JP3442209B2 - Imaging apparatus for X-ray fluoroscopic images - Google Patents
Imaging apparatus for X-ray fluoroscopic imagesInfo
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Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は非破壊検査の分野で
定着しているＸ線検査装置等に用いることができるＸ線
透視画像の撮像装置に関するものである。The present invention relates to relates to an imaging apparatus of an X-ray fluoroscopic image can be used for X-ray inspection apparatus that has been established in the field of non-destructive inspection.
【０００２】[0002]
【従来の技術】図３はＸ線透視画像の撮像装置を示す構
造図で、１は電子ビームであり、Ｘ線を発生させるため
に２に示すターゲットに衝突させる。３はＸ線照射窓で
あり、ここからＸ線が照射される。４は試料であり、透
視画像を得ようとする対象物である。５はイメージイン
テンシファイアであり、Ｘ線のエネルギーの強弱を可視
光に変換する機能を有する。６はテレビカメラであり、
イメージインテンシファイアによって可視光に変換され
た情報を濃淡画像として写す機能を有する。７はＸ線防
護キャビンであり、Ｘ線を外部に出さない為に遮蔽する
ための機能を有する。８は散乱Ｘ線であり、Ｘ線源から
照射されたＸ線がＸ線防護キャビンやキャビン内のその
他の構造物に当たることにより二次的に発生するＸ線で
二次Ｘ線とも言う。この散乱Ｘ線のエネルギーは微弱な
がらキャビン内のあらゆる所で発生していると考えら
れ、これらがイメージインテンシファイアに捕えられる
ことでＸ線透視画像のコントラストを低下させる原因と
なる。９は透過Ｘ線であり、試料を透過してきたもので
透過した試料の厚さ、材質によりＸ線のエネルギーに強
弱がついていて、イメージインテンシファイアによって
可視光の明暗情報となる。2. Description of the Related Art FIG. 3 is a structural view showing an X-ray fluoroscopic image pickup apparatus, in which 1 is an electron beam, which is made to collide with a target shown in 2 to generate X-rays. An X-ray irradiation window 3 is used to irradiate X-rays. Reference numeral 4 is a sample, which is an object for which a fluoroscopic image is to be obtained. An image intensifier 5 has a function of converting the intensity of X-ray energy into visible light. 6 is a TV camera,
It has the function of displaying the information converted into visible light by the image intensifier as a grayscale image. An X-ray protection cabin 7 has a function of shielding X-rays from being emitted to the outside. Reference numeral 8 denotes scattered X-rays, which are secondary X-rays generated when the X-rays emitted from the X-ray source hit the X-ray protective cabin and other structures in the cabin, and are also called secondary X-rays. It is considered that the energy of the scattered X-rays is weak but is generated at every place in the cabin, and these are caught by the image intensifier, which causes the contrast of the X-ray fluoroscopic image to be lowered. Reference numeral 9 denotes a transmitted X-ray, which has been transmitted through the sample, and the energy of the X-ray has strength and weakness depending on the thickness and material of the transmitted sample, and the image intensifier serves as bright and dark information of visible light.
【０００３】ここで従来の技術としては、散乱Ｘ線を押
さえるためにＸ線源のＸ線照射窓３の部分に絞り機構を
取付けて、散乱Ｘ線８の原因となる広範囲へのＸ線の照
射を制限していた。以下に、散乱Ｘ線の発生原因と散乱
Ｘ線によるＸ線透視画像のコントラスト低下の原因を以
下に説明する。Here, as a conventional technique, a diaphragm mechanism is attached to the X-ray irradiation window 3 of the X-ray source in order to suppress scattered X-rays, and X-rays over a wide range which causes scattered X-rays 8 are generated. The irradiation was limited. Below, the cause of the generation of scattered X-rays and the cause of the reduction in the contrast of the X-ray fluoroscopic image due to the scattered X-rays will be described.
【０００４】散乱Ｘ線は、二次Ｘ線とも言われＸ線源か
ら照射されたＸ線（一次Ｘ線）がＸ線キャビンやその他
の構造物に当たる事によって発生する二次的なＸ線であ
り、個々には弱いエネルギーで有る。しかし、この散乱
Ｘ線は、イメージインテンシファイア５に対してあらゆ
る方向から入力するためテレビカメラ６から得られる映
像信号の黒レベルを引き上げる事になる。このように、
試料を通過した透過Ｘ線と散乱Ｘ線が混在した形でイメ
ージインテンシファイアにＸ線のエネルギーが入力され
るためにＸ線透視画像のコントラストが低下していた。Scattered X-rays are also called secondary X-rays and are secondary X-rays generated when X-rays (primary X-rays) emitted from an X-ray source hit an X-ray cabin or other structure. Yes, and each has weak energy. However, since the scattered X-rays are input to the image intensifier 5 from all directions, the black level of the video signal obtained from the television camera 6 is raised. in this way,
Since the X-ray energy is input to the image intensifier in a form in which the transmitted X-rays that have passed through the sample and the scattered X-rays are mixed, the contrast of the X-ray fluoroscopic image is lowered.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】Ｘ線透過画像において
の幾何学倍率は、Ｘ線焦点から試料までの距離とＸ線焦
点から撮像面（イメージインテンシファイアの入力面）
までの比によって決まる。この事は、高い倍率を得よう
としたときには撮像面をＸ線焦点から遠ざけるか、試料
をＸ線焦点に近づけるかのどちらかの方法を採れば良い
事を示している。しかし、前者の場合はＸ線のエネルギ
ーが空気中を進んだ場合に減衰する事から自ずと限界が
ある。The geometric magnification in an X-ray transmission image is the distance from the X-ray focus to the sample and the imaging plane from the X-ray focus (the input surface of the image intensifier).
Depends on the ratio of up to. This indicates that when trying to obtain a high magnification, either the imaging surface is moved away from the X-ray focal point or the sample is brought closer to the X-ray focal point. However, in the former case, there is a limit because the X-ray energy is attenuated when traveling through the air.
【０００６】非破壊検査の分野では、その対象物及び対
象欠陥が微細化してきており高拡大率の要求が強くなっ
てきている。また、同時に対象欠陥の微細化はコントラ
ストの高い画像を要求する事にもなり、二つの課題を同
時に克服する事が求められている。本発明は、この二つ
の課題を同時に克服するものである。すなわち、換言す
れば本発明は散乱Ｘ線の影響を受けないようにすること
を目的とするものである。[0006] In the field of non-destructive inspection, the object and demand of high-magnification target defect has been miniaturization is becoming stronger. At the same time, miniaturization of target defects requires an image with high contrast, and it is required to simultaneously overcome two problems. The present invention overcomes these two problems at the same time. That is, in other words, the present invention aims to prevent the influence of scattered X-rays.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明はＸ線を発生する
ためのＸ線発生部と、Ｘ線透視画像を撮像するためのイ
メージインテンシファイアとレンズシステム及びテレビ
カメラシステムからなる撮像部と、撮像する試料の位置
及び撮像倍率を変えるためのマニュピレータを有し、か
つＸ線が外部に漏洩することを防ぐためのＸ線防護キャ
ビンを持つＸ線検査装置において、前記イメージインテ
ンシファイアの入力面又はＸ線発生部に筒状のフード機
構を持ち、散乱Ｘ線によるＸ線透視画像のコントラスト
低下を防ぐようにしたものである。According to the present invention, there is provided an X-ray generator for generating X-rays, an image intensifier for picking up an X-ray fluoroscopic image, an imager including a lens system and a television camera system. An input of the image intensifier in an X-ray inspection apparatus having a manipulator for changing a position of a sample to be imaged and an imaging magnification and having an X-ray protection cabin for preventing X-rays from leaking to the outside. A cylindrical hood mechanism is provided on the surface or the X-ray generation part to prevent the reduction of the contrast of the X-ray fluoroscopic image due to the scattered X-rays.
【０００８】なお、このフード機構は、Ｘ線発生部側で
も良いし、イメージインテンシファイア側であっても良
いし、また両方にあっても良い。The hood mechanism may be provided on the X-ray generation side, the image intensifier side, or both.
【０００９】本発明の作用について説明すると、イメー
ジインテンシファイアの入力面に筒状の鉛のフードを取
付けて、Ｘ線源の方向から以外のＸ線（散乱Ｘ線）を遮
蔽し、これらのＸ線による映像信号中の黒レベルの上昇
を抑制する事が出来る。また、試料をＸ線焦点に近づけ
る障害と成らないためＸ線発生部の構造上制限を受ける
範囲のままで、最大の幾何学倍率を得ることが出来る。To explain the operation of the present invention, a cylindrical lead hood is attached to the input surface of the image intensifier to shield X-rays (scattered X-rays) other than from the direction of the X-ray source. It is possible to suppress an increase in black level in the video signal due to X-rays. Further, since it does not become an obstacle for bringing the sample closer to the X-ray focal point, the maximum geometric magnification can be obtained within the range where the structure is restricted by the X-ray generation part.
【００１０】[0010]
【発明の実施の形態】以下この発明の第１実施例を図１
より説明する。図１は、Ｘ線検査装置の概略の構成をモ
デル化して示したもので、先に説明した図３と大略は同
じであるが再度各構成について説明する。１は電子ビー
ムであり、Ｘ線を発生させるためにターゲット２に衝突
させる。３はＸ線照射窓であり、ここからＸ線が照射さ
れる。４は被検査対象となる試料であり、透視画像を得
ようとする対象物である。試料４を透過したＸ線はイメ
ージインテンシファイア５で、エネルギーの強弱を可視
光に変換する。６はテレビカメラであり、イメージイン
テンシファイアによって可視光に変換された情報を濃淡
画像として電気信号に変換する。Ｘ線防護キャビン７は
Ｘ線を外部に出さない為に遮蔽するための機能を有す
る。８は散乱Ｘ線であり、Ｘ線源から照射されたＸ線が
Ｘ線防護キャビン７やキャビン内のその他の構造物に当
たることにより二次的に発生する二次Ｘ線である。この
散乱Ｘ線のエネルギーは微弱ながらキャビン内のあらゆ
る所で発生していると考えられる。先に説明したよう
に、これらがイメージインテンシファイア５に捕えられ
ることでＸ線透視画像のコントラストを低下させる原因
となる。９は透過Ｘ線であり、試料を透過してきたもの
で透過した試料の厚さ、材質によりＸ線のエネルギーに
強弱がついていて、イメージインテンシファイアによっ
て可視光の明暗情報となる。１０はＸ線焦点であり、電
子ビームがターゲットに衝突した場所であるＸ線焦点か
ら四方に向けて照射している。１１は本発明によるフー
ド機構であり、材質の主たる成分に鉛を用いることでイ
メージインテンシファイア５に入射されるＸ線を前方か
らの透過Ｘ線のみに制限して、他方からの散乱Ｘ線８を
遮蔽してＸ線透視画像のコントラストの低下を防ぐ機能
を有する。また、第１の実施例であるフードは試料に対
して撮像部側に位置するため、Ｘ線焦点サイズの小さな
Ｘ線検査装置の最大の特徴である幾何学的に倍率を得よ
うとしたときに障害とならない。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION A first embodiment of the present invention will now be described with reference to FIG.
More will be described. FIG. 1 shows a schematic configuration of the X-ray inspection apparatus as a model, and although it is roughly the same as FIG. 3 described above, each configuration will be described again. An electron beam 1 collides with a target 2 to generate X-rays. An X-ray irradiation window 3 is used to irradiate X-rays. Reference numeral 4 is a sample to be inspected, which is an object for which a fluoroscopic image is to be obtained. The X-ray transmitted through the sample 4 is an image intensifier 5 that converts the intensity of energy into visible light. A television camera 6 converts the information converted into visible light by the image intensifier into an electric signal as a grayscale image. The X-ray protection cabin 7 has a function of shielding X-rays so as not to emit them to the outside. Reference numeral 8 denotes scattered X-rays, which are secondary X-rays that are secondarily generated when the X-rays emitted from the X-ray source hit the X-ray protection cabin 7 and other structures in the cabin. Although the energy of the scattered X-rays is weak, it is considered that they are generated everywhere in the cabin. As described above, these are caught by the image intensifier 5, which causes the contrast of the X-ray fluoroscopic image to be lowered. Reference numeral 9 denotes a transmitted X-ray, which has been transmitted through the sample, and the energy of the X-ray has strength and weakness depending on the thickness and material of the transmitted sample, and the image intensifier serves as bright and dark information of visible light. An X-ray focal point 10 irradiates the electron beam in four directions from the X-ray focal point where the electron beam collides with the target. Reference numeral 11 denotes a hood mechanism according to the present invention, which uses lead as a main component of the material to limit X-rays incident on the image intensifier 5 to only transmitted X-rays from the front and scattered X-rays from the other. It has a function of blocking 8 and preventing a decrease in the contrast of the X-ray fluoroscopic image. Further, since the hood of the first embodiment is located on the side of the imaging unit with respect to the sample, when the geometrical magnification, which is the greatest feature of the X-ray inspection apparatus having a small X-ray focal spot size, is obtained. It does not hinder.
【００１１】図２は本発明の第２の実施例を示す図で、
図１と同一物、構成部品には同一符号を付している。１
２はＸ線発生源側に設けたフードで、このフード１２に
よりＸ線発生源で２次反射が発生しにくいように、試料
４に対し角度を持ったＸ線の発生を抑制する。FIG. 2 is a diagram showing a second embodiment of the present invention.
The same parts and components as in FIG. 1 are designated by the same reference numerals. 1
Reference numeral 2 denotes a hood provided on the side of the X-ray generation source. The hood 12 suppresses generation of X-rays having an angle with respect to the sample 4 so that secondary reflection is less likely to occur at the X-ray generation source.
【００１２】なお、防護キャビン７内のスペースにゆと
りがあれば、図１に示したフード１１と図２に示したフ
ード１２を併設すればより一層２次反射を防止すること
ができる。If the space inside the protective cabin 7 has some space, the secondary reflection can be further prevented by installing the hood 11 shown in FIG. 1 and the hood 12 shown in FIG.
【００１３】[0013]
【発明の効果】本発明によれば散乱Ｘ線の影響を受けな
いようにすることできる。このため、散乱Ｘ線の遮蔽効
果によりＸ線透視画像のコントラスト低下を防止でき
る。According to the present invention, it is possible to prevent the influence of scattered X-rays. Therefore, it is possible to prevent the contrast of the X-ray fluoroscopic image from decreasing due to the effect of blocking the scattered X-rays.
【図１】本発明の第１の実施例の構成図。FIG. 1 is a configuration diagram of a first embodiment of the present invention.
【図２】本発明の第２の実施例の構成図。FIG. 2 is a configuration diagram of a second embodiment of the present invention.
【図３】従来技術の構成図。FIG. 3 is a configuration diagram of a conventional technique.
１ 電子ビーム、２ ターゲット、３ Ｘ線照射窓、４
試料、５ イメージインテンシファイア、６ テレビ
カメラ、７ Ｘ線防護キャビン、８ 散乱Ｘ線、１１
フード、１２ フード。1 electron beam, 2 target, 3 X-ray irradiation window, 4
Sample, 5 image intensifier, 6 TV camera, 7 X-ray protective cabin, 8 scattered X-ray, 11
Hood, 12 hood.
Claims (2)
めのＸ線発生部と、前記試料を透過したＸ線透視画像を
撮像するためのイメージインテンシファイアとレンズシ
ステム及びテレビカメラシステムからなる撮像部と、前
記Ｘ線が外部に漏洩することを防ぐためのＸ線防護キャ
ビンを持つＸ線装置において、前記イメージインテンシ
ファイアの入力面に筒状のフード機構を有することを特
徴とするＸ線透視画像の撮像装置。1. An X-ray generation unit for generating X-rays in a direction in which a sample is located, an image intensifier for capturing an X-ray fluoroscopic image transmitted through the sample, a lens system, and a television camera system. an imaging unit comprising an X-ray apparatus having an X-ray protection cabin to prevent the X-rays from leaking to the outside, the image intensifier
An X-ray fluoroscopic imaging device having a tubular hood mechanism on an input surface of a fire .
置において、前記Ｘ線発生部のＸ線出力面に筒状のフー
ド機構を有することを特徴とするＸ線透視画像の撮像装
置。2. An apparatus for capturing an X-ray fluoroscopic image according to claim 1.
In the above arrangement, an X-ray fluoroscopic image pickup device having a cylindrical hood mechanism on the X-ray output surface of the X-ray generation unit .
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28489795A JP3442209B2 (en) | 1995-11-01 | 1995-11-01 | Imaging apparatus for X-ray fluoroscopic images |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28489795A JP3442209B2 (en) | 1995-11-01 | 1995-11-01 | Imaging apparatus for X-ray fluoroscopic images |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09127019A JPH09127019A (en) | 1997-05-16 |
| JP3442209B2 true JP3442209B2 (en) | 2003-09-02 |
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Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP28489795A Expired - Fee Related JP3442209B2 (en) | 1995-11-01 | 1995-11-01 | Imaging apparatus for X-ray fluoroscopic images |
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| JP (1) | JP3442209B2 (en) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6145553B1 (en) * | 2016-11-18 | 2017-06-14 | 札幌施設管理株式会社 | Piping inspection method |
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1995
- 1995-11-01 JP JP28489795A patent/JP3442209B2/en not_active Expired - Fee Related
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|---|---|
| JPH09127019A (en) | 1997-05-16 |
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