JP3445313B2 - 光情報再生方法 - Google Patents
光情報再生方法Info
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、記録媒体に記録された
光情報を高解像度で再生する光情報再生方法に関する。 【０００２】 【従来の技術】例えば、ＣＤや光磁気ディスクにおいて
記録媒体の記録情報を読み出すには、極小のスポットに
収束されたレーザ光を再生用光スポットとして記録媒体
に照射して、媒体面上に形成されている記録ピットの有
無による光反射強度の変化や記録膜の磁化の方向による
偏光面の変化を光ピックアップの光学素子により検出し
て記録信号に応じた光量変化に変換し、この光量変化を
フォトダイオード等の光センサで検出することにより記
録情報の再生を行うようにしている。 【０００３】ところで、最近、記録媒体に形成される記
録ピット径を小さくすることで、記録密度を高めて大量
の情報を記録できるようにすることが考えられている。
しかし、高密度記録のために記録媒体の記録ピット径を
小さくしていくと、記録ピットを読むための再生用光ス
ポット径も小さくする必要があるが、対物レンズのＮＡ
と光源の波長の制限により再生用光スポットの径を小さ
くするには限界があり、高解像度の再生を行うことがで
きなくなるという問題点があった。 【０００４】従来、高密度記録を高解像度で再生するも
のとして、特開平４−２５５９４６号公報や特願平１−
２２５６８５号公報に開示されたものが知られている。
つまり、このものは、光磁気記録媒体と再生用ビームス
ポットとの相対的移動による温度分布を利用して、光磁
気記録媒体の再生可能領域を、再生時に所定の温度領域
においてのみ発生させるようにして結果的に再生の高解
像度化をはかるものである。 【０００５】ところが、このようにしたものは、光スポ
ットが照射されている媒体面上の領域において、再生可
能温度領域以外の再生層の磁化は全て再生磁界と同方向
に揃えられ、再生可能温度領域内においてのみ記録層の
記録ピットが再生層に転写され、２値情報の０と１を読
み取る方式であるため、光磁気記録媒体にしか用いるこ
とができず、相変化等の反射率変化を読み取る方式の媒
体には適用できない。さらに、現在実用化されているＩ
ＳＯ基準フォーマット媒体と同じ記録膜が使えず、複雑
な多層記録再生膜が新たに必要となるため、その適用範
囲が限定されてしまう。 【０００６】 【発明が解決しようとする課題】このように、従来、高
密度記録のために記録媒体の記録ピット径を小さくする
ものでは、これに伴い再生用光スポット径も小さくする
と、光スポットを各記録ピットに正確に照射させるのが
難しくなり、高解像度の再生を行うことができなくなる
という問題点があり、また、高密度記録を高解像度で再
生するものとして考えられているものは、光磁気記録媒
体にしか適用することができず、使用範囲が限定されて
しまう。 【０００７】ところで、特開平４−１２３３４１号公報
には、磁界変調記録方式により光スポット径内に複数の
記録ピットを記録し、信号再生時は磁化膜の磁化方向の
違いによって生ずる磁気光学効果の差を強度の差として
検出し、２個以上の閾値を設けることにより多値の再生
を行うものが開示されている。 【０００８】ところが、かかる特開平４−１２３３４１
号公報に開示されたものは、再生光スポットの照射は、
複数のピットが納められた各記録ブロック単位で行われ
るようになるため、媒体のトラックの走査方向に記録ブ
ロックを連続して並べると、この走査方向前後のブロッ
クのピットからの符号間干渉が生じ、この状態で記録デ
ータを再生することは不可能になる。このため、各ブロ
ックの間に光スポット径の距離に相当させてデータを記
録しないギャップエリアを設け光スポットを確実に各記
録ブロックに対応させることで相互干渉を防止するよう
にしているが、このようにするとギャップエリアの存在
により媒体の利用効率が下がり、また、記録データ列が
不連続となるためデータの記録再生時のタイミングを取
るのも難しく、複雑な記録再生タイミングを制御する手
段を必要とするという問題点がある。 【０００９】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
で、記録媒体に制限されることなく、高密度記録情報を
高解像度で容易に再生することができる光情報再生方法
を提供することを目的とする。 【００１０】 【課題を解決するための手段】本発明は、ディスク状記
録媒体の記録トラックに沿って、所定ピッチで配列され
る記録ピットと未記録ピットからなる記録情報に光スポ
ットを照射し、前記ディスク状記録媒体を回転して前記
光スポットの反射光を検出することにより前記記録情報
を読み取るようにした光情報再生方法において、前記光
スポットは同じ前記記録トラックに記録され且つ隣接す
る前記記録ピットを同時に少なくとも２個収まる大きさ
を有しており、前記反射光の検出は前記所定ピッチ毎の
光量レベルを検出するものであり、前記光量レベルから
前記光スポットに照射されている前記記録ピットと前記
未記録ピットの配列状態を決定するに際し、一つ手前の
前記所定ピッチにおける前記記録ピットと前記未記録ピ
ットの配列状態に基づき決定するようにしている。 【００１１】 【作用】この結果、本発明によれば、記録媒体の記録ト
ラックに沿って所定ピッチで配列される記録ピットと未
記録ピットからなる記録情報に対し、光スポットを記録
トラックに沿った走査方向に前記記録情報の配列ピッチ
で移動したときの光スポット内に存在する記録ピットが
寄与する再生信号レベルを検出し、この再生信号レベル
から記録ピットの数を検出するとともに、移動開始時の
光スポット内に存在する記録ピットが寄与する再生信号
レベルから求められた記録ピットの並び方に基づいて移
動開始後の記録ピットの並び方を推測するようにしてい
る。 【００１２】これにより、高密度記録のために記録ピッ
ト径を小さくしても光スポット径をある程度の大きさに
維持できることから、記録ピットに対して光スポットを
正確に照射でき、高密度記録に対しても高解像度の再生
を実現できる。また、記録データを不連続とする必要が
ないことから媒体の利用効率を高めることができ、デー
タの記録再生時のタイミングを取るのも簡単にできる。
また、光スポット内に存在する記録ピットの数に応じた
再生信号レベルの変化を検出することから、記録媒体に
制限されることがなく、光磁気媒体、相変化媒体、色素
媒体、凹凸形状媒体などの媒体材料にも幅広く適用でき
る。 【００１３】 【実施例】以下、本発明の実施例を図面に従い説明す
る。 （第１実施例）図１は、第１実施例を説明するための概
念図である。同図（ａ）において、１は記録媒体で、こ
の記録媒体１には、記録情報として物理変化の有無より
表される記録ピット２ａと未記録ピット２ｂを記録トラ
ック１ａに沿って所定ピッチで一列に形成している。 【００１４】そして、これら記録ピット２ａと未記録ピ
ット２ｂの形成される記録媒体１面の記録トラック１ａ
方向に対して再生用光スポット３を相対的に走査するよ
うにしている。 【００１５】この場合、光スポット３の径は、この光ス
ポット３内に記録ピット２ａを同時に２個収めることが
できる大きさに設定されている。つまり、この場合の光
スポット３と記録ピット２１のサイズ比は、例えば強度
ｌ／ｅ2 で定義される光スポット３の径を約１．５μｍ
とすると、記録ピット２ｂの径を、その１／３の約０．
５μｍに設定している。 【００１６】そして、この状態で光スポット３は、時刻
ｔ0 ，ｔ1 ，ｔ2 ，ｔ3 ，ｔ4 ，ｔ5 において、それぞ
れ３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ、３ｅ、３ｆで表す位置に走
査されるようになっている。 【００１７】図２は、このような光スポット３を生成す
る光学系の概略構成を示している。この場合、レーザダ
イオード２１より出射した光をコリメーター２２により
平行光に変換し、ビーム整形プリズム兼ビームスプリッ
ター２３により円形の光束に変換して、対物レンズ２４
を介して記録媒体２５上に微小の光スポットを形成す
る。一方、記録媒体２５より反射した光を再び対物レン
ズ２４を介してビーム整形兼ビームスプリッター２３に
与え、ここでの接合面で反射させ、フォトダイオード２
６により光電変換して情報信号を得、情報再生回路２７
により信号の再生処理を行うようにしている。 【００１８】しかして、図１（ａ）において、光スポッ
ト３を時刻ｔ0 からｔ5 に示す３ａ、３ｂ、３ｃ、３
ｄ、３ｅ、３ｆの各位置に走査されると、それぞれのス
ポット位置における再生信号が得られ、これら再生信号
は、図１（ｂ）に示すように、そのレベルが変化され
る。つまり、この場合の再生信号のレベルは、Ｌ1 ，Ｌ
2，Ｌ3 の３種類の値を取るようになる。 【００１９】なぜなら、記録ピット２ａが再生信号とし
て寄与する状態は、次の３通りの状態しかとり得ないか
らである。 （Ａ）光スポット３内の記録ピット２ａが０個の場合。 【００２０】（Ｂ）光スポット３内に記録ピット２ａが
１個存在する場合。 （Ｃ）光スポット３内に記録ピット２ａが２個存在する
場合。 この場合、記録ピット２ａが再生信号に寄与する程度は
（Ｃ），（Ｂ），（Ａ）の順で大きく、その大きさは光
スポット３内の記録ピット２ａの個数に比例するので、
再生信号レベルはＬ3 ，Ｌ2 ，Ｌ1 の順で大きく（或い
は小さく）なる。 【００２１】図１（ｂ）においては、時刻ｔ4 が（Ａ）
の状態、ｔ1 ，ｔ2 ，ｔ3 ，ｔ5 が（Ｂ）の状態、ｔ0
が（Ｃ）の状態を示している。ここで、再生信号レベル
がＬ2 となる状態は、例えば、時刻ｔ1 の状態のように
記録ピット２ａが光スポット３内の左側にある場合と、
時刻ｔ2 の状態のように記録ピット２ａが光スポット３
内の右側にある場合の２通り考えられるが、これら状態
は、前後の再生信号レベル状態から推測することができ
る。 【００２２】これにより、Ｌ1 ，Ｌ2 ，Ｌ3 として求め
られる３種類の再生信号レベルと光スポット３内の左右
どちらに記録ピット２ａが存在するかの判断結果から記
録媒体１上の記録情報の読み取りができることになる。 【００２３】図３は、このようにＬ1 ，Ｌ2 ，Ｌ3 とし
て求められる３種類の再生信号レベルから記録情報を再
生する記録情報再生処理部の概略構成を示している。こ
の場合、再生信号３１は、図１（ａ）で述べたように光
スポット３が時刻ｔ0 ，ｔ1 ，ｔ2 ，ｔ3 ，ｔ4 ，ｔ5
で、それぞれ３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ、３ｅ、３ｆで示
す位置に移動することにより、同図（ｂ）に示す信号レ
ベルとして与えられる。 【００２４】そして、この再生信号３１は、図３に示す
クロック復調回路３２とレベル判別回路３５に与えられ
る。クロック復調回路３２は、再生信号３１と同期をと
ることによりクロックを復調するもので、この復調クロ
ックを光源ドライバ３３に与える。同期を引き込む際は
例えば、媒体上に予め記録されている同期用パタンによ
り行う。光源ドライバ３３は、再生用光スポット３を生
成する光源３４の光量をクロックに同期して変化させる
ようにしている。 【００２５】図４は、光源３４での光量変化のタイミン
グを示すもので、この場合、光源３４は、再生信号３１
と同期する時刻ｔ0 ，ｔ1 ，ｔ2 ，ｔ3 ，ｔ4 ，ｔ5 の
タイミングで高光量レベルＭ２が得られるように低光量
レベルＭ１と高光量レベルＭ２を交互に変化するように
している。 【００２６】一方、再生信号３１はレベル判別回路３５
に与えられる。レベル判別回路３５は、図１（ｂ）に示
すようにレベル変化する再生信号３１より、Ｌ3 ，Ｌ
2 ，Ｌ1 の各レベルを検出するものである。そして、レ
ベル判別回路３５で検出された再生信号レベルはデコー
ダ３６に与えられ、２値データ３７として生成される。 【００２７】この場合、図１（ａ）に示す時刻ｔ0 ，ｔ
1 ，ｔ2 ，ｔ3 ，ｔ4 ，ｔ5 において、それぞれ同図
（ｂ）に示すような各レベルの再生信号が出力されたと
すると、まず、時刻ｔ0 でレベルＬ3 の再生信号が出力
されると、デコーダ３６は、光スポット３内に２個の記
録ピット２ａが存在すると判定し、「１、１」の２値デ
ータ３７が得られることになる。 【００２８】次に、時刻ｔ1 でレベルＬ2 が出力される
と、このような再生信号レベルがＬ2 となる状態は、記
録ピット２ａが光スポット３内の左側にある場合と記録
ピット２ａが光スポット３内の右側にある場合の２通り
あるので、デコーダ３６での判別は、その前後の信号レ
ベルから推測する論理回路により以下のようにして行
う。 【００２９】・時刻ｔ1 では再生信号レベルがＬ2 なの
で光スポット３内に記録ピット２ａが１個存在する状態
である。 ・最小クロックの１クロックだけ過去（時刻ｔ0 ）にお
ける再生信号レベルはＬ3 なので時刻ｔ0 では光スポッ
ト３内に記録ピット２ａが２個存在する状態であった。 【００３０】・時刻ｔ0 では光スポット３内の右側にあ
る記録ピット２ａは、同時に時刻ｔ1 での光スポット３
内の左側の記録ピット２ａでもある。 ・従って時刻ｔ1 では光スポット３内の左側に記録ピッ
ト２ａが存在する状態となっている。 【００３１】このような論理により、デコーダ３６で
は、時刻ｔ1 において光スポット３内の左側のみに記録
ピット２ａが存在すると判定し、「１、０」の２値デー
タ３７が得られることになる。 【００３２】次に、時刻ｔ2 でレベルＬ2 が出力される
と、この場合も再生信号レベルがＬ2 となる状態は、記
録ピット２ａが光スポット３内の左側にくる場合と記録
ピット２ａが光スポット３内の右側にくる場合の２通り
あるので、デコーダ３６での判別は、その前後の信号レ
ベルから推測する ・時刻ｔ2 では再生信号レベルがＬ2 なので光スポット
３内に記録ピット２ａが１個存在する状態である。 【００３３】・最小クロックの１クロックだけ過去（時
刻ｔ1 ）における再生信号レベルはＬ2 なので時刻ｔ1
では光スポット３内に記録ピット２ａが１個存在する状
態であった。 【００３４】・時刻ｔ1 では光スポット３内の右側にあ
った未記録ピット２ｂは、同時に時刻ｔ2 での光スポッ
ト３内の左側の未記録ピット２ｂでもある。 ・従って時刻ｔ2 では光スポット３内の右側に記録ピッ
ト２ａが存在する状態となっている。 【００３５】このような論理により、デコーダ３６で
は、時刻ｔ2 において光スポット３内の右側のみに記録
ピット２ａが存在すると判定し、「０、１」の２値デー
タ３７が得られることになる。 【００３６】以下、他の時刻ｔ3 ，ｔ4 ，ｔ5 について
も同様にして上述の推測を適用することにより光スポッ
ト３内の記録ピット２ａの存在が判定され、記録媒体１
上の記録情報の読み取りが行われるようになる。 【００３７】なお、デコーダ３６での再生信号の判別の
ための推測は、始めに再生信号レベルがＬ3 より光スポ
ット３内の記録ピット２ａの存在を判別し、この結果に
基づいて、これ以降の再生信号レベルについて光スポッ
ト３内の記録ピット２ａの存在を判別するようにしてい
ることから、現実の再生信号の判別では、再生信号のう
ちで信号レベルがＬ3 からＬ3 の間の部分を１ブロック
として抽出し、このブロックの再生信号についてデコー
ダ３６での判別を行うようになる。 【００３８】次に、デコーダ３６について、変調方式と
してＮＲＺを用いたものの作用を図５、図６、図７、図
８を用いて説明する。図５は再生信号レベルに対応する
デコード前のデータの変換表を示している。この場合、
光スポット３と記録ピット２ａとの位置関係は、図１に
示した通りスポット３内に記録ピット２ａが２個存在す
る状態のＬ3 、スポット３内の左側に１個存在する状態
のＬ2 ( 左) 、スポット３内の右側に１個存在する状態
のＬ2( 右) 、スポット３内に記録ピット２ａが存在し
ない状態のＬ1 の４通りの状態がありえる。ただし再生
信号レベルとしてはＬ2 ( 左) とＬ2 ( 右) は同じ大き
さである。そして、記録ピット部を１、未記録ピット部
を０とすれば、各状態でのデータが図５に示す変換表の
ように対応付けられるのは図１の関係からも明らかであ
る。 【００３９】次に、図６（ａ）は、データ列のｎビット
目の再生レベルがｎ＋１ビット目で取り得る再生レベル
の配列を示し、同図（ｂ）は、さらに再生状態まで分解
して、ｎビット目の再生状態がｎ＋１ビット目で取り得
る再生状態の配列を示している。 【００４０】しかして、上述したように、再生状態Ｌ3
からＬ3 までを１つのブロック単位としてデコードする
ものとすると、再生状態の配列は、Ｌ3 から開始するの
で、図６（ａ）（ｂ）の変換表を参照すると図７に示す
ように（ａ）から（ｅ）の５通りの経路が考えられる。
ここで、例えば（ａ）の経路を取った場合は、Ｌ3 から
開始しＬ2 ( 左) 、Ｌ1 、Ｌ1 、・・・、Ｌ1 、Ｌ2 (
右) という配列となる。また、（ｂ）の経路を取った場
合は、Ｌ3 から開始しＬ2 ( 左) 、Ｌ1 、Ｌ2( 右) と
いう配列となる。以下、（ｃ）、（ｄ）、（ｅ）の経路
も図に示すような配列で表される。 【００４１】この場合、（ａ）および（ｂ）の経路の最
後のＬ2 ( 右) は、（ｃ）と（ｄ）の経路に存在するＬ
2 ( 右) に戻り、また、（ｄ）の経路の最後のＬ2 (
左) は、（ａ）の経路に存在するＬ2 ( 左) に戻るもの
とする。 【００４２】そして、Ｌ3 で終わる（ｃ）または（ｅ）
の経路を取った時点で１ブロックを終了し、再びＬ3 か
ら始まる配列を取るようになる。図５を用いて、それぞ
れの再生状態をデータに変換して示したのが図８であ
る。そして、図８の（ａ）から（ｅ）は、上述した図７
の（ａ）から（ｅ）の経路にそれぞれ対応している。 【００４３】例えば、図７の（ａ）では、先頭にくる再
生状態はＬ3 で、これに対応するデータは図５から
「１，１」であるので、図８の（１）は「１，１」とな
る。また、Ｌ3 の次にくる再生状態Ｌ2 ( 左) では、こ
れに対応するデータは同様に図５から「１，０」である
ので、図８の（２）は「１，０」となる。ここで、図８
の（１）の右側のデータ１と（２）の左側のデータ１は
重複しているので、（１）の右側のデータを有効とし
（２）の左側のデータは捨てる。（或いは図示しない
が、（１）の左側のデータを有効とし（２）の右側のデ
ータは捨てる方法でもよい。）ここでは、再生状態Ｌ3
からＬ3 までを１つのブロック単位としてデコードする
ので先頭の空白データは１とみなすことで、図８の
（ａ）の（４）で示すような媒体上の情報列を得ること
ができる。 【００４４】図７の（ｂ）から（ｅ）についても上述し
たと同様であり、それぞれ図８の（ｂ）から（ｅ）の情
報列を得ることができる。なお、ここで用いたＬ3 から
Ｌ3 までを１つのブロックとしてデコードする方法で
は、デコード前のデータをメモリに格納する必要がある
ため、ブロック長が大きいとメモリ容量への負荷が大き
くなる。従って例えばＮＲＺ符号化方式の、最大反転間
隔が大きい、直流及び低域成分が大きい等の欠点を改良
したＩ−ＮＲＺ−Ｉ方式やその他の方式を用いることに
より、周辺回路への負荷の小さい情報再生が可能とな
る。また、上述では、Ｌ3 からＬ3 までを１つのブロッ
クとしたが、これに限定されるものではなく例えば、Ｌ
1 からＬ1 までを１つのブロックとする方法でも可能で
ある。また、クロック信号があらかじめ記録されている
サンプルサーボ方式の媒体を用いることにより、媒体か
らの反射光量変化から基準クロックを抽出し、これに再
生信号を同期させることもできる。 【００４５】従って、このようにすれば、光スポット３
の径は、記録ピット２ａを同時に２個収めることが可能
な大きさに設定され、各時刻の走査位置において光スポ
ット３内に存在する記録ピット２ａが寄与する再生信号
レベルから記録ピット２ａの並び方を推測して記録情報
のデコードが行われるので、高密度記録のため記録ピッ
ト２ａの径を小さくしても光スポット３の径をある程度
の大きさに維持でき、これにより記録ピット２ａに対し
て光スポット３を正確に照射できることから、高密度記
録に対しても高解像度の再生を実現できる。 【００４６】また、光スポット３を走査方向に１記録ピ
ット分移動したときの光スポット３内に存在する記録ピ
ット２ａが寄与する再生信号レベルを検出し、この再生
信号レベルから記録ピット２ａの数を検出するととも
に、前回の光スポット３内に存在する記録ピット２ａが
寄与する再生信号レベルから求められた記録ピットの並
び方に基づいて今回の記録ピット２ａの並び方を推測す
るようにしているので、符号間干渉の影響を大幅に小さ
いものにでき、このため従来のように記録ブロックの間
に光スポット径の距離に相当させてデータを記録しない
部分を形成するものに比べて、記録データを不連続とす
る必要がないことから媒体の利用効率を高めることがで
きるとともに、データの記録再生時のタイミングを取る
のも簡単になり、複雑な記録再生タイミングを制御する
手段なども一切不要にできる。 【００４７】また、光スポット３内に存在する記録ピッ
ト２ａの数に応じた再生信号レベルの変化を検出するこ
とから、記録媒体が制限されることがなくなり、光磁気
媒体、相変化媒体、色素媒体、凹凸形状媒体などのいず
れの記録媒体にも幅広く適用すことができる。 【００４８】また、光源３４の光量を、例えば媒体が許
容する最大再生パワーからほぼ光量０までピット周期に
同期して変化させるようにしたので、光スポット３と記
録ピット２ａとの相対位値が連続的に変化することによ
る再生波形の歪み、例えば符号間干渉等によるデータエ
ラーを抑制することができる。また、光源３４をパルス
的に発光することにより、連続発光に比べて再生時にお
ける光源の寿命を約２倍以上も延命することができる。 【００４９】（参考例） 図９、図１０は、参考例を説明するための概念図であ
る。この場合、図９では、光スポット３の形状を、記録
媒体１上の記録トラック１ａに沿って一列に形成される
記録ピット２ａと未記録ピット２ｂの列方向が長軸とな
るような楕円とした例である。 【００５０】このようにすること、隣接トラックからの
情報信号やスポット位置ずれ信号のクロストークを抑制
することができることから、記録トラック方向は勿論、
トラック相互の間隔を狭めることが可能となり、記録情
報の高密度再生が可能となる。 【００５１】また、図１０では、光スポット３の形状
を、記録媒体１上の記録トラック１ａ、１ｂに沿ってそ
れぞれ一列に形成される記録ピット２ａと未記録ピット
２ｂの列方向が短軸で記録トラック１ａ。１ｂと直交す
る方向が長軸となるような楕円とした例である。 【００５２】このようにすると、光スポット３の直径内
に隣接する記録トラック１ａ、１ｂにそれぞれ位置する
記録ピット２ａが同時に２個収まるように構成すること
ができるので、トラック相互の間隔密度をさらに高めて
記録情報の高密度再生が可能となる。 【００５３】図１１は、記録媒体１上に楕円状の光スポ
ット３を与えるための光学系の概略構成を示すものであ
る。本図では往路の光学系のみ示してある。図１１にお
いて、７１はレーザーダイオードで、このレーザーダイ
オード７１を出射した光をコリメーター７２により平行
光として、偏光ビームスプリッター７３に与える。そし
て、この偏光ビームスプリッター７３を透過した平行光
を対物レンズ７４を介して記録媒体７５上に集光して直
径１μｍ程度の光スポットを形成するようにしている。 【００５４】この場合、レーザーダイオード７１より出
射した光のファーフィールドパターンを図１２に示して
いる。一般にレーザーダイオードの接合面に垂直方向の
拡がり角分布８１と水平方向の分布８２は、半値全幅で
それぞれ約２５度および１０度程度と非対称であり、コ
リメーター７２を透過後の光束断面は、楕円形状とな
る。従って、光束内の強度分布の非対称性を考慮する
と、対物レンズ７４の実効的なＮＡは、レーザーダイオ
ード７１の接合面に垂直な方向が大きいため、媒体面７
５上の光スポット形状は、レーザーダイオード７１の接
合面に垂直な方向を短軸とする楕円形状とすることがで
きる。 【００５５】（第２実施例） 図１３は、図３で述べた記録情報再生処理部の他の例を
示すもので、図３と同一部分には同符号を付している。
この場合、再生信号３１を時刻ｔ０、ｔ１、ｔ２、
ｔ３、ｔ４、ｔ５に同期して取り込むためのウインドウ
を生成するウインドウ生成回路３８を設けている。 【００５６】このようにすると、クロック復調回路３２
で復調されるクロックを用いて時刻ｔ0 ，ｔ1 ，ｔ2 ，
ｔ3 ，ｔ4 ，ｔ5 でウインドウ生成回路３８より生成さ
れるウインドウにより再生信号３１がレベル判別回路３
５に取り込まれるようになるので、レベル判別回路３５
での再生信号のレベル判別が適切なものとなり、デコー
ダ３６でのデコード動作を正確に行うことができる。 【００５７】（第３実施例） 本発明は、磁界変調記録方式のものと組み合わせること
により、高密度記録と高密度再生を同時に実現すること
もできる。 【００５８】図１４は、光スポット径よりも小さいピッ
トを記録する方法として、光磁気記録媒体に磁界変調記
録を行う例を説明するための光学系周辺の図である。こ
の場合、１０１はレーザーダイオードで、このレーザー
ダイオード１０１より出射した光をコリメーター１０２
により平行光とし、偏光ビームスプリッター１０３に与
える。そして、この偏光ビームスプリッター１０３を透
過した平行光を対物レンズ１０４を介して光磁気媒体１
０５上に集光して直径１μｍ程度の光スポットを形成す
るようにしている。 【００５９】この場合、情報の記録に際しては、光磁気
媒体１０５の温度がキューリー点以上になるよう光パワ
ーを高めておき、磁気ヘッドドライバ１０６により磁気
ヘッド１０７の磁界を記録情報に応じて高速反転させ
る。この際、記録ピットの周期は磁界の反転周期によっ
てのみ決まる。 【００６０】一方、光磁気媒体１０５より反射した光を
１／２波長板１０８を透過させて偏光面を４５度回転
し、Ｓ偏光反射率、Ｐ偏光透過率共に１００％の偏光ビ
ームスプリッター１０９に方位角４５度で入射して、２
方向に光を分離する。 【００６１】そして、偏光ビームスプリッター１０９の
透過光をレンズ１１０、円柱レンズ１１１に順に与え、
非点収差を発生させて４分割フォトダイオード１１２に
入力し、このフォトダイオード１１２の出力を演算回路
１１３で処理することによりフォーカスエラー信号を得
る。一方、偏光ビームスプリッター１０９の反射光をレ
ンズ１１４を通して２分割フォトダイオード１１５上に
集光し、このフォトダイオード１１５の出力を演算回路
１１３で処理することによりプッシュプル信号を得る。
また、演算回路１１３は、フォトダイオード１１２と１
１５の出力の和信号を差動演算することにより光磁気信
号を出力する。 【００６２】次に、このような磁界変調記録方式による
ピット記録を用いた場合の本発明との関係を図１５
（ａ）（ｂ）（ｃ）を用いて説明する。同図（ａ）にお
いて、１１６は時間に対する光スポットの光量変化を示
すもので、ここでの光量レベルＰは一定の値で、記録面
がキューリー点温度以上に達するような大きさに設定さ
れている。また、同図（ｂ）において１１７は記録デー
タに応じて磁界方向Ｎ、Ｓを１８０度反転させるための
磁気ヘッドの駆動電流である。 【００６３】そして、同図（ｃ）に示すように光スポッ
ト１１８に対して記録ピット１１９のトラック方向の径
を決定する磁気ヘッド駆動電流１１７による磁界反転半
周期を光スポット１１８の直径の１／３以下になるよう
に設定し、このような記録ピット１１９を記録トラック
１２０に沿って形成している。 【００６４】このように磁界変調記録方式では、ピット
周期が磁界反転周期でのみ決定されるため、光スポット
１１８の径以下のピットの記録が可能であり、本発明の
再生方式と組み合わせることにより高密度記録再生が同
時に実現できることになる。 【００６５】なお、本発明は上記実施例にのみ限定され
ず、要旨を変更しない範囲で適宜変形して実施できる。
本発明は、上述の磁界変調記録方式に限らず光変調記録
方式を用いた場合においても、記録時の光変調パルスの
時間を充分に短くすることにより、光スポット径以下の
ピットの記録は可能であり、本発明の再生方式と組み合
わせることにより高密度記録再生が同時に実現できる。 【００６６】上述した実施例では、記録媒体面での再生
用の光スポット径を、光スポット内に記録ピットを同時
に２個収める大きさに設定したが、光スポット内の記録
ピットの個数は２個に限定されるものでなく、３個以上
とすることも可能である。例えば、３個とした場合は、
図１（ｂ）に示す再生信号のレベルは、Ｌ1 ，Ｌ2 ，Ｌ
3 ，Ｌ4 の４種類の値を取り得るが、上述した実施例の
原理に基づいて論理回路を発展することにより記録媒体
上の記録情報を読み取ることができる。 【００６７】また、例えば、光磁気ディスクにおいて
は、各トラックを複数のセクタに分割し、各セクタを図
１６に示すようにプリフォーマット部１２１とデータ部
１２２により構成している。ここでのプリフォーマット
部１２１は、アドレス番号などが記録され、データ部１
２２は、ユーザデータが記憶されている。そして、この
ような光磁気ディスクでは、プリフォーマット部１２１
は凹凸のピットにより構成され、データ部１２２は、光
磁気の原理で磁気的な記録が行われている。本発明の再
生方式によれば、このような異なる記録方式で記録され
た信号に対しても対応でき、しかもプリフォーマット部
１２１とデータ部１２２はどちらも従来に比べて高密度
で記録しても十分に再生できるようになる。この場合、
アドレス部は、プリフォーマットでなく、ユーザデータ
と同時期に書き込むようにしても良い。つまり、アドレ
ス信号などプリフォーマット部１２１に記録すべき信号
をユーザデータと同じ記録原理で記録することになる。 【００６８】また、本発明の再生方式は、マルチファン
クションの装置、つまり複数種類の媒体に対応して再生
可能な装置にも適用できる。この場合、一種類の媒体内
における信号記録原理が１つである場合も、２つの場合
もあるが、いずれにしても複数種類の媒体からの信号が
読み出せるものであるから少なくとも二種類の記録原理
の信号を読み出す必要があるが、本発明の再生方式で
は、いずれの記録原理に対応可能であることから、簡単
な構成でマルチファンクションの装置が実現できる。 【００６９】このように本発明の再生方式によれば、媒
体面の記録部と未記録部とで反射または透過光の光量、
偏光状態などの特性が異なるような材料の媒体であれ
ば、光磁気媒体、相変化媒体、色素媒体、凹凸形状媒体
などの材料には制限されないで適用できるものである。 【００７０】また、本発明は、記録媒体の内周と外周と
でピット径がほぼ等しくなるようクロック周波数を切り
換えるＭＣＡＶ方式と組み合わせることができる。ＭＣ
ＡＶ方式では、ＣＡＶ方式における最内周と同じ記録密
度を媒体全周に渡って維持できるため媒体の容量を増や
すことができる特徴を持つが、本発明の再生方式と組み
合わせることによりさらに高密度な記録再生が可能とな
る。 【００７１】 【発明の効果】本発明によれば、記録媒体の記録トラッ
クに沿って所定ピッチで配列される記録ピットと未記録
ピットからなる記録情報に対し、光スポットを記録トラ
ックに沿った走査方向に前記記録情報の配列ピッチで移
動したときの光スポット内に存在する記録ピットが寄与
する再生信号レベルを検出し、この再生信号レベルから
記録ピットの数を検出するとともに、移動開始時の光ス
ポット内に存在する記録ピットが寄与する再生信号レベ
ルから求められた記録ピットの並び方に基づいて移動開
始後の記録ピットの並び方を推測するようにしたので、
高密度記録のために記録ピット径を小さくしても光スポ
ット径をある程度の大きさに維持できることから、記録
ピットに対して光スポットを正確に照射でき、高密度記
録に対しても高解像度の再生を実現できる。また、従来
のものと比べ、記録データを不連続とする必要がないこ
とから媒体の利用効率を高めることができるとともに、
データの記録再生時のタイミングを取るのも簡単にな
り、複雑な記録再生タイミングを制御する手段なども一
切不要にできる利点もある。また、光スポット内に存在
する記録ピットの数に応じた再生信号レベルの変化を検
出することから、記録媒体に制限されることがなく、光
磁気媒体、相変化媒体、色素媒体、凹凸形状媒体など様
々な媒体材料にも幅広く適用できる。
光情報を高解像度で再生する光情報再生方法に関する。 【０００２】 【従来の技術】例えば、ＣＤや光磁気ディスクにおいて
記録媒体の記録情報を読み出すには、極小のスポットに
収束されたレーザ光を再生用光スポットとして記録媒体
に照射して、媒体面上に形成されている記録ピットの有
無による光反射強度の変化や記録膜の磁化の方向による
偏光面の変化を光ピックアップの光学素子により検出し
て記録信号に応じた光量変化に変換し、この光量変化を
フォトダイオード等の光センサで検出することにより記
録情報の再生を行うようにしている。 【０００３】ところで、最近、記録媒体に形成される記
録ピット径を小さくすることで、記録密度を高めて大量
の情報を記録できるようにすることが考えられている。
しかし、高密度記録のために記録媒体の記録ピット径を
小さくしていくと、記録ピットを読むための再生用光ス
ポット径も小さくする必要があるが、対物レンズのＮＡ
と光源の波長の制限により再生用光スポットの径を小さ
くするには限界があり、高解像度の再生を行うことがで
きなくなるという問題点があった。 【０００４】従来、高密度記録を高解像度で再生するも
のとして、特開平４−２５５９４６号公報や特願平１−
２２５６８５号公報に開示されたものが知られている。
つまり、このものは、光磁気記録媒体と再生用ビームス
ポットとの相対的移動による温度分布を利用して、光磁
気記録媒体の再生可能領域を、再生時に所定の温度領域
においてのみ発生させるようにして結果的に再生の高解
像度化をはかるものである。 【０００５】ところが、このようにしたものは、光スポ
ットが照射されている媒体面上の領域において、再生可
能温度領域以外の再生層の磁化は全て再生磁界と同方向
に揃えられ、再生可能温度領域内においてのみ記録層の
記録ピットが再生層に転写され、２値情報の０と１を読
み取る方式であるため、光磁気記録媒体にしか用いるこ
とができず、相変化等の反射率変化を読み取る方式の媒
体には適用できない。さらに、現在実用化されているＩ
ＳＯ基準フォーマット媒体と同じ記録膜が使えず、複雑
な多層記録再生膜が新たに必要となるため、その適用範
囲が限定されてしまう。 【０００６】 【発明が解決しようとする課題】このように、従来、高
密度記録のために記録媒体の記録ピット径を小さくする
ものでは、これに伴い再生用光スポット径も小さくする
と、光スポットを各記録ピットに正確に照射させるのが
難しくなり、高解像度の再生を行うことができなくなる
という問題点があり、また、高密度記録を高解像度で再
生するものとして考えられているものは、光磁気記録媒
体にしか適用することができず、使用範囲が限定されて
しまう。 【０００７】ところで、特開平４−１２３３４１号公報
には、磁界変調記録方式により光スポット径内に複数の
記録ピットを記録し、信号再生時は磁化膜の磁化方向の
違いによって生ずる磁気光学効果の差を強度の差として
検出し、２個以上の閾値を設けることにより多値の再生
を行うものが開示されている。 【０００８】ところが、かかる特開平４−１２３３４１
号公報に開示されたものは、再生光スポットの照射は、
複数のピットが納められた各記録ブロック単位で行われ
るようになるため、媒体のトラックの走査方向に記録ブ
ロックを連続して並べると、この走査方向前後のブロッ
クのピットからの符号間干渉が生じ、この状態で記録デ
ータを再生することは不可能になる。このため、各ブロ
ックの間に光スポット径の距離に相当させてデータを記
録しないギャップエリアを設け光スポットを確実に各記
録ブロックに対応させることで相互干渉を防止するよう
にしているが、このようにするとギャップエリアの存在
により媒体の利用効率が下がり、また、記録データ列が
不連続となるためデータの記録再生時のタイミングを取
るのも難しく、複雑な記録再生タイミングを制御する手
段を必要とするという問題点がある。 【０００９】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
で、記録媒体に制限されることなく、高密度記録情報を
高解像度で容易に再生することができる光情報再生方法
を提供することを目的とする。 【００１０】 【課題を解決するための手段】本発明は、ディスク状記
録媒体の記録トラックに沿って、所定ピッチで配列され
る記録ピットと未記録ピットからなる記録情報に光スポ
ットを照射し、前記ディスク状記録媒体を回転して前記
光スポットの反射光を検出することにより前記記録情報
を読み取るようにした光情報再生方法において、前記光
スポットは同じ前記記録トラックに記録され且つ隣接す
る前記記録ピットを同時に少なくとも２個収まる大きさ
を有しており、前記反射光の検出は前記所定ピッチ毎の
光量レベルを検出するものであり、前記光量レベルから
前記光スポットに照射されている前記記録ピットと前記
未記録ピットの配列状態を決定するに際し、一つ手前の
前記所定ピッチにおける前記記録ピットと前記未記録ピ
ットの配列状態に基づき決定するようにしている。 【００１１】 【作用】この結果、本発明によれば、記録媒体の記録ト
ラックに沿って所定ピッチで配列される記録ピットと未
記録ピットからなる記録情報に対し、光スポットを記録
トラックに沿った走査方向に前記記録情報の配列ピッチ
で移動したときの光スポット内に存在する記録ピットが
寄与する再生信号レベルを検出し、この再生信号レベル
から記録ピットの数を検出するとともに、移動開始時の
光スポット内に存在する記録ピットが寄与する再生信号
レベルから求められた記録ピットの並び方に基づいて移
動開始後の記録ピットの並び方を推測するようにしてい
る。 【００１２】これにより、高密度記録のために記録ピッ
ト径を小さくしても光スポット径をある程度の大きさに
維持できることから、記録ピットに対して光スポットを
正確に照射でき、高密度記録に対しても高解像度の再生
を実現できる。また、記録データを不連続とする必要が
ないことから媒体の利用効率を高めることができ、デー
タの記録再生時のタイミングを取るのも簡単にできる。
また、光スポット内に存在する記録ピットの数に応じた
再生信号レベルの変化を検出することから、記録媒体に
制限されることがなく、光磁気媒体、相変化媒体、色素
媒体、凹凸形状媒体などの媒体材料にも幅広く適用でき
る。 【００１３】 【実施例】以下、本発明の実施例を図面に従い説明す
る。 （第１実施例）図１は、第１実施例を説明するための概
念図である。同図（ａ）において、１は記録媒体で、こ
の記録媒体１には、記録情報として物理変化の有無より
表される記録ピット２ａと未記録ピット２ｂを記録トラ
ック１ａに沿って所定ピッチで一列に形成している。 【００１４】そして、これら記録ピット２ａと未記録ピ
ット２ｂの形成される記録媒体１面の記録トラック１ａ
方向に対して再生用光スポット３を相対的に走査するよ
うにしている。 【００１５】この場合、光スポット３の径は、この光ス
ポット３内に記録ピット２ａを同時に２個収めることが
できる大きさに設定されている。つまり、この場合の光
スポット３と記録ピット２１のサイズ比は、例えば強度
ｌ／ｅ2 で定義される光スポット３の径を約１．５μｍ
とすると、記録ピット２ｂの径を、その１／３の約０．
５μｍに設定している。 【００１６】そして、この状態で光スポット３は、時刻
ｔ0 ，ｔ1 ，ｔ2 ，ｔ3 ，ｔ4 ，ｔ5 において、それぞ
れ３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ、３ｅ、３ｆで表す位置に走
査されるようになっている。 【００１７】図２は、このような光スポット３を生成す
る光学系の概略構成を示している。この場合、レーザダ
イオード２１より出射した光をコリメーター２２により
平行光に変換し、ビーム整形プリズム兼ビームスプリッ
ター２３により円形の光束に変換して、対物レンズ２４
を介して記録媒体２５上に微小の光スポットを形成す
る。一方、記録媒体２５より反射した光を再び対物レン
ズ２４を介してビーム整形兼ビームスプリッター２３に
与え、ここでの接合面で反射させ、フォトダイオード２
６により光電変換して情報信号を得、情報再生回路２７
により信号の再生処理を行うようにしている。 【００１８】しかして、図１（ａ）において、光スポッ
ト３を時刻ｔ0 からｔ5 に示す３ａ、３ｂ、３ｃ、３
ｄ、３ｅ、３ｆの各位置に走査されると、それぞれのス
ポット位置における再生信号が得られ、これら再生信号
は、図１（ｂ）に示すように、そのレベルが変化され
る。つまり、この場合の再生信号のレベルは、Ｌ1 ，Ｌ
2，Ｌ3 の３種類の値を取るようになる。 【００１９】なぜなら、記録ピット２ａが再生信号とし
て寄与する状態は、次の３通りの状態しかとり得ないか
らである。 （Ａ）光スポット３内の記録ピット２ａが０個の場合。 【００２０】（Ｂ）光スポット３内に記録ピット２ａが
１個存在する場合。 （Ｃ）光スポット３内に記録ピット２ａが２個存在する
場合。 この場合、記録ピット２ａが再生信号に寄与する程度は
（Ｃ），（Ｂ），（Ａ）の順で大きく、その大きさは光
スポット３内の記録ピット２ａの個数に比例するので、
再生信号レベルはＬ3 ，Ｌ2 ，Ｌ1 の順で大きく（或い
は小さく）なる。 【００２１】図１（ｂ）においては、時刻ｔ4 が（Ａ）
の状態、ｔ1 ，ｔ2 ，ｔ3 ，ｔ5 が（Ｂ）の状態、ｔ0
が（Ｃ）の状態を示している。ここで、再生信号レベル
がＬ2 となる状態は、例えば、時刻ｔ1 の状態のように
記録ピット２ａが光スポット３内の左側にある場合と、
時刻ｔ2 の状態のように記録ピット２ａが光スポット３
内の右側にある場合の２通り考えられるが、これら状態
は、前後の再生信号レベル状態から推測することができ
る。 【００２２】これにより、Ｌ1 ，Ｌ2 ，Ｌ3 として求め
られる３種類の再生信号レベルと光スポット３内の左右
どちらに記録ピット２ａが存在するかの判断結果から記
録媒体１上の記録情報の読み取りができることになる。 【００２３】図３は、このようにＬ1 ，Ｌ2 ，Ｌ3 とし
て求められる３種類の再生信号レベルから記録情報を再
生する記録情報再生処理部の概略構成を示している。こ
の場合、再生信号３１は、図１（ａ）で述べたように光
スポット３が時刻ｔ0 ，ｔ1 ，ｔ2 ，ｔ3 ，ｔ4 ，ｔ5
で、それぞれ３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ、３ｅ、３ｆで示
す位置に移動することにより、同図（ｂ）に示す信号レ
ベルとして与えられる。 【００２４】そして、この再生信号３１は、図３に示す
クロック復調回路３２とレベル判別回路３５に与えられ
る。クロック復調回路３２は、再生信号３１と同期をと
ることによりクロックを復調するもので、この復調クロ
ックを光源ドライバ３３に与える。同期を引き込む際は
例えば、媒体上に予め記録されている同期用パタンによ
り行う。光源ドライバ３３は、再生用光スポット３を生
成する光源３４の光量をクロックに同期して変化させる
ようにしている。 【００２５】図４は、光源３４での光量変化のタイミン
グを示すもので、この場合、光源３４は、再生信号３１
と同期する時刻ｔ0 ，ｔ1 ，ｔ2 ，ｔ3 ，ｔ4 ，ｔ5 の
タイミングで高光量レベルＭ２が得られるように低光量
レベルＭ１と高光量レベルＭ２を交互に変化するように
している。 【００２６】一方、再生信号３１はレベル判別回路３５
に与えられる。レベル判別回路３５は、図１（ｂ）に示
すようにレベル変化する再生信号３１より、Ｌ3 ，Ｌ
2 ，Ｌ1 の各レベルを検出するものである。そして、レ
ベル判別回路３５で検出された再生信号レベルはデコー
ダ３６に与えられ、２値データ３７として生成される。 【００２７】この場合、図１（ａ）に示す時刻ｔ0 ，ｔ
1 ，ｔ2 ，ｔ3 ，ｔ4 ，ｔ5 において、それぞれ同図
（ｂ）に示すような各レベルの再生信号が出力されたと
すると、まず、時刻ｔ0 でレベルＬ3 の再生信号が出力
されると、デコーダ３６は、光スポット３内に２個の記
録ピット２ａが存在すると判定し、「１、１」の２値デ
ータ３７が得られることになる。 【００２８】次に、時刻ｔ1 でレベルＬ2 が出力される
と、このような再生信号レベルがＬ2 となる状態は、記
録ピット２ａが光スポット３内の左側にある場合と記録
ピット２ａが光スポット３内の右側にある場合の２通り
あるので、デコーダ３６での判別は、その前後の信号レ
ベルから推測する論理回路により以下のようにして行
う。 【００２９】・時刻ｔ1 では再生信号レベルがＬ2 なの
で光スポット３内に記録ピット２ａが１個存在する状態
である。 ・最小クロックの１クロックだけ過去（時刻ｔ0 ）にお
ける再生信号レベルはＬ3 なので時刻ｔ0 では光スポッ
ト３内に記録ピット２ａが２個存在する状態であった。 【００３０】・時刻ｔ0 では光スポット３内の右側にあ
る記録ピット２ａは、同時に時刻ｔ1 での光スポット３
内の左側の記録ピット２ａでもある。 ・従って時刻ｔ1 では光スポット３内の左側に記録ピッ
ト２ａが存在する状態となっている。 【００３１】このような論理により、デコーダ３６で
は、時刻ｔ1 において光スポット３内の左側のみに記録
ピット２ａが存在すると判定し、「１、０」の２値デー
タ３７が得られることになる。 【００３２】次に、時刻ｔ2 でレベルＬ2 が出力される
と、この場合も再生信号レベルがＬ2 となる状態は、記
録ピット２ａが光スポット３内の左側にくる場合と記録
ピット２ａが光スポット３内の右側にくる場合の２通り
あるので、デコーダ３６での判別は、その前後の信号レ
ベルから推測する ・時刻ｔ2 では再生信号レベルがＬ2 なので光スポット
３内に記録ピット２ａが１個存在する状態である。 【００３３】・最小クロックの１クロックだけ過去（時
刻ｔ1 ）における再生信号レベルはＬ2 なので時刻ｔ1
では光スポット３内に記録ピット２ａが１個存在する状
態であった。 【００３４】・時刻ｔ1 では光スポット３内の右側にあ
った未記録ピット２ｂは、同時に時刻ｔ2 での光スポッ
ト３内の左側の未記録ピット２ｂでもある。 ・従って時刻ｔ2 では光スポット３内の右側に記録ピッ
ト２ａが存在する状態となっている。 【００３５】このような論理により、デコーダ３６で
は、時刻ｔ2 において光スポット３内の右側のみに記録
ピット２ａが存在すると判定し、「０、１」の２値デー
タ３７が得られることになる。 【００３６】以下、他の時刻ｔ3 ，ｔ4 ，ｔ5 について
も同様にして上述の推測を適用することにより光スポッ
ト３内の記録ピット２ａの存在が判定され、記録媒体１
上の記録情報の読み取りが行われるようになる。 【００３７】なお、デコーダ３６での再生信号の判別の
ための推測は、始めに再生信号レベルがＬ3 より光スポ
ット３内の記録ピット２ａの存在を判別し、この結果に
基づいて、これ以降の再生信号レベルについて光スポッ
ト３内の記録ピット２ａの存在を判別するようにしてい
ることから、現実の再生信号の判別では、再生信号のう
ちで信号レベルがＬ3 からＬ3 の間の部分を１ブロック
として抽出し、このブロックの再生信号についてデコー
ダ３６での判別を行うようになる。 【００３８】次に、デコーダ３６について、変調方式と
してＮＲＺを用いたものの作用を図５、図６、図７、図
８を用いて説明する。図５は再生信号レベルに対応する
デコード前のデータの変換表を示している。この場合、
光スポット３と記録ピット２ａとの位置関係は、図１に
示した通りスポット３内に記録ピット２ａが２個存在す
る状態のＬ3 、スポット３内の左側に１個存在する状態
のＬ2 ( 左) 、スポット３内の右側に１個存在する状態
のＬ2( 右) 、スポット３内に記録ピット２ａが存在し
ない状態のＬ1 の４通りの状態がありえる。ただし再生
信号レベルとしてはＬ2 ( 左) とＬ2 ( 右) は同じ大き
さである。そして、記録ピット部を１、未記録ピット部
を０とすれば、各状態でのデータが図５に示す変換表の
ように対応付けられるのは図１の関係からも明らかであ
る。 【００３９】次に、図６（ａ）は、データ列のｎビット
目の再生レベルがｎ＋１ビット目で取り得る再生レベル
の配列を示し、同図（ｂ）は、さらに再生状態まで分解
して、ｎビット目の再生状態がｎ＋１ビット目で取り得
る再生状態の配列を示している。 【００４０】しかして、上述したように、再生状態Ｌ3
からＬ3 までを１つのブロック単位としてデコードする
ものとすると、再生状態の配列は、Ｌ3 から開始するの
で、図６（ａ）（ｂ）の変換表を参照すると図７に示す
ように（ａ）から（ｅ）の５通りの経路が考えられる。
ここで、例えば（ａ）の経路を取った場合は、Ｌ3 から
開始しＬ2 ( 左) 、Ｌ1 、Ｌ1 、・・・、Ｌ1 、Ｌ2 (
右) という配列となる。また、（ｂ）の経路を取った場
合は、Ｌ3 から開始しＬ2 ( 左) 、Ｌ1 、Ｌ2( 右) と
いう配列となる。以下、（ｃ）、（ｄ）、（ｅ）の経路
も図に示すような配列で表される。 【００４１】この場合、（ａ）および（ｂ）の経路の最
後のＬ2 ( 右) は、（ｃ）と（ｄ）の経路に存在するＬ
2 ( 右) に戻り、また、（ｄ）の経路の最後のＬ2 (
左) は、（ａ）の経路に存在するＬ2 ( 左) に戻るもの
とする。 【００４２】そして、Ｌ3 で終わる（ｃ）または（ｅ）
の経路を取った時点で１ブロックを終了し、再びＬ3 か
ら始まる配列を取るようになる。図５を用いて、それぞ
れの再生状態をデータに変換して示したのが図８であ
る。そして、図８の（ａ）から（ｅ）は、上述した図７
の（ａ）から（ｅ）の経路にそれぞれ対応している。 【００４３】例えば、図７の（ａ）では、先頭にくる再
生状態はＬ3 で、これに対応するデータは図５から
「１，１」であるので、図８の（１）は「１，１」とな
る。また、Ｌ3 の次にくる再生状態Ｌ2 ( 左) では、こ
れに対応するデータは同様に図５から「１，０」である
ので、図８の（２）は「１，０」となる。ここで、図８
の（１）の右側のデータ１と（２）の左側のデータ１は
重複しているので、（１）の右側のデータを有効とし
（２）の左側のデータは捨てる。（或いは図示しない
が、（１）の左側のデータを有効とし（２）の右側のデ
ータは捨てる方法でもよい。）ここでは、再生状態Ｌ3
からＬ3 までを１つのブロック単位としてデコードする
ので先頭の空白データは１とみなすことで、図８の
（ａ）の（４）で示すような媒体上の情報列を得ること
ができる。 【００４４】図７の（ｂ）から（ｅ）についても上述し
たと同様であり、それぞれ図８の（ｂ）から（ｅ）の情
報列を得ることができる。なお、ここで用いたＬ3 から
Ｌ3 までを１つのブロックとしてデコードする方法で
は、デコード前のデータをメモリに格納する必要がある
ため、ブロック長が大きいとメモリ容量への負荷が大き
くなる。従って例えばＮＲＺ符号化方式の、最大反転間
隔が大きい、直流及び低域成分が大きい等の欠点を改良
したＩ−ＮＲＺ−Ｉ方式やその他の方式を用いることに
より、周辺回路への負荷の小さい情報再生が可能とな
る。また、上述では、Ｌ3 からＬ3 までを１つのブロッ
クとしたが、これに限定されるものではなく例えば、Ｌ
1 からＬ1 までを１つのブロックとする方法でも可能で
ある。また、クロック信号があらかじめ記録されている
サンプルサーボ方式の媒体を用いることにより、媒体か
らの反射光量変化から基準クロックを抽出し、これに再
生信号を同期させることもできる。 【００４５】従って、このようにすれば、光スポット３
の径は、記録ピット２ａを同時に２個収めることが可能
な大きさに設定され、各時刻の走査位置において光スポ
ット３内に存在する記録ピット２ａが寄与する再生信号
レベルから記録ピット２ａの並び方を推測して記録情報
のデコードが行われるので、高密度記録のため記録ピッ
ト２ａの径を小さくしても光スポット３の径をある程度
の大きさに維持でき、これにより記録ピット２ａに対し
て光スポット３を正確に照射できることから、高密度記
録に対しても高解像度の再生を実現できる。 【００４６】また、光スポット３を走査方向に１記録ピ
ット分移動したときの光スポット３内に存在する記録ピ
ット２ａが寄与する再生信号レベルを検出し、この再生
信号レベルから記録ピット２ａの数を検出するととも
に、前回の光スポット３内に存在する記録ピット２ａが
寄与する再生信号レベルから求められた記録ピットの並
び方に基づいて今回の記録ピット２ａの並び方を推測す
るようにしているので、符号間干渉の影響を大幅に小さ
いものにでき、このため従来のように記録ブロックの間
に光スポット径の距離に相当させてデータを記録しない
部分を形成するものに比べて、記録データを不連続とす
る必要がないことから媒体の利用効率を高めることがで
きるとともに、データの記録再生時のタイミングを取る
のも簡単になり、複雑な記録再生タイミングを制御する
手段なども一切不要にできる。 【００４７】また、光スポット３内に存在する記録ピッ
ト２ａの数に応じた再生信号レベルの変化を検出するこ
とから、記録媒体が制限されることがなくなり、光磁気
媒体、相変化媒体、色素媒体、凹凸形状媒体などのいず
れの記録媒体にも幅広く適用すことができる。 【００４８】また、光源３４の光量を、例えば媒体が許
容する最大再生パワーからほぼ光量０までピット周期に
同期して変化させるようにしたので、光スポット３と記
録ピット２ａとの相対位値が連続的に変化することによ
る再生波形の歪み、例えば符号間干渉等によるデータエ
ラーを抑制することができる。また、光源３４をパルス
的に発光することにより、連続発光に比べて再生時にお
ける光源の寿命を約２倍以上も延命することができる。 【００４９】（参考例） 図９、図１０は、参考例を説明するための概念図であ
る。この場合、図９では、光スポット３の形状を、記録
媒体１上の記録トラック１ａに沿って一列に形成される
記録ピット２ａと未記録ピット２ｂの列方向が長軸とな
るような楕円とした例である。 【００５０】このようにすること、隣接トラックからの
情報信号やスポット位置ずれ信号のクロストークを抑制
することができることから、記録トラック方向は勿論、
トラック相互の間隔を狭めることが可能となり、記録情
報の高密度再生が可能となる。 【００５１】また、図１０では、光スポット３の形状
を、記録媒体１上の記録トラック１ａ、１ｂに沿ってそ
れぞれ一列に形成される記録ピット２ａと未記録ピット
２ｂの列方向が短軸で記録トラック１ａ。１ｂと直交す
る方向が長軸となるような楕円とした例である。 【００５２】このようにすると、光スポット３の直径内
に隣接する記録トラック１ａ、１ｂにそれぞれ位置する
記録ピット２ａが同時に２個収まるように構成すること
ができるので、トラック相互の間隔密度をさらに高めて
記録情報の高密度再生が可能となる。 【００５３】図１１は、記録媒体１上に楕円状の光スポ
ット３を与えるための光学系の概略構成を示すものであ
る。本図では往路の光学系のみ示してある。図１１にお
いて、７１はレーザーダイオードで、このレーザーダイ
オード７１を出射した光をコリメーター７２により平行
光として、偏光ビームスプリッター７３に与える。そし
て、この偏光ビームスプリッター７３を透過した平行光
を対物レンズ７４を介して記録媒体７５上に集光して直
径１μｍ程度の光スポットを形成するようにしている。 【００５４】この場合、レーザーダイオード７１より出
射した光のファーフィールドパターンを図１２に示して
いる。一般にレーザーダイオードの接合面に垂直方向の
拡がり角分布８１と水平方向の分布８２は、半値全幅で
それぞれ約２５度および１０度程度と非対称であり、コ
リメーター７２を透過後の光束断面は、楕円形状とな
る。従って、光束内の強度分布の非対称性を考慮する
と、対物レンズ７４の実効的なＮＡは、レーザーダイオ
ード７１の接合面に垂直な方向が大きいため、媒体面７
５上の光スポット形状は、レーザーダイオード７１の接
合面に垂直な方向を短軸とする楕円形状とすることがで
きる。 【００５５】（第２実施例） 図１３は、図３で述べた記録情報再生処理部の他の例を
示すもので、図３と同一部分には同符号を付している。
この場合、再生信号３１を時刻ｔ０、ｔ１、ｔ２、
ｔ３、ｔ４、ｔ５に同期して取り込むためのウインドウ
を生成するウインドウ生成回路３８を設けている。 【００５６】このようにすると、クロック復調回路３２
で復調されるクロックを用いて時刻ｔ0 ，ｔ1 ，ｔ2 ，
ｔ3 ，ｔ4 ，ｔ5 でウインドウ生成回路３８より生成さ
れるウインドウにより再生信号３１がレベル判別回路３
５に取り込まれるようになるので、レベル判別回路３５
での再生信号のレベル判別が適切なものとなり、デコー
ダ３６でのデコード動作を正確に行うことができる。 【００５７】（第３実施例） 本発明は、磁界変調記録方式のものと組み合わせること
により、高密度記録と高密度再生を同時に実現すること
もできる。 【００５８】図１４は、光スポット径よりも小さいピッ
トを記録する方法として、光磁気記録媒体に磁界変調記
録を行う例を説明するための光学系周辺の図である。こ
の場合、１０１はレーザーダイオードで、このレーザー
ダイオード１０１より出射した光をコリメーター１０２
により平行光とし、偏光ビームスプリッター１０３に与
える。そして、この偏光ビームスプリッター１０３を透
過した平行光を対物レンズ１０４を介して光磁気媒体１
０５上に集光して直径１μｍ程度の光スポットを形成す
るようにしている。 【００５９】この場合、情報の記録に際しては、光磁気
媒体１０５の温度がキューリー点以上になるよう光パワ
ーを高めておき、磁気ヘッドドライバ１０６により磁気
ヘッド１０７の磁界を記録情報に応じて高速反転させ
る。この際、記録ピットの周期は磁界の反転周期によっ
てのみ決まる。 【００６０】一方、光磁気媒体１０５より反射した光を
１／２波長板１０８を透過させて偏光面を４５度回転
し、Ｓ偏光反射率、Ｐ偏光透過率共に１００％の偏光ビ
ームスプリッター１０９に方位角４５度で入射して、２
方向に光を分離する。 【００６１】そして、偏光ビームスプリッター１０９の
透過光をレンズ１１０、円柱レンズ１１１に順に与え、
非点収差を発生させて４分割フォトダイオード１１２に
入力し、このフォトダイオード１１２の出力を演算回路
１１３で処理することによりフォーカスエラー信号を得
る。一方、偏光ビームスプリッター１０９の反射光をレ
ンズ１１４を通して２分割フォトダイオード１１５上に
集光し、このフォトダイオード１１５の出力を演算回路
１１３で処理することによりプッシュプル信号を得る。
また、演算回路１１３は、フォトダイオード１１２と１
１５の出力の和信号を差動演算することにより光磁気信
号を出力する。 【００６２】次に、このような磁界変調記録方式による
ピット記録を用いた場合の本発明との関係を図１５
（ａ）（ｂ）（ｃ）を用いて説明する。同図（ａ）にお
いて、１１６は時間に対する光スポットの光量変化を示
すもので、ここでの光量レベルＰは一定の値で、記録面
がキューリー点温度以上に達するような大きさに設定さ
れている。また、同図（ｂ）において１１７は記録デー
タに応じて磁界方向Ｎ、Ｓを１８０度反転させるための
磁気ヘッドの駆動電流である。 【００６３】そして、同図（ｃ）に示すように光スポッ
ト１１８に対して記録ピット１１９のトラック方向の径
を決定する磁気ヘッド駆動電流１１７による磁界反転半
周期を光スポット１１８の直径の１／３以下になるよう
に設定し、このような記録ピット１１９を記録トラック
１２０に沿って形成している。 【００６４】このように磁界変調記録方式では、ピット
周期が磁界反転周期でのみ決定されるため、光スポット
１１８の径以下のピットの記録が可能であり、本発明の
再生方式と組み合わせることにより高密度記録再生が同
時に実現できることになる。 【００６５】なお、本発明は上記実施例にのみ限定され
ず、要旨を変更しない範囲で適宜変形して実施できる。
本発明は、上述の磁界変調記録方式に限らず光変調記録
方式を用いた場合においても、記録時の光変調パルスの
時間を充分に短くすることにより、光スポット径以下の
ピットの記録は可能であり、本発明の再生方式と組み合
わせることにより高密度記録再生が同時に実現できる。 【００６６】上述した実施例では、記録媒体面での再生
用の光スポット径を、光スポット内に記録ピットを同時
に２個収める大きさに設定したが、光スポット内の記録
ピットの個数は２個に限定されるものでなく、３個以上
とすることも可能である。例えば、３個とした場合は、
図１（ｂ）に示す再生信号のレベルは、Ｌ1 ，Ｌ2 ，Ｌ
3 ，Ｌ4 の４種類の値を取り得るが、上述した実施例の
原理に基づいて論理回路を発展することにより記録媒体
上の記録情報を読み取ることができる。 【００６７】また、例えば、光磁気ディスクにおいて
は、各トラックを複数のセクタに分割し、各セクタを図
１６に示すようにプリフォーマット部１２１とデータ部
１２２により構成している。ここでのプリフォーマット
部１２１は、アドレス番号などが記録され、データ部１
２２は、ユーザデータが記憶されている。そして、この
ような光磁気ディスクでは、プリフォーマット部１２１
は凹凸のピットにより構成され、データ部１２２は、光
磁気の原理で磁気的な記録が行われている。本発明の再
生方式によれば、このような異なる記録方式で記録され
た信号に対しても対応でき、しかもプリフォーマット部
１２１とデータ部１２２はどちらも従来に比べて高密度
で記録しても十分に再生できるようになる。この場合、
アドレス部は、プリフォーマットでなく、ユーザデータ
と同時期に書き込むようにしても良い。つまり、アドレ
ス信号などプリフォーマット部１２１に記録すべき信号
をユーザデータと同じ記録原理で記録することになる。 【００６８】また、本発明の再生方式は、マルチファン
クションの装置、つまり複数種類の媒体に対応して再生
可能な装置にも適用できる。この場合、一種類の媒体内
における信号記録原理が１つである場合も、２つの場合
もあるが、いずれにしても複数種類の媒体からの信号が
読み出せるものであるから少なくとも二種類の記録原理
の信号を読み出す必要があるが、本発明の再生方式で
は、いずれの記録原理に対応可能であることから、簡単
な構成でマルチファンクションの装置が実現できる。 【００６９】このように本発明の再生方式によれば、媒
体面の記録部と未記録部とで反射または透過光の光量、
偏光状態などの特性が異なるような材料の媒体であれ
ば、光磁気媒体、相変化媒体、色素媒体、凹凸形状媒体
などの材料には制限されないで適用できるものである。 【００７０】また、本発明は、記録媒体の内周と外周と
でピット径がほぼ等しくなるようクロック周波数を切り
換えるＭＣＡＶ方式と組み合わせることができる。ＭＣ
ＡＶ方式では、ＣＡＶ方式における最内周と同じ記録密
度を媒体全周に渡って維持できるため媒体の容量を増や
すことができる特徴を持つが、本発明の再生方式と組み
合わせることによりさらに高密度な記録再生が可能とな
る。 【００７１】 【発明の効果】本発明によれば、記録媒体の記録トラッ
クに沿って所定ピッチで配列される記録ピットと未記録
ピットからなる記録情報に対し、光スポットを記録トラ
ックに沿った走査方向に前記記録情報の配列ピッチで移
動したときの光スポット内に存在する記録ピットが寄与
する再生信号レベルを検出し、この再生信号レベルから
記録ピットの数を検出するとともに、移動開始時の光ス
ポット内に存在する記録ピットが寄与する再生信号レベ
ルから求められた記録ピットの並び方に基づいて移動開
始後の記録ピットの並び方を推測するようにしたので、
高密度記録のために記録ピット径を小さくしても光スポ
ット径をある程度の大きさに維持できることから、記録
ピットに対して光スポットを正確に照射でき、高密度記
録に対しても高解像度の再生を実現できる。また、従来
のものと比べ、記録データを不連続とする必要がないこ
とから媒体の利用効率を高めることができるとともに、
データの記録再生時のタイミングを取るのも簡単にな
り、複雑な記録再生タイミングを制御する手段なども一
切不要にできる利点もある。また、光スポット内に存在
する記録ピットの数に応じた再生信号レベルの変化を検
出することから、記録媒体に制限されることがなく、光
磁気媒体、相変化媒体、色素媒体、凹凸形状媒体など様
々な媒体材料にも幅広く適用できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施例を説明するための概念図。
【図２】第１実施例の光学系の概略構成を示す図。
【図３】第１実施例の記録情報再生処理部の概略構成を
示す図。 【図４】第１実施例の光源での光量変化のタイミングを
示す図。 【図５】第１実施例に用いられるデコーダを説明するた
めの図。 【図６】第１実施例に用いられるデコーダを説明するた
めの図。 【図７】第１実施例に用いられるデコーダを説明するた
めの図。 【図８】第１実施例に用いられるデコーダを説明するた
めの図。 【図９】 本発明の参考例を説明するための概念図。 【図１０】 参考例を説明するための概念図。 【図１１】 参考例の光学系の概略構成を示す図。 【図１２】 参考例の光学系のレーザーダイオードより
出射した光のファーフィールドパターンを示す図。 【図１３】 本発明の第２実施例の記録情報再生処理部
の概略構成を示す図。 【図１４】 本発明の第３実施例の磁界変調記録方式の
光学系周辺の概略構成を示す図。 【図１５】 第３実施例の磁界変調記録方式によるピッ
ト記録を用いた場合の本発明との関係を説明する図。 【図１６】記録媒体として光磁気ディスクの場合のフォ
ーマットを示す図。 【符号の説明】 １…記録媒体、２ａ…記録ピット、２ｂ…未記録ピッ
ト、３…再生用光スポット、２１…レーザダイオード、
２２…コリメーター、２３…ビーム整形プリズム兼ビー
ムスプリッター、２４…対物レンズ、２５…記録媒体、
２６…フォトダイオード、２７…情報再生回路、３１…
再生信号、３２…クロック復調回路、３３…光源ドライ
バ、３４…光源、３５…レベル判別回路、３６…デコー
ダ、３７…２値データ、３８…ウインドウ生成回路、７
１…レーザーダイオード、７２…コリメーター、７３…
偏光ビームスプリッター、７４…対物レンズ、７５…記
録媒体、１０１…レーザーダイオード、１０２…コリメ
ーター、１０３…偏光ビームスプリッター、１０４…対
物レンズ、１０５…光磁気媒体、１０６…磁気ヘッドド
ライバ、１０７…磁気ヘッド、１０８…１／２波長板、
１０９…偏光ビームスプリッター、１１０…レンズ、１
１１…円柱レンズ、１１２…４分割フォトダイオード、
１１３…演算回路、１１４…レンズ、１１５…２分割フ
ォトダイオード、１１８…光スポット、１１９…記録ピ
ット。
示す図。 【図４】第１実施例の光源での光量変化のタイミングを
示す図。 【図５】第１実施例に用いられるデコーダを説明するた
めの図。 【図６】第１実施例に用いられるデコーダを説明するた
めの図。 【図７】第１実施例に用いられるデコーダを説明するた
めの図。 【図８】第１実施例に用いられるデコーダを説明するた
めの図。 【図９】 本発明の参考例を説明するための概念図。 【図１０】 参考例を説明するための概念図。 【図１１】 参考例の光学系の概略構成を示す図。 【図１２】 参考例の光学系のレーザーダイオードより
出射した光のファーフィールドパターンを示す図。 【図１３】 本発明の第２実施例の記録情報再生処理部
の概略構成を示す図。 【図１４】 本発明の第３実施例の磁界変調記録方式の
光学系周辺の概略構成を示す図。 【図１５】 第３実施例の磁界変調記録方式によるピッ
ト記録を用いた場合の本発明との関係を説明する図。 【図１６】記録媒体として光磁気ディスクの場合のフォ
ーマットを示す図。 【符号の説明】 １…記録媒体、２ａ…記録ピット、２ｂ…未記録ピッ
ト、３…再生用光スポット、２１…レーザダイオード、
２２…コリメーター、２３…ビーム整形プリズム兼ビー
ムスプリッター、２４…対物レンズ、２５…記録媒体、
２６…フォトダイオード、２７…情報再生回路、３１…
再生信号、３２…クロック復調回路、３３…光源ドライ
バ、３４…光源、３５…レベル判別回路、３６…デコー
ダ、３７…２値データ、３８…ウインドウ生成回路、７
１…レーザーダイオード、７２…コリメーター、７３…
偏光ビームスプリッター、７４…対物レンズ、７５…記
録媒体、１０１…レーザーダイオード、１０２…コリメ
ーター、１０３…偏光ビームスプリッター、１０４…対
物レンズ、１０５…光磁気媒体、１０６…磁気ヘッドド
ライバ、１０７…磁気ヘッド、１０８…１／２波長板、
１０９…偏光ビームスプリッター、１１０…レンズ、１
１１…円柱レンズ、１１２…４分割フォトダイオード、
１１３…演算回路、１１４…レンズ、１１５…２分割フ
ォトダイオード、１１８…光スポット、１１９…記録ピ
ット。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平５−28499（ＪＰ，Ａ)
特開 平４−332919（ＪＰ，Ａ)
特開 平５−89470（ＪＰ，Ａ)
特開 平２−9028（ＪＰ，Ａ)
特開 平３−16031（ＪＰ，Ａ)
特開 平６−282845（ＪＰ，Ａ)
特開 平３−242845（ＪＰ，Ａ)
特開 平５−342586（ＪＰ，Ａ)
特開 昭63−302425（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G11B 7/00 - 7/013
G11B 7/12 - 7/22
G11B 11/105
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】 ディスク状記録媒体の記録トラックに沿
って、所定ピッチで配列される記録ピットと未記録ピッ
トからなる記録情報に光スポットを照射し、前記ディス
ク状記録媒体を回転して前記光スポットの反射光を検出
することにより前記記録情報を読み取るようにした光情
報再生方法において、 前記光スポットは同じ前記記録トラックに記録され且つ
隣接する前記記録ピットを同時に少なくとも２個収まる
大きさを有しており、前記反射光の検出は前記所定ピッ
チ毎の光量レベルを検出するものであり、前記光量レベ
ルから前記光スポットに照射されている前記記録ピット
と前記未記録ピットの配列状態を決定するに際し、一つ
手前の前記所定ピッチにおける前記記録ピットと前記未
記録ピットの配列状態に基づき決定するようにしたこと
を特徴とする光情報再生方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16703393A JP3445313B2 (ja) | 1993-04-22 | 1993-07-06 | 光情報再生方法 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5-95902 | 1993-04-22 | ||
| JP9590293 | 1993-04-22 | ||
| JP16703393A JP3445313B2 (ja) | 1993-04-22 | 1993-07-06 | 光情報再生方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH076369A JPH076369A (ja) | 1995-01-10 |
| JP3445313B2 true JP3445313B2 (ja) | 2003-09-08 |
Family
ID=26437067
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16703393A Expired - Fee Related JP3445313B2 (ja) | 1993-04-22 | 1993-07-06 | 光情報再生方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3445313B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7083080B2 (ja) * | 2018-01-11 | 2022-06-10 | 株式会社日立ハイテク | プラズマ処理装置 |
-
1993
- 1993-07-06 JP JP16703393A patent/JP3445313B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH076369A (ja) | 1995-01-10 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20030610 |
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