JP3525220B2 - 磁気軸受装置 - Google Patents
磁気軸受装置Info
- Publication number
- JP3525220B2 JP3525220B2 JP30702992A JP30702992A JP3525220B2 JP 3525220 B2 JP3525220 B2 JP 3525220B2 JP 30702992 A JP30702992 A JP 30702992A JP 30702992 A JP30702992 A JP 30702992A JP 3525220 B2 JP3525220 B2 JP 3525220B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotating body
- natural frequency
- magnetic bearing
- motion
- axis direction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、５自由度制御形磁気
軸受装置に関する。 【０００２】 【従来の技術】５自由度制御形磁気軸受装置では、並進
運動と傾斜運動を分離して制御する方式が知られてい
る。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、５自由
度制御形磁気軸受装置の回転体には特有のジャイロ効果
が発生するため、種々の複雑さが発生する。その１例と
して、１次、２次、３次の固有振動数の分岐が挙げられ
る。このため、各固有振動数に対し、広い周波数範囲で
の位相補償を必要とし、制御系の複雑化を招くなどの不
具合があった。 【０００４】この発明の目的は、上記の問題を解決し、
制御系を簡単にかつ安価に構成できる磁気軸受装置を提
供することにある。 【０００５】 【課題を解決するための手段】この発明による磁気軸受
装置は、回転体を非接触支持する少なくとも１つのアキ
シアル方向磁気軸受と少なくとも２つのラジアル方向磁
気軸受とを有する磁気軸受装置において、回転体の並進
運動と傾斜運動を分離した制御を行う制御手段を備え、
回転体の傾斜運動の前回り固有振動数または後回り固有
振動数と並進運動の固有振動数とが回転体の定格回転数
近傍において共通の周波数領域の位相補償を行えばよい
程度に接近させられていることを特徴とするものであ
る。 【０００６】 【作用】回転体の並進運動と傾斜運動を分離した制御を
行うことにより、並進運動の固有振動数が分岐しないよ
うにすることができる。そして、このように分岐しない
並進運動の固有振動数と傾斜運動の前回り固有振動数ま
たは後回り固有振動数とが回転体の定格回転数近傍にお
いて共通の周波数領域の位相補償を行えばよい程度に接
近させられているので、回転体の定格回転数近傍におい
て傾斜運動の前回り固有振動数と後回り固有振動数の２
つの周波数領域の位相補償だけを行えばよい。なお、回
転体の極慣性モーメント、傾斜慣性モーメント、軸受剛
性などを適当に設定することにより、回転体の傾斜運動
の前回り固有振動数または後回り固有振動数と並進運動
の固有振動数とを回転体の定格回転数近傍において接近
させることができる。 【０００７】 【実施例】以下、図面を参照して、この発明の実施例に
ついて説明する。 【０００８】図１は、５自由度制御形磁気軸受装置とそ
の制御装置の主要部を示している。なお、以下の説明に
おいて、上下左右は図１についていうものとする。 【０００９】磁気軸受装置は、回転体(1) を非接触支持
する１つのアキシアル方向磁気軸受（図示略）と左右２
つのラジアル方向磁気軸受(2)(3)を備えている。 【００１０】アキシアル方向磁気軸受は、回転体(1) を
Ｚ軸方向（左右方向）に支持するものである。ラジアル
方向磁気軸受(2)(3)は、回転体(1) をラジアル方向に支
持するものである。各ラジアル方向磁気軸受(2)(3)に
は、回転体(1) をＺ軸と直交するＸ軸方向（上下方向）
に支持する部分（Ｘ軸方向磁気軸受）と、Ｚ軸およびＸ
軸と直交するＹ軸方向（図１の紙面と直交する方向）に
支持する部分（Ｙ軸方向磁気軸受）とがあり、図１には
Ｘ軸方向磁気軸受(4)(5)が示されている。また、ラジア
ル方向磁気軸受(2)(3)の制御装置には、Ｘ軸方向磁気軸
受(4)(5)を制御する部分（Ｘ軸方向制御装置）とＹ軸方
向磁気軸受を制御する部分（Ｙ軸方向制御装置）とがあ
り、図１にはＸ軸方向制御装置(6) が示されている。 【００１１】図１に示されているＸ軸方向磁気軸受(4)
(5)およびＸ軸方向制御装置(6) は、Ｘ−Ｚ平面におけ
る回転体(1) の並進運動と傾斜運動を分離して制御する
ものである。ここで、並進運動とは回転体(1) の重心の
Ｘ軸方向の運動であり、傾斜運動とは回転体(1) の重心
を通りＹ軸と平行な軸を中心とする回転体(1) の回転運
動である。 【００１２】各Ｘ軸方向磁気軸受(4)(5)は、回転体(1)
をＸ軸方向の両側から挟むように配置された１対の電磁
石(4a)(4b)(5a)(5b)を備えている。また、各電磁石(4a)
(4b)(5a)(5b)の近傍に、回転体(1) のＸ軸方向の位置を
検出するための１対の位置センサ(7a)(7b)(8a)(8b)が回
転体(1) をＸ軸方向の両側から挟むように配置されてい
る。 【００１３】左側の１対の位置センサ(7a)(7b)の出力は
第１減算器(10)に入力し、これによって回転体(1) の左
側部分のＸ軸方向変位が演算される。右側の１対の位置
センサ(8a)(8b)の出力は第２減算器(11)に入力し、これ
によって回転体(1) の右側部分のＸ軸方向変位が演算さ
れる。第１および第２減算器(10)(11)の出力は、第１加
算器(12)の２つの入力端子にそれぞれ入力し、これによ
って回転体(1) の並進運動量が演算される。第１および
第２減算器(10)(11)の出力は、また、第３減算器(13)の
２つの入力端子にそれぞれ入力し、これによって回転体
(1) の傾斜運動量が演算される。第１加算器(12)の出力
は並進運動用ＰＩＤ制御回路(14)に入力し、この回路(1
4)から並進運動用制御信号が出力される。第３減算器(1
3)の出力は傾斜運動用ＰＩＤ制御回路(15)に入力し、こ
の回路(15)から傾斜運動用制御信号が出力される。２つ
の制御回路(14)(15)の出力は、第２加算器(16)の２つの
入力端子にそれぞれ入力し、この加算器(16)から左側の
Ｘ軸方向磁気軸受(4) の制御信号が出力される。第２加
算器(16)の出力は電力増幅器(17)を介して左側の一方の
電磁石(4a)のコイルに入力するとともに、インバータ(1
8)および電力増幅器(19)を介して左側の他方の電磁石(4
b)のコイルに入力し、これによってこれらの電磁石(4a)
(4b)のコイルに流れる電流値が制御される。２つの制御
回路(14)(15)の出力は、また、第４減算器(20)の２つの
入力端子にそれぞれ入力し、この減算器(20)から右側の
Ｘ軸方向磁気軸受(5) の制御信号が出力される。第４減
算器(20)の出力は電力増幅器(21)を介して右側の一方の
電磁石(5a)のコイルに入力するとともに、インバータ(2
2)および電力増幅器(23)を介して右側の他方の電磁石(5
b)のコイルに入力し、これによってこれらの電磁石(5a)
(5b)のコイルに流れる電流値が制御される。そして、こ
のように左右のＸ軸方向磁気軸受(4)(5)の電磁石(4a)(4
b)(5a)(5b)のコイルに流れる電流値を制御することによ
り、回転体(1) の並進運動と傾斜運動が分離して制御さ
れる。 【００１４】図２〜図５は、回転体(1) の回転数とその
固有振動数との関係を示している。 【００１５】回転体(1) の並進運動と傾斜運動とを分離
した制御を行わない場合、図２に示すように、並進運動
の固有振動数Ａは前回り固有振動数A1と後回り固有振動
数A2に分岐し、傾斜運動の固有振動数Ｂは前回り固有振
動数B1と後回り固有振動数B2に分岐する。そして、回転
体(1) の定格回転数N1近傍では４つの固有振動数が現
れ、これら各固有振動数に対して広い周波数範囲での位
相補償が必要となるため、制御装置が複雑化する。 【００１６】これに対し、上記実施例のＸ軸方向制御装
置(6) は回転体(1) の並進運動と傾斜運動を分離して制
御しているので、図３に示すように、並進運動の固有振
動数Ａは分岐しなくなる。並進運動と傾斜運動の分離が
完全な場合は並進運動の固有振動数Ａは全く分岐せず、
並進運動と傾斜運動の分離がある程度不完全であっても
並進運動の固有振動数Ａはほとんど分岐しない。 【００１７】上記実施例の磁気軸受装置では、上記のよ
うにＸ軸方向制御装置(6)により回転体(1)の並進運動と
傾斜運動を分離して、並進運動の固有振動数Ａを分岐し
ないようにした上に、図４に示すように、回転体(1)の
定格回転数N1近傍において、並進運動の固有振動数Ａを
共通の周波数領域の位相補償を行えばよい程度に傾斜運
動の前回り固有振動数B1に接近させている。このため、
回転体(1)の定格回転数N1近傍において、傾斜運動の前
回り固有振動数B1と後回り固有振動数B2の２つの周波数
領域の位相補償だけを行えばよく、Ｘ軸方向制御装置
(6) を簡単にすることができる。なお、回転体(1)の極
慣性モーメント、傾斜慣性モーメント、軸受剛性などを
予め適当な値に設定しておくことにより、回転体(1)の
定格回転数N1近傍において並進運動の固有振動数Ａを傾
斜運動の前回り固有振動数B1に接近させることができ
る。 【００１８】回転体(1)の並進運動の固有振動数Ａが並
進運動の後回り固有振動数B2より小さい場合は、図５に
示すように、回転体(1)の定格回転数N1近傍において並
進運動の固有振動数Ａを共通の周波数領域の位相補償を
行えばよい程度に傾斜運動の後回り固有振動数B2に接近
させることができる。 【００１９】Ｙ軸方向磁気軸受およびＹ軸方向制御装置
についても、制御方向がＸ軸方向からＹ軸方向に変わる
だけで、上記のＸ軸方向磁気軸受(4)(5)およびＸ軸方向
制御装置(6) と同様に構成される。 【００２０】 【発明の効果】この発明の磁気軸受装置によれば、上述
のように、回転体の定格回転数近傍において傾斜運動の
前回り固有振動数と後回り固有振動数の２つの周波数領
域の位相補償だけを行うだけでよく、制御系を簡単にか
つ安価に構成することができる。
軸受装置に関する。 【０００２】 【従来の技術】５自由度制御形磁気軸受装置では、並進
運動と傾斜運動を分離して制御する方式が知られてい
る。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、５自由
度制御形磁気軸受装置の回転体には特有のジャイロ効果
が発生するため、種々の複雑さが発生する。その１例と
して、１次、２次、３次の固有振動数の分岐が挙げられ
る。このため、各固有振動数に対し、広い周波数範囲で
の位相補償を必要とし、制御系の複雑化を招くなどの不
具合があった。 【０００４】この発明の目的は、上記の問題を解決し、
制御系を簡単にかつ安価に構成できる磁気軸受装置を提
供することにある。 【０００５】 【課題を解決するための手段】この発明による磁気軸受
装置は、回転体を非接触支持する少なくとも１つのアキ
シアル方向磁気軸受と少なくとも２つのラジアル方向磁
気軸受とを有する磁気軸受装置において、回転体の並進
運動と傾斜運動を分離した制御を行う制御手段を備え、
回転体の傾斜運動の前回り固有振動数または後回り固有
振動数と並進運動の固有振動数とが回転体の定格回転数
近傍において共通の周波数領域の位相補償を行えばよい
程度に接近させられていることを特徴とするものであ
る。 【０００６】 【作用】回転体の並進運動と傾斜運動を分離した制御を
行うことにより、並進運動の固有振動数が分岐しないよ
うにすることができる。そして、このように分岐しない
並進運動の固有振動数と傾斜運動の前回り固有振動数ま
たは後回り固有振動数とが回転体の定格回転数近傍にお
いて共通の周波数領域の位相補償を行えばよい程度に接
近させられているので、回転体の定格回転数近傍におい
て傾斜運動の前回り固有振動数と後回り固有振動数の２
つの周波数領域の位相補償だけを行えばよい。なお、回
転体の極慣性モーメント、傾斜慣性モーメント、軸受剛
性などを適当に設定することにより、回転体の傾斜運動
の前回り固有振動数または後回り固有振動数と並進運動
の固有振動数とを回転体の定格回転数近傍において接近
させることができる。 【０００７】 【実施例】以下、図面を参照して、この発明の実施例に
ついて説明する。 【０００８】図１は、５自由度制御形磁気軸受装置とそ
の制御装置の主要部を示している。なお、以下の説明に
おいて、上下左右は図１についていうものとする。 【０００９】磁気軸受装置は、回転体(1) を非接触支持
する１つのアキシアル方向磁気軸受（図示略）と左右２
つのラジアル方向磁気軸受(2)(3)を備えている。 【００１０】アキシアル方向磁気軸受は、回転体(1) を
Ｚ軸方向（左右方向）に支持するものである。ラジアル
方向磁気軸受(2)(3)は、回転体(1) をラジアル方向に支
持するものである。各ラジアル方向磁気軸受(2)(3)に
は、回転体(1) をＺ軸と直交するＸ軸方向（上下方向）
に支持する部分（Ｘ軸方向磁気軸受）と、Ｚ軸およびＸ
軸と直交するＹ軸方向（図１の紙面と直交する方向）に
支持する部分（Ｙ軸方向磁気軸受）とがあり、図１には
Ｘ軸方向磁気軸受(4)(5)が示されている。また、ラジア
ル方向磁気軸受(2)(3)の制御装置には、Ｘ軸方向磁気軸
受(4)(5)を制御する部分（Ｘ軸方向制御装置）とＹ軸方
向磁気軸受を制御する部分（Ｙ軸方向制御装置）とがあ
り、図１にはＸ軸方向制御装置(6) が示されている。 【００１１】図１に示されているＸ軸方向磁気軸受(4)
(5)およびＸ軸方向制御装置(6) は、Ｘ−Ｚ平面におけ
る回転体(1) の並進運動と傾斜運動を分離して制御する
ものである。ここで、並進運動とは回転体(1) の重心の
Ｘ軸方向の運動であり、傾斜運動とは回転体(1) の重心
を通りＹ軸と平行な軸を中心とする回転体(1) の回転運
動である。 【００１２】各Ｘ軸方向磁気軸受(4)(5)は、回転体(1)
をＸ軸方向の両側から挟むように配置された１対の電磁
石(4a)(4b)(5a)(5b)を備えている。また、各電磁石(4a)
(4b)(5a)(5b)の近傍に、回転体(1) のＸ軸方向の位置を
検出するための１対の位置センサ(7a)(7b)(8a)(8b)が回
転体(1) をＸ軸方向の両側から挟むように配置されてい
る。 【００１３】左側の１対の位置センサ(7a)(7b)の出力は
第１減算器(10)に入力し、これによって回転体(1) の左
側部分のＸ軸方向変位が演算される。右側の１対の位置
センサ(8a)(8b)の出力は第２減算器(11)に入力し、これ
によって回転体(1) の右側部分のＸ軸方向変位が演算さ
れる。第１および第２減算器(10)(11)の出力は、第１加
算器(12)の２つの入力端子にそれぞれ入力し、これによ
って回転体(1) の並進運動量が演算される。第１および
第２減算器(10)(11)の出力は、また、第３減算器(13)の
２つの入力端子にそれぞれ入力し、これによって回転体
(1) の傾斜運動量が演算される。第１加算器(12)の出力
は並進運動用ＰＩＤ制御回路(14)に入力し、この回路(1
4)から並進運動用制御信号が出力される。第３減算器(1
3)の出力は傾斜運動用ＰＩＤ制御回路(15)に入力し、こ
の回路(15)から傾斜運動用制御信号が出力される。２つ
の制御回路(14)(15)の出力は、第２加算器(16)の２つの
入力端子にそれぞれ入力し、この加算器(16)から左側の
Ｘ軸方向磁気軸受(4) の制御信号が出力される。第２加
算器(16)の出力は電力増幅器(17)を介して左側の一方の
電磁石(4a)のコイルに入力するとともに、インバータ(1
8)および電力増幅器(19)を介して左側の他方の電磁石(4
b)のコイルに入力し、これによってこれらの電磁石(4a)
(4b)のコイルに流れる電流値が制御される。２つの制御
回路(14)(15)の出力は、また、第４減算器(20)の２つの
入力端子にそれぞれ入力し、この減算器(20)から右側の
Ｘ軸方向磁気軸受(5) の制御信号が出力される。第４減
算器(20)の出力は電力増幅器(21)を介して右側の一方の
電磁石(5a)のコイルに入力するとともに、インバータ(2
2)および電力増幅器(23)を介して右側の他方の電磁石(5
b)のコイルに入力し、これによってこれらの電磁石(5a)
(5b)のコイルに流れる電流値が制御される。そして、こ
のように左右のＸ軸方向磁気軸受(4)(5)の電磁石(4a)(4
b)(5a)(5b)のコイルに流れる電流値を制御することによ
り、回転体(1) の並進運動と傾斜運動が分離して制御さ
れる。 【００１４】図２〜図５は、回転体(1) の回転数とその
固有振動数との関係を示している。 【００１５】回転体(1) の並進運動と傾斜運動とを分離
した制御を行わない場合、図２に示すように、並進運動
の固有振動数Ａは前回り固有振動数A1と後回り固有振動
数A2に分岐し、傾斜運動の固有振動数Ｂは前回り固有振
動数B1と後回り固有振動数B2に分岐する。そして、回転
体(1) の定格回転数N1近傍では４つの固有振動数が現
れ、これら各固有振動数に対して広い周波数範囲での位
相補償が必要となるため、制御装置が複雑化する。 【００１６】これに対し、上記実施例のＸ軸方向制御装
置(6) は回転体(1) の並進運動と傾斜運動を分離して制
御しているので、図３に示すように、並進運動の固有振
動数Ａは分岐しなくなる。並進運動と傾斜運動の分離が
完全な場合は並進運動の固有振動数Ａは全く分岐せず、
並進運動と傾斜運動の分離がある程度不完全であっても
並進運動の固有振動数Ａはほとんど分岐しない。 【００１７】上記実施例の磁気軸受装置では、上記のよ
うにＸ軸方向制御装置(6)により回転体(1)の並進運動と
傾斜運動を分離して、並進運動の固有振動数Ａを分岐し
ないようにした上に、図４に示すように、回転体(1)の
定格回転数N1近傍において、並進運動の固有振動数Ａを
共通の周波数領域の位相補償を行えばよい程度に傾斜運
動の前回り固有振動数B1に接近させている。このため、
回転体(1)の定格回転数N1近傍において、傾斜運動の前
回り固有振動数B1と後回り固有振動数B2の２つの周波数
領域の位相補償だけを行えばよく、Ｘ軸方向制御装置
(6) を簡単にすることができる。なお、回転体(1)の極
慣性モーメント、傾斜慣性モーメント、軸受剛性などを
予め適当な値に設定しておくことにより、回転体(1)の
定格回転数N1近傍において並進運動の固有振動数Ａを傾
斜運動の前回り固有振動数B1に接近させることができ
る。 【００１８】回転体(1)の並進運動の固有振動数Ａが並
進運動の後回り固有振動数B2より小さい場合は、図５に
示すように、回転体(1)の定格回転数N1近傍において並
進運動の固有振動数Ａを共通の周波数領域の位相補償を
行えばよい程度に傾斜運動の後回り固有振動数B2に接近
させることができる。 【００１９】Ｙ軸方向磁気軸受およびＹ軸方向制御装置
についても、制御方向がＸ軸方向からＹ軸方向に変わる
だけで、上記のＸ軸方向磁気軸受(4)(5)およびＸ軸方向
制御装置(6) と同様に構成される。 【００２０】 【発明の効果】この発明の磁気軸受装置によれば、上述
のように、回転体の定格回転数近傍において傾斜運動の
前回り固有振動数と後回り固有振動数の２つの周波数領
域の位相補償だけを行うだけでよく、制御系を簡単にか
つ安価に構成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施例を示す磁気軸受装置とその制
御装置の主要部の電気ブロック図である。 【図２】回転体の回転数とその固有振動数との関係を示
すグラフである。 【図３】回転体の回転数とその固有振動数との関係を示
すグラフである。 【図４】回転体の回転数とその固有振動数との関係を示
すグラフである。 【図５】回転体の回転数とその固有振動数との関係を示
すグラフである。 【符号の説明】 (1) 回転体 (2)(3) ラジアル方向磁気軸受 (4)(5) Ｘ軸方向磁気軸受 (6) Ｘ軸方向制御装置
御装置の主要部の電気ブロック図である。 【図２】回転体の回転数とその固有振動数との関係を示
すグラフである。 【図３】回転体の回転数とその固有振動数との関係を示
すグラフである。 【図４】回転体の回転数とその固有振動数との関係を示
すグラフである。 【図５】回転体の回転数とその固有振動数との関係を示
すグラフである。 【符号の説明】 (1) 回転体 (2)(3) ラジアル方向磁気軸受 (4)(5) Ｘ軸方向磁気軸受 (6) Ｘ軸方向制御装置
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
F16C 32/04
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】回転体を非接触支持する少なくとも１つの
アキシアル方向磁気軸受と少なくとも２つのラジアル方
向磁気軸受とを有する磁気軸受装置において、 回転体の並進運動と傾斜運動を分離した制御を行う制御
手段を備え、回転体の傾斜運動の前回り固有振動数また
は後回り固有振動数と並進運動の固有振動数とが回転体
の定格回転数近傍において共通の周波数領域の位相補償
を行えばよい程度に接近させられていることを特徴とす
る磁気軸受装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30702992A JP3525220B2 (ja) | 1992-11-17 | 1992-11-17 | 磁気軸受装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30702992A JP3525220B2 (ja) | 1992-11-17 | 1992-11-17 | 磁気軸受装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06159363A JPH06159363A (ja) | 1994-06-07 |
| JP3525220B2 true JP3525220B2 (ja) | 2004-05-10 |
Family
ID=17964179
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30702992A Expired - Fee Related JP3525220B2 (ja) | 1992-11-17 | 1992-11-17 | 磁気軸受装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3525220B2 (ja) |
-
1992
- 1992-11-17 JP JP30702992A patent/JP3525220B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06159363A (ja) | 1994-06-07 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3135410B2 (ja) | 磁気軸受装置 | |
| EP0313727B1 (en) | Unstable vibration prevention apparatus for magnetic bearing system | |
| JP3333739B2 (ja) | 故障許容機能を備えた磁気ベアリング制御システム構成 | |
| JP3790883B2 (ja) | 磁気軸受装置 | |
| KR20010042206A (ko) | 제어형 자기 베어링장치 | |
| JPH07256503A (ja) | スピンドル装置 | |
| JPH09105414A (ja) | ロータを軸支する磁気軸受 | |
| JP3131671B2 (ja) | 磁気軸受装置 | |
| JP3525220B2 (ja) | 磁気軸受装置 | |
| JPH07238928A (ja) | 磁気軸受装置 | |
| JP3312218B2 (ja) | 磁気軸受装置 | |
| JP3735736B2 (ja) | 磁気軸受の制御装置 | |
| JP3616852B2 (ja) | 磁気軸受装置 | |
| US5140209A (en) | Method of controlling electromagnets in electromagentic bearings | |
| JP3301619B2 (ja) | 磁気軸受装置 | |
| JP4058724B2 (ja) | 磁気軸受装置 | |
| JP3635343B2 (ja) | 磁気軸受装置 | |
| JP3248108B2 (ja) | 磁気軸受の制御装置 | |
| JP3565894B2 (ja) | 磁気軸受装置 | |
| JP3174864B2 (ja) | 磁気軸受の制御装置 | |
| JPH04258524A (ja) | ラジアル磁気軸受装置 | |
| JPH03255240A (ja) | 能動軸受のロータ支持制御装置 | |
| JPH07127640A (ja) | 磁気軸受制御装置 | |
| JPH0988956A (ja) | 磁気軸受装置 | |
| JPH07224839A (ja) | 磁気軸受装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20040106 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20040202 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090227 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100227 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100227 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110227 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110227 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120227 Year of fee payment: 8 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |