JP3523764B2 - 非金属介在物測定における異物検出装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は金属組織を顕微鏡で
検出する際、試料表面のゴミや気泡などに発生した穴な
どの異物を非金属介在物から分離して検出する非金属介
在物測定における異物検出装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】金属顕微鏡にテレビカメラを接続し、撮
像された画像から測定対象の鋼材中の非金属介在物を測
定することが行われている。これらはＪＩＳ−Ｇ−０５
５５やＡＳＴＭ−Ｅ４５・１２４５等の規格によって行
われ、撮像した画像から２値画像を作成し、粒子の大き
さや形状、所定の間隔以内で連続する個数などを測定
し、非金属介在物を検出する。

【０００３】測定対象の試料の表面は研磨機により十分
磨いた鏡面状態に仕上げられたもの、またはこれをエッ
チングしたものである。これらの研磨機により試料表面
に傷が発生することがある。または研磨した後、水洗い
をし、熱風乾燥または溶剤により表面を拭き取って顕微
鏡に設定するが、水滴が残っている場合がある。また水
滴が乾燥して試料に付着してしみになる場合がある。ま
た拭き取り時にゴミが試料に付着することがある。

【０００４】このような水滴、ゴミ、キズ等は非金属介
在物と分離して識別する必要があり、本出願人は特開平
８−６８７６５号公報でこれらの識別方法を開示してい
る。この方法は対象物を撮像した濃淡画像に表れる異物
を通るライン上の濃度プロフィールを求め、この一次微
分の０点通過点の個数を求めることなどにより、水滴、
ゴミ、キズなどを判別している。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかし上記方法では比
較的大きなゴミなどは判別できるが、非金属介在物と同
じ色合い（濃度）を持った研磨粒などのゴミや、非金属
介在物や気泡の抜けた小さな穴などは識別が困難であっ
た。

【０００６】本発明は上述の問題点に鑑みてなされたも
ので、試料表面のゴミや穴などの異物を非金属介在物か
ら区別して検出する非金属介在物測定における異物検出
装置を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を解決するた
め、請求項１の発明では、試料の表面に上方と斜方とか
らそれぞれ別々に、かつ時間を変えて照明する照明手段
と、この照明の反射光を撮像する撮像手段と、上方照明
により撮像した画像の第１濃淡画像と斜方照明により撮
像した画像の第２濃淡画像とを得る濃淡画像生成手段
と、この第１濃淡画像に表れる粒子を２値化した第１画
像と第２濃淡画像に表れる粒子を２値化した第２画像と
を得る２値化手段と、前記第１画像に表れる第１粒子と
前記第２画像に表れる第１粒子に対応した第２粒子につ
いて、第１粒子の面積ａ１と第２粒子の面積ａ２との比
ａ２／ａ１が第１判定値Ｔ１に対してａ２／ａ１≧Ｔ１
の場合、第１粒子をゴミと判定する粒子判定手段と、を
備える。

【０００８】

【０００９】

【００１０】試料の表面に上方から照明して、これを撮
像すると、非金属介在物、ゴミ、穴などの粒子状の形状
が得られる。また斜方から照明して撮像すると、ゴミと
穴のように凹凸のある粒子は全体または一部分が光った
状態の画像が得られる。この上方照明画像を第１濃淡画
像とし、この粒子を２値化した第１画像には、非金属介
在物を含む全ての粒子の２値化像が得られる。また斜方
照明画像を第２濃淡画像とし、この粒子を２値化した第
２画像には、光った部分の形状を表す２値化像が得られ
る。なお、非金属介在物は第１画像には表れるが、凹凸
がないので第２画像には表れない。これによりゴミや穴
のように凹凸のため光る部分のある粒子と非金属介在物
を区別できる。ゴミは１つの粒子についてその全面積に
占める光る部分の面積が多く、穴は光る部分の占める面
積が少ない。この差によりゴミと穴を区別できる。そこ
で同一の粒子について、第１画像の第１粒子の面積ａ１
と、第２画像の第２粒子の面積ａ２との比ａ２／ａ１が
第１判定値Ｔ１以上である場合ゴミと判定する。なお、
判定値Ｔ１および以下に述べる判定値Ａ，Ｔ２は、非金
属介在物の測定をしようとする金属材料と同一ロットの
材料または同一の製法により製造した金属材料より測定
試料を作成し、顕微鏡の倍率を色々変え、人がゴミや穴
と判定した異物についてこれらの画像上の面積や面積比
から定めた判定値である。

【００１１】請求項２の発明では、前記粒子判定手段
は、前記ａ２／ａ１がａ２／ａ１＜Ｔ１の場合、前記面
積ａ２が第２判定値Ａに対してａ２≧Ａの場合でかつａ
２／ａ１が第３判定値Ｔ２に対してａ２／ａ１≧Ｔ２の
場合、第１粒子を穴と判定する。

【００１２】請求項１または２においてａ２／ａ１＜Ｔ
１の粒子についてはゴミでないと判定されたので、穴か
否かの判定をする。まず、光る部分のある面積ａ２が第
２判定値Ａ以上のものは穴である可能性が高い。そこで
ａ２かＡ以上で、かつ、光る面積ａ２の全面積ａ１に対
する比ａ２／ａ１が第３判定値Ｔ２以上の場合、第１粒
子を穴と判定する。

【００１３】

【００１４】

【００１５】

【００１６】

【００１７】

【００１８】

【００１９】請求項３の発明では、前記照明手段は光源
としてハロゲンランプ、キセノンランプ、タングステン
ランプ、水銀ランプのいずれかを用いる。

【００２０】照明用光源はレーザ光のような単波長また
は狭範囲の波長の光よりも広い範囲の波長を含むハロゲ
ンランプ、キセノンランプ、タングステンランプ、水銀
ランプを用いることにより１画面内に非金属介在物、ゴ
ミや穴の画像が同時に得られ、しかもゴミや穴のように
試料表面に盛り上がったゴミは白く光り、へこんだ穴は
周囲に内部と異なる特定の色が生ずるので、これらを識
別することができる。

【００２１】請求項４の発明では、前記照明手段は斜方
からの照明を水平より５度以内の照射角度とする。

【００２２】斜方から照明する場合で、ゴミが効果的に
白く光るには斜方からの光を水平に対して５度以内、望
ましくは２度以内がよい。

【００２３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。図１は本実施例を実現する
装置の構成を示すブロック図である。顕微鏡１には接眼
鏡筒部に撮像用レンズを取り付け、この撮像レンズを通
して撮像するカラー撮像装置１６が取り付けられてい
る。測定用試料２０を載せるステージ１７はオートステ
ージドライバ１１からの信号によりスタンドに設けたパ
ルスモータで前後左右に移動させる平面移動機構１８に
より平面位置調整が行われ、オートフォーカスドライバ
１２により垂直移動機構１９を作動させてステージ１７
の上下方向の移動を行う。

【００２４】Ａ／Ｄ変換器２は撮像装置１６からの入力
データをアナログからディジタルに変換し、入力バッフ
ァ３はこのディジタルデータを一時的に格納する。バス
４は信号の伝達を行い、プログラムメモリ５は本装置の
動作を規定するプログラムを格納し、ＣＰＵ６はこのプ
ログラムに従い装置全体の制御を行う。

【００２５】画像プロセッサ７は入力した画像データの
濃淡処理、２値化処理、画像解析等を行い、濃淡画像メ
モリ９は濃淡画像データを格納し、２値画像メモリ１０
は２値画像データを格納する。ＩＨＰプロセッサ８は
Ｒ，Ｇ，Ｂの濃度として入力された画像データを明度
（Ｉ），色相（Ｈ），彩度（Ｐ）に変換し、画像処理を
行う。オートステージドライバ１１はＣＰＵ６からの指
示により測定用試料２０を載せるステージ１７を平面移
動機構１８を制御してＸ，Ｙ方向に移動させ、測定用試
料２０の測定位置、領域の設定を行う。オートフォーカ
スドライバ１２はＣＰＵ６から垂直移動機構１９への制
御命令を受け、垂直移動機構１９を制御する。出力バッ
ファ１３は出力するデータを一旦格納し、Ｄ／Ａ変換器
１４はこの出力データをディジタルよりアナログに変換
し、ＣＲＴ１５はこの出力データを画面に表示する。

【００２６】図２は測定用試料２０に対する照明方法を
示す図で（Ａ）は側面図、（Ｂ）は平面図を示す。ハロ
ゲンランプ２１からの光は集光レンズ２２により集光さ
れハーフミラー２３により直角に曲げられ対物レンズ２
４を通って測定用試料２０に照射される。また、図示し
ない他のハロゲンランプからの光は光ファイバ２６を介
してラインファイバ２５により幅を有する平面光にな
り、測定用試料２０に照射される。測定用試料２０の上
面は水平に設定されており、平面光はこの水平面に対し
てθの傾斜角で照射される。θとしては５度以内とし、
０度から２〜３度の範囲がよい。なお、ラインファイバ
２５は１個の場合を示したが測定用試料２０の周囲に複
数個設けてもよい。

【００２７】次に第１実施形態を説明する。本実施の形
態では非金属介在物、ゴミ、穴などが存在する測定用試
料２０の画像からゴミと穴を識別する方法を示す。カラ
ー撮像装置１６により赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の
３原色の画像が得られるが、この内の１つ、例えばＧの
濃淡画像を用いる。なお、モノクロ撮像装置を用いれ
ば、その画像を用いればよい。図３は測定用試料２０に
対して図２に示す照明装置によって上方と斜方から同時
に照明して得られた濃淡画像とこの２値化画像を示す。
（Ａ）は濃淡画像、（Ｂ）は（Ａ）の２値化画像、
（Ｃ）は（Ａ）の粒子のうち、白く光る部分の２値化画
像である。（Ｂ）の２値化画像は（Ａ）の濃淡画像を粒
子の輪郭を明らかにするしきい値で２値化することによ
り得られ、（Ｃ）の２値化画像は白く光る部分を明らか
にするしきい値で２値化することにより得られる。この
しきい値については、特開平７−２３４９４２号に開示
された方法などを用いる。これは最初の画像について
は、人が試行調整して定め、その後、最初の画像と類似
する画像については装置が定めたしきい値を自動的に補
正してゆく。

【００２８】図３（Ａ）は測定用試料２０の濃淡画像で
ａ，ｂ，ｃは粒子を示す。ａは表面に付着したゴミを表
し、白く光っている。ｂは気泡によって発生した小さな
穴を示し、部分的に白く光る範囲を有している。ｃは非
金属介在物であり、ａやｂと異なり光る範囲はない。
（Ｂ）は（Ａ）の各粒子の形状を２値化した２値化画像
でａ１はａ，ｂ１はｂ，ｃ１はｃの粒子に対応してお
り、かつａ１，ｂ１，ｃ１は粒子の名称と共にその面積
も表す。（Ｃ）は（Ａ）の各粒子について、白く光る部
分の形状を２値化した２値化画像で、ａ２はａ，ｂ２は
ｂの粒子に対応しており、かつ、ａ２，ｂ２は白く光る
部分の面積も表す。このような２値化やその画像の粒子
の面積計算および以下に示すゴミと穴の判別は図１に示
した装置により行われる。

【００２９】図４は測定用試料２０に対して図２に示す
照明装置によって上方と斜方から別々に異なる時間に照
明して得られた２つの濃淡画像とこの２値化画像を示
す。（Ａ）は上方からの照明による濃淡画像、（Ｂ）は
斜方からの照明による濃淡画像で白く光る部分以外は真
っ黒な画像となる。（Ｃ）は（Ａ）の２値化画像、
（Ｄ）は（Ｂ）の２値化画像である。（Ｃ）の２値化画
像は（Ａ）の濃淡画像を粒子の輪郭を明らかにするしき
い値で２値化することにより得られ、（Ｄ）の２値化画
像は（Ｂ）の濃淡画像を粒子の輪郭を明らかにするしき
い値で２値化することにより得られる。

【００３０】図４（Ａ）は測定用試料２０を上方のみか
ら照明したときの濃淡画像でａ１０，ｂ１０，ｃ１０は
粒子を示す。ａ１０は表面に付着したゴミを表してい
る。ｂ１０は気泡によって発生した小さな穴を示してい
る。ｃ１０は非金属介在物である。（Ｃ）は（Ａ）の各
粒子の形状を２値化した２値化画像でａ１１はａ１０，
ｂ１１はｂ１０，ｃ１１はｃ１０の粒子に対応してお
り、かつａ１１，ｂ１１，ｃ１１は粒子の名称と共にそ
の面積も表す。（Ｂ）は測定用試料２０を斜方のみから
照明したときの濃淡画像でａ２０，ｂ２０は粒子または
その一部を示す。ａ２０は表面に付着したゴミで白く光
って表れる。ｂ２０は気泡によって発生した小さな穴の
うち斜光が当たって白く光った部分を示している。
（Ｄ）は（Ｂ）の各粒子について、２値化した２値化画
像で、ａ２１はａ２０，ｂ２１はｂ２０の粒子に対応し
ており、かつ、ａ２１，ｂ２１は白く光る部分の面積も
表す。このような２値化やその画像の粒子の面積計算お
よび以下に示すゴミと穴の判別は図１に示した装置によ
り行われる。

【００３１】以下に図３の（Ｂ）と（Ｃ）の２値化画
像、または図４の（Ｃ）と（Ｄ）の２値化画像を用いて
ゴミと穴の検出とその区別をするが、図３の（Ｂ）と図
４の（Ｄ）、または図３の（Ｃ）と図４の（Ｃ）を用い
てもよい。

【００３２】図５は第１次実施の形態の動作フロー図で
ある。本動作の説明では、図３に示す粒子の画像を例に
とり説明する。カラー撮像装置１６により、測定用試料
２０のカラー画像（Ｒ，Ｇ，Ｂ）を入力し、このうち１
つ、例えばＧ画像の濃淡画像を得る（ＳＴ１）。これに
より図３（Ａ）の濃淡画像が得られる。次に濃淡画像に
表れている全ての粒子の２値化画像を生成し、これをメ
モリＳ１に格納する（ＳＴ２）。この２値化画像が図３
（Ｂ）の画像である。また濃淡画像に表れている白く光
った粒子および粒子の白く光った部分の２値化画像を生
成し、これをメモリＳ４へ格納する（ＳＴ３）。この２
値化画像が図３（Ｃ）の画像である。

【００３３】Ｓ１メモリと、Ｓ４メモリに格納した２値
化画像の各粒子、各粒子の白く光る部分の面積ａ１，ａ
２，ｂ１，ｂ２，ｃ１を測定する（ＳＴ４）。全粒子数
をＮとし測定データをデータメモリに保存する（ＳＴ
５）。ｎ番目の粒子を取り出し（ＳＴ６）、ｎ番目の粒
子の測定データを読み込む（ＳＴ７）。次に各粒子につ
いて光る部分の面積比ａ２／ａ１，ｂ２／ｂ１を求め、
判定値Ｔ１と比較し（ＳＴ８）、判定値Ｔ１以上であれ
ばゴミと判定する（ＳＴ９）。なお、このような判定は
図１に示す装置が自動的に行うが、この判定値Ｔ１や以
下に述べる判定値Ａ，Ｔ２は、測定用試料２０のいくつ
かについて、操作者などが顕微鏡１により、その倍率な
どを変えてゴミや穴を調べ設定したものである。

【００３４】ＳＴ８において光る部分の面積比がａ２／
ａ１のように１に近いａについてはゴミと判定される
が、Ｔ１より小さいもの、例えばｂについては、さらに
光る部分の面積ｂ２が判定値Ａ以上であるか調べ（ＳＴ
１０）、Ａ以上であれば光る部分の面積比ｂ２／ｂ１が
Ｔ２以上であるか調べ（ＳＴ１１）、Ｔ２以上であれば
穴と判定する（ＳＴ１２）。ＳＴ１０でＡ未満の場合、
ＳＴ１１でＴ２未満の場合は穴ではないとして、非金属
介在物であるかを調べるルーチンに移る（ＳＴ１３）。
介在物判定ルーチンについては、本発明の範囲外なので
説明を省略するが、例えば本出願人による特開平７−２
３４１９０号公報にはチタンを判定するルーチンが開示
されている。このようにして１つの粒子についてゴミと
穴との判別、および介在物の判別を行い、ｎが全粒子数
Ｎに達してなければ（ＳＴ１４）、ｎを１つ加算して
（ＳＴ１５）、ｎ＋１番目の粒子についてＳＴ７〜１３
のステップの処理を行い、全ての粒子数Ｎまでの判定を
行い（ＳＴ１４）、終了する。以上により従来非金属介
在物から識別が難しかったゴミや小さな穴の判別を装置
で行うことができる。

【００３５】図４の２値化画像（Ｃ）、（Ｄ）を用いて
ゴミと穴の検出とその区別をする場合は、図５のフロー
図で同様に行えるが、光る部分の比は、ａ２１／ａ１
１，ｂ２１／ｂ１１を用いればよい。また図３の（Ｂ）
と図４の（Ｄ）を用いる場合は、光る部分の比は、ａ２
１／ａ１，ｂ２１／ｂ１を用い、図３の（Ｃ）と図４の
（Ｃ）を用いる場合は、光る部分の比は、ａ２／ａ１
１，ｂ２／ｂ１１を用いればよい。

【００３６】次に第２実施形態について説明する。本実
施の形態では色相により穴やゴミを識別するものであ
る。まず色について説明する。画像をカラーで表示する
場合、赤（Ｒ），緑（Ｇ），青（Ｂ）の３原色の濃度に
分解して入力し、これを合成して再現することができ
る。一方色の表現方法として、明度（Ｉ），色相
（Ｈ），飽和度又は彩度（Ｐ）で表す方法があり、３原
色による表示から明度，色相，彩度を用いた表示に変換
することができる。これは、色立体を考えた時、特定色
の指定はその内の１点を決定することであるので、Ｉを
指定することは、色立体の上下方向の１ヶ所を指定する
ことであり、目的とする色はこの場所で色立体を水平方
向に輪切りにしたときの平面上に存在する。ここでＨを
指定することはこの平面を色立体の無彩色軸を原点とす
る直交座標と考えた時の基準軸からの角度を指定するこ
とになる。従って目的とする色はこの角度を表す線分上
に存在する。更にＰを指定することは色立体の無彩色軸
を中心とする同心円の径を指定することであり、角度を
表す線分上の１点を決定することになるからである。

【００３７】Ｒ，Ｇ，ＢのデータよりＩ，Ｈ，Ｐのデー
タに変換する技術は公開されており、例えば本出願人に
よる特公平５−１４９４４号に開示されている。本実施
例で用いるＩ，Ｈへの変換について簡単に説明する。
Ｒ，Ｇ，ＢのデータよりＩに変換するのは、各Ｒ，Ｇ，
Ｂのデータに適当な係数を乗じた後、総和をとることで
求められる。適当な係数とは、人間の視感度と装置の各
Ｒ，Ｇ，Ｂ毎の再現レベルの相違などから決定される。

【００３８】次にＲ，Ｇ，ＢのデータよりＨに変換する
方法を説明する。良く知られているように色相を平面上
に表現すると、１つの環を形成する。そこでこの環を直
交座標上に置くと、全ての色相は直交座標上において、
基準軸、例えばＸ軸からの角度として表現できる。この
様子を図７（Ａ）に示す。この色相環の例からわかるよ
うに、Ｒ，Ｇ，Ｂなる３次元データをもって表現された
特定の色相は角度という１次元データで表現できる。そ
こでＲ，Ｇ，Ｂのデータの最小値をゼロ、最大値を正規
化された値に統一して考えると、Ｒ，Ｇ，Ｂを用いて表
現し得る色相は図７（Ｂ）に示す赤（Ｒ），黄（Ｙ），
緑（Ｇ），シアン（Ｃ），青（Ｂ），マゼンタ（Ｍ）を
頂点とする６角形（これはＲ，Ｇ，Ｂの濃度データをベ
クトルと考えたときの合成ベクトルが描く６角形の例を
示す）の内側にあり、その位置は基準軸からの角度で示
される。つまり、Ｒ，Ｇ，Ｂの濃度データをベクトルと
考えて任意の角度（例えば等間隔）をもって平面上に置
いた時、色相はそれらの合成ベクトルが示す任意の基準
位置からの角度として表現される。

【００３９】基準軸を横軸（図７（Ａ），（Ｂ）のＡ
Ｘ）にとり、ＲベクトルをＡＸと一致させ、Ｇベクト
ル，Ｂベクトルをそれぞれ等間隔に配置するようにした
場合、Ｒ，Ｇ，ＢよりＨへの変換器は図８のように構成
することができる。図８において係数器群のＧＸはＧベ
クトルの水平成分、ＧＹは同垂直成分、ＢＸはＢベクト
ル水平成分、ＢＹは同垂直成分、ＲＸはＲベクトルの水
平成分であり、Ｒベクトルには垂直成分はない。これら
の各成分は加算器３０，３１によって合成されて合成ベ
クトルの水平成分ＫＸおよび垂直成分ＫＹが作成され
る。ＫＸ，ＫＹは逆正接演算器３２を経て合成ベクトル
の角度に変換されこの角度が色相を表す。この角度は図
７（Ａ）のΘを示す。

【００４０】このようにして、カラー撮像装置１６より
入力したＲ，Ｇ，Ｂの画像はＩＨＰプロセッサによって
明度Ｉ，色相Ｈ，彩度Ｐに変換される。照明は図２に示
すハロゲンランプ２１による上方からのみとする。図６
はＲＧＢより色相Ｈに変換された画像を示す。ａはゴミ
の粒子を示し、白ぽく表示される。ｂは穴の粒子を示
し、周囲に黄色または黄緑色のふちどりｂ１が表れてい
る。この内部は黒い場合が多い。ｃは非金属介在物であ
る。このように画像を色相Ｈで表示すると穴の周囲は黄
色または黄緑色の輝きが表れる。なお、穴が小さくなる
と穴全体が黄色または黄緑色に輝くので、小さい穴まで
確実に判別できる。なお、この縁取りは連続していない
場合もある。むしろ断続した黄色または黄緑色が周囲に
表れる場合が多い。このような場合も穴と判定する。な
お、黄色または黄緑色でなくピンク色を呈している場合
は、穴ではなくチタン化合物と判断する。

【００４１】図６においてｂは穴の粒子を表すと共に粒
子の面積を表し、ｂ１はふちどりの面積を表す。ふちど
りの面積比ｂ１／ｂを求め、ｋを判定値とし、ｂ１／ｂ
≧ｋの場合、穴と判定することにより判定精度が向上す
る。判定値ｋは図５で説明した時と同様に操作者などが
事前に設定しておく。

【００４２】次に第３実施形態を説明する。本実施の形
態では第２実施形態が上方からの照明のみであったのに
対して斜方からの照明、図２に示すラインファイバ２５
を加えたもので、他は同じである。斜方照明を加えるこ
とにより、図６に示すゴミの粒子ａが白っぽく鮮明に画
像に表れ、ゴミの判別精度が向上する。なお、斜方から
のみの照明では、ゴミや比較的大きな穴以外は画像に表
れなくなり、非金属介在物や小さな穴の検出がてきなく
なるので、色による非金属介在物の検査には上方と斜方
の同時照射の方が望ましい。

【００４３】

【発明の効果】以上の説明より明らかなように、本発明
は上方と斜方から同時に、または別々に時間を変えて測
定用試料を照明し、明るい部分の面積比により非金属介
在物からゴミと穴を判別することができる。また上方か
ら照明し、カラー画像を得て、周囲に内部と異なる色の
ある粒子を穴と識別することができる。この際ゴミも白
く表れるので識別することができる。上方からの照明に
さらに斜方照明を加えることによりゴミを精度よく識別
することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態を実現する装置のブロック図
である。

【図２】照明方法を説明する図である。

【図３】上方と斜方から同時に照明して得た濃淡画像と
しきい値を変えた２つの２値化画像とを示す図である。

【図４】上方と斜方から別々に時間を変えて照明して得
た２つの濃淡画像と各々の２値化画像とを示す図であ
る。

【図５】第１実施形態の動作フロー図である。

【図６】第２実施形態の画像でＲ，Ｇ，Ｂ画像を色相Ｈ
で表した画像である。

【図７】（Ａ）は色相環において表現する色を角度で表
す状態を説明する図、（Ｂ）はＲ，Ｇ，Ｂを各色の濃度
を表すベクトルとした場合、合成ベクトルが描く６角形
を説明する図である。

【図８】Ｒ，Ｇ，ＢよりＨへの変換器の回路図である。

【符号の説明】

６ ＣＰＵ ７ 画像プロセッサ ８ ＩＨＰプロセッサ ９ 濃淡画像メモリ １０ ２値画像メモリ １６ カラー撮像装置 ２１ ハロゲンランプ ２５ ラインファイバ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平３−158708（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−68765（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−221849（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−234942（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−284455（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G01N 21/00 - 21/61 G01N 21/84 - 21/958 ＰＡＴＯＬＩＳ

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 試料の表面に上方と斜方とからそれぞれ
   別々に、かつ時間を変えて照明する照明手段と、この照
   明の反射光を撮像する撮像手段と、上方照明により撮像
   した画像の第１濃淡画像と斜方照明により撮像した画像
   の第２濃淡画像とを得る濃淡画像生成手段と、この第１
   濃淡画像に表れる粒子を２値化した第１画像と第２濃淡
   画像に表れる粒子を２値化した第２画像とを得る２値化
   手段と、前記第１画像に表れる第１粒子と前記第２画像
   に表れる第１粒子に対応した第２粒子について、第１粒
   子の面積ａ１と第２粒子の面積ａ２との比ａ２／ａ１が
   第１判定値Ｔ１に対してａ２／ａ１≧Ｔ１の場合、第１
   粒子をゴミと判定する粒子判定手段と、を備えたことを
   特徴とする非金属介在物測定における異物検出装置。
2. 【請求項２】 前記粒子判定手段は、前記ａ２／ａ１が
   ａ２／ａ１＜Ｔ１の場合、前記面積ａ２が第２判定値Ａ
   に対してａ２≧Ａの場合でかつａ２／ａ１が第３判定値
   Ｔ２に対してａ２／ａ１≧Ｔ２の場合、第１粒子を穴と
   判定することを特徴とする請求項１に記載の非金属介在
   物測定における異物検出装置。
3. 【請求項３】 前記照明手段は光源としてハロゲンラン
   プ、キセノンランプ、タングステンランプ、水銀ランプ
   のいずれかを用いることを特徴とする請求項１又は２に
   記載の非金属介在物測定における異物検出装置。
4. 【請求項４】 前記照明手段は斜方からの照明を水平よ
   り５度以内の照射角度とすることを特徴とする請求項１
   乃至３の何れか一項に記載の非金属介在物測定における
   異物検出装置。