JP3445138B2 - 無接触搬送装置 - Google Patents
無接触搬送装置Info
- Publication number
- JP3445138B2 JP3445138B2 JP7354898A JP7354898A JP3445138B2 JP 3445138 B2 JP3445138 B2 JP 3445138B2 JP 7354898 A JP7354898 A JP 7354898A JP 7354898 A JP7354898 A JP 7354898A JP 3445138 B2 JP3445138 B2 JP 3445138B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bell mouth
- transfer device
- contact transfer
- air
- pressure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Manipulator (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、たとえば半導体ウ
ェハーやガラス板等の吸着・搬送などに用いられる無接
触搬送装置に関するものである。 【0002】 【従来の技術】従来より空気圧を利用して板状部材を無
接触状態で吸着し、搬送する無接触搬送装置が開発され
実用化されているが、最近特にこの無接触搬送装置が着
目されている。これは、第1の理由として最近半導体ウ
ェハーとしてその直径が12インチのものが開発され、
従前の8インチのものに対して機械的なチャッキングが
困難になっているためである。 【0003】また第2の理由として、半導体の集積度の
向上に伴ってウェハーに塵が付着することが極端に嫌わ
れるようになり、ベルトコンベアでは搬送が困難になっ
ているためである。つまりベルトコンベアはベルトが随
所で摺接し、塵が発生する。そしてその塵がベルトの上
に堆積するため、ベルトの上に載置したウェハーに塵が
付着するという問題が発生する。 【0004】以下従来の無接触搬送装置について説明す
る。無接触搬送装置に用いられる空気保持装置として最
も基本的な第1従来例は図10に示すように空気送入口
1とそれに滑かに連続した環状部2を有するベルマウス
3より構成されている。 【0005】これは空気送入口1より空気を送りなが
ら、半導体ウェハー等の被保持物4にベルマウス3を接
近させると、被保持物4との間の隙間hが次第に小さく
なり、それに伴って隙間hを通過する空気の流れの速度
が増加する。するとこの空気流によってベルヌーイ効果
を生じて被保持物4の表面に負圧が発生し、被保持物4
を吸いつける力が発生する。 【0006】図11はこの第1従来例の断面と圧力との
関係を示す圧力分布図である。この図11から判るよう
にベルマウス3の直径Dと被保持物4との距離hの比が
0.005の時はベルマウス3の中心から外周に至るま
で全ての領域において圧力は正圧である。 【0007】ベルマウス3の直径Dと被保持物4との距
離hの比が0.01の時はベルマウス3の中心部付近は
正圧になり、中心から外周に向かって次第に負圧にな
り、さらに外周に向かうと負圧が弱くなる。 【0008】つまり、ベルマウス3と被保持物4とを互
いに接近させて行くと、相互間に負圧が作用し、被保持
物4がベルマウス3に吸い付けられる。そしてさらにベ
ルマウス3と被保持物4とを互いに接近させると、相互
間に正圧が作用しベルマウス3と被保持物4は反発す
る。従って、被保持物4はベルマウス3に対して一定の
距離を保って保持される。 【0009】以上の基本的な構造を改良したものとし
て、特許出願公告平成1年第51413号公報に記載の
第2従来例がある。これは、図12に示すように空気送
入口1と環状部2との間にクッション室5を設けたもの
である。 【0010】これは空気送入口1より空気を送りなが
ら、半導体ウェハー等の被保持物4にベルマウス3を接
近させると、被保持物4との間の隙間hが次第に小さく
なり、それに伴って隙間hを通過する空気の流れの速度
が増加し、この空気流によってベルヌーイ効果を生じて
被保持物4の表面に負圧が発生し、被保持物4を吸いつ
ける力が発生するとともに、クッション室5内が正圧に
なってエアクッション効果により、被保持物4と反発す
る力が発生する。 【0011】図13はこの第2従来例のクッション室5
内の空気の速度分布を示す速度分布図である。この図か
ら判るように、クッション室5内の中心部は速い速度で
空気が下方に流れ、クッション室5の周辺部では流速が
遅くなる。 【0012】図14はこの第2従来例の断面と圧力との
関係を示す圧力分布図である。図14から判るようにベ
ルマウス3の直径Dと被保持物4との距離hの比が0.
005の時はベルマウス3の中心から外周に至るまで全
ての領域において圧力は正圧である。 【0013】ベルマウス3の直径Dと被保持物4との距
離hの比が0.02の時はベルマウス3の中心部付近は
正圧になり、中心から外周に向かって急激に負圧にな
り、さらに外周に向かうと負圧が弱くなる。 【0014】このようにこの第2従来例のものは、ベル
マウス3と被保持物4との距離に応じて吸引から反発へ
急激に力が変化するため、第1従来例のものより安定し
て被保持物4を保持することができる。 【0015】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来の無接触搬送装置は、半導体ウェハーの直径が8イ
ンチ程度のものであると問題は無いのであるが、12イ
ンチにもなると重量が8インチのものの2.3倍にもな
り、吸着力が十分ではないという問題がある。また半導
体ウェハーだけでなく、液晶ディスプレイも大型化して
おり、液晶ディスプレイ用のガラスの吸着搬送にも大き
な吸着力を必要とするようになった。 【0016】本発明は、以上のような問題点を解消する
ものであり、簡単な構造で吸着力の大きな無接触搬送装
置を提供しようとするものである。 【0017】 【課題を解決するための手段】本発明の無接触搬送装置
は、空気の送入口に連通するとともに空気の旋回流の発
生する旋回室を設け、旋回室と連通するとともに被搬送
物と対向する対向面を有するベルマウスを設けることに
よって、ベルマウス内部に空気の旋回流が発生するよう
にした。 【0018】 【発明の実施の形態】本発明の請求項1に記載の発明
は、空気の送入口を有し、空気の送入口に連通するとと
もに空気の旋回流の発生する旋回室を設け、旋回室と連
通するとともに被搬送物と対向する対向面を有するベル
マウスを設けたものであり、ベルマウス内で空気の旋回
渦が発生するため、ベルマウスの中心部に負圧部分が生
じるとともに、ベルマウスと被搬送物との間の空気の流
れの速度が増加するという作用を有する。 【0019】 【実施例】図1は本発明の無接触搬送装置の第1実施例
における縦断面図である。図1に於て6は空気送入口で
あり、旋回室7の中心に取り付けられている。旋回室7
は横断面が円形状であり、図2に示すように6つの羽根
8を放射状に有する旋回流発生板9が取り付けられてい
る。 【0020】10はベルマウスであり、その上端は旋回
室7の下端と結合しており下端には被搬送物4と対向す
る平坦面11を有している。また平坦面11には吐出口
12が形成されている。 【0021】本発明の無接触搬送装置の第1実施例は以
上のように構成され、以下その動作について説明する。
空気送入口6より空気を送り込むと、空気は旋回流発生
板9の下を通ってベルマウス10の内部へ入る。この
時、空気流は6つの羽根8によって旋回流発生板9の下
面で旋回流となる。 【0022】つまり図3に示すように、羽根8に対して
速度Vrで入った空気流は方向を90度変換して軸方向
の流れとなってベルマウス10の流入口に至る。ベルマ
ウス10の流入口では空気流は軸方向の速度成分Vzと
回転速度成分Vθとを有する流れとなる。 【0023】このように空気流は旋回したままベルマウ
ス10の内部に入り、ベルマウス10の内部で旋回しな
がら平坦面11に向かう。ここで、被搬送物4がベルマ
ウス10の平坦面11に接近すると、平坦面11と被搬
送物4の間の隙間hに於て速い空気の流れが発生し、ベ
ルヌーイの定理によって平坦面11と被搬送物4の間で
負圧が発生する。 【0024】さらにベルマウス10の内部では空気が旋
回し渦が発生しているため、ベルマウス10の中心部で
は負圧が発生する。このようにして被搬送物4はベルマ
ウス10に強く吸い付けられる。 【0025】このように被搬送物4がベルマウス10に
吸い付けられる力は、旋回流によって影響を受ける。従
って羽根8の数と、図4に示す羽根8の流出角度αによ
って被搬送物4がベルマウス10に吸い付けられる力を
設定することができる。つまり強い旋回流を必要とする
場合には羽根8の数を増加させるか、羽根8の流出角度
αを大きくすると良い。 【0026】次に、以上の本発明の無接触搬送装置の第
1実施例のものの実験結果を説明する。図5はベルマウ
ス10の内部に於ける速度分布を示す縦断面図である。
図6はベルマウス10の内部に於ける速度分布を示す縦
断面図である。図5及び図6から判るようにベルマウス
10の流入口の中心部付近では流速が遅く、ベルマウス
10の流入口の内周部付近では流速が速い。つまり強制
渦に近い速度分布となっている。 【0027】そしてベルマウス10の下端付近では角運
動量一定の法則に従ってランキン渦の速度分布を示す。 【0028】図7は本発明の無接触搬送装置の第1実施
例のものの圧力分布を示す。この測定結果は羽根8の数
が6で羽根8の流出角度α=10度とし、旋回室7の入
口の圧力P0=0.10〜0.12Kgf/cm2の場合で
ある。また、ここでDはベルマウス10の被搬送物4と
の対向面の外半径を示し、rは同内半径を示す。そして
hはベルマウス10の平坦面11と被搬送物4との間隔
を示す。 【0029】図7より判るようにh/D=0.022の
位置に於て、圧力は全面的に負圧でありベルマウス10
の中心軸上で最大負圧を示しほぼP/P0=−2.0とな
った。またh/D=0.005の位置に於て、ベルマウ
ス10の中心軸上で最大負圧を示しほぼP/P0=−1.
0となり、ベルマウス10の外周部に向かうにつれて正
圧になる。 【0030】つまり、hとDの関係がh/D=0.02
2になるようにベルマウス10と被搬送物4との間隔を
離した場合は被搬送物4はベルマウス10に強く吸い付
けられ、hとDの関係がh/D=0.005になるよう
にベルマウス10と被搬送物4との間隔を近づけた場合
は被搬送物4には負圧と正圧の両方が作用する。 【0031】このように、被搬送物4をベルマウス10
から離すとベルマウス10に吸い付けられ、被搬送物4
をベルマウス10に近づけるとベルマウス10から反発
力を受ける。従って、被搬送物4はベルマウス10から
一定の間隔を保って持ち上げられる。 【0032】図8は本発明の無接触搬送装置の第2実施
例における縦断面図である。図8において13は流入管
であり、流入管13の下端には旋回流発生手段14が結
合されている。旋回流発生手段14の内面には断面が翼
形状の羽根15が4枚等間隔に設けられている。16は
ベルマウスであり、旋回流発生手段14の下端に結合さ
れている。 【0033】図9は本発明の無接触搬送装置の第2実施
例の旋回流発生手段14の羽根15によって発生された
旋回流の速度ベクトルを表している。 【0034】本発明の無接触搬送装置の第2実施例のも
のは以上の構成よりなり、以下その作用を説明する。図
9に示すように流入管13より空気流が速度Vz1=V1
で流入し、羽根15の流出角度=αであった場合、羽根
15を通過した空気流は軸方向の速度成分Vz2と旋回
方向の速度成分Vθ2の合成された速度成分V2を有する
旋回流となる。 【0035】このように本発明の無接触搬送装置の第2
実施例のものも、第1実施例のものと同様旋回流が発生
し強い吸着力を発揮する。 【0036】 【発明の効果】本発明の無接触搬送装置は上記の如く構
成したので、従来の無接触搬送装置と比較して簡単な構
造で吸着力の大きな無接触搬送装置を提供することがで
きるものである。 【0037】
ェハーやガラス板等の吸着・搬送などに用いられる無接
触搬送装置に関するものである。 【0002】 【従来の技術】従来より空気圧を利用して板状部材を無
接触状態で吸着し、搬送する無接触搬送装置が開発され
実用化されているが、最近特にこの無接触搬送装置が着
目されている。これは、第1の理由として最近半導体ウ
ェハーとしてその直径が12インチのものが開発され、
従前の8インチのものに対して機械的なチャッキングが
困難になっているためである。 【0003】また第2の理由として、半導体の集積度の
向上に伴ってウェハーに塵が付着することが極端に嫌わ
れるようになり、ベルトコンベアでは搬送が困難になっ
ているためである。つまりベルトコンベアはベルトが随
所で摺接し、塵が発生する。そしてその塵がベルトの上
に堆積するため、ベルトの上に載置したウェハーに塵が
付着するという問題が発生する。 【0004】以下従来の無接触搬送装置について説明す
る。無接触搬送装置に用いられる空気保持装置として最
も基本的な第1従来例は図10に示すように空気送入口
1とそれに滑かに連続した環状部2を有するベルマウス
3より構成されている。 【0005】これは空気送入口1より空気を送りなが
ら、半導体ウェハー等の被保持物4にベルマウス3を接
近させると、被保持物4との間の隙間hが次第に小さく
なり、それに伴って隙間hを通過する空気の流れの速度
が増加する。するとこの空気流によってベルヌーイ効果
を生じて被保持物4の表面に負圧が発生し、被保持物4
を吸いつける力が発生する。 【0006】図11はこの第1従来例の断面と圧力との
関係を示す圧力分布図である。この図11から判るよう
にベルマウス3の直径Dと被保持物4との距離hの比が
0.005の時はベルマウス3の中心から外周に至るま
で全ての領域において圧力は正圧である。 【0007】ベルマウス3の直径Dと被保持物4との距
離hの比が0.01の時はベルマウス3の中心部付近は
正圧になり、中心から外周に向かって次第に負圧にな
り、さらに外周に向かうと負圧が弱くなる。 【0008】つまり、ベルマウス3と被保持物4とを互
いに接近させて行くと、相互間に負圧が作用し、被保持
物4がベルマウス3に吸い付けられる。そしてさらにベ
ルマウス3と被保持物4とを互いに接近させると、相互
間に正圧が作用しベルマウス3と被保持物4は反発す
る。従って、被保持物4はベルマウス3に対して一定の
距離を保って保持される。 【0009】以上の基本的な構造を改良したものとし
て、特許出願公告平成1年第51413号公報に記載の
第2従来例がある。これは、図12に示すように空気送
入口1と環状部2との間にクッション室5を設けたもの
である。 【0010】これは空気送入口1より空気を送りなが
ら、半導体ウェハー等の被保持物4にベルマウス3を接
近させると、被保持物4との間の隙間hが次第に小さく
なり、それに伴って隙間hを通過する空気の流れの速度
が増加し、この空気流によってベルヌーイ効果を生じて
被保持物4の表面に負圧が発生し、被保持物4を吸いつ
ける力が発生するとともに、クッション室5内が正圧に
なってエアクッション効果により、被保持物4と反発す
る力が発生する。 【0011】図13はこの第2従来例のクッション室5
内の空気の速度分布を示す速度分布図である。この図か
ら判るように、クッション室5内の中心部は速い速度で
空気が下方に流れ、クッション室5の周辺部では流速が
遅くなる。 【0012】図14はこの第2従来例の断面と圧力との
関係を示す圧力分布図である。図14から判るようにベ
ルマウス3の直径Dと被保持物4との距離hの比が0.
005の時はベルマウス3の中心から外周に至るまで全
ての領域において圧力は正圧である。 【0013】ベルマウス3の直径Dと被保持物4との距
離hの比が0.02の時はベルマウス3の中心部付近は
正圧になり、中心から外周に向かって急激に負圧にな
り、さらに外周に向かうと負圧が弱くなる。 【0014】このようにこの第2従来例のものは、ベル
マウス3と被保持物4との距離に応じて吸引から反発へ
急激に力が変化するため、第1従来例のものより安定し
て被保持物4を保持することができる。 【0015】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来の無接触搬送装置は、半導体ウェハーの直径が8イ
ンチ程度のものであると問題は無いのであるが、12イ
ンチにもなると重量が8インチのものの2.3倍にもな
り、吸着力が十分ではないという問題がある。また半導
体ウェハーだけでなく、液晶ディスプレイも大型化して
おり、液晶ディスプレイ用のガラスの吸着搬送にも大き
な吸着力を必要とするようになった。 【0016】本発明は、以上のような問題点を解消する
ものであり、簡単な構造で吸着力の大きな無接触搬送装
置を提供しようとするものである。 【0017】 【課題を解決するための手段】本発明の無接触搬送装置
は、空気の送入口に連通するとともに空気の旋回流の発
生する旋回室を設け、旋回室と連通するとともに被搬送
物と対向する対向面を有するベルマウスを設けることに
よって、ベルマウス内部に空気の旋回流が発生するよう
にした。 【0018】 【発明の実施の形態】本発明の請求項1に記載の発明
は、空気の送入口を有し、空気の送入口に連通するとと
もに空気の旋回流の発生する旋回室を設け、旋回室と連
通するとともに被搬送物と対向する対向面を有するベル
マウスを設けたものであり、ベルマウス内で空気の旋回
渦が発生するため、ベルマウスの中心部に負圧部分が生
じるとともに、ベルマウスと被搬送物との間の空気の流
れの速度が増加するという作用を有する。 【0019】 【実施例】図1は本発明の無接触搬送装置の第1実施例
における縦断面図である。図1に於て6は空気送入口で
あり、旋回室7の中心に取り付けられている。旋回室7
は横断面が円形状であり、図2に示すように6つの羽根
8を放射状に有する旋回流発生板9が取り付けられてい
る。 【0020】10はベルマウスであり、その上端は旋回
室7の下端と結合しており下端には被搬送物4と対向す
る平坦面11を有している。また平坦面11には吐出口
12が形成されている。 【0021】本発明の無接触搬送装置の第1実施例は以
上のように構成され、以下その動作について説明する。
空気送入口6より空気を送り込むと、空気は旋回流発生
板9の下を通ってベルマウス10の内部へ入る。この
時、空気流は6つの羽根8によって旋回流発生板9の下
面で旋回流となる。 【0022】つまり図3に示すように、羽根8に対して
速度Vrで入った空気流は方向を90度変換して軸方向
の流れとなってベルマウス10の流入口に至る。ベルマ
ウス10の流入口では空気流は軸方向の速度成分Vzと
回転速度成分Vθとを有する流れとなる。 【0023】このように空気流は旋回したままベルマウ
ス10の内部に入り、ベルマウス10の内部で旋回しな
がら平坦面11に向かう。ここで、被搬送物4がベルマ
ウス10の平坦面11に接近すると、平坦面11と被搬
送物4の間の隙間hに於て速い空気の流れが発生し、ベ
ルヌーイの定理によって平坦面11と被搬送物4の間で
負圧が発生する。 【0024】さらにベルマウス10の内部では空気が旋
回し渦が発生しているため、ベルマウス10の中心部で
は負圧が発生する。このようにして被搬送物4はベルマ
ウス10に強く吸い付けられる。 【0025】このように被搬送物4がベルマウス10に
吸い付けられる力は、旋回流によって影響を受ける。従
って羽根8の数と、図4に示す羽根8の流出角度αによ
って被搬送物4がベルマウス10に吸い付けられる力を
設定することができる。つまり強い旋回流を必要とする
場合には羽根8の数を増加させるか、羽根8の流出角度
αを大きくすると良い。 【0026】次に、以上の本発明の無接触搬送装置の第
1実施例のものの実験結果を説明する。図5はベルマウ
ス10の内部に於ける速度分布を示す縦断面図である。
図6はベルマウス10の内部に於ける速度分布を示す縦
断面図である。図5及び図6から判るようにベルマウス
10の流入口の中心部付近では流速が遅く、ベルマウス
10の流入口の内周部付近では流速が速い。つまり強制
渦に近い速度分布となっている。 【0027】そしてベルマウス10の下端付近では角運
動量一定の法則に従ってランキン渦の速度分布を示す。 【0028】図7は本発明の無接触搬送装置の第1実施
例のものの圧力分布を示す。この測定結果は羽根8の数
が6で羽根8の流出角度α=10度とし、旋回室7の入
口の圧力P0=0.10〜0.12Kgf/cm2の場合で
ある。また、ここでDはベルマウス10の被搬送物4と
の対向面の外半径を示し、rは同内半径を示す。そして
hはベルマウス10の平坦面11と被搬送物4との間隔
を示す。 【0029】図7より判るようにh/D=0.022の
位置に於て、圧力は全面的に負圧でありベルマウス10
の中心軸上で最大負圧を示しほぼP/P0=−2.0とな
った。またh/D=0.005の位置に於て、ベルマウ
ス10の中心軸上で最大負圧を示しほぼP/P0=−1.
0となり、ベルマウス10の外周部に向かうにつれて正
圧になる。 【0030】つまり、hとDの関係がh/D=0.02
2になるようにベルマウス10と被搬送物4との間隔を
離した場合は被搬送物4はベルマウス10に強く吸い付
けられ、hとDの関係がh/D=0.005になるよう
にベルマウス10と被搬送物4との間隔を近づけた場合
は被搬送物4には負圧と正圧の両方が作用する。 【0031】このように、被搬送物4をベルマウス10
から離すとベルマウス10に吸い付けられ、被搬送物4
をベルマウス10に近づけるとベルマウス10から反発
力を受ける。従って、被搬送物4はベルマウス10から
一定の間隔を保って持ち上げられる。 【0032】図8は本発明の無接触搬送装置の第2実施
例における縦断面図である。図8において13は流入管
であり、流入管13の下端には旋回流発生手段14が結
合されている。旋回流発生手段14の内面には断面が翼
形状の羽根15が4枚等間隔に設けられている。16は
ベルマウスであり、旋回流発生手段14の下端に結合さ
れている。 【0033】図9は本発明の無接触搬送装置の第2実施
例の旋回流発生手段14の羽根15によって発生された
旋回流の速度ベクトルを表している。 【0034】本発明の無接触搬送装置の第2実施例のも
のは以上の構成よりなり、以下その作用を説明する。図
9に示すように流入管13より空気流が速度Vz1=V1
で流入し、羽根15の流出角度=αであった場合、羽根
15を通過した空気流は軸方向の速度成分Vz2と旋回
方向の速度成分Vθ2の合成された速度成分V2を有する
旋回流となる。 【0035】このように本発明の無接触搬送装置の第2
実施例のものも、第1実施例のものと同様旋回流が発生
し強い吸着力を発揮する。 【0036】 【発明の効果】本発明の無接触搬送装置は上記の如く構
成したので、従来の無接触搬送装置と比較して簡単な構
造で吸着力の大きな無接触搬送装置を提供することがで
きるものである。 【0037】
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の無接触搬送装置の実施例1を示す縦断
面図である。 【図2】本発明の無接触搬送装置の実施例1を示す部分
平面図である。 【図3】本発明の無接触搬送装置の実施例1を示す部分
拡大縦断面図である。 【図4】本発明の無接触搬送装置の実施例1を示す部分
拡大平面図である。 【図5】本発明の無接触搬送装置の実施例1に於ける圧
力分布図である。 【図6】本発明の無接触搬送装置の実施例1に於ける圧
力分布図である。 【図7】本発明の無接触搬送装置の実施例1の位置と圧
力の関係を示す図である。 【図8】本発明の無接触搬送装置の実施例2を示す縦断
面図である。 【図9】本発明の無接触搬送装置の実施例2における速
度ベクトルを示す側面図である。 【図10】従来の無接触搬送装置の例1を示す縦断面図
である。 【図11】従来の無接触搬送装置の例1の位置と圧力の
関係を示す図である。 【図12】従来の無接触搬送装置の例2を示す縦断面図
である。 【図13】従来の無接触搬送装置の例2に於ける圧力分
布図である。 【図14】従来の無接触搬送装置の例2の位置と圧力の
関係を示す図である。 【符号の説明】 1 空気送入口 2 環状部 3 ベルマウス 4 被保持物 6 空気送入口 7 旋回室 8 羽根 9 旋回流発生板 10 ベルマウス 11 平坦面 12 吐出口 h 隙間 α 流出角度 D ベルマウスの外半径 r ベルマウスの内半径
面図である。 【図2】本発明の無接触搬送装置の実施例1を示す部分
平面図である。 【図3】本発明の無接触搬送装置の実施例1を示す部分
拡大縦断面図である。 【図4】本発明の無接触搬送装置の実施例1を示す部分
拡大平面図である。 【図5】本発明の無接触搬送装置の実施例1に於ける圧
力分布図である。 【図6】本発明の無接触搬送装置の実施例1に於ける圧
力分布図である。 【図7】本発明の無接触搬送装置の実施例1の位置と圧
力の関係を示す図である。 【図8】本発明の無接触搬送装置の実施例2を示す縦断
面図である。 【図9】本発明の無接触搬送装置の実施例2における速
度ベクトルを示す側面図である。 【図10】従来の無接触搬送装置の例1を示す縦断面図
である。 【図11】従来の無接触搬送装置の例1の位置と圧力の
関係を示す図である。 【図12】従来の無接触搬送装置の例2を示す縦断面図
である。 【図13】従来の無接触搬送装置の例2に於ける圧力分
布図である。 【図14】従来の無接触搬送装置の例2の位置と圧力の
関係を示す図である。 【符号の説明】 1 空気送入口 2 環状部 3 ベルマウス 4 被保持物 6 空気送入口 7 旋回室 8 羽根 9 旋回流発生板 10 ベルマウス 11 平坦面 12 吐出口 h 隙間 α 流出角度 D ベルマウスの外半径 r ベルマウスの内半径
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 【請求項1】空気の送入口を有し、前記空気の送入口に
連通するとともに空気流を旋回させる羽根を有する旋回
室を設け、前記旋回室と連通するとともに被搬送物と対
向する平坦面を有するベルマウスを設け、前記ベルマウ
ス内で空気の旋回流が発生するようにし、これによって
前記ベルマウスの中心部に負圧を発生させるようにした
ことを特徴とする無接触搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7354898A JP3445138B2 (ja) | 1998-03-06 | 1998-03-06 | 無接触搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7354898A JP3445138B2 (ja) | 1998-03-06 | 1998-03-06 | 無接触搬送装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11254369A JPH11254369A (ja) | 1999-09-21 |
JP3445138B2 true JP3445138B2 (ja) | 2003-09-08 |
Family
ID=13521410
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7354898A Expired - Fee Related JP3445138B2 (ja) | 1998-03-06 | 1998-03-06 | 無接触搬送装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3445138B2 (ja) |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TW500651B (en) * | 2001-02-20 | 2002-09-01 | Harmotec Corp | Non-contact transfer device |
EP1233442B1 (en) * | 2001-02-20 | 2009-10-14 | Harmotec Corporation | Non-contacting conveyance equipment |
JP2006156692A (ja) | 2004-11-29 | 2006-06-15 | Smc Corp | 非接触搬送装置 |
JP2007176637A (ja) * | 2005-12-27 | 2007-07-12 | Harmotec Corp | 非接触搬送装置 |
CN102101296B (zh) * | 2009-12-21 | 2015-05-13 | 柳州市中晶科技有限公司 | 非接触搬运装置 |
JP5282734B2 (ja) * | 2009-12-28 | 2013-09-04 | 国立大学法人東京工業大学 | 非接触チャック |
KR101273571B1 (ko) * | 2010-09-17 | 2013-06-13 | 주식회사 엘지씨엔에스 | Led 웨이퍼 피커 |
KR101273570B1 (ko) * | 2010-09-17 | 2013-06-13 | 주식회사 엘지씨엔에스 | Led 웨이퍼 피커 |
TW201304043A (zh) * | 2010-12-27 | 2013-01-16 | Xin Li | 非接觸搬運裝置 |
CN102332487B (zh) * | 2011-05-25 | 2013-05-08 | 湖南红太阳光电科技有限公司 | 一种全自动太阳能电池片测试分选设备移栽吸取装置 |
JP6116629B2 (ja) * | 2015-08-11 | 2017-04-19 | 株式会社ハーモテック | 吸引装置 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0632916B2 (ja) * | 1985-07-15 | 1994-05-02 | 株式会社西部技研 | 流体によつて板状体を無接触状態で懸垂浮遊搬送させる方法 |
JPS6450239U (ja) * | 1987-09-24 | 1989-03-28 | ||
JPH05228779A (ja) * | 1992-02-21 | 1993-09-07 | Olympus Optical Co Ltd | 調心機能付チャック |
-
1998
- 1998-03-06 JP JP7354898A patent/JP3445138B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH11254369A (ja) | 1999-09-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3445138B2 (ja) | 無接触搬送装置 | |
JP3981241B2 (ja) | 旋回流形成体および非接触搬送装置 | |
JP5282734B2 (ja) | 非接触チャック | |
KR900009005B1 (ko) | 유체에 의하여 판상체(板狀體)를 무접촉상태로서 부유반송시키는 방법 | |
JP5908136B1 (ja) | 吸引装置 | |
JP2000511354A (ja) | ウェーハ状物品のための非接触保持器 | |
US4474397A (en) | Pick-up head utilizing aspirated air flow | |
JP2007176638A (ja) | 非接触搬送装置 | |
WO2019058381A1 (en) | HIGH VOLTAGE LOW PRESSURE SUCTION DEVICE | |
KR20130126466A (ko) | 반송 보유지지구 및 반송 보유지지 장치 | |
JPH10181879A (ja) | 搬送装置 | |
WO2015083609A1 (ja) | 搬送装置 | |
JPH0632916B2 (ja) | 流体によつて板状体を無接触状態で懸垂浮遊搬送させる方法 | |
JP2007176637A (ja) | 非接触搬送装置 | |
US6647791B1 (en) | Device for contactlessly gripping and positioning components | |
CN219246658U (zh) | 一种用于晶圆清洗的小孔流道工艺卡盘 | |
WO2002047155A1 (fr) | Support | |
JP4982875B2 (ja) | シート状物品のための非接触パッド | |
JP2019055439A (ja) | 吸引装置 | |
JPS631647A (ja) | 無接触吸着装置 | |
JP2017209752A (ja) | 流体流形成体及び非接触搬送装置 | |
JP7506920B2 (ja) | 吸引ノズル | |
US20230037818A1 (en) | Non-contact suction cup device with flow recycling | |
CN215496671U (zh) | 一种伯努利吸盘 | |
JPH0215461B2 (ja) |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20070627 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 5 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080627 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 5 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080627 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090627 Year of fee payment: 6 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |