JP3459359B2 - Differential electric mobility meter - Google Patents
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Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明はナノ（nano）粒子等
の微粒子（エアロゾル）を測定する微分型電気移動度測
定器（ＤＭＡ：differential mobility analyzer）に係
り、とりわけ微粒子の粒径を効率的かつ広範囲にわたっ
て測定することができる微分型電気移動度測定器に関す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a differential mobility analyzer (DMA) for measuring fine particles (aerosol) such as nano particles, and more particularly The present invention relates to a differential type electric mobility measuring instrument capable of measuring over a wide range.
【０００２】[0002]
【従来の技術】近年、半導体製造プロセスにおける粒子
汚染の抑制や量子ナノ材料の開発等に関連して、雰囲気
中に浮遊するナノ粒子等の微粒子が注目を集めている。2. Description of the Related Art In recent years, fine particles such as nanoparticles suspended in an atmosphere have been attracting attention in connection with the suppression of particle contamination in the semiconductor manufacturing process and the development of quantum nanomaterials.
【０００３】このような微粒子の測定装置としては従来
から、帯電した微粒子の電場中での移動速度（電気移動
度）の違いを利用して微粒子の粒径を測定する微分型電
気移動度測定器が知られている。一般的な微分型電気移
動度測定器の原理について図４により説明する。As a measuring device for such fine particles, a differential type electric mobility measuring instrument for measuring the particle size of fine particles by utilizing the difference in the moving speed (electrical mobility) of charged fine particles in an electric field has been conventionally used. It has been known. The principle of a general differential type electric mobility measuring instrument will be described with reference to FIG.
【０００４】図４に示すように、微分型電気移動度測定
器１は、中心ロッド（内筒）３および囲み体（外筒）２
からなる二重円筒構造を有し、囲み体２の内周面と中心
ロッド３の外周面との間には可変電圧源１０により所定
電圧が印加されている。また、囲み体２には帯電した微
粒子（帯電粒子）を内部に引き込むためのスリット２３
が設けられ、また中心ロッド３にはスリット２３から引
き込まれた帯電粒子を外部に取り出すためのスリット２
４が設けられている。さらに、囲み体２の内周面と中心
ロッド３の外周面との間の空間には囲み体２の上部から
シースガスが供給されるようになっている。As shown in FIG. 4, a differential type electric mobility measuring instrument 1 includes a center rod (inner cylinder) 3 and an enclosure (outer cylinder) 2.
And has a double cylindrical structure, and a predetermined voltage is applied between the inner peripheral surface of the enclosure 2 and the outer peripheral surface of the center rod 3 by a variable voltage source 10. In addition, the enclosure 2 has a slit 23 for drawing charged fine particles (charged particles) inside.
The center rod 3 is provided with a slit 2 for taking out charged particles drawn from the slit 23 to the outside.
4 are provided. Further, the sheath gas is supplied from the upper part of the enclosure 2 to the space between the inner peripheral surface of the enclosure 2 and the outer peripheral surface of the central rod 3.
【０００５】図４において、帯電粒子が囲み体２のスリ
ット２３から引き込まれると、この引き込まれた帯電粒
子は囲み体２の上部から供給されるシースガスとともに
中心軸方向下方に移動するとともに、囲み体２の内周面
と中心ロッド３の外周面との間に形成される電場の影響
を受けて個々の微粒子が電気移動度に応じた速度で囲み
体２側から中心ロッド３側へ引き寄せられる。そして、
所定の軌跡を描いて中心ロッド３のスリット２４に到達
した微粒子のみが外部に取り出される。In FIG. 4, when the charged particles are drawn through the slits 23 of the enclosure 2, the drawn charged particles move downward along the central axis together with the sheath gas supplied from the upper portion of the enclosure 2, and at the same time, the enclosure is closed. Under the influence of the electric field formed between the inner peripheral surface of 2 and the outer peripheral surface of the central rod 3, individual particles are attracted from the enclosure 2 side to the central rod 3 side at a speed according to the electric mobility. And
Only the fine particles that have reached the slit 24 of the central rod 3 along a predetermined locus are taken out to the outside.
【０００６】ここで、中心ロッド３のスリット２４に到
達する微粒子の電気移動度Ｚpは、次式（１）により算
出される。
Ｚp＝Ｑ・ln（ｒ1／ｒ2）／（２・π・Ｖ・Ｌ） … （１）
上式（１）において、Ｑはシースガス流量、ｒ1，ｒ2は
それぞれ囲み体２の内周面の半径，中心ロッド３の外周
面の半径である。また、Ｖは囲み体２の内周面と中心ロ
ッド３の外周面との間に印加される電圧、Ｌはスリット
２３およびスリット２４間の距離である。Here, the electric mobility Z p of the fine particles reaching the slit 24 of the central rod 3 is calculated by the following equation (1). Z p = Q · ln (r 1 / r 2 ) / (2 · π · V · L) (1) In the above formula (1), Q is the sheath gas flow rate, and r 1 and r 2 are the enclosure 2 respectively. The radius of the inner peripheral surface and the radius of the outer peripheral surface of the central rod 3. V is a voltage applied between the inner peripheral surface of the enclosure 2 and the outer peripheral surface of the central rod 3, and L is the distance between the slits 23 and 24.
【０００７】また、微粒子の電気移動度Ｚpと粒径Ｄpと
の間には次式（２）により表される関係がある。
Ｚp＝ｎ・ｅ・Ｃm／（３・π・μ・Ｄp） … （２）
上式（２）において、ｎは微粒子の電荷量、ｅは電気素
量（１．６×１０-19クーロン）、Ｃmはカニンガムの補
正係数、μは供給されるシースガスの粘性係数である。Further, there is a relation expressed by the following equation (2) between the electric mobility Z p of the fine particles and the particle size D p . Z p = neC m / (3πμD p ) ... (2) In the above formula (2), n is the charge amount of the fine particles and e is the elementary charge (1.6 × 10 − 19 Coulomb), C m is the correction coefficient of Cunningham, and μ is the viscosity coefficient of the supplied sheath gas.
【０００８】ここで、微分型電気移動度測定器１から外
部に取り出される微粒子の粒径Ｄpは上式（１）（２）
に基づいて決定される。なお、このような微分型電気移
動度測定器１において、各種の粒径を有する微粒子の測
定を行う場合には、可変電圧源１０により囲み体２の内
周面と中心ロッド３の外周面との間に印加される電圧Ｖ
を所定範囲内で変化させ、これにより印加電圧Ｖに対応
する所定粒径Ｄpの微粒子のみを外部に取り出すように
している。Here, the particle diameter D p of the fine particles taken out from the differential type electric mobility measuring instrument 1 is expressed by the above equations (1) and (2).
It is decided based on. When measuring fine particles having various particle diameters in such a differential electric mobility measuring device 1, the variable voltage source 10 is used to measure the inner peripheral surface of the enclosure 2 and the outer peripheral surface of the central rod 3. Voltage V applied between
Is changed within a predetermined range so that only fine particles having a predetermined particle diameter D p corresponding to the applied voltage V are taken out to the outside.
【０００９】[0009]
【発明が解決しようとする課題】上述したように、図４
に示す微分型電気移動度測定器１においては、正または
負のいずれかに帯電した微粒子を内部に引き込むととも
に、可変電圧源１０により囲み体２の内周面と中心ロッ
ド３の外周面との間に印加される電圧Ｖを所定範囲内で
変化させ、これにより印加電圧Ｖに対応する所定粒径Ｄ
pの微粒子のみを外部に取り出すようにしている。As described above, as shown in FIG.
In the differential type electromobility measuring device 1 shown in (1), the positively charged or negatively charged fine particles are drawn into the inside, and the inner peripheral surface of the enclosure 2 and the outer peripheral surface of the center rod 3 are surrounded by the variable voltage source 10. The voltage V applied in between is changed within a predetermined range, whereby a predetermined particle diameter D corresponding to the applied voltage V is obtained.
Only the fine particles of p are taken out.
【００１０】ところで、このような微分型電気移動度測
定器１では一般に、測定精度や測定範囲等の観点から、
測定される微粒子の量をできるだけ増大させたり、測定
できる微粒子の粒径Ｄpの範囲（ダイナミックレンジ）
を拡げることが望まれている。By the way, in the differential type electric mobility measuring instrument 1 as described above, in general, from the viewpoint of measurement accuracy, measurement range, etc.,
The amount of fine particles to be measured is increased as much as possible, and the range of the particle size D p of the fine particles that can be measured (dynamic range)
Is desired to be expanded.
【００１１】本発明はこのような点を考慮してなされた
ものであり、微粒子の粒径を効率的かつ広範囲にわたっ
て測定することができる微分型電気移動度測定器を提供
することを目的とする。The present invention has been made in consideration of the above points, and an object thereof is to provide a differential type electromobility measuring device capable of efficiently measuring the particle size of fine particles over a wide range. .
【００１２】[0012]
【課題を解決するための手段】本発明の第１の特徴は、
微粒子を外部に取り出すための第１のスリットを有する
囲み体と、前記囲み体の内部に延びるとともに微粒子を
外部に取り出すための第２のスリットを有するロッド
と、正に帯電した微粒子および負に帯電した微粒子を前
記囲み体と前記ロッドとの間に供給する微粒子供給部と
を備え、前記囲み体と前記ロッドとの間には所定電圧が
印加され、前記微粒子供給部と前記囲み体との間または
前記微粒子供給部と前記ロッドとの間の電位差により、
正または負のいずれかに帯電した微粒子を前記微粒子供
給部側から前記囲み体側へ移動させるとともに、負また
は正のいずれかに帯電した微粒子を前記微粒子供給部側
から前記ロッド側へ移動させることを特徴とする微分型
電気移動度測定器である。The first feature of the present invention is to:
An enclosure having a first slit for taking out the fine particles to the outside, a rod having a second slit for extending the inside of the enclosure and taking the fine particles to the outside, positively charged fine particles and negatively charged Between the enclosure and the rod, a predetermined voltage is applied between the enclosure and the rod, and between the enclosure and the enclosure. Or by the potential difference between the fine particle supply unit and the rod,
While moving the positively or negatively charged fine particles from the fine particle supply unit side to the enclosure side, while moving the negatively or positively charged fine particles from the fine particle supply unit side to the rod side. It is a characteristic differential type electric mobility measuring instrument.
【００１３】本発明の第２の特徴は、微粒子を外部に取
り出すための第１のスリットを有する囲み体と、前記囲
み体の内部に延びるとともに微粒子を外部に取り出すた
めの第２のスリットを有するロッドと、帯電した微粒子
を前記囲み体と前記ロッドとの間に供給する微粒子供給
部とを備え、前記微粒子供給部と前記囲み体との間また
は前記微粒子供給部と前記ロッドとの間には帯電した微
粒子を前記微粒子供給部側から前記囲み体側または前記
ロッド側へ移動させるよう所定電圧が選択的に印加さ
れ、前記第１のスリットから取り出される微粒子の電気
移動度と、前記第２のスリットから取り出される微粒子
の電気移動度とが互いに異なることを特徴とする微分型
電気移動度測定器である。A second feature of the present invention is that it has an enclosure having a first slit for taking out the fine particles to the outside, and a second slit extending to the inside of the enclosure and taking the fine particles to the outside. A rod and a fine particle supply unit for supplying charged fine particles between the enclosure and the rod, and between the fine particle supply unit and the enclosure or between the fine particle supply unit and the rod. A predetermined voltage is selectively applied to move the charged fine particles from the fine particle supply unit side to the enclosure side or the rod side, and the electric mobility of the fine particles taken out from the first slit and the second slit. The differential type electric mobility measuring instrument is characterized in that the electric mobilities of the fine particles taken out from each other are different from each other.
【００１４】本発明の第１の特徴によれば、微粒子供給
部から供給された正に帯電した微粒子および負に帯電し
た微粒子のそれぞれを、囲み体に設けられた第１のスリ
ットおよび中心ロッドに設けられた第２のスリットのそ
れぞれを介して外部に取り出すことができるので、正に
帯電した微粒子および負に帯電した微粒子の粒径の分布
を同時に測定することができる。According to the first aspect of the present invention, each of the positively charged fine particles and the negatively charged fine particles supplied from the fine particle supply unit is provided in the first slit and the central rod provided in the enclosure. Since it can be taken out to the outside through each of the provided second slits, the particle size distributions of the positively charged fine particles and the negatively charged fine particles can be simultaneously measured.
【００１５】本発明の第２の特徴によれば、囲み体およ
びロッドにそれぞれ設けられた第１のスリットおよび第
２のスリットにより、正または負のいずれかに帯電した
微粒子に対して２種類の異なる移動距離を与えることが
できるので、測定できる微粒子の粒径の範囲（ダイナミ
ックレンジ）を容易に拡げることができる。According to the second feature of the present invention, two kinds of fine particles charged positively or negatively are provided by the first slit and the second slit provided in the enclosure and the rod, respectively. Since different moving distances can be given, the measurable particle size range (dynamic range) can be easily expanded.
【００１６】[0016]
【発明の実施の形態】第１の実施の形態
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明
する。図１乃至図３は本発明による微分型電気移動度測
定器の第１の実施の形態を示す図である。ここで、図１
は微分型電気移動度測定器を示す縦断面図、図２は図１
に示す微分型電気移動度測定器の原理を説明するための
図、図３は図１に示す微粒子供給部の形状を説明するた
めの縦断面図である。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION First Embodiment Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. 1 to 3 are views showing a first embodiment of a differential type electric mobility measuring instrument according to the present invention. Here, FIG.
Is a longitudinal sectional view showing a differential type electric mobility measuring device, and FIG. 2 is FIG.
FIG. 3 is a view for explaining the principle of the differential type electromobility measuring device shown in FIG. 3, and FIG. 3 is a vertical cross-sectional view for explaining the shape of the particle supply unit shown in FIG.
【００１７】図１および図２に示すように、微分型電気
移動度測定器１は、微粒子を外部に取り出すための第１
のスリット２１を有する囲み体２と、囲み体２の内部に
延びるとともに微粒子を外部に取り出すための第２のス
リット２２を有する中心ロッド３と、正に帯電した微粒
子および負に帯電した微粒子が混在した帯電粒子を囲み
体２と中心ロッド３との間に供給する微粒子供給部４と
を備えている。As shown in FIGS. 1 and 2, the differential type electromobility measuring device 1 is a first device for taking out fine particles to the outside.
The enclosure 2 having the slit 21 and the center rod 3 having the second slit 22 for extending the inside of the enclosure 2 to take out the fine particles to the outside, the positively charged fine particles and the negatively charged fine particles are mixed. A fine particle supply unit 4 for supplying the charged particles between the enclosure 2 and the central rod 3 is provided.
【００１８】ここで微粒子供給部４は、図２に示すよう
に、中心ロッド３が延びる方向に沿って延びる円筒状の
内管４ａおよび外管４ｂと、内管４ａおよび外管４ｂの
上端に設けられた環状の蓋部４ｃとを有し、外管４ｂに
接続された導管５により、外部に設けられたサンプリン
グ装置（図示せず）等から内管４ａと外管４ｂとの間に
帯電粒子が導かれるようになっている。なお、このよう
にして導かれた帯電粒子は、内管４ａと外管４ｂとの間
の円筒状の空間にて円周方向に分散しつつ中心軸方向下
方に移動し、供給口６を介して囲み体２と中心ロッド３
との間に供給される。なお、内管４ａと外管４ｂとの間
には帯電粒子の流れを整えるよう帯電粒子の流れに流体
抵抗を与える網部材（流体抵抗手段）１１が設けられて
おり、これにより帯電粒子の流れの円周方向成分を低減
するとともに供給口６における帯電粒子の落下速度を調
整することができるようになっている。As shown in FIG. 2, the fine particle supply unit 4 has cylindrical inner tubes 4a and outer tubes 4b extending along the direction in which the center rod 3 extends, and upper ends of the inner tubes 4a and 4b. A conduit 5 having an annular lid portion 4c provided and connected to the outer tube 4b charges between the inner tube 4a and the outer tube 4b from a sampling device (not shown) provided outside. The particles are guided. The charged particles introduced in this way are dispersed in the cylindrical space between the inner tube 4a and the outer tube 4b in the circumferential direction, move downward in the central axis direction, and pass through the supply port 6. Enclosure 2 and center rod 3
Supplied between and. A mesh member (fluid resistance means) 11 is provided between the inner tube 4a and the outer tube 4b so as to regulate the flow of the charged particles so as to provide a fluid resistance to the flow of the charged particles. It is possible to reduce the component in the circumferential direction and to adjust the falling speed of the charged particles at the supply port 6.
【００１９】一方、第１のスリット２１は囲み体２の内
周面に沿って環状に設けられ、また第２のスリット２２
は中心ロッド３の外周面に沿って環状に設けられてい
る。これら第１のスリット２１および第２のスリット２
２はいずれもファラデーカップ電流計（ＦＣＥ：Farada
y cup electrometer）と連通しており、第１のスリット
２１および第２のスリット２２を介して取り出された分
級後の微粒子（分級粒子）の粒子数が計数されるように
なっている。なお図１においては、第２のスリット２２
と連通するファラデーカップ電流計１３のみが示されて
いる。図１に示すように、第２のスリット２２は、連通
管１２を介してファラデーカップ電流計１３に接続され
ている。なお、ファラデーカップ電流計１３により粒子
数が計数された分級粒子は吐出口１４からポンプ等によ
り外部に排出されるようになっている。On the other hand, the first slit 21 is provided in an annular shape along the inner peripheral surface of the enclosure 2, and the second slit 22 is also provided.
Are provided in an annular shape along the outer peripheral surface of the center rod 3. These first slit 21 and second slit 2
Both 2 are Faraday cup ammeters (FCE: Farada)
y cup electrometer), and counts the number of classified fine particles (classified particles) taken out through the first slit 21 and the second slit 22. In FIG. 1, the second slit 22
Only the Faraday cup ammeter 13 in communication with is shown. As shown in FIG. 1, the second slit 22 is connected to the Faraday cup ammeter 13 via the communication tube 12. The classified particles whose number of particles has been counted by the Faraday cup ammeter 13 are discharged from the discharge port 14 to the outside by a pump or the like.
【００２０】さらに、囲み体２の上部には、微粒子供給
部４の上方から囲み体２の内周面と中心ロッド３の外周
面との間の空間にシースガスを供給するための引込口７
が設けられるとともに、シースガスの流れを整えるとと
もに不純物を除去するためのフィルタ８が取り付けられ
ている。なお、囲み体２の引込口７から供給されたシー
スガスは囲み体２の下部に設けられた吐出口９からポン
プ等により排出されるようになっている。Further, in the upper part of the enclosure 2, an inlet 7 for supplying a sheath gas from above the fine particle supply part 4 to the space between the inner peripheral surface of the enclosure 2 and the outer peripheral surface of the central rod 3.
And a filter 8 for adjusting the flow of the sheath gas and removing impurities. The sheath gas supplied from the inlet 7 of the enclosure 2 is discharged from a discharge port 9 provided in the lower portion of the enclosure 2 by a pump or the like.
【００２１】さらにまた、囲み体２および中心ロッド３
はともに導体からなり、囲み体２と中心ロッド３との間
に接続された可変電圧源１０により所定電圧が印加され
るようになっている。ここで例えば、囲み体２が接地さ
れ、中心ロッド３に正電圧が印加される場合には、微粒
子供給部４と囲み体２との間には正に帯電した微粒子を
微粒子供給部４側から囲み体２側へ移動させるような電
位差が生じた状態となり、また微粒子供給部４と中心ロ
ッド３との間には負に帯電した微粒子を微粒子供給部４
側から中心ロッド３側へ移動させるような電位差が生じ
た状態となる。Furthermore, the enclosure 2 and the central rod 3
Are both conductors, and a predetermined voltage is applied by a variable voltage source 10 connected between the enclosure 2 and the center rod 3. Here, for example, when the enclosure 2 is grounded and a positive voltage is applied to the central rod 3, positively charged particles are provided between the particle supply unit 4 and the enclosure 2 from the side of the particle supply unit 4. A potential difference that causes the particles to move to the side of the enclosure 2 is generated, and negatively charged fine particles are provided between the fine particle supply unit 4 and the central rod 3.
From this side, there is a state in which there is a potential difference that causes the center rod 3 to move.
【００２２】なお、微粒子供給部４の蓋部４ｃは、図３
（ａ）に示すように、微粒子供給部４のまわりにおける
シースガスの流れを層流に保つような形状をなしてお
り、ここでは蓋部４ｃの外面はその縦断面が半円形をな
している。The lid portion 4c of the fine particle supply portion 4 is shown in FIG.
As shown in (a), it is shaped so as to keep the flow of the sheath gas around the fine particle supply unit 4 in a laminar flow. Here, the outer surface of the lid 4c has a semicircular vertical cross section.
【００２３】次に、このような構成からなる本発明の第
１の実施の形態の作用について図１および図２により説
明する。Next, the operation of the first embodiment of the present invention having such a configuration will be described with reference to FIGS.
【００２４】外部に設けられたサンプリング装置等か
ら、正に帯電した微粒子および負に帯電した微粒子が混
在した帯電粒子が供給されると、この帯電粒子は導管５
を介して微粒子供給部４の内管４ａと外管４ｂとの間に
導かれる。When charged particles in which positively charged fine particles and negatively charged fine particles are mixed are supplied from a sampling device or the like provided outside, the charged particles are supplied to the conduit 5.
Is introduced between the inner tube 4a and the outer tube 4b of the particle supply unit 4 via.
【００２５】そして、このようにして導かれた帯電粒子
は、内管４ａと外管４ｂとの間の円筒状の空間にて円周
方向に分散しつつ中心軸方向下方に移動し、供給口６を
介して囲み体２と中心ロッド３との間に供給される。な
おこのとき、帯電粒子は、内管４ａと外管４ｂとの間に
設けられた網部材１１を通過し、帯電粒子の流れの円周
方向成分が低減されるとともに供給口６における帯電粒
子の落下速度が調整される。The charged particles thus introduced move circumferentially downward in the cylindrical space between the inner tube 4a and the outer tube 4b while moving downward in the direction of the central axis, and the supply port It is supplied between the enclosure 2 and the central rod 3 via 6. At this time, the charged particles pass through the mesh member 11 provided between the inner tube 4a and the outer tube 4b, the circumferential component of the flow of the charged particles is reduced, and the charged particles in the supply port 6 are The falling speed is adjusted.
【００２６】その後、微粒子供給部４の供給口６から囲
み体２と中心ロッド３との間に帯電粒子が引き込まれる
と、この引き込まれた帯電粒子のうち正に帯電した微粒
子は、囲み体２の吐出口７から供給されるシースガスと
ともに中心軸方向下方（中心ロッド３が延びる方向）に
移動するとともに、囲み体２の内周面と中心ロッド３の
外周面との間で可変電圧源１０により印加される電圧に
より形成される電場の影響を受けて個々の微粒子が電気
移動度に応じた速度で微粒子供給部４側から囲み体２側
へ引き寄せられる。そして、所定の軌跡を描いて距離Ｌ
1だけ進み、囲み体２の第１のスリット２１に到達した
所定粒径の微粒子のみが外部に取り出される。After that, when charged particles are drawn between the enclosure 2 and the center rod 3 from the supply port 6 of the particle supply unit 4, the positively charged particles of the attracted charged particles are surrounded by the enclosure 2. Is moved downward with the sheath gas supplied from the discharge port 7 in the central axis direction (the direction in which the central rod 3 extends), and by the variable voltage source 10 between the inner peripheral surface of the enclosure 2 and the outer peripheral surface of the central rod 3. Under the influence of an electric field formed by the applied voltage, individual particles are attracted from the particle supply unit 4 side to the enclosure 2 side at a speed according to the electric mobility. Then, draw a predetermined locus and draw a distance L
Advanced by 1, only particles of a predetermined grain size that has reached the first slit 21 of the enclosing member 2 is taken out.
【００２７】同様にして、引き込まれた帯電粒子のうち
負に帯電した微粒子は、囲み体２の吐出口７から供給さ
れるシースガスとともに中心軸方向下方（中心ロッド３
が延びる方向）に移動するとともに、囲み体２の内周面
と中心ロッド３の外周面との間で可変電圧源１０により
印加される電圧により形成される電場の影響を受けて個
々の微粒子が電気移動度に応じた速度で微粒子供給部４
側から中心ロッド３側へ引き寄せられる。そして、所定
の軌跡を描いて距離Ｌ2だけ進み、中心ロッド３の第２
のスリット２２に到達した所定粒径の微粒子のみが外部
に取り出される。In the same manner, the negatively charged fine particles among the charged particles that have been drawn in together with the sheath gas supplied from the discharge port 7 of the enclosure 2 in the central axial direction (the central rod 3).
Moving in a direction in which each fine particle moves, the individual fine particles are affected by the electric field formed by the voltage applied by the variable voltage source 10 between the inner peripheral surface of the enclosure 2 and the outer peripheral surface of the central rod 3. Fine particle supply unit 4 at a speed according to the electric mobility
Side to the center rod 3 side. Then, a predetermined locus is drawn and the distance L 2 is advanced to the second position of the central rod 3.
Only the fine particles having a predetermined particle diameter that have reached the slit 22 are taken out.
【００２８】ここで、このような微分型電気移動度測定
器１においては、可変電圧源１０により囲み体２の内周
面と中心ロッド３の外周面との間に印加される電圧を所
定範囲内で変化させ、ファラデーカップ電流計１３によ
り第１のスリット２１および第２のスリット２２を介し
て取り出された分級粒子の粒子数（電荷量）と電圧との
関係を求めることにより、正に帯電した微粒子および負
に帯電した微粒子の粒径の分布を同時に測定することが
できる。Here, in such a differential type electric mobility measuring instrument 1, the voltage applied between the inner peripheral surface of the enclosure 2 and the outer peripheral surface of the central rod 3 by the variable voltage source 10 is within a predetermined range. Positively charged by determining the relation between the number of particles (charge amount) of the classified particles taken out through the first slit 21 and the second slit 22 by the Faraday cup ammeter 13 and the voltage. The particle size distributions of the formed fine particles and the negatively charged fine particles can be simultaneously measured.
【００２９】なお、このような微分型電気移動度測定器
１においては、第１のスリット２１を介して取り出され
る分級粒子の粒径と、第２のスリット２２を介して取り
出される分級粒子の粒径とが同一となるよう、各種の寸
法（囲み体２の内周面の半径ｒ1、中心ロッド３の外周
面の半径ｒ2、供給口６および第１のスリット２１間の
距離Ｌ1、供給口６および第２のスリット２２間の距離
Ｌ2等）を決定することが好ましい。In the differential type electromobility measuring device 1 as described above, the particle size of the classified particles taken out through the first slit 21 and the particle size of the classified particles taken out through the second slit 22. Various dimensions (radius r 1 of the inner peripheral surface of the enclosure 2 , radius r 2 of the outer peripheral surface of the center rod 3, a distance L 1 between the supply port 6 and the first slit 21, so that the diameter is the same, It is preferable to determine the distance L 2 between the supply port 6 and the second slit 22).
【００３０】以下、第１のスリット２１を介して取り出
される分級粒子の粒径と、第２のスリット２２を介して
取り出される分級粒子の粒径とを同一にするための条件
について図２により説明する。The conditions for making the particle size of the classified particles taken out through the first slit 21 and the particle size of the classified particles taken out through the second slit 22 the same will be described below with reference to FIG. To do.
【００３１】図２において、微粒子供給部４の供給口６
の半径方向の位置をｘ（ｒ2≦ｘ≦ｒ1）とする。この位
置ｘにおける電界強度はｘに反比例するので、電界強度
と位置ｘとの関係は定数ｋを用いて次式（３）のように
表される。In FIG. 2, the supply port 6 of the particle supply unit 4
The position in the radial direction of x is defined as x (r 2 ≦ x ≦ r 1 ). Since the electric field strength at the position x is inversely proportional to x, the relationship between the electric field strength and the position x is expressed by the following equation (3) using the constant k.
【数１】 [Equation 1]
【００３２】従って、上式（３）の関係から、位置ｘに
おける電位Ｖ（ｘ）は定数ｋ，Ｃを用いて次式（４）の
ように表される。Therefore, from the relation of the above equation (3), the potential V (x) at the position x is expressed by the following equation (4) using the constants k and C.
【数２】 [Equation 2]
【００３３】ここで、囲み体２が接地され、中心ロッド
３に電圧Ｖ0が印加されるものとして、電位Ｖ（ｘ）の
境界条件であるＶ（ｒ1）＝０，Ｖ（ｒ2）＝Ｖ0を上式
（４）に代入すると、位置ｘにおける電位Ｖ（ｘ）は次
式（５）のように求められる。Here, assuming that the enclosure 2 is grounded and the voltage V 0 is applied to the central rod 3, V (r 1 ) = 0, V (r 2 ) which are boundary conditions of the potential V (x). By substituting = V 0 into the above equation (4), the potential V (x) at the position x can be obtained by the following equation (5).
【数３】 [Equation 3]
【００３４】なお、上式（５）の関係から、微粒子供給
部４と囲み体２との間の電位差Ｖ1は次式（６）のよう
に求められるので、これを上式（１）に代入することに
より、第１のスリット２１から取り出される帯電粒子の
電気移動度Ｚp1は次式（７）のように求められる。From the relationship of the above equation (5), the potential difference V 1 between the fine particle supply portion 4 and the enclosure 2 is obtained by the following equation (6). By substituting, the electric mobility Z p1 of the charged particles taken out from the first slit 21 can be obtained by the following equation (7).
【数４】 [Equation 4]
【００３５】同様にして、上式（５）の関係から、微粒
子供給部４と中心ロッド３との間の電位差Ｖ2は次式
（８）のように求められるので、これを上式（１）に代
入することにより、第２のスリット２２から取り出され
るの帯電粒子の電気移動度Ｚp2は次式（９）のように求
められる。Similarly, from the relation of the above equation (5), the potential difference V 2 between the fine particle supply portion 4 and the center rod 3 is obtained by the following equation (8). ), The electric mobility Z p2 of the charged particles taken out from the second slit 22 is obtained by the following equation (9).
【数５】 [Equation 5]
【００３６】ここで、第１のスリット２１を介して取り
出される分級粒子の粒径と、第２のスリット２２を介し
て取り出される分級粒子の粒径とを同一にするために
は、上式（７）（９）により求められた帯電粒子の電気
移動度Ｚp1，Ｚp2が一致する必要があり、このことか
ら、囲み体２の内周面の半径ｒ1、中心ロッド３の外周
面の半径ｒ2、供給口６および第１のスリット２１間の
距離Ｌ1、供給口６および第２のスリット２２間の距離
Ｌ2が満足すべき条件は次式（１０）のようなものとな
る。Here, in order to make the particle size of the classified particles taken out through the first slit 21 and the particle size of the classified particles taken out through the second slit 22 the same, 7) It is necessary that the electric mobilities Z p1 and Z p2 of the charged particles obtained by (9) match, and from this fact, the radius r 1 of the inner peripheral surface of the enclosure 2 and the outer peripheral surface of the central rod 3 are The condition that the radius r 2 , the distance L 1 between the supply port 6 and the first slit 21 and the distance L 2 between the supply port 6 and the second slit 22 should be satisfied is as in the following expression (10). .
【数６】 [Equation 6]
【００３７】このように本発明の第１の実施の形態によ
れば、微粒子供給部４の供給口６から供給された正に帯
電した微粒子および負に帯電した微粒子のそれぞれを、
囲み体２に設けられた第１のスリット２１および中心ロ
ッド３に設けられた第２のスリット２２のそれぞれを介
して外部に取り出すことができるので、正に帯電した微
粒子および負に帯電した微粒子の粒径の分布を同時に測
定することができる。As described above, according to the first embodiment of the present invention, each of the positively charged fine particles and the negatively charged fine particles supplied from the supply port 6 of the fine particle supply unit 4 is
Since it can be taken out to the outside through each of the first slit 21 provided in the enclosure 2 and the second slit 22 provided in the central rod 3, the positively charged fine particles and the negatively charged fine particles can be extracted. The particle size distribution can be measured simultaneously.
【００３８】なお、上述した第１の実施の形態において
は、微粒子供給部４の蓋部４ｃのみが微粒子供給部４の
まわりにおけるシースガスの流れを層流に保つような形
状をなしているが、これに限らず、微粒子供給部４の蓋
部４ｃ、内管４ａおよび外管４ｂの全体が微粒子供給部
４のまわりにおけるシースガスの流れを層流に保つよう
な形状をなしていてもよい。具体的には例えば、蓋部４
ｃ、内管４ａおよび外管４ｂの外面は、図３（ｂ）に示
すように、その縦断面が流線形をなしているとよい。In the above-described first embodiment, only the lid portion 4c of the fine particle supply section 4 is shaped so as to keep the sheath gas flow around the fine particle supply section 4 in a laminar flow. Not limited to this, the lid 4c, the inner tube 4a, and the outer tube 4b of the particle supply unit 4 may be shaped so as to keep the flow of the sheath gas around the particle supply unit 4 in a laminar flow. Specifically, for example, the lid portion 4
As shown in FIG. 3B, the outer surfaces of the inner tube 4a, the inner tube 4a and the outer tube 4b may have a streamlined vertical cross section.
【００３９】また、上述した第１の実施の形態において
は、微粒子供給部４の内管４ａと外管４ｂとの間に流体
抵抗手段として網部材１１を設けているが、これに限ら
ず、多孔板や海綿状またはスポンジ状の多孔体を用いる
こともできる。Further, in the above-described first embodiment, the mesh member 11 is provided as a fluid resistance means between the inner tube 4a and the outer tube 4b of the fine particle supply section 4, but the invention is not limited to this. A porous plate or a sponge-like or sponge-like porous body can also be used.
【００４０】第２の実施の形態
次に、本発明による微分型電気移動度測定器の第２の実
施の形態について説明する。本発明の第２の実施の形態
は、囲み体および中心ロッドにそれぞれ設けられた第１
のスリットおよび第２のスリットにより、正または負の
いずれかに帯電した微粒子に対して２種類の異なる移動
距離を与えるようにした点を除いて、他は図１乃至図３
に示す第１の実施の形態と略同一である。 Second Embodiment Next, a second embodiment of the differential type electric mobility measuring instrument according to the present invention will be described. The second embodiment of the present invention is directed to the first body provided on the enclosure and the center rod, respectively.
1 and 3 except that the slit and the second slit give two kinds of different moving distances to fine particles charged positively or negatively.
Is substantially the same as the first embodiment shown in FIG.
【００４１】本発明の第２の実施の形態においては、微
粒子供給部４から正または負に帯電した微粒子（帯電粒
子）が囲み体２と中心ロッド３との間に供給される。ま
た、微粒子供給部４と囲み体２との間または微粒子供給
部３と中心ロッド３との間には、囲み体２と中心ロッド
３との間に接続された可変電圧源１０により、帯電粒子
を微粒子供給部４側から囲み体２側またはロッド３側へ
移動させるよう所定電圧が選択的に印加されるようにな
っている。すなわち、例えば、囲み体２が接地され、中
心ロッド３に所定電圧が印加される場合には、電圧の正
負を切り換えることにより、正または負に帯電した微粒
子が微粒子供給部４側から囲み体２側へ移動するか、微
粒子供給部４側から中心ロッド３側へ移動するかが切り
換えられる。In the second embodiment of the present invention, positively or negatively charged fine particles (charged particles) are supplied from the fine particle supply unit 4 between the enclosure 2 and the center rod 3. Further, between the particle supply unit 4 and the enclosure 2 or between the particle supply unit 3 and the center rod 3, a variable voltage source 10 connected between the enclosure 2 and the center rod 3 is used to charge the charged particles. A predetermined voltage is selectively applied to move the particles from the side of the fine particle supply unit 4 to the side of the enclosure 2 or the side of the rod 3. That is, for example, when the enclosure 2 is grounded and a predetermined voltage is applied to the central rod 3, the positive or negative charged fine particles are switched from the fine particle supply section 4 side to the enclosure 2 by switching the voltage between positive and negative. To the side, or from the side of the fine particle supply unit 4 to the side of the center rod 3 is switched.
【００４２】なおここでは、上述した第１の実施の形態
の場合と異なり、第１のスリット２１を介して取り出さ
れる分級粒子の粒径と、第２のスリット２２を介して取
り出される分級粒子の粒径とが異なるよう、上式（７）
（９）により求められた帯電粒子の電気移動度Ｚp1，Ｚ
p2、すなわち供給口６および第１のスリット２１間の距
離Ｌ1、および供給口６および第２のスリット２２間の
距離Ｌ2を決定しておく。Here, unlike the case of the above-described first embodiment, the particle size of the classified particles taken out through the first slit 21 and the classified particles taken out through the second slit 22 are compared. The above formula (7) so that the particle size is different
Electric mobility Z p1 , Z of charged particles obtained by (9)
p2 , that is, the distance L 1 between the supply port 6 and the first slit 21 and the distance L 2 between the supply port 6 and the second slit 22 are determined.
【００４３】次に、このような構成からなる本発明の第
２の実施の形態の作用について図１および図２により説
明する。なおここでは、微粒子供給部４から正に帯電し
た微粒子（帯電粒子）が供給されるものとする。Next, the operation of the second embodiment of the present invention having such a structure will be described with reference to FIGS. Here, it is assumed that positively charged fine particles (charged particles) are supplied from the fine particle supply unit 4.
【００４４】まず、可変電圧源１０により囲み体２の内
周面と中心ロッド３の外周面との間に印加される電圧
（正電圧）Ｖを所定範囲内で変化させ、ファラデーカッ
プ電流計１３により第１のスリット２１を介して取り出
された分級粒子の粒子数（電荷量）と電圧との関係を求
めることにより、第１のスリット２１の移動距離Ｌ1に
対応した範囲で帯電粒子の粒径の分布を測定する。First, the voltage (positive voltage) V applied between the inner peripheral surface of the enclosure 2 and the outer peripheral surface of the central rod 3 by the variable voltage source 10 is changed within a predetermined range, and the Faraday cup ammeter 13 is used. By determining the relationship between the number of particles (charge amount) of the classified particles taken out through the first slit 21 and the voltage by the method, the particle size of the charged particles within the range corresponding to the moving distance L 1 of the first slit 21 is calculated. Measure the diameter distribution.
【００４５】この場合には、外部に設けられたサンプリ
ング装置等から帯電粒子が供給されると、この帯電粒子
は導管５を介して微粒子供給部４の内管４ａと外管４ｂ
との間に導かれる。In this case, when the charged particles are supplied from a sampling device or the like provided outside, the charged particles are supplied via the conduit 5 to the inner tube 4a and the outer tube 4b of the particle supply unit 4.
Be guided between and.
【００４６】そして、このようにして導かれた帯電粒子
は、内管４ａと外管４ｂとの間の円筒状の空間にて円周
方向に分散しつつ中心軸方向下方に移動し、供給口６を
介して囲み体２と中心ロッド３との間に供給される。な
おこのとき、帯電粒子は、内管４ａと外管４ｂとの間に
設けられた網部材１１を通過し、帯電粒子の流れの円周
方向成分が低減されるとともに供給口６における帯電粒
子の落下速度が調整される。The charged particles thus introduced move circumferentially downward in the cylindrical space between the inner tube 4a and the outer tube 4b, while moving downward in the direction of the central axis. It is supplied between the enclosure 2 and the central rod 3 via 6. At this time, the charged particles pass through the mesh member 11 provided between the inner tube 4a and the outer tube 4b, the circumferential component of the flow of the charged particles is reduced, and the charged particles in the supply port 6 are The falling speed is adjusted.
【００４７】その後、微粒子供給部４の供給口６から囲
み体２と中心ロッド３との間に帯電粒子が引き込まれる
と、この引き込まれた帯電粒子は、囲み体２の吐出口７
から供給されるシースガスとともに中心軸方向下方（中
心ロッド３が延びる方向）に移動するとともに、囲み体
２の内周面と中心ロッド３の外周面との間で可変電圧源
１０により印加される電圧により形成される電場の影響
を受けて個々の微粒子が電気移動度に応じた速度で微粒
子供給部４側から囲み体２側へ引き寄せられる。そし
て、所定の軌跡を描いて距離Ｌ1だけ進み、囲み体２の
第１のスリット２１に到達した所定粒径の微粒子のみが
外部に取り出される。After that, when charged particles are drawn from the supply port 6 of the fine particle supply unit 4 between the enclosure 2 and the center rod 3, the charged particles that have been drawn in are discharged from the discharge port 7 of the enclosure 2.
A voltage applied by the variable voltage source 10 between the inner peripheral surface of the enclosure 2 and the outer peripheral surface of the center rod 3 while moving downward along the central axis (direction in which the central rod 3 extends) together with the sheath gas supplied from Under the influence of the electric field formed by, the individual fine particles are attracted from the fine particle supply unit 4 side to the enclosure 2 side at a speed according to the electric mobility. Then, only a fine particle having a predetermined particle diameter that has reached the first slit 21 of the enclosure 2 and has traveled a distance L 1 along a predetermined locus is taken out to the outside.
【００４８】このようにして第１のスリット２１の移動
距離Ｌ1に対応した範囲で帯電粒子の粒径の分布を測定
した後、中心ロッド３に印加される電圧を正電圧から負
電圧に切り換え、可変電圧源１０により囲み体２の内周
面と中心ロッド３の外周面との間に印加される電圧（負
電圧）Ｖを所定範囲内で変化させ、ファラデーカップ電
流計１３により第２のスリット２２を介して取り出され
た分級粒子の粒子数（電荷量）と電圧との関係を求める
ことにより、第２のスリット２２の移動距離Ｌ2に対応
した範囲で帯電粒子の粒径の分布を測定する。なお、こ
の場合の帯電粒子の移動等については上述した正電圧の
場合と同様であるので、ここでは詳細な説明は省略す
る。After measuring the particle size distribution of the charged particles in the range corresponding to the moving distance L 1 of the first slit 21 in this way, the voltage applied to the central rod 3 is switched from the positive voltage to the negative voltage. , The voltage (negative voltage) V applied between the inner peripheral surface of the enclosure 2 and the outer peripheral surface of the central rod 3 by the variable voltage source 10 is changed within a predetermined range, and the second Faraday cup ammeter 13 By obtaining the relationship between the number of particles (charge amount) of the classified particles taken out through the slit 22 and the voltage, the particle size distribution of the charged particles can be calculated within the range corresponding to the moving distance L 2 of the second slit 22. taking measurement. The movement of charged particles and the like in this case are the same as in the case of the positive voltage described above, and therefore detailed description thereof is omitted here.
【００４９】このように本発明の第２の実施の形態によ
れば、囲み体２および中心ロッド３に設けられた第１の
スリット２１および第２のスリット２２により、正また
は負のいずれかに帯電した微粒子に対して２種類の異な
る移動距離Ｌ1，Ｌ2を与えることができるので、測定で
きる微粒子の粒径の範囲（ダイナミックレンジ）を容易
に拡げることができる。As described above, according to the second embodiment of the present invention, the first slit 21 and the second slit 22 provided in the enclosure 2 and the center rod 3 are either positive or negative. Since two different moving distances L 1 and L 2 can be given to the charged fine particles, the measurable particle size range (dynamic range) can be easily expanded.
【００５０】[0050]
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、正
に帯電した微粒子および負に帯電した微粒子の粒径の分
布を同時に測定することができる。また、測定できる微
粒子の粒径の範囲（ダイナミックレンジ）を容易に拡げ
ることができる。As described above, according to the present invention, the particle size distributions of positively charged fine particles and negatively charged fine particles can be simultaneously measured. In addition, the measurable particle size range (dynamic range) can be easily expanded.
【図１】本発明による微分型電気移動度測定器の第１お
よび第２の実施の形態を示す縦断面図。FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing first and second embodiments of a differential type electric mobility measuring instrument according to the present invention.
【図２】図１に示す微分型電気移動度測定器の原理を説
明するための図。FIG. 2 is a diagram for explaining the principle of the differential type electric mobility measuring device shown in FIG.
【図３】図１に示す微粒子供給部の形状を説明するため
の縦断面図。3 is a vertical cross-sectional view for explaining the shape of a fine particle supply unit shown in FIG.
【図４】従来の微分型電気移動度測定器の原理を説明す
るための図。FIG. 4 is a diagram for explaining the principle of a conventional differential type electric mobility measuring instrument.
１ 微分型電気移動度測定器 ２ 囲み体 ３ 中心ロッド ４ 微粒子供給部 ４ａ 内管 ４ｂ 外管 ４ｃ 蓋部 ５ 導管 ６ 供給口 １１ 網部材（流体抵抗手段） ２１ 第１のスリット ２２ 第２のスリット 1 Differential type electric mobility measuring instrument 2 Box 3 center rod 4 Particle supply unit 4a inner tube 4b outer tube 4c lid 5 conduits 6 supply ports 11 Net member (fluid resistance means) 21 First slit 22 Second slit
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭62−43540（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−261911（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−176674（ＪＰ，Ａ) 実開 平５−30759（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01N 15/02 B03C 3/00 G01N 27/60 G01N 27/26 Continuation of the front page (56) References JP 62-43540 (JP, A) JP 8-261911 (JP, A) JP 59-176674 (JP, A) Fukukai 5-30759 (JP , U) (58) Fields surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) G01N 15/02 B03C 3/00 G01N 27/60 G01N 27/26
Claims (9)
ットを有する囲み体と、 前記囲み体の内部に延びるとともに微粒子を外部に取り
出すための第２のスリットを有するロッドと、 正に帯電した微粒子および負に帯電した微粒子を前記囲
み体と前記ロッドとの間に供給する微粒子供給部とを備
え、 前記囲み体と前記ロッドとの間には所定電圧が印加さ
れ、前記微粒子供給部と前記囲み体との間または前記微
粒子供給部と前記ロッドとの間の電位差により、正また
は負のいずれかに帯電した微粒子を前記微粒子供給部側
から前記囲み体側へ移動させるとともに、負または正の
いずれかに帯電した微粒子を前記微粒子供給部側から前
記ロッド側へ移動させることを特徴とする微分型電気移
動度測定器。1. A surrounding body having a first slit for taking out the fine particles to the outside, a rod having a second slit extending inside the surrounding body for taking out the fine particles to the outside, and positively charged A fine particle supply unit that supplies fine particles and negatively charged fine particles between the enclosure and the rod, a predetermined voltage is applied between the enclosure and the rod, and the fine particle supply unit and the rod. Either positively or negatively charged fine particles are moved from the fine particle supply unit side to the enclosure side by the potential difference between the fine particle supply unit and the rod or between the fine particle supply unit and the rod, and either negative or positive. A differential type electric mobility measuring instrument, characterized in that finely charged particles are moved from the side of the fine particle supply section to the side of the rod.
子の電気移動度と、前記第２のスリットから取り出され
る微粒子の電気移動度とが、印加電圧によらず一致して
いることを特徴とする請求項１記載の微分型電気移動度
測定器。2. The electric mobility of the fine particles taken out from the first slit and the electric mobility of the fine particles taken out from the second slit are the same regardless of the applied voltage. The differential type electric mobility measuring instrument according to claim 1.
ットを有する囲み体と、 前記囲み体の内部に延びるとともに微粒子を外部に取り
出すための第２のスリットを有するロッドと、 帯電した微粒子を前記囲み体と前記ロッドとの間に供給
する微粒子供給部とを備え、 前記微粒子供給部と前記囲み体との間または前記微粒子
供給部と前記ロッドとの間には帯電した微粒子を前記微
粒子供給部側から前記囲み体側または前記ロッド側へ移
動させるよう所定電圧が選択的に印加され、前記第１の
スリットから取り出される微粒子の電気移動度と、前記
第２のスリットから取り出される微粒子の電気移動度と
が互いに異なることを特徴とする微分型電気移動度測定
器。3. A surrounding body having a first slit for taking out the fine particles to the outside, a rod having a second slit extending to the inside of the surrounding body for taking the fine particles to the outside, and charged particles. A fine particle supply unit for supplying between the enclosure and the rod, wherein the charged fine particles are provided between the fine particle supply unit and the enclosure or between the fine particle supply unit and the rod. A predetermined voltage is selectively applied to move the particles from the side of the enclosure to the side of the enclosure or the rod, and the electric mobility of the fine particles taken out from the first slit and the electric movement of the fine particles taken out from the second slit. A differential type electric mobility measuring instrument characterized in that the degrees of movement are different from each other.
向に沿って延びる円筒状の内管および外管と、前記内管
および前記外管の上端に設けられた環状の蓋部とを有
し、前記内管と前記外管との間に帯電した微粒子が導か
れることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか記載の
微分型電気移動度測定器。4. The fine particle supply section has a cylindrical inner tube and an outer tube extending along a direction in which the rod extends, and an annular lid section provided on upper ends of the inner tube and the outer tube. 4. The differential type electromobility measuring device according to claim 1, wherein the charged fine particles are introduced between the inner tube and the outer tube.
粒子の流れを整えるよう微粒子の流れに流体抵抗を与え
る流体抵抗手段が設けられていることを特徴とする請求
項４記載の微分型電気移動度測定器。5. A fluid resistance means is provided between the inner tube and the outer tube to impart a fluid resistance to the flow of the fine particles so as to regulate the flow of the charged fine particles. Differential type electric mobility measuring instrument.
からシースガスが供給され、前記微粒子供給部の前記蓋
部は前記微粒子供給部のまわりにおけるシースガスの流
れを層流に保つような形状をなしていることを特徴とす
る請求項４記載の微分型電気移動度測定器。6. A sheath gas is supplied into the enclosure from above the fine particle supply section, and the lid section of the fine particle supply section is shaped so as to keep the flow of the sheath gas around the fine particle supply section in a laminar flow. The differential type electric mobility measuring instrument according to claim 4, wherein the differential type electric mobility measuring instrument is not provided.
いることを特徴とする請求項６記載の微分型電気移動度
測定器。7. The differential type electric mobility measuring instrument according to claim 6, wherein the outer surface of the lid portion has a semicircular longitudinal section.
からシースガスが供給され、前記微粒子供給部の前記蓋
部、前記内管および前記外管は前記微粒子供給部のまわ
りにおけるシースガスの流れを層流に保つような形状を
なしていることを特徴とする請求項４記載の微分型電気
移動度測定器。8. A sheath gas is supplied into the enclosure from above the fine particle supply unit, and the lid portion, the inner pipe, and the outer pipe of the fine particle supply unit allow a flow of the sheath gas around the fine particle supply unit. The differential type electric mobility measuring instrument according to claim 4, wherein the differential type electric mobility measuring instrument is shaped so as to maintain a laminar flow.
は縦断面が流線形をなしていることを特徴とする請求項
８記載の微分型電気移動度測定器。9. The differential type electric mobility measuring instrument according to claim 8, wherein the outer surfaces of the lid portion, the inner tube and the outer tube are streamlined in vertical section.
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| JP21306198A JP3459359B2 (en) | 1998-07-28 | 1998-07-28 | Differential electric mobility meter |
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