JP3437619B2 - センサ装置 - Google Patents
センサ装置Info
- Publication number
- JP3437619B2 JP3437619B2 JP34173093A JP34173093A JP3437619B2 JP 3437619 B2 JP3437619 B2 JP 3437619B2 JP 34173093 A JP34173093 A JP 34173093A JP 34173093 A JP34173093 A JP 34173093A JP 3437619 B2 JP3437619 B2 JP 3437619B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- state imaging
- imaging device
- cylindrical lens
- light
- temperature
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/55—Specular reflectivity
- G01N21/552—Attenuated total reflection
- G01N21/553—Attenuated total reflection and using surface plasmons
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Description
共鳴振動を利用したセンサ装置に関する。 【0002】 【従来の技術とその問題点】光励起による表面プラズマ
共鳴振動(以下、SPRと略記する)を利用したセンサ
装置のセンサヘッドに関し、フィールドユースやバイオ
プロセスユース、各種プラントのインプロセスに利用可
能なきわめてコンパクト化した高精度なセンサヘッド
を、実願平1−26347号(実開平2−118247
号公報)として先に提案している。 【0003】SPRセンサは、光を用いて表面プラズマ
振動を励起し、その励起の観測によって試料の屈折率を
知り、それを介して試料の濃度などの情報を得るもので
ある。ところが、試料の屈折率は、試料の温度によって
その密度が変化することから温度変化によって屈折率が
変わる。従って、例えば屈折率測定を利用するSPRセ
ンサでは、温度の変化が測定結果(例えば濃度、同一濃
度の試料でも温度が異なれば別の結果を与える)に誤差
を生じさせる。そこで、SPRセンサにおいて、この温
度変化の影響を補正する手段をとる必要がある。従来
は、例えば濃度情報だけを正確に得たいということで、
センサヘッド部を同一の温度に制御して液体もしくは気
体の測定を行っていた。しかしながら、実際にセンサと
して広範な分野に用いる場合には温度を一定に保つこと
は現実的ではなく、温度をモニタしてその影響を補正す
るようにすべきである。 【0004】この温度補正の手法として、補正用テーブ
ルを利用する方法が考えられている。即ち、事前に被検
物質M(m)(m=1,2,3,……)の各点温度T(n)
(n=1,2,3,………)における各既知濃度D
(k)(k=1,2,3,……)の試料の励起角(高屈
折率プリズムからのエバネッセント波によって金属薄膜
に表面プラズモンを共鳴励起する光の入射角)を測定し
ておき、それをコンピュータ内メモリに補正用テーブル
としておき、実際の測定に際しては、別の方法で被検試
料の温度も同時に測定し、得られた励起角のデータに対
し、測定した被検試料温度と補正用テーブルを用いてコ
ンピュータ内でテーブル・ルックアップ処理により補正
を行うというものである。 【0005】しかしながらこの補正用テーブルを利用す
る方法は、たしかに、広い濃度範囲、広い温度範囲にお
いて精密な測定を可能にし保証するものである反面、コ
ンピュータ内メモリに予めきわめて膨大な量の既知デー
タ(このデータを採取するのも難があるが、測定系例え
ば光学系の構成により必ずしも一定のデータとなるとは
限らない問題もある)を記憶させておかねばならず、そ
して実際の測定に際しこの膨大なデータの検索というコ
ンピュータでは時間を要する手順を踏まねばならない。
これは、例えば濃度等の経時変化のリアルタイム測定を
考える場合、きわめてなじみ難い手法であり問題が多
い。 【0006】他方、上記の実願平1−26347号の提
案後において、検出精度のより精密化実現の要請や機能
性向上の要望、例えばさらなるコンパクト化、また、機
械的駆動部をもつ場合には(SPRはP偏光とのみ結合
するので、基本的には偏光子が用いられるが、例えばこ
の偏光子を回転させる乃至は光路上に進退させる機構な
ど)、これの完全排除の要望などである。 【0007】 【発明の課題】この発明は、上記の問題点を踏まえ、リ
アルタイム測定に適合した形で被検試料の温度補正を可
能にするセンサ装置を提供することを基本的な課題とす
る。 【0008】他の課題は、センサヘッドのコンパクト化
を推進させつつ、測定精度のより一層の向上を図るとと
もに、機能性も一層の向上を図ることである。 【0009】 【課題を達成するための手段】本発明は、点状光源から
の光路に沿って、コリメータレンズと、第1のシリンド
リカルレンズと、被検試料を接触させる表面プラズモン
励起用金属薄膜を一面に設けた高屈折率のプリズムと、
第2のシリンドリカルレンズと、この第2のシリンドリ
カルレンズの後側焦平面上に設けられる固体撮像素子と
を備え、この固体撮像素子からの信号を処理するデータ
処理手段を有するセンサ装置において、前記固体撮像素
子を2次元固体撮像素子としたことを基本的な特徴とし
ている。 【0010】好ましくは、前記第2のシリンドリカルレ
ンズと前記2次元固体撮像素子との間に偏光分離素子を
設ける。 【0011】 【作用】上記第1のシリンドリカルレンズにより上記高
屈折率プリズムの金属薄膜上に収束した線状像(センシ
ング域)に、濃度が既知の参照試料とともに、少なくと
も1つの被検試料を接触させ、そのそれぞれからの反射
光を2次元固体撮像素子で同時に検出し、参照試料と被
検試料の励起角の特性曲線(R−θ曲線;反射率Rの入
射角θ依存曲線)を同時に測定する。そして、参照試料
の励起角と被検試料の励起角との差を求める。この両者
が同一温度にあり、かつ両者の温度係数がほぼ同一であ
れば、それぞれで得られる励起角の差は温度に依存しな
いため、この両励起角の差を用いることにより温度の影
響を受けない測定が可能となる。 【0012】実際には、測定試料の濃度の範囲があまり
広くない場合、試料の温度係数は測定領域においてほぼ
一定とみなせるので実用上の支障はない。尚、実際の測
定に際しては、予め求めた検量線によりこれを参照しつ
つリアルタイム測定を行なえる。 【0013】上記の偏光分離素子を用いると、この偏光
分離素子は、第2のシリンドリカルレンズからの光をP
偏光光とS偏光光に分離する。分離されたP偏光光とS
偏光光は、2次元固体撮像素子に同時に検出される。表
面プラズモンを励起するのはP偏光光のみでありS偏光
光は励起には全く関与しない。従って、2次元固体撮像
素子で同時に検出するP偏光のデータをS偏光のデータ
で割り算することにより、用いている光源のむら、時間
的なゆらぎ、使用している光学系の部分的ないし局部的
な不整、さらには、2次元固体撮像素子の素子間の感度
むら等もこの割算処理により補正され、より精度の高い
励起角のデータを得ることができる。と同時に、通常よ
く行われる偏光子の回転等などの機械的駆動部を一切用
いずに測定の高精度化が実現できるものである。 【0014】尚、上記の簡便な温度補正のために、固体
撮像素子に1次元固体撮像素子(リニアイメージセンサ)
を利用することが考えられるが、上記の如く、多チャン
ネルの同時測定を企図する場合、1次元固体撮像素子の
パッケージングが空間的に障害となり、仮にこれを並列
・並置すると、チャンネル数は必然的に少なく制約され
てしまうという欠点を招来してしまうと同時に、光電検
出部がセンサヘツドの形と容積を決めてしまう(大型化
する)問題があり、よりコンパクト化の実現という要請
に反することとなる。ここにも、2次元固体撮像素子を
適用した利点があり、コンパクト化とともに温度補正の
簡易化を含む多チャンネルの同時測定を可能にし、偏光
分離素子を用いる場合には、機械的駆動部を一切排除し
てP偏光とともにS偏光を同時に検出できることとな
り、測定精度の一層の向上に貢献できるものである。 【0015】 【実施例】図1に一実施例のセンサ装置のセンサヘッド
部を示す。1は準単色光源としての発光ダイオード(以
下、LEDと略記する)である。LED1からの光路・
光軸に沿って、コリメータレンズ2、第1のシリンドリ
カルレンズ3、一面4aに表面プラズモン励起用の所定
膜厚の金属薄膜4bを形成した高屈折率の三角プリズム
4、第2のシリンドリカルレンズ5、2次元固体撮像素
子としての2次元CCDイメージセンサ6が配設されて
いる。2次元CCDイメージセンサ6は、第2のシリン
ドリカルレンズ5の後側焦平面上に設置され、フーリエ
変換光学系を形成している。2次元CCDイメージセン
サ6は適合するインターフェースを介してデータ処理部
(図示せず)と接続され、データ処理部には電子計算機た
とえばパーソナルコンピュータを含む。 【0016】上記第2のシリンドリカルレンズ5と2次
元CCDイメージセンサ6との間には、入射光をP偏光
光とS偏光光とに分離する偏光分離素子7、例えば方解
石の結晶が設けられている。 【0017】図2(A)に光軸を含む縦断面を同図(B)に
光軸に沿う横断面で示すように、LED1の発散光束は
コリメータレンズ2により平行光束になり、第1のシリ
ンドリカルレンズ3に入射する。第1のシリンドリカル
レンズは、入射平行光束を三角プリズム4の金属薄膜4
bを設けた一面4aの中央部に線状に収束する。この収
束光束の入射角θは最も小さい入射角θminの光線がこ
こで全反射するように三角プリズム4の屈折率、臨界角
等が選定されている。 【0018】三角プリズム4の一面4aと金属薄膜4b
との界面に収束した線状像10(センシング域)の上に参
照試料20、この参照試料20と隣接する形で被検試料
21、被検試料22の例えば液体試料が滴下により表面
張力を維持した状態で金属薄膜4b上に置かれている。 【0019】線状のセンシング域10で反射(全反射)し
た光、その光束は第2のシリンドリカルレンズ5に入射
する。第2のシリンドリカルレンズ5は、その後側焦平
面上に受光面を位置させた2次元CCDイメージセンサ
6上に、三角プリズム4における入射角θを電子走査の
画素位置に対応付けたスペクトル光を投射する(フーリ
エ変換した光束を投影する)。 【0020】偏光分離素子7が設けられる場合は、第2
のシリンドリカルレンズ5からの出射光束は、図2の
(B)に示されるように、この偏光分離素子7により、P
偏光光7pとS偏光光7sとに分離され、所定の分離量
(スプリットないしシャー量)を保持したまま両者独立し
て2次元CCDイメージセンサ6に入射する。従って、
線状のセンシング域10上の任意の一点に対し、2次元
CCDイメージセンサ6上の入射角θに対応付けた走査
チャネルはP偏光とS偏光の2つのチャネルをもつこと
になる。 【0021】三角プリズム4の金属薄膜4b上の参照試
料20は、被検試料の温度変化に対応する温度補正を行
うために置かれるもので、予め濃度が既知の試料であ
る。被検試料21,22(あるいは、23,24,2
5,……と少なくとも1つ、一般に2以上の試料を同時
に置くことが可能である)は、濃度が未知の試料である。 【0022】第1のシリンドリカルレンズ3によりセン
シング域10に入射された光はここで全反射する。全反
射する際、エバネッセント波(縦波)を生じ金属薄膜4b
の厚さ方向に伝播する。金属薄膜4b上の試料20,2
1,22の濃度(屈折率)に応じて一定の入射角のP偏光
光のみ表面プラズモンを励起する。入射角θspのP偏
光光のエネルギーが金属プラズマ中に移ったということ
であり、ここで全反射した反射光の角度スペクトルを2
次元CCDイメージセンサ6で検出することによりその
吸収ピーク位置が判り、この角度位置に基づき理論式を
適用した演算処理により試料の濃度が求められる。 【0023】ところで、上記の求められた角度スペクト
ルの吸収ピーク位置は、試料の温度が変化すると変化す
る。すなわち、試料の温度が変わると、密度が変化し屈
折率が変化するからである。吸収ピークが、温度によっ
てどのようにシフトするか、またどの程度シフトするか
を別に行った検証例を図3に示す。図3は、励起角θs
pの温度依存性を調べたもので、試料として水分を含ん
だエタノールを用い、水分濃度0.3%、1%、5%、
10%の試料のそれぞれに対して、横軸に試料温度をと
り縦軸に励起角θspをとりこれをプロットしたもので
ある。試料温度はディジタル温度計のプローブを試料中
に接触させて測定されている。図3より、例えば、温度
範囲21℃から25℃では、濃度0.3%から10%の
試料に対する励起角の温度依存性はほぼ同じとみなすこ
とができ、差動検出により温度補正が行えることがわか
る。1%の水分を含むエタノールを参照試料とした場合
の検量線を図4に示す。測定は、21.5℃、23.5
℃、24.5℃の3種類の温度が異なる試料について行
ったものである。異なる温度条件で得られた結果が同一
の検量線T上にあり、差動検出法による温度補正が有効
であることが確認できる。 【0024】上記の検証例を引用する形で第1図の実施
例における温度補正の仕方を説明する。参照試料20を
水分が1%のエタノールとする。被検試料20,22は
水分は未知である。三角プリズム4を囲う環境温度は変
化し、三角プリズム4の温度もこの変化に応じて変わる
が、試料20,21,22の温度は三角プリズム4自体
の温度で決まり、それぞれほぼ同じ温度であるとみなし
ても差し支えがない。図4に示した検量線Tを用いる。
これは、予め作成されていてデータ処理部にもたれてい
るものである。図4において、水分濃度1%の検量線T
と交差したΔθの位置をΔθ=0(ゼロ)とする。図1に
おける濃度1%の参照試料と濃度未知の被検試料21,
22の角度スペクトルを2次元CCDイメージセンサ6
で同時に検出し、データ処理部におけるデータ処理によ
って吸収角度位置(励起角)を求める。求められた被検試
料21,22の励起角と同じく求められた参照試料20
の励起角との差Δθを求める。この差Δθを先に設定し
たΔθ=0の点に増分又は減分した検量線Tにおける濃
度軸を参照する。その落ちた点の濃度値が被検試料2
1,22の水分濃度を与えるものである。したがって、
検量線を用いるこの差動検出法は、基本的に温度計測が
必要ではなく、また膨大なデータ量のルックアップ・テ
ーブルを検索するという時間の掛かる処理(コンピュー
タ処理)も必要でないので、リアルタイム測定に適合
し、例えば、フローセルを設けて未知濃度の液体を流通
させ、この液体の濃度変化の経時変動を測定する場合な
どにはきわめて有効である。さらには、2次元CCDイ
メージセンサ6により、被検試料21,22,23,2
4,……の励起角のデータが多チャンネルかつ同時に測
定できるので、機能上も大変優れたものとなっている。 【0025】偏光分離素子7は、P偏光光7pとS偏光
光7sとに分離する。これを受光する2次元CCDイメ
ージセンサ6の受光面の模式図を図6に示す。参照試料
を含めて試料をn個設定する場合を示している。試料数
に対応してチャンネル数はnで、電子走査の走査方向が
入射角θの方向に対応する。チャンネル1では、実線で
示されるP偏光の角度スペクトルθ1p、破線で示される
S偏光の角度スペクトルθ1sは、P偏光の角度スペクト
ルθ1pから若干の距離をおいた位置に形成される。2次
元CCDイメージセンサ6はこのP偏光,S偏光の角度
スペクトルの対θ1p,θ1s〜θnp,θnsを同時に検出す
ることができる。図7に示すように、例えば、ある1つ
のチャンネルのP,S偏光の検出波形が同図(A),(B)
のようであったとする。データ処理部において、P偏光
のデータをS偏光のデータで割り算する。すると、第7
図(C)に示すような、鋭い吸収ピークをもった角度スペ
クトルを得ることができる。これにより、励起角の位置
の決定(多くはコンピュータ内の演算でピーク位置を求
める)の精度を向上させることができる。 【0026】上記のようなS偏光の利用は、基本的に
は、SPRがP偏光とのみ結合するということに基づく
が、P偏光もS偏光も分離されるまでは同一の光学系を
同時に伝播しているから、光源のむら、時間的なゆら
ぎ、光学系の不整,不均一に基づく歪みを両偏光光は同
時にまた同程度に被っている。さらには2次元CCDイ
メージセンサ6の画素間の感度むらもある。検出精度に
大きな影響を与える上記各種の事象は、P/Sのデータ
処理によりすべてキャンセルされ、測定精度の一層の向
上を図り得る。 【0027】図5は他の実施例の一部を示すものであ
る。同図(A)は、図1の三角プリズム4に替えて半円柱
プリズム40を用いたもので、中心軸と直交する断面を
模式的に示し、同図(B)は平面図を示している。半円柱
プリズム40の中心軸を含む平面には、表面プラズモン
励起用の金属薄膜41が、例えば蒸着により被着されて
いる。なお、この膜厚は、数十nmであり、説明のため
見える形で厚く示してある。第1のシリンドリカルレン
ズ3による収束光42は、半円柱の中心軸をねらって収
束され、半円柱の中心軸に沿って線状のセンシング域が
形成される。フローセル43は、このセンシング域をカ
バーするように設けられ、導入管43aと流出管43b
とを備える。図5(B)の平面図に示すように、フローセ
ル43はセンシング域に沿って複数設ける。その内の1
つを参照試料用に使用することができる。参照試料用の
フローセルは、好ましくは、中央部に位置するものを選
ぶとよい。 【0028】上記のように、半円柱プリズム40を適用
すると、入射光束42及び全反射された出射光束44の
いずれの光束を構成する光線も円柱表面で屈折すること
はないので、収差を大幅に低減でき、これによって測定
精度の向上が期待できる。 【0029】上記の各実施例で使用する表面プラズモン
共鳴振動励起用の金属薄膜は、その材質が金、白金、
銀、銅、アルミニウムのいずれでもよいが、複素誘電率
の虚部が小さいもの、例えば銀とするのが好ましい。た
だし、銀の薄膜は、外気や被検試料、特殊な環境にさら
されると硫化されやすいので、MgF2などの誘電体を
保護膜としてコーティングなどで被着しておくとよい。
なお、生化学やバイオ系で適用する場合、金属薄膜の上
へ抗体などを含む皮膜を被着するなどしておくとよい。
例えば抗原の検知の機能性とともに、保護膜としても作
用し都合がよい。また、金属薄膜を直接プリズムに被着
するほかに、薄いガラス板に形成したものを貼り付け、
センシング部を着脱自在、取り替え自在にすることも有
用である。汎用性を高める点で好ましい。 【0030】実施例で用いた2次元固体撮像素子は2次
元CCDイメージセンサ6としてCCD形であったが、
MOS形であっても勿論よい。また、実施例では2次元
CCDイメージセンサ6として素子の形で示したが、よ
り簡便には、CCDカメラとしてこれを設定することで
目的を十分に達成できる。これによれば、設計の繁雑さ
が大幅に軽減されて好ましい。 【0031】また、実施例で用いた偏光分離素子7は、
方解石などの結晶系のもののほか、プリズム系のもの例
えば、サバール板、ウォラストンプリズム、グラムトム
ソンプリズムなどのいずれを適用してもよい。なおま
た、光源はLEDのほか、レーザダイオードを適用する
ことができる。 【0032】 【発明の効果】以上のように、この発明によれば、フー
リエ変換用の第2のシリンドリカルレンズの後側焦平面
上に設けられる固体撮像素子を2次元固体撮像素子とし
たので、センサヘッドのコンパクトな構成を維持しなが
ら、参照試料を用いた被検試料の温度補正が、温度計測
が不要かつ簡便な形で測定可能となると共に、経時変化
のリアルタイム測定も可能となり、しかも、これらの測
定を多チャンネルで行うことができ、測定精度の向上と
ともに機能性を一段と向上させる効果がある。
説明図である。 【図2】図1の断面図であり(A)は縦断面を(B)は光軸
に沿う横断面を示す。 【図3】水分濃度が異なるエタノールの試料に対し、そ
のそれぞれの励起角の温度依存性によるシフトを調べた
一検証例のグラフである。 【図4】異なる温度で検量線がほぼ一致することを示す
グラフである。 【図5】他の実施例の一部を図解したもので(A)は半球
プリズムの縦断面を模式的に示し(B)は平面図である。 【図6】2次元CCDイメージセンサのセンサ面の検出
態様を示す説明図である。 【図7】CCD画素位置に対応付けたS偏光とP偏光の
検出出力のデータ波形を示し、(A)はS偏光、(B)はP
偏光、(C)はP偏光をS偏光で割算したデータ波形を示
す。 【符号の説明】 1 LED 2 コリメータレンズ 3 第1のシリンドリカルレンズ 4 高屈折率プリズム 40 半球プリズム 4b、41 金属薄膜 5 第2のシリンドリカルレンズ 6 2次元CCDイメージセンサ 7 偏光分離素子 7s S偏光光 7p P偏光光 20 参照試料 21、22 被検試料 43 フローセル
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 【請求項1】点状光源からの光路に沿って、コリメータ
レンズと、第1のシリンドリカルレンズと、被検試料を
接触させる表面プラズモン励起用金属薄膜を一面に設け
た高屈折率のプリズムと、第2のシリンドリカルレンズ
と、この第2のシリンドリカルレンズの後側焦平面上に
設けられる固体撮像素子とを備え、この固体撮像素子か
らの信号を処理するデータ処理手段を有するセンサ装置
において、前記固体撮像素子を2次元固体撮像素子とす
ると共に、前記第2のシリンドリカルレンズと前記2次
元固体撮像素子との間に、互いに直交する偏光成分を含
む直線偏光をそれぞれの偏光成分に分離する偏光分離素
子を設け、前記データ処理手段には前記2次元固体撮像
素子に受光するそれぞれの偏光成分の比を演算する手段
を含むことを特徴とするセンサ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP34173093A JP3437619B2 (ja) | 1993-12-09 | 1993-12-09 | センサ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP34173093A JP3437619B2 (ja) | 1993-12-09 | 1993-12-09 | センサ装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07159319A JPH07159319A (ja) | 1995-06-23 |
JP3437619B2 true JP3437619B2 (ja) | 2003-08-18 |
Family
ID=18348332
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP34173093A Expired - Lifetime JP3437619B2 (ja) | 1993-12-09 | 1993-12-09 | センサ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3437619B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006292562A (ja) * | 2005-04-12 | 2006-10-26 | Fujikura Ltd | 表面プラズモンセンサ |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001242072A (ja) * | 2000-03-02 | 2001-09-07 | Kanagawa Acad Of Sci & Technol | 光吸収応答型sprセンサーおよびその測定方法と装置 |
EP1947446A3 (en) | 2000-03-16 | 2008-10-29 | FUJIFILM Corporation | Measuring method and apparatus using attenuation in total reflection |
JP2001330560A (ja) * | 2000-03-16 | 2001-11-30 | Fuji Photo Film Co Ltd | 全反射減衰を利用した測定方法および装置 |
JP2002048707A (ja) * | 2000-05-22 | 2002-02-15 | Fuji Photo Film Co Ltd | 全反射減衰を利用した測定方法および装置 |
JP4109022B2 (ja) * | 2002-06-13 | 2008-06-25 | 富士フイルム株式会社 | 測定装置および該測定装置の使用方法 |
JP4076962B2 (ja) * | 2003-04-23 | 2008-04-16 | 独立行政法人科学技術振興機構 | 差動式表面プラズモン共鳴現象測定装置及びその測定方法 |
JP2006098369A (ja) | 2004-09-30 | 2006-04-13 | Fuji Photo Film Co Ltd | 全反射減衰を利用した測定方法および測定装置 |
US7285420B2 (en) * | 2004-11-18 | 2007-10-23 | Corning Incorporated | System and method for self-referencing a sensor in a micron-sized deep flow chamber |
JP3974157B2 (ja) * | 2005-08-30 | 2007-09-12 | シャープ株式会社 | 表面プラズモンセンサー |
JP5256808B2 (ja) * | 2008-03-21 | 2013-08-07 | 株式会社島津製作所 | 導波モード共鳴格子を用いた屈折率測定方法及び屈折率測定装置 |
JP6708197B2 (ja) * | 2017-11-10 | 2020-06-10 | 横河電機株式会社 | 分光分析装置 |
JP7443894B2 (ja) * | 2020-03-31 | 2024-03-06 | 横河電機株式会社 | 分光分析装置、分光分析装置の動作方法、及びプログラム |
-
1993
- 1993-12-09 JP JP34173093A patent/JP3437619B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006292562A (ja) * | 2005-04-12 | 2006-10-26 | Fujikura Ltd | 表面プラズモンセンサ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH07159319A (ja) | 1995-06-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Jin et al. | Imaging ellipsometry revisited: developments for visualization of thin transparent layers on silicon substrates | |
KR100484377B1 (ko) | 분광 엘립소미터 | |
EP1271115B1 (en) | Polarization analyzing apparatus and method for polarization analysis | |
JP3437619B2 (ja) | センサ装置 | |
US8705039B2 (en) | Surface plasmon resonance sensor using vertical illuminating focused-beam ellipsometer | |
US8705033B2 (en) | Multi-channel surface plasmon resonance sensor using beam profile ellipsometry | |
JP4514430B2 (ja) | 液晶系偏光分析装置 | |
US7933019B2 (en) | Surface plasmon resonance sensor using rotating mirror | |
JPH06167443A (ja) | 表面プラズモン共鳴を利用した測定装置 | |
US6483584B1 (en) | Device for measuring the complex refractive index and thin film thickness of a sample | |
CN109115690A (zh) | 实时偏振敏感的太赫兹时域椭偏仪及光学常数测量方法 | |
KR100203345B1 (ko) | 동시 다중각/다중파장 타원편광계와 측정방법 | |
US20060023221A1 (en) | Sample analysis apparatus and analysis method | |
CN107764776B (zh) | 多波长可调式表面等离子体共振成像装置及其应用 | |
CN113777049A (zh) | 一种角分辨快照椭偏仪及其测量***与方法 | |
JPH06103252B2 (ja) | 高分解能エリプソメータ装置と方法 | |
EP1593955A2 (en) | Wavelength-tuned intensity measurement with a surface plasmon resonance sensor | |
JPH06265336A (ja) | 表面プラズモン共鳴を利用した測定装置 | |
US7184145B2 (en) | Achromatic spectroscopic ellipsometer with high spatial resolution | |
JP2000019104A (ja) | 表面プラズモンセンサ― | |
JPH073318Y2 (ja) | 光励起表面プラズマ振動共鳴を利用したセンサヘッド | |
JP3365474B2 (ja) | 偏光性イメージング装置 | |
CN208847653U (zh) | 一种实时偏振敏感的太赫兹时域椭偏仪 | |
US6768550B2 (en) | Beam shifting surface plasmon resonance system and method | |
KR100574776B1 (ko) | 분광결상을 이용한 타원계측 장치 및 타원계측 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080606 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090606 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100606 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100606 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110606 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120606 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140606 Year of fee payment: 11 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |