JP3510775B2 - Galvano mirror - Google Patents
Galvano mirrorInfo
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Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、ガルバノミラー
に関し、特に光学式情報記録再生装置の微動トラッキン
グに用いるのに好適なガルバノミラーに関するものであ
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a galvanometer mirror, and more particularly to a galvanometer mirror suitable for use in fine movement tracking of an optical information recording / reproducing apparatus.
【０００２】[0002]
【発明が解決しようとする課題】近時、面記録密度が１
０Ｇビット／（インチ）2を越える光磁気ディスク装置
の開発が進んでいる。この装置では、光磁気ディスクの
トラックと交差する方向に例えば回動する粗動用アーム
の先端部に設けた対物光学系に対するレーザ光束の入射
角をガルバノミラー等の偏向手段により微調整して、微
動トラッキングを例えば０.３４μmと狭いトラックピッ
チレベルで正確に行うようなことが考えられている。と
ころで、このような粗動用アームに通常用いられるガル
バノミラーとして、ピボット支持方式のものがあるが、
この方式のものでは可動部の軸支部のガタのため、可動
部の不要な姿勢変化を招く問題があった。Recently, the areal recording density is 1
Development of magneto-optical disk devices exceeding 0 Gbit / (inch) 2 is in progress. In this device, the angle of incidence of the laser beam with respect to the objective optical system provided at the tip of the coarse movement arm that rotates, for example, in the direction intersecting with the track of the magneto-optical disk is finely adjusted by a deflecting means such as a galvanometer mirror to perform fine movement It is considered that the tracking is accurately performed at a track pitch level as narrow as 0.34 μm. By the way, as a galvanomirror usually used for such a coarse movement arm, there is a pivot support type.
In this system, the play of the shaft support of the movable part causes play, which causes a problem of unnecessary change in posture of the movable part.
【０００３】[0003]
【課題を解決するための手段】この発明は、上述のよう
な背景に鑑みてなさせたものであり、請求項１の発明
は、電磁駆動により偏向ミラーを取り付けた可動部を回
転軸を中心に所定角度範囲回動させるガルバノミラーで
あって、前記可動部の回転軸を、固定側に前記可動部を
挟んで設けた２つのセンターピンと、これらのセンター
ピンの各先端部を夫々受ける前記可動部側に設けた２つ
の軸受とによって構成すると共に、一方のセンターピン
を軸方向に摺動自在に、且つこのセンターピンの前記軸
受と接触する側と反対の端部が突出するようにブッシュ
に取り付け、このブッシュから突出するセンターピンの
端部を少なくとも一端を前記ハウジング側に取り付けた
与圧バネで軸方向に押圧するようにし、さらに前記一方
のセンターピンを強磁性材料で形成すると共に、前記ブ
ッシュの内周面の一部弧面を磁石で構成し、前記一方の
センターピンを前記ブッシュ内の前記一部弧面に磁力で
当接させて前記ブッシュと前記一方のセンターピンの間
のガタを吸収するようにしたことを特徴とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the background as described above, and the invention of claim 1 is characterized in that a movable portion having a deflection mirror attached by electromagnetic drive is centered around a rotary shaft. A galvano-mirror for rotating the movable part in a predetermined angle range, wherein the rotary shaft of the movable part receives two center pins provided on the fixed side with the movable part in between, and the movable pin that receives the respective tip parts of these center pins. And a bush so that one of the center pins is slidable in the axial direction and the end of the center pin opposite to the side in contact with the bearing projects. At least one end of the center pin protruding from the bush is axially pressed by a pressurizing spring attached to the housing side. Made of a conductive material, a partial arc surface of the inner peripheral surface of the bush is constituted by a magnet, and the one center pin is magnetically brought into contact with the partial arc surface in the bush to form the bush and the bush. It is characterized in that the play between the center pins is absorbed.
【０００４】また、請求項２の発明は、電磁駆動により
偏向ミラーを取り付けた可動部を回転軸を中心に所定角
度範囲回動させるガルバノミラーであって、前記可動部
の回転軸を、固定側に前記可動部を挟んで設けた２つの
センターピンと、これらのセンターピンの各先端部を夫
々受ける前記可動部側に設けた２つの軸受とによって構
成すると共に、一方のセンターピンを軸方向に摺動自在
に、且つこのセンターピンの前記軸受と接触する側と反
対の端部が突出するようにブッシュに取り付け、このブ
ッシュから突出するセンターピンの端部を少なくとも一
端を前記ハウジング側に取り付けた与圧バネで軸方向に
押圧するようにし、さらに前記一方のセンターピンをそ
の軸断面を境に極性を変えた永久磁石で形成すると共
に、前記ブッシュの内周面の対向する周面の一部を夫々
同極性の磁極面で構成し、前記一方のセンターピンを前
記ブッシュ内の前記一方の周面に磁力で当接させて前記
ブッシュと前記一方のセンターピンの間のガタを吸収す
るようにしたことを特徴とする。According to a second aspect of the present invention, there is provided a galvano-mirror for electromagnetically driving a movable part having a deflecting mirror attached thereto, the movable part being rotated about a rotation axis within a predetermined angle range. And a pair of center pins provided on both sides of the movable part, and two bearings provided on the side of the movable part that respectively receive the tip ends of these center pins, and one of the center pins slides in the axial direction. The center pin is movably attached to the bush so that the end of the center pin opposite to the side in contact with the bearing projects, and at least one end of the center pin projecting from the bush is attached to the housing. The one center pin is formed of a permanent magnet whose polarity is changed with the axial cross section as a boundary, and the bush of the bush is formed. Part of the peripheral surfaces facing each other are magnetic pole surfaces of the same polarity, and the one center pin is magnetically brought into contact with the one peripheral surface in the bush so that the bush and the one center. The feature is that the play between the pins is absorbed.
【０００５】[0005]
【発明の実施の形態】まず、近年のコンピューターにま
つわるハード，ソフトの進歩に伴う外部記憶装置への要
求、特に大記憶容量への要求の高まりに対して提案され
たニア・フィールド記録（NFR： near field recordin
g） 技術と呼ばれる記録再生方式を用いた光磁気ディス
ク記録再生装置の概要を図１乃至図５を参照して説明す
る。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION First, near field recording (NFR: near field recording) has been proposed in response to a demand for an external storage device, especially a demand for a large storage capacity, accompanying the progress of hardware and software in recent years. field recordin
g) An outline of a magneto-optical disk recording / reproducing apparatus using a recording / reproducing system called technology will be described with reference to FIGS. 1 to 5.
【０００６】図１はその光ディスク装置の全体概要図で
ある。ディスクドライブ装置１には光ディスク２が図示
しないスピンドルモータの回転軸に装着されている。一
方、光ディスク２の情報を再生または記録するために回
動（粗動）アーム３が光ディスク２の記録面に対して平
行になるように取り付けられている。この回動アーム３
はボイスコイルモーター４によって回転軸５を回転中心
として回動可能となっている。この回動アーム３の光デ
ィスク２に対向する先端には、光学素子を搭載した浮上
型光学ヘッド６が搭載されている。また、回動アーム３
の回転軸５近傍には光源ユニットおよび受光ユニットを
備えた光源モジュール７が配設され、回動アーム３と一
体となって駆動する構成となっている。FIG. 1 is an overall schematic view of the optical disk device. An optical disk 2 is mounted on the rotary shaft of a spindle motor (not shown) in the disk drive device 1. On the other hand, in order to reproduce or record information on the optical disc 2, a rotating (coarse movement) arm 3 is attached so as to be parallel to the recording surface of the optical disc 2. This rotating arm 3
Is rotatable by a voice coil motor 4 about a rotary shaft 5. A floating optical head 6 having an optical element is mounted on the tip of the rotating arm 3 facing the optical disk 2. Also, the rotating arm 3
A light source module 7 including a light source unit and a light receiving unit is disposed in the vicinity of the rotating shaft 5 and is configured to be driven integrally with the rotating arm 3.
【０００７】図２、図３は回動アーム３の先端部を説明
するものであり、特に浮上型光学ヘッド６を詳細に説明
するものである。浮上型光学ユニット６はフレクシャー
ビーム８に取り付けられており、光ディスク２に対向し
て配置されている。また、フレクシャービーム８は他端
で回動アーム３に固着されており、フレクシャービーム
８の弾性力により先端部の浮上光学ユニット６を光ディ
スク２に接触させる方向に加圧している。FIGS. 2 and 3 explain the tip of the rotary arm 3, and particularly the floating optical head 6 in detail. The floating optical unit 6 is attached to the flexure beam 8 and is arranged so as to face the optical disc 2. Further, the flexure beam 8 is fixed to the rotating arm 3 at the other end, and the elastic force of the flexure beam 8 presses the levitation optical unit 6 at the tip end in a direction of contacting the optical disc 2.
【０００８】浮上型光学ユニット６は浮上スライダー
９，対物レンズ１０，ソリッドイマージョンレンズ（Ｓ
ＩＬ）１１，磁気コイル１２から構成されており、光源
モジュール７から出射された平行なレーザー光束１３を
光ディスク２上に収束させるはたらきをする。また、回
動アーム３の先端部には前記レーザー光束１３を浮上型
光学ユニット６に導くために立ち上げミラー３１が固着
されている。 立ち上げミラー３１により対物レンズ１
０に入射したレーザー光束１３は、対物レンズ１０の屈
折作用により収束される。この集光点近傍にはソリッド
イマージョンレンズ（ＳＩＬ）１１が配置されており、
前記収束光を更に微細なエバネッセント光１５として光
ディスク２に照射させる。The levitation type optical unit 6 comprises a levitation slider 9, an objective lens 10 and a solid immersion lens (S).
IL) 11 and a magnetic coil 12, and serves to converge the parallel laser light flux 13 emitted from the light source module 7 onto the optical disc 2. A rising mirror 31 is fixed to the tip of the rotating arm 3 for guiding the laser beam 13 to the floating optical unit 6. Objective lens 1 by the raising mirror 31
The laser light flux 13 incident on 0 is converged by the refraction of the objective lens 10. A solid immersion lens (SIL) 11 is arranged near this condensing point,
The converged light is applied to the optical disc 2 as finer evanescent light 15.
【０００９】また、光ディスク２に面したソリッドイマ
ージョンレンズ（ＳＩＬ）１１の周囲には、光磁気記録
方式で記録するための磁気コイル１２が形成されてお
り、記録時には必要な磁界を光ディスク２の記録面上に
印加出来るようになっている。このエバネッセント光１
５と磁気コイル１２により、光ディスク２への高密度な
記録および再生が可能となる。なお、浮上型光学ユニッ
ト６は光ディスク２の回転による空気流により微小量浮
上するものであり、光ディスク２の面振れ等に追従す
る。このため従来の光ディスク装置では必要であった対
物レンズの焦点制御（フォーカスサーボ）が不要となっ
ている。A magnetic coil 12 for recording by the magneto-optical recording system is formed around the solid immersion lens (SIL) 11 facing the optical disc 2, and a magnetic field required for recording is recorded on the optical disc 2. It can be applied on the surface. This evanescent light 1
5 and the magnetic coil 12 enable high-density recording and reproduction on the optical disc 2. The levitation type optical unit 6 floats a small amount by the air flow caused by the rotation of the optical disc 2, and follows the surface runout of the optical disc 2. Therefore, the focus control (focus servo) of the objective lens, which is required in the conventional optical disk device, is unnecessary.
【００１０】以下、図４，図５を用いて回動アーム３上
に搭載された光源モジュール７および浮上型光学ユニッ
ト６へ導かれる光束に関し詳細に説明する。回動アーム
３は先端部に浮上型光学ユニット６を搭載し、他端には
ボイスコイルモーター４を駆動するための駆動コイル１
６が固着されている。駆動コイル１６は扁平状のコイル
であり、図示せぬ磁気回路内に空隙をおいて挿入配置さ
れている。回転軸５と回動アーム３はベアリング１７，
１７により回動自在に締結されており、駆動コイルに電
流を印加すると磁気回路との電磁作用により回転軸５を
回転中心として回動アーム３を回動させることができ
る。The light beam guided to the light source module 7 and the floating optical unit 6 mounted on the rotating arm 3 will be described in detail below with reference to FIGS. 4 and 5. The rotating arm 3 has a floating optical unit 6 mounted at its tip and a drive coil 1 for driving a voice coil motor 4 at the other end.
6 is fixed. The drive coil 16 is a flat coil, and is inserted and arranged in a magnetic circuit (not shown) with a gap. The rotating shaft 5 and the rotating arm 3 have bearings 17,
It is rotatably fastened by 17, and when a current is applied to the drive coil, the rotating arm 3 can be rotated around the rotating shaft 5 by the electromagnetic action with the magnetic circuit.
【００１１】回動アーム３上に搭載された光源モジュー
ル７には半導体レーザー１８，レーザー駆動回路１９，
コリメートレンズ２０，複合プリズムアッセイ２１，レ
ーザーパワーモニターセンサー２２，反射プリズム２
３，データ検出センサー２４，およびトラッキング検出
センサー２５が配置されている。半導体レーザー１８か
ら放出された発散光束状態のレーザー光束は、コリメー
トレンズ２０によって平行光束に変換される。この平行
光束の断面形状は半導体レーザー１８の特性から長円状
であり、光ビームを光ディスク２上に微小に絞り込むに
は都合が悪いため略円形断面に変換する必要がある。こ
のためコリメートレンズ２０から出射された断面長円状
の平行光束を、複合プリズムアッセイ２１に入射させる
ことにより平行光束の断面形状を整形する。The light source module 7 mounted on the rotating arm 3 includes a semiconductor laser 18, a laser drive circuit 19,
Collimating lens 20, compound prism assay 21, laser power monitor sensor 22, reflecting prism 2
3, a data detection sensor 24, and a tracking detection sensor 25 are arranged. The laser light flux in a divergent light flux state emitted from the semiconductor laser 18 is converted into a parallel light flux by the collimator lens 20. Due to the characteristics of the semiconductor laser 18, the cross-sectional shape of this parallel light flux is elliptical, and it is inconvenient to minutely narrow the light beam onto the optical disc 2, so it is necessary to convert it into a substantially circular cross section. Therefore, the cross-sectional shape of the parallel light flux is shaped by causing the parallel light flux having an elliptical cross-section emitted from the collimator lens 20 to enter the composite prism assay 21.
【００１２】複合プリズムアッセイ２１の入射面２１ａ
は入射光軸に対して所定の斜面を形成しており、入射光
を屈折させることにより平行光束の断面形状を長円形状
から略円形形状に整形することが出来る。整形されたレ
ーザー光束は複合プリズムアッセイ２１内を進み第１の
ハーフミラー面２１ｂに入射する。第１のハーフミラー
面２１ｂは光ディスク２から得られた情報を、データ検
出センサー２４，およびトラッキング検出センサー２５
に導くために設定されているが、往路においては半導体
レーザー１８から出射されたレーザーの出力パワーを検
出するためのレーザーパワーモニターセンサー２２への
光束を分離する役目を果たす。Incident surface 21a of compound prism assay 21
Has a predetermined slope with respect to the incident optical axis, and by refracting the incident light, the cross-sectional shape of the parallel light flux can be shaped from an elliptical shape to a substantially circular shape. The shaped laser beam advances through the complex prism assay 21 and is incident on the first half mirror surface 21b. The first half mirror surface 21b uses the data detection sensor 24 and the tracking detection sensor 25 to detect the information obtained from the optical disk 2.
However, it serves to separate the light flux to the laser power monitor sensor 22 for detecting the output power of the laser emitted from the semiconductor laser 18 in the outward path.
【００１３】レーザーパワーモニターセンサー２２は受
光した光の強度に比例した電流を出力するため、図示せ
ぬレーザーパワーコントロール回路にこの出力を帰還さ
せることにより半導体レーザー１８の出力を安定化させ
ることが出来る。複合プリズムアッセイ２１から出射さ
れた略円形断面形状をもったレーザー光束１３は偏向ミ
ラー２６に照射され、レーザー光束１３の進行方向が変
えられる。この偏向ミラー２６は紙面に垂直な軸を回動
中心とするガルバノモーター２７に取り付いており、レ
ーザー光束１３を紙面に平行な方向に微小角度振ること
が出来るようになっている。Since the laser power monitor sensor 22 outputs a current proportional to the intensity of the received light, the output of the semiconductor laser 18 can be stabilized by feeding back this output to a laser power control circuit (not shown). . The laser light flux 13 having a substantially circular cross-sectional shape emitted from the composite prism assay 21 is irradiated on the deflection mirror 26, and the traveling direction of the laser light flux 13 is changed. The deflecting mirror 26 is attached to a galvanomotor 27 whose center of rotation is an axis perpendicular to the plane of the paper, and is capable of swinging the laser beam 13 by a small angle in a direction parallel to the plane of the paper.
【００１４】また、ガルバノモーター２７には偏向ミラ
ー２６の回転角度を検出する偏向ミラー位置検出センサ
ー２８が配設されている。偏向ミラー２６を反射したレ
ーザー光束１３は、第１のリレーレンズ２９および第２
のリレーレンズ（イメージングレンズ）３０を経て、立
ち上げミラー３１で反射後浮上型光学ユニット６に至
る。この第１のリレーレンズ２９および第２のリレーレ
ンズ３０は、偏向ミラー２６の反射面と浮上型光学ユニ
ット６に配置されている対物レンズ１０の瞳面（主平
面）との関係を共役関係になるようにするもので、リレ
ーレンズ光学系を形成するものである。すなわち光ディ
スク２上の集光ビームが所定のトラックから僅かにずれ
た場合、偏向ミラー２６を僅かに回転させることにより
対物レンズ１０に入射させるレーザー光束１３を傾か
せ、光ディスク２上の焦点を移動させて補正するもので
ある。しかしながら、この方式で焦点の補正を行う時、
偏向ミラー２６と対物レンズ１０の光学的距離が長い場
合は、対物レンズ１０へ入射するレーザー光束１３の移
動量が大きくなり、対物レンズ１０に入射出来なくなる
場合がある。Further, the galvano motor 27 is provided with a deflection mirror position detection sensor 28 for detecting the rotation angle of the deflection mirror 26. The laser light flux 13 reflected by the deflection mirror 26 is reflected by the first relay lens 29 and the second relay lens 29.
After passing through the relay lens (imaging lens) 30 of FIG. The first relay lens 29 and the second relay lens 30 make the relationship between the reflecting surface of the deflection mirror 26 and the pupil surface (main plane) of the objective lens 10 arranged in the levitation type optical unit 6 into a conjugate relationship. In this way, the relay lens optical system is formed. That is, when the focused beam on the optical disc 2 is slightly deviated from a predetermined track, the deflection mirror 26 is slightly rotated to tilt the laser beam 13 incident on the objective lens 10 to move the focus on the optical disc 2. To correct it. However, when correcting the focus with this method,
When the optical distance between the deflection mirror 26 and the objective lens 10 is long, the amount of movement of the laser light flux 13 incident on the objective lens 10 becomes large, and it may not be possible to enter the objective lens 10.
【００１５】この様な現象を回避するため、第１のリレ
ーレンズ２９および第２のリレーレンズ３０によって、
偏向ミラー２６の反射面と対物レンズ１０の瞳面との関
係を共役関係になるように設定し、偏向ミラー２６が回
動しても対物レンズ１０に入射するレーザー光束１３は
移動せず、正確なトラッキング制御が可能となるように
している。なお、光ディスク２の内周／外周に渡るアク
セス動作は、ボイスコイルモーター４により回動アーム
３を回動させて行い、極微小なトラッキング制御のみ偏
向ミラー２６を回動させて行う。In order to avoid such a phenomenon, by the first relay lens 29 and the second relay lens 30,
The relationship between the reflecting surface of the deflecting mirror 26 and the pupil plane of the objective lens 10 is set to be a conjugate relationship, and even if the deflecting mirror 26 rotates, the laser light flux 13 incident on the objective lens 10 does not move, so It is possible to perform various tracking controls. The access operation across the inner and outer circumferences of the optical disk 2 is performed by rotating the rotating arm 3 by the voice coil motor 4 and rotating the deflecting mirror 26 only for minute tracking control.
【００１６】光ディスク２から反射されて戻ってきた復
路のレーザー光束１３は、往路と逆に進み偏向ミラー２
６に反射されて複合プリズムアッセイ２１に入射する。
その後第１のハーフミラー面２１ｂで反射され、第２の
ハーフミラー面２１ｃに向かう。第２のハーフミラー面
２１ｃは、トラッキング検出センサー２５へ向かう透過
光と、データ検出センサー２４へ向かう反射光を生成
し、復路のレーザー光束を分離する。第２のハーフミラ
ー面２１ｃを透過したレーザー光束はトラッキング検出
センサー２５へ照射され、トラッキング誤差信号を出力
する。The returning laser beam 13 reflected from the optical disk 2 travels in the opposite direction to the going path and the deflection mirror 2
It is reflected by 6 and enters the composite prism assay 21.
After that, the light is reflected by the first half mirror surface 21b and heads for the second half mirror surface 21c. The second half mirror surface 21c generates a transmitted light toward the tracking detection sensor 25 and a reflected light toward the data detection sensor 24, and separates the return laser light flux. The laser light flux that has passed through the second half mirror surface 21c is applied to the tracking detection sensor 25 and outputs a tracking error signal.
【００１７】一方、第２のハーフミラー面２１ｃで反射
されたレーザー光束はウォラストンプリズム３２により
偏光分離され、かつ集光レンズ３３によって収束光に変
換後、反射プリズム２３で反射されてデータ検出センサ
ー２４に照射される。データ検出センサー２４は２つの
受光領域をもっており、ウォラストンプリズム３２によ
り偏光分離された２つの偏光ビームをそれぞれ受光する
ことにより、光ディスク２に記録されているデータ情報
を読みとりデータ信号を出力する。なお、正確には前記
トラッキング誤差信号およびデータ信号は図示せぬヘッ
ドアンプ回路によって生成され、制御回路または情報処
理回路に送られるものである。On the other hand, the laser light flux reflected by the second half mirror surface 21c is polarized and separated by the Wollaston prism 32, converted into convergent light by the condenser lens 33, and then reflected by the reflection prism 23 to be detected by the data detection sensor. 24 is irradiated. The data detection sensor 24 has two light receiving regions, and receives the two polarized beams that are polarized and separated by the Wollaston prism 32, thereby reading the data information recorded on the optical disc 2 and outputting the data signal. To be precise, the tracking error signal and the data signal are generated by a head amplifier circuit (not shown) and sent to the control circuit or the information processing circuit.
【００１８】次に、前述のガルバノモータ２７におい
て、偏向ミラー２６を回動するための構成について説明
する。図６は、ガルバノモータ２７（偏向ミラー２６を
含むユニット：いわゆるガルバノミラー）を示す断面図
である。偏向ミラー２６はミラーホルダ１００によって
保持されており、ミラーホルダ１００はステータ１５０
内に収容されている。なお、偏向ミラー２６を回転駆動
するためのコイル及びマグネットについては記載を省略
する。Next, the structure for rotating the deflection mirror 26 in the above-described galvano motor 27 will be described. FIG. 6 is a cross-sectional view showing a galvano motor 27 (a unit including the deflection mirror 26: a so-called galvano mirror). The deflection mirror 26 is held by the mirror holder 100, and the mirror holder 100 is fixed to the stator 150.
It is housed inside. It should be noted that the description of the coil and the magnet for rotationally driving the deflection mirror 26 is omitted.
【００１９】ミラーホルダ１００は、ステータ１５０に
取り付けられた一対のセンターピン１２２，１２４によ
って図中上下方向両側から挟み込まれている。ミラーホ
ルダ１００の上下面には一対のセンターピン１２２，１
２４を受ける円錐形の孔である軸受部１０６，１０８が
形成されている。一対のセンターピン１２２，１２４と
軸受部１０６，１０８により偏向ミラー２６が所定の回
動軸（Ｚ軸とする）を中心として回動可能に支持され
る。なお、偏向ミラー２６は、そのミラー面２６ａが、
回動軸Ｚに直交する軸（Ｙ軸とする）に直交するようミ
ラーホルダ１００に取り付けられている。The mirror holder 100 is sandwiched by a pair of center pins 122 and 124 attached to the stator 150 from both sides in the vertical direction in the figure. A pair of center pins 122, 1 are provided on the upper and lower surfaces of the mirror holder 100.
Bearing portions 106 and 108, which are conical holes for receiving 24, are formed. The deflection mirror 26 is rotatably supported by a pair of center pins 122 and 124 and the bearings 106 and 108 about a predetermined rotation axis (Z axis). The deflecting mirror 26 has a mirror surface 26a
It is attached to the mirror holder 100 so as to be orthogonal to the axis (Y axis) orthogonal to the rotation axis Z.
【００２０】一対のセンターピン１２２，１２４のう
ち、下側のセンターピン１２４はステータ１５０に圧入
固定されている。これに対し、上側のセンターピン１２
２はフランジ形状を有するブシュ１３０に貫挿された状
態で、ステータ１５０に取り付けられている。上側のセ
ンターピン１２２はブシュ１３０内で上下に摺動可能に
保持されており、その上方から与圧バネ１６０で下方に
付勢されている。また、ブシュ１３０の内側には、永久
磁石１４０（後述）がはめ込まれている。Of the pair of center pins 122 and 124, the lower center pin 124 is press-fitted and fixed to the stator 150. On the other hand, the upper center pin 12
Reference numeral 2 is attached to the stator 150 in a state of being inserted into a bush 130 having a flange shape. The upper center pin 122 is held in the bush 130 so as to be slidable up and down, and is biased downward by a pressurizing spring 160 from above. A permanent magnet 140 (described later) is fitted inside the bush 130.
【００２１】図７は、上側センターピン１２２と永久磁
石１４０を示す斜視図及び側断面図である。上側センタ
ーピン１２２は強磁性材料、具体的には強磁性のステン
レスで構成されている。永久磁石１４０は円弧形状を有
しており、上側センターピン１２２の中心軸に対し片側
に配置されている。また、永久磁石１４０は半径方向に
磁化されている（例えば内側がＳ極で外側がＮ極）。FIG. 7 is a perspective view and a side sectional view showing the upper center pin 122 and the permanent magnet 140. The upper center pin 122 is made of a ferromagnetic material, specifically, ferromagnetic stainless steel. The permanent magnet 140 has an arc shape and is arranged on one side of the center axis of the upper center pin 122. Further, the permanent magnet 140 is magnetized in the radial direction (for example, the inside is the S pole and the outside is the N pole).
【００２２】図８は、上側センターピン１２２と永久磁
石１４０を示す側断面図である。上側センターピン１２
２は、片側に設けられた永久磁石１４０に吸着されるた
め、ブシュ１３０と上側センターピン１２２との間にク
リアランスがあっても、上側センターピン１２２を常に
永久磁石１４０側に傾けておくことができる。即ち、ミ
ラーホルダ１００の傾き方向の変化に伴う偏向ミラー２
６の不要な姿勢変化を防止することができる。FIG. 8 is a side sectional view showing the upper center pin 122 and the permanent magnet 140. Upper center pin 12
Since No. 2 is attracted to the permanent magnet 140 provided on one side, the upper center pin 122 can always be inclined to the permanent magnet 140 side even if there is a clearance between the bush 130 and the upper center pin 122. it can. That is, the deflection mirror 2 that accompanies a change in the tilt direction of the mirror holder 100.
It is possible to prevent unnecessary posture change of No. 6.
【００２３】図９は、第２の実施形態のガルバノモータ
を示す側断面図である。第２の実施形態では、上側セン
ターピン１２２は永久磁石で構成され、ブシュ１３０の
内側には２つの永久磁石２４０，２５０が設けられてい
る。図１０及び図１１は、上側センターピン１２２と永
久磁石２４０，２５０を示す斜視図及び断面図である。
上側センターピン１２２は、その中心軸を含む所定の断
面１２２ａを境にＮ極とＳ極に着磁されている。図１０
に示すように、永久磁石２４０，２５０は円弧形状を有
しており、上側センターピン１２２のＮ極・Ｓ極の部位
に夫々対向して配置されている。FIG. 9 is a side sectional view showing a galvano motor according to the second embodiment. In the second embodiment, the upper center pin 122 is made of a permanent magnet, and two permanent magnets 240 and 250 are provided inside the bush 130. 10 and 11 are a perspective view and a sectional view showing the upper center pin 122 and the permanent magnets 240 and 250.
The upper center pin 122 is magnetized into an N pole and an S pole with a predetermined cross section 122a including the central axis as a boundary. Figure 10
As shown in FIG. 5, the permanent magnets 240 and 250 have an arc shape, and are arranged so as to face the north pole and the south pole of the upper center pin 122, respectively.
【００２４】図１０は、上側センターピン１２２と永久
磁石２４０，２５０を示す側断面図である。上側センタ
ーピン１２２は、図中右側の永久磁石２５０には反発さ
れ、図中左側の永久磁石２４０に吸着される。従って、
ミラーホルダ１００を確実に永久磁石２４０側に傾けて
おくことができる。即ち、この第２の実施形態による
と、偏向ミラー２６の不要な姿勢変化をより確実に防止
することができる。FIG. 10 is a side sectional view showing the upper center pin 122 and the permanent magnets 240 and 250. The upper center pin 122 is repelled by the permanent magnet 250 on the right side of the drawing and is attracted to the permanent magnet 240 on the left side of the drawing. Therefore,
The mirror holder 100 can be surely tilted to the permanent magnet 240 side. That is, according to the second embodiment, it is possible to more reliably prevent an unnecessary posture change of the deflection mirror 26.
【００２５】[0025]
【発明の効果】以上説明したように、本発明のガルバノ
ミラーによると、可動部の傾き方向の変化に伴う不要な
姿勢変化を防止することができる。As described above, according to the galvano mirror of the present invention, it is possible to prevent an unnecessary posture change due to a change in the tilt direction of the movable part.
【図１】実施形態の光磁気ディスク装置の基本構成を示
す図である。FIG. 1 is a diagram showing a basic configuration of a magneto-optical disk device according to an embodiment.
【図２】回動アームの先端部を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing a tip portion of a rotating arm.
【図３】浮上型光学ユニットを示す断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view showing a floating type optical unit.
【図４】偏向ミラーと浮上型光学ユニットを示す平面図
である。FIG. 4 is a plan view showing a deflection mirror and a floating optical unit.
【図５】回動アームの側断面図である。FIG. 5 is a side sectional view of a rotating arm.
【図６】第１実施形態のガルバノモータを示す斜視図で
ある。FIG. 6 is a perspective view showing the galvano motor according to the first embodiment.
【図７】図６の上側センターピンと永久磁石を示す斜視
図である。7 is a perspective view showing an upper center pin and a permanent magnet of FIG.
【図８】図６の上側センターピンと永久磁石を示す断面
図である。8 is a cross-sectional view showing an upper center pin and a permanent magnet of FIG.
【図９】第２実施形態のガルバノモータを示す斜視図で
ある。FIG. 9 is a perspective view showing a galvano motor according to a second embodiment.
【図１０】図９の上側センターピンと永久磁石を示す斜
視図である。10 is a perspective view showing the upper center pin and the permanent magnet of FIG. 9. FIG.
【図１１】図９の上側センターピンと永久磁石を示す断
面図である。11 is a cross-sectional view showing an upper center pin and a permanent magnet of FIG.
２６ 偏向ミラー ２７ ガルバノモータ １００ ミラーホルダ １０６，１０８ 軸受部 １２２，１２４ センターピン １３０ ブシュ １４０ 永久磁石 １５０ ステータ １６０ チップ 26 Deflection mirror 27 Galvo Motor 100 mirror holder 106, 108 bearing 122,124 Center pin 130 bush 140 permanent magnet 150 stator 160 chips
Claims (2)
動部を回転軸を中心に所定角度範囲回動させるガルバノ
ミラーであって、前記可動部の回転軸を、固定側に前記
可動部を挟んで設けた２つのセンターピンと、これらの
センターピンの各先端部を夫々受ける前記可動部側に設
けた２つの軸受とによって構成すると共に、一方のセン
ターピンを軸方向に摺動自在に、且つこのセンターピン
の前記軸受と接触する側と反対の端部が突出するように
ブッシュに取り付け、このブッシュから突出するセンタ
ーピンの端部を少なくとも一端を前記ハウジング側に取
り付けた与圧バネで軸方向に押圧するようにし、さらに
前記一方のセンターピンを強磁性材料で形成すると共
に、前記ブッシュの内周面の一部弧面を磁石で構成し、
前記一方のセンターピンを前記ブッシュ内の前記一部弧
面に磁力で当接させて前記ブッシュと前記一方のセンタ
ーピンの間のガタを吸収するようにしたことを特徴とす
るガルバノミラー。1. A galvano-mirror for electromagnetically driving a movable part having a deflection mirror mounted thereon to rotate about a rotary shaft within a predetermined angle range, wherein the rotary shaft of the movable part is sandwiched on the fixed side. The center pin is configured by two provided center pins and two bearings provided on the side of the movable part that respectively receives the tip ends of these center pins, and one of the center pins is slidable in the axial direction The pin is attached to a bush so that the end opposite to the side in contact with the bearing protrudes, and the end of the center pin protruding from this bush is pressed in the axial direction by a pressure spring attached to at least one end on the housing side. In addition, the one center pin is formed of a ferromagnetic material, and the partial arc surface of the inner peripheral surface of the bush is formed of a magnet,
A galvanometer mirror characterized in that the one center pin is magnetically brought into contact with the partial arc surface in the bush so as to absorb the play between the bush and the one center pin.
可動部を回転軸を中心に所定角度範囲回動させるガルバ
ノミラーであって、前記可動部の回転軸を、固定側に前
記可動部を挟んで設けた２つのセンターピンと、これら
のセンターピンの各先端部を夫々受ける前記可動部側に
設けた２つの軸受とによって構成すると共に、一方のセ
ンターピンを軸方向に摺動自在に、且つこのセンターピ
ンの前記軸受と接触する側と反対の端部が突出するよう
にブッシュに取り付け、このブッシュから突出するセン
ターピンの端部を少なくとも一端を前記ハウジング側に
取り付けた与圧バネで軸方向に押圧するようにし、さら
に前記一方のセンターピンをその軸断面を境に極性を変
えた永久磁石で形成すると共に、前記ブッシュの内周面
の対向する周面の一部を夫々同極性の磁極面で構成し、
前記一方のセンターピンを前記ブッシュ内の前記一方の
周面に磁力で当接させて前記ブッシュと前記一方のセン
ターピンの間のガタを吸収するようにしたことを特徴と
するガルバノミラー。2. A galvano-mirror for electromagnetically driving a movable part having a deflection mirror mounted thereon, the movable part being rotated around a rotation axis within a predetermined angle range, wherein the rotation axis of the movable part is sandwiched between the movable part and the movable part. The center pin is configured by two provided center pins and two bearings provided on the side of the movable part that respectively receives the tip ends of these center pins, and one of the center pins is slidable in the axial direction The pin is attached to a bush so that the end opposite to the side in contact with the bearing protrudes, and the end of the center pin protruding from this bush is pressed in the axial direction by a pressure spring attached to at least one end on the housing side. Further, the one center pin is formed of a permanent magnet whose polarity is changed with the axial cross section as a boundary, and one of the inner peripheral surfaces of the bush opposite to each other is formed. Each part is composed of magnetic pole faces of the same polarity,
A galvanometer mirror characterized in that the one center pin is brought into contact with the one circumferential surface in the bush by a magnetic force so as to absorb the play between the bush and the one center pin.
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