JP3528347B2 - 超音波式流れ計測装置 - Google Patents

超音波式流れ計測装置

Info

Publication number
JP3528347B2
JP3528347B2 JP19856795A JP19856795A JP3528347B2 JP 3528347 B2 JP3528347 B2 JP 3528347B2 JP 19856795 A JP19856795 A JP 19856795A JP 19856795 A JP19856795 A JP 19856795A JP 3528347 B2 JP3528347 B2 JP 3528347B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
flow
ultrasonic
upstream
flow path
unit
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP19856795A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0943015A (ja
Inventor
基之 名和
行夫 長岡
謙三 黄地
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Corp
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Panasonic Corp
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Panasonic Corp, Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Panasonic Corp
Priority to JP19856795A priority Critical patent/JP3528347B2/ja
Publication of JPH0943015A publication Critical patent/JPH0943015A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3528347B2 publication Critical patent/JP3528347B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Measuring Volume Flow (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、超音波により流体の流
れを計測するようにした計測装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来のこの種の計測装置として、図13
に示すように、断面が矩形の流体流路1の一部に超音波
振動子2と3を対向する様に配置し、振動子2から発し
た超音波を振動子3で検出するまでの時間を計測し、こ
の時間から流体の速度を演算し、流量を算出するものが
あった。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この場
合、矩形の断面形状により流路の速度分布をできるだけ
二次元的に形成して測定精度の向上を図っていたが、全
体寸法の制約がありアスペクト比(W0/H0)をあま
り大きくとることができないものであった。このため、
測定流路内の流れは必ずしも二次元的にならず、三次元
的な流れを生ずる可能性があった。
【0004】本発明は上記課題を解決するもので、測定
流路を複数層に分割することにより各層におけるアスペ
クト比を大きくすることにより、流れの二次元性を確実
なものとし、これにより精度の良い流量計測を行うこと
を目的としている。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するために、複数の層状の流路よりなる流量測定部と、
前記流路を流れる流体の流速を測定するために前記流体
の少なくとも一部を横切るように一方から超音波を送信
し他方で受信するように配置した第一の超音波振動子お
よび第二の超音波振動子と、前記超音波振動子を介して
測定された流速を基に流量を算出する流量演算部より構
成したものである。
【0006】複数の層状の流路はほぼ均等の流路高さで
形成されている。
【0007】また、複数の層状の流路により区分される
超音波振動子分割面積が均等になるように流路高さを形
成した。
【0008】また流路を3層とし、その中央の流路高さ
が他の2つの流路高さより大きくなるように設定した。
【0009】第一の超音波振動子および第二の超音波振
動子は矩形状に構成した。
【0010】また、流量測定部の上流側に整流部を配置
した。併せて、上流側の整流部とともに、下流側には緩
衝部を配置した。
【0011】また、流量測定部の上流側に上流室を、下
流側に下流室をそれぞれ形成した。そしてこの構成にお
いて、前記上流室に第一の超音波振動子を、下流室に第
二の超音波振動子をそれぞれ配置した。
【0012】さらに、複数の層状の流路と、前記流体の
少なくとも一部を横切るように一方から超音波を送信し
他方で受信するように前記流路の上流側と下流側に配置
した第一の超音波振動子および第二の超音波振動子とを
具備し、前記超音波振動子の信号を基に流速を算出する
ようにしたものである。
【0013】
【作用】本発明は上記した構成により、測定流路を複数
の層状流路構成にすることにより、各流路における流路
断面のアスペクト比を大きく取り、流れ状態の二次元性
を高め、精度の良い計測を行うことができる。
【0014】
【実施例】以下、本発明の第1の実施例を図1〜図4を
参照しながら説明する。
【0015】図1において、4は流量測定部であり、5
は仕切板、6は流路である。7は流量測定部4の上流に
設けられた上流側接続部、8は流量測定部4の下流に設
けられた下流側接続部である。9は上流側接続部7に接
続された入口部、10は下流側接続部8に接続された出
口部である。
【0016】図2において、11は流量測定部4の一方
の側に配置された第一の超音波振動子であり、12は流
量測定部4の他方の側に配置された第二の超音波振動子
である。13は流路であり、14、15は流量測定部4
の側壁である。Wは流量測定部4の流路幅である。
【0017】図3において、16は流量測定部4の上部
壁、17は流量測定部4の下部壁である。仕切板5は5
a、5b、・・・5fより構成されている。また、流路
6は仕切板5a、5b、・・・5fにより分割され、6
a、6b、・・・6gにより構成されている。h1、h
2、・・・h7は分割された流路6a、6b、・・・6
gの流路高さである。この場合、流路高さh1、h2、
・・・、h7は均一の高さになる様に設定されている。
【0018】図4において、18は第一、および第二の
超音波振動子11、および12からの信号を受けて流量
演算を行う流量演算部である。19はスタート信号発生
部、20は送信部、21は受信部である。22は切換部
である。
【0019】送信部20はトリガ信号発生部23、およ
び発振部24から成立っている。受信部21は受信信号
の増幅部25、および基準値との比較部26から成立っ
ている。27は繰返し部であり、28は計時部、29は
演算部である。
【0020】次に作動を述べる。
【0021】流体は入口部9より流入し、上流側接続部
7を経た後、流量測定部4に入り、その後下流側接続部
8を経て、出口部10より流出する。この場合、流量測
定部4は複数の流路6a、6b、・・・6gに分割され
ているため、流れは7層に分かれる。
【0022】この様に流路6を層状に構成することによ
り、本来流路6の矩形断面におけるアスペクト比はW/
6hであるが、W/hとなり大きくなるため、流れの二
次元性をより確実にすることができるものである。
【0023】また、流量測定部4へ入る流れは上流側接
続部7を経るが、この部分は入口部9から流量測定部4
の流路6への流れをほぼ均一化する様に構成されてい
る。この様な状態でスタート信号発生部19から信号が
入ると、トリガ信号発生部23が働き、発振部24によ
り信号が切換部22に送られる。
【0024】この切換部22は、当初は第一の超音波振
動子11に送信部20が、第二の超音波振動子12に受
信部21が接続される様設定されている。従って、上記
トリガ信号により第一の超音波振動子11より超音波信
号が流量測定部4内に発せられる。
【0025】この信号は第2の超音波振動子12により
受けられ、増幅部25により増幅され、比較部26にて
基準信号と比較される。この過程は繰返し部27で設定
された回数だけ行われた後、計時部28に信号を送る。
計時部28では、トリガ信号発生からこのとき送られた
信号までの経過時間(T1)を計時する。
【0026】一方向に対して、所定回数の繰返しが終了
すると、繰返し部27により切換え部22へ信号が送ら
れ、送信部20を第2の超音波振動子12に、受信部2
1を第1の超音波振動子11に接続する。
【0027】また、これと同時に再度、トリガ信号発生
部23への駆動信号も送られる。これにより、上記と同
様の動作が流れと逆方向に対して行われ、経過時間(T
2)が計測される。この様にして測定された経過時間T
1、およびT2をもとに以下の演算式により演算部29
にて流量が算出される。
【0028】いま、図2に示すごとく、代表層における
流れと超音波伝搬経路とのなす角をθとし、また流量測
定部の長さをLとすると、流速vが以下の式にて算出さ
れる。
【0029】 v=(L/2cosθ)((1/T1)−(1/T2)) 各層の流れが、ほぼ均一化されているとすると、どの層
においても上式の関係が成立するため、これにより求め
た流速vと流量測定部4の断面積sより、流量Qは下式
にて算出される。
【0030】Q=kvsここで、kは流速vを断面積s
における平均流速に変換するための換算係数である。
【0031】上記説明でT1およびT2の計測は繰返し
行ったが、精度の良い計測が行われる場合は一回でも良
い。
【0032】この様な構成によれば、仕切板5の存在に
より、各流路6における超音波は拡散することなく指向
性を持つことになり、効率よく受信されることになる。
また、流路高さh1、h2、・・・、h7を均一に設定
することにより、流路6をより作成し易くすることがで
きる。
【0033】次に第2の実施例について説明する。図5
において、30は流量測定部であり、31は上部壁、3
2は下部壁である。33は仕切板であり、この場合は3
3a、33b、・・・33dにより構成されている。3
4は流路であり、34a、34b、・・・34eにより
構成されている。その他は第1の実施例と同じゆえ省略
する。
【0034】この場合、仕切板33a、33b、・・・
33dにより区画された第一の超音波振動子11の面積
が、S1=S2=S3=S4=S5となる様に仕切板3
3a、33b、・・・33dの間隔、すなわちi1、i
2、・・・i5が設定されている。この設定は第二の超
音波振動子12に対しても同様である。
【0035】次に作動を述べる。計測動作については第
1の実施例と同じである。この場合、第一の超音波振動
子11が区画されている面積は、S1=S2=S3=S
4=S5となっているため、各流路34a、34b、・
・・34eにおいて、超音波のパワーは均一化される。
【0036】したがって、各流路34a、34b、・・
・34eにおいて、パワーが均一に伝達され、効率よく
信号が受信される。
【0037】次に第3の実施例について説明する。図6
において、35は流量測定部であり、36は上部壁、3
7は下部壁である。38は仕切板であり、この場合は3
8a、38bにより構成されている。
【0038】39は流路であり、39a、39b、39
cにより構成されている。その他は第1の実施例と同じ
ゆえ省略する。
【0039】この場合、仕切板38a、38bにより区
画された第一の超音波振動子11の面積が、S11=S
33<S22、となる様に仕切板38a、38bの間
隔、すなわちj1、j2、j3が設定されている。この
設定は第二の超音波振動子12に対しても同様である。
【0040】また、流路39a、39cは中心軸mに関
して対称になる様に設定されている。
【0041】次に作動を述べる。計測動作については第
1の実施例と同じである。この場合、第一の超音波振動
子11が区画されている面積は、S11=S33<S2
2、となっているため、流路39bにおける超音波のパ
ワーが、流路39a、39cにおけるパワーより卓越す
る。したがって、S11、S33における受信信号に位
相のずれがあったとしてもS22の受信信号に引き込ま
れて、全体の受信波形を乱すことが無い。
【0042】次に第4の実施例について説明する。図7
において、40は流量測定部であり、41は上部壁、4
2は下部壁である。43は仕切板であり、この場合は4
3a、43b、・・・43fにより構成されている。
【0043】44は流路であり、44a、44b、・・
・44gにより構成されている。45は第一の矩形状超
音波振動子である。第二の矩形状振動子は図示しないが
同様の構成である。この場合、流路高さk1、k2、・
・・、k7は均一の高さになる様設定されている。
【0044】次に作動を述べる。計測動作については第
1の実施例と同じである。この場合、第一の超音波振動
子45は矩形状であり、その幅Wsが一定であるため、
第一の超音波振動子45が仕切板43により区画されて
いる面積は、S111=S222=・・・=S777、
となる。
【0045】すなわち、流路高さと超音波振動子の区画
面積が比例関係になるため、それぞれの流路における流
れ状態を均一にすると共に超音波パワーの均一化も同時
に図ることができ、精度の良い受信状態を実現すること
ができる。
【0046】次に第5の実施例について説明する。図8
において46は整流部である。それ以外は第一の実施例
と同じゆえ、同一番号で示してある。
【0047】次に作動を述べる。計測動作については第
1の実施例と同じである。この場合、整流部46の存在
により流量測定部4における流れの均一性がより向上す
るため、計測精度の向上を図ることが出来る。
【0048】次に第6の実施例について説明する。図9
において47は整流部、48は緩衝部である。それ以外
は第1の実施例と同じゆえ、同一番号で示してある。
【0049】次に作動を述べる。計測動作については第
1の実施例と同じである。この場合、緩衝部48の存在
により、流量測定部4の流れ状態に対する下流側からの
影響要因を排除することができ、計測精度の向上を図る
ことが出来る。
【0050】次に第7の実施例について説明する。図1
0において49は上流室、50は下流室である。51は
上流室49に接続された入口部、52は下流室50に接
続された出口部である。それ以外は第1の実施例と同じ
ゆえ、同一番号で示してある。
【0051】次に作動を述べる。計測動作については第
1の実施例と同じである。この場合、流量測定部4へ入
る流れは上流室49を経るが、この室は入口部49、お
よび流量測定部4の断面積より比較的大きく形成してあ
るため、流れは一旦上流室49にて動圧成分が少なくな
り、流路6への流れは均一化される。
【0052】また、流量測定部の上流、および下流に上
流室、下流室を配置することにより、流量測定部に対す
る上流、および下流からの影響を排除し、計測精度の向
上を図ることが出来る。
【0053】次に第8の実施例について説明する。
【0054】図12において53は上流室、54は下流
室である。54は上流室に配置差された第一の超音波振
動子、55は下流室に配置された第二の超音波振動子で
ある。それ以外は第7の実施例と同じゆえ、同一番号で
示してある。次に作動を述べる。計測動作については第
一の実施例と同じである。この場合、第一の超音波振動
子55が上流室53に、第二の超音波振動子56が下流
室54に配置されているため、第7の実施例の様に流量
測定4に配置する場合よりも流量測定に及ぼす影響が少
ない。
【0055】なお、本発明における信号処理は1チップ
マイコン等のマイクロコンピュータを用いて、ソフトウ
エア的に実現することも可能である。また、本発明にお
ける流量演算は流速測定を基にして行うものであるか
ら、本発明に記載した方法は、超音波流速計においても
適用できるものである。
【0056】以上説明した実施例によれば次のような効
果が期待できるものである。
【0057】(1)測定流路を複数に分割し、各層にお
ける流路の アスヘ゜クト 比を大きく設定して流れの二次元性を
向上することにより、精度良く流量を計測することがで
きる。
【0058】(2)複数の流路をほぼ均等の流路高さで
形成することにより各流路における流れの均一化が計ら
れ、精度良くい流量を計測することができる。
【0059】(3)複数の流路により区分される超音波
振動子分割面積が均等になるようにそれぞれの流路高さ
を形成することにより、各流路への超音波パワーを均一
に放出することができ、計測精度を向上することが出来
る。
【0060】(4)流量測定部を3つの流路より構成
し、その中央部の流路高さを他の2つの流路高さより大
きくなるよう形成することにより、中央部の超音波パワ
ーが大きい部分の信号を卓越させ、他の流路における受
信信号に位相のずれがあったとしても中央部の受信信号
に引き込まれて、全体の受信波形を乱すことが無い。
【0061】(5)超音波振動子の断面形状を矩形に形
成し、流路の高さ方向における超音波エネルギーの均一
化を図ることにより、複数に分割された各流路における
計測精度を向上することが出来る。
【0062】(6)流量測定部の上流側に整流部を設け
て複数の流路における流れ状態の均一化を図ることによ
り、計測精度を向上することが出来る。
【0063】(7)流量測定部の下流側に緩衝部を設け
て複数の流路における流れ状態に対する下流側からの影
響要因を排除することにより、計測精度を向上すること
が出来る。
【0064】(8)流量測定部の上流、および下流に上
流室、下流室を配置することにより、流量測定部に対す
る上流、および下流からの影響を排除し、計測精度を向
上するることが出来る。
【0065】(9)流量測定部の上流、および下流に上
流室、下流室を配置し、それぞれの室に第一の超音波振
動子と、第二の超音波振動子を配置し、流量測定部を複
数の流路にて構成することにより振動子の影響を受ける
ことなく計測ができるため、計測精度を向上することが
出来る。
【0066】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、流路を複
数の層状流路構成としたことにより、各層における アスヘ゜
クト 比を大きく設定して流れの二次元性を向上することが
でき、その結果、計測精度を大いに向上することができ
るものである
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例の超音波流量計の垂直断
面図
【図2】同流量計における図1のA−A’断面図
【図3】同流量計における図2のB−B’部分断面図
【図4】同流量計における制御ブロック図
【図5】本発明の第2の実施例の超音波流量計における
部分断面図
【図6】本発明の第3の実施例の超音波流量計における
部分断面図
【図7】本発明の第4の実施例の超音波流量計における
部分断面図
【図8】本発明の第5の実施例の超音波流量計の垂直断
面図
【図9】本発明の第6の実施例の超音波流量計の垂直断
面図
【図10】本発明の第7の実施例の超音波流量計の垂直
断面図
【図11】同流量計における図10のC−C’断面図
【図12】本発明の第8の実施例の超音波流量計におけ
る垂直断面図
【図13】従来の超音波流量計の垂直断面図
【符号の説明】
4 流量測定部 5 仕切板 6 流路 10 第一の超音波振動子 11 第二の超音波振動子 15 流量演算部
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭62−247216(JP,A) 特開 平5−93637(JP,A) 特開 平5−18799(JP,A) 特開 昭62−811(JP,A) 特開 昭60−115810(JP,A) 国際公開94/017372(WO,A1) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01F 1/00 - 9/02

Claims (11)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数の層状の流路よりなる流量測定部
    と、前記流路を流れる流体の流速を測定するために前記
    流体の少なくとも一部を横切るように一方から超音波を
    送信し他方で受信するように配置した第一の超音波振動
    子および第二の超音波振動子と、前記超音波振動子を介
    して測定された流速を基に流量を算出する流量演算部と
    からなる超音波式流量計。
  2. 【請求項2】 第一の超音波振動子および第二の超音波
    振動子を流量測定部を挟んで配置した請求項1記載の超
    音波式流量計。
  3. 【請求項3】 複数の層状の流路がほぼ均等の流路高さ
    で形成された請求項1記載の超音波式流量計。
  4. 【請求項4】 複数の層状の流路により区分される超音
    波振動子分割面積が均等になるように流路高さを形成し
    た請求項1記載の超音波式流量計。
  5. 【請求項5】 3層の流路を備え、その中央の流路高さ
    が他の2つの流路高さより大きくなるように設定した請
    求項1記載の超音波式流量計。
  6. 【請求項6】 第一の超音波振動子および第二の超音波
    振動子を矩形状に構成した請求項1〜のいずれか1項
    記載の超音波式流量計。
  7. 【請求項7】 流量測定部の上流側に整流部を配置した
    請求項1記載の超音波式流量計。
  8. 【請求項8】 流量測定部の上流側に整流部を、下流側
    に緩衝部をそれぞれ配置した請求項1記載の超音波式流
    量計。
  9. 【請求項9】 流量測定部の上流側に上流室を、下流側
    に下流室をそれぞれ配置した請求項1記載の超音波式流
    量計。
  10. 【請求項10】 流量測定部の上流側に上流室を、下流
    側に下流室をそれぞれ形成するとともに、前記上流室に
    第一の超音波振動子を、下流室に第二の超音波振動子を
    それぞれ配置した請求項1記載の超音波式流量計。
  11. 【請求項11】 複数の層状の流路よりなる測定部と、
    前記流路を流れる流体の少なくとも一部を横切るように
    一方から超音波を送信し他方で受信するように前記流路
    の上流側と下流側に配置した第一の超音波振動子および
    第二の超音波振動子とを具備し、前記超音波振動子の信
    号を基に流速を算出するようにした超音波式流速計。
JP19856795A 1995-08-03 1995-08-03 超音波式流れ計測装置 Expired - Lifetime JP3528347B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP19856795A JP3528347B2 (ja) 1995-08-03 1995-08-03 超音波式流れ計測装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP19856795A JP3528347B2 (ja) 1995-08-03 1995-08-03 超音波式流れ計測装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0943015A JPH0943015A (ja) 1997-02-14
JP3528347B2 true JP3528347B2 (ja) 2004-05-17

Family

ID=16393333

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP19856795A Expired - Lifetime JP3528347B2 (ja) 1995-08-03 1995-08-03 超音波式流れ計測装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3528347B2 (ja)

Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
MY127673A (en) * 1999-03-17 2006-12-29 Matsushita Electric Ind Co Ltd Ultrasonic flow meter
JP2003083791A (ja) * 2001-09-11 2003-03-19 Tokyo Gas Co Ltd 流量計測装置およびガスメータ
JP4186645B2 (ja) * 2003-02-24 2008-11-26 松下電器産業株式会社 超音波流量計測装置
KR100694937B1 (ko) * 2003-02-24 2007-03-14 마츠시타 덴끼 산교 가부시키가이샤 초음파식 유체 계측 장치
JP4424936B2 (ja) * 2003-07-28 2010-03-03 パナソニック株式会社 流路における流量均一化構造および流量計測装置
JP4604520B2 (ja) * 2004-03-10 2011-01-05 パナソニック株式会社 流れ計測装置
JP2005257611A (ja) * 2004-03-15 2005-09-22 Matsushita Electric Ind Co Ltd 流体の流れ計測装置
JP4804872B2 (ja) * 2005-10-27 2011-11-02 愛知時計電機株式会社 超音波流量計
JP2007240504A (ja) * 2006-02-07 2007-09-20 Yazaki Corp 流体計測装置
JP4926519B2 (ja) * 2006-03-29 2012-05-09 東京瓦斯株式会社 超音波式ガスメーターのガス流量計測構造
JP5816831B2 (ja) * 2010-09-15 2015-11-18 パナソニックIpマネジメント株式会社 超音波流量計
JP2012132801A (ja) * 2010-12-22 2012-07-12 Panasonic Corp 超音波流量計
WO2013051272A1 (ja) * 2011-10-06 2013-04-11 パナソニック株式会社 流量計測装置の設定方法
JP2017181230A (ja) * 2016-03-30 2017-10-05 パナソニックIpマネジメント株式会社 流量計測装置
JP6982737B2 (ja) 2018-09-10 2021-12-17 パナソニックIpマネジメント株式会社 超音波流量計
JP7390556B2 (ja) 2020-07-30 2023-12-04 パナソニックIpマネジメント株式会社 物理量計測装置

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0943015A (ja) 1997-02-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3528347B2 (ja) 超音波式流れ計測装置
JP2683159B2 (ja) クランプオン超音波容積式流量計
US4015470A (en) Flow measuring method and apparatus
WO2004074783A1 (ja) 超音波式流体計測装置
RU2660011C1 (ru) Способ и устройство для ультразвукового измерения расхода накладным методом и схемное устройство для управления ультразвуковым измерением расхода накладным методом
JP3045677B2 (ja) 超音波流量計
CN114088151B (zh) 外夹式多声道超声波流量检测装置及检测方法
RU2226263C2 (ru) Ультразвуковой многоканальный расходомер и способ измерения расхода жидкости или газа в трубопроводе
Kang et al. Two-dimensional flexural ultrasonic phased array for flow measurement
CA2557099A1 (en) Doppler type ultrasonic flow meter
DK0762086T3 (da) Fremgangsmåde til ultralyd-måling af gennemstrømningsmængder af strømmende fluider
JP4688253B2 (ja) 超音波流量計
WO1995004258A1 (en) Improvements relating to fluid flow monitoring
JP3521622B2 (ja) 超音波式流量計及び超音波式流速計
JP2956805B2 (ja) 超音波流量計
JPH08313316A (ja) 超音波式流量計
JP2956804B2 (ja) 超音波流量計
JP4675490B2 (ja) 超音波流量計
JPH09189589A (ja) 流量計測装置
JP3194270B2 (ja) 超音波流量計
JPS58811Y2 (ja) 超音波流量計
JP3497279B2 (ja) 超音波式流量計
JPS6040916A (ja) 超音波流速・流量計の温度変化誤差の補正法
RU2498229C1 (ru) Ультразвуковой газовый расходомер
JPS6061621A (ja) 超音波流速計測装置の超音波送受波器

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20031222

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20040203

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20040216

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080305

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090305

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100305

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110305

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110305

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120305

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130305

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130305

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140305

Year of fee payment: 10

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

EXPY Cancellation because of completion of term