JP3507967B2 - Ultrasonic oscillator oscillation control device - Google Patents
Ultrasonic oscillator oscillation control deviceInfo
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、超音波振動子を
用いた発振回路の発振周波数を所定の周波数に保つため
の発振制御装置に関する。
【0002】
【従来の技術】超音波を利用する機器においては、超音
波振動子と組み合わせた発振回路を所定の周波数で発振
させる必要がある。そのための一般的な制御方式として
は、振動子の最適周波数を検出してこれを発振回路にフ
ィードバックすることによって、発振周波数を所定値に
維持する方式が知られており、具体的には最適共振状態
を示す電圧あるいは位相を検出し、これらが最適状態と
なるようにフィードバックループが構成されている(例
えば、特開昭62−114550号公報、特開昭53−
127709号公報等参照)。
【0003】超音波機器の一つである歯科用の超音波ス
ケーラの場合、上記の制御によって最適共振周波数の近
辺で発振していれば、温度、チップの種類や形状、チッ
プに加わる負荷等の変動には無関係にその周波数で発振
が継続され、超音波振動を利用した歯科治療を支障なく
行うことができる。図3は超音波スケーラに用いられる
超音波振動子の周波数とアドミタンスの関係を例示した
ものであり、27kHzと35kHzの2箇所に共振のピーク
がある。この場合には、27kHzで発振すれば振動子は
スケーラとして有効な振動を発生するが、35kHzでは
有効な振動を発生させることができないため、従来は発
振回路の基準発振周波数を27kHzとして強制的にこの
周波数で発振させている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の方式では、電源を入れた直後の発振開始時に
チップに強い負荷を与えた場合や、振動子の振動特性が
劣化してきた場合など、発振条件によっては35kHz近
辺で発振が開始されることがある。この現象はいわゆる
周波数飛びとして知られたものであるが、その原因は共
振状態を周波数そのものではなく電圧あるいは位相によ
って間接的に検出していることにある。
【0005】すなわち、この場合の電圧は共振周波数で
ピークを示すだけで実際の周波数は不明であり、また位
相も実際の周波数を示すものではないから、電圧や位相
で間接的に検出するのでは共振周波数に近付いているか
否かの検出しかできない。また、その周波数が所定の共
振周波数でない場合でも、一旦所定の周波数以外で発振
が始まると、これがフィードバックされてそのまま継続
されることになり、有効な振動の得られる正規の周波数
に戻すことはできず、特に振動特性の良くない振動子や
劣化した振動子などではこの周波数飛びが生じやすくな
る。従って、この現象を防止するためには複雑な防止回
路を設ける必要があり、装置が高価になるなどの問題点
があった。
【0006】この発明はこの点に着目し、発振周波数を
直接検出して異常発振の場合に所定の発振周波数に戻す
ようにして常に有効な振動を得られるようにすることを
目的としてなされたものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに、この発明では、発振条件によってはあらかじめ設
定された基準発振周波数から大きくずれた不正常な周波
数で自励発振が開始されるおそれがある発振回路を備え
た超音波振動子の発振制御装置において、上記発振回路
に発生している電圧の周波数あるいは周期を直接検出す
る発振周波数の検出手段と、検出された発振周波数があ
らかじめ設定された基準発振周波数から大きくずれた不
正常な周波数となる異常発振であるか否かを判定する判
定手段と、上記異常発振であると判定された場合に基準
発振周波数と異なっている実際の発振周波数を基準発振
周波数まで強制的に引き戻す補正手段、とを備えてい
る。この補正手段は、基準発振周波数に対応した時定数
を有する共振回路を基準発振周波数より低い周波数に対
応した時定数を有する回路に、あるいは基準発振周波数
より高い周波数に対応した時定数を有する回路に一時的
に変更し、設定された待ち時間後に元に戻す手段を備え
ている。
【0008】
【0009】
【0010】
【発明の実施の形態】次に、この発明の実施の形態を図
示の例について説明する。図1の回路図において、1は
CPU、2は発振回路、3は超音波振動子、4はドライ
ブ回路、5は各種のスイッチ類を備えた操作部、6は表
示部、7は電源回路、8は補正回路であり、これらは図
示のような回路構成でCPU1に接続されている。
【0011】発振回路2は振動子3と組み合わせて発振
を起こすための回路であって、マッチング・トランス2
1、発振用トランジスタ22、コイルL1とコンデンサ
C1からなる直列共振回路23等で構成されている。直
列共振回路23の時定数は振動子3との組み合わせで所
定の周波数で発振するような値に選定されており、振動
子3はその振動がフィードバックされて決定される周波
数でトランジスタ22によって駆動される。直列共振回
路23はその一端がフィードバックライン24を経てC
PU1のカウンター・タイマ入力ポートC/Tに接続さ
れ、発振電圧がCPU1に常時入力されるようになって
いる。
【0012】補正回路8は直列共振回路23に付設され
たもので、コンデンサC1に並列に接続されたコンデン
サC2とこのコンデンサC2に直列に挿入されているスイ
ッチSW1、及びコンデンサC1に直列に挿入されたコン
デンサC3とこのコンデンサC3に並列に接続されている
スイッチSW2で構成されている。スイッチSW1はCP
U1の出力ポートP1からの制御信号によって、またス
イッチSW2は出力ポートP2からの制御信号によってそ
れぞれ開閉されるようになっている。
【0013】図1の回路は上述のような構成であり、動
作は操作部5の操作に応じて開始され、CPU1に制御
されて図2のフローチャートに示すような手順で行われ
る。まず起動時には、図1に示すようにスイッチSW1
をオフ、スイッチSW2をオンとしてドライブ回路4に
スタート信号が送られ、発振が開始される。発振周波数
はポートC/Tへの入力電圧の周期をCPU1で測定す
ることによって検出され、あらかじめ設定された正常な
周波数、すなわち基準発振周波数であるか否かが判定さ
れ、正常であれば動作はそのまま継続される。
【0014】一方、発振周波数が正常でない場合には、
次のステップに進んで正常より高いか低いかが判定さ
れ、高い場合にはCPU1の出力ポートP1から制御信
号が出力されてスイッチSW1がオンされる。このた
め、コンデンサC1にコンデンサC2が並列に接続されて
直列共振回路23のキャパシタンス分が大きくなり、時
定数は基準発振周波数より低い周波数に対応した値とな
るので、発振周波数は強制的に下げられて基準発振周波
数に移行する。図3の例で説明すれば本来の周波数より
高い35kHzで発振した場合に相当しており、この周波
数での異常発振が検出されると強制的に27kHzの発振
に引き戻されるのである。
【0015】また、発振周波数が正常より低ければ、C
PU1の出力ポートP2から制御信号が出力されてスイ
ッチSW2がオフされる。このため、コンデンサC1にコ
ンデンサC3が直列に接続されて直列共振回路23のキ
ャパシタンス分は小さくなり、時定数は基準発振周波数
より高い周波数に対応した値となるので、発振周波数は
強制的に上げられて基準発振周波数に移行する。すなわ
ち、直列共振回路23の時定数を一時的に変更すること
により、振動子3の振動のフィードバックに打ち勝って
正常な周波数での発振に戻すのである。
【0016】これらの基準発振周波数への引き戻しは比
較的短時間に行われるので、スイッチSW1のオンある
いはスイッチSW2のオフの状態は例えば100msの間
だけ継続されればよく、この待ち時間が経過するとスイ
ッチSW1がオフ、スイッチSW2がオンという元の状態
に戻り、以後基準発振周波数での正常な動作が継続され
ることになる。
【0017】以上のように、この例では発振周波数を電
圧あるいは位相によって間接的に検出するのではなく、
発振周波数の周期をCPU1で直接測定しているので異
常発振か否かの検出が確実である。しかも直列共振回路
23の時定数を一時的に変更することにより、異常発振
時には所定の発振周波数に引き戻して振動子3を有効な
周波数で振動させることができる。
【0018】従って、この発明を例えば前述したような
歯科用の超音波スケーラに適用すれば、仮にチップに強
い負荷を与えたり、振動子の振動特性が劣化したりして
周波数飛びが発生しても、これが自動的に検出されて直
ちに正規の周波数に戻るのであり、常に有効な振動が得
られて使いやすい装置とすることが可能となる。
【0019】特にハンドピースの先端に発光部を設け、
これにライトガイドを経て照明用の光を導くようにした
超音波スケーラでは、超音波振動子とその振動をチップ
に導くホーンの周囲がライトガイドで囲まれる構造とな
り、またライトガイドに付随する部材などもあるため
に、発振条件が有効な振動を発生できない周波数での発
振に適したものとなりやすい。従って、ライトガイド付
きの超音波スケーラにこの発明を実施することにより、
ライトガイドの影響を除去して正規の周波数で発振させ
ることが可能となり、その実用化に極めて有効である。
【0020】なお、発振周波数は上記のように周期を測
定する方式が最も容易であるが、分周器などと組み合わ
せて周波数を直接計数するようにしてもよい。また、適
当なF−V変換器を使用して周波数に対応する電圧信号
に変換し、これをコンパレータなどで判別するアナログ
処理も可能であるが、この場合のアナログ化された電圧
値は共振周波数でピークを示すものではなく、周波数に
一義的に対応して変化するものであるから、実際の発振
周波数を確実に検出することができる。
【0021】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、この発
明は、発振条件によってはあらかじめ設定された基準発
振周波数から大きくずれた不正常な周波数で自励発振が
開始されるおそれがある発振回路を備えた超音波振動子
の発振制御装置において、発振回路に発生している電圧
の周波数あるいは周期を直接検出する発振周波数の検出
手段と、検出された発振周波数があらかじめ設定された
基準発振周波数から大きくずれた不正常な周波数となる
異常発振であるか否かを判定する判定手段と、異常発振
であると判定された場合に基準発振周波数と異なってい
る実際の発振周波数を基準発振周波数まで強制的に引き
戻す補正手段、とを備えたものである。
【0022】従って、周波数飛びのような異常発振が発
生しても、自動的に所定の発振周波数に引き戻して振動
子を有効な周波数で振動させることができるのであり、
振動子からのフィードバックのために複雑な回路を使用
したり、周波数飛び防止回路を設けたりする必要がな
く、動作の安定した超音波機器を得ることが容易とな
り、また振動特性の良くない振動子でも使用することが
可能となる。
【0023】また、発振回路に発生している電圧の周波
数あるいは周期によって発振周波数を直接検出してお
り、電圧あるいは位相によって発振周波数を間接的に検
出するものでないため、異常発振か否かを確実に検出す
ることができる。
【0024】また、基準発振周波数に対応した時定数を
有する共振回路を基準発振周波数より低い周波数に対応
した時定数を有する回路に、あるいは基準発振周波数よ
り高い周波数に対応した時定数を有する回路に一時的に
変更し、設定された待ち時間後に元に戻すようにしてい
るので、簡単な回路構成によって異常発振を正常な発振
に引き戻すことができる。
【0025】特に、この発明は使用条件などで周波数飛
びを起こしやすい超音波スケーラに適用することにより
装置の使いやすさを向上することに有効であり、更にこ
の発明によれば有効な振動の得られない周波数で発振し
やすいライトガイド付き超音波スケーラの欠点が解消さ
れ、その実用化に大きな効果がある。Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an oscillation control device for maintaining an oscillation frequency of an oscillation circuit using an ultrasonic transducer at a predetermined frequency. 2. Description of the Related Art In an apparatus using ultrasonic waves, it is necessary to oscillate an oscillation circuit combined with an ultrasonic vibrator at a predetermined frequency. As a general control method for this purpose, a method of detecting an optimum frequency of a vibrator and feeding it back to an oscillation circuit to maintain the oscillation frequency at a predetermined value is known. A voltage or phase indicating the state is detected, and a feedback loop is configured so that these are in an optimum state (for example, Japanese Patent Application Laid-Open Nos. Sho 62-114550 and Sho 63-114550).
127709). [0003] In the case of a dental ultrasonic scaler which is one of the ultrasonic devices, if the above control oscillates around the optimum resonance frequency, the temperature, the type and shape of the chip, the load applied to the chip, etc. Oscillation continues at that frequency irrespective of the fluctuation, and dental treatment using ultrasonic vibration can be performed without any trouble. FIG. 3 illustrates the relationship between the frequency and the admittance of the ultrasonic vibrator used in the ultrasonic scaler. There are two resonance peaks at 27 kHz and 35 kHz. In this case, if the oscillator oscillates at 27 kHz, the oscillator generates effective oscillation as a scaler. However, since effective oscillation cannot be generated at 35 kHz, conventionally, the reference oscillation frequency of the oscillation circuit is forcibly set to 27 kHz. It oscillates at this frequency. [0004] However, in such a conventional system, a strong load is applied to the chip at the start of oscillation immediately after the power is turned on, or the vibration characteristics of the vibrator are deteriorated. In some cases, oscillation may start at around 35 kHz depending on the oscillation conditions. This phenomenon is known as so-called frequency jump. The cause is that the resonance state is indirectly detected not by the frequency itself but by a voltage or a phase. That is, since the voltage in this case only shows a peak at the resonance frequency and the actual frequency is unknown, and the phase does not indicate the actual frequency, it is indirectly detected by the voltage or the phase. It can only detect whether it is approaching the resonance frequency. Also, even if the frequency is not the predetermined resonance frequency, once oscillation starts at a frequency other than the predetermined frequency, this is fed back and continued as it is, and it is possible to return to the normal frequency where effective vibration can be obtained. In particular, this frequency jump is likely to occur in a vibrator having poor vibration characteristics or a deteriorated vibrator. Therefore, in order to prevent this phenomenon, it is necessary to provide a complicated prevention circuit, and there has been a problem that the apparatus becomes expensive. The present invention has been made in view of this point, and aims to always obtain an effective vibration by directly detecting the oscillation frequency and returning to a predetermined oscillation frequency in the case of abnormal oscillation. It is. [0007] In order to achieve the above-mentioned object, the present invention sets in advance depending on oscillation conditions.
Abnormal frequency greatly deviated from the specified reference oscillation frequency
Oscillation circuit that may start self-excited oscillation
In the oscillation control device for an ultrasonic transducer, an oscillation frequency detecting means for directly detecting the frequency or period of the voltage generated in the oscillation circuit, and the detected oscillation frequency is increased from a preset reference oscillation frequency. A determining means for determining whether or not the abnormal oscillation has a shifted abnormal frequency, and forcing the actual oscillation frequency different from the reference oscillation frequency to the reference oscillation frequency when the abnormal oscillation is determined. Correction means for pulling back the target. This correction means converts a resonance circuit having a time constant corresponding to the reference oscillation frequency into a circuit having a time constant corresponding to a frequency lower than the reference oscillation frequency, or a circuit having a time constant corresponding to a frequency higher than the reference oscillation frequency. A means is provided for temporarily changing and restoring after a set waiting time. Next, an embodiment of the present invention will be described with reference to an example shown in the drawings. In the circuit diagram of FIG. 1, 1 is a CPU, 2 is an oscillation circuit, 3 is an ultrasonic vibrator, 4 is a drive circuit, 5 is an operation unit having various switches, 6 is a display unit, 7 is a power supply circuit, Reference numeral 8 denotes a correction circuit, which is connected to the CPU 1 with a circuit configuration as shown. The oscillating circuit 2 is a circuit for causing oscillation in combination with the vibrator 3, and includes a matching transformer 2
1, a oscillating transistor 22, a series resonance circuit 23 including a coil L1 and a capacitor C1, and the like. The time constant of the series resonance circuit 23 is selected to a value that oscillates at a predetermined frequency in combination with the vibrator 3, and the vibrator 3 is driven by the transistor 22 at a frequency determined by feedback of the vibration. You. One end of the series resonance circuit 23 is connected through a feedback line 24 to C
It is connected to the counter / timer input port C / T of PU1 so that the oscillation voltage is always input to CPU1. The correction circuit 8 is provided in the series resonance circuit 23, and includes a capacitor C2 connected in parallel to the capacitor C1, a switch SW1 inserted in series with the capacitor C2, and a capacitor C1 connected in series with the capacitor C1. And a switch SW2 connected in parallel with the capacitor C3. Switch SW1 is CP
The switch SW2 is opened and closed by a control signal from the output port P1 of U1 and by a control signal from the output port P2. The circuit shown in FIG. 1 is configured as described above. The operation is started in response to the operation of the operation unit 5, and is controlled by the CPU 1 and performed according to the procedure shown in the flowchart of FIG. First, at the time of startup, as shown in FIG.
Is turned off and the switch SW2 is turned on, a start signal is sent to the drive circuit 4, and oscillation is started. The oscillation frequency is detected by measuring the cycle of the input voltage to the port C / T by the CPU 1, and it is determined whether or not the frequency is a preset normal frequency, that is, the reference oscillation frequency. Continued as it is. On the other hand, when the oscillation frequency is not normal,
Proceeding to the next step, it is determined whether it is higher or lower than normal. If it is higher, a control signal is output from the output port P1 of the CPU 1 and the switch SW1 is turned on. For this reason, the capacitor C2 is connected in parallel to the capacitor C1, and the capacitance of the series resonance circuit 23 increases, and the time constant becomes a value corresponding to a frequency lower than the reference oscillation frequency. Therefore, the oscillation frequency is forcibly reduced. To the reference oscillation frequency. In the example shown in FIG. 3, this corresponds to the case where oscillation occurs at 35 kHz higher than the original frequency. When abnormal oscillation at this frequency is detected, the oscillation is forcibly returned to 27 kHz. If the oscillation frequency is lower than normal, C
A control signal is output from the output port P2 of PU1, and the switch SW2 is turned off. For this reason, the capacitor C3 is connected in series with the capacitor C1, and the capacitance of the series resonance circuit 23 is reduced, and the time constant becomes a value corresponding to a frequency higher than the reference oscillation frequency, so that the oscillation frequency is forcibly increased. To the reference oscillation frequency. That is, by temporarily changing the time constant of the series resonance circuit 23, the feedback of the vibration of the vibrator 3 is overcome and the oscillation is returned to the normal frequency. Since the return to the reference oscillation frequency is performed in a relatively short time, the ON state of the switch SW1 or the OFF state of the switch SW2 only needs to be continued for, for example, 100 ms. The switch SW1 is turned off and the switch SW2 is turned on again, and the normal operation at the reference oscillation frequency is continued thereafter. As described above, in this example, the oscillation frequency is not detected indirectly by the voltage or the phase.
Since the period of the oscillation frequency is directly measured by the CPU 1, it is possible to reliably detect whether or not the oscillation is abnormal. Moreover, by temporarily changing the time constant of the series resonance circuit 23, it is possible to return the oscillation frequency to a predetermined oscillation frequency and to vibrate the vibrator 3 at an effective frequency during abnormal oscillation. Therefore, if the present invention is applied to, for example, the ultrasonic scaler for dental use as described above, a frequency load may occur if a strong load is applied to the chip or the vibration characteristics of the vibrator are deteriorated. However, since this is automatically detected and immediately returns to the normal frequency, effective vibration can always be obtained and the device can be used easily. In particular, a light emitting section is provided at the tip of the handpiece,
In the ultrasonic scaler, which guides the light for illumination through the light guide, the ultrasonic vibrator and the horn that guides the vibration to the chip are surrounded by the light guide, and the member attached to the light guide is provided. Because of these factors, the oscillation condition tends to be suitable for oscillation at a frequency at which effective vibration cannot be generated. Therefore, by implementing the present invention on an ultrasonic scaler with a light guide,
It is possible to oscillate at a regular frequency by removing the influence of the light guide, which is extremely effective for practical use. The oscillation frequency is most easily measured by measuring the period as described above. However, the frequency may be directly counted in combination with a frequency divider or the like. Further, it is also possible to perform analog processing of converting the voltage signal into a voltage signal corresponding to the frequency using an appropriate FV converter and discriminating the voltage signal with a comparator or the like. Does not indicate a peak, but changes unambiguously in response to the frequency, so that the actual oscillation frequency can be reliably detected. As is apparent from the above description, the present invention provides a reference oscillation which is set in advance depending on the oscillation conditions.
Self-oscillation occurs at an abnormal frequency
Ultrasonic vibrator with oscillation circuit that may be started
In the oscillation control device, an oscillation frequency detecting means for directly detecting a frequency or a period of a voltage generated in an oscillation circuit, and an abnormal frequency in which the detected oscillation frequency largely deviates from a preset reference oscillation frequency. Determining means for determining whether or not abnormal oscillation occurs, and correcting means for forcibly pulling back the actual oscillation frequency different from the reference oscillation frequency to the reference oscillation frequency when it is determined that the oscillation is abnormal. It is provided with. Therefore, even if an abnormal oscillation such as a frequency jump occurs, the oscillator can be automatically returned to the predetermined oscillation frequency and the oscillator can be vibrated at an effective frequency.
There is no need to use a complicated circuit for the feedback from the vibrator or provide a frequency jump prevention circuit, making it easy to obtain an ultrasonic device with stable operation, and a vibrator with poor vibration characteristics. But it can be used. The oscillation frequency is directly detected based on the frequency or cycle of the voltage generated in the oscillation circuit .
In addition, since the oscillation frequency is not indirectly detected by the voltage or the phase, it is possible to reliably detect whether or not the oscillation is abnormal. Further, a resonance circuit having a time constant corresponding to the reference oscillation frequency is replaced with a circuit having a time constant corresponding to a frequency lower than the reference oscillation frequency or a circuit having a time constant corresponding to a frequency higher than the reference oscillation frequency. Temporarily change and restore after a set waiting time
Therefore, abnormal oscillation can be returned to normal oscillation with a simple circuit configuration. In particular, the present invention is effective in improving the usability of the apparatus by applying to an ultrasonic scaler which is likely to cause a frequency jump under the use conditions, and according to the present invention, it is possible to obtain an effective vibration. The disadvantage of the ultrasonic scaler with a light guide, which easily oscillates at a frequency that cannot be obtained, is solved, and there is a great effect on its practical use.
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明による超音波振動子の発振制御装置の
一例の回路図である。
【図2】同装置の制御の手順を示すフローチャートであ
る。
【図3】超音波振動子の周波数とアドミタンスの関係を
例示したグラフである。
【符号の説明】
1 CPU
2 発振回路
3 超音波振動子
8 補正回路
23 直列共振回路
C/T カウンター・タイマ入力ポート
L1 コイル
C1,C2,C3 コンデンサ
SW1,SW2 スイッチ
P1,P2 出力ポートBRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a circuit diagram of an example of an oscillation control device for an ultrasonic transducer according to the present invention. FIG. 2 is a flowchart showing a control procedure of the apparatus. FIG. 3 is a graph illustrating the relationship between the frequency and admittance of an ultrasonic transducer. [Description of Signs] 1 CPU 2 Oscillation circuit 3 Ultrasonic transducer 8 Correction circuit 23 Series resonance circuit C / T Counter / timer input port L1 Coil C1, C2, C3 Capacitor SW1, SW2 Switch P1, P2 Output port
Claims (1)
た基準発振周波数から大きくずれた不正常な周波数で自
励発振が開始されるおそれがある発振回路を備えた超音
波振動子の発振制御装置において、上記発振回路に発生
している電圧の周波数あるいは周期を直接検出する発振
周波数の検出手段と、検出された発振周波数があらかじ
め設定された基準発振周波数から大きくずれた不正常な
周波数となる異常発振であるか否かを判定する判定手段
と、上記異常発振であると判定された場合に基準発振周
波数と異なっている実際の発振周波数を基準発振周波数
まで強制的に引き戻す補正手段、とを備えており、上記
補正手段が、基準発振周波数に対応した時定数を有する
共振回路を基準発振周波数より低い周波数に対応した時
定数を有する回路に、あるいは基準発振周波数より高い
周波数に対応した時定数を有する回路に一時的に変更
し、設定された待ち時間後に元に戻す手段を備えたもの
であることを特徴とする超音波振動子の発振制御装置。(57) [Claims] [Claim 1] It is set in advance depending on oscillation conditions.
At an abnormal frequency greatly deviated from the reference oscillation frequency
Supersonic with oscillation circuit where excitation oscillation may start
In the oscillation control device of the wave oscillator, the oscillation frequency detecting means for directly detecting the frequency or period of the voltage generated in the oscillation circuit, and the detected oscillation frequency greatly deviates from a preset reference oscillation frequency . Determining means for determining whether or not an abnormal oscillation that results in an abnormal frequency; and forcing the actual oscillation frequency different from the reference oscillation frequency to the reference oscillation frequency when the abnormal oscillation is determined. Correction means, and the correction means converts the resonance circuit having a time constant corresponding to the reference oscillation frequency to a circuit having a time constant corresponding to a frequency lower than the reference oscillation frequency, or a circuit having a time constant higher than the reference oscillation frequency. It is characterized by being provided with a means for temporarily changing to a circuit having a time constant corresponding to the frequency and returning to the original state after a set waiting time. That oscillation control device of the ultrasonic vibrator.
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1995
- 1995-07-28 JP JP21283195A patent/JP3507967B2/en not_active Expired - Fee Related
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JPH0938577A (en) | 1997-02-10 |
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