JP3532133B2 - ワークテーブル装置 - Google Patents
ワークテーブル装置Info
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- JP3532133B2 JP3532133B2 JP35014699A JP35014699A JP3532133B2 JP 3532133 B2 JP3532133 B2 JP 3532133B2 JP 35014699 A JP35014699 A JP 35014699A JP 35014699 A JP35014699 A JP 35014699A JP 3532133 B2 JP3532133 B2 JP 3532133B2
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- Japan
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- slider
- guide
- static pressure
- ball screw
- guide rail
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- Transmission Devices (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
- Bearings For Parts Moving Linearly (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、ワークを直線移
動させることが可能なワークテーブル装置に関するもの
である。
動させることが可能なワークテーブル装置に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術および発明が解決しようとする課題】一般
に、この種のワークテーブル装置として、例えば、テー
ブルをボールネジとナットとからなる直線移動機構を介
して駆動することで、テーブルに支持されたワークを直
線移動させ得る構成のものが存在する。
に、この種のワークテーブル装置として、例えば、テー
ブルをボールネジとナットとからなる直線移動機構を介
して駆動することで、テーブルに支持されたワークを直
線移動させ得る構成のものが存在する。
【０００３】従って、ボールネジの回転力がテーブルに
伝達されると、テーブルが傾斜方向に移動し、ワークの
加工精度が低下する問題が生じていた。この問題を解決
するには、ボールネジとナットとの間に静圧流体を介在
させて、ボールネジの回転による変位が吸収されるよう
にすれば良い。しかし、この構成では、ボールネジとナ
ットとの間の螺旋部に加圧流体を供給する装置が必要で
あること等から、コスト高となる新たな問題が生じてい
た。また、テーブルのナット部分を分離させてもよい
が、このようにすると、テーブルと分離部分とが上下に
積層されて、分離部分のためのガイドレールも必要とな
り、構成が複雑かつ大きくなってしまうという問題があ
った。
伝達されると、テーブルが傾斜方向に移動し、ワークの
加工精度が低下する問題が生じていた。この問題を解決
するには、ボールネジとナットとの間に静圧流体を介在
させて、ボールネジの回転による変位が吸収されるよう
にすれば良い。しかし、この構成では、ボールネジとナ
ットとの間の螺旋部に加圧流体を供給する装置が必要で
あること等から、コスト高となる新たな問題が生じてい
た。また、テーブルのナット部分を分離させてもよい
が、このようにすると、テーブルと分離部分とが上下に
積層されて、分離部分のためのガイドレールも必要とな
り、構成が複雑かつ大きくなってしまうという問題があ
った。
【０００４】本発明は、上記従来技術に存在する問題点
に着目してなされたものであって、その目的は、テーブ
ルの傾斜を防止できるとともに、コンパクトなワークテ
ーブル装置を安価に提供することにある。
に着目してなされたものであって、その目的は、テーブ
ルの傾斜を防止できるとともに、コンパクトなワークテ
ーブル装置を安価に提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、請求項１に記載の発明は、前記連結部に、加圧さ
れた加工液を介して、テーブルをスライダに対して浮遊
させた状態でスライダとテーブルとを連結する静圧部を
設け、これら連結されたスライダとテーブルとを前記基
台に設けられる同一のガイドレールによって該ガイドレ
ールの延在方向に沿って直線移動可能に支持することを
要旨としている。
めに、請求項１に記載の発明は、前記連結部に、加圧さ
れた加工液を介して、テーブルをスライダに対して浮遊
させた状態でスライダとテーブルとを連結する静圧部を
設け、これら連結されたスライダとテーブルとを前記基
台に設けられる同一のガイドレールによって該ガイドレ
ールの延在方向に沿って直線移動可能に支持することを
要旨としている。
【０００６】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
の発明において、前記ガイドレールは、横断面「コ」字
状であって、同じく横断面「コ」字状をなす他方のガイ
ドレールと互いの開口が対向した状態で所定間隔を以っ
て平行に敷設されてなり、前記スライダおよびテーブル
には、それぞれ前記ガイドレールの開口形状に対応する
ガイド凸部が設けられ、該ガイド凸部を通じて供給され
る加圧された加工液を介して各々が前記ガイドレールに
対して浮遊された状態で支持されることを要旨としてい
る。
の発明において、前記ガイドレールは、横断面「コ」字
状であって、同じく横断面「コ」字状をなす他方のガイ
ドレールと互いの開口が対向した状態で所定間隔を以っ
て平行に敷設されてなり、前記スライダおよびテーブル
には、それぞれ前記ガイドレールの開口形状に対応する
ガイド凸部が設けられ、該ガイド凸部を通じて供給され
る加圧された加工液を介して各々が前記ガイドレールに
対して浮遊された状態で支持されることを要旨としてい
る。
【０００７】（作用）
請求項１に記載の発明によれば、スライダの動きが静圧
部を介してテーブルに伝達される。従って、例えば、ボ
ールネジの始動・停止時の衝撃や、ボールネジの振動等
を静圧流体で吸収できる。また、ボールネジの回転によ
るスライダの傾斜が抵抗なくおこなわれ、その傾斜運動
がテーブルに伝達されるのを確実に防止できることか
ら、高精度加工が可能になる。また、スライダとテーブ
ルとを基台に設けられる同一のガイドレールで支持する
構造により、ワークテーブル装置の高さを低く抑え、ワ
ークテーブル装置全体をコンパクトにでき、かつ、安価
に提供することが可能になる。
部を介してテーブルに伝達される。従って、例えば、ボ
ールネジの始動・停止時の衝撃や、ボールネジの振動等
を静圧流体で吸収できる。また、ボールネジの回転によ
るスライダの傾斜が抵抗なくおこなわれ、その傾斜運動
がテーブルに伝達されるのを確実に防止できることか
ら、高精度加工が可能になる。また、スライダとテーブ
ルとを基台に設けられる同一のガイドレールで支持する
構造により、ワークテーブル装置の高さを低く抑え、ワ
ークテーブル装置全体をコンパクトにでき、かつ、安価
に提供することが可能になる。
【０００８】請求項２に記載の発明によれば、スライダ
およびテーブルは、ガイド凸部を通じて供給される加圧
された加工液を介して同一のガイドレール内を円滑に案
内される。
およびテーブルは、ガイド凸部を通じて供給される加圧
された加工液を介して同一のガイドレール内を円滑に案
内される。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明を具体化した一実施
の形態について説明する。図１は、本実施の形態のワー
クテーブル装置１１を備えた、加工機としての研削機を
示す。研削機は砥石車１２を備え、砥石車１２の回転駆
動によりワークＷの研削加工を行う。ワークテーブル装
置１１は研削機の基台１３に組み込まれ、研削加工に供
されるワークＷを支持する。クランプ機構１４がテーブ
ル２２の上面に載置され、それらの間にワークＷが狭持
される。ワークテーブル装置１１は、研削加工中にワー
クＷを図面左右方向に往復直線移動させる。
の形態について説明する。図１は、本実施の形態のワー
クテーブル装置１１を備えた、加工機としての研削機を
示す。研削機は砥石車１２を備え、砥石車１２の回転駆
動によりワークＷの研削加工を行う。ワークテーブル装
置１１は研削機の基台１３に組み込まれ、研削加工に供
されるワークＷを支持する。クランプ機構１４がテーブ
ル２２の上面に載置され、それらの間にワークＷが狭持
される。ワークテーブル装置１１は、研削加工中にワー
クＷを図面左右方向に往復直線移動させる。
【００１０】前記ワークテーブル装置１１について、図
１〜図４に従って詳述すると、一対のガイドレール２１
は、水平面である基台１３の上面１３ａに所定間隔を以
って平行に敷設されている。ガイドレール２１は横断面
「コ」字状をなし、他方のガイドレール２１に対して開
口を対向させた状態で配置されている。
１〜図４に従って詳述すると、一対のガイドレール２１
は、水平面である基台１３の上面１３ａに所定間隔を以
って平行に敷設されている。ガイドレール２１は横断面
「コ」字状をなし、他方のガイドレール２１に対して開
口を対向させた状態で配置されている。
【００１１】図１および図２に示すように、テーブル２
２は基台１３の上面１３ａに配置される。一対のテーブ
ル用ガイド凸部２３は、テーブル２２のガイドレール２
１に対向する両側面の下部に形成され、テーブル２２の
長手方向に延在されている。テーブル用ガイド凸部２３
は、対向するガイドレール２１内に入り込んでいる。テ
ーブル２２はテーブル用ガイド凸部２３を以ってガイド
レール２１に支持され、テーブル用ガイド凸部２３がガ
イドレール２１により案内されることで、さらに詳述す
れば、テーブル用ガイド凸部２３側の案内面である上面
２３ａ、側面２３ｂ及び下面２３ｃが、それぞれ対向す
るガイドレール２１側の案内面である上面２１ａ、側面
２１ｂ及び下面２１ｃに案内されることで、ガイドレー
ル２１の延在方向に沿って直線移動可能である。
２は基台１３の上面１３ａに配置される。一対のテーブ
ル用ガイド凸部２３は、テーブル２２のガイドレール２
１に対向する両側面の下部に形成され、テーブル２２の
長手方向に延在されている。テーブル用ガイド凸部２３
は、対向するガイドレール２１内に入り込んでいる。テ
ーブル２２はテーブル用ガイド凸部２３を以ってガイド
レール２１に支持され、テーブル用ガイド凸部２３がガ
イドレール２１により案内されることで、さらに詳述す
れば、テーブル用ガイド凸部２３側の案内面である上面
２３ａ、側面２３ｂ及び下面２３ｃが、それぞれ対向す
るガイドレール２１側の案内面である上面２１ａ、側面
２１ｂ及び下面２１ｃに案内されることで、ガイドレー
ル２１の延在方向に沿って直線移動可能である。
【００１２】図１および図３に示すように、スライダ２
４は、テーブル２２の下方に配置されている。スライダ
２４には、ナットとしてのネジ孔２４ａが貫設されてい
る。また、テーブル２２の前後両側において、スライダ
上部には前記テーブル用ガイド凸部２３が案内されると
同一のガイドレール２１内に入り込むスライダ用ガイド
凸部２５が突設される。さらに、その上方は連結部２６
となっている。スライダ用ガイド凸部２５側の案内面で
ある上面２５ａ、側面２５ｂ及び下面２５ｃが、それぞ
れ対向するガイドレール２１側の案内面である上面２１
ａ、側面２１ｂ及び下面２１ｃに案内されることで、ガ
イドレール２１の延在方向に沿って直線移動可能であ
る。
４は、テーブル２２の下方に配置されている。スライダ
２４には、ナットとしてのネジ孔２４ａが貫設されてい
る。また、テーブル２２の前後両側において、スライダ
上部には前記テーブル用ガイド凸部２３が案内されると
同一のガイドレール２１内に入り込むスライダ用ガイド
凸部２５が突設される。さらに、その上方は連結部２６
となっている。スライダ用ガイド凸部２５側の案内面で
ある上面２５ａ、側面２５ｂ及び下面２５ｃが、それぞ
れ対向するガイドレール２１側の案内面である上面２１
ａ、側面２１ｂ及び下面２１ｃに案内されることで、ガ
イドレール２１の延在方向に沿って直線移動可能であ
る。
【００１３】図４に示すように、連結部２６に設けられ
る静圧部２７は、テーブル２２に設けられる静圧凸部２
８と、スライダ２４に設けられる静圧凹部２９とにより
構成される。静圧凸部２８は、テーブル２２の移動方向
と直交方向のテーブル２２側縁に沿って下方に鈎形に形
成されている。静圧凹部２９は、スライダ２４の上部で
テーブル２２の移動方向と直交方向へ前記静圧凸部２８
と対応して延設される。そして、テーブル２２に設けら
れる静圧凸部２８が静圧凹部２９に嵌合される。
る静圧部２７は、テーブル２２に設けられる静圧凸部２
８と、スライダ２４に設けられる静圧凹部２９とにより
構成される。静圧凸部２８は、テーブル２２の移動方向
と直交方向のテーブル２２側縁に沿って下方に鈎形に形
成されている。静圧凹部２９は、スライダ２４の上部で
テーブル２２の移動方向と直交方向へ前記静圧凸部２８
と対応して延設される。そして、テーブル２２に設けら
れる静圧凸部２８が静圧凹部２９に嵌合される。
【００１４】ボールネジ３０は、基台１３に回転可能に
支持され、テーブル２２の移動方向に延在されている。
ボールネジ３０は、前記スライダ２４のナットとしての
ネジ孔２４ａに螺通されている。これらボールネジ３０
とネジ孔２４ａとにより直線移動機構が構成される。駆
動手段としてのモータ３１は基台１３の外側方に配設さ
れ、ボールネジ３０を正逆方向へ回転駆動する。従っ
て、スライダ２４は、ボールネジ３０が正逆方向へ回転
駆動されることで往復直線移動される。
支持され、テーブル２２の移動方向に延在されている。
ボールネジ３０は、前記スライダ２４のナットとしての
ネジ孔２４ａに螺通されている。これらボールネジ３０
とネジ孔２４ａとにより直線移動機構が構成される。駆
動手段としてのモータ３１は基台１３の外側方に配設さ
れ、ボールネジ３０を正逆方向へ回転駆動する。従っ
て、スライダ２４は、ボールネジ３０が正逆方向へ回転
駆動されることで往復直線移動される。
【００１５】静圧ポケット３２は、各テーブル用ガイド
凸部２３の上面２３ａ、側面２３ｂおよび下面２３ｃに
おいて、テーブル用ガイド凸部２３の延在方向に所定間
隔で複数が設けられている。静圧ポケット３３は、各ス
ライダ用ガイド凸部２５の上面２５ａ、側面２５ｂおよ
び下面２５ｃにおいて、スライダ用ガイド凸部２５の延
在方向に所定間隔で複数が設けられている。静圧ポケッ
ト３４は、静圧部２７の静圧凸部２８を構成する各面
（３面）において、それぞれ所定間隔で複数が設けられ
ている。
凸部２３の上面２３ａ、側面２３ｂおよび下面２３ｃに
おいて、テーブル用ガイド凸部２３の延在方向に所定間
隔で複数が設けられている。静圧ポケット３３は、各ス
ライダ用ガイド凸部２５の上面２５ａ、側面２５ｂおよ
び下面２５ｃにおいて、スライダ用ガイド凸部２５の延
在方向に所定間隔で複数が設けられている。静圧ポケッ
ト３４は、静圧部２７の静圧凸部２８を構成する各面
（３面）において、それぞれ所定間隔で複数が設けられ
ている。
【００１６】ポンプ３５はテーブル２２に内蔵されてお
り、吐出管路３５ａを介して各静圧ポケット３２，３
３，３４に接続され、加工液を加圧して各静圧ポケット
３２，３３，３４に供給する。
り、吐出管路３５ａを介して各静圧ポケット３２，３
３，３４に接続され、加工液を加圧して各静圧ポケット
３２，３３，３４に供給する。
【００１７】加圧された加工液を、テーブル用ガイド凸
部２３の各静圧ポケット３２、およびスライダ用ガイド
凸部２５の各静圧ポケット３３に供給することで、対面
する各間に静圧液体薄膜が形成され、テーブル２２およ
びスライダ２４が同一のガイドレール２１に対して浮遊
される。同様に、加圧された加工液を、静圧凸部２８の
各静圧ポケット３４に供給することで、静圧凸部２８を
構成する各面（３面）と静圧凹部２９を構成する各面
（３面）との各間に静圧液体薄膜が形成され、テーブル
２２がスライダ２４に対して浮遊される。
部２３の各静圧ポケット３２、およびスライダ用ガイド
凸部２５の各静圧ポケット３３に供給することで、対面
する各間に静圧液体薄膜が形成され、テーブル２２およ
びスライダ２４が同一のガイドレール２１に対して浮遊
される。同様に、加圧された加工液を、静圧凸部２８の
各静圧ポケット３４に供給することで、静圧凸部２８を
構成する各面（３面）と静圧凹部２９を構成する各面
（３面）との各間に静圧液体薄膜が形成され、テーブル
２２がスライダ２４に対して浮遊される。
【００１８】さて、回転するボールネジ３０により、ス
ライダ２４には傾斜方向への力が作用する。しかし、テ
ーブル２２は、連結部２６を介してボールネジ３０の延
長方向と直交する方向に相対移動可能にスライダ２４に
対して静圧受けされている。従って、ボールネジ３０か
ら伝達されるスライダ２４の傾斜は、静圧凸部２８，静
圧凹部２９間の静圧部２７で吸収され、テーブル２２に
伝達されることはない。その結果、ワークＷを精度よく
加工することができる。
ライダ２４には傾斜方向への力が作用する。しかし、テ
ーブル２２は、連結部２６を介してボールネジ３０の延
長方向と直交する方向に相対移動可能にスライダ２４に
対して静圧受けされている。従って、ボールネジ３０か
ら伝達されるスライダ２４の傾斜は、静圧凸部２８，静
圧凹部２９間の静圧部２７で吸収され、テーブル２２に
伝達されることはない。その結果、ワークＷを精度よく
加工することができる。
【００１９】上記構成の本実施形態においては、次のよ
うな効果を奏する。 （１） ボールネジ３０から伝達されるスライダ２４の
傾斜は、静圧凸部２８，静圧凹部２９間の静圧部２７で
吸収され、テーブル２２の傾斜を抑えて高精度加工を実
現できる。また、テーブル２２とスライダ２４とは同一
のガイドレール２１に案内される。従って、ワークテー
ブル装置の高さを低く抑えることができ、ワークテーブ
ル装置１１全体をコンパクト化することができるととも
に、ガイド機構が簡素化される。
うな効果を奏する。 （１） ボールネジ３０から伝達されるスライダ２４の
傾斜は、静圧凸部２８，静圧凹部２９間の静圧部２７で
吸収され、テーブル２２の傾斜を抑えて高精度加工を実
現できる。また、テーブル２２とスライダ２４とは同一
のガイドレール２１に案内される。従って、ワークテー
ブル装置の高さを低く抑えることができ、ワークテーブ
ル装置１１全体をコンパクト化することができるととも
に、ガイド機構が簡素化される。
【００２０】（２） テーブル２２およびスライダ２４
は、連結部２６において静圧部２７を介して連結される
とともに、同一のガイドレール２１に案内される。従っ
て、テーブル２２の直線移動がスムーズになるととも
に、前記と同様に構成が簡素化される。
は、連結部２６において静圧部２７を介して連結される
とともに、同一のガイドレール２１に案内される。従っ
て、テーブル２２の直線移動がスムーズになるととも
に、前記と同様に構成が簡素化される。
【００２１】（３） スライダ２４の動きが静圧部２７
を介してテーブル２２に伝達されるため、例えば、ボー
ルネジ３０の始動・停止時の衝撃や、ボールネジ３０の
振動等を静圧流体で吸収できる。また、ボールネジ３０
の回転によるスライダ２４の傾斜が抵抗なくおこなわ
れ、その傾斜運動がテーブル２２に伝達されるのを確実
に防止できる。
を介してテーブル２２に伝達されるため、例えば、ボー
ルネジ３０の始動・停止時の衝撃や、ボールネジ３０の
振動等を静圧流体で吸収できる。また、ボールネジ３０
の回転によるスライダ２４の傾斜が抵抗なくおこなわ
れ、その傾斜運動がテーブル２２に伝達されるのを確実
に防止できる。
【００２２】なお、本発明の趣旨から逸脱しない範囲
で、以下の態様でも実施できる。 ・ 上記実施の形態において、ボールネジ３０を基台１
３に固定して回転不能とし、スライダ２４のナット（２
４ａ）部分を回転駆動することで、スライダ２４を直線
移動させるように構成すること。
で、以下の態様でも実施できる。 ・ 上記実施の形態において、ボールネジ３０を基台１
３に固定して回転不能とし、スライダ２４のナット（２
４ａ）部分を回転駆動することで、スライダ２４を直線
移動させるように構成すること。
【００２３】・ 研削機以外の加工機として、切削機や
フライス機等に適用されるワークテーブル装置として具
体化すること。次に、前記実施の形態から把握できる技
術的思想について以下に記載する。
フライス機等に適用されるワークテーブル装置として具
体化すること。次に、前記実施の形態から把握できる技
術的思想について以下に記載する。
【００２４】・ 請求項１のワークテーブル装置におい
て、スライダおよびテーブルとガイドレールとの案内面
に転がり軸受けを介在させること。このように構成した
場合、転動素子としてコロやボールを使って、スライダ
およびテーブルのガイドレールに対する直線移動が確実
におこなわれる。従って、案内面に静圧部を介在させる
場合に比してポンプ等が不要となり、構成が簡単にな
る。
て、スライダおよびテーブルとガイドレールとの案内面
に転がり軸受けを介在させること。このように構成した
場合、転動素子としてコロやボールを使って、スライダ
およびテーブルのガイドレールに対する直線移動が確実
におこなわれる。従って、案内面に静圧部を介在させる
場合に比してポンプ等が不要となり、構成が簡単にな
る。
【００２５】
【発明の効果】この発明は、以上のように構成されてい
るため、次のような効果を奏する。請求項１に記載の発
明によれば、スライダの動きが静圧部を介してテーブル
に伝達される。従って、例えば、ボールネジの始動・停
止時の衝撃や、ボールネジの振動等を静圧流体で吸収で
きる。また、ボールネジの回転によるスライダの傾斜が
抵抗なくおこなわれ、その傾斜運動がテーブルに伝達さ
れるのを確実に防止できることから、高精度加工が可能
になる。また、スライダとテーブルとを基台に設けられ
る同一のガイドレールで支持する構造により、ワークテ
ーブル装置の高さを低く抑え、ワークテーブル装置全体
をコンパクトにでき、かつ、安価に提供することが可能
になる。
るため、次のような効果を奏する。請求項１に記載の発
明によれば、スライダの動きが静圧部を介してテーブル
に伝達される。従って、例えば、ボールネジの始動・停
止時の衝撃や、ボールネジの振動等を静圧流体で吸収で
きる。また、ボールネジの回転によるスライダの傾斜が
抵抗なくおこなわれ、その傾斜運動がテーブルに伝達さ
れるのを確実に防止できることから、高精度加工が可能
になる。また、スライダとテーブルとを基台に設けられ
る同一のガイドレールで支持する構造により、ワークテ
ーブル装置の高さを低く抑え、ワークテーブル装置全体
をコンパクトにでき、かつ、安価に提供することが可能
になる。
【００２６】請求項２に記載の発明によれば、請求項１
の効果に加えて、スライダおよびテーブルは、ガイド凸
部を通じて供給される加圧された加工液を介して同一の
ガイドレール内を円滑に案内される。
の効果に加えて、スライダおよびテーブルは、ガイド凸
部を通じて供給される加圧された加工液を介して同一の
ガイドレール内を円滑に案内される。
【図面の簡単な説明】
【図１】 研削機の正面図であり、一部を破断して示す
図。
図。
【図２】 図１のＡ−Ａ線断面図。
【図３】 図１のＢ−Ｂ線断面図。
【図４】 図１の要部拡大図。
１１…ワークテーブル装置、１３…基台、２１…ガイド
レール、２２…テーブル、２４…スライダ、２４ａ…ナ
ットとしてのネジ孔、２６…連結部、２７…静圧部、３
０…ボールネジ、３１…駆動手段としてのモータ、Ｗ…
ワーク。
レール、２２…テーブル、２４…スライダ、２４ａ…ナ
ットとしてのネジ孔、２６…連結部、２７…静圧部、３
０…ボールネジ、３１…駆動手段としてのモータ、Ｗ…
ワーク。
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フロントページの続き
(51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ
Ｆ１６Ｃ 32/06 Ｂ２３Ｑ 1/18 Ｚ
Ｆ１６Ｈ 25/24 1/26 Ｅ
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
F16H 25/20 - 25/24
B23Q 1/00 - 1/76
B23Q 5/40
Claims (2)
- 【請求項１】 基台に直線移動可能に配設されるスライ
ダと、基台にスライダと同方向へ移動可能に支持され、
加工に供されるワークを支持するためのテーブルと、ス
ライダとテーブルとを連結してスライダの移動をテーブ
ルに伝達するための連結部と、ボールネジとナットとか
らなりスライダに連結された直線移動機構と、ボールネ
ジとナットとを相対回転させる駆動手段とを備えたワー
クテーブル装置において、前記連結部には、加圧された加工液を介して、テーブル
をスライダに対して浮遊させた状態でスライダとテーブ
ルとを連結する静圧部を設け、 これら連結された スライダとテーブルとを前記基台に設
けられる同一のガイドレールによって該ガイドレールの
延在方向に沿って直線移動可能に支持することを特徴と
したワークテーブル装置。 - 【請求項２】 前記ガイドレールは、横断面「コ」字状
であって、同じく横断面「コ」字状をなす他方のガイド
レールと互いの開口が対向した状態で所定間隔を以って
平行に敷設されてなり、 前記スライダおよびテーブルには、それぞれ前記ガイド
レールの開口形状に対応するガイド凸部が設けられ、該
ガイド凸部を通じて供給される加圧された加工液を介し
て各々が前記ガイドレールに対して浮遊された状態で支
持される 請求項１に記載のワークテーブル装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35014699A JP3532133B2 (ja) | 1999-12-09 | 1999-12-09 | ワークテーブル装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35014699A JP3532133B2 (ja) | 1999-12-09 | 1999-12-09 | ワークテーブル装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001165273A JP2001165273A (ja) | 2001-06-19 |
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