the tool electrode is centered on the root circle. 5. The device according to claim 4, wherein the member is formed by moving along.
Or the internal gear according to claim 5. 【請求項７】 ワークに形成された孔の内周部に放電加
工により内歯を形成するための内歯形成用工具電極であ
って、 外周一部に形成され、歯先円径寸法が前記孔の内径寸法
よりも小さく、且つ、ピッチ円の円周長の非整数倍が形
成する前記内歯のピッチ円の円周長となるように設定さ
れた外歯と、 前記外周一部以外の外周部に形成され、当該外周部から
中心までの寸法が前記外歯の歯元円半径寸法以下とされ
たカット部と、 を備えることを特徴とする内歯形成用工具電極。7. An internal tooth forming tool electrode for forming internal teeth by electric discharge machining in an inner peripheral portion of a hole formed in a workpiece, wherein the electrode electrode is formed on a part of an outer peripheral portion and has a tip tip circular diameter. Outer teeth smaller than the inner diameter of the hole, and set to be the circumference of the pitch circle of the inner teeth formed by a non-integer multiple of the circumference of the pitch circle, And a cut portion formed on an outer peripheral portion and having a dimension from the outer peripheral portion to the center set to be equal to or less than a root radius of the external teeth. 【請求項８】 前記外歯の先端部及び歯溝の底部の少な
くとも何れか一方が軸方向に沿って湾曲し、当該湾曲部
分が前記歯元円の半径方向外側へ向けて開口した凹形状
とされたことを特徴とする請求項７記載の内歯形成用工
具電極。8. A concave shape in which at least one of a tip portion of the external teeth and a bottom portion of a tooth groove is curved along an axial direction, and the curved portion is opened outward in a radial direction of the root circle. The tool electrode for forming internal teeth according to claim 7, wherein the tool electrode is formed. 【請求項９】 各々の歯元円が同軸とされて一体とされ
た複数の前記外歯を備えることを特徴とする請求項７又
は請求項８記載の内歯形成用工具電極。9. The tool electrode for forming an internal tooth according to claim 7, wherein each tooth root circle includes a plurality of the external teeth which are coaxial and integrated.