JP3453050B2 - Container leakage inspection device - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、検査対象容器の
内部に検査ガスを注入することにより、検査対象容器の
密封性を判断する漏洩検査装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a leak inspection device for inspecting the sealing property of a container to be inspected by injecting an inspection gas into the container to be inspected.

【０００２】[0002]

【従来の技術】従来、この種の検査対象容器として、缶
やラミネートチューブ容器が知られている。缶は、金属
製の構成部材を接続して一体化される。一方、ラミネー
トチューブ容器は、可撓性の胴部材と、ヘッドピースと
を備えている。そして、胴部材とヘッドピースとを、接
着または溶着して一体化される。2. Description of the Related Art Conventionally, cans and laminated tube containers have been known as containers of this type to be inspected. The can is integrated by connecting metal components. On the other hand, the laminated tube container includes a flexible body member and a head piece. Then, the body member and the head piece are bonded or welded to be integrated.

【０００３】このように、複数の構成部品を接合して構
成される容器においては、各構成部品の接合部分の密封
性が品質に影響を及ぼす。そこで、容器に内容物が充填
される前に、容器の漏洩検査が行われている。As described above, in a container constructed by joining a plurality of constituent parts, the sealing property of the joint part of each constituent part affects the quality. Therefore, the container is inspected for leakage before the container is filled with the contents.

【０００４】ここで、缶の漏洩検査に用いられる漏洩検
査装置の一例が、特開平３−２５５３２８号公報に記載
されている。この公報に記載された漏洩検査装置は、コ
ンベアー同士の間に配置されたスターホイールと、スタ
ーホイールの外周に形成された複数の凹所と、凹所にガ
スパージを充填するガスパージ装置と、凹所内のガスを
吸引するガス吸引装置と、吸引されたガス中の被検知気
体の量を測定する測定装置と、測定結果に基づいて検査
対象容器の品質を判別する判別装置とを備えている。Here, an example of a leak inspection device used for leak inspection of a can is described in Japanese Patent Laid-Open No. 3-255328. The leak inspection device described in this publication includes a star wheel arranged between conveyors, a plurality of recesses formed on the outer periphery of the star wheel, a gas purge device for filling the recesses with a gas purge, and a recess The gas suction device for sucking the gas, the measuring device for measuring the amount of the detected gas in the sucked gas, and the discriminating device for discriminating the quality of the container to be inspected based on the measurement result.

【０００５】上記公報に記載された漏洩検査装置におい
ては、まず、上流側のコンベアーにより搬送された検査
対象容器が凹所に搬入される。また、スターホイールが
駆動軸を中心として回転し、検査対象容器が駆動軸の周
囲を円弧状に移動する。言い換えれば、検査対象容器が
駆動軸の周囲を公転する。In the leakage inspection apparatus described in the above publication, first, the container to be inspected, which is conveyed by the upstream conveyor, is carried into the recess. Further, the star wheel rotates about the drive shaft, and the container to be inspected moves in an arc around the drive shaft. In other words, the container to be inspected revolves around the drive shaft.

【０００６】検査対象容器の移動途中で、凹所にガスパ
ージが充填され、かつ、凹所内のガスが吸引されてガス
中の被検知気体の量が測定される。そして、測定結果に
基づいて、検査対象容器の品質が判別される。このよう
にして、漏洩検査の終了した検査対象容器が、下流側の
コンベアーに搬出される。During the movement of the container to be inspected, the recess is filled with the gas purge, and the gas in the recess is sucked to measure the amount of the detected gas in the gas. Then, the quality of the container to be inspected is determined based on the measurement result. In this way, the inspection target container for which the leakage inspection has been completed is carried out to the downstream conveyor.

【０００７】このように、上記公報に記載された漏洩検
査装置によれば、検査対象容器の移動途中で漏洩検査が
行われる。このため、漏洩検査の実行中でも、上流側お
よび下流側のコンベアーによる検査対象容器の搬送が継
続して行われる。As described above, according to the leakage inspection apparatus described in the above publication, the leakage inspection is performed during the movement of the container to be inspected. Therefore, even when the leakage inspection is performed, the container to be inspected is continuously conveyed by the upstream and downstream conveyors.

【０００８】[0008]

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記公報に
記載された漏洩検査装置は、剛性の高い金属材料により
構成された検査対象容器を対象としたものである。一
方、ラミネートチューブ容器は、プラスチックおよび金
属箔などのように、軽量で可撓性を備えた材料により構
成されている。したがって、ラミネートチューブ容器の
漏洩検査を行う場合は、ラミネートチューブ容器が搬送
中に変形してしまう可能性があり、漏洩検査速度を高速
化することが困難であった。しかしながら、従来の漏洩
検査装置の把持機構では、ラミネートチューブ容器の特
性が考慮されておらず、上記の問題を解決することがで
きなかった。By the way, the leakage inspection device described in the above publication is intended for a container to be inspected made of a metal material having high rigidity. On the other hand, the laminated tube container is made of a lightweight and flexible material such as plastic and metal foil. Therefore, when performing a leakage inspection of the laminated tube container, the laminated tube container may be deformed during transportation, and it is difficult to increase the leakage inspection speed. However, the conventional gripping mechanism of the leakage inspection device does not consider the characteristics of the laminated tube container, and thus cannot solve the above problem.

【０００９】この発明は上記の事情を背景としてなされ
たものであり、可撓性を備えた検査対象容器の漏洩検査
を行う場合においても、漏洩検査速度を可及的に高速化
することの可能な漏洩検査装置を提供することを目的と
している。The present invention has been made in view of the above circumstances, and it is possible to increase the leak inspection speed as much as possible even when performing a leak inspection of a flexible inspection object container. The purpose is to provide a leak inspection device.

【００１０】[0010]

【課題を解決するための手段およびその作用】上記目的
を達成するため請求項１の発明は、雰囲気ガス中の検査
ガスを検出する複数のガス漏れ検出部を備えた可撓性の
胴部を有する容器の漏洩検査装置において、回転可能に
構成された第１回転体と、第１回転体の外側に向けて取
り付けられ、かつ、前工程から搬送される複数の検査対
象容器を個別に真空吸着する複数の第１吸着機構と、回
転可能に構成された第２回転体と、この第２回転体の外
周に配置され、第２回転体の回転中に、各検査対象容器
の漏洩検査を連続的に行う複数のガス漏れ検出部と、回
転可能に構成された第３回転体と、第３回転体の外側に
向けて取り付けられ、かつ、ガス漏れの検査が完了した
各検査対象容器を各ガス漏れ検出部から受け取って個別
に真空吸着し、ついで、各検査対象容器を後工程に搬送
する複数の第２吸着機構とを備えると共に、前記複数の
ガス漏れ検出部が、第１吸着機構により搬送される複数
の検査対象容器を個別に把持する把持機構と、把持され
たまま前記検査対象容器をその長さ方向に移動させるチ
ャック機構と、前記検査対象容器の一部を挿入する雰囲
気ガス導入室と、前記チャック機構と相対移動可能に配
置され、各検査対象容器の内部に検査ガスを個別に注入
するガス注入機構と、各検査対象容器の周囲の雰囲気ガ
スを個別に収集すると共に前記雰囲気ガス中の検査ガス
の濃度を個別に検出する濃度検出器を含む漏洩検出部と
のそれぞれを備え、各把持機構と、各チャック機構と、
各ガス注入機構と、各漏洩検出部とが第２回転体の円周
方向のほぼ同一位置に配置されていることを特徴とす
る。Means for Solving the Problems and Actions Thereof In order to achieve the above object, the invention of claim 1 is an inspection in an atmosphere gas.
Flexible with multiple gas leak detectors to detect gas
In the leaky inspection apparatus container having a body portion, a first rotary member which is rotatably configured, <br/> Ri attached taken toward the outside of the first rotary member, and is conveyed from the previous step A plurality of first suction mechanisms for individually vacuum-sucking a plurality of containers to be inspected, a second rotating body configured to be rotatable, and arranged on the outer periphery of the second rotating body, and while the second rotating body is rotating. , Each inspection container
A plurality of gas leak detectors for continuously performing the leak inspection of the third rotating body, a rotatable third rotating body, and an outer side of the third rotating body.
Are attach towards and each inspection target container inspecting gas leakage has been completed received from the gas leakage detection unit to vacuum suction separately, then a plurality of conveying each inspected container to post-process the together and a second adsorption Organization, said plurality of
A plurality of gas leakage detectors are conveyed by the first adsorption mechanism.
Gripping mechanism that individually grips each container to be inspected,
While moving the container to be inspected in the length direction,
A back mechanism and an atmosphere in which a part of the container to be inspected is inserted.
Arranged so that the gas / gas introduction chamber and the chuck mechanism can move relative to each other.
The test gas is injected individually into each container to be tested.
Gas injection mechanism and the atmosphere gas around each container to be inspected.
Gas is collected individually and the inspection gas in the atmosphere gas is collected.
A leak detection unit including a concentration detector that individually detects the concentration of
And each gripping mechanism, each chuck mechanism,
Each gas injection mechanism and each leak detection section are the circumference of the second rotating body.
It is characterized in that they are arranged at substantially the same position in the direction .

【００１１】請求項１の発明によれば、ガス漏れ検出部
と第１吸着機構または第２吸着機構との間で検査対象容
器の受け渡しが行われる場合は、複数の第１吸着機構ま
たは複数の第２吸着機構により、検査対象容器が個別に
真空吸着される。このため、検査対象容器の胴部が可撓
性を有する材料により構成されていた場合でも、検査対
象容器の変形が抑制される。また、第２回転体の回転中
に、複数のガス漏れ検出部により各検査対象容器のガス
漏れの検査が個別に行われる。この第２回転体の回転中
の複数のガス漏れ検出部において、第１吸着機構からガ
ス漏れ検出部側に受け渡された複数の検査対象容器が把
持機構により個別に把持され、把持されたまま検査対象
容器をその長さ方向にチャック機構により移動させ、そ
の検査対象容器の一部が雰囲気ガス導入室に挿入され、
ガス注入機構により各検査対象容器の内部に個別に検査
ガスが個別に注入されると共に、漏洩検出部により各検
査対象容器の周囲の雰囲気ガスが個別に収集され、雰囲
気ガス導入室の雰囲気ガス中の検査ガスの濃度が個別に
検出される。なお複数の把持機構と、複数のチャック機
構と、複数のガス注入機構と、複数の漏洩検出部とのそ
れぞれが第２回転体の円周方向のほぼ同一位置に配置さ
れている。したがって、第２回転体の回転中に複数の検
査対象容器を連続的、かつ、円滑に漏洩検査を行うこと
が可能になり、漏洩検査速度を可及的に高速化すること
ができる。According to the first aspect of the present invention, when the container to be inspected is delivered between the gas leak detection section and the first adsorption mechanism or the second adsorption mechanism, a plurality of first adsorption mechanisms or a plurality of first adsorption mechanisms are provided. The inspection target containers are individually vacuum-adsorbed by the second adsorption mechanism. Therefore, even when the body of the test object container has been made of a material having flexibility, deformation of the test object container can be suppressed. In addition, during the rotation of the second rotating body, the plurality of gas leakage detection units individually inspect each container to be inspected for gas leakage . During rotation of this second rotating body
In the plurality of gas leak detection parts of the
Check the multiple containers to be inspected that have been delivered to the leak detection unit side.
Individually gripped by the holding mechanism and subject to inspection while gripped
Move the container along its length with the chuck mechanism and
Part of the container to be inspected of is inserted into the atmosphere gas introduction chamber,
Individual inspection inside each inspection target container by gas injection mechanism
The gas is injected individually, and each leak is detected by the leak detector.
The ambient gas around the container to be inspected is collected individually and
The concentration of the inspection gas in the atmosphere gas in the air gas introduction chamber is individually
To be detected. In addition, multiple gripping mechanisms and multiple chucking machines
Structure, multiple gas injection mechanisms, and multiple leak detectors.
They are arranged at almost the same position in the circumferential direction of the second rotating body.
Has been. Therefore, continuously inspected vessel several during rotation of the second rotating body, and smoothly becomes possible to perform the leakage test, it is possible to speed as much as possible the leakage inspection speed .

【００１２】請求項２の発明は、請求項１の構成に加
え、前記複数のガス漏れ検出部が、前記雰囲気ガス導入
室に雰囲気ガスを導入する通気路と、前記検査対象容器
の有無を検出する容器検出機構と、この容器検出機構の
検出結果に基づいて、前記検査ガスの注入を制御するガ
ス注入制御機構とを備えていることを特徴とする。[0012] According to a second aspect of the invention, in addition to the configuration of claim 1, wherein the plurality of gas leak detection unit, said atmosphere gas introduction
A ventilation passage for introducing the atmospheric gas in the chamber, a container detection mechanism for detecting the presence or absence of pre-Symbol inspected container, based on a detection result of the container detection mechanism, a gas injection control mechanism for controlling the injection of the test gas It is characterized by having.

【００１３】請求項２の発明によれば、請求項１の発明
と同様の作用を得られる他、検査対象容器の内部に検査
ガスが注入される。一方、雰囲気ガスが通気路を介して
雰囲気ガス導入室に導入される。そして、濃度検出器に
より、雰囲気ガス中の検査ガスの濃度が検出されて検査
対象容器の漏洩状態が判断される。According to the invention of claim 2, further obtained the effect similar to the invention of claim 1, test gas is injected into the inspection target vessel. On the other hand, the atmospheric gas is introduced into the atmospheric gas introducing chamber through the ventilation passage. Then, the concentration detector detects the concentration of the inspection gas in the atmosphere gas and determines the leak state of the inspection target container.

【００１４】ここで、容器検出機構により、検査対象容
器の有ることが検出された場合は、検査ガスの注入が行
われる。また、検査対象容器の無いことが検出された場
合は、検査ガスの注入が行われない。このため、検査ガ
スが不用意に通気路を介して外気に放出されることが防
止され、雰囲気ガス中の検査ガスの濃度の上昇が抑制さ
れる。したがって、漏洩検査精度が可及的に向上する。When the container detection mechanism detects that there is a container to be inspected, the inspection gas is injected. If it is detected that there is no container to be inspected, the inspection gas is not injected. Therefore, the inspection gas is prevented from being inadvertently released to the outside air through the ventilation passage, and the increase in the concentration of the inspection gas in the atmospheric gas is suppressed. Therefore, the leak inspection accuracy is improved as much as possible.

【００１５】[0015]

【発明の実施の形態】つぎに、この発明を添付図面に基
づいて説明する。図１はこの発明の漏洩検査装置Ｒ１の
外観斜視図、図２は、漏洩検出機構１が配置された検査
室２の内部構成を示す概略的な正面断面図である。検査
室２は、共通床３と、共通床３に接続された複数の枠体
４とを有する。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Next, the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is an external perspective view of a leakage inspection device R1 of the present invention, and FIG. 2 is a schematic front sectional view showing an internal configuration of an inspection chamber 2 in which a leakage detection mechanism 1 is arranged. The examination room 2 has a common floor 3 and a plurality of frame bodies 4 connected to the common floor 3.

【００１６】そして、枠体４同士の間には、側板５と天
板６と開閉扉７とが嵌め込まれている。側板５および天
板６および開閉扉７は、透明な材料、例えばアクリル樹
脂などにより構成されている。したがって、作業者が検
査室２の外部Ａ１から、検査室２の内部Ａ２を目視する
ことが可能である。A side plate 5, a top plate 6 and an opening / closing door 7 are fitted between the frame bodies 4. The side plate 5, the top plate 6, and the opening / closing door 7 are made of a transparent material such as acrylic resin. Therefore, the operator can see the inside A2 of the inspection room 2 from the outside A1 of the inspection room 2.

【００１７】開閉扉７は蝶番８により開閉可能に構成さ
れている。また、天板６には吸気口９が開口され、吸気
口９の外側には吸気ファン１０が取り付けられている。
吸気ファン１０は、検査室２の外部Ａ１の空気を、検査
室２の内部Ａ２に供給するためのものである。なお、天
板６の内部Ａ２に対面する位置、具体的には開口部９の
外側には、偏向板１１が取り付けられている。この偏向
板１１は、吸気ファン１０により供給された空気を漏洩
検出機構１側に案内するための機構である。The opening / closing door 7 is constructed so that it can be opened and closed by a hinge 8. An intake port 9 is opened in the top plate 6, and an intake fan 10 is attached to the outside of the intake port 9.
The intake fan 10 is for supplying the air outside the inspection chamber 2 to the inside A2 of the inspection chamber 2. A deflection plate 11 is attached to a position facing the inside A2 of the top plate 6, specifically, outside the opening 9. The deflection plate 11 is a mechanism for guiding the air supplied by the intake fan 10 to the leak detection mechanism 1 side.

【００１８】また、検査室２を形成する側板５のうち、
対向する位置に配置された側板５同士には、繰入口１２
と繰出口１３とが別個に開口されている。そして、検査
室２の外部Ａ１および繰入口１２および内部Ａ２に亘
り、繰入コンベアー１４が配置されている。繰入コンベ
アー１４は、前工程から搬送されるラミネートチューブ
容器（検査対象容器）１６を、検査室２の外部Ａ１から
内部Ａ２に搬入するための機構である。この繰入コンベ
アー１４は駆動機構（図示せず）により駆動される。Of the side plates 5 forming the inspection room 2,
The side plates 5 arranged at the opposite positions are provided with a feeding port 12
And the delivery port 13 are opened separately. A feeding conveyor 14 is arranged over the outside A1, the feeding inlet 12 and the inside A2 of the examination room 2. The feeding conveyor 14 is a mechanism for loading the laminated tube container (container to be inspected) 16 conveyed from the previous step from the outside A1 of the inspection chamber 2 into the inside A2. The feeding conveyor 14 is driven by a driving mechanism (not shown).

【００１９】さらに、検査室２の内部Ａ２から繰出口１
３を経て外部Ａ１に亘り、繰出コンベアー１５が配置さ
れている。繰出コンベアー１５は、ラミネートチューブ
容器１６を、検査室２の内部Ａ２から外部Ａ１に搬出し
て後工程に搬送するための機構である。繰出コンベアー
１５と繰入コンベアー１４とが、ほぼ同じ高さに設置さ
れている。Further, from the inside A2 of the inspection room 2 to the feeding port 1
The feeding conveyor 15 is disposed over the outside A1 through the line 3. The feeding conveyor 15 is a mechanism for carrying out the laminated tube container 16 from the inside A2 of the inspection chamber 2 to the outside A1 and carrying it to the subsequent process. The feeding conveyor 15 and the feeding conveyor 14 are installed at substantially the same height.

【００２０】一方、繰出口１３における繰出コンベアー
１５の下方には、検査室２の内部Ａ２に連通する第１ダ
クト１７が配置されている。また、検査室２の外部Ａ１
にはダクトホース１８および第２ダクト１９が配置さ
れ、ダクトホース１８が第１ダクト１７に接続されてい
る。そして、第２ダクト１９が工場の外部に連通してい
る。上記第１ダクト１７およびダクトホース１８および
第２ダクト１９は、検査室２の内部Ａ２の雰囲気ガス
を、工場の外部に排気するための機構である。On the other hand, a first duct 17 communicating with the inside A2 of the inspection chamber 2 is arranged below the feeding conveyor 15 at the feeding port 13. In addition, the outside A1 of the examination room 2
A duct hose 18 and a second duct 19 are arranged in the, and the duct hose 18 is connected to the first duct 17. The second duct 19 communicates with the outside of the factory. The first duct 17, the duct hose 18, and the second duct 19 are mechanisms for exhausting the atmospheric gas in the interior A2 of the inspection chamber 2 to the outside of the factory.

【００２１】検査室２の内部Ａ２には、漏洩検出機構１
の下方に繰入装置２０および繰出装置２１が配置されて
いる。繰入装置２０は、繰入コンベアー１４により搬入
されるラミネートチューブ容器１６を漏洩検出機構１側
に移送するための機構である。また、繰出装置２１は、
漏洩検出機構１により漏洩検査が行われたラミネートチ
ューブ容器１６を、繰出コンベアー１５側に移送するた
めの機構である。繰入装置２０が繰入コンベアー１４に
対応する位置に配置され、繰出装置２１が繰出コンベア
ー１５に対応する位置に配置されている。In the interior A2 of the inspection room 2, a leak detection mechanism 1 is provided.
The feeding device 20 and the feeding device 21 are arranged below the. The feeding device 20 is a mechanism for transferring the laminated tube container 16 carried in by the feeding conveyor 14 to the leak detection mechanism 1 side. Further, the feeding device 21 is
This is a mechanism for transferring the laminated tube container 16 that has been leak-checked by the leak detection mechanism 1 to the delivery conveyor 15 side. The feeding device 20 is arranged at a position corresponding to the feeding conveyor 14, and the feeding device 21 is arranged at a position corresponding to the feeding conveyor 15.

【００２２】まず、繰入装置２０の構成を、図３ないし
図６に基づいて具体的に説明する。図３は漏洩検出機構
１および繰入装置２０および繰出装置２１の構成を示す
正面図、図４は漏洩検出機構１および繰入装置２０の構
成を示し、一部を破断した右側面図、図５は繰入装置２
０の具体的な構成を示し、一部を破断した右側面図、図
６は漏洩検出機構１および繰入装置２０および繰出装置
２１の駆動機構を示す背面図である。First, the structure of the feeding device 20 will be specifically described with reference to FIGS. FIG. 3 is a front view showing the configuration of the leak detection mechanism 1, the feeding device 20, and the feeding device 21, and FIG. 4 is a right side view showing the configuration of the leak detection mechanism 1 and the feeding device 20 with a part broken away. 5 is a feeding device 2
FIG. 6 is a right side view showing a specific configuration of No. 0 and a part thereof is broken, and FIG. 6 is a rear view showing a drive mechanism of the leak detection mechanism 1, the feeding device 20, and the feeding device 21.

【００２３】まず、共通床３にはフレーム２２が立設さ
れ、フレーム２２にはベアリングケース２３が固定され
ている。ベアリングケース２３はパイプ状に構成され、
ベアリングケース２３の軸線がほぼ水平に配置されてい
る。ベアリングケース２３の繰入コンベアー１４側の端
部には、環状のプレート２４が固定されている。プレー
ト２４のほぼ同一円周上には、複数のコラム２５が固定
されている。そして、複数のコラム２５の端部には単一
のカム板２６が固定されている。First, a frame 22 is erected on the common floor 3, and a bearing case 23 is fixed to the frame 22. The bearing case 23 is formed in a pipe shape,
The axis of the bearing case 23 is arranged substantially horizontally. An annular plate 24 is fixed to the end of the bearing case 23 on the feeding conveyor 14 side. A plurality of columns 25 are fixed on substantially the same circumference of the plate 24. A single cam plate 26 is fixed to the ends of the plurality of columns 25.

【００２４】カム板２６は環状に構成され、カム板２６
の繰入コンベアー１４側の表面には、カム溝２７が形成
されている。図３に示すように、カム溝２７は全体とし
て環状に、かつ、ほぼ楕円形に構成されている。カム溝
２７は、カム板２６の中心から漏洩検出機構１側に偏心
した位置に配置されている。The cam plate 26 is formed in an annular shape, and the cam plate 26
A cam groove 27 is formed on the surface of the feeding conveyor 14 side. As shown in FIG. 3, the cam groove 27 is formed in an annular shape as a whole and in an almost elliptical shape. The cam groove 27 is arranged at a position eccentric to the leak detection mechanism 1 side from the center of the cam plate 26.

【００２５】一方、ベアリングケース２３の内部にはド
ライブシャフト２８が配置されている。ドライブシャフ
ト２８は、ベアリングケース２３に取り付けられた軸受
（図示せず）により回転可能に支持されている。ドライ
ブシャフト２８の一端側が、カム板２６の内部を通過し
て繰入コンベアー１４側に到達している。そして、カム
板２６に取り付けられた軸受２９により、ドライブシャ
フト２８が回転可能に支持されている。On the other hand, a drive shaft 28 is arranged inside the bearing case 23. The drive shaft 28 is rotatably supported by a bearing (not shown) attached to the bearing case 23. One end side of the drive shaft 28 passes through the inside of the cam plate 26 and reaches the feeding conveyor 14 side. The drive shaft 28 is rotatably supported by a bearing 29 attached to the cam plate 26.

【００２６】また、ドライブシャフト２８の繰入コンベ
アー１４側の端部には、ロータリーホイール（第１回転
体）３０が固定されている。ロータリーホイール３０に
は、その厚さ方向に貫通するガイド孔３１が８箇所形成
されている。各ガイド孔３１は、放射状にほぼ等間隔で
配置されている。A rotary wheel (first rotating body) 30 is fixed to the end of the drive shaft 28 on the feeding conveyor 14 side. Eight guide holes 31 are formed in the rotary wheel 30 so as to penetrate in the thickness direction thereof. The guide holes 31 are radially arranged at substantially equal intervals.

【００２７】さらに、ロータリーホイール３０における
繰入コンベアー１４側の表面には、各ガイド孔３１の側
方にレールプレート３２が別個に固定されている。そし
て各レールプレート３２の一方の側面には、ロータリー
ホイール３０の表面とほぼ平行にリニアガイド３３が別
個に固定されている。Further, a rail plate 32 is separately fixed to the side of each guide hole 31 on the surface of the rotary wheel 30 on the feeding conveyor 14 side. A linear guide 33 is separately fixed to one side surface of each rail plate 32 substantially parallel to the surface of the rotary wheel 30.

【００２８】そして、各レールプレート３２のリニアガ
イド３３毎に、スライダー３４が移動可能に取り付けら
れている。各スライダー３４にはアームバー３５が別個
に固定されている。各アームバー３５はほぼ水平に配置
されており、各アームバー３５にはバキュームパット
（第１吸着機構）３６が取り付けられている。各バキュ
ームパット３６の吸入口は、ロータリーホイール３０の
外側に向けて配置されている。A slider 34 is movably attached to each linear guide 33 of each rail plate 32. An arm bar 35 is separately fixed to each slider 34. Each arm bar 35 is arranged substantially horizontally, and a vacuum pad (first suction mechanism) 36 is attached to each arm bar 35. The suction port of each vacuum pad 36 is arranged toward the outside of the rotary wheel 30.

【００２９】各バキュームパット３６には第１吸気管３
７が接続されている。各第１吸気管３７は、ドライブシ
ャフト２８の内部に形成された通気路（図示せず）を介
して第２吸気管３８に別個に接続されている。ドライブ
シャフト２８の外周には環状のロータリーフランジ３９
が取り付けられている。ドライブシャフト２８と環状の
ロータリーフランジ３９とが一体回転する構成になって
いる。各第２吸引管３８はロータリーフランジ３９の通
気路（図示せず）に別個に接続されている。The first intake pipe 3 is attached to each vacuum pad 36.
7 is connected. Each first intake pipe 37 is separately connected to the second intake pipe 38 via a ventilation path (not shown) formed inside the drive shaft 28. An annular rotary flange 39 is provided on the outer periphery of the drive shaft 28.
Is attached. The drive shaft 28 and the annular rotary flange 39 are integrally rotated. Each second suction pipe 38 is separately connected to a ventilation passage (not shown) of the rotary flange 39.

【００３０】一方、ロータリーフランジ３９の端面に
は、環状のセットホイールプレート４０の端面が密着さ
れている。セットホイールプレート４０は、回り止めピ
ン４１により、プレート２４に対して回転不能に取り付
けられている。つまり、ロータリーフランジ３９と、セ
ットホイールプレート４０とが相対回転可能に構成され
ている。On the other hand, the end surface of the rotary flange 39 is in close contact with the end surface of the annular set wheel plate 40. The set wheel plate 40 is non-rotatably attached to the plate 24 by a rotation stop pin 41. That is, the rotary flange 39 and the set wheel plate 40 are configured to be rotatable relative to each other.

【００３１】また、セットホイールプレート４０におけ
るロータリーフランジ３９との密着端面には、ロータリ
ーフランジ３９の各通気路に対応する円周上に円弧状の
通気路（図示せず）が形成されている。さらに、セット
ホイールプレート４０の通気路には、第３吸気管４２が
接続されている。この第３吸気管４２は真空ポンプ（図
示せず）などに接続されている。On the end face of the set wheel plate 40, which is in close contact with the rotary flange 39, arc-shaped ventilation passages (not shown) are formed on the circumference corresponding to the ventilation passages of the rotary flange 39. Further, a third intake pipe 42 is connected to the ventilation passage of the set wheel plate 40. The third intake pipe 42 is connected to a vacuum pump (not shown) or the like.

【００３２】上記構成により、ロータリーフランジ３９
とセットホイールプレート４０との相対回転に伴い、ロ
ータリーフランジ３９の各通気路が、セットホイールプ
レート４０の通気路に対して別個に連通または遮断され
る。With the above structure, the rotary flange 39
With the relative rotation of the set wheel plate 40 with each other, the respective air passages of the rotary flange 39 are separately communicated with or cut off from the air passages of the set wheel plate 40.

【００３３】また、各スライダー３４には軸４３が別個
に固定されており、各軸４３が各ガイド孔３１の長さ方
向に移動可能に配置されている。各軸４３の先端にはカ
ムフォロワ４３Ａが別個に取り付けられており、各カム
フォロワ４３Ａがカム溝２７内に移動可能に配置されて
いる。A shaft 43 is separately fixed to each slider 34, and each shaft 43 is arranged so as to be movable in the length direction of each guide hole 31. A cam follower 43A is separately attached to the tip of each shaft 43, and each cam follower 43A is movably arranged in the cam groove 27.

【００３４】一方、前記ドライブシャフト２８の他端に
は、ラジアル軸受（図示せず）を介してギヤ４４が取り
付けられている。また、ギヤ４４の側方にはクラッチ４
５が配置されている。そして、クラッチ４５の係合また
は解放により、ギヤ４４の回転がドライブシャフト２８
に対して伝達または遮断される構成になっている。On the other hand, a gear 44 is attached to the other end of the drive shaft 28 via a radial bearing (not shown). Further, the clutch 4 is provided on the side of the gear 44.
5 are arranged. Then, the engagement or disengagement of the clutch 45 causes the rotation of the gear 44 to rotate.
It is configured to be transmitted to or blocked from.

【００３５】前記共通床３には、図６に示すようにサー
ボモータ４６が搭載されており、サーボモータ４６の出
力軸４７にはプーリー４８が固定されている。また、前
記フレーム２２のベアリングシャフト２３の下方には、
ドライブシャフト４９が回転可能に取付けられている。
ドライブシャフト４９の軸線（図示せず）はほぼ水平に
配置され、ドライブシャフト４９の一端にはプーリー５
０が取り付けられている。A servomotor 46 is mounted on the common floor 3 as shown in FIG. 6, and a pulley 48 is fixed to an output shaft 47 of the servomotor 46. Further, below the bearing shaft 23 of the frame 22,
The drive shaft 49 is rotatably attached.
The axis (not shown) of the drive shaft 49 is arranged substantially horizontally, and the pulley 5 is attached to one end of the drive shaft 49.
0 is attached.

【００３６】そして、プーリー５０およびプーリー４８
にタイミングベルト５１が巻き掛けられている。さら
に、プーリー５０の側方にはクラッチ５２が配置されて
いる。このクラッチ５２の係合または解放により、プー
リー５０の回転がドライブシャフト４９に伝達または遮
断される。一方、ドライブシャフト４９の他端にはギヤ
５３が固定されている。このギヤ５３とギヤ４４とが噛
み合わされている。Then, the pulley 50 and the pulley 48
The timing belt 51 is wrapped around the. Further, a clutch 52 is arranged on the side of the pulley 50. The engagement or disengagement of the clutch 52 transmits or blocks the rotation of the pulley 50 to the drive shaft 49. On the other hand, a gear 53 is fixed to the other end of the drive shaft 49. The gear 53 and the gear 44 are meshed with each other.

【００３７】つぎに、繰出装置２１の構成を具体的に説
明する。なお、繰出装置２１の構成は、繰入装置２０の
構成とほぼ同様である。このため、図５に基づいて繰出
装置２１の構成を説明する。したがって、図５には繰入
装置２０についての参照符号に併せて、繰出装置２１に
ついての参照符号が付してある。Next, the structure of the feeding device 21 will be specifically described. The structure of the feeding device 21 is substantially the same as the structure of the feeding device 20. Therefore, the configuration of the feeding device 21 will be described with reference to FIG. Therefore, in FIG. 5, reference numerals for the feeding device 21 are added to reference numerals for the feeding device 20.

【００３８】まず、フレーム２２にはベアリングケース
２３Ａが固定されている。ベアリングケース２３Ａはパ
イプ状に構成され、ベアリングケース２３Ａの軸線がほ
ぼ水平に配置されている。ベアリングケース２３Ａの繰
出コンベアー１４Ａ側の端部には、環状のプレート２４
Ａが固定されている。プレート２４Ａのほぼ同一円周上
には複数のコラム２５Ａが固定されている。複数のコラ
ム２５Ａの端部には単一のカム板２６Ａが固定されてい
る。First, a bearing case 23A is fixed to the frame 22. The bearing case 23A is formed in a pipe shape, and the axis of the bearing case 23A is arranged substantially horizontally. An annular plate 24 is provided at the end of the bearing case 23A on the feeding conveyor 14A side.
A is fixed. A plurality of columns 25A are fixed to the plate 24A on substantially the same circumference. A single cam plate 26A is fixed to the ends of the plurality of columns 25A.

【００３９】カム板２６Ａは環状に構成され、カム板２
６Ａの繰出コンベアー１４Ａ側の表面には、カム溝２７
Ａが形成されている。図３に示すように、カム溝２７Ａ
は全体が環状に構成され、かつ、ほぼ楕円形に構成され
ている。また、カム溝２７Ａは、カム板２６Ａの中心に
対して漏洩検出機構１側に偏心して配置されている。つ
まり、カム溝２７Ａとカム溝２７とが、ほぼ線対称に構
成されている。The cam plate 26A is formed in an annular shape, and the cam plate 2
The cam groove 27 is formed on the surface of the 6A feeding conveyor 14A side.
A is formed. As shown in FIG. 3, the cam groove 27A
Has an annular shape and an almost elliptical shape. Further, the cam groove 27A is arranged eccentrically on the leak detection mechanism 1 side with respect to the center of the cam plate 26A. That is, the cam groove 27A and the cam groove 27 are configured to be substantially line symmetrical.

【００４０】一方、ベアリングケース２３Ａの内部には
ドライブシャフト２８Ａが配置されている。ドライブシ
ャフト２８Ａは、ベアリングケース２３Ａの内部に取り
付けられた軸受（図示せず）により回転可能に支持され
ている。ドライブシャフト２８Ａの一端側が、カム板２
６Ａの内部を通過して繰出コンベアー１５側に到達して
いる。また、カム板２６Ａに軸受２９Ａが取り付けられ
ており、軸受２９Ａによりドライブシャフト２８Ａが回
転可能に支持されている。On the other hand, a drive shaft 28A is arranged inside the bearing case 23A. The drive shaft 28A is rotatably supported by a bearing (not shown) mounted inside the bearing case 23A. One end side of the drive shaft 28A is the cam plate 2
It has passed through the inside of 6A and has reached the delivery conveyor 15 side. A bearing 29A is attached to the cam plate 26A, and the drive shaft 28A is rotatably supported by the bearing 29A.

【００４１】また、ドライブシャフト２８Ａの繰出コン
ベアー１５側の端部には、ロータリーホイール（第３回
転体）３０Ａが固定されている。ロータリーホイール３
０Ａには、その厚さ方向に貫通するガイド孔３１Ａが８
箇所形成されている。各ガイド孔３１Ａは、放射状にほ
ぼ等間隔で配置されている。A rotary wheel (third rotator) 30A is fixed to the end of the drive shaft 28A on the feeding conveyor 15 side. Rotary wheel 3
0A has guide holes 31A penetrating in its thickness direction.
It is formed in some places. The guide holes 31A are radially arranged at substantially equal intervals.

【００４２】さらに、ロータリーホイール３０Ａにおけ
る繰出コンベアー１５側の表面には、各ガイド孔３１Ａ
の側方にレールプレート３２Ａが別個に固定されてい
る。そして各レールプレート３２Ａの一方の側面には、
ロータリーホイール３０Ａの表面とほぼ平行にリニアガ
イド３３Ａが別個に固定されている。Further, each guide hole 31A is formed on the surface of the rotary wheel 30A on the feeding conveyor 15 side.
A rail plate 32A is separately fixed to the side of the. And, on one side surface of each rail plate 32A,
A linear guide 33A is separately fixed substantially parallel to the surface of the rotary wheel 30A.

【００４３】各レールプレート３２Ａに対応するリニア
ガイド３３Ａ毎に、スライダー３４Ａが移動可能に取り
付けられている。各スライダー３４Ａにアームバー３５
Ａが別個に固定されている。各アームバー３５Ａはほぼ
水平に配置されており、各アームバー３５Ａにはバキュ
ームパット（第２吸着機構）３６Ａが取り付けられてい
る。各バキュームパット３６Ａの吸入口は、ロータリー
ホイール３０Ａの外側に向けて配置されている。A slider 34A is movably attached to each linear guide 33A corresponding to each rail plate 32A. Arm bar 35 on each slider 34A
A is fixed separately. Each arm bar 35A is arranged substantially horizontally, and a vacuum pad (second suction mechanism) 36A is attached to each arm bar 35A. The suction port of each vacuum pad 36A is arranged toward the outside of the rotary wheel 30A.

【００４４】そして、各バキュームパット３６Ａには第
１吸気管３７Ａが接続されている。各第１吸気管３７Ａ
は、ドライブシャフト２３Ａの内部に形成された通気路
（図示せず）を介して第２吸気管３８Ａに別個に接続さ
れている。ドライブシャフト２８Ａの外周には環状のロ
ータリーフランジ３９Ａが取り付けられている。ドライ
ブシャフト２８Ａと環状のロータリーフランジ３９Ａと
が一体回転する構成になっている。各第２吸気管３８Ａ
はロータリーフランジ３９Ａの通気路（図示せず）に別
個に接続されている。A first intake pipe 37A is connected to each vacuum pad 36A. Each first intake pipe 37A
Are separately connected to the second intake pipe 38A via an air passage (not shown) formed inside the drive shaft 23A. An annular rotary flange 39A is attached to the outer periphery of the drive shaft 28A. The drive shaft 28A and the annular rotary flange 39A are integrally rotated. Each second intake pipe 38A
Are separately connected to a ventilation passage (not shown) of the rotary flange 39A.

【００４５】一方、ロータリーフランジ３９Ａの端面に
は、環状のセットホイールプレート４０Ａの端面が密着
されている。セットホイールプレート４０Ａは、回り止
めピン４１Ａにより、プレート２４Ａに対して回転不能
に取り付けられている。つまり、ロータリーフランジ３
９Ａと、セットホイールプレート４０Ａとが相対回転可
能に構成されている。On the other hand, the end surface of the annular set wheel plate 40A is in close contact with the end surface of the rotary flange 39A. The set wheel plate 40A is non-rotatably attached to the plate 24A by a rotation stop pin 41A. That is, the rotary flange 3
9A and the set wheel plate 40A are configured to be rotatable relative to each other.

【００４６】また、セットホイールプレート４０Ａにお
けるロータリーフランジ３９Ａとの密着端面には、ロー
タリーフランジ３９Ａの各通気路に対応する円周上に円
弧状の通気路（図示せず）が形成されている。さらに、
セットホイールプレート４０Ａの通気路には、第３吸気
管４２Ａが接続されている。この第３吸気管４２Ａは真
空ポンプ（図示せず）などに接続されている。On the end face of the set wheel plate 40A which is in close contact with the rotary flange 39A, arc-shaped air passages (not shown) are formed on the circumference corresponding to the air passages of the rotary flange 39A. further,
The third intake pipe 42A is connected to the air passage of the set wheel plate 40A. The third intake pipe 42A is connected to a vacuum pump (not shown) or the like.

【００４７】上記構成により、ロータリーフランジ３９
Ａとセットホイールプレート４０Ａとの相対回転に伴
い、ロータリーフランジ３９Ａの各通気路が、セットホ
イールプレート４０Ａの通気路に対して別個に連通また
は遮断される。With the above structure, the rotary flange 39
Along with the relative rotation of A and the set wheel plate 40A, the respective ventilation passages of the rotary flange 39A are separately communicated with or cut off from the ventilation passages of the set wheel plate 40A.

【００４８】また、各スライダー３４Ａには軸４３Ｂが
別個に固定されており、各軸４３Ｂが各ガイド孔３１Ａ
の長さ方向に移動可能に配置されている。各軸４３Ｂの
先端にはカムフォロワ４３Ｃが別個に取り付けられてお
り、各カムフォロワ４３Ｃがカム溝２７Ａ内に移動可能
に配置されている。A shaft 43B is separately fixed to each slider 34A, and each shaft 43B is attached to each guide hole 31A.
It is arranged so that it can move in the longitudinal direction. A cam follower 43C is separately attached to the tip of each shaft 43B, and each cam follower 43C is movably arranged in the cam groove 27A.

【００４９】一方、前記ドライブシャフト２８Ａの他端
には、ラジアル軸受（図示せず）を介してギヤ４４Ａが
取り付けられている。また、ギヤ４４Ａの側方にはクラ
ッチ４５Ａが配置されている。そして、クラッチ４５Ａ
の係合または解放により、ギヤ４４Ａの回転がドライブ
シャフト２８Ａに対して伝達または遮断される構成にな
っている。On the other hand, a gear 44A is attached to the other end of the drive shaft 28A via a radial bearing (not shown). A clutch 45A is arranged on the side of the gear 44A. And the clutch 45A
The rotation of the gear 44A is transmitted to or cut off from the drive shaft 28A by engaging or releasing the gear.

【００５０】さらに、図６に示すように、ギヤ４４Ａの
下方にはカウンターシャフト５４が配置され、カウンタ
ーシャフト５４がフレーム２２により回転可能に支持さ
れている。カウンターシャフト５４には、ギヤ５５およ
びプーリー５６が固定されている。Further, as shown in FIG. 6, a counter shaft 54 is arranged below the gear 44A, and the counter shaft 54 is rotatably supported by the frame 22. A gear 55 and a pulley 56 are fixed to the counter shaft 54.

【００５１】また、図４に示すように、フレーム２２に
おけるカウンターシャフト５４の上方には、エンコーダ
５７が取り付けられている。そして、エンコーダ５７の
プーリーと、プーリー５６とにタイミングベルト５８が
巻き掛けられている。このエンコーダ５７によりギヤ５
５の回転が検出され、その検出信号が制御装置（図示せ
ず）に送られる。この制御装置により、ギヤ５５の回転
数が演算される。Further, as shown in FIG. 4, an encoder 57 is attached above the counter shaft 54 in the frame 22. The timing belt 58 is wound around the pulley of the encoder 57 and the pulley 56. This encoder 57 allows the gear 5
The rotation of 5 is detected, and the detection signal is sent to a control device (not shown). The rotation speed of the gear 55 is calculated by this control device.

【００５２】つぎに、漏洩検出機構１の具体的な構成を
説明する。図７は、漏洩検出機構１の概略構成を示し、
一部を破断した右側面図である。まず、フレーム２２に
はリフトカム５９が固定されている。このリフトカム５
９は、円筒形状の内筒６０と、円筒形状の外筒６１とを
備えている。内筒６０と外筒６１とは、相互に同心状に
配置されている。Next, a specific structure of the leak detection mechanism 1 will be described. FIG. 7 shows a schematic configuration of the leak detection mechanism 1,
It is the right view which fractured | ruptured a part. First, the lift cam 59 is fixed to the frame 22. This lift cam 5
9 includes a cylindrical inner cylinder 60 and a cylindrical outer cylinder 61. The inner cylinder 60 and the outer cylinder 61 are arranged concentrically with each other.

【００５３】外筒６１の内径が内筒６０の外径よりも大
きく設定され、外筒６１の内部に内筒６０が同心状に配
置されている。内筒６０の長さは、外筒６１の長さより
も長く設定されている。そして、内筒６０と外筒６１と
が、複数の接続部６２により接続されている。また、内
筒６０の開口端と、外筒６１の開口端とが、環状の取付
ホイール６３により接続されている。The inner diameter of the outer cylinder 61 is set larger than the outer diameter of the inner cylinder 60, and the inner cylinder 60 is concentrically arranged inside the outer cylinder 61. The length of the inner cylinder 60 is set longer than the length of the outer cylinder 61. The inner cylinder 60 and the outer cylinder 61 are connected by a plurality of connecting portions 62. Further, the opening end of the inner cylinder 60 and the opening end of the outer cylinder 61 are connected by an annular mounting wheel 63.

【００５４】内筒６０および外筒６１は、その軸線（図
示せず）がほぼ水平になる状態でフレーム２２に固定さ
れている。外筒６１の外周には、全周に亘りカム溝６１
Ａが形成されている。図８は外筒６１の外周面の展開図
である。図８に示すように、カム溝６１Ａは、第１溝部
６１Ｂと第２溝部６１Ｃと第３溝部６１Ｄとにより構成
されている。The inner cylinder 60 and the outer cylinder 61 are fixed to the frame 22 with their axes (not shown) being substantially horizontal. On the outer circumference of the outer cylinder 61, the cam groove 61 is formed over the entire circumference.
A is formed. FIG. 8 is a development view of the outer peripheral surface of the outer cylinder 61. As shown in FIG. 8, the cam groove 61A includes a first groove portion 61B, a second groove portion 61C, and a third groove portion 61D.

【００５５】第１溝部６１Ｂは、外筒６１のほぼ同一円
周上に形成されている。また、第２溝部６１Ｃは、外筒
６１のほぼ同一円周上に形成されている。第１溝部６１
Ｂは、第２溝部６１Ｃよりもフレーム２２に近い位置に
形成されている。The first groove portions 61B are formed on substantially the same circumference of the outer cylinder 61. Further, the second groove portion 61C is formed on substantially the same circumference of the outer cylinder 61. First groove 61
B is formed at a position closer to the frame 22 than the second groove 61C.

【００５６】さらに、第１溝部６１Ｂと第２溝部６１Ｃ
とが、２つの第３溝部６１Ｄにより接続されている。２
つの第３溝部６１Ｄは螺旋方向に、かつ、逆向きに傾斜
している。そして、第１溝部６１Ｂが、繰入装置２０と
繰出装置２１との間に対面する位置に形成されている。
言い換えれば、外筒６１がフレーム２２に固定された状
態で、外筒６１の下部に第１溝部６１Ｂが形成されてい
る。Further, the first groove portion 61B and the second groove portion 61C.
And are connected by two third groove portions 61D. Two
The three third groove portions 61D are inclined in the spiral direction and in the opposite direction. The first groove portion 61B is formed at a position facing between the feeding device 20 and the feeding device 21.
In other words, the first groove portion 61B is formed in the lower portion of the outer cylinder 61 in a state where the outer cylinder 61 is fixed to the frame 22.

【００５７】図７に示すように、内筒６０の内部にはメ
インシャフト６４が配置されている。メインシャフト６
４の軸線Ｂ１がほぼ水平に配置されている。また、内筒
６０には軸受６５が取り付けられており、軸受６５によ
りメインシャフト６４が回転可能に支持されている。メ
インシャフト６４の軸線Ｂ１方向の長さは、内筒６０の
軸線Ｂ１方向の長さを越える値に設定されている。As shown in FIG. 7, a main shaft 64 is arranged inside the inner cylinder 60. Main shaft 6
The axis B1 of 4 is arranged substantially horizontally. Further, a bearing 65 is attached to the inner cylinder 60, and the main shaft 64 is rotatably supported by the bearing 65. The length of the main shaft 64 in the axis B1 direction is set to a value that exceeds the length of the inner cylinder 60 in the axis B1 direction.

【００５８】図４に示すように、メインシャフト６４の
フレーム２２側の端部には、ギヤ６６が固定されてい
る。また、図６に示すように、ギヤ６６が、ギヤ４４お
よびギヤ４４Ａに噛合されている。As shown in FIG. 4, a gear 66 is fixed to the end of the main shaft 64 on the frame 22 side. Further, as shown in FIG. 6, the gear 66 is meshed with the gear 44 and the gear 44A.

【００５９】一方、メインシャフト６４の内部には、軸
線Ｂ１方向に空気供給管６７が配置されている。また、
メインシャフト６４の一端側には、キャップ６８が嵌合
されている。キャップ６８には通気路６９が形成され、
通気路６９と空気供給管６７とが連通している。そし
て、メインシャフト６４と空気供給管６７との間には、
検査ガス供給路７０が形成されている。さらに、メイン
シャフト６４のフレーム２２側には供給管７１が接続さ
れている。この供給管７１から空気供給管６７および検
査ガス供給路７０に対して、加圧空気および検査ガスが
供給される。検査ガスとしては、二酸化炭素ガスまたは
ヘリウムガスまたは窒素ガスなどが例示される。On the other hand, inside the main shaft 64, an air supply pipe 67 is arranged in the direction of the axis B1. Also,
A cap 68 is fitted to one end of the main shaft 64. An air passage 69 is formed in the cap 68,
The ventilation path 69 and the air supply pipe 67 communicate with each other. And, between the main shaft 64 and the air supply pipe 67,
An inspection gas supply passage 70 is formed. Further, a supply pipe 71 is connected to the frame 22 side of the main shaft 64. Pressurized air and test gas are supplied from the supply pipe 71 to the air supply pipe 67 and the test gas supply passage 70. Examples of the inspection gas include carbon dioxide gas, helium gas, nitrogen gas and the like.

【００６０】また、図４に示すように、共通床３上に
は、フレーム２２から所定間隔をおいた位置にスタンド
７２が立設されている。このスタンド７２のフレーム２
２に対向する位置には、補助スタンド７３が固定されて
いる。図９は、漏洩検出機構１の一部を破断した右側面
図である。図９に示すように、補助スタンド７３はほぼ
円筒形状に構成されている。補助スタンド７３の内部に
はスリップリング７４が配置されている。スリップリン
グ７４は、外部からメインシャフト６４に対して電流を
供給するための機構である。Further, as shown in FIG. 4, a stand 72 is erected on the common floor 3 at a position spaced from the frame 22 by a predetermined distance. Frame 2 of this stand 72
An auxiliary stand 73 is fixed at a position opposite to 2. FIG. 9 is a right side view in which a part of the leak detection mechanism 1 is cut away. As shown in FIG. 9, the auxiliary stand 73 has a substantially cylindrical shape. A slip ring 74 is arranged inside the auxiliary stand 73. The slip ring 74 is a mechanism for supplying a current to the main shaft 64 from the outside.

【００６１】スリップリング７４の一端が、ジョイント
７５を介してスタンド７２に接続されている。さらに、
スリップリング７４の他端が、ジョイント７６を介して
メインシャフト６４に接続されている。なお、スリップ
リング７４には回り止め７４Ａが設けられ、回り止め７
４Ａが補助スタンド７３の孔７４Ｂに挿入されている。
このため、メインシャフト６４が回転した場合でも、ス
リップリング７４の回転が防止される。One end of the slip ring 74 is connected to the stand 72 via a joint 75. further,
The other end of the slip ring 74 is connected to the main shaft 64 via a joint 76. The slip ring 74 is provided with a detent 74A to prevent the detent 7
4A is inserted into the hole 74B of the auxiliary stand 73.
Therefore, even if the main shaft 64 rotates, the rotation of the slip ring 74 is prevented.

【００６２】一方、図７に示すように、通気路６９には
空気供給管７７が接続され、検査ガス供給路７０にはガ
ス供給管７８が接続されている。空気供給管７７および
ガス供給管７８は、メインシャフト６４の円周方向に各
々１２本接続されている。さらに、メインシャフト６４
の外周には、円筒形状のカムフォロワ取付プレート７９
が固定されている。On the other hand, as shown in FIG. 7, an air supply pipe 77 is connected to the ventilation passage 69, and a gas supply pipe 78 is connected to the inspection gas supply passage 70. Twelve air supply pipes 77 and twelve gas supply pipes 78 are connected in the circumferential direction of the main shaft 64. In addition, the main shaft 64
A cylindrical cam follower mounting plate 79
Is fixed.

【００６３】また、カムフォロワ取付プレート７９と取
付ホイール６３との間には、環状のセットホイールプレ
ート８０が配置されており、セットホイールプレート８
０と取付ホイール６３とが、回り止めピン８１により回
転不能に接続されている。セットホイールプレート８０
は、メインシャフト６４に対して、相対回転可能に取り
付けられている。An annular set wheel plate 80 is arranged between the cam follower mounting plate 79 and the mounting wheel 63.
0 and the mounting wheel 63 are non-rotatably connected by a rotation stop pin 81. Set wheel plate 80
Are attached so as to be rotatable relative to the main shaft 64.

【００６４】前記カムフォロワ取付プレート７９の外周
には、ロータリーフレーム（第２回転体）８２が固定さ
れている。ロータリーフレーム８２は、ほぼ円筒形状に
構成されている。ロータリーフレーム８２の内径は、補
助スタンド７３の外径よりも大きく設定されている。ロ
ータリーフレーム８２の外周には、把持機構８３とチャ
ック機構８４とガス注入機構８５とが取り付けられてい
る。そして、前記軸線Ｂ１方向における把持機構８３お
よびチャック機構８４およびガス注入機構８５の移動ま
たは停止は、カム溝６１Ａにより制御される。A rotary frame (second rotary body) 82 is fixed to the outer periphery of the cam follower mounting plate 79. The rotary frame 82 has a substantially cylindrical shape. The inner diameter of the rotary frame 82 is set larger than the outer diameter of the auxiliary stand 73. A gripping mechanism 83, a chuck mechanism 84, and a gas injection mechanism 85 are attached to the outer periphery of the rotary frame 82. The movement or stop of the gripping mechanism 83, the chuck mechanism 84, and the gas injection mechanism 85 in the direction of the axis B1 is controlled by the cam groove 61A.

【００６５】把持機構８３がロータリーフレーム８２の
軸線Ｂ１方向に移動不能に構成されている。また、チャ
ック機構８４およびガス注入機構８５が、ロータリーフ
レーム８２に対して軸線Ｂ１方向に移動可能に構成され
ている。さらに、チャック機構８４とガス注入機構８５
とが、ロータリーフレーム８２の軸線Ｂ１方向に相対移
動可能に構成されている。The gripping mechanism 83 is constructed so as not to move in the direction of the axis B1 of the rotary frame 82. Further, the chuck mechanism 84 and the gas injection mechanism 85 are configured to be movable in the axis B1 direction with respect to the rotary frame 82. Further, the chuck mechanism 84 and the gas injection mechanism 85
And are configured to be relatively movable in the direction of the axis B1 of the rotary frame 82.

【００６６】一方、ロータリーフレーム８２のスタンド
７２側の端部には、アッパーテーブル８７が固定されて
いる。アッパーテーブル８７には漏洩検出部８６が取り
付けられている。把持機構８３およびチャック機構８４
およびガス注入機構８５は、ロータリーフレーム８２の
円周方向に各々１２ユニットずつ配置されている。さら
に、漏洩検出部８６は、アッパーテーブル８７の円周方
向に１２ユニット配置されている。各把持機構８３およ
び各チャック機構８４および各ガス注入機構８５および
各漏洩検出部８６は、円周方向にほぼ等間隔で配置され
ている。さらにまた、各把持機構８３および各チャック
機構８４および各ガス注入機構８５および各漏洩検出部
８６は、円周方向のほぼ同一位置に配置されている。On the other hand, an upper table 87 is fixed to the end of the rotary frame 82 on the stand 72 side. A leak detection unit 86 is attached to the upper table 87. Grasping mechanism 83 and chuck mechanism 84
The gas injection mechanism 85 is arranged in the circumferential direction of the rotary frame 82 in units of 12 units each. Further, the leakage detection unit 86 is arranged in 12 units in the circumferential direction of the upper table 87. Each gripping mechanism 83, each chuck mechanism 84, each gas injection mechanism 85, and each leak detection unit 86 are arranged at substantially equal intervals in the circumferential direction. Furthermore, each gripping mechanism 83, each chuck mechanism 84, each gas injection mechanism 85, and each leak detection unit 86 are arranged at substantially the same position in the circumferential direction.

【００６７】まず、把持機構８３の構成を具体的に説明
する。把持機構８３は、繰入装置２０から漏洩検出機構
１に搬入されるラミネートチューブ容器１６の外周に当
接されて、ラミネートチューブ容器１６を別個に把持す
るための機構である。図１０は漏洩検出機構１の一部を
破断した側面図、図１１は把持機構８３の一部を破断し
た正面図である。First, the structure of the gripping mechanism 83 will be specifically described. The gripping mechanism 83 is a mechanism that is brought into contact with the outer periphery of the laminated tube container 16 carried into the leak detection mechanism 1 from the feeding device 20 and grips the laminated tube container 16 separately. FIG. 10 is a side view in which a part of the leak detection mechanism 1 is broken, and FIG. 11 is a front view in which a part of the gripping mechanism 83 is broken.

【００６８】ロータリーフレーム８２のアッパーテーブ
ル８７側の外周には、マウント８８が固定されている。
マウント８８の先端には把持面８９が形成されている。
把持面８９は円弧形状を備えている。把持面８９の曲率
半径は、ラミネートチューブ容器１６の円筒部が真円形
状に維持された状態で、その外周の曲率半径にほぼ近似
する値に設定されている。A mount 88 is fixed to the outer periphery of the rotary frame 82 on the upper table 87 side.
A gripping surface 89 is formed at the tip of the mount 88.
The grip surface 89 has an arc shape. The radius of curvature of the gripping surface 89 is set to a value that is approximately similar to the radius of curvature of the outer circumference of the laminated tube container 16 in a state where the cylindrical portion of the laminated tube container 16 is maintained in a perfect circular shape.

【００６９】なお、マウント８８には、ラミネートチュ
ーブ容器１６の有無を検出する容器検出センサ８８Ａが
設けられている。この容器検出センサ８８Ａとしては、
発光素子と受光素子とを有するフォトインタラプタが例
示され、ラミネートチューブ容器１６の有無が光学的に
検出される。ている。そして、容器検出センサ８８Ａか
ら出力された検出信号が制御装置（図示せず）に送られ
るように構成されている。この容器検出センサ８８Ａ
が、この発明の容器検出機構に相当する。The mount 88 is provided with a container detection sensor 88A for detecting the presence or absence of the laminated tube container 16. As this container detection sensor 88A,
A photo interrupter having a light emitting element and a light receiving element is exemplified, and the presence or absence of the laminated tube container 16 is optically detected. ing. Then, the detection signal output from the container detection sensor 88A is configured to be sent to a control device (not shown). This container detection sensor 88A
Corresponds to the container detection mechanism of the present invention.

【００７０】また、マウント８８には２本のギヤシャフ
ト９０が回転可能に取り付けられている。各ギヤシャフ
ト９０の一端には、ギヤ９１がそれぞれ固定されてい
る。そして、ギヤ９１同士が噛み合わされている。さら
に、各ギヤシャフト９０の他端には、チューブホルダー
（把持爪）９２がそれぞれ固定されている。各チューブ
ホルダー９２の対向面には、ラミネートチューブ容器１
６との摩擦抵抗を軽減する材料、例えば合成皮革のクラ
リーノ（株式会社クラレの商品名）が取り付けられてい
る。さらにまた、２本のギヤシャフト９０の一方には、
リンクレバー９３が固定されている。上記マウント８８
とチューブホルダー９２とにより、把持機構８３が構成
されている。Two gear shafts 90 are rotatably attached to the mount 88. A gear 91 is fixed to one end of each gear shaft 90. The gears 91 are meshed with each other. Further, tube holders (holding claws) 92 are fixed to the other ends of the respective gear shafts 90. The laminated tube container 1 is provided on the facing surface of each tube holder 92.
A material that reduces the frictional resistance with 6, such as synthetic leather Clarino (trade name of Kuraray Co., Ltd.) is attached. Furthermore, on one of the two gear shafts 90,
The link lever 93 is fixed. Mount 88 above
The tube holder 92 and the tube holder 92 constitute a gripping mechanism 83.

【００７１】一方、ロータリーフレーム８２には半径方
向に貫通する孔９４が形成されている。また、ロータリ
ーフレーム８２の内周にはフランジ９５が形成されてい
る。フランジ９５には、ピン９６を支点として回転する
リンクレバー９７が取り付けられている。前記孔９４に
はアームレバー９８が移動可能に配置されている。アー
ムレバー９８の一端がリンクレバー９３に連結され、ア
ームレバー９８の他端がリンクレバー９７の一端に連結
されている。さらに、リンクレバー９７の他端には、ロ
ーラーフォロワ９９が回転可能に取り付けられている。
なお、ローラーフォロワ９９は、弾性部材（図示せず）
の弾性力により、図１１の時計方向に回転付勢されてい
る。On the other hand, the rotary frame 82 is formed with a hole 94 penetrating in the radial direction. A flange 95 is formed on the inner circumference of the rotary frame 82. A link lever 97 that rotates about a pin 96 as a fulcrum is attached to the flange 95. An arm lever 98 is movably arranged in the hole 94. One end of the arm lever 98 is connected to the link lever 93, and the other end of the arm lever 98 is connected to one end of the link lever 97. Further, a roller follower 99 is rotatably attached to the other end of the link lever 97.
The roller follower 99 is an elastic member (not shown).
11 is urged to rotate clockwise in FIG.

【００７２】ところで、図７に示すように、アッパーテ
ーブル８７には開口部１００が形成されている。そし
て、図９および図１０に示すように、補助スタンド７３
の一端が開口部１００を介してロータリーフレーム８２
の内部に配置されている。補助スタンド７３のロータリ
ーフレーム８２側の端部にはカム板１０１が固定されて
いる。図３に示すようにカム板１０１は環状に構成さ
れ、カム板１０１の外周のほぼ３００度の領域に、所定
半径の第１カム面１０２が形成されている。By the way, as shown in FIG. 7, an opening 100 is formed in the upper table 87. Then, as shown in FIGS. 9 and 10, the auxiliary stand 73
One end of the rotary frame 82 through the opening 100.
Is located inside. The cam plate 101 is fixed to the end of the auxiliary stand 73 on the rotary frame 82 side. As shown in FIG. 3, the cam plate 101 is formed in an annular shape, and a first cam surface 102 having a predetermined radius is formed in an area of approximately 300 degrees on the outer periphery of the cam plate 101.

【００７３】また、カム板１０１の外周における第１カ
ム面１０２以外の領域には、第１カム面１０２の半径よ
りも大きな半径を備えた第２カム面１０３が形成されて
いる。つまり、第２カム面１０３は第１カム面１０２よ
りも外側に配置されている。なお、第１カム面１０２と
第２カム面１０３とは所定の曲面により接続されてい
る。A second cam surface 103 having a radius larger than the radius of the first cam surface 102 is formed in a region other than the first cam surface 102 on the outer periphery of the cam plate 101. That is, the second cam surface 103 is arranged outside the first cam surface 102. The first cam surface 102 and the second cam surface 103 are connected by a predetermined curved surface.

【００７４】図３に示すように、漏洩検出機構１を正面
側から見た場合、第２カム面１０３は、繰入装置２０と
繰出装置２１とのほぼ中間に対応する位置に形成されて
いる。言い換えれば、カム板１０１の下部に第２カム面
１０３が形成されている。つまり、カム板１０１の第１
カム面１０２および第２カム面１０３の半径は、外筒６
１のカム溝６１Ａに対応して設定されている。そして、
ローラーフォロワ９９がカム板１０１の外周面に当接さ
れている。As shown in FIG. 3, when the leak detection mechanism 1 is viewed from the front side, the second cam surface 103 is formed at a position corresponding to approximately the middle of the feeding device 20 and the feeding device 21. . In other words, the second cam surface 103 is formed below the cam plate 101. That is, the first of the cam plate 101
The radii of the cam surface 102 and the second cam surface 103 are the same as those of the outer cylinder 6.
It is set corresponding to one cam groove 61A. And
The roller follower 99 is in contact with the outer peripheral surface of the cam plate 101.

【００７５】上記カム板１０１とリンクレバー９７とア
ームレバー９８とリンクレバー９３とギヤシャフト９０
とギヤ９１とにより、把持力制御機構９０Ａが構成され
ている。この把持力制御機構９０Ａは、ラミネートチュ
ーブ容器１６を把持する把持力を制御するための機構で
ある。The cam plate 101, the link lever 97, the arm lever 98, the link lever 93, and the gear shaft 90.
The gripping force control mechanism 90A is configured by the gear 91 and the gear 91. The gripping force control mechanism 90A is a mechanism for controlling the gripping force for gripping the laminated tube container 16.

【００７６】また、把持力制御機構９０Ａは、ラミネー
トチューブ容器１６と漏洩検出部８６との相対関係を検
出する機能をも兼備している。つまり、把持力制御機構
９０Ａにより、ラミネートチューブ容器１６の移動また
は停止が検出される。The gripping force control mechanism 90A also has a function of detecting the relative relationship between the laminate tube container 16 and the leak detection section 86. That is, the gripping force control mechanism 90A detects the movement or stop of the laminate tube container 16.

【００７７】前述したように、カム板１０１の第１カム
面１０２および第２カム面１０３の半径は、外筒６１の
カム溝６１Ａに対応して一義的に設定されている。そし
て、カム溝６１Ａは、チャック機構８４およびガス注入
機構８５を軸線Ｂ１方向に移動または停止させるための
機構である。つまり、ローラーフォロワ９９のカム板１
０１上における円周方向の位相に基づいて、ラミネート
チューブ容器１６と漏洩検出部６８との相対関係が一義
的に決定される。このため、ローラーフォロワ９９のカ
ム板１０１の円周方向の位相に基づいて、ラミネートチ
ューブ容器１６と漏洩検出部８６との相対関係を一義的
に検出することが可能である。As described above, the radii of the first cam surface 102 and the second cam surface 103 of the cam plate 101 are uniquely set in correspondence with the cam groove 61A of the outer cylinder 61. The cam groove 61A is a mechanism for moving or stopping the chuck mechanism 84 and the gas injection mechanism 85 in the direction of the axis B1. That is, the cam plate 1 of the roller follower 99
Based on the phase in the circumferential direction on 01, the relative relationship between the laminate tube container 16 and the leak detection unit 68 is uniquely determined. Therefore, it is possible to uniquely detect the relative relationship between the laminate tube container 16 and the leak detection unit 86 based on the circumferential phase of the cam plate 101 of the roller follower 99.

【００７８】そして、把持力制御機構９０Ａにより検出
されるラミネートチューブ容器１６と漏洩検出部８６と
の相対関係に基づいて、ラミネートチューブ容器１６に
対する把持力が制御されるように構成されている。つま
り、カム板１０１の中心からのカム面の半径を小さく設
定するほど、各チューブホルダー９２の把持力が増大さ
れる。The gripping force with respect to the laminate tube container 16 is controlled based on the relative relationship between the laminate tube container 16 and the leak detection section 86 detected by the gripping force control mechanism 90A. That is, the gripping force of each tube holder 92 is increased as the radius of the cam surface from the center of the cam plate 101 is set smaller.

【００７９】この実施例では、ラミネートチューブ容器
１６が移動する場合の把持力よりも、ラミネートチュー
ブ容器１６のヘッドピース１７５が雰囲気ガス導入室１
６３内で停止している場合の把持力の方が大きく設定さ
れるように、カム板１０１の第１カム面１０２の形状が
構成されている。つまり、第１カム面１０２のうち、第
３溝部６１Ｄに対応する領域の半径よりも、第１カム面
１０２のうち、第２溝部６１Ｃに対応する領域の半径の
方が小さく設定されている。なお、図３においては、便
宜上、上記第１カム面１０２の形状変化は示されていな
い。In this embodiment, the head piece 175 of the laminate tube container 16 is more than the gripping force when the laminate tube container 16 moves.
The shape of the first cam surface 102 of the cam plate 101 is configured so that the gripping force when it is stopped within 63 is set to be larger. That is, the radius of the area of the first cam surface 102 corresponding to the second groove portion 61C is set smaller than the radius of the area of the first cam surface 102 corresponding to the third groove portion 61D. Note that, in FIG. 3, for convenience, the shape change of the first cam surface 102 is not shown.

【００８０】さらに、図９および図１０に示すように、
アッパーテーブル８７の内周端にはカムフォロワ取付プ
レート１０４が固定されている。カムフォロワ取付プレ
ート１０４は環状に構成され、カムフォロワ取付プレー
ト１０４には円周方向に複数のカムフォロワ１０５が回
転可能に取り付けられている。一方、補助スタンド７３
の外周には、同一半径のカム面１０６が形成されてい
る。Further, as shown in FIG. 9 and FIG.
A cam follower mounting plate 104 is fixed to the inner peripheral end of the upper table 87. The cam follower mounting plate 104 has an annular shape, and a plurality of cam followers 105 are rotatably mounted on the cam follower mounting plate 104 in the circumferential direction. On the other hand, the auxiliary stand 73
A cam surface 106 having the same radius is formed on the outer circumference of the.

【００８１】そして、各カムフォロワ１０５がカム面１
０６に当接されている。言い換えれば、ロータリーフレ
ーム８２の軸線方向の一端側が、アッパーテーブル８７
およびカムフォロワ１０５を介して補助スタンド７３に
より支持されている。また、ロータリーフレーム８２の
軸線方向のほぼ中央が、カムフォロワ取付プレート７９
により支持されている。Then, each cam follower 105 has a cam surface 1
It is abutted on 06. In other words, one end side of the rotary frame 82 in the axial direction is the upper table 87.
It is supported by the auxiliary stand 73 via the cam follower 105. Further, the cam follower mounting plate 79 is provided substantially at the center of the rotary frame 82 in the axial direction.
It is supported by.

【００８２】つぎに、チャック機構８４の構成を、図７
および図１０および図１２に基づいて具体的に説明す
る。図１２は漏洩検出機構１の一部を破断した平面図で
ある。チャック機構８４は、ラミネートチューブ容器１
６の開口端を掴み、かつ、長さ方向に移動させるための
機構である。このチャック機構８４は、把持機構８３と
ガス注入機構８５との相対移動領域に配置されている。
言い換えれば、チャック機構８４は、把持機構８３とガ
ス注入機構８５との間に配置されている。Next, the structure of the chuck mechanism 84 is shown in FIG.
A detailed description will be given with reference to FIGS. 10 and 12. FIG. 12 is a plan view in which a part of the leak detection mechanism 1 is broken. The chuck mechanism 84 is used for the laminated tube container 1
6 is a mechanism for gripping the open end of 6 and moving it in the length direction. The chuck mechanism 84 is arranged in a relative movement region between the gripping mechanism 83 and the gas injection mechanism 85.
In other words, the chuck mechanism 84 is arranged between the gripping mechanism 83 and the gas injection mechanism 85.

【００８３】まず、ロータリーフレーム８２の外周に
は、その軸線方向にリニアガイド１０７が固定されてい
る。リニアガイド１０７にはスライダー１０８が移動可
能に取り付けられている。スライダー１０８およびリニ
アガイド１０７がチャック支持機構１０７Ａに相当す
る。スライダー１０８における把持装置８３側の端部に
は、ボトムガイド１０９が固定されている。ボトムガイ
ド１０９はほぼ円筒形状に構成され、把持機構８３側か
らガス注入機構８５側に貫通した挿入孔１１０を備えて
いる。挿入孔１１０の内周面は、テーパ部１１１とスト
レート部１１２とに区分される。First, a linear guide 107 is fixed to the outer periphery of the rotary frame 82 in the axial direction thereof. A slider 108 is movably attached to the linear guide 107. The slider 108 and the linear guide 107 correspond to the chuck support mechanism 107A. A bottom guide 109 is fixed to an end of the slider 108 on the gripping device 83 side. The bottom guide 109 is formed in a substantially cylindrical shape and has an insertion hole 110 penetrating from the gripping mechanism 83 side to the gas injection mechanism 85 side. The inner peripheral surface of the insertion hole 110 is divided into a tapered portion 111 and a straight portion 112.

【００８４】ストレート部１１２は、テーパ部１１１よ
りもガス注入機構８５側に配置されている。テーパ部１
１１には、把持機構８３側からガス注入機構８５側に向
けて縮径する方向のテーパが設定されている。ストレー
ト部１１２の内径はほぼ均一に設定されている。テーパ
部１１１の最大内径は、ラミネートチューブ容器１６の
外径を越える値に設定されている。ストレート部１１２
の内径は、ラミネートチューブ容器１６の外径とほぼ同
一に設定されている。The straight portion 112 is arranged closer to the gas injection mechanism 85 than the tapered portion 111. Taper part 1
11, a taper is set in the direction in which the diameter is reduced from the gripping mechanism 83 side toward the gas injection mechanism 85 side. The inner diameter of the straight portion 112 is set to be substantially uniform. The maximum inner diameter of the tapered portion 111 is set to a value exceeding the outer diameter of the laminated tube container 16. Straight part 112
The inner diameter of is set to be substantially the same as the outer diameter of the laminated tube container 16.

【００８５】また、スライダー１０８の両側には、レバ
ー１１３が別個に取り付けられている。各レバー１１３
は支軸１１４を中心として回転可能に構成されている。
各レバー１１３は、異なる方向に延ばされた３本のアー
ム１１５，１１６，１１７を備えている。Levers 113 are separately attached to both sides of the slider 108. Each lever 113
Is configured to be rotatable around the support shaft 114.
Each lever 113 has three arms 115, 116, 117 extending in different directions.

【００８６】各アーム１１５は、ロータリーフレーム８
２の外側に向けて突出され、各アーム１１５にはロッド
１１８が別個に連結されている。各ロッド１１８にはク
ランパー（チャック）１１９が別個に連結されている。
各クランパー１１９はほぼ９０度に屈曲され、屈曲部分
の支軸１２０を中心として回転可能に構成されている。
各クランパー１１９の一部は挿入孔１１０の内部に配置
されている。上記ボトムガイド１０９とクランパー１１
９とにより、チャック機構８４が構成されている。Each arm 115 includes a rotary frame 8
2, the rod 118 is separately connected to each arm 115. A clamper (chuck) 119 is separately connected to each rod 118.
Each clamper 119 is bent at about 90 degrees and is configured to be rotatable about a support shaft 120 at the bent portion.
A part of each clamper 119 is arranged inside the insertion hole 110. The bottom guide 109 and the clamper 11
A chuck mechanism 84 is constituted by 9 and 9.

【００８７】また、各アーム１１７はガス注入機構８５
側に向けて突出され、各アーム１１７にはカムフォロワ
１２１が回転可能に取り付けられている。さらに、各ア
ーム１１６は把持機構８３側に向けて突出されている。
一方、スライダー１０８にはばね受け１２２が固定され
ており、ばね受け１２２と各アーム１１６とが引っ張り
ばね１２３により接続されている。Further, each arm 117 has a gas injection mechanism 85.
A cam follower 121 is rotatably attached to each arm 117 so as to project toward the side. Furthermore, each arm 116 is projected toward the gripping mechanism 83 side.
On the other hand, a spring receiver 122 is fixed to the slider 108, and the spring receiver 122 and each arm 116 are connected by a tension spring 123.

【００８８】一方、前記ロータリーフレーム８２の外周
におけるリニアガイド１０７の両側には、ロータリーフ
レーム８２の軸線方向にレバーカム１２４が別個に固定
されている。ロータリーフレーム８２の円周方向におけ
る各レバーカム１２４の固定位置と、ロータリーフレー
ム８２の円周方向における各カムフォロワ１２１の配置
位置とがほぼ同一に設定されている。各レバーカム１２
４には、第１カム面１２５と第２カム面１２６とが形成
されている。On the other hand, on both sides of the linear guide 107 on the outer periphery of the rotary frame 82, lever cams 124 are separately fixed in the axial direction of the rotary frame 82. The fixed position of each lever cam 124 in the circumferential direction of the rotary frame 82 and the arrangement position of each cam follower 121 in the circumferential direction of the rotary frame 82 are set to be substantially the same. Each lever cam 12
A first cam surface 125 and a second cam surface 126 are formed on the surface 4.

【００８９】そして、第１カム面１２５は、第２カム面
１２６よりもチャック機構８４に近い位置に配置されて
いる。ロータリーフレーム８２の軸線方向における第１
カム面１２５および第２カム面１２６の配置位置は、ラ
ミネートチューブ容器１６の長さに基づいて設定されて
いる。具体的には、把持機構８３からチャック機構８４
側に突出するラミネートチューブ容器１６の突出量に基
づいて設定されている。The first cam surface 125 is located closer to the chuck mechanism 84 than the second cam surface 126. First in the axial direction of the rotary frame 82
The positions of the cam surface 125 and the second cam surface 126 are set based on the length of the laminate tube container 16. Specifically, from the gripping mechanism 83 to the chucking mechanism 84
It is set based on the amount of protrusion of the laminated tube container 16 protruding to the side.

【００９０】ロータリーフレーム８２の外周面から第１
カム面１２５までの高さは、ロータリーフレーム８２の
外周面から第２カム面１２６までの高さよりも低く設定
されている。ここで、ロータリーフレーム８２の外周面
から第１カム面１２５までの高さは、アーム１１３が引
っ張りばね１２３により引かれた状態で、ロータリーフ
レーム８２の外周面からカムフォロワ１２１までの距離
とほぼ同一に設定されている。First from the outer peripheral surface of the rotary frame 82
The height to the cam surface 125 is set lower than the height from the outer peripheral surface of the rotary frame 82 to the second cam surface 126. Here, the height from the outer peripheral surface of the rotary frame 82 to the first cam surface 125 is substantially the same as the distance from the outer peripheral surface of the rotary frame 82 to the cam follower 121 when the arm 113 is pulled by the tension spring 123. It is set.

【００９１】つぎに、ガス注入機構８５の具体的な構成
を説明する。まず、図７および図１０に示すように、リ
ニアガイド１０７に沿って移動可能なスライダー１２７
が配置されている。スライダー１２７の把持機構８３側
の端部には、ノズルホルダー１２８が固定されている。Next, a specific structure of the gas injection mechanism 85 will be described. First, as shown in FIGS. 7 and 10, a slider 127 movable along the linear guide 107.
Are arranged. A nozzle holder 128 is fixed to the end of the slider 127 on the gripping mechanism 83 side.

【００９２】ノズルホルダー１２８には注入ノズル本体
１２９が固定されている。注入ノズル本体１２９は、ラ
ミネートチューブ容器１６の内部に検査ガスを注入する
ためのものである。注入ノズル本体１２９はほぼ円柱形
状に構成されている。注入ノズル本体１２９の外径は、
ラミネートチューブ容器１６の内径未満に設定されてい
る。The injection nozzle body 129 is fixed to the nozzle holder 128. The injection nozzle body 129 is for injecting the inspection gas into the laminate tube container 16. The injection nozzle body 129 has a substantially columnar shape. The outer diameter of the injection nozzle body 129 is
It is set to be smaller than the inner diameter of the laminated tube container 16.

【００９３】また、図１３に示すように、注入ノズル１
２９は中空に構成されている。注入ノズル本体１２９の
先端側には、空気供給路１３０およびガス供給路１３１
が形成されている。注入ノズル本体１２９の内部には、
空気供給管１３２およびガス供給管１３３の一端が配置
されている。空気供給管１３２の一端が空気供給路１３
０に接続され、ガス供給管１３３の一端がガス供給路１
３１に接続されている。Further, as shown in FIG. 13, the injection nozzle 1
29 is hollow. An air supply path 130 and a gas supply path 131 are provided on the tip side of the injection nozzle body 129.
Are formed. Inside the injection nozzle body 129,
One ends of the air supply pipe 132 and the gas supply pipe 133 are arranged. One end of the air supply pipe 132 has one end
0, and one end of the gas supply pipe 133 is connected to the gas supply path 1
It is connected to 31.

【００９４】さらに、注入ノズル本体１２９の先端外周
には、環状のシール部材１３４が取り付けられている。
シール部材１３４はゴム状弾性材料（エラストマー）に
より構成されている。シール部材１３４の内周側には、
環状の膨張室１３５が形成されている。そして、空気供
給路１３０が膨張室１３５に連通されている。Further, an annular seal member 134 is attached to the outer periphery of the tip of the injection nozzle body 129.
The seal member 134 is made of a rubber-like elastic material (elastomer). On the inner peripheral side of the seal member 134,
An annular expansion chamber 135 is formed. The air supply passage 130 is in communication with the expansion chamber 135.

【００９５】注入ノズル本体１２９の先端にはヘッドピ
ース１３６が固定されている。ヘッドピース１３６には
ガス供給路１３７が形成されている。ガス供給路１３７
はガス供給路１３１に連通されている。上記スライダー
１２７と注入ノズル本体１２９とヘッドピース１３６と
プレート１３８とにより、ガス注入機構８５が構成され
ている。A head piece 136 is fixed to the tip of the injection nozzle body 129. A gas supply path 137 is formed in the head piece 136. Gas supply path 137
Are connected to the gas supply path 131. The slider 127, the injection nozzle body 129, the head piece 136, and the plate 138 form a gas injection mechanism 85.

【００９６】一方、図７および図１２に示すように、前
記スライダー１２７にはプレート１３８が固定されてい
る。図１４は、図１２のＸIV−ＸIV線における断面図で
ある。プレート１３８のフレーム２２側の端部にはブラ
ケット１３９が固定されている。ブラケット１３９は、
一対の側板１４０と、一対の側板１４０同士の端部を接
続した接続板１４１とを備えている。接続板１４１のリ
フトカム５９側には、ローラーフォロワ１４２が回転可
能に取り付けられている。On the other hand, as shown in FIGS. 7 and 12, a plate 138 is fixed to the slider 127. FIG. 14 is a sectional view taken along line XIV-XIV in FIG. A bracket 139 is fixed to the end of the plate 138 on the frame 22 side. The bracket 139 is
It is provided with a pair of side plates 140 and a connection plate 141 that connects the ends of the pair of side plates 140. A roller follower 142 is rotatably attached to the lift cam 59 side of the connection plate 141.

【００９７】また、ロータリーフレーム８２のフレーム
２２側には、軸線方向にスリット１４３が形成されてい
る。スリット１４３はリニアガイド１０７の両側に２本
を１組として形成されている。そして、一対の側板１４
０がスリット１４３内に軸線方向に移動可能に配置され
ている。さらに、ローラーフォロワ１４２が、カム溝６
１Ａ内に転動可能に配置されている。したがって、ロー
タリーフレーム８２が回転した場合は、ローラーフォロ
ワ１４２がカム溝６１Ａに沿って移動する。その結果、
ガス注入機構８５が、ロータリーフレーム８２の軸線Ｂ
１方向に移動する。On the frame 22 side of the rotary frame 82, a slit 143 is formed in the axial direction. Two slits 143 are formed on each side of the linear guide 107 as one set. Then, the pair of side plates 14
0 is arranged in the slit 143 so as to be movable in the axial direction. Further, the roller follower 142 is provided with the cam groove 6
It is rollably arranged in 1A. Therefore, when the rotary frame 82 rotates, the roller follower 142 moves along the cam groove 61A. as a result,
The gas injection mechanism 85 has the axis B of the rotary frame 82.
Move in one direction.

【００９８】図１５ないし図１７は、把持機構８３とチ
ャック機構８４とガス注入機構８５と漏洩検出部８６と
の対応関係を示し、一部を破断した模式図である。そし
て、チャック機構８４とガス注入機構８５とが相対移動
制御機構１３８Ｅにより連結されている。FIGS. 15 to 17 are schematic views in which a part of the holding mechanism 83, the chuck mechanism 84, the gas injecting mechanism 85, and the leakage detecting portion 86 are cut away. The chuck mechanism 84 and the gas injection mechanism 85 are connected by the relative movement control mechanism 138E.

【００９９】この相対移動制御機構１３８Ｅは、ラミネ
ートチューブ容器１６の開口端１７８がチャック機構８
４により掴まれていない場合は、チャック機構８４とガ
ス注入機構８５との相対移動を防止する機能を備えてい
る。また、相対移動制御機構１３８Ｅは、ラミネートチ
ューブ容器１６の開口端１７８がチャック機構８４によ
り掴まれた場合は、チャック機構８４とガス注入機構８
５との相対移動を許容する機能を備えている。In this relative movement control mechanism 138E, the opening end 178 of the laminated tube container 16 is chucked by the chuck mechanism 8.
When it is not gripped by No. 4, it has a function of preventing relative movement between the chuck mechanism 84 and the gas injection mechanism 85. Further, when the opening end 178 of the laminate tube container 16 is gripped by the chuck mechanism 84, the relative movement control mechanism 138E detects the chuck mechanism 84 and the gas injection mechanism 8.
It has a function of allowing relative movement with respect to 5.

【０１００】以下、相対移動制御機構１３８Ｅの構成を
具体的に説明する。スライダー１０８には、貫通孔が形
成されたガイド部１０８Ａが固定されている。また、プ
レート１３８には突出部１３８Ａが固定されている。そ
して、突出部１３８Ａに固定されたロッド１３８Ｂが、
ガイド部１０８Ａの貫通孔に挿入されている。The structure of the relative movement control mechanism 138E will be specifically described below. A guide portion 108A having a through hole is fixed to the slider 108. Further, a protrusion 138A is fixed to the plate 138. Then, the rod 138B fixed to the protrusion 138A is
It is inserted into the through hole of the guide portion 108A.

【０１０１】ロッド１３８Ｂは、ガイド部１０８Ａに対
して長手方向に移動可能であり、自由端にはストッパー
１３８Ｃが形成されている。ストッパー１３８Ｃの外径
は、ガイド部１０８Ａの貫通孔の開口径よりも大きく設
定されている。さらに、ロッド１３８Ｂの外周には圧縮
ばね１３８Ｄが巻き付けられている。上記突出部１３８
Ａとロッド１３８Ｂとガイド部１０８Ａとストッパー１
３８Ｃと圧縮ばね１３８Ｄとにより、相対移動制御機構
１３８Ｅが構成されている。The rod 138B is movable in the longitudinal direction with respect to the guide portion 108A, and a stopper 138C is formed at its free end. The outer diameter of the stopper 138C is set to be larger than the opening diameter of the through hole of the guide portion 108A. Further, a compression spring 138D is wound around the outer circumference of the rod 138B. The protrusion 138
A, rod 138B, guide portion 108A, and stopper 1
A relative movement control mechanism 138E is configured by 38C and the compression spring 138D.

【０１０２】前記プレート１３８のフレーム２２側には
切換弁１４４が取り付けられている。切換弁１４４は、
ガス注入機構８５の一部を構成している。また、プレー
ト１３８にはマニホールド１４５が取り付けられてい
る。そして、切換弁１４４の流入口（図示せず）には空
気供給管１４６およびガス供給管１４７が接続されてい
る。A switching valve 144 is attached to the plate 138 on the frame 22 side. The switching valve 144 is
It constitutes a part of the gas injection mechanism 85. A manifold 145 is attached to the plate 138. An air supply pipe 146 and a gas supply pipe 147 are connected to the inflow port (not shown) of the switching valve 144.

【０１０３】前記ロータリーフレーム８２の外周には、
マニホールド１４８が取り付けられている。そして、空
気供給管１４９およびガス供給管１５０が、マニホール
ド１４５およびマニホールド１４８に接続されている。
空気供給管１４９およびガス供給管１５０は可撓性の材
料により構成され、かつ、螺旋形状に成形されている。
したがって、空気供給管１４９およびガス供給管１５０
は伸縮可能である。On the outer periphery of the rotary frame 82,
A manifold 148 is attached. The air supply pipe 149 and the gas supply pipe 150 are connected to the manifold 145 and the manifold 148.
The air supply pipe 149 and the gas supply pipe 150 are made of a flexible material and are formed in a spiral shape.
Therefore, the air supply pipe 149 and the gas supply pipe 150
Is expandable.

【０１０４】さらに、ロータリーフレーム８２における
マニホールド１４８の側方には、ロータリーフレーム８
２を半径方向に貫通する孔１５１が形成されている。そ
して、空気供給管７７およびガス供給管７８が孔１５１
を通過してマニホールド１４８に接続されている。前記
切換弁１４４の流出口（図示せず）には、空気供給管１
３２およびガス供給管１３３が接続されている。Further, on the side of the manifold 148 in the rotary frame 82, the rotary frame 8 is provided.
A hole 151 is formed to penetrate 2 in the radial direction. Then, the air supply pipe 77 and the gas supply pipe 78 are provided with holes 151.
And is connected to the manifold 148. At the outlet (not shown) of the switching valve 144, the air supply pipe 1
32 and the gas supply pipe 133 are connected.

【０１０５】また、切換弁１４４には複数のアームレバ
ー１５２が取り付けられており、各アームレバー１５２
の動作により、流入口と流出口とが開閉される。各アー
ムレバー１５２の先端には、ローラ１５３が回転可能に
取り付けられている。A plurality of arm levers 152 are attached to the switching valve 144, and each arm lever 152 is attached.
By the operation of, the inflow port and the outflow port are opened and closed. A roller 153 is rotatably attached to the tip of each arm lever 152.

【０１０６】一方、図７および図１２に示すように、前
記フレーム２２にはガス注入制御機構１５４が取り付け
られている。ガス注入制御機構１５４は、ガス注入機構
８５による検査ガスの注入または停止を制御するための
機構である。ガス注入制御機構１５４は、容器検出セン
サ８８Ａの検出結果に基づいて、その動作が制御される
ように構成されている。リフトカム５９の円周方向に対
応するガス注入制御機構１５４の配置位置は、図８に示
す第２カム溝６１Ｃに対応して設定されている。以下、
ガス注入制御機構１５４の構成を具体的に説明する。On the other hand, as shown in FIGS. 7 and 12, a gas injection control mechanism 154 is attached to the frame 22. The gas injection control mechanism 154 is a mechanism for controlling the injection or stop of the inspection gas by the gas injection mechanism 85. The gas injection control mechanism 154 is configured to control its operation based on the detection result of the container detection sensor 88A. The arrangement position of the gas injection control mechanism 154 corresponding to the circumferential direction of the lift cam 59 is set corresponding to the second cam groove 61C shown in FIG. Less than,
The configuration of the gas injection control mechanism 154 will be specifically described.

【０１０７】まず、フレーム２２にはスタンド１５５が
固定されている。スタンド１５５はアッパーテーブル８
７側に向けて突出されている。スタンド１５５の自由端
にはストラットクランプ１５６が固定されている。スト
ラットクランプ１５６にはカム１５７が固定されてい
る。さらに、フレーム２２にはユニットベース１５８が
固定されている。ユニットベース１５８は、フレーム２
２からアッパーテーブル８７側に向けて突出されてい
る。First, a stand 155 is fixed to the frame 22. The stand 155 is the upper table 8
It is projected toward the 7 side. A strut clamp 156 is fixed to the free end of the stand 155. A cam 157 is fixed to the strut clamp 156. Further, a unit base 158 is fixed to the frame 22. The unit base 158 is a frame 2
2 is projected toward the upper table 87 side.

【０１０８】ユニットベース１５８の自由端にはシリン
ダ１５９が取り付けられている。シリンダ１５９は、出
没可能なプランジャ１６０を備えており、プランジャ１
６０の先端にはカム１６１が固定されている。このよう
にして、カム１５７とカム１６１とが対向して配置され
ている。シリンダ１５９の動作は、制御装置（図示せ
ず）の制御信号により制御される。上記シリンダ１５９
とプランジャ１６０とカム１５７，１６１とにより、ガ
ス注入制御機構１５４が構成されている。A cylinder 159 is attached to the free end of the unit base 158. The cylinder 159 is provided with a retractable plunger 160.
A cam 161 is fixed to the tip of 60. In this way, the cam 157 and the cam 161 are arranged to face each other. The operation of the cylinder 159 is controlled by a control signal from a control device (not shown). The cylinder 159
The plunger 160 and the cams 157 and 161 constitute a gas injection control mechanism 154.

【０１０９】ここで、図７および図９、図１０ならびに
図１３に基づいて、漏洩検出部８６の構成を説明する。
アッパーテーブル８７にはチューブガイド１６２が固定
されている。チューブガイド１６２は円柱形状に構成さ
れ、一方の端面に開口する雰囲気ガス導入室１６３を備
えている。雰囲気ガス導入室１６３はラミネートチュー
ブ容器１６のヘッドピース１７５に対応する形状に構成
されている。そして、チューブガイド１６２の外周面と
雰囲気ガス導入室１６３とを連通する通気路１６４が形
成されている。通気路１６４は、検査室２の内部Ａ２の
雰囲気ガスを雰囲気ガス導入室１６３の内部に導入する
ためのものである。Here, the configuration of the leakage detection unit 86 will be described with reference to FIGS. 7 and 9, 10 and 13.
A tube guide 162 is fixed to the upper table 87. The tube guide 162 is formed in a columnar shape, and is provided with an atmospheric gas introduction chamber 163 that is open at one end surface. The atmosphere gas introduction chamber 163 is formed in a shape corresponding to the head piece 175 of the laminated tube container 16. A ventilation passage 164 is formed to connect the outer peripheral surface of the tube guide 162 and the atmospheric gas introduction chamber 163. The ventilation path 164 is for introducing the atmospheric gas of the inside A2 of the inspection chamber 2 into the inside of the atmospheric gas introducing chamber 163.

【０１１０】また、チューブガイド１６２の他方の端面
と雰囲気ガス導入室１６３とを連通する通気路１６５が
形成されている。さらに、チューブガイド１６２におけ
る通気路１６５の開口部側には、キャップ１６６が固定
されている。さらにまた、チューブガイド１６２には、
雰囲気ガス導入室１６３と、キャップ１６６側の端面と
を連通する通気路１６７が形成されている。そして、通
気路１６５およびキャップ１６６には吸引管１６８が接
続されている。A ventilation passage 165 is formed to connect the other end surface of the tube guide 162 and the atmosphere gas introduction chamber 163. Further, a cap 166 is fixed to the tube guide 162 at the opening side of the ventilation path 165. Furthermore, the tube guide 162 has
A ventilation path 167 is formed to connect the atmosphere gas introduction chamber 163 and the end surface on the cap 166 side. Then, the suction pipe 168 is connected to the air passage 165 and the cap 1 66.

【０１１１】一方、アッパーテーブル８７におけるスタ
ンド７２側の側面には、濃度検出器１６９が取り付けら
れている。そして、吸引管１６８が濃度検出器１６９に
接続されている。濃度検出器１６９は、吸引管１６８に
接続された吸引ポンプ（図示せず）と、非分散型の赤外
線検出器（図示せず）とを備えている。つまり、雰囲気
ガス導入室１６３の雰囲気ガスが吸引ポンプにより吸引
され、雰囲気ガスに赤外線が照射される。そして、雰囲
気ガスの赤外線の吸収度合いを電気的にピックアップす
ることにより、雰囲気ガス中の検査用ガスの濃度が検出
される。On the other hand, a concentration detector 169 is attached to the side surface of the upper table 87 on the stand 72 side. The suction tube 168 is connected to the concentration detector 169. The concentration detector 169 includes a suction pump (not shown) connected to the suction pipe 168 and a non-dispersion type infrared detector (not shown). That is, the ambient gas in the ambient gas introduction chamber 163 is sucked by the suction pump, and the ambient gas is irradiated with infrared rays. Then, the concentration of the inspection gas in the atmospheric gas is detected by electrically picking up the degree of infrared absorption of the atmospheric gas.

【０１１２】上記濃度検出器１６９は、マザーボードユ
ニット（コントローラ）１６９Ａに接続されている。マ
ザーボードユニット１６９Ａは、演算処理装置および記
憶装置および入出力インターフェースを備えたマイクロ
コンピュータにより構成されている。マザーボードユニ
ット１６９Ａの記憶装置には、予めガス漏れの判断基準
となるデータが記憶されている。そして、濃度検出器１
６９により検出されたデータと基準データとが比較さ
れ、その比較結果が外部に出力されるように構成されて
いる。The concentration detector 169 is connected to the mother board unit (controller) 169A. The motherboard unit 169A is composed of a microcomputer including an arithmetic processing unit, a storage device, and an input / output interface. The storage device of the motherboard unit 169A stores in advance data serving as a criterion for gas leak determination. And the concentration detector 1
The data detected by 69 is compared with the reference data, and the comparison result is output to the outside.

【０１１３】また、アッパーテーブル８７には、マザー
ボードユニット１６９Ａおよび濃度検出器１６９に対応
するブラケット１７０が取り付けられている。ブラケッ
ト１７０には伝送カプラ１７１が取り付けられている。Further, a bracket 170 corresponding to the motherboard unit 169A and the concentration detector 169 is attached to the upper table 87. A transmission coupler 171 is attached to the bracket 170.

【０１１４】一方、スタンド７２側にはステー１７２が
固定されており、ステー１７２には伝送カプラ１７３が
取り付けられている。ロータリーフレーム８２の軸線方
向において、伝送カプラ１７１と伝送カプラ１７３とが
ほぼ同位置に配置されている。そして、ロータリーフレ
ーム８２の回転に伴い、マザーボードユニット１６９Ａ
から出力された信号が、伝送カプラ１７１，１７３を経
て制御装置に送られる。上記チューブガイド１６２とキ
ャップ１６６と吸引管１６８と濃度検出器１６９とマザ
ーボードユニット１６９Ａとにより、漏洩検出部８６が
構成されている。また、複数の把持機構８３と、複数の
チャック機構８４と、複数のガス注入機構８５と、複数
の漏洩検出部８６と、ガス注入制御機構１５４とによ
り、この発明のガス漏れ検出部が構成されている。On the other hand, a stay 172 is fixed to the stand 72 side, and a transmission coupler 173 is attached to the stay 172. In the axial direction of the rotary frame 82, the transmission coupler 171 and the transmission coupler 173 are arranged at substantially the same position. Then, as the rotary frame 82 rotates, the motherboard unit 169A
The signal output from is transmitted to the control device via the transmission couplers 171 and 173. The tube guide 162, the cap 166, the suction tube 168, the concentration detector 169, and the mother board unit 169A constitute a leak detection unit 86. Further, the plurality of gripping mechanisms 83, the plurality of chuck mechanisms 84, the plurality of gas injection mechanisms 85, the plurality of leakage detection units 86, and the gas injection control mechanism 154 constitute the gas leakage detection unit of the present invention. ing.

【０１１５】なお、図１に示すように、繰出コンベアー
１５側にはエアーノズル１７４が配置されている。この
エアーノズル１７４は、ガス漏れの検出されたラミネー
トチューブ容器１６を繰出コンベアー１５から除去する
ためのものである。このエアーノズル１７４は制御装置
により制御される。As shown in FIG. 1, an air nozzle 174 is arranged on the delivery conveyor 15 side. The air nozzle 174 is for removing the laminate tube container 16 in which gas leakage is detected from the feeding conveyor 15. The air nozzle 174 is controlled by the controller.

【０１１６】ここで、漏洩検出機構１および繰入装置２
０ならびに繰出装置２１により構成される漏洩検査装置
Ｒ１の全体を制御する制御装置について説明する。この
制御装置は演算処理装置および記憶装置および入出力イ
ンターフェースなどを主体とするマイクロコンピュータ
により構成されている。Here, the leak detection mechanism 1 and the feeding device 2
A control device for controlling the whole of the leakage inspection device R1 constituted by 0 and the feeding device 21 will be described. This control unit is composed of a microcomputer mainly including an arithmetic processing unit, a storage unit, an input / output interface and the like.

【０１１７】この制御装置には、エンコーダ５７の出力
信号と、容器検出センサ８８Ａの出力信号と、マザーボ
ードユニット１６９Ａの出力信号とが入力される。そし
て、制御装置は、入力された信号に基づいて、サーボモ
ータ４６とシリンダ１５９とエアーノズル１７４とを制
御する。The output signal of the encoder 57, the output signal of the container detection sensor 88A, and the output signal of the motherboard unit 169A are input to this control device. Then, the control device controls the servo motor 46, the cylinder 159, and the air nozzle 174 based on the input signal.

【０１１８】また、図１３に基づいて、漏洩検出機構１
で検査されるラミネートチューブ容器１６の概略的な構
成を説明する。ラミネートチューブ容器１６は、低酸性
の流動性食品、または栄養補助食品、または歯磨材など
の充填に使用される。また、ラミネートチューブ容器１
６は内容物のレトルト殺菌および長期保存が可能であ
る。ラミネートチューブ容器１６はヘッドピース１７５
と円筒部１７６とを備えている。Also, based on FIG. 13, the leak detection mechanism 1
The schematic configuration of the laminated tube container 16 inspected in 1. will be described. The laminated tube container 16 is used for filling a low-acidity fluid food, a dietary supplement, or a toothpaste. Also, the laminated tube container 1
No. 6 is capable of retort sterilization of contents and long-term storage. The laminated tube container 16 is a head piece 175.
And a cylindrical portion 176.

【０１１９】ヘッドピース１７５は、金属箔と樹脂とを
積層した材料により円錐形状に一体成形されている。ま
た、円筒部１７６は、樹脂膜と金属箔とを積層した材料
から構成されている。樹脂としてはポリプロピレンが例
示され、金属箔としてはアルミが例示される。そして、
ヘッドピース１７５と円筒部１７６とが接合されてい
る。また、ヘッドピース１７５の内面側に金属箔１７７
が接着され、その開口部がシールされている。したがっ
て、円筒部１７６は可撓性を備えている。The head piece 175 is integrally formed in a conical shape from a material in which a metal foil and a resin are laminated. The cylindrical portion 176 is made of a material in which a resin film and a metal foil are laminated. Polypropylene is exemplified as a resin, it is a gold Shokuhaku aluminum is exemplified. And
The head piece 175 and the cylindrical portion 176 are joined together. In addition, a metal foil 177 is provided on the inner surface side of the headpiece 175.
Are bonded and the opening is sealed. Therefore, the cylindrical portion 176 has flexibility.

【０１２０】つぎに、漏洩検出機構１および繰入装置２
０および繰出装置２１の動作を説明する。まず、図１に
示すように、繰入コンベアー１４によりラミネートチュ
ーブ容器１６が搬送される。そして、図２に示すよう
に、ラミネートチューブ容器１６が繰入口１２を通過し
て検査室２の内部Ａ２に搬入される。Next, the leak detection mechanism 1 and the feeding device 2
The operation of 0 and the feeding device 21 will be described. First, as shown in FIG. 1, the laminating tube container 16 is conveyed by the feeding conveyor 14. Then, as shown in FIG. 2, the laminate tube container 16 passes through the feeding port 12 and is carried into the inside A2 of the inspection chamber 2.

【０１２１】一方、図６に示すように、サーボモータ４
６から出力された動力が、プーリ４８およびタイミング
ベルト５１およびドライブシャフト４９およびギヤ５３
を介してギヤ４４に伝達される。その結果、ギヤ４４お
よびギヤ６６およびギヤ４４Ａおよびギヤ５５が、各々
矢印方向に回転する。On the other hand, as shown in FIG.
The power output from 6 drives the pulley 48, the timing belt 51, the drive shaft 49, and the gear 53.
Is transmitted to the gear 44 via. As a result, the gear 44, the gear 66, the gear 44A, and the gear 55 each rotate in the arrow direction.

【０１２２】ここで、ギヤ５５の回転数がエンコーダー
５７により検出され、エンコーダー５７の検出信号が制
御装置に入力される。そして、繰入コンベアー１４およ
び繰出コンベアー１５の動作タイミングと、繰入装置２
０および繰出装置２１の動作タイミングとが同期するよ
うに、サーボモータ４６の回転数が制御される。Here, the rotation speed of the gear 55 is detected by the encoder 57, and the detection signal of the encoder 57 is input to the control device. The operation timing of the feeding conveyor 14 and the feeding conveyor 15 and the feeding device 2
The rotation speed of the servo motor 46 is controlled so that 0 and the operation timing of the feeding device 21 are synchronized.

【０１２３】上記ギヤ４４に動力が伝達されると、図３
に示すように、繰入装置２０のドライブシャフト２８お
よびロータリーホイール３０が時計方向に回転する。す
ると、図５に示すように、カムフォロワ４３Ａがカム溝
２７に沿って転動し、アームバー３５がカム溝２７に沿
って移動する。When power is transmitted to the gear 44, as shown in FIG.
As shown in, the drive shaft 28 and the rotary wheel 30 of the feeding device 20 rotate clockwise. Then, as shown in FIG. 5, the cam follower 43A rolls along the cam groove 27, and the arm bar 35 moves along the cam groove 27.

【０１２４】そして、アームバー３５が繰入コンベアー
１４に接近すると、バキュームパット３６による吸気が
開始される。このため、繰入コンベアー１４により搬送
されているラミネートチューブ容器１６が、バキューム
パット３６により真空吸着される。そして、ラミネート
チューブ容器１６は、ロータリーホイール３０の回転に
よりカム溝２７に形状に沿って漏洩検出機構１側に移送
される。Then, when the arm bar 35 approaches the feeding conveyor 14, suction by the vacuum pad 36 is started. Therefore, the laminated tube container 16 conveyed by the feeding conveyor 14 is vacuum-adsorbed by the vacuum pad 36. Then, the laminated tube container 16 is transferred to the leak detection mechanism 1 side along the shape of the cam groove 27 by the rotation of the rotary wheel 30.

【０１２５】一方、ギヤ６６の回転はメインシャフト６
４を介してロータリーフレーム８２に伝達され、ロータ
リーフレーム８２が、図３の反時計方向に回転する。つ
まり、ロータリーフレーム８２が、軸線Ｂ１を中心とし
て回転する。そして、図３および図７に示すように、所
定の把持機構８３およびチャック機構８４ならびにガス
注入機構８５が、ロータリーフレーム８２の下側に移動
した場合、図８に示すように、対応するガス注入機構８
５のローラーフォロワ１４２が第１溝部６１Ｂを転動す
る。したがって、チャック機構８４およびガス注入機構
８５が図７の下側に示すように、フレーム２２に最も近
い箇所に位置する。On the other hand, the rotation of the gear 66 is the main shaft 6
4 is transmitted to the rotary frame 82, and the rotary frame 82 rotates counterclockwise in FIG. That is, the rotary frame 82 rotates about the axis B1. Then, as shown in FIGS. 3 and 7, when the predetermined gripping mechanism 83, chuck mechanism 84, and gas injection mechanism 85 move to the lower side of the rotary frame 82, as shown in FIG. Mechanism 8
The roller follower 142 of No. 5 rolls in the first groove portion 61B. Therefore, the chuck mechanism 84 and the gas injection mechanism 85 are located at the position closest to the frame 22, as shown in the lower side of FIG. 7.

【０１２６】また、把持機構８３のローラーフォロワ９
９が第２カム面１０３に当接しながら転動する。このた
め、図１１に示すように、リンクレバー９７が二点鎖線
の位置に動作し、アームレバー９８が下側に引かれてい
る。アームレバー９８の動作はリンクレバー９３に伝達
されてギヤ９１が所定方向に回転し、一対のチューブホ
ルダー９２が開放されている。Further, the roller follower 9 of the gripping mechanism 83
9 rolls while contacting the second cam surface 103. Therefore, as shown in FIG. 11, the link lever 97 is moved to the position indicated by the chain double-dashed line, and the arm lever 98 is pulled downward. The operation of the arm lever 98 is transmitted to the link lever 93, the gear 91 rotates in a predetermined direction, and the pair of tube holders 92 are opened.

【０１２７】そして、ロータリーフレーム８２の回転に
伴ってローラーフォロワ９９が第２カム面１０３から第
１カム面１０２に移行する。すると、図１１においてリ
ンクレバー９７が時計方向に回転し、アームレバー９８
が上側に動作する。アームレバー９８の動作によりギヤ
９１が回転し、一対のチューブホルダー９２が閉じられ
る。Then, as the rotary frame 82 rotates, the roller follower 99 moves from the second cam surface 103 to the first cam surface 102. Then, in FIG. 11, the link lever 97 rotates clockwise, and the arm lever 98
Moves upward. The gear 91 is rotated by the operation of the arm lever 98, and the pair of tube holders 92 are closed.

【０１２８】その結果、繰入装置２０のバキュームパッ
ト３６により吸着されているラミネートチューブ容器１
６が、把持面８９および一対のチューブホルダー９２に
より把持される。ここで、容器検出センサ８８Ａにより
ラミネートチューブ容器１６の把持が検出され、容器検
出センサ８８Ａの出力信号が制御装置に送られる。な
お、ラミネートチューブ容器１６を一対のチューブホル
ダー９２に受け渡したバキュームパット３６は、空気の
吸引が停止される。As a result, the laminated tube container 1 adsorbed by the vacuum pad 36 of the feeding device 20.
6 is gripped by the gripping surface 89 and the pair of tube holders 92. Here, gripping of the laminated tube container 16 is detected by the container detection sensor 88A, and the output signal of the container detection sensor 88A is sent to the control device. The vacuum pad 36 that has delivered the laminated tube container 16 to the pair of tube holders 92 stops the suction of air.

【０１２９】さらにロータリーフレーム８２が回転され
ると、ローラーフォロワ１４２が第１溝部６１Ｂから第
３溝部６１Ｄに移動する。このため、スライダー１２７
が把持機構８３側に移動を開始する。また、図１５に示
すように、スライダー１２７の移動力が圧縮ばね１３８
Ｄによりスライダー１０８に伝達され、スライダー１２
７とスライダー１０８とがほぼ一体的に把持機構８３側
に移動する。When the rotary frame 82 is further rotated, the roller follower 142 moves from the first groove portion 61B to the third groove portion 61D. Therefore, the slider 127
Starts moving to the gripping mechanism 83 side. Further, as shown in FIG. 15, the moving force of the slider 127 causes the compression spring 138 to move.
D is transmitted to the slider 108, and the slider 12
7 and the slider 108 move to the gripping mechanism 83 side almost integrally.

【０１３０】スライダー１２７とスライダー１０８と
が、所定距離を把持機構８３側に移動すると、ラミネー
トチューブ容器１６の開口端１７８がボトムガイド１０
９の挿入孔１１０内に進入する。ここで、ラミネートチ
ューブ容器１６の開口端１７８が、ほぼ真円形状以外の
形状に変形していた場合は、テーパ部１１１に当接して
ほぼ真円形状に矯正される。When the slider 127 and the slider 108 move to the gripping mechanism 83 side by a predetermined distance, the open end 178 of the laminate tube container 16 is moved to the bottom guide 10.
9 into the insertion hole 110. Here, when the open end 178 of the laminated tube container 16 is deformed into a shape other than a substantially circular shape, it abuts the tapered portion 111 and is corrected to a substantially circular shape.

【０１３１】一方、スライダー１０８の移動中は、カム
フォロワ１２１がレバーカム１２４の第２カム面１２６
に沿って転動している。このため、図１０に示すレバー
１１３が、引っ張りばね１２３の弾性力に抗して反時計
方向に回転付勢されている。つまり、ロッド１１８が把
持機構８３側に動作し、一対のクランパー１１９が開放
されている。On the other hand, while the slider 108 is moving, the cam follower 121 moves the second cam surface 126 of the lever cam 124.
Is rolling along. Therefore, the lever 113 shown in FIG. 10 is rotationally biased counterclockwise against the elastic force of the tension spring 123. That is, the rod 118 operates toward the gripping mechanism 83, and the pair of clampers 119 are opened.

【０１３２】そして、スライダー１０８およびスライダ
ー１２７が、さらに把持機構８３側に移動すると、ラミ
ネートチューブ容器１６の開口端１７８が一対のクラン
パー１１９に当接する。また、カムフォロワ１２１が第
２カム面１２６から第１カム面１２５に移動する。この
ため、図１０に示すように、レバー１１３が引っ張りば
ね１２３の弾性力により時計方向に回転され、一対のク
ランパー１１９が閉じられる。したがって、図１６に示
すように、ラミネートチューブ容器１６の開口端１７８
が、一対のクランパー１１９とボトムガイド１０９とに
より挟持固定される。When the slider 108 and the slider 127 are further moved to the gripping mechanism 83 side, the open end 178 of the laminate tube container 16 comes into contact with the pair of clampers 119. Further, the cam follower 121 moves from the second cam surface 126 to the first cam surface 125. Therefore, as shown in FIG. 10, the lever 113 is rotated clockwise by the elastic force of the tension spring 123, and the pair of clampers 119 are closed. Therefore, as shown in FIG. 16, the open end 178 of the laminated tube container 16 is
Are clamped and fixed by the pair of clampers 119 and the bottom guide 109.

【０１３３】ラミネートチューブ容器１６の開口端１７
８が一対のクランパー１１９に当接すると、スライダー
１０８およびスライダー１２７の移動力がラミネートチ
ューブ容器１６に伝達される。ここで、ラミネートチュ
ーブ容器１６に伝達される移動力の方が、把持機構８３
からラミネートチューブ容器１６に与えられる把持力よ
りも大きいため、ラミネートチューブ容器１６がチュー
ブガイド１６２側に移動する。Open End 17 of Laminate Tube Container 16
When 8 contacts the pair of clampers 119, the moving force of the sliders 108 and 127 is transmitted to the laminated tube container 16. Here, the moving force transmitted to the laminate tube container 16 is the gripping mechanism 83.
Larger than the gripping force applied to the pressurizing et laminate tube container 16, a laminate tube container 16 is moved to the tube guide 162 side.

【０１３４】その後、図１３に示すように、ラミネート
チューブ容器１６のヘッドピース１７５が、チューブガ
イド１６２の雰囲気ガス導入室１６３に進入し、ヘッド
ピース１７５が雰囲気ガス導入室１６３の内周面に当接
する。すると、ラミネートチューブ容器１６が停止し、
かつ、ラミネートチューブ容器１６の剛性によりスライ
ダー１０８が停止する。このため、図１７に示すよう
に、スライダー１２７から圧縮ばね１３８Ｄに伝達され
る移動力が、圧縮ばね１３８Ｄの収縮により吸収され
る。したがって、ガス注入機構８５だけが移動して注入
ノズル本体１２９がラミネートチューブ容器１６の内部
に挿入される。Thereafter, as shown in FIG. 13, the head piece 175 of the laminated tube container 16 enters the atmospheric gas introducing chamber 163 of the tube guide 162, and the head piece 175 contacts the inner peripheral surface of the atmospheric gas introducing chamber 163. Contact. Then, the laminated tube container 16 is stopped,
Moreover, the slider 108 stops due to the rigidity of the laminated tube container 16. Therefore, as shown in FIG. 17, the moving force transmitted from the slider 127 to the compression spring 138D is absorbed by the contraction of the compression spring 138D. Therefore, only the gas injection mechanism 85 moves and the injection nozzle body 129 is inserted into the laminate tube container 16.

【０１３５】そして、ロータリーフレーム８２の回転に
伴ってローラーフォロワ１４２が第２溝部６１Ｃに到達
すると、スライダー１２７および注入ノズル本体１２９
が停止する。その結果、図１３に示すように、注入ノズ
ル本体１２９のヘッドピース１３６が、ラミネートチュ
ーブ容器１６のヘッドピース１７５の内部で停止する。When the roller follower 142 reaches the second groove 61C as the rotary frame 82 rotates, the slider 127 and the injection nozzle body 129 are moved.
Stops. As a result, as shown in FIG. 13, the headpiece 136 of the injection nozzle body 129 stops inside the headpiece 175 of the laminate tube container 16.

【０１３６】さらにロータリーフレーム８２が回転する
と、図１２に示すように切換弁１４４がカム１５７とカ
ム１６１との間に進入する。ここで、容器検出センサ８
８Ａによりラミネートチューブ容器１６が有ることが検
出されていた場合は、制御装置からシリンダ１５９に制
御信号が出力される。その結果、ラミネートチューブ容
器１６が検出された後、ロータリーフレーム８２が所定
角度回転された時点でプランジャ１６０が突出し、カム
１５７とカム１６１同士の間隔が狭められる。このた
め、ローラ１５３がカム１５７，１６１に当接して一対
のアームレバー１５２が動作し、切換弁１４４の流入口
と流出口とが開放される。When the rotary frame 82 further rotates, the switching valve 144 enters between the cam 157 and the cam 161 as shown in FIG. Here, the container detection sensor 8
When the presence of the laminated tube container 16 is detected by 8A, the control device outputs a control signal to the cylinder 159. As a result, after the laminated tube container 16 is detected, the plunger 160 projects when the rotary frame 82 is rotated by a predetermined angle, and the interval between the cam 157 and the cam 161 is narrowed. Therefore, the roller 153 comes into contact with the cams 157 and 161, the pair of arm levers 152 operate, and the inlet and outlet of the switching valve 144 are opened.

【０１３７】なお、容器検出センサ８８Ａによりラミネ
ートチューブ容器１６の存在が検出されていなかった場
合は、プランジャ１６０が没入位置に停止している。し
たがって、一対のアームレバー１５２は動作せず、切換
弁１４４の流入口と流出口とが閉じた状態に維持され
る。When the presence of the laminated tube container 16 is not detected by the container detection sensor 88A, the plunger 160 is stopped at the retracted position. Therefore, the pair of arm levers 152 do not operate, and the inflow port and the outflow port of the switching valve 144 are maintained in a closed state.

【０１３８】切換弁１４４の流入口と流出口とが開放さ
れると、加圧空気が、空気供給管６７と通気路６９と空
気供給管７７と空気供給管１４９と空気供給管１４６と
空気供給管１３２とを介して膨張室１３５に供給され
る。その結果、シール部材１３４が半径方向に拡径さ
れ、その押圧力によりラミネートチューブ容器１６の円
筒部１７６が雰囲気ガス導入室１６３の内周面に密着す
る。このため、シール部材１３４とラミネートチューブ
容器１６との接触面の気密性が確保される。When the inflow port and the outflow port of the switching valve 144 are opened, the pressurized air supplies the air supply pipe 67, the air passage 69, the air supply pipe 77, the air supply pipe 149, the air supply pipe 146, and the air supply. It is supplied to the expansion chamber 135 via the pipe 132. As a result, the seal member 134 is radially expanded, and the pressing force causes the cylindrical portion 176 of the laminate tube container 16 to come into close contact with the inner peripheral surface of the atmospheric gas introducing chamber 163. Therefore, the airtightness of the contact surface between the seal member 134 and the laminated tube container 16 is ensured.

【０１３９】一方、二酸化炭素ガスが、ガス供給路７０
とガス供給管７８とガス供給管１５０とガス供給管１３
３とを介してガス供給路１３１に供給される。このガス
はガス供給路１３１からガス供給路１３７を介してラミ
ネートチューブ容器１６の内部に供給される。ここで、
図１３に示すように、ガス吸引管１６８により、検査室
２の内部Ａ２の雰囲気ガスが雰囲気ガス導入室１６３に
吸引される。そして、検査用ガスの濃度が濃度検出器１
６９により検出される。濃度検出器１６９の検出信号は
マザーボードユニット１６９Ａに送られ、検出ガスの濃
度と基準データとが比較される。この比較結果に基づい
て、ラミネートチューブ容器１６の接着部分の密封性が
判断される。On the other hand, carbon dioxide gas is supplied to the gas supply passage 70.
And gas supply pipe 78, gas supply pipe 150, and gas supply pipe 13
3 to the gas supply path 131. This gas is supplied from the gas supply path 131 to the inside of the laminated tube container 16 via the gas supply path 137. here,
As shown in FIG. 13, the gas suction pipe 168 sucks the atmospheric gas in the interior A2 of the inspection chamber 2 into the atmospheric gas introduction chamber 163. Then, the concentration of the inspection gas is the concentration detector 1
Detected by 69. The detection signal of the concentration detector 169 is sent to the motherboard unit 169A, and the concentration of the detection gas is compared with the reference data. Based on the comparison result, the sealing property of the bonded portion of the laminated tube container 16 is determined.

【０１４０】その後、ロータリーフレーム８２が所定角
度回転されると、ローラ１５３がカム１５７およびカム
１６１から離れ、かつ、プランジャ１６０が没入位置に
復帰して切換弁１４４が閉じられる。その結果、膨張室
１３５に対する加圧空気の供給が停止され、シール部材
１３４が弾性力により拡径前の形状に復帰する。また、
ラミネートチューブ容器１６内への検査ガスの供給も停
止される。After that, when the rotary frame 82 is rotated by a predetermined angle, the roller 153 is separated from the cam 157 and the cam 161, and the plunger 160 is returned to the retracted position to close the switching valve 144. As a result, the supply of pressurized air to the expansion chamber 135 is stopped, and the seal member 134 returns to the shape before the diameter expansion due to the elastic force. Also,
The supply of the inspection gas into the laminate tube container 16 is also stopped.

【０１４１】そして、ロータリーフレーム８２の回転に
より、ローラーフォロワ１４２が第２溝部６１Ｃから第
３溝部６１Ｄに移動する。すると、スライダー１２７の
みががフレーム２２側に移動し、注入ノズル本体１２９
がラミネートチューブ容器１６の内部から退出する。か
つ、圧縮ばね１３８Ｄが弾性力により元の形状に復元し
ていく。The rotation of the rotary frame 82 moves the roller follower 142 from the second groove portion 61C to the third groove portion 61D. Then, only the slider 127 moves to the frame 22 side, and the injection nozzle main body 129
Exit from the inside of the laminated tube container 16. At the same time, the compression spring 138D is restored to its original shape by the elastic force.

【０１４２】さらに、ストッパ１３８Ｃがガイド部１０
８Ａに当接すると、スライダー１２７の移動力がスライ
ダー１０８に伝達され、スライダー１０８およびスライ
ダー１２７が一体的にフレーム２２側に移動する。する
と、カムフォロワ１２１が第１カム面１２５から第２カ
ム面１２６に移動する。つまり、図１０において、レバ
ー１１３が反時計方向に回転し、一対のクランパ１１９
が開放される。したがって、ラミネートチューブ容器１
６の開口端１７８の固定が解除される。さらに、ロータ
リーフレーム８２が回転されると、ローラーフォロワ１
４２が第２溝部６１Ｃから第３溝部６１Ｄに移動する。Further, the stopper 138C is attached to the guide portion 10.
When it comes into contact with 8A, the moving force of the slider 127 is transmitted to the slider 108, and the slider 108 and the slider 127 move integrally to the frame 22 side. Then, the cam follower 121 moves from the first cam surface 125 to the second cam surface 126. That is, in FIG. 10, the lever 113 rotates counterclockwise, and the pair of clampers 119.
Is released. Therefore, the laminated tube container 1
The fixing of the open end 178 of No. 6 is released. Further, when the rotary frame 82 is rotated, the roller follower 1
42 moves from the second groove portion 61C to the third groove portion 61D.

【０１４３】一方、ギヤ４４Ａの回転により、繰出装置
２１ではドライブシャフト２８Ａおよびロータリーホイ
ール３０Ａが時計方向に回転する。すると、図５に示す
ようにカムフォロワ４３Ｃがカム溝２７Ａに沿って転動
し、アームバー３５Ａがカム溝２７Ａに沿って移動す
る。On the other hand, the rotation of the gear 44A causes the drive shaft 28A and the rotary wheel 30A of the feeding device 21 to rotate clockwise. Then, as shown in FIG. 5, the cam follower 43C rolls along the cam groove 27A, and the arm bar 35A moves along the cam groove 27A.

【０１４４】そして、所定のアームバー３５Ａが漏洩検
出機構１に接近すると、バキュームパット３６Ａによる
吸気が開始される。このため、把持機構８３により把持
されているラミネートチューブ容器１６が、バキューム
パット３６Ａにより真空吸着される。When the predetermined arm bar 35A approaches the leak detection mechanism 1, the suction by the vacuum pad 36A is started. Therefore, the laminated tube container 16 gripped by the gripping mechanism 83 is vacuum-sucked by the vacuum pad 36A.

【０１４５】その後、漏洩検出機構１側において、ロー
タリーフレーム８２の回転によりローラーフォロワ９９
が第１カム面１０２から第２カム面１０３に移動する。
すると、リンクレバー９７およびアームレバー９８およ
びリンクレバー９３およびギヤ９１の動作により一対の
チューブホルダー９２が開放される。Thereafter, on the side of the leak detection mechanism 1, the roller follower 99 is rotated by the rotation of the rotary frame 82.
Moves from the first cam surface 102 to the second cam surface 103.
Then, the pair of tube holders 92 are opened by the operation of the link lever 97, the arm lever 98, the link lever 93, and the gear 91.

【０１４６】このようにして、ラミネートチューブ容器
１６がバキュームパット３６Ａにより吸着されると、ア
ームバー３５Ａがカム溝２７Ａに沿って移動する。そし
て、ロータリーホイール３０Ａが回転してラミネートチ
ューブ容器１６が繰出コンベアー１５に接近すると、バ
キュームパット３６Ａの吸気が解除される。その結果、
バキュームパット３６Ａにより吸着されていたラミネー
トチューブ容器１６が、繰出コンベアー１５上に移送さ
れる。In this way, when the laminated tube container 16 is adsorbed by the vacuum pad 36A, the arm bar 35A moves along the cam groove 27A. Then, when the rotary wheel 30A rotates and the laminate tube container 16 approaches the feeding conveyor 15, the suction of the vacuum pad 36A is released. as a result,
The laminated tube container 16 adsorbed by the vacuum pad 36A is transferred to the feeding conveyor 15.

【０１４７】そして、繰出コンベアー１５の動作により
ラミネートチューブ容器１６が後工程に搬送される。こ
こで、このラミネートチューブ容器１６が不良品である
との判断結果が制御装置に送られていた場合、制御装置
の制御信号によりエアーノズル１７４が動作して加圧空
気が噴射される。その結果、不良品と判断されたラミネ
ートチューブ容器１６がライン外に除去される。Then, the laminate tube container 16 is conveyed to the subsequent step by the operation of the feeding conveyor 15. Here, when the result of determination that the laminated tube container 16 is defective is sent to the control device, the air nozzle 174 is operated by the control signal of the control device to inject pressurized air. As a result, the laminated tube container 16 determined to be defective is removed outside the line.

【０１４８】以下、繰入装置２０においては、各アーム
バー３５が前述と同様の動作を繰り返す。このため、繰
入コンベアー１４上のラミネートチューブ容器１６が、
順次漏洩検出機構１側に移送される。Hereinafter, in the feeding device 20, each arm bar 35 repeats the same operation as described above. Therefore, the laminated tube container 16 on the transfer conveyor 14 is
It is sequentially transferred to the leak detection mechanism 1 side.

【０１４９】また、漏洩検出機構１では、ロータリーフ
レーム８２の回転に伴って、各把持機構８３および各チ
ャック機構８４および各ガス注入機構８５および各漏洩
検出部８６が、メインシャフト６４の周囲を円弧状に移
動する。言い換えれば、各把持機構８３および各チャッ
ク機構８４および各ガス注入機構８５および各漏洩検出
部８６が、メインシャフト６４の軸線Ｂ１の周囲を公転
する。その結果、各ラミネートチューブ容器１６が軸線
Ｂ１の周囲を公転し、その公転途中でラミネートチュー
ブ容器１６の漏洩検査が順次行われる。In the leak detection mechanism 1, each gripping mechanism 83, each chuck mechanism 84, each gas injection mechanism 85, and each leak is accompanied by the rotation of the rotary frame 82.
The detection unit 86 moves around the main shaft 64 in an arc shape. In other words, each gripping mechanism 83, each chuck mechanism 84, each gas injection mechanism 85, and each leak detection.
The portion 86 revolves around the axis B1 of the main shaft 64. As a result, each laminated tube container 16 revolves around the axis B1, and the leakage inspection of the laminated tube containers 16 is sequentially performed during the revolution.

【０１５０】さらに、繰出装置２１では、各アームバー
３５がカム溝２７Ａに沿って移動し、漏洩検査の終了し
たラミネートチューブ容器１６を順次繰出コンベアー１
５上に移送する。Further, in the feeding device 21, each arm bar 35 moves along the cam groove 27A, and the laminated tube containers 16 for which the leakage inspection has been completed are sequentially fed out by the conveyor 1.
5 Transfer to above.

【０１５１】以上説明したように、この実施例によれ
ば、漏洩検出機構１と繰入装置２０および繰出装置２１
との間でラミネートチューブ容器１６を搬送する場合
は、バキュームパット３６，３６Ａによりラミネートチ
ューブ容器１６が真空吸着される。このため、ラミネー
トチューブ容器１６の変形が抑制される。また、ロータ
リーフレーム８２の回転中にラミネートチューブ容器１
６の漏洩検査が個別に行われる。したがって、複数のラ
ミネートチューブ容器１６を連続的、かつ、円滑に漏洩
検査を行うことが可能になり、漏洩検査速度を可及的に
高速化できる。As described above, according to this embodiment, the leak detection mechanism 1, the feeding device 20 and the feeding device 21 are provided.
When the laminated tube container 16 is transferred between the vacuum tube and the vacuum tube, the laminated tube container 16 is vacuum-adsorbed by the vacuum pads 36 and 36A. Therefore, the deformation of the laminated tube container 16 is suppressed. In addition, the laminated tube container 1 is rotated while the rotary frame 82 is rotating.
6 leak inspections are performed individually. Therefore, the plurality of laminated tube containers 16 can be continuously and smoothly subjected to the leak inspection, and the leak inspection speed can be increased as much as possible.

【０１５２】また、バキュームパット３６，３６Ａによ
りラミネートチューブ容器１６が真空吸着されるため、
各種の形状および寸法のラミネートチューブ容器１６を
吸着することができ、その適用範囲が拡大される。Further, since the laminated tube container 16 is vacuum-adsorbed by the vacuum pads 36, 36A,
The laminated tube container 16 having various shapes and sizes can be adsorbed, and its application range is expanded.

【０１５３】さらに、この実施例によれば、ラミネート
チューブ容器１６の内部に注入ノズル本体１２９が挿入
される前に、ラミネートチューブ容器１６の開口端１７
８がボトムガイド１０９のテーパ部１１１に当接してほ
ぼ真円形状に矯正される。このため、ラミネートチュー
ブ容器１６の内部に注入ノズル本体１２９を挿入する場
合に、開口端１７８と注入ノズル本体１２９との接触が
抑制される。したがって、ラミネートチューブ容器１６
の内部に注入ノズル本体１２９を挿入する動作が円滑、
かつ、確実に行われる。Further, according to this embodiment, before the injection nozzle body 129 is inserted into the laminate tube container 16, the open end 17 of the laminate tube container 16 is inserted.
8 comes into contact with the tapered portion 111 of the bottom guide 109 and is corrected into a substantially circular shape. Therefore, when the injection nozzle body 129 is inserted into the laminate tube container 16, contact between the open end 178 and the injection nozzle body 129 is suppressed. Therefore, the laminated tube container 16
The operation of inserting the injection nozzle body 129 into the inside of the
And surely.

【０１５４】さらにまた、この実施例によれば、ほぼ真
円形状に矯正されたラミネートチューブ容器１６の開口
端１７８が、一対のクランパー１１９およびボトムガイ
ド１０９により掴まれる。このため、ラミネートチュー
ブ容器１６の開口端１７８の形状がほぼ真円形状に維持
される。したがって、ラミネートチューブ容器１６の内
部に注入ノズル本体１２９を挿入する動作が、一層確実
に行われる。Furthermore, according to this embodiment, the open end 178 of the laminated tube container 16 which is straightened into a substantially circular shape is grasped by the pair of clampers 119 and the bottom guide 109. Therefore, the shape of the opening end 178 of the laminated tube container 16 is maintained in a substantially perfect circular shape. Therefore, the operation of inserting the injection nozzle body 129 into the laminate tube container 16 is more reliably performed.

【０１５５】さらに、この実施例によれば、一対のクラ
ンパー１１９およびボトムガイド１０９により開口端１
７８が掴まれた後、ガス注入機構８５とチャック機構８
４とが相対移動し、ラミネートチューブ容器１６の内部
に注入ノズル本体１２９が挿入される。つまり、ラミネ
ートチューブ容器１６の開口端１７８の形状を注入ノズ
ル本体１２９の形状に対応する形状に設定されて初め
て、ラミネートチューブ容器１６の内部に注入ノズル本
体１２９が挿入される。したがって、ラミネートチュー
ブ容器１６に対する注入ノズル本体１２９の挿入性を一
層向上させることができる。Furthermore, according to this embodiment, the opening end 1 is formed by the pair of clampers 119 and the bottom guide 109.
After 78 is gripped, the gas injection mechanism 85 and the chuck mechanism 8
4 moves relative to each other, and the injection nozzle main body 129 is inserted into the laminate tube container 16. That is, the injection nozzle body 129 is inserted into the laminate tube container 16 only after the shape of the opening end 178 of the laminate tube container 16 is set to the shape corresponding to the shape of the injection nozzle body 129. Therefore, the insertability of the injection nozzle body 129 into the laminated tube container 16 can be further improved.

【０１５６】さらにまた、この実施例によれば、ロータ
リーフレーム８２が回転し、ラミネートチューブ容器１
６が軸線Ｂ１を中心として公転する。そして、ラミネー
トチューブ容器１６の移動中は、把持機構８３の各チュ
ーブホルダー９２がラミネートチューブ容器１６に当接
し、その把持力によりラミネートチューブ容器１６が把
持される。Furthermore, according to this embodiment, the rotary frame 82 rotates and the laminated tube container 1
6 revolves around the axis B1. While the laminated tube container 16 is moving, each tube holder 92 of the gripping mechanism 83 contacts the laminated tube container 16, and the laminated tube container 16 is gripped by the gripping force.

【０１５７】したがって、ラミネートチューブ容器１６
が把持機構８３の所定位置に把持され、ロータリーフレ
ーム８２から脱落することが防止される。また、ロータ
リーフレーム８２の回転中は、把持力制御機構９０Ａに
よりラミネートチューブ容器１６と漏洩検出部８６との
相対関係が検出される。そして、ラミネートチューブ容
器１６と漏洩検出部８６との相対関係に基づいて、各チ
ューブホルダー９２の把持力が制御される。Therefore, the laminated tube container 16
Is held at a predetermined position of the holding mechanism 83, and is prevented from falling off the rotary frame 82. While the rotary frame 82 is rotating, the gripping force control mechanism 90A detects the relative relationship between the laminate tube container 16 and the leak detection unit 86. Then, the gripping force of each tube holder 92 is controlled based on the relative relationship between the laminated tube container 16 and the leakage detection unit 86.

【０１５８】この実施例では、ラミネートチューブ容器
１６に移動力が付与される場合の把持力よりも、ラミネ
ートチューブ容器１６のヘッドピース１７５が雰囲気ガ
ス導入室１６３内で停止している場合の把持力の方が大
きく設定される。このため、ラミネートチューブ容器１
６とチューブホルダー９２との摩擦抵抗が軽減されて、
ラミネートチューブ容器１６のヘッドピース１７５を、
雰囲気ガス導入室１６３に挿入する動作、および雰囲気
ガス導入室１６３から抜き取る動作が円滑に行われる。In this embodiment, the gripping force when the head piece 175 of the laminate tube container 16 is stopped in the atmosphere gas introducing chamber 163 is larger than the gripping force when the moving force is applied to the laminate tube container 16. Is set larger. Therefore, the laminated tube container 1
The frictional resistance between 6 and the tube holder 92 is reduced,
The head piece 175 of the laminated tube container 16
The operation of inserting into the atmosphere gas introducing chamber 163 and the operation of extracting from the atmosphere gas introducing chamber 163 are smoothly performed.

【０１５９】一方、ラミネートチューブ容器１６のヘッ
ドピース１７５を雰囲気ガス導入室１６３に挿入した状
態では、ラミネートチューブ容器１６を把持する把持機
構８３の把持力が増大される。したがって、ラミネート
チューブ容器１６の漏洩検査作業、およびこれに付随す
る作業を確実、かつ、迅速に行うことができる。On the other hand, when the head piece 175 of the laminate tube container 16 is inserted into the atmosphere gas introducing chamber 163, the gripping force of the gripping mechanism 83 for gripping the laminate tube container 16 is increased. Therefore, the leak inspection work of the laminate tube container 16 and the work associated therewith can be performed reliably and quickly.

【０１６０】なお、この実施例では、各チューブホルダ
ー９２の対向面に摩擦抵抗を軽減する材料、例えば合成
皮革のクラリーノ（株式会社クラレの商品名）が取り付
けられている。そして、クラリーノがラミネートチュー
ブ容器１６に当接されるため、ラミネートチューブ容器
１６が移動した場合でもラミネートチューブ容器１６と
の摩擦抵抗が抑制される。したがって、チューブホルダ
ー９２の耐久性が向上し、かつ、チューブホルダー９２
のメンテナンスが不要になる。In this embodiment, a material that reduces frictional resistance, such as Clarino synthetic leather (trade name of Kuraray Co., Ltd.), is attached to the facing surface of each tube holder 92. Since the clarino is brought into contact with the laminated tube container 16, even when the laminated tube container 16 moves, the frictional resistance with the laminated tube container 16 is suppressed. Therefore, the durability of the tube holder 92 is improved, and the tube holder 92 is
No need for maintenance.

【０１６１】ところで、漏洩検出部８６においては、雰
囲気ガスを雰囲気ガス導入室１６３に導入するため、雰
囲気ガス導入室１６３と外部とが通気路１６４により連
通されている。このため、ラミネートチューブ容器１６
の無い状態で、検査ガスが雰囲気ガス導入室１６３に放
出された場合は、検査室２の内部Ａ２の雰囲気ガス中に
おける検査ガスの濃度が上昇する。つまり、雰囲気ガス
導入室１６３に導入される雰囲気ガスの濃度が、ラミネ
ートチューブ容器１６の漏れ如何に関わらず高まり、漏
洩検査精度が低下する可能性がある。By the way, in the leak detecting portion 86, the atmosphere gas is introduced into the atmosphere gas introducing chamber 163, so that the atmosphere gas introducing chamber 163 and the outside are connected by the ventilation passage 164. Therefore, the laminated tube container 16
When the inspection gas is released to the atmosphere gas introduction chamber 163 in the absence of the condition, the concentration of the inspection gas in the atmosphere gas in the inside A2 of the inspection chamber 2 increases. That is, the concentration of the atmospheric gas introduced into the atmospheric gas introduction chamber 163 may increase regardless of whether the laminate tube container 16 leaks, and the leak inspection accuracy may decrease.

【０１６２】しかし、この実施例によれば、容器検出セ
ンサ８８Ａによりラミネートチューブ容器１６のあるこ
とが検出された場合に限り、切換弁１４４が開放されて
検査ガスおよび加圧空気が注入ノズル本体１２９に供給
される。つまり、ラミネートチューブ容器１６の無いこ
とが検出された場合は、雰囲気ガス導入室１６３の内部
に検査ガスが注入されない。したがって、雰囲気ガス中
における検査ガスの濃度の上昇が抑制され、漏洩検査精
度が可及的に向上する。However, according to this embodiment, only when the container detection sensor 88A detects the presence of the laminated tube container 16, the switching valve 144 is opened and the inspection gas and the pressurized air are injected into the injection nozzle body 129. Is supplied to. That is, when it is detected that the laminated tube container 16 does not exist, the inspection gas is not injected into the atmosphere gas introduction chamber 163. Therefore, the increase in the concentration of the inspection gas in the atmosphere gas is suppressed, and the leakage inspection accuracy is improved as much as possible.

【０１６３】なお、この実施例では、システム全体の稼
働中に吸気用ファン１０が動作されて、外部Ａ１の空気
が内部Ａ２に供給される。そして、内部Ａ２の雰囲気ガ
スが第１ダクト１７およびダクトホース１８および第２
ダクト１９を介して工場の外部に排気される。このた
め、検査室２の内部Ａ２の雰囲気ガスが拡散され、雰囲
気ガスの濃度がほぼ一定に維持される。したがって、ラ
ミネートチューブ容器１６の漏洩検査が長時間に亘って
行われた場合でも、検査精度が維持される。In this embodiment, the intake fan 10 is operated during operation of the entire system to supply the air from the outside A1 to the inside A2. Then, the atmospheric gas in the interior A2 is discharged from the first duct 17, the duct hose 18 and the second duct 17.
The air is exhausted to the outside of the factory through the duct 19. Therefore, the atmospheric gas in the interior A2 of the inspection chamber 2 is diffused and the concentration of the atmospheric gas is maintained substantially constant. Therefore, even if the leakage inspection of the laminated tube container 16 is performed for a long time, the inspection accuracy is maintained.

【０１６４】[0164]

【０１６５】また、この実施例では、検査用ガスの検出
器として、ガスクロマトグラフまたはオルザートガス分
析装置を採用することが可能である。さらに、検査対象
容器を構成する材料としては、ポリエチレンまたはポリ
スチレンまたはポリカーボネートまたはＡＢＳ樹脂また
はポリエステル等のプラスチックが例示される。また、
検査用ガスとしては、酸素または水素などの大気中の気
体や、ヘリウムまたはメタンなどの大気中に殆ど存在し
ない特殊なガスを採用することも可能である。Further, in this embodiment, it is possible to employ a gas chromatograph or an ozart gas analyzer as a detector for the inspection gas. Furthermore, examples of the material forming the container to be inspected include plastics such as polyethylene, polystyrene, polycarbonate, ABS resin or polyester. Also,
As the inspection gas, a gas in the atmosphere such as oxygen or hydrogen, or a special gas such as helium or methane that hardly exists in the atmosphere can be adopted.

【０１６６】[0166]

【発明の効果】以上説明したように請求項１の発明によ
れば、ガス漏れ検出部と第１吸着機構または第２吸着機
構との間で検査対象容器の受け渡しが行われる場合は、
複数の第１吸着機構または複数の第２吸着機構により、
検査対象容器が別個に真空吸着される。このため、検査
対象容器の胴部が可撓性を有する材料により構成されて
いた場合でも、検査対象容器の変形が抑制される。ま
た、第２回転体の回転中に、複数のガス漏れ検出部によ
り各検査対象容器のガス漏れの検査が個別に行われる。
この第２回転体の回転中の複数のガス漏れ検出部におい
て、第１吸着機構からガス漏れ検出部側に受け渡された
複数の検査対象容器が把持機構により個別に把持され、
把持されたまま検査対象容器をその長さ方向にチャック
機構により移動させ、その検査対象容器の一部が雰囲気
ガス導入室に挿入され、ガス注入機構により各検査対象
容器の内部に個別に検査ガスが個別に注入されると共
に、漏洩検出部に各検査対象容器の周囲の雰囲気ガスが
個別に収集され、雰囲気ガス導入室の雰囲気ガス中の検
査ガスの濃度が個別に検出される。なお複数の把持機構
と、複数のチャック機構と、複数のガス注入機構と、複
数の漏洩検出部とのそれぞれが第２回転体の円周方向の
ほぼ同一位置に配置されている。したがって、第２回転
体の回転中に複数の検査対象容器を連続的、かつ、円滑
に漏洩検査を行うことが可能になり、漏洩検査速度を可
及的に高速化することができる。As described above, according to the invention of claim 1, when the container to be inspected is transferred between the gas leakage detection section and the first adsorption mechanism or the second adsorption mechanism,
By the plurality of first suction mechanisms or the plurality of second suction mechanisms,
The container to be inspected is vacuum-adsorbed separately. Therefore, even when the body of the test object container has been made of a material having flexibility, deformation of the test object container can be suppressed. In addition, during the rotation of the second rotating body, the plurality of gas leakage detection units individually inspect each container to be inspected for gas leakage .
In the plurality of gas leakage detection parts during rotation of the second rotating body,
And passed from the first adsorption mechanism to the gas leak detection section side.
Multiple inspection target containers are individually gripped by the gripping mechanism,
Chuck the container to be inspected in the length direction while it is gripped
Moved by the mechanism, and part of the container to be inspected is atmosphere
Inserted into the gas introduction chamber and subject to each inspection by the gas injection mechanism
When the inspection gas is individually injected inside the container,
In addition, the ambient gas around each container to be inspected
Individually collected and detected in the atmosphere gas in the atmosphere gas introduction chamber.
The concentration of the test gas is detected individually. Note that multiple gripping mechanisms
, Multiple chuck mechanisms, multiple gas injection mechanisms, and
Number of leak detectors are
They are arranged at almost the same position. Therefore, the second rotation
Continuously inspected vessel several during rotation of the body, and smoothly becomes possible to perform the leakage test, it is possible to speed as much as possible the leakage inspection speed.

【０１６７】請求項２の発明によれば、請求項１の発明
の効果に加え、検査対象容器の内部に検査ガスが注入さ
れる。一方、雰囲気ガスが通気路を介して雰囲気ガス導
入室に導入される。そして、濃度検出器により、雰囲気
ガス中の検査ガスの濃度が検出されて検査対象容器の漏
洩状態が判断される。[0167] According to the invention of claim 2, the effect of the invention according to claim 1, test gas is injected into the inspection target vessel. On the other hand, the atmospheric gas is introduced into the atmospheric gas introducing chamber through the ventilation passage. Then, the concentration detector detects the concentration of the inspection gas in the atmosphere gas and determines the leak state of the inspection target container.

【０１６８】ここで、容器検出機構により検査対象容器
が検出され、その検出結果に基づいて検査ガスの注入が
制御される。すなわち、検査対象容器の有ることが検出
された場合は検査ガスの注入が行われる。また、検査対
象容器の無いことが検出された場合は検査ガスの注入が
行われない。このため、検査ガスが不用意に通気路を介
して外気に放出されることが防止され、雰囲気ガス中に
おける検査ガスの濃度の上昇が抑制される。したがっ
て、漏洩検査精度が可及的に向上する。Here, the container to be inspected is detected by the container detection mechanism, and the injection of the inspection gas is controlled based on the detection result. That is, when the presence of the container to be inspected is detected, the inspection gas is injected. If it is detected that there is no container to be inspected, the inspection gas is not injected. Therefore, the inspection gas is prevented from being inadvertently released to the outside air through the ventilation path, and the increase in the concentration of the inspection gas in the atmospheric gas is suppressed. Therefore, the leak inspection accuracy is improved as much as possible.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】この発明の漏洩検査装置の外観斜視図である。FIG. 1 is an external perspective view of a leakage inspection device according to the present invention.

【図２】図１の検査室の内部構成を示す正面断面図であ
る。FIG. 2 is a front cross-sectional view showing the internal configuration of the examination room in FIG.

【図３】図１の検査室に配置される繰入装置および漏洩
検出機構および繰出装置の構成を示す正面図である。FIG. 3 is a leakage device and a leakage device arranged in the examination room of FIG.
It is a front view showing a configuration of a detector Kamao and feeding device.

【図４】図１の検査室の内部構成を示し、一部を破断し
た側面図である。FIG. 4 is a side view showing the internal structure of the examination room of FIG. 1 with a part broken away.

【図５】図３に示された繰入装置または繰出装置の構成
を示し、一部を破断した側面図である。5 is a side view showing a configuration of the feeding device or the feeding device shown in FIG. 3 and a part of which is cut away. FIG.

【図６】繰入装置および漏洩検出機構および繰出装置の
駆動機構を示す背面図である。6 is a rear view showing a driving mechanism of Repetitive inserting apparatus and leakage detector Kamao and feeding device.

【図７】漏洩検出機構を示し、一部を破断した側面図で
ある。7 shows a leak detection Organization, a partially broken away side view.

【図８】図７に示された漏洩検出機構のリフトカムの展
開図である。8 is a developed view of the lift cam leakage detection Organization shown in FIG.

【図９】漏洩検出機構を示し、一部を破断した側面図で
ある。9 illustrates a leakage detector structure, which is a partially cutaway side view.

【図１０】漏洩検出機構を示し、一部を破断した側面図
である。[Figure 10] shows the leak detector structure, which is a partially cutaway side view.

【図１１】漏洩検出機構の把持機構を示し、一部を破断
した正面図である。[Figure 11] shows the gripping mechanism of the leak detector configuration is a front view of a partially broken.

【図１２】漏洩検出機構のチャック機構およびガス注入
機構を示し、一部を破断した平面図である。[Figure 12] shows the chucking mechanism and the gas injection mechanism of leak detection Organization is a plan view partially broken away was.

【図１３】漏洩検出機構の漏洩検出部の側面断面図であ
る。13 is a side cross-sectional view of the leak detector of leak detection Organization.

【図１４】この発明の漏洩検査装置に適用されるガス注
入機構を示し、図１２のＸIV−ＸIV線における背面断面
図である。14 is a rear cross-sectional view taken along line XIV-XIV in FIG. 12, showing a gas injection mechanism applied to the leakage inspection device of the present invention.

【図１５】漏洩検出部と把持機構とチャック機構とガス
注入機構との対応関係を示し、一部を破断した模式図で
ある。FIG. 15 is a schematic view showing a correspondence relationship among a leakage detection unit, a gripping mechanism, a chuck mechanism, and a gas injection mechanism, with a part thereof broken away.

【図１６】漏洩検出部と把持機構とチャック機構とガス
注入機構との対応関係を示し、一部を破断した模式図で
ある。FIG. 16 is a schematic view showing a corresponding relationship among a leak detection unit, a gripping mechanism, a chuck mechanism, and a gas injection mechanism, with a part thereof broken away.

【図１７】漏洩検出部と把持機構とチャック機構とガス
注入機構との対応関係を示し、一部を破断した模式図で
ある。FIG. 17 is a schematic view showing a correspondence relationship among a leakage detection unit, a gripping mechanism, a chuck mechanism, and a gas injection mechanism, with a part thereof broken away.

【符号の説明】 １…漏洩検出機構、 １６…ラミネートチューブ容器、
３０，３０Ａ…ロータリーホイール、 ３６，３６Ａ
…バキュームパット、 ８２…ロータリーフレーム、
８３…把持機構、 ８４…チャック機構、 ８５…ガス
注入機構、 ８６…漏洩検出部、 ８８Ａ…容器検出セ
ンサ、 １５４…ガス注入制御機構、１６３…雰囲気ガ
ス導入室、 １６４…通気路、 １６９…濃度検出器。[Description of Reference Numerals] 1 ... leak detection Organization, 16 ... laminated tubular container,
30,30A ... Rotary wheel, 36,36A
… Vacuum pad, 82… Rotary frame,
83 ... Gripping mechanism, 84 ... Chuck mechanism, 85 ... Gas injection mechanism, 86 ... Leakage detection unit, 88A ... Container detection sensor, 154 ... Gas injection control mechanism, 163 ... Atmosphere gas introduction chamber, 164 ... Ventilation path, 169 ... Concentration Detector.

フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G01M 3/04 G01M 3/20 G01M 3/38 Front page continuation (58) Fields surveyed (Int.Cl. ⁷ , DB name) G01M 3/04 G01M 3/20 G01M 3/38

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項１】 雰囲気ガス中の検査ガスを検出する複数
のガス漏れ検出部を備えた可撓性の胴部を有する容器の
漏洩検査装置において、 回転可能に構成された第１回転体と、第１回転体の外側
に向けて取り付けられ、かつ、前工程から搬送される複
数の検査対象容器を個別に真空吸着する複数の第１吸着
機構と、回転可能に構成された第２回転体と、この第２
回転体の外周に配置され、第２回転体の回転中に、各検
査対象容器の漏洩検査を連続的に行う複数のガス漏れ検
出部と、回転可能に構成された第３回転体と、第３回転
体の外側に向けて取り付けられ、かつ、ガス漏れの検査
が完了した各検査対象容器を各ガス漏れ検出部から受け
取って個別に真空吸着し、ついで、各検査対象容器を後
工程に搬送する複数の第２吸着機構とを備えると共に、 前記複数のガス漏れ検出部が、第１吸着機構により搬送
される複数の検査対象容器を個別に把持する把持機構
と、把持されたまま前記検査対象容器をその長さ方向に
移動させるチャック機構と、前記検査対象容器の一部を
挿入する雰囲気ガス導入室と、前記チャック機構と相対
移動可能に配置され、各検査対象容器の内部に検査ガス
を個別に注入するガス注入機構と、各検査対象容器の周
囲の雰囲気ガスを個別に収集すると共に前記雰囲気ガス
中の検査ガスの濃度を個別に検出する濃度検出器を含む
漏洩検出部とのそれぞれを備え、 各把持機構と、各チャック機構と、各ガス注入機構と、
各漏洩検出部とが第２回転体の円周方向のほぼ同一位置
に配置されている ことを特徴とする可撓性の胴部を有す
る容器の漏洩検査装置。1. A plurality of detectors for detecting an inspection gas in an atmospheric gas.
In the leakage inspection apparatus container having a body portion of flexible having a gas leakage detecting unit, a first rotary member which is rotatably configuration, outside the first rotating member
Installing attached toward, and a plurality of first suction mechanism for vacuum chucking a plurality of inspected containers individually conveyed from the previous step, a second rotary member which is rotatably configuration, the second
It is arranged on the outer circumference of the rotating body and each inspection is performed while the second rotating body is rotating.
A plurality of gas leak detection units for continuously performing a leak inspection of the container to be inspected , a rotatable third rotating body, and a third rotating body
Are they attach towards the outside of the body, and each inspection target container inspecting gas leakage has been completed received from the gas leakage detection unit to vacuum suction separately, then transporting each inspected container to a subsequent process together and a plurality of second adsorption Organization for transporting said plurality of gas leak detection unit, the first attraction device
Gripping mechanism for individually gripping multiple inspection target containers
Then, hold the container to be inspected in the length direction while it is gripped.
Move the chuck mechanism and part of the container to be inspected
Atmosphere gas introduction chamber to be inserted and relative to the chuck mechanism
The test gas is movably placed inside each container to be inspected.
Gas injection mechanism for individually injecting
Ambient gas is individually collected and the ambient gas is
Includes a concentration detector that individually detects the concentration of the test gas inside
Each of the leakage detection unit, each gripping mechanism, each chuck mechanism, each gas injection mechanism,
The respective leak detection parts are at substantially the same position in the circumferential direction of the second rotating body.
Having a body portion of a flexible you characterized in that it is arranged
That container of leakage inspection apparatus. 【請求項２】 前記複数のガス漏れ検出部が、前記雰囲
気ガス導入室に雰囲気ガスを導入する通気路と、前記検
査対象容器の有無を検出する容器検出機構と、この容器
検出機構の検出結果に基づいて、前記検査ガスの注入を
制御するガス注入制御機構とを備えていることを特徴と
する請求項１に記載の容器の漏洩検査装置。Wherein said plurality of gas leak detection unit, and a ventilation passage for introducing the atmospheric gas in the Ambient atmosphere <br/> air gas introduction chamber, the vessel detection mechanism for detecting the presence or absence of pre-Symbol inspected vessel, The leak inspection device for a container according to claim 1, further comprising: a gas injection control mechanism that controls injection of the inspection gas based on a detection result of the container detection mechanism.