JP3496644B2 - 検査用照明装置 - Google Patents

検査用照明装置

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JP3496644B2 JP2001004315A JP2001004315A JP3496644B2 JP 3496644 B2 JP3496644 B2 JP 3496644B2 JP 2001004315 A JP2001004315 A JP 2001004315A JP 2001004315 A JP2001004315 A JP 2001004315A JP 3496644 B2 JP3496644 B2 JP 3496644B2
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    • G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
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    • F21—LIGHTING
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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば工場等にお
いて被検査物である製品に光を照射して製品の外観や傷
の検査の他、基板上に実装した電子部品の半田付けの良
否の検査を行う時等に用いられる検査用照明装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】上記検査用照明装置として、例えば本願
出願人が先に提案している特開平１０−２１７１７号公
報がある。これは、発光面を内周面側に向けた状態で環
状に配列した多数の発光体（発光ダイオード）の内周面
側前方に光拡散用の透明体を配置して、透明体の環状の
射出面からの光を被検査物に照射するようにしている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記照
明装置は、発光体が一列になっているため、被検査物に
対して一定方向で、かつ、同一箇所にしか光を照射する
ことができない。このため、立体形状の被検査物の形状
等によっては、前記一定方向からの照射では被検査物の
検査面に不具合があることを検出することができない不
都合が発生していた。
【０００４】本発明が前述の状況に鑑み、解決しようと
するところは、被検査物の検査面に不具合があることを
確実に検出することができる検査用照明装置を提供する
点にある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の照明装置は、前
述の課題解決のために、被検査物に光を照射して被検査
物の検査を行う時に用いられる検査用照明装置であっ
て、ほぼ中心に形成された開口を包囲するように多数の
発光体を環状に配列した発光体列を複数列設け、それら
発光体列の前方に該発光体列の発光体からの光を拡散さ
せながら前記開口の中心軸側へ向けて案内する環状の透
明体の複数を各透明体の合わせ面間に配置した遮光手段
にて光学的に遮光した状態で積層し、前記透明体の光射
出面を上方側ほど中心軸側に位置する傾斜面に形成し、
前記複数の発光体列の各発光体群を別々に点灯又は消灯
可能に構成したことを特徴としている。従って、各発光
体列からの光は、他の発光体列側へ入り込むことなく各
透明体の内部で複雑に反射散乱しながら移動し、各透明
体の終端の射出面（傾斜面）から被検査物に対して上方
から照射する。そして、このように各発光体列からの光
を光学的に遮光した状態にすることができるから、被検
査物に対して異なる角度で複数の発光体列からの光を照
射したり、被検査物への光照射位置を異ならせることに
よって、被検査面を確実に検査することができる。尚、
光が照射された被検査物を開口を通して目視したり、撮
像手段を用いて撮像して被検査面の検査を行うことがで
きる。又、複数の発光体列の各発光体群を別々に点灯又
は消灯可能に構成することによって、特定の発光体群の
みを点灯させて被検査物の検査を行うことができる。
又、各発光体列から透明体を通して照射される照射光量
を調節する調節手段を設けることによって、被検査物に
対して照射する各発光体列の光の照射量を同一にした
り、異ならせることができる。又、前記光射出面に、微
細な凹凸を設けて該光射出面をすりガラス面状に構成す
ることによって、光が光射出面から射出される際に散乱
されて、更に均一な光度にすることができる。
【０００６】前記各発光体の発光面を内周面側に向けた
状態で環状に配列した発光体列の複数列を上下方向に併
設し、これら複数列の発光体列の前方に前記複数の透明
体を配置することによって、各発光体列からの光を上下
方向で遮光することができる。上記のように発光体列の
複数列を上下方向に併設することによって、全ての発光
体列の発光体の取付数を同一にすることが可能になり、
各発光体列から射出される光量が異なることを回避する
ことができる。
【０００７】前記各発光体の発光面を内周面側に向けた
状態で環状に配列した発光体列の複数列を上下方向に併
設し、前記多数の発光体を周方向で複数のグループに分
割し、それら水平方向でグループ分けされた発光体群か
らの光を案内する前記透明体の複数を光学的に遮光した
状態で該発光体群の前方に配置することによって、グル
ープ分けされた各発光体群の光を水平方向で遮光するこ
とができる。上記のように発光体列の複数列を上下方向
に併設することによって、全ての発光体列の発光体の取
付数を同一にすることが可能になり、各発光体列から射
出される光量が異なることを回避することができる。
【０００８】前記各発光体の発光面を下方に向けた状態
で環状に配列した発光体列の複数列を水平方向に併設
し、これら複数列の発光体列それぞれの下方に前記複数
の透明体を配置することによって、各発光体列からの光
を水平方向で遮光することができる。上記のように構成
することによって、各発光体列から射出される光を各発
光体列の下方に配置された透明体の射出面から効率よく
射出することができる。例えば、図１〜図３（ａ），
（ｂ）に、各発光体の発光面を内周面側に向けた状態で
環状に配列した発光体列の複数列を上下方向に併設した
ものを示し、この場合には、発光体４を配置する面積に
対して透明体６の射出面６Ａの面積が、直径が小さくな
る関係上、狭くなっていること、特に上方に位置する射
出面６Ａほどそれの面積が、狭くなってくることの他、
発光体４から射出面６Ａへの距離が上方に位置する発光
体４のものほど長くなっていることが図面から理解でき
る。このような状況においては、各発光体列の個数が同
一であっても、上方に位置する発光体４のものほど発光
体４から射出面６Ａへ到達できる光の量が減少すること
になる。これに対して、図１１及び図１２にも示してい
るように、各発光体の発光面を下方に向けた状態で環状
に配列した発光体列の複数列を水平方向に併設し、これ
ら複数列の発光体列それぞれの下方に前記複数の透明体
を配置することによって、各発光体列の発光体４を配置
する面積に対して透明体６の射出面６Ａの面積をほぼ同
一にすることができるから、透明体にて光を効率よく伝
達して光の量が減少することを図１〜図３（ａ），
（ｂ）に示すものに比べて抑制することができる。しか
も、どの発光体列においても光の量の減少率をほぼ等し
くすることができる利点がある。
【０００９】前記多数の発光体を単一の基板に装着して
前記発光体列の複数列を構成することによって、照明装
置の組み付け作業を迅速に行うことができる。
【００１０】前記透明体の傾斜面を緩やかな湾曲面に形
成することによって、光度の均一化を図ることができる
だけでなく、異なる角度で被検査物を照射することがで
きる。
【００１１】前記発光体と前記透明体との間に発生する
隙間を透明シリコーン等の充填材により充填することに
よって、発光体からの光を直ちに複雑に屈折散乱させて
光の指向性を軽減することで光度の均一化をより一層図
ることができる。
【００１２】前記遮光手段を、その遮光手段へ照射され
た光を前記透明体内へ戻すための反射層で構成すること
によって、光の吸収による減衰を最小限に抑えることが
できる。
【００１３】
【００１４】前記上下方向で併設された各発光体列又は
水平方向でグループ分けされた各発光体群の色を列毎又
は群毎に異ならせることによって、それら複数の色を合
成させた合成光又は異なる単色光を順次切り換えて被検
査物に照射して検査を行うことができる。
【００１５】前記上下方向で併設された各発光体列から
前記透明体を通して照射される照射光量を調節する調節
手段を設けることによって、被検査物に対して照射する
各発光体列の光の照射量を同一にしたり、異ならせるこ
とができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】図１〜図３（ａ），（ｂ）に、本
発明の検査用照明装置が示されている。この検査用照明
装置は、下方が開放された箱型形状で、かつ、上端部の
中心に目視又は撮像手段としてのＣＣＤカメラ（図示せ
ず）等にて撮像することができる大きさの円形の開口１
Ｋが形成されたケーシング１と、このケーシング１内に
設けられた光源部２とから構成している。前記光源部２
への電力供給は、後述の基板５に接続された電源ケーブ
ル３を介して行われるようになっているが、二次電池等
で駆動することもできる。前記検査用照明装置は、主と
して工場や検査室等において製品の外観の傷の検査や基
板の半田付けの良否等の製品の検査の他、基板への電子
部品の装着の目的で用いることもできる。前記開口１Ｋ
を通してＣＣＤカメラにて捉えた画像を画像処理し、モ
ニター等に映し出すようにしてもよい。尚、前記検査用
照明装置は、図示していないが、他の支持部材や専用の
支持部材を介して図１の状態に支持されて、下方の被検
査物を照射することになる。
【００１７】前記ケーシング１は、下方側ほど外周側に
位置し、かつ、所定の曲率を有する緩やかな湾曲面（凹
面）に形成された前記開口１Ｋを備えた円形状の天板部
１Ａと、この天板部１Ａの外周下面から垂下させた側壁
部１Ｂとから構成しているが、具体構成は図に示される
ものに限定されるものではない。そして、図示していな
いが、前記側壁部１Ｂに前記電源ケーブル３を貫通させ
るための貫通孔又は切欠きを形成している。前記天板部
１Ａの下面１ａに後述する反射層７を備えて実施するこ
とが好ましいが、無くてもよい。
【００１８】前記光源部２は、前記開口１Ｋを包囲する
ように発光体である発光ダイオード４の多数を同一中心
でかつ同一半径を有する同一円周上（円形でかつ環状）
に配列した発光体列の複数列（図では４列であるが、複
数列であれば何列でもよい）を支持するための単一の基
板５と、それら発光体列の発光面４Ａ側の前方に該発光
体列の発光ダイオード４からの光を拡散させながら前記
開口１Ｋの中心軸Ｃ側へ向けて案内する円形で環状の透
明体６の複数（図では４つ）と、前記上下方向で隣り合
う透明体６，６を光学的に遮光した状態で積層するため
に各透明体６の下面にアルミニウム等が蒸着された反射
層（遮光手段）７とを備えている。前記反射層７を上下
方向最上部に位置する透明体６の上面に備えさせておけ
ば、前述したように前記ケーシング１の天板部１Ａの下
面に反射層７を設けなくてもよい。図１では、上下方向
で位置する各発光体列の発光ダイオード４を上下方向で
重複する同一位置（同一中心でかつ同一半径を有する同
一円周上）に配置しているが、上方に位置する発光体列
の発光ダイオード４ほど透明体６の射出面６Ａ側（中心
軸側）に寄った位置に配置することによって、発光ダイ
オード４から透明体６の射出面６Ａまでの距離を短縮さ
せることによって、発光ダイオード４から透明体６の射
出面６Ａまで伝達される光の減衰量を減らすことができ
るように構成してもよい。
【００１９】図４（ａ），（ｂ）に示すように、前記各
透明体６の外周面に、前記発光ダイオード４が入り込む
ための環状の溝６Ｍを形成している。尚、前記透明体
６，６同士は、接着剤やボルト等を用いて一体化するこ
とになる。ここでいう透明体６とは、入射してきた光を
拡散させながら移動させる導光部材（図では板状のも
の）を言い、透明度の高いものほど透過させることがで
きる光量が多く好ましいが、少し透明度の低いものでも
よい。又、前記透明体６の射出面６Ａに微細な凹凸を設
けて、すりガラス面状に構成し、光が射出面６Ａから射
出される際に散乱されて、更に均一な光度にすることが
できる利点があるが、必ずしもすりガラス面状に加工す
る必要はない。図１に示すように、前記複数の透明体６
の射出面６Ａを上方側ほど中心軸Ｃ側に位置し、かつ、
緩やかな湾曲形状（凹面形状）に構成しており、被検査
物に対して照射角度を変更することができるようにして
いる。前記射出面６Ａが所定湾曲形状に予め構成された
複数の透明体６を積層して一体化してもよいし、例えば
同一形状の複数の透明体６を積層して一体化した後、射
出面６Ａを上記形状になるように加工するようにしても
よい。前記のように複数の透明体６を積層した後、射出
面６Ａを加工する方が上下方向で隣り合う射出面６Ａの
精度を出しやすい利点がある。又、前記反射層７として
アルミニウムを蒸着したものを用いることによって、反
射率を高めることができるが、反射率は少し低下するが
白色（他の色でもよい）に塗装したものでもよいし、蒸
着や塗装ではなく透明体６の下面に研磨による鏡面加工
を施してもよい。
【００２０】前記溝６Ｍは、図４（ａ）に示すように前
記円盤状の透明体６の外周縁上部のみを円周全域に渡っ
て切り欠くことによって、断面形状ほぼＬ字状に形成さ
れた段部に形成することによって、図５に示すように前
記円盤状の透明体６の外周縁上部に適当間隔置きに個々
の発光ダイオード４が入り込むための凹部６Ｂを形成し
たものに比べて透明体６の加工精度をラフにすることが
できる利点がある。尚、前記溝６Ｍは、図に示す形状以
外に構成することもできる。又、前記凹部６Ｂを、図６
（ａ）に示すように発光ダイオード４がほぼ入り込む形
状に入り込むように透明体６の外周面の上下中央部に形
成してもよい。この場合には、凹部６Ｂの精度を要する
ものである。又、図６（ｂ）に示すように透明体６の外
周部をカットしたものでもよい。尚、図４（ａ）、図６
（ａ），（ｂ）に示す８は、後述する透明シリコーンで
ある。
【００２１】前記基板５は、屈曲可能な材料により構成
され、図７に示すように、一直線で帯状に形成された基
板５の一方の面に、長さ方向ほぼ全域に渡って適当間隔
置きに（隙間がない状態でもよい）一直線状に４列平行
（図１参照）となる状態で多数の発光ダイオード４を取
り付けている。つまり、図７の２点鎖線で示すように、
各発光ダイオード４を、それの発光面４Ａが上方を向い
た同一姿勢でリード線を前記基板５に対して垂直に貫設
し、その後、図７の矢印方向に基板５を湾曲させること
により、全ての発光ダイオード４の発光面４Ａが内側に
向いた状態にすることができる。このとき、図示してい
ないが、前記積層されて一体化された透明体６群の外周
面に前記全ての発光ダイオード４の発光面４Ａが内側に
向いた状態で巻き付けることによって、上下４列の全発
光ダイオード４を上下４列の溝６Ｍにそれぞれ入り込ま
せることができる。前記のように基板５に対して発光ダ
イオード４を同一姿勢で取り付けた後、基板５を環状に
湾曲させることによって、最初から環状に形成された基
板５に発光ダイオード４を所定姿勢で取り付けるものに
比べて発光ダイオード４の取付作業性を高めることがで
きる利点がある。又、図４（ａ）に示すように、前記溝
６Ｍと発光ダイオード４の発光面４Ａとの間に発生する
隙間を充填材としての透明シリコーン８にて充填するこ
とによって、発光ダイオード４からの光を直ちに複雑に
屈折散乱させて光の指向性を軽減することで光度の均一
化を図ることができる利点があるが、検査対象物によっ
ては無くても十分な照明機能を持たせることができれ
ば、充填材を省略してもよい。前記充填材としては、透
明シリコーン８の他、透明な各種の充填材を用いること
ができる。
【００２２】前記のように構成された照明装置を用いて
被検査物に光を照射する場合には、例えば、基板５に装
着された全ての発光ダイオード４を点灯（ＯＮ）させる
ことによって、上下方向に配設した４つの透明体６から
光を射出させることで４つの異なる角度（図１に透明体
６から射出される光軸６Ｘを示している）から被検査物
を照射してもよいし、又、４列の発光体列を１列ずつ順
次点灯（ＯＮ）させて所定時間経過後、消灯（ＯＦＦ）
させて次の列の発光体列を点灯（ＯＮ）させるように順
次１つの発光体列のみを点灯（ＯＮ）させる駆動制御を
行うようにしてもよい。又、前記発光体列毎の発光色を
変更してもよいし、又、各発光体列内を異なる発光色の
発光ダイオードで構成してもよい。又、前記各発光体列
から透明体６を通して射出される射出光量を同一にした
り異ならせたりするための調節手段を設けて実施しても
よい。
【００２３】前記検査用照明装置を、図８及び図９に示
すように構成してもよい。つまり平面視において正方形
（長方形でもよい）のケーシング１とし、これに合わせ
て基板５、透明体６、反射層７を平面視正方形に形成
し、前記透明体６の射出面６Ａを図９に示すように台形
状、つまり上側に位置する透明体６の射出面６Ａほど開
口１Ｋの中心軸Ｃ側に位置する直線状のテーパー面に形
成しているが、前記と同様に湾曲面（凹面）であっても
よい。このように直線状のテーパー面に射出面６Ａを形
成することによって、各射出面６Ａからの光軸６Ｘが、
図９の２点鎖線で示すように、平行になり、前記のよう
に上下方向に配設した発光体列の点灯駆動を切り換える
ことによって、被検査物の照射位置を変更して被検査物
の検査を行うことができる。又、前記同様に発光体列毎
の発光色を変更してもよいし、又、各発光体列内を異な
る発光色の発光ダイオードで構成してもよい。又、前記
各発光体列から透明体６を通して射出される射出光量を
同一にしたり異ならせたりするための調節手段を設けて
実施してもよい。
【００２４】図１及び図９では、発光ダイオード４を上
下方向で分けるようにしたが、図１０に示すように、水
平方向で複数（図では４グループであるが複数グループ
であれば何グループでもよい）のグループに分けるよう
に構成してもよい。つまり、前記４つの透明体６を平面
視ほぼ仰木状の直方体に形成し、これら４つの透明体６
を合わせることにより円筒状の透明体６群を構成し、そ
れら透明体６の２つの合わせ面のうちの少なくとも一方
の合わせ面に前記反射層７を備えさせることによって、
水平方向で隣り合う発光ダイオード群同士を光学的に遮
断することができるようにしている。尚、最下端に位置
する透明体６の下面にも前記反射層７を備えさせて実施
することになる。この場合も、水平方向で分けた発光ダ
イオード群のうちの１つの発光ダイオード群のみを順次
発光して被検査物の検査を行うことができる。又、図１
０（ｂ）において上下方向で積層された４列の発光ダイ
オード列の各列を前記反射層７（図では示していない）
により互いに遮光することによって、発光ダイオード列
を全部で１６分割し、例えば任意の発光ダイオード群を
構成する上下４段の発光ダイオード列のうちの任意の列
から順次発光させていき、一つの発光ダイオード群の発
光が終了すると、次の発光ダイオード群を構成する上下
４段の発光ダイオード列を任意の列から順次発光させる
ように構成してもよい。このように発光させる箇所を１
６分割することによって、上下方向の発光ダイオード列
を順次発光して４つの異なる角度から照射することがで
きるだけでなく、水平方向で異なる箇所の発光ダイオー
ド列を順次発光させることにより４つの異なる箇所から
も照射することができ、被検査物の検査を行う上で有利
である。尚、前記分割数として１６にしたが、１６以外
に設定してもよいが、分割数が多くなればなるほど被検
査物の検査を行う上で有利になる。又、前記同様に発光
体群毎の発光色を変更してもよいし、又、各発光体群内
を異なる発光色の発光ダイオードで構成してもよい。
又、前記各発光体群から透明体６を通して射出される射
出光量を同一にしたり異ならせたりするための調節手段
を設けて実施してもよい。
【００２５】又、前記検査用照明装置を、図１１及び図
１２に示すように構成してもよい。つまり、図１〜図３
（ａ），（ｂ）及び図９では、発光ダイオード４を上下
方向で分けることによって、製作面において有利になる
ものの、発光ダイオード４の取付面積に比べて内側とな
る射出面６Ａの面積が狭くなる。特に、上方に位置する
射出面６Ａがより狭くなり（図３（ｂ）参照）、発光ダ
イオード４からの光を効率よく射出面６Ａから射出する
ことができない不利があるが、図１１及び図１２に示す
ように、各発光ダイオード４の発光面を下方に向けた状
態で環状に配列した発光体列の複数列を同心円状に併設
して、どの発光体列の発光ダイオード４からの光も効率
よく透明体６の射出面６Ａに伝達することができるよう
に構成してもよい。又、前記のように発光ダイオード列
を水平方向に併設することによって、図７で示したよう
な屈曲可能な基板５が不要になり、基板に対するコスト
を下げることができるだけでなく、基板５を折り曲げる
ようなことが不要になり、基板５に対する発光ダイオー
ド４の取り付け角度を精度良く出すことができる利点が
ある。また、内側ほど直径が小さくなる関係上、発光ダ
イオード４の取付個数が内側に位置する発光体列ほど少
なくなるが、射出面６Ａの単位面積当たりの発光ダイオ
ードの個数も同じになるので、効率はよくなる。又、図
１２では、透明体６を斜めに加工したものを使用するこ
とによって、図１１に示すものに比べて装置の上下方向
での小型化を図ることができる利点がある。
【００２６】
【発明の効果】請求項１によれば、各透明体の終端の射
出面から従来同様に被検査物に対して上方から照射する
ことができながらも、被検査物の検査面に対して異なる
角度で複数の発光体列からの光を照射したり、被検査物
への光照射位置を異ならせることによって、従来では見
落としてしまう傷や半田付け不良等の被検査物の不具合
を確実に検出することができる検査用照明装置を提供す
ることができる。又、複数の発光体列の各発光体群を別
々に点灯又は消灯可能に構成することによって、特定の
発光体群のみを点灯させて被検査物の検査を行うことが
でき、被検査物によっては有利な照明装置を構成するこ
とができる。
【００２７】 請求項２によれば、各発光体列から透明
体を通して照射される照射光量を調節する調節手段を設
けることによって、被検査物に対して照射する各発光体
列の光の照射量を同一にしたり、異ならせることがで
き、いろんな被検査物にも対応することができる利点が
ある。又、請求項３によれば、光射出面に、微細な凹凸
を設けて光射出面をすりガラス面状に構成することによ
って、光が光射出面から射出される際に散乱されて、更
に均一な光度にすることができる。又、請求項４〜請求
項６で示した３種類の照明装置を構成することによっ
て、被検査物に応じて使い分けることができ、広い範囲
に渡って被検査物の不具合を確実に検出することができ
る利点がある。又、請求項６の場合には、請求項４及び
請求項５に比べて、透明体にて光を効率よく伝達して光
の量が減少することを抑制することができるだけでな
く、どの発光体列においても光の量の減少率をほぼ等し
くすることができ、光伝達の効率面は勿論のこと、検査
光としての使用面においても有利になる。
【００２８】 請求項７によれば、多数の発光体を単一
の基板に装着して前記発光体列の複数列を構成すること
によって、照明装置の組み付け作業を迅速に行うことが
でき、製造コスト面において有利になる。
【００２９】 請求項８によれば、透明体の傾斜面を緩
やかな湾曲面に形成することによって、光度の均一化を
図ることができるだけでなく、異なる角度で被検査物を
光照射することができ、半田付けの良否等の特に細かい
部分での光照射に有利になる。
【００３０】 請求項９によれば、発光体と前記透明体
との間に発生する隙間を透明シリコーン等の充填材によ
り充填することによって、発光体からの光を直ちに複雑
に屈折散乱させて光の指向性を軽減することで光度の均
一化をより一層図ることができ、より確実な検出を行う
ことができる。
【００３１】 請求項１０によれば、遮光手段を、その
遮光手段へ照射された光を透明体内へ戻すための反射層
で構成することによって、光の吸収による減衰を最小限
に抑えることができ、被検査物に光量の多い強い光を照
射することができる。
【００３２】 請求項１１によれば、上下方向で併設さ
れた各発光体列又は水平方向でグループ分けされた各発
光体群の色を列毎又は群毎に異ならせることによって、
それら複数の色を合成させた合成光又は異なる単色光を
順次切り換えて被検査物に照射して検査を行うことがで
き、被検査物によっては有利な照明装置を構成すること
ができる。
【００３３】
【００３４】
【図面の簡単な説明】
【図１】検査用照明装置の縦断面図である。
【図２】検査用照明装置の斜視図である。
【図３】（ａ）は検査用照明装置の平面図であり、
（ｂ）は検査用照明装置を縦方向で切断して斜め上方か
ら見た図である。
【図４】（ａ）は発光ダイオードの装着部を示す要部の
断面図、（ｂ）は、透明体の形状を示す断面図である。
【図５】別の透明体を示す断面図である。
【図６】（ａ），（ｂ）は別の発光ダイオードの装着部
を示す要部の断面図である。
【図７】発光ダイオードが装着された基板を環状にする
ための説明図である。
【図８】別の検査用照明装置の斜視図である。
【図９】図８の検査用照明装置の縦断面図である。
【図１０】（ａ）は別の検査用照明装置の斜視図、
（ｂ）は（ａ）の検査用照明装置の縦断面図である。
【図１１】別の検査用照明装置の縦断面図である。
【図１２】別の検査用照明装置の縦断面図である。
【符号の説明】
１ ケーシング 1K 開口 1A 天板部 1B 側壁部 ２ 光源部 ３ 電源ケーブル ４ 発光ダイオード 4A 発光面 ５ 基板 5A 表面 ６ 透明体 6A 射出面 6B 凹部 6X 光軸 6M 溝 ７ 反射層（遮光手段） ８ シリコーン Ｃ 中心軸
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01N 21/84 - 21/958 G01B 11/00 - 11/30 102 G01N 21/01 G02B 6/00 - 6/00 351 G02B 6/04 - 6/08 F21V 8/00 - 8/00 601 H01L 21/64 - 21/66 H05K 3/00

Claims (11)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 被検査物に光を照射して被検査物の検査
    を行う時に用いられる検査用照明装置であって、ほぼ中
    心に形成された開口を包囲するように多数の発光体を環
    状に配列した発光体列を複数列設け、それら発光体列の
    前方に該発光体列の発光体からの光を拡散させながら前
    記開口の中心軸側へ向けて案内する環状の透明体の複数
    を各透明体の合わせ面間に配置した遮光手段にて光学的
    に遮光した状態で積層し、前記透明体の光射出面を上方
    側ほど中心軸側に位置する傾斜面に形成し、前記複数の
    発光体列の各発光体群を別々に点灯又は消灯可能に構成
    してなる検査用照明装置。
  2. 【請求項２】 前記各発光体列から前記透明体を通して
    射出される射出光量を調節する調節手段を設けてなる請
    求項１記載の検査用照明装置。
  3. 【請求項３】 前記光射出面に、微細な凹凸を設けて該
    光射出面をすりガラス面状に構成してなる請求項１又は
    ２記載の検査用照明装置。
  4. 【請求項４】 前記各発光体の発光面を内周面側に向け
    た状態で環状に配列した発光体列の複数列を上下方向に
    併設し、これら複数列の発光体列の前方に前記複数の透
    明体を配置してなる請求項１〜３のいずれかに記載の検
    査用照明装置。
  5. 【請求項５】 前記各発光体の発光面を内周面側に向け
    た状態で環状に配列した発光体列の複数列を上下方向に
    併設し、前記多数の発光体を周方向で複数のグループに
    分割し、それら周方向でグループ分けされた発光体群か
    らの光を案内する前記透明体の複数を周方向で隣り合う
    各透明体の合わせ面間に配置した遮光手段にて光学的に
    遮光した状態で該発光体群の前方に配置してなる請求項
    １〜３のいずれかに記載の検査用照明装置。
  6. 【請求項６】 前記各発光体の発光面を下方に向けた状
    態で環状に配列した発光体列の複数列を水平方向に併設
    し、これら複数列の発光体列それぞれの下方に前記複数
    の透明体を配置してなる請求項１〜３のいずれかに記載
    の検査用照明装置。
  7. 【請求項７】 前記多数の発光体を単一の基板に装着し
    て前記発光体列の複数列を構成してなる請求項１〜６の
    いずれかに記載の検査用照明装置。
  8. 【請求項８】 前記透明体の傾斜面を緩やかな湾曲面に
    形成してなる請求項１〜６のいずれかに記載の検査用照
    明装置。
  9. 【請求項９】 前記発光体と前記透明体との間に発生す
    る隙間を透明シリコーンにより充填してなる請求項１〜
    ６のいずれかに記載の検査用照明装置。
  10. 【請求項１０】 前記遮光手段が、その遮光手段へ照射
    された光を前記透明体内へ戻すための反射層でなる請求
    項１〜９のいずれかに記載の検査用照明装置。
  11. 【請求項１１】 前記上下方向で併設された各発光体列
    又は水平方向でグループ分けされた各発光体群の色を列
    毎又は群毎に異ならせてなる請求項４〜６のいずれかに
    記載の検査用照明装置。
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