JP3449192B2 - Apparatus and method for transferring conductive balls - Google Patents
Apparatus and method for transferring conductive ballsInfo
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Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、導電性ボールをワ
ークに移載する導電性ボールの移載装置および移載方法
に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a conductive ball transfer device and method for transferring conductive balls onto a work.
【0002】[0002]
【従来の技術】フリップチップやBGA(Ball G
rid Array)などのバンプ付きの電子部品を製
造する方法として、半田ボールなどの導電性ボールを用
いる方法が知られている。また導電性ボールをチップや
基板などのワークに移載する方法として、吸着ヘッドを
用いる方法が実施されている。2. Description of the Related Art Flip chips and BGA (Ball G)
A method using conductive balls such as solder balls is known as a method of manufacturing an electronic component with bumps such as a grid array. Further, as a method of transferring the conductive balls to a work such as a chip or a substrate, a method using a suction head has been implemented.
【0003】この方法は、容器などに貯溜された導電性
ボールを、吸着ヘッドの下面に多数形成された吸着孔に
真空吸着してピックアップし、吸着ヘッドをワークの上
方に移動させてこれらの導電性ボールをワークの電極上
に移載するものであり、多数の導電性ボールを一括して
ワークに移載できるので作業性がよいという利点があ
る。According to this method, conductive balls stored in a container or the like are vacuum-sucked and picked up in a large number of suction holes formed on the lower surface of the suction head, and the suction head is moved above the work to conduct these conductive balls. Since the conductive balls are transferred onto the electrodes of the work and a large number of conductive balls can be transferred onto the work all at once, there is an advantage that workability is good.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】ところが、吸着ヘッド
を用いて導電性ボールをワークに移載する方法では、導
電性ボールを真空吸着する際に、以下に説明するような
ピックアップミスが発生しやすい。すなわち、吸着ヘッ
ドに導電性ボールを真空吸着させるに際しては、多数の
導電性ボールが積層して貯溜された導電性ボールの供給
部内に吸着ヘッドを下降させるが、このときに吸着ヘッ
ドの各吸着孔に対して1つの導電性ボールが確実に真空
吸着されるとは限らない。例えば、1つの吸着孔に複数
の導電性ボールが真空吸着され、吸着ヘッドの下面に多
数個の導電性ボールが連なって付着する場合や、吸着孔
以外の位置に導電性ボールが付着したままで吸着ヘッド
が上昇することもある。However, in the method of transferring the conductive balls to the work by using the suction head, a pickup error as described below tends to occur when the conductive balls are vacuum-sucked. . That is, when the conductive balls are vacuum-sucked by the suction head, the suction head is lowered into the supply portion of the conductive balls accumulated by stacking a large number of conductive balls. However, one conductive ball is not always vacuum-adsorbed. For example, when a plurality of conductive balls are vacuum-sucked to one suction hole and a large number of conductive balls are continuously attached to the lower surface of the suction head, or when the conductive balls remain attached to positions other than the suction hole. The suction head may rise.
【0005】このように余分に吸着された導電性ボール
を検出するため、従来はカメラにより導電性ボールを吸
着した吸着ヘッドの下面を撮像し、画像認識によって余
分な導電性ボールの有無を判定する方法が用いられてい
た。しかしながら、導電性ボールの小径化にともない、
画像認識による方法では、反射光のばらつきなどのため
判定結果が必ずしも安定せず、また認識に相当の時間を
要するという問題点があった。In order to detect the excessively attracted conductive balls in this way, conventionally, a camera is used to image the lower surface of the attracting head that attracts the conductive balls, and the presence or absence of the extra conductive balls is determined by image recognition. The method was used. However, with the decrease in diameter of the conductive balls,
The method based on image recognition has a problem that the determination result is not always stable due to variations in reflected light, and that it takes a considerable time for recognition.
【0006】そこで本発明は、導電性ボールのピックア
ップミスを確実かつ迅速に検知し、導電性ボールをワー
クの電極上に正しく移載することができる導電性ボール
の移載装置および移載方法を提供することを目的とす
る。Therefore, the present invention provides a conductive ball transfer device and transfer method capable of reliably and quickly detecting a conductive ball pickup error and correctly transferring the conductive ball onto the electrode of the work. The purpose is to provide.
【0007】[0007]
【課題を解決するための手段】請求項1記載の導電性ボ
ールの移載装置は、下面に導電性ボールを吸着する複数
の吸着孔が形成された吸着ヘッドと、導電性ボールを供
給するボール供給部と、ワークを位置決めする位置決め
部と、前記吸着ヘッドを上下動させる上下動手段と、前
記吸着ヘッドをボール供給部と位置決め部の間を移動さ
せる移動手段と、前記吸着ヘッドの前記吸着孔に吸着さ
れた導電性ボールが当接することにより下方へ変位する
当接テーブルと、この当接テーブルの下方への異常変位
を検出する変位検出手段とにより前記吸着ヘッドの下面
に余分に付着した導電性ボールの有無を検査する検査部
を設けた。According to a first aspect of the present invention, there is provided a conductive ball transfer device having a suction head having a plurality of suction holes for sucking the conductive balls formed on a lower surface thereof, and a ball supplying the conductive balls. a supply unit, a positioning unit for positioning the workpiece, the vertical movement means for vertically moving the suction head, moving means for the suction head is moved between the positioning portion ball supply unit, the adsorption of the pre-Symbol suction head and <br/> abutment table which is displaced downward by the conductive balls adsorbed in pores abuts the lower surface of the suction head by a displacement detecting means for detecting an abnormal downward displacement of the abutment table
An inspecting unit for inspecting the presence or absence of extra conductive balls attached is provided.
【0008】請求項2記載の導電性ボールの移載方法
は、下面に導電性ボールを吸着する複数の吸着孔が形成
された吸着ヘッドによりボール供給部の導電性ボールを
ワークに移載する導電性ボールの移載方法であって、導
電性ボールを吸着した前記吸着ヘッドを吸着ヘッドの下
面に余分に付着した導電性ボールの有無を検査する検査
部に対して相対的に下降させる工程と、この検査部の当
接テーブルに吸着ヘッドの下面に吸着された導電性ボー
ルを当接させる工程と、当接テーブルの変位を変位検出
手段により検出する工程と、この変位の検出結果に基い
て前記余分に付着した導電性ボールの有無を判定する工
程とを含む。According to a second aspect of the present invention, there is provided a conductive ball transfer method in which conductive balls in a ball supply portion are transferred to a work by a suction head having a plurality of suction holes for sucking the conductive balls formed on a lower surface thereof. A method of transferring conductive balls, the step of lowering the suction head that has sucked the conductive balls relative to an inspection unit that inspects for the presence of extra conductive balls that have adhered to the lower surface of the suction head; The step of contacting the conductive ball sucked on the lower surface of the suction head to the contact table of the inspection unit, the step of detecting the displacement of the contact table by the displacement detecting means, and the step of detecting the displacement based on the displacement detection result. And a step of determining the presence or absence of extra conductive balls attached.
【0009】上記構成の本発明によれば、吸着ヘッドを
検査部の当接テーブルに対して下降させて吸着ヘッドの
下面に吸着された導電性ボールを当接テーブルに当接さ
せ、当接テーブルの上下方向の変位を検出することによ
り、吸着ヘッドの下面に余分に付着した導電性ボールの
有無を判定することができる。According to the present invention having the above-mentioned structure, the suction head is lowered with respect to the contact table of the inspection unit so that the conductive balls sucked on the lower surface of the suction head are brought into contact with the contact table, and the contact table is contacted. It is possible to determine the presence or absence of extra conductive balls attached to the lower surface of the suction head by detecting the displacement in the vertical direction of.
【0010】[0010]
【発明の実施の形態】次に本発明の実施の形態を図面を
参照して説明する。図1は本発明の一実施の形態の導電
性ボールの移載装置の正面図、図2は同導電性ボールの
移載装置の検査部の断面図、図3、図4は同導電性ボー
ルの移載装置のボール供給部の部分断面図、図5は同導
電性ボールの移載装置の吸着ヘッドの部分断面図、図6
は同導電性ボールの移載装置の位置決めテーブルの部分
正面図である。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a front view of a conductive ball transfer device according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a sectional view of an inspection portion of the conductive ball transfer device, and FIGS. 3 and 4 are the conductive balls. 6 is a partial sectional view of a ball supply portion of the transfer device of FIG. 5, FIG. 5 is a partial sectional view of a suction head of the conductive ball transfer device of FIG.
FIG. 4 is a partial front view of a positioning table of the conductive ball transfer device.
【0011】まず、図1を参照して導電性ボールの移載
装置の全体構造を説明する。図1において、基台1上に
は位置決めテーブル2が設けられている。位置決めテー
ブル2はYテーブル3、Xテーブル4から構成される。
Xテーブル4上にはホルダ5が設けられており、ホルダ
5はワーク6を保持する。したがって位置決めテーブル
2を駆動することにより、ワーク6が所定位置に位置決
めされる。First, the overall structure of the conductive ball transfer device will be described with reference to FIG. In FIG. 1, a positioning table 2 is provided on a base 1. The positioning table 2 is composed of a Y table 3 and an X table 4.
A holder 5 is provided on the X table 4, and the holder 5 holds the work 6. Therefore, the work 6 is positioned at a predetermined position by driving the positioning table 2.
【0012】また基台1上の位置決めテーブル2の反対
側の端部には、導電性ボール7の供給部10が配設され
ている。ボール供給部10はボール槽11より成り、ボ
ール槽11の内部には複数層のメッシュプレート12が
水平に展張されている。メッシュプレート12は導電性
ボール7が通過できない大きさの開孔を無数に設けたも
のである。最上層のメッシュプレート12上には導電性
ボール7が貯溜される。ボール槽11の底部にはノズル
14が配設されており、ノズル14はガス供給源(図
外)に接続されている。ノズル14にガスを供給するこ
とにより、ノズル14から上方に吹き出されたガスはメ
ッシュプレート12の開孔を通過して導電性ボール7の
層に吹き込まれ、導電性ボール7を流動化させる。A supply unit 10 for the conductive balls 7 is provided at the end of the base 1 opposite to the positioning table 2. The ball supply unit 10 includes a ball tank 11, and a plurality of layers of mesh plates 12 are horizontally spread inside the ball tank 11. The mesh plate 12 is provided with an innumerable number of openings whose size does not allow the conductive balls 7 to pass through. The conductive balls 7 are stored on the uppermost mesh plate 12. A nozzle 14 is arranged at the bottom of the ball tank 11, and the nozzle 14 is connected to a gas supply source (not shown). By supplying the gas to the nozzle 14, the gas blown upward from the nozzle 14 passes through the openings of the mesh plate 12 and is blown into the layer of the conductive balls 7 to fluidize the conductive balls 7.
【0013】次に導電性ボール7を移載する吸着ヘッド
31について説明する。図1に示す20は、吸着ヘッド
31をボール供給部10と位置決めテープル2との間を
移動させる移動手段である。吸着ヘッド31は、ブロッ
ク30に保持されており、吸着ヘッド31の下面には複
数の吸着孔31aが設けられている。ブロック30はブ
ラケット24の前面に設けられた垂直なガイドレール2
5に上下動自在に装着されている。ブロック30には、
ナット28が一体的に設けられており、ナット28には
垂直の送りねじ26が螺合している。したがってZ軸モ
ータ27が正逆駆動して送りねじ26が正逆回転する
と、吸着ヘッド31はガイドレール25に案内されて上
下動する。したがって、Z軸モータ27および送りねじ
26は吸着ヘッド31を上下させる上下動手段となって
いる。Next, the suction head 31 on which the conductive balls 7 are transferred will be described. Reference numeral 20 shown in FIG. 1 is a moving means for moving the suction head 31 between the ball supply unit 10 and the positioning table 2. The suction head 31 is held by the block 30, and a plurality of suction holes 31 a are provided on the lower surface of the suction head 31. The block 30 is a vertical guide rail 2 provided on the front surface of the bracket 24.
It is attached to 5 so that it can move up and down. In block 30,
A nut 28 is integrally provided, and a vertical feed screw 26 is screwed into the nut 28. Therefore, when the Z-axis motor 27 is driven forward and backward and the feed screw 26 rotates forward and backward, the suction head 31 is guided by the guide rail 25 and moves up and down. Therefore, the Z-axis motor 27 and the feed screw 26 are vertical moving means for moving the suction head 31 up and down.
【0014】ブラケット24の背面に設けられたナット
(図示せず)は、水平な送りねじ22に螺合している。
21は送りねじ22の保持テーブルである。したがって
X軸モータ23が正逆回転すると、送りねじ22は正逆
回転し、ブラケット24に保持された吸着ヘッド31は
位置決めテーブル2とボール供給部10の間を水平移動
する。A nut (not shown) provided on the rear surface of the bracket 24 is screwed onto the horizontal feed screw 22.
Reference numeral 21 is a holding table for the feed screw 22. Therefore, when the X-axis motor 23 rotates forward and backward, the feed screw 22 rotates forward and backward, and the suction head 31 held by the bracket 24 horizontally moves between the positioning table 2 and the ball supply unit 10.
【0015】図1において、基台1上のボール供給部1
0の側方には、検査部40が配設されている。検査部4
0は、吸着ヘッド31の下面に余分に吸着された導電性
ボール7の有無を検査する。以下、図2を参照して検査
部40について説明する。図2において、基台41上に
は左右1対のブラケット42が立設されている。ブラケ
ット42の側面にはスライドベアリング44が固着され
ている。スライドベアリング44の可動部には水平な当
接テーブル43が結合されている。In FIG. 1, a ball supply unit 1 on a base 1
An inspection unit 40 is arranged on the side of 0. Inspection unit 4
For 0, the presence or absence of the conductive balls 7 that are excessively adsorbed on the lower surface of the adsorption head 31 is inspected. The inspection unit 40 will be described below with reference to FIG. In FIG. 2, a pair of left and right brackets 42 are erected on a base 41. A slide bearing 44 is fixed to the side surface of the bracket 42. A horizontal contact table 43 is connected to the movable portion of the slide bearing 44.
【0016】当接テーブル43の下面はシリンダ45の
ロッド45aによって支持されている。シリンダ45
は、当接テーブル43の自重より大きな付勢力で当接テ
ーブル43を上方へ押し上げている。したがって、この
付勢力より大きな荷重で当接テーブル43を下方へ押圧
すると、当接テーブル43は下方へ変位する。また基台
41のブロック46上には変位検出手段としての近接セ
ンサ47が配設されている。近接センサ47は、当接テ
ーブル43の下面との間隔Cが設定間隔C0以下になっ
たときに異常変位として検出されるように高さ位置やセ
ンサ感度が調整されている。The lower surface of the contact table 43 is supported by the rod 45a of the cylinder 45. Cylinder 45
Pushes the contact table 43 upward with a biasing force larger than the weight of the contact table 43. Therefore, when the contact table 43 is pressed downward with a load larger than this biasing force, the contact table 43 is displaced downward. Further, a proximity sensor 47 as a displacement detecting means is arranged on the block 46 of the base 41. The proximity sensor 47 is adjusted in height position and sensor sensitivity so that when the distance C from the lower surface of the contact table 43 becomes equal to or less than the set distance C0, it is detected as an abnormal displacement.
【0017】設定間隔C0は、吸着ヘッド31の下面に
導電性ボール7が正常に吸着された状態、即ち吸着孔3
1aにのみ導電性ボールが真空吸着された状態で、吸着
ヘッド31を当接テーブル43上に下降させて導電性ボ
ール7を当接テーブル43の上面に当接させたときの間
隔を基準にして設定される。したがって、吸着ヘッド3
1の下面の吸着孔31a以外の位置に導電性ボール7が
付着して存在する場合には、当接テーブル43は上記基
準より余分に下方に押し下げられて変位し、近接センサ
47と当接テーブル43との距離が設定間隔C0より小
さくなることにより、当接テーブル43の異常変位、即
ち吸着ヘッド31の下面に余分な導電性ボール7が存在
することを検出する。The set interval C0 is the state in which the conductive ball 7 is normally adsorbed on the lower surface of the adsorption head 31, that is, the adsorption hole 3
Based on the interval when the suction head 31 is lowered onto the contact table 43 and the conductive balls 7 are brought into contact with the upper surface of the contact table 43 in a state where the conductive balls are vacuum-adsorbed only on 1a. Is set. Therefore, the suction head 3
When the conductive balls 7 are present at positions other than the suction holes 31a on the lower surface of No. 1, the contact table 43 is displaced by being pushed down further below the above-mentioned reference, and the proximity sensor 47 and the contact table 43 are displaced. When the distance from the contact table 43 is smaller than the set interval C0, the abnormal displacement of the contact table 43, that is, the presence of the extra conductive ball 7 on the lower surface of the suction head 31 is detected.
【0018】なお、ここでは変位検出手段として近接セ
ンサ47を用いているが、これ以外でも、当接テーブル
43の変位を必要な精度で検出できるものであればよ
く、例えば一般の変位センサやタッチセンサなどであっ
てもよい。Although the proximity sensor 47 is used as the displacement detecting means here, any other means may be used as long as it can detect the displacement of the contact table 43 with required accuracy. For example, a general displacement sensor or a touch sensor. It may be a sensor or the like.
【0019】この導電性ボールの移載装置は上記のよう
な構成より成り、次に動作を説明する。まず、図1にお
いて、X軸モータ23を駆動して吸着ヘッド31をボー
ル供給部10の上方へ移動させる。そこで、Z軸モータ
27を駆動して吸着ヘッド31を下降させ、図3に示す
ように吸着ヘッド31の下面を導電性ボール7の層に幾
分沈み込ませる。このとき、ボール槽11のノズル14
よりガスが上方に向って吹き出されており(矢印a参
照)、導電性ボール7はこのガスの流れによって流動化
している。このため導電性ボール7は上方に吹き上げら
れ、吸着ヘッド31の下面に突き当って吸着孔31aに
真空吸着される。This conductive ball transfer device has the above-mentioned structure, and its operation will be described below. First, in FIG. 1, the X-axis motor 23 is driven to move the suction head 31 above the ball supply unit 10. Then, the Z-axis motor 27 is driven to lower the suction head 31, and the lower surface of the suction head 31 is slightly sunk into the layer of the conductive balls 7 as shown in FIG. At this time, the nozzle 14 of the ball tank 11
More gas is blown upward (see arrow a), and the conductive balls 7 are fluidized by the flow of this gas. Therefore, the conductive ball 7 is blown up, hits the lower surface of the suction head 31 and is vacuum-sucked in the suction hole 31a.
【0020】このとき、図4に示すように、吸着ヘッド
31の下面の吸着孔31a以外の位置に余分な導電性ボ
ール7が付着したまま吸着ヘッド31が上昇することが
ある。図4では余分な導電性ボール7が1個付着した例
を示しているが、この例以外にも複数の導電性ボール7
が連なって付着する場合など、余分な導電性ボール7の
付着には様々な態様がある。At this time, as shown in FIG. 4, the suction head 31 may ascend while the extra conductive balls 7 are attached to positions other than the suction holes 31a on the lower surface of the suction head 31. FIG. 4 shows an example in which one extra conductive ball 7 is attached, but in addition to this example, a plurality of conductive balls 7 are attached.
There are various modes for attaching the extra conductive balls 7, such as when the lines are attached in series.
【0021】このような導電性ボール7の付着状態を検
査するため、検査部40にて余分に付着した導電性ボー
ル7の有無が検出される。まず、導電性ボール7を吸着
した吸着ヘッド31を検査部40の上方に移動させ、次
いで吸着ヘッド31を当接テーブル43に対して下降さ
せる。吸着ヘッド31の下面に吸着された導電性ボール
7の下端部が当接テーブル43の上面に当接することに
より、当接テーブル43は押し下げられる。In order to inspect the adhered state of the conductive balls 7 as described above, the inspection unit 40 detects the presence or absence of the excessively adhered conductive balls 7. First, the suction head 31 that has suctioned the conductive balls 7 is moved to above the inspection unit 40, and then the suction head 31 is lowered with respect to the contact table 43. The contact table 43 is pushed down by the lower end of the conductive ball 7 attracted to the lower surface of the suction head 31 contacting the upper surface of the contact table 43.
【0022】このとき、図5に示すように、吸着ヘッド
31の下面の吸着孔31a以外の位置に余分な導電性ボ
ール7aが付着している場合には、図5に示す距離dだ
け余分に当接テーブル43を押し下げることとなり、す
なわち、前述の近接センサ47と当接テーブル43の下
面との間隔Cが設定間隔C0以下となることにより、異
常変位として近接センサ47が検出する。また、図5に
示す余分な導電性ボール7の付着の態様以外の場合、例
えば複数の導電性ボール7が連なって付着している場合
も当接テーブル43を余分に押し下げることとなり、同
様に近接センサ47により異常変位が検出される。した
がって、いずれの余分な導電性ボール7の付着の態様に
おいても、吸着ヘッド31の下面に余分な導電性ボール
7の存在を検出することができる。At this time, as shown in FIG. 5, when the extra conductive balls 7a are attached to the lower surface of the suction head 31 at positions other than the suction holes 31a, the distance d shown in FIG. Since the contact table 43 is pushed down, that is, the distance C between the proximity sensor 47 and the lower surface of the contact table 43 becomes equal to or less than the set interval C0, the proximity sensor 47 detects an abnormal displacement. Further, in a case other than the mode of attachment of the extra conductive balls 7 shown in FIG. 5, for example, even when a plurality of conductive balls 7 are attached in series, the contact table 43 is pushed down excessively, and similarly, the contact table 43 is approached. An abnormal displacement is detected by the sensor 47. Therefore, the presence of the extra conductive balls 7 on the lower surface of the suction head 31 can be detected in any of the attachment modes of the extra conductive balls 7.
【0023】このようにして、吸着ヘッド31の下面に
余分な導電性ボール7が検出された場合には、移載装置
の動作を停止し、その旨をオペレータに報知する。オペ
レータは、余分に吸着された導電性ボール7を除去する
処置を行うか、または吸着ヘッド31をボール供給部1
0に戻して真空吸着を解除した後再吸着動作を行わせる
などの処置を行う。In this way, when an extra conductive ball 7 is detected on the lower surface of the suction head 31, the operation of the transfer device is stopped and the operator is informed accordingly. The operator takes measures to remove the conductive balls 7 that have been excessively attracted, or attaches the attraction head 31 to the ball supply unit 1.
After returning to 0 to release the vacuum suction, a re-suction operation is performed.
【0024】余分に付着した導電性ボール7が除去さ
れ、全ての吸着孔31aに1個づつ正しく導電性ボール
7を真空吸着してピックアップした吸着ヘッド31は、
プレート13から上昇し、次いで位置決めテーブル2の
上方に水平移動する。次に吸着ヘッド31はホルダ5に
保持されたワーク6上に下降し、真空吸着を解除するこ
とにより図6に示すように電極6a上に導電性ボール7
を移載した後上昇し、導電性ボール7の移載を完了す
る。The conductive balls 7 that have been excessively attached are removed, and the conductive heads 7 are correctly vacuum-sucked and picked up in each of the suction holes 31a one by one.
It rises from the plate 13 and then moves horizontally above the positioning table 2. Next, the suction head 31 descends onto the work 6 held by the holder 5, and by releasing the vacuum suction, the conductive balls 7 are placed on the electrodes 6a as shown in FIG.
After the transfer, the substrate is moved up to complete the transfer of the conductive balls 7.
【0025】本発明は、上記実施の形態に限定されない
のであって、例えば上記実施の形態では導電性ボールの
検査部40を固定し、検査部40に対して吸着ヘッド3
1を下降させるようにしているが、検査部40を可動な
ものとし、ボール供給部10上で静止した吸着ヘッド3
1に対して検査部40を移動させて余分な導電性ボール
7の有無を検出するようにしてもよいものである。The present invention is not limited to the above embodiment. For example, in the above embodiment, the conductive ball inspection unit 40 is fixed, and the suction head 3 is attached to the inspection unit 40.
1, the inspection unit 40 is movable, and the suction head 3 is stationary on the ball supply unit 10.
It is also possible to move the inspection unit 40 with respect to 1 and detect the presence or absence of the extra conductive ball 7.
【0026】[0026]
【発明の効果】本発明によれば、ボール供給部の導電性
ボールを吸着した吸着ヘッドを検査部の当接テーブルに
当接させ、当接テーブルの変位を検出するようにしてい
るので、吸着ヘッドの下面に余分に吸着された導電性ボ
ールの有無を確実に検出することができ、したがって余
分に吸着された導電性ボールが検出された場合にはこれ
を除去し、ワークの電極上に1個づつ導電性ボールを移
載することができる。According to the present invention, the suction head, which has sucked the conductive balls of the ball supply section, is brought into contact with the contact table of the inspection section and the displacement of the contact table is detected. It is possible to reliably detect the presence or absence of the conductive ball that is excessively adsorbed on the lower surface of the head. Therefore, when the conductive ball that is excessively adsorbed is detected, this is removed and 1 is placed on the electrode of the work. The conductive balls can be transferred individually.
【図1】本発明の一実施の形態の導電性ボールの移載装
置の正面図FIG. 1 is a front view of a conductive ball transfer device according to an embodiment of the present invention.
【図2】本発明の一実施の形態の導電性ボールの移載装
置の検査部の断面図FIG. 2 is a sectional view of an inspection portion of the conductive ball transfer device according to the embodiment of the present invention.
【図3】本発明の一実施の形態の導電性ボールの移載装
置のボール供給部の部分断面図FIG. 3 is a partial cross-sectional view of a ball supply unit of a conductive ball transfer device according to an embodiment of the present invention.
【図4】本発明の一実施の形態の導電性ボールの移載装
置のボール供給部の部分断面図FIG. 4 is a partial cross-sectional view of a ball supply unit of the conductive ball transfer device according to the embodiment of the present invention.
【図5】本発明の一実施の形態の導電性ボールの移載装
置の吸着ヘッドの部分断面図FIG. 5 is a partial sectional view of a suction head of a conductive ball transfer device according to an embodiment of the present invention.
【図6】本発明の一実施の形態の導電性ボールの移載装
置の位置決めテーブルの部分正面図FIG. 6 is a partial front view of a positioning table of the conductive ball transfer device according to the embodiment of the present invention.
1 基台 2 位置決めテーブル 6 ワーク 7 導電性ボール 10 ボール供給部 11 ボール槽 23 X軸モータ 27 Z軸モータ 31 吸着ヘッド 31a 吸着孔 40 検査部 43 当接テーブル 45 シリンダ 47 近接センサ 1 base 2 Positioning table 6 work 7 conductive balls 10-ball feeder 11 ball tank 23 X-axis motor 27 Z-axis motor 31 Suction head 31a adsorption hole 40 Inspection Department 43 Contact table 45 cylinders 47 Proximity sensor
Claims (2)
孔が形成された吸着ヘッドと、導電性ボールを供給する
ボール供給部と、ワークを位置決めする位置決め部と、
前記吸着ヘッドを上下動させる上下動手段と、前記吸着
ヘッドをボール供給部と位置決め部の間を移動させる移
動手段と、前記吸着ヘッドの前記吸着孔に吸着された導
電性ボールが当接することにより下方へ変位する当接テ
ーブルと、この当接テーブルの下方への異常変位を検出
する変位検出手段とにより前記吸着ヘッドの下面に余分
に付着した導電性ボールの有無を検査する検査部を設け
たことを特徴とする導電性ボールの移載装置。1. A suction head having a plurality of suction holes for sucking conductive balls formed on a lower surface thereof, a ball supply unit for supplying the conductive balls, and a positioning unit for positioning a work.
And vertically moving means for vertically moving the suction head, the suction head moving means for moving between the positioning portion ball supply portion, said conductive balls sucked by the suction holes of the front Symbol suction head contacts By the contact table which is displaced downward by this, and the displacement detecting means which detects an abnormal downward displacement of the contact table , an excess is formed on the lower surface of the suction head.
An electroconductive ball transfer device comprising an inspection unit for inspecting the presence or absence of electroconductive balls adhered to the .
孔が形成された吸着ヘッドによりボール供給部の導電性
ボールをワークに移載する導電性ボールの移載方法であ
って、導電性ボールを吸着した前記吸着ヘッドを吸着ヘ
ッドの下面に余分に付着した導電性ボールの有無を検査
する検査部に対して相対的に下降させる工程と、この検
査部の当接テーブルに吸着ヘッドの下面に吸着された導
電性ボールを当接させる工程と、当接テーブルの変位を
変位検出手段により検出する工程と、この変位の検出結
果に基いて前記余分に付着した導電性ボールの有無を判
定する工程とを含むことを特徴とする導電性ボールの移
載方法。2. A conductive ball transfer method for transferring a conductive ball of a ball supply unit onto a work by a suction head having a plurality of suction holes for sucking conductive balls formed on a lower surface thereof. The step of lowering the suction head that has sucked the balls relative to an inspection unit that inspects the presence or absence of extra conductive balls that have adhered to the lower surface of the suction head, and the lower surface of the suction head on the contact table of the inspection unit. A step of abutting the conductive balls adsorbed on the substrate, a step of detecting the displacement of the abutting table by a displacement detecting means, and the presence or absence of the extra conductive balls attached is determined based on the detection result of the displacement. A method of transferring a conductive ball, comprising:
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
JP24381597A JP3449192B2 (en) | 1997-09-09 | 1997-09-09 | Apparatus and method for transferring conductive balls |
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JPH1187421A JPH1187421A (en) | 1999-03-30 |
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