JP3528109B2 - ポリイミドフィルムの接着性改善方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ポリイミドフィル
ムの接着性改善方法及び接着性を改善したポリイミドフ
ィルムに関し、更に詳しくは接着剤に影響を与えず、安
定的に優れた接着性改善効果が得られるポリイミドフィ
ルムの接着性改善方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】通常、ポリイミドフィルムは、接着剤を
用いて金属箔（主に銅箔）と張り合わせたり、蒸着法、
メッキ法、又はスパッタ法によりフィルム層と金属層か
らなる積層板に加工したりして、フレキシブルプリント
配線板（以下、ＦＰＣと略す。）用途に用いられる。こ
の際、ポリイミドフィルムはベースフィルムとして使用
されるが、従来のポリイミドフィルムは表面が接着性に
乏しいことが問題になっており、そのままでは製品の不
良を生じる原因となる。

【０００３】ところで、ポリイミドフィルムの表面の接
着性が乏しいのは、フィルム表面の溌水性が高いためで
あることが考えられ、このため、ポリイミドフィルムの
表面の接着性を改善するために、フィルム表面にコロナ
処理やプラズマ処理を施して使用することが知られてい
る。コロナ処理やプラズマ処理によりフィルム表面に親
水性を付与し接着性を改善するのである。コロナ処理や
プラズマ処理によりフィルム表面の親水性が上がるの
は、かかる処理によってフィルム表面に水酸基、カルボ
ン酸基、カルボニル基などの親水性を示す官能基が新た
に生じるためであるとされている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところが、近年、例え
ばＦＰＣの分野において、高密度パターン配線などの技
術向上に伴って基板であるポリイミドフィルムと金属箔
とのより高い接着性が求められてきており、コロナ処理
やプラズマ処理による表面処理では、エポキシ系、フェ
ノール系、アクリル系などの種々の接着剤種や、蒸着、
メッキ、スパッタ法などにおける様々な条件に依存せず
に、安定的かつ充分な表面改質効果を得ること、すなわ
ち、ポリイミドフィルムの接着性を実用上充分に得るこ
とが難しくなってきている。

【０００５】そこで、本発明者らは上記従来の問題点を
解決し、安定的に優れた接着性改善効果を得ることので
きるポリイミドフィルムの接着性改善方法及び接着性を
改善したポリイミドフィルムを提供することを目的に鋭
意研究を重ねた結果、ポリイミドフィルムの表面にＷＢ
Ｌや汚染層が形成されているためにコロナ処理やプラズ
マ処理のみでは充分な接着性改善効果が得られないと考
え、特願平６−１７２１１５号及び特願平６−１７２１
１３号において液処理を行った後にコロナ処理やプラズ
マ処理を行うという方法を開示している。

【０００６】しかしながら、更に検討を進めたところ、
予期せぬことにコロナ処理やプラズマ処理を行った後に
液処理をすれば、液処理を行った後にコロナ処理やプラ
ズマ処理を行うという方法で処理した場合と同等若しく
はそれ以上に接着性が改善される効果が得られることを
見出し、本発明に至ったのである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明に係るポリイミド
フィルムの接着性改善方法の要旨とするところは、ポリ
イミドフィルムの表面にコロナ処理又はプラズマ処理の
いずれか一方若しくは双方を行った後、該表面を水若し
くは有機溶剤又は該溶液でぬらした状態で物理的機械力
を加えて処理する液処理工程を行うことにある。

【０００８】かかるポリイミドフィルムの接着性改善方
法において、前記液処理工程を行った後に、該フィルム
表面を乾燥させる乾燥工程を行うことにある。

【０００９】

【発明の実施の形態】本発明に係るポリイミドフィルム
の接着性改善方法は、ポリイミドフィルムの表面にコロ
ナ処理又はプラズマ処理のいずれか一方若しくは双方を
行った後、該表面を水若しくは有機溶剤又は該溶液でぬ
らした状態で物理的機械力を加えて処理する液処理工程
を行うことを特徴とし、かかる方法により、コロナ処理
又はプラズマ処理のいずれか単独で処理した場合に比べ
て予期し得ない優れた接着性改善効果が得られる。な
お、ここでいう溶液としては、水又は有機溶剤の酸、ア
ルカリ、シランカップリング剤の溶液を用いることがで
きる。

【００１０】本発明の方法によって接着性が大幅に改善
されることの理論的解明は不充分であるが、現在のとこ
ろ次のように考えられる。すなわち、コロナ処理又はプ
ラズマ処理による接着強度向上は、ポリイミドフィルム
の表面に水酸基、カルボン酸基、カルボニル基などの親
水性を示す官能基が新たに生じることの効果であると考
えられているが、この効果はポリイミドフィルムに存在
するＷＢＬや汚染層の有無にかかわらず変わらないと考
えられる。そして、コロナ処理やプラズマ処理のみでは
充分な接着性改善効果が得られないのは、コロナ処理又
はプラズマ処理によりフィルム表面に親水性官能基を導
入することはできるが、フィルム表面に存在するポリマ
ーの解重合による低分子重合体やオリゴマーによるいわ
ゆるＷＢＬ（表面脆弱層）の生成や汚染層より発生する
微量の副生成物を除去することができないためではない
かと考えられる。そこで、本発明の方法による接着強度
向上の機構としては、コロナ処理やプラズマ処理を施し
た後に該表面を水若しくは有機溶剤又は該溶液でぬらし
た状態で物理的機械力を加えて液処理することにより、
これらの副生成物を除去できるので、フィルム表面が清
浄化され、コロナ処理やプラズマ処理によって形成され
た親水性官能基が有効に作用し、接着強度が飛躍的に向
上するものと考えられる。

【００１１】以下に、本発明に係るポリイミドフィルム
の接着性改善方法について図面に基づいて詳細に説明す
る。ここでいうポリイミドフィルムは、厚み数μｍの薄
膜から、厚み数百μｍのシート状物も含めて広義のフィ
ルムを意味し、ポリイミドフィルムの分子構造は問わな
い。

【００１２】本発明を実施するための装置としては、例
えば、図１に示す表面処理装置１０のように、コロナ処
理装置１２と液処理工程のための装置１４と該フィルム
表面を乾燥させるための乾燥炉１６から構成されたもの
を用いることができる。かかる表面処理装置１０は、繰
り出し装置１８から巻取り装置２０へポリイミドフィル
ム２２を走行させる過程で、コロナ処理を行った後に、
該表面を水若しくは有機溶剤又は該溶液（以下、液体と
いう。）でぬらした状態で物理的機械力を加えて液処理
し、次いで液処理された表面を乾燥させる工程が連続的
に実施できるように構成されている。なお、コロナ処理
と液処理工程は個別に行うこともできるが、効率的にフ
ィルムの処理を行うためには連続して処理を行うことが
好ましい。また、乾燥工程における乾燥条件としては特
に制限はなく、自然乾燥をも含め経験的に適宜設定する
ことができる。ここでは、乾燥工程のために乾燥炉１６
を示したが、乾燥炉１６は必ずしも必要ではなく、ま
た、乾燥炉１６に変えて冷風や温風により乾燥させる装
置を設けてもよい等、その他制限されない。

【００１３】詳しくは、このコロナ処理装置１２は従来
公知の装置を用いることができ、高度に絶縁されたロー
ル２４とロール２４に近接させて配置した線条のコロナ
電極２６を備えている。コロナ電極２６はコロナ処理を
すべき長さ、換言すればほぼ高分子フィルムの幅に形成
されていて、複数の碍子２８を介してフレーム３０に固
定されている。かかるコロナ処理装置１２において、コ
ロナ電極２６に高エネルギーを作用させるとコロナ電極
２６からコロナ放電が起こり、ポリイミドフィルム２２
の片面にコロナ処理を施すことができる。また、コロナ
処理装置１２を、図２に示すように２つのロール２４に
相対向して線条のコロナ電極２６が配置するように構成
し、フィルム両面にコロナ処理を施すようにしてもよ
い。

【００１４】なお、コロナ処理における電極の材質や処
理電力密度は特に限定はなく、フィルムの種類や厚さ等
により経験的に適宜設定すればよいが、特には、電力密
度は１００〜６００Ｗ・min／ｍ²にすることが好まし
く、更には２００〜５００Ｗ・min／ｍ²にすることが好
ましい。また、コロナ処理は従来公知の方法を用いれば
よいが、その他、コロナ処理を行う際、フィルムの熱膨
張により生じる皺を防ぐため、フィルムの幅方向に伸び
を付与した後、コロナ処理を１回又は複数回にわたって
施してもよい。また、コロナ処理に引き続いて、フィル
ムに帯電した静電気の極性と逆極性のイオンを有するイ
オン化ガスを該フィルムに吹き付けて、静電気を除電す
ると同時に付着した微粉末を除去するようにしてもよ
い。

【００１５】一方、液処理工程のための装置１４は、回
転ブラシ３２、液体吹き付けノズル３４、リンス用ノズ
ル３６、液タンク３８から構成され、更には、ノズル３
４、３６は液タンク３８から循環ポンプ４０、フィルタ
ー４２を介して設けられていて、吹き付けた液体を液タ
ンク３８で回収して繰り返し使用することができるよう
に構成されている。かかる液処理装置１４においては、
フィルム表面を液体で濡らした状態で回転ブラシでブラ
ッシングすることにより、フィルム表面からＷＢＬや汚
染層が除去されるのであるが、ブラッシングするだけで
は回転ブラシで除去したＷＢＬや汚染層を構成していた
微小なものがフィルム表面に残っているおそれがある。
また、ブラシから発生するゴミが付着することも考えら
れる。そのため、リンス用ノズル３６を設けて、ブラッ
シングした後のフィルム表面を洗浄するように構成する
のが好ましい。かかる装置１４では、ポリイミドフィル
ムの片面を液処理することができるが、図３に示すよう
に、回転ブラシ３２とノズル３４、３６をポリイミドフ
ィルム２２の両側に配置して、両面を液処理できるよう
に構成してもよい。なお、符号４４はフィルム２２を良
好に走行させるためのフリーロールである。

【００１６】ところで、液処理工程において物理的機械
力を加える手段としては、例えば、上述したような回転
ブラシによるブラッシングがあるが、この他にも紙、
布、不織布、バフ又はスポンジ状のものでフィルム表面
を擦るようにすることも可能である。但し、生産性を考
慮すると回転ブラシを用いる方が好ましい。

【００１７】回転ブラシ３２を回転させる方向はフィル
ムの進行方向であってもよいが、特にはフィルムの進行
方向とは逆向きに回転させる方が処理効果が高く好まし
い。そして、回転ブラシの材質は特に限定されるもので
はないが、フィルム表面に実用上有害な傷をつけず、耐
薬品性のあるものを選択するのが好ましい。また、コロ
ナ処理によって発生する微量の副生成物を効果的に除去
できる材質であることが好ましい。特に不織布は好まし
く用いられ、更には、材質がナイロン、ポリプロピレ
ン、ポリエステル若しくはレーヨンであることが好まし
く、特にレーヨン又はポリエステルであることが好まし
い。また、その線径についても特に限定せず、経験上適
宜選択可能であるが、特には０．００１〜０．５ｍｍで
あることが好ましく、更には０．０１〜０．０５ｍｍで
あることが好ましい。なお、回転ブラシの回転数、フィ
ルムの走行速度（処理スピード）、ニップ圧、フリーロ
ールの材質と硬度などについては特に制限されず、経験
的に適宜設定すればよい。

【００１８】液体としては、水、沸水又は有機溶剤が用
いられ、特には有機溶剤が好ましく用いられる。また、
水又は有機溶剤の酸、アルカリ、シランカップリング剤
の溶液であってもよい。詳しくは、有機溶剤としては、
アルカン類、アルケン類、アルコール類、ケトン類、エ
ーテル類、ハロゲン類、カルボン酸類、アルデヒド類、
アミド類等を単独で又は同一の類若しくは異なる類から
２種類以上の混合物として用いることができるが、特に
は、エタノール、メタノール、又はイソプロパノール等
のアルコール類が好ましく、更にはエタノールを用いる
ことが好ましい。なお、酸、アルカリ、シランカップリ
ング剤の溶液としては特に限定されず、具体的には酸溶
液としては、ｐＨ５以下の溶液であれば特に限定されな
いが、無機酸としては硫酸や塩酸の溶液あるいは硫酸塩
や塩酸塩などの無機酸の塩の溶液（いわゆる緩衝溶
液）、有機酸としては酢酸の溶液や酢酸塩などの有機酸
の塩の溶液（いわゆる緩衝溶液）などを例示することが
できる。また、アルカリ溶液としては、ｐＨ７以上の溶
液であれば特に限定されないが、アルカリ金属、アルカ
リ土類金属、アンモニウムイオンの水酸化物やヒドラジ
ン、炭酸塩等の溶液を用ることができる。また、シラン
カップリング剤溶液としては、アクリルシラン系、アミ
ノシラン系、エポキシシラン系などの溶液を挙げること
ができる。

【００１９】その他、液処理工程のための装置１４は、
上述したように液体を吹き付けるように構成するのでは
なく、例えば、図４（ａ）（ｂ）に示すようにフィルム
２２を液槽４６内に浸漬させて、その片面又は両面を回
転ブラシ３２でブラッシングするように構成してもよ
い。このように液体中に浸漬させて処理する場合は、ブ
ラッシングされたフィルムが液体中を走行することによ
りフィルム表面が洗浄されるので、特にリンス用ノズル
を設けて液体を吹き付けなくてもフィルム表面からＷＢ
Ｌや汚染層を完全に除去することができるが、リンス用
ノズルを設けて該表面を上記液体で処理してもよい。

【００２０】また、図５（ａ）（ｂ）に示すようにフィ
ルム２２を液槽４８内で濡らした後、回転ブラシ３２で
その片面又は両面をブラッシングし、更にフィルム表面
を清浄する液槽５０内に導入するように構成することも
可能である。なお、液槽５０のかわりにリンス用ノズル
を設け、ブラッシングした後に液体を吹き付けるように
構成してもよい。

【００２１】かかる表面処理装置１０により、コロナ処
理を行った後に液処理を行い、次いで液処理が施された
フィルム表面を乾燥させる工程を連続して行うことがで
き、それにより、安定して優れた接着性改善効果が得ら
れるのであるが、本発明においては、コロナ処理の代わ
りにプラズマ処理を行ってもよい。かかる装置として
は、前記図１においてコロナ処理装置１２の代わりに図
６に示すプラズマ処理装置５２を設けた装置を用いるこ
とができ、プラズマ処理と液処理工程を連続的に実施で
きるように構成されている。もちろん、この場合もプラ
ズマ処理と液処理工程は個別に行うこともできるが、効
率的にフィルムの処理を行うためには連続して処理を行
うことが好ましい。プラズマ処理装置５２はフィルムの
導入口及び導出口がシールされていて、ガス導入部５４
から適当な組成のガスが導入され、所定のガス圧力に保
持される。そして電源５６のスイッチを入れると、放電
が開始し、装置５６内にプラズマが発生するように構成
されている。

【００２２】このときの電力密度は、ガス組成、ガス圧
力によって適宜設定されるが、３００〜４０００ｗ・mi
n／ｍ²で放電を開始させることができる。ここで、プラ
ズマ処理を行う雰囲気のガス圧力は特に限定されない
が、１００〜１０００Torrの範囲の圧力下で行うことが
好ましい。１００Torr以下では真空装置などが必要とな
るし、１０００Torr以上では放電がしにくくなるためで
ある。また、プラズマ処理のガス組成は、特に限定され
ないが１００〜１０００Torr中での放電もグロー放電
（火花放電ではない）するよう、希ガス元素を混入する
のが好ましく、更にはＡｒガスを４０モル％以上導入す
ることが望ましい。なお、装置内の空気を該希ガス元素
で置換した状態が特に好ましいが、空気が混入していて
も構わない。もちろん、これらは経験的に適宜設定すれ
ばよい。

【００２３】このようにしてコロナ処理やプラズマ処理
を行うことによりフィルム表面を酸化させてフィルム表
面に水酸基、カルボン酸基、カルボニル基等の親水性官
能基を形成することができるのでフィルム表面の親水性
が向上され、その後、次いで液処理を行うことによりコ
ロナ処理やプラズマ処理により生じる副生成物を除去で
きるのでフィルム表面が清浄化される。それにより、コ
ロナ処理やプラズマ処理によって形成された親水性官能
基が有効に作用するものと考えられ、ポリイミドフィル
ムの接着性が飛躍的に向上するのである。

【００２４】すなわち、本発明に係る接着性改善方法に
より表面処理されたポリイミドフィルムは、コロナ処理
やプラズマ処理のみにより表面処理されたポリイミドフ
ィルムに比べて非常に優れた接着性を示すものであり、
接着剤を用いてフィルムと金属箔（銅箔等）とを強固に
貼り合わせることができる。また、蒸着法、メッキ法又
はスパッタ法によってフィルム表面に均一に金属層を形
成すことができる。従って、本発明に係る接着性を改善
したポリイミドフィルムは、ＦＰＣ等のベースフィルム
として好適に使用することができるのである。

【００２５】以上、本発明に係るポリイミドフィルムの
接着性改善方法の実施例を説明したが、本発明はこれら
の実施例のみに限定されるものではなく、上述したよう
にコロナ処理やプラズマ処理と液処理工程を連続的に行
わずに、別工程で実施するようにしてもよい。また、コ
ロナ処理とプラズマ処理の双方を任意の順序で行った後
に液処理を行うようにしてもよい等、その他、本発明は
これらの実施例のみに限定されるものではなく、本発明
はその趣旨を逸脱しない範囲内で当業者の知識に基づ
き、種々なる改良、変更、修正を加えた態様で実施しう
るものである。

【００２６】

【実施例】以下に実施例により本発明をより具体的に説
明するが、本発明はこれら実施例によって限定されるも
のではない。

【００２７】〔実施例 １〕 図１に示したものとほぼ同じ表面処理装置を用い、4,4'
−ジアミノジフェニルエーテルに代表される芳香族ジア
ミンとピロメリット酸二無水物に代表される芳香族テト
ラカルボン酸二無水物とから公知の方法で得られた２５
μｍ厚のポリイミドフィルムを用いて、コロナ処理を施
した後、連続的に有機溶剤で濡らした状態で物理的機械
力を加える液処理を施し、その後該表面を乾燥させてポ
リイミドフィルムの表面処理を行った。処理条件はライ
ンスピードを５ｍ／minとし、コロナ処理部ではアルミ
ニウム電極を用いて電力密度を２２０Ｗ・min／ｍ²とし
た。また、液処理部では有機溶剤としてエタノールを使
用し、回転ブラシはレーヨンの不織布を基材としたもの
（線径約１５〜３０μｍ）を用い、ニップ圧を３kg／
ｍ、回転数をフィルムの進行方向とは逆向きに２５０ｒ
ｐｍとした。その後、乾燥炉で１００℃×３０秒乾燥さ
せた。

【００２８】このように処理したポリイミドフィルムに
ついて、以下の方法で接着強度の評価を行った。アクリ
ル系接着剤（デュポン（株）製”パイララックス”）を
用いて上記処理フィルムと銅箔（三井金属鉱業（株）製
電解銅箔”３ＥＣ”３５μｍ厚）とをラミネートし、１
８５℃×１時間で接着剤の硬化反応を行い、ＦＣＣＬ
（フィルム・銅箔積層板）を作製した。得られたＦＣＣ
Ｌの銅パターン幅が３mmとなるようサンプルを切り出
し、引張試験器（島津製作所（株）製”Ｓ−１００−
Ｃ”）によりピールテストスピード５０mm／minで９０
°剥離の引張試験を行った。ｎ＝５の平均値による測定
結果を表１に示す。なお、引き剥がし後の破壊面は、す
べてフィルム／接着剤界面で発生した。

【００２９】

【表１】

【００３０】〔実施例 ２〕 液処理部において、有機溶剤としてメタノールを用いた
以外は実施例１と同様にしてポリイミドフィルムの表面
処理を行った。このように処理したポリイミドフィルム
について、実施例１と同様にして接着強度を評価し、ｎ
＝５の平均値による測定結果を表１に示した。なお、引
き剥がし後の破壊面は、すべてフィルム／接着剤界面で
発生した。

【００３１】〔実施例 ３〕 液処理部において、回転ブラシとして線径３０μｍのナ
イロンブラシを用いた以外は実施例１と同様にしてポリ
イミドフィルムの表面処理を行った。このように処理し
たポリイミドフィルムについて、実施例１と同様にして
接着強度を評価し、ｎ＝５の平均値による測定結果を表
１に示した。なお、引き剥がし後の破壊面は、すべてフ
ィルム／接着剤界面で発生した。

【００３２】〔実施例 ４〕 処理条件としてラインスピードを４ｍ／minとし、液処
理部において有機溶剤としてエタノールを用い、回転ブ
ラシとしてポリエステル不織布を基材としたもの（線径
約５〜２０μｍ）を用いた以外は実施例１と同様にして
ポリイミドフィルムの表面処理を行った。このように処
理したポリイミドフィルムについて、実施例１と同様に
して接着強度を評価し、ｎ＝５の平均値による測定結果
を表１に示した。なお、引き剥がし後の破壊面は、すべ
てフィルム／接着剤界面で発生した。

【００３３】〔実施例 ５〕 液処理部において、有機溶剤としてアルコール系混合溶
媒であるソルミックスＡ−１１を用いた以外は実施例４
と同様にしてポリイミドフィルムの表面処理を行った。
このように処理したポリイミドフィルムについて、実施
例１と同様にして接着強度を評価し、ｎ＝５の平均値に
よる測定結果を表１に示した。なお、引き剥がし後の破
壊面は、すべてフィルム／接着剤界面で発生した。

【００３４】〔実施例 ６〕 液処理部において、有機溶剤として塩化メチレンを用い
た以外は実施例４と同様にしてポリイミドフィルムの表
面処理を行った。このように処理したポリイミドフィル
ムについて、実施例１と同様にして接着強度を評価し、
ｎ＝５の平均値による測定結果を表１に示した。なお、
引き剥がし後の破壊面は、すべてフィルム／接着剤界面
で発生した。

【００３５】〔実施例 ７〕 液処理部において、有機溶剤に変えて８０℃の熱水を用
いた以外は実施例１と同様にしてポリイミドフィルムの
表面処理を行った。このように処理したポリイミドフィ
ルムについて、実施例１と同様にして接着強度を評価
し、ｎ＝５の平均値による測定結果を表１に示した。な
お、引き剥がし後の破壊面は、すべてフィルム／接着剤
界面で発生した。

【００３６】〔実施例 ８〕 液処理部において、回転ブラシの回転方向をフィルムの
進行方向と同じ方向とし、その回転数を２５０ｒｐｍと
した以外は実施例１と同様にしてポリイミドフィルムの
表面処理を行った。このように処理したポリイミドフィ
ルムについて、実施例１と同様にして接着強度を評価
し、ｎ＝５の平均値による測定結果を表１に示した。な
お、引き剥がし後の破壊面は、すべてフィルム／接着剤
界面で発生した。

【００３７】〔実施例 ９〜１６〕 図１に示したものとほぼ同じ表面処理装置を用い、実施
例１と同様の２５μｍ厚のポリイミドフィルムを用い
て、コロナ処理に変えてプラズマ処理を行った以外は実
施例１〜８と同様にしてポリイミドフィルムの表面処理
を行った。処理条件はプラズマ処理部においてガス組成
がＡｒ／Ｈｅ＝６／４の雰囲気下で圧力を７６０Torrと
し、電力密度を８００Ｗ・min／ｍ²とした。このように
処理したそれぞれのポリイミドフィルムについて、実施
例１と同様にして接着強度を評価し、ｎ＝５の平均値に
よる測定結果を表１に示した。なお、引き剥がし後の破
壊面は、すべてフィルム／接着剤界面で発生した。

【００３８】〔実施例 １７〕 図１に示したものとほぼ同じ表面処理装置を用い、実施
例１と同様の２５μｍ厚のポリイミドフィルムを用い
て、コロナ処理を行った後にプラズマ処理を行い、次い
で、連続的に有機溶剤で濡らした状態で物理的機械力を
加える液処理を施し、その後該表面を乾燥させてポリイ
ミドフィルムの表面処理を行った。処理条件はラインス
ピードを５ｍ／minとし、コロナ処理部、液処理部、乾
燥部では実施例１と同様とし、プラズマ処理部は実施例
８と同様とした。このように処理したポリイミドフィル
ムについて、実施例１と同様にして接着強度を評価し、
ｎ＝５の平均値による測定結果を表１に示した。なお、
引き剥がし後の破壊面は、すべてフィルム／接着剤界面
で発生した。

【００３９】〔比較例 １〕 比較のために、実施例１で使用した２５μｍ厚のポリイ
ミドフィルムについて、表面処理を施さずに用い、実施
例１と同様にして接着強度を評価し、ｎ＝５の平均値に
よる測定結果を表１に示した。なお、引き剥がし後の破
壊面は、すべてフィルム／接着剤界面で発生した。

【００４０】〔比較例 ２〕 比較のために、実施例１で使用した２５μｍ厚のポリイ
ミドフィルムについて、実施例１と同じ条件でコロナ処
理のみを施して用い、実施例１と同様にして接着強度を
評価し、ｎ＝５の平均値による測定結果を表１に示し
た。なお、引き剥がし後の破壊面は、すべてフィルム／
接着剤界面で発生した。

【００４１】〔比較例 ３〕 比較のために、実施例１で使用した２５μｍ厚のポリイ
ミドフィルムについて、実施例８と同じ条件でプラズマ
処理のみを施して用い、実施例１と同様にして接着強度
を評価し、ｎ＝５の平均値による測定結果を表１に示し
た。なお、引き剥がし後の破壊面は、すべてフィルム／
接着剤界面で発生した。

【００４２】

【発明の効果】本発明に係るポリイミドフィルムの接着
性改善方法は、ポリイミドフィルムの表面にコロナ処理
又はプラズマ処理のいずれか一方若しくは双方を行った
後、該表面を水若しくは有機溶剤又は該溶液でぬらした
状態で物理的機械力を加えて処理する液処理工程を行う
ことを特徴とし、かかる方法によりフィルム表面に親水
基を導入するとともに、更に該表面を高度に清浄化する
ことができる。そのため、このようにコロナ処理及び／
又はプラズマ処理を行った後に液処理を行うことによ
り、フィルム表面は高度に清浄化されて安定的に親水化
されており、従来よりも接着性改善効果が飛躍的に向上
する。従って、かかる方法により表面処理されて接着性
を改善したポリイミドフィルムは優れた接着性を示し、
ＦＰＣのベースフィルムとして好適に使用することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るポリイミドフィルムの接着性改善
方法を実施するための表面処理装置を示した説明図であ
る。

【図２】図１におけるコロナ処理装置の他の構成を示し
た説明図である。

【図３】図１における液処理工程のための装置の他の構
成を示した説明図である。

【図４】図１における液処理工程のための装置の更に他
の構成を示した説明図であり、図（ａ）は片面処理、
（ｂ）は両面処理のための装置である。

【図５】図１における液処理工程のための装置の更に他
の構成を示した説明図であり、図（ａ）は片面処理、
（ｂ）は両面処理のための装置である。

【図６】図１におけるコロナ処理装置に変えて設けられ
るプラズマ処理装置の構成を示した説明図である。

【符号の説明】

１０；表面処理装置 １２；コロナ処理装置 １４；液処理工程のための装置 １６；乾燥炉 １８；繰り出し装置 ２０；巻取り装置 ２２；ポリイミドフィルム ３２；回転ブラシ ３４；液吹き付けノズル ３６；リンス用ノズル ４４；フリーロール ５２；プラズマ処理装置

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平８−12784（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−12782（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−56541（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) C08J 7/00 - 7/02

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ポリイミドフィルムの表面にコロナ処理
   又はプラズマ処理のいずれか一方若しくは双方を行った
   後、該表面を水若しくは有機溶剤又は該溶液でぬらした
   状態で物理的機械力を加えて処理する液処理工程を行う
   ことを特徴とするポリイミドフィルムの接着性改善方
   法。
2. 【請求項２】 前記液処理工程を行った後に、該フィル
   ム表面を乾燥させる乾燥工程を行うことを特徴とする請
   求項１に記載するポリイミドフィルムの接着性改善方
   法。