JP3493081B2 - Display panel suction table - Google Patents
Display panel suction tableInfo
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Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、電気回路が形成
された表示パネルを負圧によって吸着保持する吸着テー
ブルに関する。この吸着テーブルは、例えば、表示パネ
ルを検査するためのプローバに組み込まれて使用され
る。吸着する表示パネルの例としては、液晶表示パネル
が代表的であるが、プラズマ・ディスプレイ・パネルな
どのその他の表示パネルであってもよい。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a suction table for holding a display panel having an electric circuit by negative pressure. This suction table is used by being incorporated in a prober for inspecting a display panel, for example. A liquid crystal display panel is typical as an example of the display panel to be adsorbed, but another display panel such as a plasma display panel may be used.
【０００２】[0002]
【従来の技術】図８は、液晶表示パネルのプローバで用
いられる従来の吸着テーブル１０の載置面１１を示す平
面図である。この載置面１１には吸着溝１２が形成され
ていて、この吸着溝１２に負圧を供給することにより、
載置面１１の上に液晶表示パネルを吸着保持できる。吸
着溝１２は、三重に形成された矩形の溝１２ａ、１２
ｂ、１２ｃを互いに連通することによって構成してい
る。この吸着溝１２には、中央の負圧供給通路１４から
負圧が供給される。負圧供給通路１４は、吸着テーブル
１０の内部に形成されていて、負圧源につながってい
る。液晶表示パネルを載置面１１から持ち上げるときに
は、まず負圧を遮断して、負圧供給通路１４を大気に開
放してから、４本の突き上げピン１６を上昇させてい
る。2. Description of the Related Art FIG. 8 is a plan view showing a mounting surface 11 of a conventional suction table 10 used in a prober of a liquid crystal display panel. A suction groove 12 is formed on the mounting surface 11, and by supplying a negative pressure to the suction groove 12,
The liquid crystal display panel can be held by suction on the mounting surface 11. The suction grooves 12 are rectangular grooves 12a, 12 formed in triple layers.
b and 12c are connected to each other. Negative pressure is supplied to the suction groove 12 from a central negative pressure supply passage 14. The negative pressure supply passage 14 is formed inside the adsorption table 10 and is connected to a negative pressure source. When the liquid crystal display panel is lifted from the mounting surface 11, the negative pressure is first shut off, the negative pressure supply passage 14 is opened to the atmosphere, and then the four push-up pins 16 are raised.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】図９は、上述した従来
の吸着テーブルから液晶表示パネルを持ち上げるときの
側面図である。吸着溝１２への負圧を遮断して、負圧供
給通路を経由して吸着溝１２を大気に開放してから、突
き上げピン１６を上昇させると、液晶表示パネル１８が
上昇する。この場合に、液晶表示パネルの大型化（例え
ば６５０ｍｍ×５５０ｍｍ）に伴って、次のような問題
が生じている。第１に上昇時の負荷が大きくなる。第２
に静電気の影響が無視できなくなる。FIG. 9 is a side view when the liquid crystal display panel is lifted from the above-mentioned conventional suction table. When the push-up pin 16 is moved up after the negative pressure to the suction groove 12 is shut off and the suction groove 12 is opened to the atmosphere through the negative pressure supply passage, the liquid crystal display panel 18 is moved up. In this case, as the liquid crystal display panel becomes larger (for example, 650 mm × 550 mm), the following problems occur. First, the load when rising increases. Second
The influence of static electricity cannot be ignored.
【０００４】まず、上昇時の負荷の問題を説明する。液
晶表示パネル１８を持ち上げる前の状態は、液晶表示パ
ネル１８の下面の大部分が、載置面１１に接触した状態
にある。この接触部分のところでは、液晶表示パネル１
８が持ち上がる瞬間に液晶表示パネル１８の下面と載置
面１１との間に新たに空間２０が形成されることにな
り、この空間２０が瞬間的に負圧状態となる。すると、
この空間２０に向かって、液晶表示パネル１８の側面近
傍から矢印２２に示すように空気が流入する。もちろ
ん、大気に開放された吸着溝１２からも空間２０に向か
って空気が流入するが、側面からの流入断面積の方が大
きいので、側面からの空気流入が主体となる。液晶表示
パネル１８が大型化すると、空間２０の負圧が空気流入
によって解消されるまでに時間がかかり、その間は、突
き上げピン１６にかかる負荷が大きくなる。また、これ
により、液晶表示パネル１８にも大きな曲げモーメント
が作用する。First, the problem of the load when rising will be described. Before the liquid crystal display panel 18 is lifted, most of the lower surface of the liquid crystal display panel 18 is in contact with the mounting surface 11. At this contact point, the liquid crystal display panel 1
At the moment when 8 is lifted, a new space 20 is formed between the lower surface of the liquid crystal display panel 18 and the mounting surface 11, and this space 20 is instantaneously in a negative pressure state. Then,
Air flows into the space 20 from the vicinity of the side surface of the liquid crystal display panel 18 as shown by an arrow 22. Of course, air also flows into the space 20 from the adsorption groove 12 opened to the atmosphere, but since the inflow cross-sectional area from the side surface is larger, the air inflow from the side surface is the main component. When the liquid crystal display panel 18 becomes large, it takes time until the negative pressure in the space 20 is released by the inflow of air, and during that time, the load applied to the push-up pin 16 becomes large. Further, as a result, a large bending moment also acts on the liquid crystal display panel 18.
【０００５】次に、静電気の影響を説明する。液晶表示
パネル１８の下面（ガラス基板）が載置面１１（金属）
に接触している状態から持ち上がるときには、液晶表示
パネル１８に静電気が発生する。液晶表示パネル１８が
大型化して接触面積が大きくなると、離れるときに発生
する静電気の容量も大きくなる。さらに、上述のように
狭い空間２０に空気が流入するときに、空気摩擦による
静電気も発生する。液晶表示パネル１８が大型化する
と、この空気摩擦による静電気量も大きくなる。このよ
うな静電気は、液晶表示パネル内に形成されたトランジ
スタ回路を破壊する恐れがある。Next, the influence of static electricity will be described. The lower surface (glass substrate) of the liquid crystal display panel 18 is the mounting surface 11 (metal)
When the liquid crystal display panel 18 is lifted from the state of being in contact with, static electricity is generated in the liquid crystal display panel 18. When the liquid crystal display panel 18 becomes large and the contact area becomes large, the capacitance of static electricity generated when the liquid crystal display panel 18 is separated becomes large. Further, when air flows into the narrow space 20 as described above, static electricity due to air friction is also generated. As the size of the liquid crystal display panel 18 increases, the amount of static electricity due to this air friction also increases. Such static electricity may damage the transistor circuit formed in the liquid crystal display panel.
【０００６】なお、液晶表示パネルを非常にゆっくりと
上昇させれば、突き上げピンにかかる負荷もそれほど大
きくならず、また空気摩擦による静電気発生も少なくな
るが、液晶表示パネルを検査するサイクルタイムが長く
なり、好ましくない。If the liquid crystal display panel is raised very slowly, the load applied to the push-up pin will not be so large and static electricity due to air friction will be reduced, but the cycle time for inspecting the liquid crystal display panel is long. It is not preferable.
【０００７】この発明は上述の問題点を解決するために
なされたものであり、その目的は、表示パネルを吸着テ
ーブルから持ち上げるときに負荷が小さくなるような吸
着テーブルを提供することにある。また、この発明の別
の目的は、表示パネルを吸着テーブルから持ち上げると
きに静電気の発生が少ない吸着テーブルを提供すること
にある。The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and an object thereof is to provide a suction table that reduces the load when the display panel is lifted from the suction table. Another object of the present invention is to provide a suction table that generates less static electricity when lifting a display panel from the suction table.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】この発明の吸着テーブル
の載置面には、表示パネルを吸着保持するための負圧供
給通路が開口しているほかに、空気溝が形成されてい
る。この空気溝は空気流入通路を介して大気に連通して
いる。したがって、表示パネルを載置面から持ち上げる
ときに、表示パネルと載置面との間に形成された新たな
空間に空気溝から空気が流入する。これにより、表示パ
ネルを突き上げるときの突き上げピンに大きな負荷がか
からず、表示パネルを迅速に持ち上げることができる。
また、空気溝のおかげで空気摩擦が小さくなり、空気摩
擦による静電気発生が少なくなる。さらに、載置面に空
気溝が形成されているために、表示パネルと載置面との
接触面積が小さくなり、表示パネルが載置面から離れる
瞬間に発生する静電気量も少なくなる。On the mounting surface of the suction table of the present invention, a negative pressure supply passage for sucking and holding the display panel is opened, and an air groove is formed. The air groove communicates with the atmosphere through the air inflow passage. Therefore, when the display panel is lifted from the mounting surface, air flows into the new space formed between the display panel and the mounting surface from the air groove. As a result, a large load is not applied to the push-up pin when pushing up the display panel, and the display panel can be quickly raised.
Further, the air groove reduces the air friction, and the static electricity due to the air friction is reduced. Further, since the air groove is formed on the mounting surface, the contact area between the display panel and the mounting surface is reduced, and the amount of static electricity generated at the moment when the display panel is separated from the mounting surface is reduced.
【０００９】 空気の流入抵抗を少なくするためにも、
また、表示パネルと載置面との接触面積を小さくするた
めにも、空気溝が載置面に開口する部分の全面積は、載
置面の面積に対して、ある程度の割合を確保するのが好
ましい。例えば、負圧を供給する部分の開口部と空気溝
の開口部との合計面積は載置面の面積の半分程度が好ま
しい。少なくとも、空気溝の開口部の全面積は、載置面
の面積の４分の１以上とするのが適当である。また、吸
着テーブルの裏面に沿って底面溝が形成されている。こ
の底面溝の一端は空気流入通路に連通し、他端は吸着テ
ーブルの側面に開口している。 In order to reduce the inflow resistance of air,
Further, in order to reduce the contact area between the display panel and the mounting surface, the total area of the portion where the air groove is opened on the mounting surface is ensured to some extent with respect to the area of the mounting surface. Is preferred. For example, it is preferable that the total area of the opening of the portion supplying the negative pressure and the opening of the air groove is about half the area of the mounting surface. At least, the total area of the openings of the air grooves is preferably one fourth or more of the area of the mounting surface. Also suck
A bottom groove is formed along the back surface of the dressing table. This
One end of the bottom groove of the base plate communicates with the air inlet passage, and the other end
It has an opening on the side of the cable.
【００１０】本発明の吸着テーブルで吸着保持する表示
パネルは、完成した表示パネルに限らず、製造途中のパ
ネル基板の状態のものも含む。液晶表示パネルを例にと
ると、液晶を注入する前の、配線パターンやトランジス
タが形成された状態のガラス基板の状態であってもよい
し、また、液晶を注入した後のガラス基板の状態であっ
てもよい。また、表示パネルとしては、液晶表示パネル
のほかに、プラズマ・ディスプレイ・パネルなどのその
他の表示パネルを吸着保持するものであってもよい。本
発明の吸着テーブルは、どのような装置で使用されても
よいが、典型的には、表示パネルを検査するためのプロ
ーバで使用される。The display panel sucked and held by the suction table of the present invention is not limited to a completed display panel but includes a panel substrate in the process of being manufactured. Taking a liquid crystal display panel as an example, the glass substrate may be in a state where wiring patterns and transistors are formed before injecting liquid crystal, or in a state of the glass substrate after injecting liquid crystal. It may be. In addition to the liquid crystal display panel, the display panel may be one that adsorbs and holds another display panel such as a plasma display panel. The suction table of the present invention may be used in any device, but is typically used in a prober for inspecting a display panel.
【００１１】[0011]
【発明の実施の形態】図１は、この発明の吸着テーブル
の一実施形態を示しており、吸着テーブルの載置面の平
面図である。この吸着テーブル２２の載置面２４は、一
辺が６７０ｍｍの概略正方形をしており、その載置面２
４には、液晶表示パネルを吸着保持するための吸着溝２
６と、常に大気に連通している空気溝２８とが形成され
ている。1 shows an embodiment of a suction table according to the present invention and is a plan view of a mounting surface of the suction table. The mounting surface 24 of the suction table 22 has a substantially square shape with one side of 670 mm.
4 is a suction groove 2 for holding the liquid crystal display panel by suction.
6 and an air groove 28 that is in constant communication with the atmosphere.
【００１２】図３は吸着溝２６だけにクロスハッチング
を施して分かりやすくしたものである。吸着溝２６は、
互いに同心の三重の矩形の溝２６ａ、２６ｂ、２６ｃ
と、これらを互いに連通させるための溝２６ｄからな
る。「矩形」の溝の意味は、載置面２４に沿って延びた
形状が矩形であることを意味している。これらの溝の幅
はいずれも３ｍｍである。この吸着溝２６は、図１に示
す負圧供給通路３０に連通していて、この負圧供給通路
３０から負圧が供給される。In FIG. 3, only the suction groove 26 is cross-hatched for easy understanding. The suction groove 26 is
Concentric triple rectangular grooves 26a, 26b, 26c
And a groove 26d for communicating these with each other. The “rectangular” groove means that the shape extending along the mounting surface 24 is rectangular. The width of each of these grooves is 3 mm. The suction groove 26 communicates with the negative pressure supply passage 30 shown in FIG. 1, and negative pressure is supplied from the negative pressure supply passage 30.
【００１３】図４は空気溝２８だけにクロスハッチング
を施して分かりやすくしたものである。空気溝２８は、
矩形の形状となるように載置面２４に沿って延びている
互いに同心の多数の溝２８ａ、２８ｂ、…からなる。空
気溝２８は、上述の吸着溝２６が形成されていない載置
面領域のほぼ全てをカバーするように形成されている。
これらの溝２８ａ、２８ｂ、…は、図１に示すように、
載置面２４の対角線上に配置された空気流入通路３２
ａ、３２ｂ、…にそれぞれ連通している。一つの矩形の
溝２８ａごとに、その矩形の４個の頂点に相当する部分
にそれぞれ空気流入通路３２ａが連通している。空気流
入通路３２ａの他端は後述するように大気に連通してい
る。空気溝２８の幅は３ｍｍである。載置面２４上にお
いて、隣り合う空気溝２８同志の間隔、及び空気溝２８
と吸着溝２６との間隔も同様に３ｍｍである。したがっ
て、載置面２４の表面積のうち、溝が形成されていない
部分の面積（液晶表示パネルと接触できる面積）は、載
置面２４の面積の約半分である。残りの約半分の面積は
溝領域となる。In FIG. 4, only the air groove 28 is cross-hatched for easy understanding. The air groove 28 is
It is composed of a large number of concentric grooves 28a, 28b, ... Which extend along the mounting surface 24 so as to have a rectangular shape. The air groove 28 is formed so as to cover almost the entire mounting surface area where the suction groove 26 is not formed.
As shown in FIG. 1, these grooves 28a, 28b, ...
Air inflow passage 32 arranged on the diagonal of the mounting surface 24
a, 32b, ... For each of the rectangular grooves 28a, the air inflow passages 32a communicate with the portions corresponding to the four vertices of the rectangular shape. The other end of the air inflow passage 32a communicates with the atmosphere as described later. The width of the air groove 28 is 3 mm. On the mounting surface 24, the distance between adjacent air grooves 28 and the air grooves 28.
The distance between the suction groove 26 and the suction groove 26 is also 3 mm. Therefore, of the surface area of the mounting surface 24, the area of the portion where the groove is not formed (the area that can contact the liquid crystal display panel) is about half the area of the mounting surface 24. The remaining half of the area is the groove area.
【００１４】図１に戻って、載置面２４の対角線上には
４本の突き上げピン３４が昇降可能に挿入されている。
この突き上げピン３４は、液晶表示パネルを載置面２４
から持ち上げるのに用いられる。Returning to FIG. 1, four push-up pins 34 are vertically slidably inserted on a diagonal line of the mounting surface 24.
The push-up pin 34 mounts the liquid crystal display panel on the mounting surface 24.
Used to lift from.
【００１５】図２は吸着テーブル２２の底面図である。
底面３６にはその対角線上にＸ字形の底面溝３８が形成
されている。この底面溝３８の幅は２０ｍｍである。こ
の底面溝３８には、多数の空気流入通路３２が開口して
いる。これらの空気流入通路３２は、吸着テーブルの厚
さ方向に貫通しており、載置面側の空気溝２８と底面側
の底面溝３８とを連通する役割を果たしている。４本の
突き上げピン３４は、Ｘ字形の底面溝３８の部分で、吸
着テーブルの厚さ方向に貫通している。なお、突き上げ
ピン３４の挿入箇所は、この底面溝３８の部分に限る必
要はなく、その他の部分に挿入しても構わない。また、
底面３６には負圧供給通路３０が開口しており、この負
圧供給通路３０は負圧源に連通可能である。FIG. 2 is a bottom view of the suction table 22.
An X-shaped bottom groove 38 is formed on the bottom surface 36 diagonally. The width of the bottom groove 38 is 20 mm. A large number of air inflow passages 32 are opened in the bottom surface groove 38. These air inflow passages 32 penetrate in the thickness direction of the adsorption table and play a role of connecting the air groove 28 on the mounting surface side and the bottom surface groove 38 on the bottom surface side. The four push-up pins 34 are portions of the X-shaped bottom groove 38 and penetrate through the suction table in the thickness direction. The push-up pin 34 does not have to be inserted in the bottom groove 38, but may be inserted in other portions. Also,
A negative pressure supply passage 30 is opened in the bottom surface 36, and the negative pressure supply passage 30 can communicate with a negative pressure source.
【００１６】図６（Ａ）は吸着テーブルの載置面の４分
の１だけを示す平面図であり、図６（Ｂ）は図６（Ａ）
の６Ｂ−６Ｂ断面図、図６（Ｃ）は図６（Ａ）の６Ｃ−
６Ｃ断面図、図６（Ｄ）は図６（Ａ）の６Ｄ−６Ｄ断面
図である。FIG. 6 (A) is a plan view showing only a quarter of the mounting surface of the suction table, and FIG. 6 (B) is shown in FIG. 6 (A).
6B-6B sectional view of FIG. 6, FIG. 6 (C) is 6C- of FIG. 6 (A)
6C is a cross-sectional view and FIG. 6D is a 6D-6D cross-sectional view of FIG. 6A.
【００１７】図６（Ｂ）において、載置面２４側の吸着
溝２６の深さは０．５ｍｍであり、空気溝２８の深さは
１ｍｍである。吸着溝２６の深さを浅くしたのは、吸着
時の応答性を考慮して吸着溝の容積を小さくするためで
ある。負圧供給通路３０は吸着テーブルを厚さ方向に貫
通しており、この負圧供給通路３０の一端は載置面側の
吸着溝２６に連通しており、他端は負圧源に連通可能で
ある。負圧供給通路３０の内径は３ｍｍである。In FIG. 6B, the suction groove 26 on the mounting surface 24 side has a depth of 0.5 mm, and the air groove 28 has a depth of 1 mm. The reason why the suction groove 26 is made shallow is to reduce the volume of the suction groove in consideration of the response at the time of suction. The negative pressure supply passage 30 penetrates the adsorption table in the thickness direction, one end of the negative pressure supply passage 30 communicates with the adsorption groove 26 on the mounting surface side, and the other end communicates with the negative pressure source. Is. The inner diameter of the negative pressure supply passage 30 is 3 mm.
【００１８】図６（Ｃ）において、空気流入通路３２は
吸着テーブルを厚さ方向に貫通しており、この空気流入
通路３２の一端は載置面側の空気溝２８に連通してお
り、他端は底面溝３８に連通している。空気流入通路３
２の内径は３ｍｍである。In FIG. 6C, the air inflow passage 32 penetrates the adsorption table in the thickness direction, one end of this air inflow passage 32 communicates with the air groove 28 on the mounting surface side, and the other. The end communicates with the bottom groove 38. Air inflow passage 3
The inner diameter of 2 is 3 mm.
【００１９】図６（Ｄ）は底面溝３８の長手方向に沿っ
た断面図であり、底面溝３８と空気溝２８とをつなぐ多
数の空気流入通路３２が示されている。また、吸着テー
ブルを貫通して昇降する突き上げピン３４も示されてい
る。FIG. 6D is a sectional view taken along the longitudinal direction of the bottom surface groove 38, and shows a large number of air inflow passages 32 connecting the bottom surface groove 38 and the air groove 28. Also shown is a push-up pin 34 that moves up and down through the suction table.
【００２０】図５はこの吸着テーブルの使用方法を示す
側面図である。図５（Ａ）において、吸着テーブル２２
は支持台４０の上に載っている。搬送アーム４２によっ
て右から左に搬送されてきた液晶表示パネル４４は、上
昇してきた４本の突き上げピン３４で支持される。搬送
アーム４２が右方向に後退すると、図５（Ｂ）の状態に
なる。この状態から突き上げピン３４が下降して液晶表
示パネル４４が吸着テーブル２２の載置面２４に載せら
れ、図５（Ｃ）の状態になる。それから、吸着溝に負圧
を供給することにより、液晶表示パネル４４は吸着テー
ブル２２の載置面に吸着保持される。FIG. 5 is a side view showing how to use this suction table. In FIG. 5A, the suction table 22
Is mounted on the support base 40. The liquid crystal display panel 44 transported from the right to the left by the transport arm 42 is supported by the four ascending push-up pins 34. When the transfer arm 42 retreats to the right, the state shown in FIG. From this state, the push-up pin 34 descends and the liquid crystal display panel 44 is placed on the placing surface 24 of the suction table 22, and the state shown in FIG. 5C is obtained. Then, by supplying a negative pressure to the suction groove, the liquid crystal display panel 44 is suction-held on the mounting surface of the suction table 22.
【００２１】この吸着テーブルは液晶表示パネルのプロ
ーバに組み込まれており、吸着テーブル２２に液晶パネ
ル４４が吸着保持された状態で、液晶表示パネル４４の
電極にプローブ針を接触させて、液晶表示パネル４４の
検査が実施される。検査が終了したら、負圧供給通路と
負圧源との間の連通を遮断して、代わりに、負圧供給通
路に０．５秒間だけ圧縮空気を供給し、これにより吸着
溝の負圧を短時間で解消している。その後、負圧供給通
路を大気に連通させている。次に、突き上げピン３４で
液晶表示パネル４４を持ち上げてから、搬送アーム４２
で液晶表示パネルを搬送する。This suction table is incorporated in a prober of a liquid crystal display panel. With the liquid crystal panel 44 held by suction on the suction table 22, a probe needle is brought into contact with the electrodes of the liquid crystal display panel 44 to bring the liquid crystal display panel into contact. Forty-four inspections are performed. When the inspection is completed, the communication between the negative pressure supply passage and the negative pressure source is cut off, and instead, compressed air is supplied to the negative pressure supply passage for 0.5 seconds, thereby reducing the negative pressure in the suction groove. It is resolved in a short time. After that, the negative pressure supply passage is communicated with the atmosphere. Next, after the liquid crystal display panel 44 is lifted by the push-up pin 34, the transfer arm 42
To transport the liquid crystal display panel.
【００２２】図７は、液晶表示パネル４４を吸着テーブ
ル２２の載置面２４から持ち上げる瞬間を示した側面図
である。吸着溝は上述のように圧縮空気の導入により負
圧が解消されている。しかし、液晶表示パネル４４の下
面と載置面２４とが離れる瞬間に、その接触部分のとこ
ろに新しい空間４６が形成されるので、この空間４６が
一時的な負圧状態となる。この負圧となった空間４６に
向かって、底面溝３８と空気流入通路３２と空気溝２８
とを経由して、吸着テーブルの側面から大気が導入さ
れ、空間４６の負圧状態は早期に解消される。この実施
例では、０．５秒の間に液晶表示パネル４４が１５ｍｍ
だけ上昇するように上昇速度が設定されているが、この
ような比較的速い速度で上昇しても、空間４６に空気溝
２８から空気が供給されて負圧が早期に解消されるの
で、突き上げピン３４に大きな負荷がかからない。した
がって、液晶表示パネル４４にも大きな負荷がかからな
い。また、載置面全体にくまなく配置された空気溝２８
から空気が供給されるので、液晶表示パネルの側面近傍
から空気供給される従来例と比較すれば、空気摩擦によ
る静電気発生は格段に少なくなる。さらに、空気溝２８
の存在により、液晶表示パネル４４と載置面２４との接
触面積は、液晶表示パネル４４の表面積の半分程度にな
っているので、液晶表示パネル４４が載置面２４から離
れる際の静電気発生も少なくなる。FIG. 7 is a side view showing the moment when the liquid crystal display panel 44 is lifted from the mounting surface 24 of the suction table 22. The negative pressure is eliminated in the suction groove by the introduction of compressed air as described above. However, at the moment when the lower surface of the liquid crystal display panel 44 and the mounting surface 24 separate from each other, a new space 46 is formed at the contact portion, so that this space 46 becomes a temporary negative pressure state. The bottom groove 38, the air inflow passage 32, and the air groove 28 are directed toward the space 46 having the negative pressure.
The atmosphere is introduced from the side surface of the adsorption table via and, and the negative pressure state of the space 46 is eliminated early. In this embodiment, the liquid crystal display panel 44 is 15 mm in 0.5 seconds.
Although the ascending speed is set so as to rise only, even if the ascending speed is increased at such a relatively high speed, the air is supplied from the air groove 28 to the space 46 and the negative pressure is eliminated at an early stage. The pin 34 is not heavily loaded. Therefore, no heavy load is applied to the liquid crystal display panel 44. Further, the air grooves 28 are arranged all over the mounting surface.
Since air is supplied from the liquid crystal panel, static electricity due to air friction is significantly reduced as compared with the conventional example in which air is supplied from the vicinity of the side surface of the liquid crystal display panel. Further, the air groove 28
Since the contact area between the liquid crystal display panel 44 and the mounting surface 24 is about half of the surface area of the liquid crystal display panel 44 due to the presence of the static electricity, static electricity is also generated when the liquid crystal display panel 44 separates from the mounting surface 24. Less.
【００２３】[0023]
【発明の効果】この発明の吸着テーブルは、載置面に空
気溝が形成されていて、この空気溝が大気に連通してい
るので、表示パネルを載置面から持ち上げるときに、突
き上げピンに大きな負荷がかからず、表示パネルを迅速
に持ち上げることができる。また、空気流入摩擦が小さ
くなり、静電気発生が少なくなる。さらに、表示パネル
と載置面との接触面積が小さくなり、表示パネルが載置
面から離れる瞬間に発生する静電気量も少なくなる。こ
のように静電気の発生が少なくなるので、表示パネルに
形成されたトランジスタなどの回路が破壊される恐れが
ない。The suction table of the present invention has the air groove formed on the mounting surface, and the air groove communicates with the atmosphere. Therefore, when the display panel is lifted from the mounting surface, the push-up pin is used. The display panel can be quickly lifted without applying a heavy load. Further, the air inflow friction is reduced and the generation of static electricity is reduced. Further, the contact area between the display panel and the mounting surface is reduced, and the amount of static electricity generated at the moment when the display panel is separated from the mounting surface is also reduced. Since the generation of static electricity is reduced as described above, there is no fear that the circuits such as the transistors formed on the display panel are destroyed.
【図１】この発明の吸着テーブルの一実施形態の平面図
である。FIG. 1 is a plan view of an embodiment of a suction table of the present invention.
【図２】吸着テーブルの底面図である。FIG. 2 is a bottom view of a suction table.
【図３】吸着溝だけにクロスハッチングを施した平面図
である。FIG. 3 is a plan view in which only suction grooves are cross-hatched.
【図４】空気溝だけをクロスハッチングを施した平面図
である。FIG. 4 is a plan view in which only air grooves are cross-hatched.
【図５】吸着テーブルの使用方法を示す側面図である。FIG. 5 is a side view showing how to use the suction table.
【図６】吸着テーブルの載置面の一部を示す平面図と各
部の断面図である。FIG. 6 is a plan view showing a part of the mounting surface of the suction table and a sectional view of each part.
【図７】液晶表示パネルを吸着テーブルの載置面から持
ち上げるときの側面図である。FIG. 7 is a side view when the liquid crystal display panel is lifted from the mounting surface of the suction table.
【図８】従来の吸着テーブルの載置面を示す平面図であ
る。FIG. 8 is a plan view showing a mounting surface of a conventional suction table.
【図９】従来の吸着テーブルから液晶表示パネルを持ち
上げるときの側面図である。FIG. 9 is a side view when a liquid crystal display panel is lifted from a conventional suction table.
２２ 吸着テーブル ２４ 載置面 ２６ 吸着溝 ２８ 空気溝 ３０ 負圧供給通路 ３２ 空気流入通路 ３４ 突き上げピン ３６ 底面 ３８ 底面溝 ４０ 支持台 ４２ 搬送アーム ４４ 液晶表示パネル 22 Adsorption table 24 Placement surface 26 suction groove 28 air grooves 30 Negative pressure supply passage 32 Air inflow passage 34 Push-up pin 36 Bottom 38 Bottom groove 40 support 42 Transport arm 44 LCD display panel
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平５−256792（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−236042（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−123924（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−339830（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−7072（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−21584（ＪＰ，Ａ) 実開 昭63−84178（ＪＰ，Ｕ) 実開 平３−62355（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭61−195939（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G09F 9/00 G01R 31/00 G02F 1/13 G01N 21/88 G01M 11/00 G03F 9/00 G03G 15/00 G03F 7/20 H01L 21/30 Continuation of the front page (56) Reference JP-A-5-256792 (JP, A) JP-A-6-236042 (JP, A) JP-A-6-123924 (JP, A) JP-A-6-339830 (JP , A) JP-A-7-7072 (JP, A) JP-A-5-21584 (JP, A) Actually open 63-84178 (JP, U) Actually open 3-62355 (JP, U) Actually open 61-195939 (JP, U) (58) Fields investigated (Int.Cl. 7 , DB name) G09F 9/00 G01R 31/00 G02F 1/13 G01N 21/88 G01M 11/00 G03F 9/00 G03G 15 / 00 G03F 7/20 H01L 21/30
Claims (7)
よって吸着保持する吸着テーブルにおいて、次の（イ）
〜（ニ）を備え、さらに（ホ）の特徴を備える吸着テー
ブル。 （イ）表示パネルを吸着保持する載置面。 （ロ）吸着テーブルの内部に形成されていて、一端が負
圧源に連通可能であり、他端が前記載置面に開口してい
る負圧供給通路。 （ハ）前記載置面に開口していて、載置面に沿って延び
ている空気溝。 （ニ）吸着テーブルの内部に形成されていて、一端が大
気に連通しており、他端が前記空気溝に連通している空
気流入通路。（ホ）前記空気溝の開口部の全面積は、前記載置面の表
面積の４分の１以上である。 1. A suction table which holds adsorbed by the display panel which an electric circuit is formed a negative pressure, the following (a)
The adsorption table including (d) and (e) . (A) A mounting surface that holds the display panel by suction. (B) A negative pressure supply passage that is formed inside the suction table, one end of which can communicate with the negative pressure source, and the other end of which is open to the mounting surface. (C) An air groove that is open to the mounting surface and extends along the mounting surface. (D) An air inflow passage which is formed inside the adsorption table and has one end communicating with the atmosphere and the other end communicating with the air groove. (E) The total area of the openings of the air grooves is the table of the above-mentioned mounting surface.
It is more than a quarter of the area.
この吸着溝に前記負圧供給通路が連通していることを特
徴とする請求項１記載の吸着テーブル。2. A suction groove extends along the mounting surface,
The suction table according to claim 1 , wherein the negative pressure supply passage communicates with the suction groove .
とする請求項１記載の吸着テーブル。3. The suction table according to claim 1, wherein the liquid crystal display panel is held by suction.
を特徴とする請求項１記載の吸着テーブル。4. Built-in display panel prober
The suction table according to claim 1, wherein:
よって吸着保持する吸着テーブルにおいて、次の（イ）
〜（ニ）を備え、さらに（ホ）の特徴を備える吸着テー
ブル。 （イ）表示パネルを吸着保持する載置面。 （ロ）吸着テーブルの内部に形成されていて、一端が負
圧源に連通可能であり、他端が前記載置面に開口してい
る負圧供給通路。 （ハ）前記載置面に開口していて、載置面に沿って延び
ている空気溝。 （ニ）吸着テーブルの内部に形成されていて、一端が大
気に連通しており、他端が前記空気溝に連通している空
気流入通路。 （ホ）吸着テーブルの裏面に沿って底面溝が形成され、
この底面溝の一端が前記空気流入通路に連通し、他端が
吸着テーブルの側面に開口している。 5. A negative pressure is applied to a display panel on which an electric circuit is formed.
Therefore, in the suction table that holds by suction,
To (d), and the suction table equipped with the features of (e)
Bull. (A) A mounting surface that holds the display panel by suction. (B) It is formed inside the suction table and one end is negative.
It is possible to communicate with the pressure source, and the other end is open to the placement surface.
Negative pressure supply passage. (C) It has an opening on the mounting surface and extends along the mounting surface.
Air groove. (D) It is formed inside the suction table, and one end is large.
Air that is in communication with the air groove and the other end is in communication with the air groove.
Air inflow passage. (E) A bottom groove is formed along the back surface of the suction table,
One end of this bottom groove communicates with the air inflow passage, and the other end
There is an opening on the side of the suction table.
前記空気溝は同心の複数の矩形溝からなることを特徴と
する請求項５記載の吸着テーブル。6. The mounting surface of the suction table has a rectangular shape,
The air groove is composed of a plurality of concentric rectangular grooves.
The suction table according to claim 5 .
の矩形溝の頂点部分と前記Ｘ字形の底面溝との間に前記
空気流入通路が形成されていることを特徴とする請求項
６記載の吸着テーブル。7. The bottom groove is X-shaped,
Between the apex portion of the rectangular groove and the X-shaped bottom groove
An air inflow passage is formed.
6. The suction table described in 6 .
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22276095A JP3493081B2 (en) | 1995-08-09 | 1995-08-09 | Display panel suction table |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22276095A JP3493081B2 (en) | 1995-08-09 | 1995-08-09 | Display panel suction table |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0950248A JPH0950248A (en) | 1997-02-18 |
| JP3493081B2 true JP3493081B2 (en) | 2004-02-03 |
Family
ID=16787480
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22276095A Expired - Lifetime JP3493081B2 (en) | 1995-08-09 | 1995-08-09 | Display panel suction table |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3493081B2 (en) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3951969B2 (en) * | 2002-11-22 | 2007-08-01 | 株式会社デンソー | Sheet material holder |
| JP4699680B2 (en) * | 2003-04-17 | 2011-06-15 | 三菱電線工業株式会社 | Rubber sheet processing equipment |
| KR100596022B1 (en) * | 2005-09-27 | 2006-07-05 | 주식회사 탑 엔지니어링 | Structure for sucking glass in stage of dispenser |
| JP4634353B2 (en) * | 2006-09-20 | 2011-02-16 | オー・エイチ・ティー株式会社 | Circuit pattern inspection device |
| JP2008134439A (en) * | 2006-11-28 | 2008-06-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Flat panel supplying method and flat panel assembling apparatus |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0417311Y2 (en) * | 1985-05-28 | 1992-04-17 | ||
| JPH0412542Y2 (en) * | 1986-11-20 | 1992-03-26 | ||
| JP2529601Y2 (en) * | 1989-10-20 | 1997-03-19 | 株式会社リコー | Transfer device |
| JPH0521584A (en) * | 1991-07-16 | 1993-01-29 | Nikon Corp | Retaining equipment |
| US5459409A (en) * | 1991-09-10 | 1995-10-17 | Photon Dynamics, Inc. | Testing device for liquid crystal display base plate |
| JPH06123924A (en) * | 1992-10-12 | 1994-05-06 | Nikon Corp | Substrate holder |
| JPH06236042A (en) * | 1993-02-12 | 1994-08-23 | Fuji Photo Film Co Ltd | Sheet material peeling method |
| JPH06339830A (en) * | 1993-05-31 | 1994-12-13 | Hirata Kiko Kk | Vacuum sucking table device |
| JPH077072A (en) * | 1993-06-17 | 1995-01-10 | Anelva Corp | Method and mechanism for unloading substrate in electrostatic chuck device |
-
1995
- 1995-08-09 JP JP22276095A patent/JP3493081B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0950248A (en) | 1997-02-18 |
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