JP3478120B2 - 棒状体の研磨方法および研磨装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、棒状体の研磨方
法、およびこの研磨方法を容易に実施するための研磨装
置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、情報記録体としてのＶＴＲ，Ｄ
ＡＴ用磁気テープ、あるいはコンピュータ用のフロッピ
ーディスク等は、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥ
Ｔ）等のプラスチックフィルム上に、Ｎｉ基合金やＣｏ
基合金等を、例えば、電子ビームによる蒸着法等により
薄膜として付着している。この場合、Ｎｉ基合金やＣｏ
基合金は、板や棒状の形態で素材として用いられるか、
あるいはペレットの形態で素材として用いられている。

【０００３】そして、この棒状素材の製造方法として
は、従来、不純物の混入を防止するために、真空中で溶
解・精練を行い、耐火物を表面にライニングしたインゴ
ットケースによってインゴットとして鋳造した後に、分
塊鍛造などの一次加工（粗加工）及び仕上鍛造、圧延な
どの二次加工（仕上加工）を施して、所定の最終製品形
状を得ているのが知られている。続いて、この圧延品を
研磨等により酸化皮膜を除去し棒状素材が得られる。

【０００４】ところで、この丸棒状の棒状素材の外周面
を研磨するには、例えば図７に示すように、支持体１０
１上に支持した棒状素材Ｗを載せ、その両側より互いに
同方向に回転する研磨ホイール１０２およびゴムローラ
１０３により挟み込むことにより、棒状素材Ｗを回転さ
せつつその外周面を研磨ホイール１０２により研磨する
変形センタレス方式（心無し方式）の研磨方法を採用し
ている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記従来技
術においては、特に加工する素材が熱間加工後の棒状素
材で形状的に安定しない上に、さらにこの棒状素材を回
転させつつその外周面を研磨するので、研磨中に棒状素
材が振れ（あばれ）たりして、前記外周面を良好に研磨
できないという問題点がある。この問題点は、特に棒状
素材の外径や長さが増加するほど顕著になり、前記振れ
（あばれ）の低減が安全上からも強く要望されていた。

【０００６】本発明は、上記従来技術の有する問題点に
鑑みてなされたものであり、従来のセンタレス研磨と違
い、棒状体を回転させずにその外周面を研磨することに
より、研磨中の棒状体の振れをなくし、前記外周面を短
時間で良好に研磨してその真円度を向上させることので
きる、棒状体の研磨方法および研磨装置を提供すること
を目的としている。

【０００７】また、従来技術においては、ゴムローラが
棒状体を一点で支持しているため、研磨ホイールの棒状
体への研磨圧力には限界があって、研磨圧力を高く設定
できず、結果的に、研磨に長時間を要し、生産性が低い
という問題点もある。

【０００８】そこで、本発明の他の目的は、棒状体の外
周面を短時間で研磨でき、生産性が向上する、棒状体の
研磨方法および研磨装置を提供することである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明は、被研磨物としての棒状体の外周面を研磨す
る方法であって、前記棒状体の外周面の周方向における
一部位に、この棒状体の軸方向と垂直な方向の軸線回り
に回転する弾性研磨体を押圧するとともに、前記棒状体
および前記弾性研磨体の少なくとも一方を、前記軸方向
に相対的に移動させることにより、前記弾性研磨体によ
り前記棒状体の前記一部位を前記軸方向の全域において
研磨する研磨工程と、前記棒状体をその軸線回りに所定
の角度回転させることにより、前記棒状体の周方向にお
ける他の部位を前記弾性研磨体に対して相対的に位置決
めする位置決め工程とを有し、前記研磨工程および前記
位置決め工程を順次繰り返すことにより、前記棒状体の
外周面の全域を研磨することを特徴とするものである。

【００１０】この発明においては、棒状体を研磨中にこ
の棒状体を回転させないので、研磨中に棒状体の触れや
あばれが起こらず、棒状体を良好に研磨できる。また、
棒状体の外周面の一部位に、この棒状体の軸方向と垂直
な回転軸回りに回転する弾性研磨体を押圧するととも
に、棒状体および弾性研磨体を相対的に軸方向に移動さ
せることにより、前記棒状体の外周面の一部位を前記軸
方向の全域において研磨することができる。この一領域
の研磨が終了したら、棒状体を所定の角度だけ回転させ
て、棒状体の他の部位を弾性研磨体に位置決めし、この
他の部位を弾性研磨体により前記軸方向の全域において
研磨する。これを繰り返すことにより、棒状体の全ての
外周面を均等に研磨する。

【００１１】

【００１２】

【００１３】また、前記棒状体をその軸方向の複数箇所
において、それぞれ複数点で支持することにより、棒状
体を安定に支持して、弾性研磨体の研磨圧力を高く設定
できる。さらに、研磨中に、前記棒状体の前記弾性研磨
体の両側部位を押えることにより、ワークをさらに安定
に支持してその撓みを防止できる。前記棒状体の一例と
しては、高純度の金属あるいは合金からなる圧延後の棒
状素材を挙げることができる。

【００１４】上記方法を容易に実施するための本発明の
研磨装置は、前記棒状体を支持するとともにその軸線回
りの回転位置を任意に設定できるワーク支持手段と、前
記棒状体の軸方向と垂直な方向の軸線回りに回転する弾
性研磨体、およびこの弾性研磨体を前記棒状体の外周面
の一部位に押圧するための押圧手段を有するワーク研磨
手段と、前記ワーク支持手段および前記ワーク研磨手段
の少なくとも一方を、前記軸方向に相対的に送り移動さ
せるための移動手段と、を備えたことを特徴とするもの
である。

【００１５】また、前記ワーク支持手段は、互いに平行
に配置された一対の軸と、前記一対の軸を互いに同方向
に回転させるための回転駆動機構とを有し、この一対の
軸に、互いの間で前記ワークを支持するための支持ロー
ラが複数個ずつ設けられていることを特徴とするもので
ある。さらに、前記棒状体の、前記弾性研磨体の両側部
位を前記ワーク支持手段に押え付けるためのワーク押え
手段を備えている。そして、研磨前の棒状体を複数本貯
蔵するとともに、ワークを前記ワーク支持手段に一本ず
つ供給するためのワーク供給手段と、研磨後のワークを
複数本貯蔵可能なワーク貯蔵手段と、前記ワーク支持手
段より研磨後のワークを前記ワーク貯蔵手段に搬送する
ためのワーク搬送手段と、を備えていることを特徴とす
る。

【００１６】

【発明の実施の形態】次に、本発明の一実施形態につい
て、図１乃至図６を参照して説明する。

【００１７】先ず、棒状素材（棒状体の一例）の製造方
法の一例の概略について説明する。真空溶解炉を用い、
溶解・精練した純金属や合金をインゴットに鋳湯し、こ
のインゴットを所定の加熱温度や加工方法により所定形
状の中間素材を得る。この中間素材をさらに冷間・熱間
加工し、所望の寸法に加工後、本発明の研磨装置により
研磨加工後、製品として使用される。すなわち、本実施
形態における棒状素材は冷間・熱間加工後の素材であ
り、形状的に安定しないものである。

【００１８】次に、本発明に係わる棒状体の研磨装置の
一実施形態について、図１乃至図５を参照して説明す
る。なお、図１および図２はそれぞれ本発明に係わる棒
状体のの研磨装置の平面図および側面図であり、図３は
図１に示したワーク研磨手段およびワーク支持手段等の
正面図、図４および図５は図１のＣ−Ｃ線断面図および
Ｄ−Ｄ線断面図である。なお、図１においてワーク供給
手段およびワーク貯蔵手段は不図示とされている。

【００１９】先ず、本実施形態の研磨方法の概略として
は、図６（ａ），（ｂ）に示すように、水平状態に支持
された棒状態としての棒状素材Ｗ（以下、「ワーク」と
いう）の外周面の一部位に、このワークＷの軸方向（矢
印Ｘ方向）と垂直な回転軸回りに回転する（矢印Ｂ方向
参照）研磨ホイール２８を上方より押圧し、この状態で
ワークＷをその軸方向に移動させることにより、研磨ホ
イール２８によりワークＷの前記一部位を前記軸方向の
全域ａにおいて研磨する。そして、ワークＷをその軸線
回りに所定角度回転させてその次の部位を研磨ホイール
２８の周面に対向させ、上記と同様にして、ワークＷの
他の領域ｂを研磨し、この後、同様にして領域ｃ〜ｈを
順次研磨することにより、ワークＷの外周面の全域を研
磨することができる。

【００２０】そして、図１乃至図５に示すように、本実
施形態の研磨装置の主な構成は、研磨すべき複数本のワ
ークＷを傾斜したワーク支持テーブル９上に貯蔵し、こ
のワークＷを一本ずつ後述するワーク支持手段２に供給
するためのワーク供給手段１と、互いに平行な一対の回
転軸１６ａ，１６ｂに、それぞれ複数のゴムローラ１９
ａ〜１９ｇ，ゴムローラ２０ａ〜２０ｇが同軸に設けら
れてなり、この両側の複数のゴムローラ１９ａ〜１９
ｇ，２０ａ〜２０ｇ間に研磨すべきワークＷを水平状態
で支持するとともに、ワークＷをその軸線回りに所定角
度回転させて回転位置を任意に設定するワーク支持手段
２と、回転する研磨ホイール２８を備え、この研磨ホイ
ール２８をワーク支持手段２に支持されているワークＷ
の上面に押圧してこれを研磨するためのワーク研磨手段
３と、研磨すべきワークＷを支持するワーク支持手段２
を前記ワークＷの軸方向に送り移動させるための移動手
段４と、研磨後のワークＷを貯蔵するためのワーク貯蔵
手段５と、研磨後のワークＷを持ち上げて前記ワーク貯
蔵手段５に搬送するためのワーク搬送手段６と、であ
る。

【００２１】次に、研磨装置を構成する上記各手段１〜
６の詳細について順次説明する。先ず、ワーク供給手段
１について、基台７上に起立された支柱８には、複数本
のワークＷを並列状態で載せるためのワーク支持テーブ
ル９が傾斜した状態で取り付けられている。このワーク
支持テーブル９の下方先端には、このワーク支持テーブ
ル９とで段差部１１を形成するように先端傾斜板１２が
備えられている。ワーク支持テーブル９に載っている複
数本のワークＷのうち最下方のワークＷは前記段差部１
１に支持されていることにより、全てのワークＷはワー
ク支持テーブル９に支持される。なお、ワーク支持テー
ブル９には複数本のワークＷの各一端面（基準面）を当
接させることにより、複数本のワークＷの基準面を揃え
るための基準面出し部材（不図示）が設けられている。
段差部１１近傍にはワーク押し上げ部材１３が設けられ
ており、このワーク押し上げ部材１３は、適宜の駆動手
段により一旦上昇したときに、ワーク支持テーブル９上
の前記最下方のワークＷを斜め上方に押し上げて、これ
を前記先端傾斜板１２上に供給するものである。先端傾
斜板１２上に供給されたワークＷは、転がって後述する
ワーク支持手段２のゴムローラ１９ａ〜１９ｇ，２０ａ
〜２０ｇ間に供給されて支持される。このようにして、
ワーク支持テーブル９上のワークＷを１本ずつワーク支
持手段２に供給することができる。

【００２２】次に、ワーク支持手段２の構造について
は、ワーク供給手段１の基台７と並設された基台１４上
には、テーブル１５がリニアガイド機構１５ａによりワ
ークＷの軸方向（矢印Ｘ方向）に移動自在に搭載されて
いる。このテーブル１５は、モータ４ａ等の移動手段４
により実線で示す位置と二点鎖線で示す位置との間を往
復移動される。なお、この移動ストロークＳ（図３参
照）は例えば最大２．７ｍ程度とされるが、ワークＷの
長さや設備設計により変更される。このテーブル１５に
は一対の回転軸１６ａ，１６ｂが、それぞれ複数の軸受
け１７，１８を介して、水平状態でかつ回転自在に支持
されている。各回転軸１６ａ，１６ｂにはそれぞれ複数
（本例では７つ）のゴムローラ（支持ローラ）１９ａ〜
１９ｇ，２０ａ〜２０ｇが同軸に固定されている。両側
それぞれ７個のゴムローラ１９ａ〜１９ｇ，２０ａ〜２
０ｇの間に、最大長さＬ（図３参照）が２ｍ程度のワー
クＷを載せて水平状態で支持することができる。そし
て、電動モータ２１の回転が伝動機構（不図示）を介し
て、一対の回転軸１６ａ，１６ｂに伝動されることによ
り、一対の回転軸１６ａ，１６ｂを互いに同方向（図４
中、矢印Ａ参照）に所定角度回転させることができ、こ
れにより、ワークＷの回転位置を任意に設定できる。こ
の電動モータ２１および前記伝動機構（不図示）等によ
り、一対の回転軸１６ａ，１６ｂの回転駆動機構が構成
されている。なお、ワークＷは、ゴムローラ１９ａ〜１
９ｇ，２０ａ〜２０ｇ間に支持された状態で研磨ホイー
ル２８により研磨されるが、この際、ワークＷはその周
方向に回転させず、軸方向（矢印Ｘ方向）に移動するの
みである。

【００２３】ワーク研磨手段３の詳細構成については、
ワーク支持手段２の基台１４の一端部側方に配置された
基台２２には、テーブル２３が前記矢印Ｘ方向と垂直な
矢印Ｙ方向に移動自在に設けられている。このテーブル
２３は例えばシリンダ２４により前記矢印Ｙ方向に移動
させて、研磨ホイール２８がワークＷの真上にくるよう
に所定の位置に固定することができる。このテーブル２
３には支柱２５が立設されており、この支柱２５には研
磨ユニット２６が支持されている。すなわち、前記支柱
２５にユニット本体２７が設けられており、このユニッ
ト本体２７には、研磨ホイール２８（研磨部材）の回転
軸２８ａが支持されているとともに、この研磨ホイール
２８の回転軸２８ａを回転させるための電動モータ２９
が備えられている。研磨ホイール２８は、ワークＷの軸
方向と垂直な回転軸２８ａ回りに回転駆動される。研磨
ホイール２８としては、フラップホイール等の弾性研磨
体が使用されているが、砥石等の研磨ホイールを使用し
てもよい。なお、電動モータ２９の回転を研磨ホイール
２８に電動するための伝動機構は不図示となっている。
また、研磨ユニット２６は、押圧用シリンダ３０（押圧
手段）により上下方向（矢印Ｚ方向）に移動させること
ができるので、研磨ホイール２８を、ワーク支持手段２
上のワークＷに所定の研磨圧力で押し付けることができ
るとともに、ワークＷより退避させることができる。な
お、符号３１は、研磨ホイール２８の下端部以外を覆う
ための安全カバーを示している。

【００２４】次に、ワーク押え手段３２について、ワー
ク支持手段２の基台１４の一側面ににそれぞれ立設され
た支持体３３ａ，３３ｂ（ブラケット）に、シンリダ３
４ａ，３４ｂがそれぞれ固定されており、各シリンダ３
４ａ，３４ｂの下方を向くロッド３５ａ，３５ｂには小
径のゴムローラ（押えローラ）３６ａ，３６ｂがそれぞ
れ回転自在に支持されている。２つのゴムローラ３６
ａ，３６ｂは研磨ホイール２８の両側に位置しており、
それぞれの回転軸線は研磨ホイール２８の回転軸線と平
行である。各シリンダ３４ａ，３４ｂのロッド３５ａ，
３５ｂをそれぞれ下降させると、ゴムローラ３６ａ，３
６ｂにより研磨中のワークＷを上方より押え付けること
ができる。なお、それぞれのシリンダ３４ａ，３４ｂの
ロッド３５ａ，３５ｂを上昇させると、各ゴムローラ３
６ａ，３６ｂをワークＷより退避して、前記押え付けを
解除することができる。

【００２５】研磨後のワークＷを貯蔵するためのワーク
貯蔵手段５については、ワーク供給手段２の基台１４に
は、支柱３７が立設されており、この支柱３７には傾斜
台３８が支持されている。この傾斜板３８は、前記ワー
ク供給手段２のワーク支持テーブル９の上方に位置し、
ワーク支持テーブル９とは反対側に傾斜している。

【００２６】最後に、ワーク搬送手段６については、ワ
ーク支持手段２の基台１４を基準にして、ワーク供給手
段１の基台７とは反対側に、基台３９が配置されてお
り、この基台３９には、図示しない移動機構により矢印
Ｙ方向に移動可能な移動支柱４０が立設している。この
移動支柱４０には、移動体４１がリニアガイド機構４２
を介して上下方向（矢印Ｚ方向）に移動自在に支持され
ており、この移動体４１は、例えばシリンダ４３により
下降位置と上昇位置（二点鎖線参照）との間を移動す
る。この移動体４１には軸体４４が前記矢印Ｘ方向に延
びる形態で回転自在に支持されている。この軸体４４に
は、棒状の複数本のワーク持ち上げ部材４５の一端がそ
れぞれ固定されている。前記移動体４１には、前記軸体
４４をその軸芯回りに回転させるためのシリンダ４６が
設けられており、このシリンダ４６の直線運動がリンク
４７を介して軸体４４に伝動し、これを回転させること
ができる。

【００２７】上記の構成のワーク搬送手段６において
は、各ワーク持ち上げ部材４５がほぼ水平状態のとき
に、移動支柱４０を、ワーク支持テーブル２上のワーク
Ｗ側に移動させて、各ワーク持ち上げ部材４５をワーク
Ｗの下方に位置させ、この状態で、シリンダ４３により
各ワーク持ち上げ部材４５をそれぞれ傾斜させて、各ワ
ーク持ち上げ部材４５によりワークＷを若干持ち上げ、
この状態で、シリンダ４３により移動体４１を上昇させ
て、各ワーク持ち上げ部材４５をワーク貯蔵手段５の傾
斜板３８の上端近傍まで位置させ、ここで、シリンダ４
３により各ワーク持ち上げ部材４５をそれぞれ水平状態
に戻すことにより、各ワーク持ち上げ部材４５に支持さ
れていたワークＷが転がって前記傾斜板３８上に載り移
る。

【００２８】次に、上述した研磨装置の動作、すなわち
研磨方法の一例の詳細について説明する。先ず、ワーク
供給手段１のワーク支持テーブル９上に複数本のワーク
Ｗを載せる。この際、複数本のワークＷの各一端面を、
ワーク支持テーブル９の基準面出し部材（不図示）に当
接させることにより、各ワークＷの軸方向（矢印Ｘ方
向）における位置を揃えておく。ワーク押し上げ部材１
３を一旦上昇させることにより、ワーク支持テーブル９
上の最下方のワークＷのみを先端傾斜板１２に移動させ
ると、このワークＷは、先端傾斜板１２上を転がって、
待機位置（図３中実線で示す位置）にあるワーク支持手
段２の両側の複数（本例では７つ）のゴムローラ１９ａ
〜１９ｇ，２０ａ〜２０ｇ間に供給されて、水平状態で
支持される。なお、ワークＷは一対のゴムローラ１９
ａ，２０ａにより２点支持されるので、７組の一対のゴ
ムローラ１９ａ〜１９ｇ，２０ａ〜２０ｇにより合計１
４点で安定に支持される。

【００２９】ワークＷを支持したワーク支持手段２を、
前記移動手段４によりワーク研磨手段３の方へ移動させ
るとともに、予め待機位置にあったワーク研磨手段３の
テーブル２３を、シリンダ２４によりワーク支持手段２
の基台１４側へ移動させることにより、ワーク研磨手段
３の研磨ホイール２８をワークＷの真上に位置させる。
ここで、押圧用シリンダ３０により研磨ユニット２６全
体を下降させることにより、研磨ホイール２８を、ワー
ク支持手段２上のワークＷの外周面の一部位に所定の研
磨圧力で押圧するとともに、一対の押えローラ３６ａ，
３６ｂ（例えばゴムローラ）を下降させることにより、
この一対の押えローラ３６ａ，３６ｂにより、ワークＷ
の研磨ホイール２８の両側の部位を上方より押え付け
る。本例では、上述のとおりワークＷは、複数のゴムロ
ーラ１９ａ〜１９ｇ，２０ａ〜２０ｇにより多点で安定
に支持されているので、上記研磨圧力を高く設定できる
上に、一対の押えローラ３６ａ，３６ｂによりワークＷ
の撓みをも防止できる。

【００３０】次に、ワーク支持手段２を前記ストローク
間を送り移動させることにより（その送り速度は例えば
０．５〜５ｍ／ｍｉｎ程度）、研磨ホイール２８により
前記ワークＷの一部位を軸方向の全域（図６における研
磨領域ａ参照）において万遍無く研磨する。この際、ワ
ークＷの研磨ホイール２８の両側は押えローラ３６ａ，
３６ｂにより押えられるので、ワークＷが撓まず、良好
な研磨を達成できる。この研磨終了後、ワーク支持手段
２を一旦待機位置まで移動させ、ここで、その電動モー
タ２１により、支持ローラ１９ａ〜１９ｇ，２０ａ〜２
０ｇの回転軸１６ａ，１６ｂをそれぞれ同方向に所定角
度（本例では４５゜）回転させることにより、ワークＷ
の次の研磨すべき部位を真上に向ける。そして、上述と
同様に、ワーク支持手段２を送り移動させることによ
り、研磨ホイール２８をワークＷの次の部位に押圧させ
て、その軸方向全域の研磨領域ｂ（図６参照）を研磨す
る。

【００３１】この後、上記と同様に、ワークＷの研磨領
域ｃ〜ｈを順次研磨することにより、ワークＷの外周面
の全域を研磨する。本実施形態の研磨装置は、ワークＷ
の外径が変更された場合でも、設計変更等を必要とせ
ず、種々の外径のワークを研磨できる。なお、本例で
は、ワークＷの周方向における研磨領域ａ〜ｈの数が８
つとなっているが、これに限定されず、ワークＷおよび
研磨ホイール２８のそれぞれの外径により、適宜決定さ
れる。本実施形態の研磨装置は、ワークＷを研磨中にこ
のワークＷを回転させないので、ワークＷが振れず、ワ
ークＷを短時間でかつ良好に研磨できる。また、ワーク
Ｗを２点支持する一対の支持ローラ１９ａ，２０ａが複
数組（本例では７組）設けられているので、ワークＷを
安定に支持して、研磨ホイール２８により研磨圧力を高
く設定でき、結果的に、研磨時間をさらに短縮して生産
性の向上を図ることができる。

【００３２】ワークＷの全外周面の研磨終了後、ワーク
支持手段２を待機位置に移動させ、ここで、ワーク搬送
手段６の移動支柱４０を、ワーク支持手段２上のワーク
Ｗ側に移動させることにより、水平状態の複数本のワー
ク持ち上げ部材４５をワークＷの下方に位置させ、この
状態で、シリンダ４３により各ワーク持ち上げ部材４５
をそれぞれ傾斜させて、各ワーク持ち上げ部材４５によ
りワークＷを若干持ち上げ、さらに、シリンダ４３によ
り移動体４１を上昇させて、各ワーク持ち上げ部材４５
をワーク貯蔵手段５の傾斜板３８の上端近傍まで位置さ
せ、ここで、シリンダ４３により各ワーク持ち上げ部材
４５をそれぞれ水平状態に戻すことにより、各ワーク持
ち上げ部材４５に支持されていたワークＷが転がって傾
斜板３８上に載り移る。このようにして、研磨後のワー
クＷはワーク貯蔵手段５に搬送される。

【００３３】本実施形態の研磨装置は、ワーク支持手段
２へのワークＷの供給、ワークＷの研磨、および研磨後
のワークＷのワーク貯蔵手段５への搬送等の全ての工程
を自動的に行え、省力化を図れる。そして、以上のよう
な工程を繰り返すことにより、ワーク供給手段１上の複
数本のワークＷを順次研磨できる。

【００３４】上記実施形態においては、ワーク支持手段
を送り移動させることにより、定位置にある研磨ホイー
ルによりワークを研磨したが、これに限らず、ワーク研
磨手段のみ、あるいはワーク支持手段およびワーク研磨
手段の両方を送り移動させることにより、ワークおよび
研磨ホイールの相対移動を確保してもよい。また、支持
ローラおよび押えローラの個数は上記のものに限らず、
例えばワークの長さや径に応じて適宜設定する。さら
に、研磨部材として研磨ホイールを使用するものに限ら
ず、棒状体の外周面に研磨部材（例えば研磨布）を押圧
し、この棒状体および研磨布の少なくとも一方を、前記
棒状体の軸方向に往復移動させることにより、この棒状
体の外周面の全域を研磨してもよい。そして、ワークと
して、電子ビームによる蒸着法によってフィルム表面に
薄膜を形成する際に用いられる蒸着用棒状素材を例に挙
げたが、これに限らず、一般的な金属棒あるいは樹脂棒
等の棒状体でもよい。また、断面円形のものに限らず、
断面多角形のものでもよい。

【００３５】

【発明の効果】本発明は、以上説明したとおりに構成さ
れているので、以下に記載するような効果を奏する。請
求項１に記載の発明は、研磨中に棒状体を回転させない
ので、棒状体が熱間加工後で形状的に安定しない素材で
あっても、センタレス方式の研磨方法でありながら、研
磨中に棒状体が振れ（あばれ）ず、棒状体を容易かつ良
好に研磨できる。また、棒状体の外周面の一部位に、こ
の棒状体の軸方向と垂直な回転軸回りに回転する弾性研
磨体を押圧するとともに、棒状体および弾性研磨体を相
対的に軸方向に移動させることにより、前記棒状体の外
周面の一部位を前記軸方向の全域において研磨すること
ができる。この一領域の研磨が終了したら、棒状体を所
定の角度だけ回転させて、棒状体の他の部位を弾性研磨
体に位置決めし、この他の部位を弾性研磨体により前記
軸方向の全域において研磨する。これを繰り返すことに
より、棒状体の全ての外周面を均等に研磨できて、その
真円度を著しく向上させることができる。

【００３６】

【００３７】請求項２の発明は、前記棒状体をその軸方
向の複数箇所において、それぞれ複数点で支持すること
により、棒状体を安定に支持して、弾性研磨体の研磨圧
力を高く設定でき、結果的に、研磨時間を短縮して生産
性を大幅に向上させることができる。請求項３の発明
は、研磨中に、前記棒状体の前記弾性研磨体の両側部位
を押えることにより、ワークの撓みを防止して、研磨工
程をさらに安定化できる。

【００３８】請求項４および請求項９の発明のように、
前記棒状体を、高純度の金属あるいは合金からなり、か
つ真円度を高く要求される圧延後の棒状素材とすること
により、本発明がさらに有用なものとなる。

【００３９】請求項５乃至請求項７の発明は、請求項１
乃至請求項３のそれぞれの研磨方法を容易かつ確実に実
施できる研磨装置を提供できる。請求項８の発明は、ワ
ーク支持手段へのワークの供給、ワークの研磨、および
研磨後のワークのワーク支持手段からの取り出し等の全
ての工程を自動的に行え、省力化を図れる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明に係わる棒状体の研磨装置の一実施形
態の平面図であ、ワーク供給手段およびワーク貯蔵手段
は不図示とされている。

【図２】 図１の左側面図である。

【図３】 図１に示したワーク研磨手段およびワーク支
持手段等の正面図である。

【図４】 図１のＣ−Ｃ線断面図である。

【図５】 図１のＤ−Ｄ線断面図である。

【図６】 （ａ）および（ｂ）はそれぞれワークの要部
斜視図および横断面図である。

【図７】 従来技術に係わる棒状素材の研磨装置の概略
図である。

【符号の説明】

Ｗ ワーク（棒状素材） １ ワーク供給手段 ２ ワーク支持手段 ３ ワーク研磨手段 ４ 移動手段（送り手段） ５ ワーク貯蔵手段 ６ ワーク搬送手段 １９ａ〜１９ｇ，２０ａ〜２０ｇ ゴムローラ（支持ロ
ーラ） ２８ 研磨ホイール（研磨部材） ３０ 押圧手段（押圧用シリンダ） ３２ ワーク押え手段 ３６ａ，３６ｂ 小径のゴムローラ（押えローラ）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B24B 5/00 - 5/50

Claims (9)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被研磨物としての棒状体の外周面を研磨
   する方法であって、 前記棒状体の外周面の周方向における一部位に、この棒
   状体の軸方向と垂直な方向の軸線回りに回転する弾性研
   磨体を押圧するとともに、前記棒状体および前記弾性研
   磨体の少なくとも一方を、前記軸方向に相対的に移動さ
   せることにより、前記弾性研磨体により前記棒状体の前
   記一部位を前記軸方向の全域において研磨する研磨工程
   と、 前記棒状体をその軸線回りに所定の角度回転させること
   により、前記棒状体の周方向における他の部位を前記弾
   性研磨体に対して相対的に位置決めする位置決め工程と
   を有し、 前記研磨工程および前記位置決め工程を順次繰り返すこ
   とにより、 前記棒状体の外周面の全域を研磨することを
   特徴とする棒状体の研磨方法。
2. 【請求項２】 前記棒状体をその軸方向の複数箇所にお
   いて、それぞれ複数点で支持する請求項１記載の棒状体
   の研磨方法。
3. 【請求項３】 研磨中に、前記棒状体の前記弾性研磨体
   の両側部位を押えることを特徴とする請求項１または２
   記載の棒状体の研磨方法。
4. 【請求項４】 前記棒状体が、高純度の金属あるいは合
   金からなる圧延後の棒状素材である請求項１乃至請求項
   ３のいずれか１項に記載の棒状体の研磨方法。
5. 【請求項５】 棒状体の外周面を研磨する研磨装置であ
   って、 前記棒状体を支持するとともにその軸線回りの回転位置
   を任意に設定できるワーク支持手段と、 前記棒状体の軸方向と垂直な方向の軸線回りに回転する
   弾性研磨体、およびこの弾性研磨体を前記棒状体の外周
   面の一部位に押圧するための押圧手段を有するワーク研
   磨手段と、 前記ワーク支持手段および前記ワーク研磨手段の少なく
   とも一方を、前記軸方向に相対的に送り移動させるため
   の移動手段と、 を備えたことを特徴とする棒状体の研磨装置。
6. 【請求項６】 前記ワーク支持手段は、互いに平行に配
   置された一対の軸と 、前記一対の軸を互いに同方向に回
   転させるための回転駆動機構とを有し、この一対の軸
   に、互いの間で前記ワークを支持するための支持ローラ
   が複数個ずつ設けられていることを特徴とする請求項５
   記載の棒状体の研磨装置。
7. 【請求項７】 前記棒状体の、前記弾性研磨体の両側部
   位を前記ワーク支持手段に押え付けるためのワーク押え
   手段を備えている請求項５または６記載の棒状体の研磨
   装置。
8. 【請求項８】 研磨前の棒状体を複数本貯蔵するととも
   に、ワークを前記ワーク支持手段に一本ずつ供給するた
   めのワーク供給手段と、研磨後のワークを複数本貯蔵可
   能なワーク貯蔵手段と、前記ワーク支持手段より研磨後
   のワークを前記ワーク貯蔵手段に搬送するためのワーク
   搬送手段と、を備えていることを特徴とする請求項５乃
   至請求項７のいずれか１項に記載の棒状体の研磨装置。
9. 【請求項９】 前記棒状体が、高純度の金属あるいは合
   金からなる圧延後の棒状素材である請求項５乃至請求項
   ８のいずれか１項に記載の棒状体の研磨装置。