JP3490396B2 - 蒸着チューブをシュリンク及びクロージングして光ファイバ母材を製造するための製造装置及び方法 - Google Patents

蒸着チューブをシュリンク及びクロージングして光ファイバ母材を製造するための製造装置及び方法

Info

Publication number
JP3490396B2
JP3490396B2 JP2000586648A JP2000586648A JP3490396B2 JP 3490396 B2 JP3490396 B2 JP 3490396B2 JP 2000586648 A JP2000586648 A JP 2000586648A JP 2000586648 A JP2000586648 A JP 2000586648A JP 3490396 B2 JP3490396 B2 JP 3490396B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
vapor deposition
deposition tube
tube
optical fiber
circular heater
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2000586648A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2002531367A (ja
Inventor
スン−コーグ・オー
マン−セオク・セオ
ジン−セオン・ヤン
ムン−ヒュン・ド
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Samsung Electronics Co Ltd
Original Assignee
Samsung Electronics Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Samsung Electronics Co Ltd filed Critical Samsung Electronics Co Ltd
Publication of JP2002531367A publication Critical patent/JP2002531367A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3490396B2 publication Critical patent/JP3490396B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/01205—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments starting from tubes, rods, fibres or filaments
    • C03B37/01225—Means for changing or stabilising the shape, e.g. diameter, of tubes or rods in general, e.g. collapsing
    • C03B37/01248—Means for changing or stabilising the shape, e.g. diameter, of tubes or rods in general, e.g. collapsing by collapsing without drawing
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/01205—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments starting from tubes, rods, fibres or filaments
    • C03B37/01225—Means for changing or stabilising the shape, e.g. diameter, of tubes or rods in general, e.g. collapsing
    • C03B37/01257—Heating devices therefor
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • C03B37/018—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD] by glass deposition on a glass substrate, e.g. by inside-, modified-, plasma-, or plasma modified- chemical vapour deposition [ICVD, MCVD, PCVD, PMCVD], i.e. by thin layer coating on the inside or outside of a glass tube or on a glass rod
    • C03B37/01853—Thermal after-treatment of preforms, e.g. dehydrating, consolidating, sintering
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • C03B37/018—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD] by glass deposition on a glass substrate, e.g. by inside-, modified-, plasma-, or plasma modified- chemical vapour deposition [ICVD, MCVD, PCVD, PMCVD], i.e. by thin layer coating on the inside or outside of a glass tube or on a glass rod
    • C03B37/01861—Means for changing or stabilising the diameter or form of tubes or rods
    • C03B37/01869—Collapsing

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光ファイバ母材(o
ptical fiber preform)の製造装置及び方法に関し、特
に、蒸着されたチューブをより有効にシュリンク(shrin
k)及びクロージングさせるための装置及び方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術，及び発明が解決しようとする課題】修正
された化学気相蒸着(Modified Chemical Vapor Deposit
ion：ＭＣＶＤ)方法によって光ファイバ母材を製造する
工程において、母材内の蒸着層の厚さが増加するに伴っ
て蒸着過程でチューブの自己シュリンクが生じ、結果と
してチューブの厚さがさらに増加することになる。従っ
て、通常、蒸着工程に使用されるバーナーは、加熱部位
が広くてチューブ内への熱伝導が容易なため、高い蒸着
効率が得られ、また、炎圧力(flame pressure)が低くて
蒸着過程での望まないシュリンクが減らせるよう構成さ
れる。しかし、前記蒸着工程とは違って、チューブシュ
リンク及びクロージング工程では高い炎圧力が必要とさ
れる。にも拘わらず、シュリンク及びクロージング工程
で蒸着工程に好適なバーナーを使用する場合には、低い
炎圧力でチューブを軟化させるために高い温度を保ちな
がら低いバーナー移動速度を維持しなければならない。
この結果、従来の技術では、全体の母材製造工程のうち
チューブシュリンク及びクロージング工程の占める時間
が長くなり、これは工程時間の短縮に大きな障害となっ
てきた。
【０００３】また、チューブシュリンク及びクロージン
グ工程での高い温度及び低いバーナー移動速度は、次の
ような光ファイバの光特性の劣化を招いた。
【０００４】第一に、蒸着用の元チューブ(preform tub
e)に含まれた微量の水分(一般に、数ppm程度)が蒸着層
に浸透し、この浸透された水分が蒸着層のＰ2Ｏ5又はＳ
ｉＯ2と結合してＰ−Ｏ−Ｈ又はＳｉ−Ｏ−Ｈボンド結
合を形成し、しかも、蒸着層のコア領域まで浸透したＯ
Ｈは蒸着層のＳｉＯ2又はＧｅＯ2と結合してＳｉ−Ｏ又
はＧｅ−Ｏボンド結合を解除しながらＳｉ−Ｏ−Ｈ又は
Ｇｅ−Ｏ−Ｈボンド結合を形成する。このように各蒸着
領域で水分と結合してなったＯ−Ｈ又はＰ−０−Ｈボン
ド結合は、特定な波長領域で吸収バンドによる光損失を
招いてしまう。また、コア領域に浸透したＯＨが非架橋
酸素(mono-oxygen)を形成し、これにより、コア層にあ
るガラス質(vitreous component)の構造的な均一度が局
部的に劣化されてコア層の密度不均一を招き、これは散
乱損失の増加につながる。
【０００５】第二に、高温状態で回転しているチューブ
の下端部をバーナーで加熱する場合、円周方向の温度勾
配が生ずる。かかる温度勾配は、蒸着用の元チューブの
粘性度において不均一を招き、チューブ内の表面張力が
その均衡を失うことによってチューブ形態が変形されて
チューブの非円状率(non-circularity)が増加される。
また、前記非円状率の増加のために偏光モード分散(Ｐ
ＭＤ：Polarization Mode Disperation)が増加してしま
う。
【０００６】従来には、蒸着工程、シュリンク工程、及
びクロージング工程が相異なる工程メカニズムを有して
いるにも拘わらず、蒸着工程に適したバーナーだけで前
記三つの工程を行ってきた。このため、蒸着層の厚さが
増加してチューブの大きさが増大し、従って、チューブ
の幾何学的構造が変形され、光学的特性が悪化され、長
い工程時間がかかってしまうという問題があった。
【０００７】従って、本発明の目的は、蒸着チューブの
シュリンク及びクロージング工程を別の専用装置を用い
て行うことによって、製造工程時間を縮め、元チューブ
から蒸着チューブのガラス質に浸透するＯＨ量を減らし
てＯＨ損失を低減できる光ファイバ母材の製造装置及び
方法を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の一様態によれ
ば、蒸着チューブをシュリンク及びクロージングして光
ファイバ母材を製造するための光ファイバ母材の製造装
置は、一端がシール(seal)されたクラッド(clad)及びコ
ア層の蒸着された蒸着チューブを直立させて支持するた
めの回転盤と、前記回転盤によって支持された蒸着チュ
ーブに熱源を提供するために前記蒸着チューブの円周方
向に一定距離離れて設けられ、所定の速度で上下移動で
きる円形加熱器と、前記蒸着チューブのシールされない
端部と連結されて前記蒸着チューブ内の空気を真空ポン
ピングするポンプと、前記円形加熱器を所定の温度に設
定した後、前記円形加熱器を上下に移動させながら前記
蒸着チューブがシュリンク及びクロージングされるよう
制御する工程制御部と、を含む。
【０００９】他の様態によれば、本発明の光ファイバ母
材の製造方法は、元チューブ内面にクラッド層及びコア
層を蒸着して蒸着チューブを形成する段階と、前記蒸着
チューブの一端をシュリンクさせてシールさせる段階
と、前記蒸着チューブを円形加熱器を通して直立させる
段階と、前記円形加熱器を蒸着チューブのシール部分に
移動させ、前記円形加熱器の温度を蒸着チューブの軟化
点以上に調整する段階と、前記円形加熱器を所定の速度
で移動させながら蒸着チューブを加熱してシュリンク及
びクロージングさせる段階と、を含むことを特徴とす
る。
【００１０】
【発明の実施の形態】本発明は、原料ガス(raw materia
l gas)を元チューブ(preform tube)に蒸着した後、この
蒸着チューブをシュリンク及びクロージングして光ファ
イバ母材を形成する方法及び装置を開示する。ここで、
前記蒸着工程は一般の方法、例えばＭＣＶＤ方法によっ
て行われ、シュリンク及びクロージング工程はより簡単
且つ迅速な方法によって行われる。
【００１１】図１は、ＭＣＶＤ工程に適した蒸着装置を
示す図であって、この装置は、原料ガスを元チューブに
蒸着する工程に用いられる。回転盤１１は元チューブ１
２を支持し、加熱手段１４は元チューブ１２の加熱部位
１３に熱を加える。前記元チューブ１２は例えば矢印１
５ａ方向に回転し、前記加熱手段１４は移動部材(図示
せず)によって矢印１５ｂ方向に移動するので、前記加
熱部位１３は元チューブ１２全体を旋回移動するように
なる。原料ガス物質は、原料物質供給部１９から入力チ
ューブ１７を通じて元チューブ１２に導入される。原料
物質供給部１９は液状の反応物質を含み、この反応物質
をキャリッジガス(carriage gas)を用いて元チューブ１
２に供給する。励起された物質は出口１８を通じて排出
される。この時、原料ガスの流れは、混合弁(図示せず)
又は遮断弁(図示せず)によって調整される。
【００１２】ＭＣＶＤ方法によれば、ガラスからなる元
チューブ内にＳｉＣｌ4、ＧｅＣｌ4Ｏ、ＰＯＣｌ3など
の高純度の原料ガスを酸素と共に吹き込み、加熱手段に
よって元チューブに熱を加えると熱酸化反応によってす
す形態の酸化堆積物が元チューブ内面に形成される。こ
の時、原料ガスの濃度を高精度に制御して屈折率を調節
しながら、クラッド層／コア層を元チューブの内面に蒸
着する。即ち、蒸着チューブは元チューブの内面に形成
される。蒸着された元チューブに再び加熱手段で熱を加
え、これをシュリンクして光ファイバ母材を生成する。
【００１３】図２は、本発明によってシュリンク工程及
びクロージング工程を行う光ファイバ母材の製造装置を
示す図であって、この装置は、図１の装置によって生成
された蒸着チューブをシュリンク及びクロージングする
ための装置である。
【００１４】図２に示すように、本発明による光ファイ
バ母材の製造装置は、蒸着チューブを上端支持部２２及
び下端支持部２３によって垂直方向に支持する回転盤２
１、蒸着チューブを加熱するための円形加熱器２４、蒸
着チューブ内の空気及び汚染物を真空ポンピングする真
空ポンプ２５、真空ポンピングする圧力を測定する圧力
計２６、蒸着チューブ内に塩素ガスを流すための塩素ガ
ス注入器２７、真空排気弁２９、ガス供給弁２８を備え
る。円形加熱器２４は、バーナー又はファーニスであっ
て、チューブ蒸着に適した図１の加熱手段とは違って、
シュリンク及びクロージング工程に適するよう十分な熱
量と圧力制御が可能なものを用いる。
【００１５】回転盤２１によって支持される蒸着チュー
ブ２０ｂは、その一端がシールされ、そのシールされた
部分に棒２０ａが連結されており、上端支持部２２は蒸
着チューブのシールされた端部に連結された棒２０ａを
支持し、下端支持部２３は蒸着チューブのシールされな
い他端を支持し、回転盤２１の長さを調整するために補
助部材２０ｃを使用する。円形加熱器２４は回転盤２１
によって支持された蒸着チューブ２０ｂに熱源を供給す
るために蒸着チューブ２０ｂの円周方向に一定距離離れ
て設けられ、所定の速度で上下移動できる。塩素ガス注
入器２７は、蒸着チューブ２０ｂ内に存在する湿気を取
り除くために、回転盤２１の下端支持部２３を通じて蒸
着チューブ２０ｂに塩素ガスを供給する。
【００１６】制御部(図示せず)は、円形加熱器２４を所
定の温度に設定した後、上端支持部２２及び下端支持部
２３によって支持された蒸着チューブ２０ｂを所定の速
度に回転させるとともに、円形加熱器２４を上下に移動
させながら蒸着チューブ２０ｂがシュリンク及びクロー
ジングされるよう制御する。即ち、前記制御部は、円形
加熱器２４の温度を蒸着チューブ２０ｂの軟化点より低
く調整して円形加熱器２４を所定の速度に移動させなが
ら、蒸着チューブ２０ｂ内に存在する汚染物を真空ポン
プ２５によって排気させた後、円形加熱器２４の温度を
蒸着チューブ２０ｂの軟化点(softening point)以上に
調整して蒸着チューブ２０ｂをシュリンク及びクロージ
ングさせる。一方、円形加熱器２４がファーニスである
場合、ファーニス内にアルゴン又は窒素を供給し、発熱
部位の酸化を防ぐ。
【００１７】従って、本発明は、蒸着チューブのシュリ
ンク及びクロージング工程で蒸着チューブを垂直に設
け、その周囲に高い炎圧力を有する円形加熱器によって
熱源を供給し、加熱工程中に蒸着チューブの内部を真空
ポンピングして負圧を提供するため、従来に比べて工程
時間が著しく縮められ、且つ、チューブの非円状率の発
生を防止できる。
【００１８】図３は、本発明による光ファイバ母材の製
造方法を説明するための流れ図である。この方法によれ
ば、図１の装置を用いて元チューブ内面にクラッド層及
びコア層を蒸着して蒸着チューブを形成する(３１段
階)。次いで、蒸着チューブの一端、即ち蒸着工程で化
学原料ガスの排気される地点を集中的に加熱しシュリン
クしてシールする(３２段階)。前記シールされた蒸着チ
ューブの端部に棒を水平に接合する(３３段階)。棒の接
合された蒸着チューブを蒸着回転盤から取外し、図３に
示したシュリンク／クロージング用の回転盤に移し、前
記棒を上の方向に向かせて蒸着チューブを円形加熱器を
通して直立させる(３４段階)。次いで、円形加熱器を棒
と蒸着チューブとの継ぎ目に移動させ、円形加熱器の温
度を蒸着チューブの軟化点より低く調整した後、円形加
熱器を所定の速度で徐々に上から下に移動させて蒸着チ
ューブを加熱しながら真空排気弁を開けて蒸着チューブ
の移動中に生じる蒸着チューブ内の水分などの汚染物を
取り除く(３６段階)。
【００１９】円形加熱器が蒸着チューブの下端部に達す
ると、再び方向を変えて棒と蒸着チューブとの継ぎ目に
移動させ、円形加熱器の温度を蒸着チューブの軟化点以
上に調整する(３７段階)。円形加熱器の温度が設定温度
に達すると、温度の安定性のために２，３分間その温度
を保ち、蒸着チューブ内の空気を真空ポンピングしてそ
の内圧を負圧に保つ。この時、円形加熱器を所定の速度
で下の方向に移動させながら蒸着チューブを加熱してシ
ュリンク及びクロージングさせる(３８段階)。前記３８
段階のシュリンク及びクロージング工程は、蒸着チュー
ブを所定の速度(通常、１０rpm以下)で回転させながら
行われ、蒸着チューブの厚さ及び内径などを考慮して一
回又は数回チューブをシュリンクさせた後、クロージン
グさせて母材を完成する。円形加熱器としてファーニス
が使用された場合、ファーニス内にアルゴン又は窒素を
供給してファーニス発熱部の酸化を防止する。
【００２０】図４Ａ及び図４Ｂは、円形加熱器としてバ
ーナー及びファーニスを使用した例を各々示す図であ
る。図４Ａにおいて、円形バーナー４１は上から下に移
動しながら元チューブ４２内にクラッド層／コア層４３
の蒸着されたチューブの周囲に熱を加えて蒸着チューブ
をシュリンク及びクロージングさせる。かかる加熱工程
時、蒸着チューブの内部を真空ポンピングしてその内圧
を下げることによって、より容易にチューブをシュリン
ク及びクロージングさせ得る。図４Ｂにおいて、円形フ
ァーニス４５は上から下に移動しながら元チューブ４６
内にクラッド層／コア層４７の蒸着されたチューブの周
囲に熱を加えて蒸着チューブをシュリンク及びクロージ
ングさせる。
【００２１】本発明による光ファイバ母材の製造装置及
び方法によれば、全体母材の製造工程時間中２／３を占
める蒸着チューブのシュリンク及びクロージング工程を
別途の専用装置を用いて行うことによって、製造工程時
間を１／２以下に縮められる。そして、シュリンク及び
クロージング工程がチューブ内の空間に負圧を加えなが
ら行われるために、工程時間がさらに縮められ、蒸着チ
ューブが高温に晒される時間が著しく縮められる。従っ
て、シュリンク及びクロージング工程中に元チューブか
ら蒸着チューブのガラス質に浸透するＯＨ量が減少さ
れ、ＯＨ損失が低減できる。一方、加熱器として円形バ
ーナー又はファーニスを使用するために、蒸着チューブ
に供給される熱源による表面温度勾配が殆どなく、従っ
て、コア層の非円状率を減少させることができ、コアの
非円状率による偏光モード分散が減少できる。
【００２２】一方、前記本発明の詳細な説明では具体的
な実施形態に上げて説明してきたが、本発明の範囲内で
様々な変形が可能であるということは勿論である。従っ
て、本発明の範囲は前記実施形態によって限定されるの
ではなく、特許請求の範囲とそれに均等なものによって
定められるべきである。 ［図面の簡単な説明］
【図１】 ＭＣＶＤ工程に適した蒸着装置を示す図。
【図２】 本発明によってシュリンク工程及びクロージ
ング工程が行える光ファイバ母材の製造装置を示す図。
【図３】 本発明による光ファイバ母材の製造方法を示
す流れ図。
【図４】 図４Ａ及び図４Ｂは、加熱器としてバーナー
及びファーニスを使用した例を各々説明する図。
【符号の説明】
２０ａ 蒸着チューブ（元チューブ） ２１ 回転盤 ２２ 上端支持部 ２３ 下端支持部 ２４ 円形加熱器（ファーニス，バーナー） ２５ 真空ポンプ ２６ 圧力計 ２７ 塩素ガス注入器
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 マン−セオク・セオ 大韓民国・クワンジュ−クワンギョク シ・502−206・ソ−グ・サンチョン−ド ン・（番地なし）・シヨウン・エーピー ティ・＃202−512 (72)発明者 ジン−セオン・ヤン 大韓民国・キョンサンブク−ド・730− 031・クミ−シ・コンダン・１−ドン・ 109−１ (72)発明者 ムン−ヒュン・ド 大韓民国・キョンサンブク−ド・730− 090・クミ−シ・ソンジョン−ドン・37 (56)参考文献 特開 昭52−56945（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−242342（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−315530（ＪＰ，Ａ) 特開 昭51−20917（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−182243（ＪＰ，Ａ) 特開 昭52−50247（ＪＰ，Ａ) 実開 昭52−103843（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) C03B 37/018

Claims (13)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 蒸着チューブをシュリンク及びクロージ
    ングして光ファイバ母材を製造するための光ファイバ母
    材の製造装置において、 一端がシールされクラッド及びコア層の蒸着された蒸着
    チューブを直立させて支持するための回転盤と、 前記回転盤によって支持された蒸着チューブに熱源を提
    供するために前記蒸着チューブの円周方向に一定距離離
    れて設けられ、所定の速度で上下移動できる円形加熱器
    と、 前記蒸着チューブのシールされない端部と連結されて前
    記蒸着チューブ内の空気を真空ポンピングするポンプ
    と、 前記円形加熱器を所定の温度に設定した後、前記円形加
    熱器を上下に移動させながら前記蒸着チューブがシュリ
    ンク及びクロージングされるよう制御する工程制御部
    と、を含むことを特徴とする光ファイバ母材の製造装
    置。
  2. 【請求項２】 前記回転盤は、 前記蒸着チューブのシールされた端部を支持する上端支
    持部と、 前記蒸着チューブのシールされない他端を支持する下端
    支持部と、を備え、 前記上端支持部及び下端支持部は、前記蒸着チューブが
    シュリンク及びクロージングされる時に前記蒸着チュー
    ブを所定の速度で回転させることを特徴とする請求項１
    記載の光ファイバ母材の製造装置。
  3. 【請求項３】 前記円形加熱器の熱源によって前記蒸着
    チューブ内に発生された湿気を取り除くために、前記蒸
    着チューブ内に塩素ガスを流すための塩素ガス注入器を
    さらに含むことを特徴とする請求項１記載の光ファイバ
    母材の製造装置。
  4. 【請求項４】 前記円形加熱器はファーニスであること
    を特徴とする請求項１記載の光ファイバ母材の製造装
    置。
  5. 【請求項５】 前記円形加熱器はバーナーであることを
    特徴とする請求項１記載の光ファイバ母材の製造装置。
  6. 【請求項６】 前記ファーニス内に不活性ガスを供給し
    て加熱部位の酸化を防止するためのガス注入部をさらに
    含むことを特徴とする請求項４記載の光ファイバ母材の
    製造装置。
  7. 【請求項７】 前記工程制御部は、 前記円形加熱器の温度を前記蒸着チューブの軟化点より
    低く調整して前記円形加熱器を所定の温度に移動させな
    がら前記蒸着チューブ内に存在する汚染物を排気した
    後、前記円形加熱器の温度を前記蒸着チューブの軟化点
    以上に調整して前記円形加熱器を所定の温度に移動させ
    ながら蒸着チューブをシュリンク及びクロージングさせ
    ることを特徴とする請求項１記載の光ファイバ母材の製
    造装置。
  8. 【請求項８】 前記工程制御部は、 前記蒸着チューブをシュリンク及びクロージングさせる
    時、前記回転盤によって支持された前記蒸着チューブを
    所定の速度で回転させることを特徴とする請求項１記載
    の光ファイバ母材の製造装置。
  9. 【請求項９】 元チューブ内面にクラッド層及びコア層
    を蒸着して蒸着チューブを形成する段階と、 前記蒸着チューブの一端をシュリンクさせてシールさせ
    る段階と、 前記蒸着チューブを円形加熱器を通して直立させる段階
    と、 前記円形加熱器を蒸着チューブのシール部分に移動さ
    せ、前記円形加熱器の温度を蒸着チューブの軟化点以上
    に調整する段階と、 前記円形加熱器を所定の速度で移動させながら蒸着チュ
    ーブを加熱してシュリンク及びクロージングさせる段階
    と、を含むことを特徴とする光ファイバ母材の製造方
    法。
  10. 【請求項１０】 前記円形加熱器を蒸着チューブのシー
    ル部分に移動させ、前記円形加熱器の温度を前記蒸着チ
    ューブの軟化点より低く調整する段階と、 前記円形加熱器を所定の速度で移動させながら蒸着チュ
    ーブを加熱して蒸着チューブ内の汚染物を排気する段階
    と、をさらに含むことを特徴とする請求項９記載の光フ
    ァイバ母材の製造方法。
  11. 【請求項１１】 前記シュリンク及びクロージング段階
    は、前記蒸着チューブ内の圧力を負圧に維持し、前記蒸
    着チューブを所定の速度で回転させながら行われること
    を特徴とする請求項９記載の光ファイバ母材の製造方
    法。
  12. 【請求項１２】 前記円形加熱器としてファーニスが使
    用された場合、前記ファーニス発熱部位の酸化を防止す
    るためにファーニス内に不活性ガスを供給することを特
    徴とする請求項９記載の光ファイバ母材の製造方法。
  13. 【請求項１３】 前記シュリンク及びクロージング段階
    において、前記蒸着チューブ内に塩素ガスを流して前記
    円形加熱器の熱源によって前記蒸着チューブ内に生じた
    湿気を取り除くことを特徴とする請求項９記載の光ファ
    イバ母材の製造方法。
JP2000586648A 1998-12-10 1999-11-17 蒸着チューブをシュリンク及びクロージングして光ファイバ母材を製造するための製造装置及び方法 Expired - Fee Related JP3490396B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019980054193A KR100306381B1 (ko) 1998-12-10 1998-12-10 증착튜브의응축및클로징을위한광섬유모재제조장치및그방법
KR1998/54193 1998-12-10
PCT/KR1999/000692 WO2000034195A1 (en) 1998-12-10 1999-11-17 Optical fiber preform manufacturing apparatus and method for shrinkage and closing of deposited tube

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2002531367A JP2002531367A (ja) 2002-09-24
JP3490396B2 true JP3490396B2 (ja) 2004-01-26

Family

ID=19562215

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000586648A Expired - Fee Related JP3490396B2 (ja) 1998-12-10 1999-11-17 蒸着チューブをシュリンク及びクロージングして光ファイバ母材を製造するための製造装置及び方法

Country Status (11)

Country Link
US (2) US6487880B1 (ja)
EP (1) EP1054843A1 (ja)
JP (1) JP3490396B2 (ja)
KR (1) KR100306381B1 (ja)
CN (1) CN1122647C (ja)
AR (1) AR025818A1 (ja)
AU (1) AU744332B2 (ja)
BR (1) BR9907929A (ja)
CA (1) CA2318414C (ja)
RU (1) RU2187475C2 (ja)
WO (1) WO2000034195A1 (ja)

Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100306381B1 (ko) * 1998-12-10 2001-11-30 윤종용 증착튜브의응축및클로징을위한광섬유모재제조장치및그방법
WO2002098808A1 (en) * 2001-05-31 2002-12-12 Corning Incorporated Method of low pmd optical fiber manufacture
WO2004083141A1 (de) * 2003-03-21 2004-09-30 Heraeus Tenevo Gmbh Rohr aus synthetischem quarzglas für die herstellung einer vorform, verfahren für seine herstellung in einem vertikalziehverfahren und verwendung des rohres
CN100351192C (zh) * 2003-03-21 2007-11-28 赫罗伊斯·坦尼沃有限责任公司 用于生产预制体的合成二氧化硅玻璃管、用垂直拉丝工艺生产它的方法和所述管的用途
JP4022769B2 (ja) * 2003-11-20 2007-12-19 住友電気工業株式会社 ガラスパイプ加工方法
RU2003137381A (ru) * 2003-12-26 2005-06-10 Закрытое акционерное общество "Медтехника" (RU) Способ изготовления заготовки для оптического волокна
KR20050071797A (ko) * 2004-01-02 2005-07-08 삼성전자주식회사 광섬유 모재 제조 방법
AU2004316345B2 (en) * 2004-02-27 2010-12-02 Henkel Ag & Co. Kgaa Use of cationic starch derivatives for promoting colour yield
EP1957420B1 (en) * 2005-12-09 2019-06-12 Sterlite Technologies Limited Method for producing an optical fiber having low and uniform optical loss along the entire length
KR101187701B1 (ko) 2010-04-07 2012-10-10 단국대학교 산학협력단 선형구조체 베이킹장치
DE102010044296B3 (de) * 2010-09-03 2012-01-05 Eisenmann Ag Oxidationsofen
CN106019506A (zh) * 2016-07-08 2016-10-12 天津市立孚光电线缆开发有限公司 一种紧套光纤加工装置
CN106396361A (zh) * 2016-08-26 2017-02-15 江苏亨通光导新材料有限公司 一种光纤预制棒套管烧结装置及其烧结方法
CN113490649B (zh) * 2019-02-28 2024-03-08 康宁股份有限公司 形成基于坯棒的玻璃光纤预制件的基于真空的方法

Family Cites Families (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4217027A (en) 1974-02-22 1980-08-12 Bell Telephone Laboratories, Incorporated Optical fiber fabrication and resulting product
JPS5111714A (ja) 1974-07-19 1976-01-30 Sumitomo Chemical Co Asetonshianhidorinno seiseiho
JPS5120917A (en) 1974-08-14 1976-02-19 Hitachi Ltd Kan moshikuha bono seizohoho
US3961926A (en) * 1974-12-27 1976-06-08 International Telephone And Telegraph Corporation Preparation of germania cores in optical fibers
JPS5250247A (en) 1975-10-20 1977-04-22 Hitachi Ltd Process for manufacturing optical fibers
JPS5256945A (en) 1975-11-05 1977-05-10 Nec Corp Processing of tubular optical fiber material
US3982916A (en) 1975-12-24 1976-09-28 Bell Telephone Laboratories, Incorporated Method for forming optical fiber preform
JPS52103843A (en) 1976-02-19 1977-08-31 Hitachi Chem Co Ltd Process for treating spinning scouring step
CA1090134A (en) * 1976-03-22 1980-11-25 Western Electric Company, Incorporated Fabrication of optical fibers with improved cross sectional circularity
EP0032390B1 (en) 1980-01-11 1987-04-22 Hitachi, Ltd. Method of producing a preform rod for an optical fiber
US4304581A (en) * 1980-08-07 1981-12-08 Western Electric Co., Inc. Lightguide preform fabrication
JPS59182243A (ja) 1983-03-29 1984-10-17 Fujitsu Ltd 光フアイバの製造方法
DE3447082A1 (de) 1984-05-26 1985-12-19 AEG-Telefunken Kabelwerke AG, Rheydt, 4050 Mönchengladbach Verfahren zum herstellen einer vorform zum ziehen von lichtleitfasern
US4820322A (en) * 1986-04-28 1989-04-11 American Telephone And Telegraph Company At&T Bell Laboratories Method of and apparatus for overcladding a glass rod
KR900003449B1 (ko) * 1986-06-11 1990-05-19 스미도모덴기고오교오 가부시기가이샤 분산 시프트싱글모우드 광파이버 및 그 제조방법
JPS63315530A (ja) 1987-06-15 1988-12-23 Fujikura Ltd 光ファイバ母材の製造方法
US5090978A (en) * 1988-08-30 1992-02-25 At&T Bell Laboratories Methods of collapsing glass tube
JPH03242342A (ja) 1990-02-19 1991-10-29 Furukawa Electric Co Ltd:The 光ファイバ母材の製造方法
DE4005730A1 (de) * 1990-02-23 1991-08-29 Kabelmetal Electro Gmbh Vorrichtung zur herstellung einer lichtwellenleiter-vorform
GB2291643B (en) 1994-07-21 1998-01-28 Pirelli General Plc Optical fibre preforms
US5917109A (en) 1994-12-20 1999-06-29 Corning Incorporated Method of making optical fiber having depressed index core region
US5868815A (en) 1997-02-20 1999-02-09 Lucent Technologies Inc. Method of making an optical fiber by blowing on a preform tube to enhance collapse
KR100277358B1 (ko) * 1998-06-25 2001-01-15 윤종용 화학기상증착방법에 의한 광섬유모재 제조장치 및 방법
US6105396A (en) * 1998-07-14 2000-08-22 Lucent Technologies Inc. Method of making a large MCVD single mode fiber preform by varying internal pressure to control preform straightness
KR100306381B1 (ko) * 1998-12-10 2001-11-30 윤종용 증착튜브의응축및클로징을위한광섬유모재제조장치및그방법
AU2002367308A1 (en) * 2001-12-21 2003-07-24 Fibercore, Inc. Method for offline collapsing a preform

Also Published As

Publication number Publication date
AR025818A1 (es) 2002-12-18
KR20000038999A (ko) 2000-07-05
CN1122647C (zh) 2003-10-01
CA2318414C (en) 2004-09-21
CN1289315A (zh) 2001-03-28
US6487880B1 (en) 2002-12-03
WO2000034195A1 (en) 2000-06-15
AU1187200A (en) 2000-06-26
JP2002531367A (ja) 2002-09-24
BR9907929A (pt) 2000-11-28
EP1054843A1 (en) 2000-11-29
CA2318414A1 (en) 2000-06-15
US6840063B2 (en) 2005-01-11
RU2187475C2 (ru) 2002-08-20
US20020092327A1 (en) 2002-07-18
AU744332B2 (en) 2002-02-21
KR100306381B1 (ko) 2001-11-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CA1054795A (en) Optical fibres
JP3490396B2 (ja) 蒸着チューブをシュリンク及びクロージングして光ファイバ母材を製造するための製造装置及び方法
JP3531647B2 (ja) 光ファイバプリフォームロッドのオーバークラッディング装置及び方法と光ファイバの線引方法
JP5916966B2 (ja) 光ファイバ母材の製造方法および光ファイバの製造方法
KR20010053022A (ko) 희토류 금속이 도핑된 광섬유 모재를 제조하기 위한 방법및 장치
EP0436299B1 (en) Method for making optical fibers comprising fluorine-doped glass
US6408653B1 (en) Apparatus and method for manufacturing optical fiber preform by MCVD
KR100521958B1 (ko) 수정화학기상증착법에 있어서 이중토치를 이용한 광섬유모재의 제조 방법 및 장치
KR100315475B1 (ko) 광섬유 모재의 제조방법
US20020178761A1 (en) Method of low PMD optical fiber manufacture
US20050223749A1 (en) Method of fabricating an optical fiber preform and drawing of an optical fiber
JP5520789B2 (ja) 光ファイバ母材および光ファイバの製造方法
US20040200239A1 (en) Method and apparatus for sintering gel tube
JPH0559052B2 (ja)
KR100251774B1 (ko) 광섬유 모재 오버 클래딩 방법 및 광섬유 인출방법
JP2004345919A (ja) 光ファイバの製法
CA1066570A (en) Optical fibres
US20050144985A1 (en) Fabrication method for optical fiber preform
JPH01203238A (ja) 光フアイバ用母材の製造方法
MXPA00007825A (en) Optical fiber preform manufacturing apparatus and method for shrinkage and closing of deposited tube
JP2003277095A (ja) 光ファイバ多孔質母材の焼結方法
JPH03242343A (ja) 光ファイバ用ガラス母材の製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees