JP3421888B2 - Manufacturing method of plasma address display device - Google Patents
Manufacturing method of plasma address display deviceInfo
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Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、電気光学セルとプラズ
マセルが積層されて構成されるプラズマアドレス表示装
置の製造方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of manufacturing a plasma addressed display device constructed by laminating an electro-optical cell and a plasma cell.
【０００２】[0002]
【従来の技術】フラットパネル表示装置としては、電気
光学セルとして液晶セルを用いた液晶ディスプレイ（Li
quid Crystal Display：ＬＣＤ）が広く知られている。
特に、各画素ごとに薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）を能動
素子として設けたＴＦＴ型ＬＣＤは、応答速度の高速化
および高コントラスト化が可能なデバイスとして急速に
普及している。しかし、そのような表示デバイスにおい
ては、各画素ごとにＴＦＴのような能動素子を形成しな
ければならないことなどから、製造時に十分な歩留りが
得られないという問題が生じている。特に、大面積のデ
ィスプレイにおいて、その問題は顕著となっている。2. Description of the Related Art As a flat panel display device, a liquid crystal display (Li
A quid crystal display (LCD) is widely known.
In particular, a TFT type LCD in which a thin film transistor (TFT) is provided as an active element for each pixel is rapidly spreading as a device capable of increasing the response speed and increasing the contrast. However, in such a display device, since an active element such as a TFT has to be formed for each pixel, there is a problem that a sufficient yield cannot be obtained at the time of manufacturing. Especially, in a large area display, the problem becomes remarkable.
【０００３】そこで、ＴＦＴなどのスイッチング素子の
代わりに、プラズマ放電を利用して電気光学セルを駆動
するプラズマアドレス表示装置が提唱されている。その
プラズマアドレス表示装置について図６〜図１１を参照
して説明する。Therefore, there has been proposed a plasma address display device which drives an electro-optical cell by utilizing plasma discharge instead of a switching element such as a TFT. The plasma address display device will be described with reference to FIGS.
【０００４】まず、図６を参照してプラズマアドレス表
示装置の構造について説明する。図６は、プラズマアド
レス表示装置１の構造を示す図である。プラズマアドレ
ス表示装置１は、プラズマ部２と、プラズマ部２上に誘
電体シート３を介して積層された液晶部４を有する。First, the structure of the plasma addressed display device will be described with reference to FIG. FIG. 6 is a diagram showing the structure of the plasma addressed display device 1. The plasma addressed display device 1 has a plasma part 2 and a liquid crystal part 4 laminated on the plasma part 2 with a dielectric sheet 3 interposed therebetween.
【０００５】プラズマ部２は、プラズマガラス２１上に
形成された隔壁を介して、誘電体シート３がプラズマガ
ラス２１と所定の間隔で対向して設けられており、前記
隔壁により区切られたプラズマガラス２１と誘電体シー
ト３の間の各空間が、プラズマ室２４を形成している。
前記隔壁は、プラズマガラス２１上に行方向に所定の間
隔で平行に設けられている。したがって、プラズマ室２
４は行方向に平行に並び各々列方向に伸びている。前記
隔壁は、プラズマガラス２１上に行方向に平行に形成さ
れた帯状の電極２２、および、その電極２２上に、その
電極２２よりやや狭い幅で、すなわち電極２２の両側が
露出するような状態で、絶縁性のセラミックなどを積層
して形成されたバリアリブ２３より構成される。また、
プラズマ室２４にはヘリウムなどのイオン化可能なガス
が封入されている。In the plasma part 2, the dielectric sheet 3 is provided so as to face the plasma glass 21 at a predetermined interval via a partition wall formed on the plasma glass 21, and the plasma glass is partitioned by the partition wall. Each space between 21 and the dielectric sheet 3 forms a plasma chamber 24.
The partition walls are provided on the plasma glass 21 in parallel at predetermined intervals in the row direction. Therefore, the plasma chamber 2
4 are arranged in parallel in the row direction and extend in the column direction. The partition wall is a strip-shaped electrode 22 formed on the plasma glass 21 in parallel with the row direction, and has a width slightly narrower than the electrode 22, that is, both sides of the electrode 22 are exposed on the electrode 22. The barrier rib 23 is formed by laminating insulating ceramics. Also,
The plasma chamber 24 is filled with an ionizable gas such as helium.
【０００６】液晶部４は、プラズマ部２の上面を構成す
る誘電体シート３上にさらにカラーフィルタ４１を所定
の間隔を維持するように接合し、その誘電体シート３と
カラーフィルタ４１との間の空間に液晶を充填して液晶
層４３を形成したものである。カラーフィルタ４１の誘
電体シート３側の面には、行方向を長手方向とした帯状
のデータ電極４２が列方向に所定の間隔で平行に形成さ
れている。このように、プラズマアドレス表示装置１に
おいては、プラズマ部２のプラズマ室２４と、液晶部４
のデータ電極４２は直交しており、これらの交点でプラ
ズマアドレス表示装置１の各画素が規定されている。In the liquid crystal part 4, a color filter 41 is further bonded on the dielectric sheet 3 constituting the upper surface of the plasma part 2 so as to maintain a predetermined distance, and the space between the dielectric sheet 3 and the color filter 41. The space is filled with liquid crystal to form the liquid crystal layer 43. On the surface of the color filter 41 on the side of the dielectric sheet 3, band-shaped data electrodes 42 whose longitudinal direction is the row direction are formed in parallel at predetermined intervals in the column direction. Thus, in the plasma addressed display device 1, the plasma chamber 24 of the plasma unit 2 and the liquid crystal unit 4 are
Data electrodes 42 are orthogonal to each other, and the intersections of these data electrodes 42 define each pixel of the plasma addressed display device 1.
【０００７】なお、図６は理解を容易にするためにプラ
ズマアドレス表示装置１の構造を模式的に示した図であ
って、各部・各層の厚み・大きさなどの寸法およびそれ
らの比率などについて示すものではない。それらの実際
のサイズについては、図７に例示する。図７は、プラズ
マアドレス表示装置１の実際の各部の大きさの例を示す
図である。図７に示すように、プラズマアドレス表示装
置１において、プラズマガラス２１およびカラーフィル
タ４１は厚さ１ｍｍ〜２ｍｍ程度の比較的厚い部材であ
る。一方、誘電体シート３は、５０μｍという薄い部材
であり、さらに液晶層４３は７μｍという非常に薄い層
である。FIG. 6 is a diagram schematically showing the structure of the plasma addressed display device 1 for easy understanding, and the dimensions such as the thickness and size of each part and each layer, and the ratio thereof. Not shown. Their actual size is illustrated in FIG. FIG. 7 is a diagram showing an example of the actual size of each part of the plasma addressed display device 1. As shown in FIG. 7, in the plasma addressed display device 1, the plasma glass 21 and the color filter 41 are relatively thick members having a thickness of about 1 mm to 2 mm. On the other hand, the dielectric sheet 3 is a thin member of 50 μm, and the liquid crystal layer 43 is a very thin layer of 7 μm.
【０００８】次に、このプラズマアドレス表示装置１の
動作について説明する。プラズマガラス２１上に形成さ
れた複数の帯状の電極２２は、交互にアノード電極２２
Ａとカソード電極２２Ｋとなるように、図示せぬ駆動回
路に接続される。その駆動回路によりアノード電極２２
Ａとカソード電極２２Ｋとの間に所定の電圧が印加され
ると、プラズマ室２４内の前記ガスがイオン化されてプ
ラズマ放電が発生し、その内部はほぼアノード電位に維
持される。この時に、そのプラズマ室２４上のデータ電
極４２にデータ電圧が印加されると、プラズマ室２４と
データ電極４２の間の液晶層４３に誘電体シート３を介
してデータ電圧が書き込まれる。その後プラズマ放電が
終了すると、プラズマ室２４は浮遊電位となり、対応す
る画素の液晶層４３に書き込まれた電圧はそのまま保持
される。Next, the operation of the plasma addressed display device 1 will be described. The plurality of strip-shaped electrodes 22 formed on the plasma glass 21 are alternately arranged as the anode electrodes 22.
A and a cathode electrode 22K are connected to a drive circuit (not shown) so as to become the cathode electrode 22K. The drive circuit causes the anode electrode 22
When a predetermined voltage is applied between A and the cathode electrode 22K, the gas in the plasma chamber 24 is ionized to generate plasma discharge, and the inside thereof is maintained at substantially the anode potential. At this time, when a data voltage is applied to the data electrode 42 on the plasma chamber 24, the data voltage is written to the liquid crystal layer 43 between the plasma chamber 24 and the data electrode 42 via the dielectric sheet 3. After that, when the plasma discharge ends, the plasma chamber 24 becomes a floating potential, and the voltage written in the liquid crystal layer 43 of the corresponding pixel is held as it is.
【０００９】したがって、行方向に平行に配置されたプ
ラズマ室２４に順次所定電圧を印加し、各行のプラズマ
室２４がアクティブな時に、その行に対応する列方向の
データ電極４２にデータを印加することにより、２次元
画像の表示を行うことができる。Therefore, a predetermined voltage is sequentially applied to the plasma chambers 24 arranged parallel to the row direction, and when the plasma chambers 24 of each row are active, the column chambers corresponding to the row are moved in the column direction.
By applying data to the data electrode 42 , a two-dimensional image can be displayed.
【００１０】次に、このプラズマアドレス表示装置１の
製造方法について図８〜図１１を参照して説明する。図
８は、プラズマアドレス表示装置１の製造工程を示す図
であり、図９は、図８の各工程を説明するための図であ
る。まず、図９（Ａ）に示すように、プラズマガラス２
１上に電極２２をスクリーン印刷により帯状に印刷し、
電極２２を形成する（工程Ｓ１）。次に、図９（Ｂ）に
示すように、帯状に形成した電極２２の上に、同様にス
クリーン印刷でバリアリブ２３を積層する。バリアリブ
２３はプラズマ室２４を形成する隔壁であり２００μｍ
程度の高さを必要とするため、このスクリーン印刷はバ
リアリブ２３の高さが所定の高さ以上になるまで繰り返
し行う。バリアリブ２３が所定の高さ以上になったら、
焼成を行いバリアリブ２３の形成を終了する（工程Ｓ
２）。Next, a method of manufacturing the plasma addressed display device 1 will be described with reference to FIGS. FIG. 8 is a diagram showing a manufacturing process of the plasma addressed display device 1, and FIG. 9 is a diagram for explaining each process of FIG. First, as shown in FIG. 9 (A), the plasma glass 2
The electrode 22 is printed in a strip shape on the 1 by screen printing,
The electrode 22 is formed (step S1). Next, as shown in FIG. 9B, a barrier rib 23 is similarly laminated on the strip-shaped electrode 22 by screen printing. The barrier rib 23 is a partition wall that forms the plasma chamber 24 and has a thickness of 200 μm.
Since a certain level of height is required, this screen printing is repeated until the height of the barrier ribs 23 becomes a predetermined height or more. Once the barrier ribs 23 reach a certain height,
Firing is performed to complete the formation of the barrier ribs 23 (step S
2).
【００１１】バリアリブ２３の形成が終了したら、図９
（Ｃ）に示すように、そのバリアリブ２３上に誘電体シ
ート３としての薄板ガラスを接合する。その際は、まず
バリアリブ２３の表面を研磨して平坦にしておく。そし
て、プラズマガラス２１の周縁部にフリットシール２５
をディスペンサにより塗布し、このフリットシール２５
により誘電体シート３を、電極２２およびバリアリブ２
３を介してプラズマガラス２１と対向するように接合す
る。この結果、プラズマガラス２１、誘電体シート３、
および、電極２２およびバリアリブ２３に囲まれたプラ
ズマ室２４が形成され、さらにこのプラズマ室２４にガ
スを注入し、プラズマ部２が形成される（工程Ｓ３）。After the formation of the barrier ribs 23 is completed, FIG.
As shown in (C), thin glass as the dielectric sheet 3 is bonded onto the barrier ribs 23. In that case, first, the surface of the barrier rib 23 is polished to be flat. Then, the frit seal 25 is attached to the peripheral edge of the plasma glass 21.
Is applied using a dispenser, and this frit seal 25
The dielectric sheet 3 to the electrodes 22 and the barrier ribs 2.
It joins so that it may face plasma glass 21 via 3 and. As a result, the plasma glass 21, the dielectric sheet 3,
A plasma chamber 24 surrounded by the electrodes 22 and the barrier ribs 23 is formed, and a gas is injected into the plasma chamber 24 to form the plasma portion 2 (step S3).
【００１２】次に、図９（Ｄ）に示すように、プラズマ
ガラス２１と対向して電極２２およびバリアリブ２３に
接合された誘電体シート３の上面に、液晶層４３の間隙
を確保するためのギャップスペーサ４５を散布し、さら
に、カラーフィルタ４１を接合するための液晶シール材
４４を誘電体シート３の周縁部にディスペンサにより塗
布する（工程Ｓ４）。なお、この液晶シール材４４とし
ては、紫外線の照射により硬化する紫外線硬化シール材
を用いる。次に、その液晶シール材４４を塗布した誘電
体シート３上に、図９（Ｅ）に示すように、カラーフィ
ルタ４１を載せて、カラーフィルタ４１と誘電体シート
３を液晶シール材４４により接合する。この結果、カラ
ーフィルタ４１と誘電体シート３の間にギャップスペー
サ４５により所定の間隔が確保された液晶室４８が形成
される（工程Ｓ５）。Next, as shown in FIG. 9D, a gap of the liquid crystal layer 43 is formed on the upper surface of the dielectric sheet 3 facing the plasma glass 21 and bonded to the electrodes 22 and the barrier ribs 23. Gap spacers 45 for securing are dispersed, and liquid crystal sealing material 44 for joining the color filters 41 is applied to the peripheral edge of the dielectric sheet 3 by a dispenser (step S4). As the liquid crystal sealing material 44, an ultraviolet curing sealing material that is cured by irradiation with ultraviolet rays is used. Next, as shown in FIG. 9E, a color filter 41 is placed on the dielectric sheet 3 coated with the liquid crystal sealing material 44, and the color filter 41 and the dielectric sheet 3 are bonded by the liquid crystal sealing material 44. To do. As a result, a liquid crystal chamber 48 is formed between the color filter 41 and the dielectric sheet 3 with a gap provided by the gap spacer 45 (step S5).
【００１３】最後に、液晶室４８に液晶９を充填して液
晶層４３を形成する（工程Ｓ６）。なお、この液晶の注
入において、通常の液晶表示装置のように真空チャンバ
内で液晶を注入しようとすると、真空チャンバ内で誘電
体シート３が割れてしまう。そこで、カラーフィルタ４
１に液晶注入口を設けておき、そこから液晶を注入する
という方法を用いる。すなわち、カラーフィルタ４１に
２つの開口を設け、１つの開口を液晶注入口、他の１つ
の開口を排気口とする。そして、その液晶注入口に液晶
の入ったタンクの注入口を当接させて液晶を注入する一
方で、前記排気口にから液晶室４８内を真空にひく。こ
れにより、液晶９は徐々に液晶室４８内に注入される。Finally, the liquid crystal chamber 48 is filled with the liquid crystal 9 to form the liquid crystal layer 43 (step S6). When injecting the liquid crystal into the vacuum chamber as in a normal liquid crystal display device in injecting the liquid crystal, the dielectric sheet 3 is broken in the vacuum chamber. Therefore, the color filter 4
1 is provided with a liquid crystal injection port, and the liquid crystal is injected from there. That is, two openings are provided in the color filter 41, one opening serves as a liquid crystal inlet, and the other opening serves as an exhaust opening. Then, while the liquid crystal is injected by bringing the liquid crystal injection port into contact with the injection port of the tank containing the liquid crystal, the inside of the liquid crystal chamber 48 is evacuated from the exhaust port. As a result, the liquid crystal 9 is gradually injected into the liquid crystal chamber 48.
【００１４】このようにしてプラズマアドレス表示装置
１は製造されるが、ここで前記各工程の中の、液晶シー
ル材４４の塗布およびカラーフィルタ４１の接合の方法
について図１０および図１１を参照してさらに詳細に説
明する。The plasma addressed display device 1 is manufactured in this manner. Here, referring to FIGS. 10 and 11, the method of applying the liquid crystal sealing material 44 and joining the color filter 41 in each of the above steps will be described. Will be described in more detail.
【００１５】図１０は、誘電体シート３上に液晶シール
材４４の塗布状態を示す図である。図１０に示すよう
に、液晶シール材４４は誘電体シート３の周縁部に沿っ
て塗布されているものの、左右（列方向の両端）の行方
向の中央付近において、誘電体シート３の外周方向に向
かって曲がって塗布され、誘電体シート３の辺上でその
塗布が終了している。その結果、液晶シール材４４は、
第１の液晶シール部４４ａと、第２の液晶シール材４４
ｂとに分割され、その間に開放部４７ａ，４７ｂが形成
される。この開放部４７ａ，４７ｂは、誘電体シート３
上にカラーフィルタ４１を載せた時に、排気口を形成す
るように設けられる。液晶シール材４４は、このような
形状で塗布される。FIG. 10 is a view showing a coating state of the liquid crystal sealing material 44 on the dielectric sheet 3. As shown in FIG. 10, the liquid crystal sealing material 44 is applied along the peripheral edge of the dielectric sheet 3, but in the outer peripheral direction of the dielectric sheet 3 near the center in the row direction on the left and right (both ends in the column direction). The coating is bent toward and the coating is finished on the side of the dielectric sheet 3. As a result, the liquid crystal sealing material 44 is
The first liquid crystal sealing portion 44a and the second liquid crystal sealing material 44
b, and open portions 47a and 47b are formed between them. The open portions 47a and 47b are used for the dielectric sheet 3
It is provided so as to form an exhaust port when the color filter 41 is placed thereon. The liquid crystal sealing material 44 is applied in such a shape.
【００１６】カラーフィルタ４１の接合の方法につい
て、図１１を参照して説明する。図１１は、カラーフィ
ルタ４１を接合する方法を示す図である。液晶シール材
４４が塗布された誘電体シート３上にカラーフィルタ４
１を載せたプラズマアドレス表示装置１は、そのまま袋
状に閉じられたフィルム１５０内に入れられる。そし
て、そのフィルム１５０の開口部は、排気管１３０を介
して排気ポンプ１２０の吸引口に接続される。この状態
で排気ポンプ１２０を稼働させると、フィルム１５０内
部の空気が排気され、プラズマアドレス表示装置１がフ
ィルム１５０により真空パックされる状態となる。A method of joining the color filters 41 will be described with reference to FIG. FIG. 11 is a diagram showing a method of joining the color filters 41. The color filter 4 is provided on the dielectric sheet 3 coated with the liquid crystal sealing material 44.
The plasma address display device 1 on which 1 is placed is put in the film 150 closed as a bag as it is. The opening of the film 150 is connected to the suction port of the exhaust pump 120 via the exhaust pipe 130. When the exhaust pump 120 is operated in this state, the air inside the film 150 is exhausted, and the plasma addressed display device 1 is vacuum packed by the film 150.
【００１７】この時に、誘電体シート３、液晶シール材
４４、および、カラーフィルタ４１の間に形成される液
晶室４８においては、液晶シール材４４が前述した図１
０のように塗布されているので、２つの排気口４７ａ，
４７ｂが形成されており、この排気口４７ａ，４７ｂか
ら液晶室４８内の空気が排気される。その結果、フィル
ム１５０の外部から内部に対して大気圧が加わり、その
結果カラーフィルタ４１はプラズマアドレス表示装置１
の内部方向、すなわち誘電体シート３の方向に全体的に
押される。この時、カラーフィルタ４１は、誘電体シー
ト３とギャップスペーサ４５により確保された距離だけ
離れてプラズマ部２の形状に沿った形状で押さえつけら
れている。At this time, in the liquid crystal chamber 48 formed between the dielectric sheet 3, the liquid crystal sealing material 44, and the color filter 41, the liquid crystal sealing material 44 is the one shown in FIG.
Since it is coated as 0, the two exhaust ports 47a,
47b is formed, and the air in the liquid crystal chamber 48 is exhausted from the exhaust ports 47a and 47b. As a result, atmospheric pressure is applied from the outside of the film 150 to the inside thereof, and as a result, the color filter 41 is removed from the plasma addressed display device 1.
Is entirely pressed in the inward direction, that is, in the direction of the dielectric sheet 3. At this time, the color filter 41 is pressed by a shape that conforms to the shape of the plasma part 2 at a distance secured by the dielectric sheet 3 and the gap spacer 45.
【００１８】そして、この時に、フィルム１５０の外部
より液晶シール材４４に対して紫外線を照射し、液晶シ
ール材４４を硬化させ、前記カラーフィルタ４１を前述
した所望の形状の状態で誘電体シート３すなわちプラズ
マ部２と接合させる。前記接合が終了したら、プラズマ
アドレス表示装置１をフィルム１５０から取り出し、液
晶室４８の排気口４７を塞ぐ。すなわち、この排気口４
７にシール材を注入し硬化させて排気口４７を塞ぐ。そ
の結果、密閉された液晶室４８が形成される。At this time, the liquid crystal sealing material 44 is irradiated with ultraviolet rays from the outside of the film 150 to cure the liquid crystal sealing material 44, and the color filter 41 is in the desired shape described above and the dielectric sheet 3 is formed. That is, it is bonded to the plasma part 2. After the joining is completed, the plasma addressed display device 1 is taken out from the film 150 and the exhaust port 47 of the liquid crystal chamber 48 is closed. That is, this exhaust port 4
The sealing material is injected into 7 and cured to close the exhaust port 47. As a result, the sealed liquid crystal chamber 48 is formed.
【００１９】[0019]
【発明が解決しようとする課題】しかし、このようなプ
ラズマアドレス表示装置の製造方法において、カラーフ
ィルタなどからなる液晶基板をプラズマ基板に接合する
際に、液晶室の排気を行うために形成された液晶室をシ
ールするシール材４４の一部を開口させて形成した液晶
室の端面の厚さが７μｍ程度の狭い排気口を塞ぐ処理
に、非常に時間と手間がかかるという問題があった。前
記排気口を塞ぐためには、この排気口にシール材を注入
しなければならず、これまでは毛細管現象により徐々に
シール材を注入する方法が採られている。しかし、この
排気口の厚みは７μｍ程度と非常に狭いため、この間隙
にシール材を注入するのには非常に時間がかかった。ま
た、排気口が非常に狭いため、粘度（粘性）の低いシー
ル材でなければ注入できず、そのため液晶基板とプラズ
マ基板とを接合した液晶シール材とは別のシール材を用
いなければならないという問題も生じた。However, in the method of manufacturing such a plasma addressed display device, it is formed in order to exhaust the liquid crystal chamber when the liquid crystal substrate composed of a color filter or the like is bonded to the plasma substrate. Liquid crystal room
Liquid crystal formed by opening a part of the sealing material 44
There is a problem that it takes a lot of time and effort to close the exhaust port having a thickness of about 7 μm at the end face of the chamber . In order to block the exhaust port, it is necessary to inject the sealing material into the exhaust port, and the method of gradually injecting the sealing material by the capillary phenomenon has been adopted so far. However, since the thickness of this exhaust port is very small, about 7 μm, it took a very long time to inject the sealing material into this gap. Further, since the exhaust port is very narrow, it can be injected only with a sealing material having a low viscosity (viscosity) . Therefore, a sealing material different from the liquid crystal sealing material that joins the liquid crystal substrate and the plasma substrate must be used. There was a problem.
【００２０】したがって、本発明は、より簡単にカラー
フィルタなどを有する液晶基板をプラズマ基板に接合す
ることができるプラズマアドレス表示装置の製造方法を
提供することにある。Therefore, it is an object of the present invention to provide a method of manufacturing a plasma addressed display device capable of more easily bonding a liquid crystal substrate having a color filter or the like to a plasma substrate.
【００２１】[0021]
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、液晶基板に設けられている液晶室への液晶注入用の
開口を用いて、液晶室内の排気を行うようにし、液晶基
板部をプラズマ基板部に接合するための特別の排気口を
設けなくてもよいようにした。In order to solve the above problems, the liquid crystal chamber is evacuated by using an opening for injecting liquid crystal into the liquid crystal chamber provided in the liquid crystal substrate, A special exhaust port for joining to the plasma substrate part is not required to be provided.
【００２２】本発明によれば、（ａ）プラズマガラス基
板に複数のプラズマ電極を形成し、これらプラズマ電極
の上にバリアリブを積層し、上記プラズマ電極とバリア
リブとからなる積層体を複数介在させて上記プラズマガ
ラス基板と誘電体シートとを対向させてプラズマ部を形
成し、（ｂ）上記プラズマ部の上記誘電体シートの上に
液晶室の高さを確保するためのギャップスペースを散布
し、上記誘電体シートの周縁部に液晶シール材を塗布
し、上記ギャップスペースおよび上記液晶シール材を挟
んで上記誘電体シートと対向させて隣接する位置に形成
された少なくとも２つの開口を有するカラーフィルタを
重ね合わせて、上記対向する誘電体シートとカラーフィ
ルタとこれらの周縁に位置する上記液晶シール材とで規
定される上記液晶室を形成し、（ｃ）上記カラーフィル
タに形成された開口から上記液晶室の内部を排気して上
記カラーフィルタと上記誘電体シートとを上記ギャップ
スペースを介在させて密着させて、上記カラーフィルタ
と上記プラズマ部とを吸着状態にし、（ｄ）上記液晶シ
ール材を硬化させて、上記カラーフィルタを上記誘電体
シートに貼着させて、上記プラズマ部に上記液晶室を固
定するプラズマアドレス表示装置の製造方法が提供され
る。上記のごとく、液晶室がプラズマ部に固定された
後、上記開口を用いて液晶を注入しながら真空引きして
液晶が液晶室に注入される。According to the present invention, (a) a plurality of plasma electrodes are formed on a plasma glass substrate, barrier ribs are laminated on these plasma electrodes, and a plurality of laminates composed of the plasma electrodes and barrier ribs are interposed. The plasma glass substrate and the dielectric sheet are opposed to each other to form a plasma portion, and (b) a gap space for ensuring the height of the liquid crystal chamber is scattered on the dielectric sheet of the plasma portion, A liquid crystal sealing material is applied to the peripheral edge of the dielectric sheet, and a color filter having at least two openings formed at positions adjacent to and facing the dielectric sheet with the gap space and the liquid crystal sealing material sandwiched is overlapped. In addition, the liquid crystal chamber defined by the facing dielectric sheet, the color filter, and the liquid crystal sealing material located on the periphery thereof. (C) The inside of the liquid crystal chamber is evacuated from the opening formed in the color filter, and the color filter and the dielectric sheet are brought into close contact with each other with the gap space interposed therebetween. Manufacture of a plasma addressed display device in which the plasma part is brought into an adsorption state, (d) the liquid crystal sealing material is cured, the color filter is adhered to the dielectric sheet, and the liquid crystal chamber is fixed to the plasma part. A method is provided. As described above, after the liquid crystal chamber is fixed to the plasma part, the liquid crystal is injected into the liquid crystal chamber by drawing a vacuum while injecting the liquid crystal through the opening.
【００２３】好ましくは、上記開口に排気管の先端に設
けられた真空パッドを当接させ、上記排気管を介して排
気ポンプで上記液晶室の内部を排気する。Preferably, a vacuum pad provided at the tip of an exhaust pipe is brought into contact with the opening, and the inside of the liquid crystal chamber is exhausted by an exhaust pump through the exhaust pipe.
【００２４】また好ましくは、上記開口の近傍にスペー
サを配置し、上記プラズマ部の上に上記液晶室が形成さ
れたプラズマアドレス表示装置を袋状フィルムに挿入
し、上記袋状フィルム内を排気ポンプで排気し、上記ス
ペーサ部分を介して上記開口を通して上記液晶室の内部
を排気する。Further, preferably, a spacer is arranged near the opening, and a plasma address display device having the liquid crystal chamber formed on the plasma portion is inserted into a bag-shaped film, and an exhaust pump is provided inside the bag-shaped film. Then, the inside of the liquid crystal chamber is exhausted through the opening through the spacer portion.
【００２５】好ましくは、上記液晶シール材は紫外線硬
化材であり、上記液晶シール材の硬化は紫外線を照射し
て行う。Preferably, the liquid crystal sealing material is an ultraviolet curable material, and the liquid crystal sealing material is cured by irradiating ultraviolet rays.
【００２６】[0026]
【作用】まずプラズマ部を形成する。次いで液晶室を形
成する。その後、カラーフィルタに形成された開口から
上記液晶室の内部を排気して上記カラーフィルタと上記
誘電体シートとを上記ギャップスペースを介在させて密
着させて、上記カラーフィルタと上記プラズマ部とを吸
着状態にする。上記液晶シール材を硬化させて、上記カ
ラーフィルタを上記誘電体シートに貼着させて、上記プ
ラズマ部に上記液晶室を固定する。このようにカラーフ
ィルタに設けられた開口を用いて液晶室を排気し、さら
に、液晶シール材を硬化させて、ギャップスペースの間
隙を隔ててカラーフィルタと誘電体シートとが対向する
液晶室を形成し、かつ、液晶室とプラズマ部とを区分し
ている誘電体シートを介して上記プラズマ部に上記液晶
室を接合する。Function: First, the plasma portion is formed. Next, the liquid crystal chamber is formed. Then, the inside of the liquid crystal chamber is evacuated from the opening formed in the color filter to bring the color filter and the dielectric sheet into close contact with each other with the gap space interposed, and to adsorb the color filter and the plasma part. Put in a state. The liquid crystal sealing material is cured, the color filter is attached to the dielectric sheet, and the liquid crystal chamber is fixed to the plasma portion. The liquid crystal chamber is evacuated using the openings provided in the color filter as described above, and the liquid crystal sealing material is further cured to form a liquid crystal chamber in which the color filter and the dielectric sheet face each other with a gap of the gap space therebetween. Then, the liquid crystal chamber is joined to the plasma unit via a dielectric sheet that separates the liquid crystal chamber and the plasma unit.
【００２７】[0027]
【実施例】第１実施例
本発明のプラズマアドレス表示装置の製造方法の第１実
施例について説明する。なお、製造するプラズマアドレ
ス表示装置の構成は、図６および図７を参照して前述し
たプラズマアドレス表示装置１の構成とほぼ同じであ
り、その各部と同一の構成部には同一符号を用いて説明
する。また、本発明のプラズマアドレス表示装置の製造
方法は、プラズマガラス２１と誘電体シート３がバリア
リブ２３を介して接合されプラズマ部が形成された後、
さらにその誘電体シート３上にカラーフィルタ４１を所
定間隔で接合して液晶室を形成し、液晶部４を形成する
工程におけるものである。その他の各工程の製造方法、
および、プラズマアドレス表示装置の大まかな製造手順
などは、図８および図９を参照して前述した方法および
手順と同一である。EXAMPLES First Example A first example of the method for manufacturing a plasma addressed display device of the present invention will be described. The structure of the plasma addressed display device to be manufactured is almost the same as the structure of the plasma addressed display device 1 described above with reference to FIGS. 6 and 7, and the same reference numerals are used for the same constituent parts. explain. Further, in the method for manufacturing the plasma addressed display device of the present invention, after the plasma glass 21 and the dielectric sheet 3 are bonded to each other through the barrier ribs 23 to form the plasma part,
Further, in the step of forming the liquid crystal part 4 by joining the color filters 41 on the dielectric sheet 3 at a predetermined interval to form a liquid crystal chamber. Manufacturing method of each other process,
The general procedure of manufacturing the plasma addressed display device is the same as the method and procedure described above with reference to FIGS. 8 and 9.
【００２８】以下、液晶部４を形成する工程について、
図１および図２を参照して説明する。図１は、プラズマ
アドレス表示装置の上面図であり、液晶シール材の塗布
状態を説明するための図である。図２は、カラーフィル
タを液晶シール材を介してプラズマ部の上面に接合する
方法を説明する図である。なお、図２中のプラズマアド
レス表示装置１は、図１のＡ−Ａにおける断面図で示さ
れている。The steps of forming the liquid crystal section 4 will be described below.
This will be described with reference to FIGS. 1 and 2. FIG. 1 is a top view of a plasma addressed display device, and is a diagram for explaining a coating state of a liquid crystal sealing material. FIG. 2 is a diagram for explaining a method of joining the color filter to the upper surface of the plasma portion via the liquid crystal sealing material. The plasma addressed display device 1 in FIG. 2 is shown in a sectional view taken along the line AA in FIG.
【００２９】まず、プラズマガラス２１上に電極２２お
よびバリアリブ２３が形成され、さらに誘電体シート３
が接合されて形成されたプラズマ部２の上面に、液晶層
の間隙を確保するための図示せぬギャップスペーサを散
布し、さらに、カラーフィルタ４１を接合するための液
晶シール材４４を誘電体シート３の周縁部にディスペン
サにより塗布する。この際に、液晶シール材４４は、図
１に示すようにプラズマ部２の上面の周縁部の全範囲に
渡って、外周より所定距離内側に、連続して塗布され
る。この液晶シール材４４を塗布する位置は、プラズマ
アドレス表示装置１における有効画面外であって、誘電
体シート３をプラズマガラス２１に接合したフリットシ
ール２５とほぼ重なる位置である。First, the electrode 22 and the barrier rib 23 are formed on the plasma glass 21, and the dielectric sheet 3 is further formed.
A gap spacer (not shown) for securing a gap between the liquid crystal layers is dispersed on the upper surface of the plasma part 2 formed by bonding the liquid crystal sealing material 44 for bonding the color filter 41 to the dielectric sheet. 3 is applied to the peripheral portion by a dispenser. At this time, as shown in FIG. 1, the liquid crystal sealing material 44 is continuously applied to the inside of the peripheral portion of the upper surface of the plasma portion 2 within a predetermined distance from the outer periphery. The position where the liquid crystal sealing material 44 is applied is outside the effective screen of the plasma address display device 1 and is substantially overlapped with the frit seal 25 in which the dielectric sheet 3 is bonded to the plasma glass 21.
【００３０】次に、液晶シール材４４が塗布されたプラ
ズマ部２の上に、カラーフィルタ４１を重ね合わせる。
この状態で、プラズマ部２とカラーフィルタ４１の間に
は、前記ギャップスペーサで支持され、液晶シール材４
４により周囲を囲まれた液晶室４８が形成される。その
状態を上面から見た図が図１である。なお、カラーフィ
ルタ４１には、その液晶室４８に液晶を注入するための
２つの液晶注入口４６ａ，４６ｂが設けられている。Next, the color filter 41 is superposed on the plasma portion 2 coated with the liquid crystal sealing material 44.
In this state, the liquid crystal sealing material 4 is supported between the plasma part 2 and the color filter 41 by the gap spacer.
A liquid crystal chamber 48 surrounded by 4 is formed. FIG. 1 is a view of the state viewed from above. The color filter 41 is provided with two liquid crystal inlets 46a and 46b for injecting liquid crystal into the liquid crystal chamber 48.
【００３１】次に、カラーフィルタ４１に設けられてい
る２つの液晶注入口４６ａ，４６ｂより液晶室４８内を
真空に引く。すなわち、図２に示すように、液晶注入口
４６ａおよび液晶注入口４６ｂに、各々排気ポンプ１２
０に接続された排気管１３０の端部に設けられた真空パ
ッド１１０ａ，１１０ｂを当接させ、この状態で排気ポ
ンプ１２０を稼働させ、液晶室４８内の排気を行う。そ
の結果、液晶室４８内が低圧となり、カラーフィルタ４
１およびプラズマ部２はともに液晶室４８の方向に向か
って大気圧により圧力を受ける。すなわちカラーフィル
タ４１とプラズマ部２が密着される。なおこの状態にお
いても、液晶室４８の高さは、予め散布しておいたギャ
ップスペーサにより、所定の高さに維持される。Next, the inside of the liquid crystal chamber 48 is evacuated from the two liquid crystal injection ports 46a and 46b provided in the color filter 41. That is, as shown in FIG. 2, the exhaust pump 12 is connected to the liquid crystal inlet 46a and the liquid crystal inlet 46b, respectively.
The vacuum pads 110a and 110b provided at the end of the exhaust pipe 130 connected to 0 are brought into contact with each other, and the exhaust pump 120 is operated in this state to exhaust the liquid crystal chamber 48. As a result, the pressure in the liquid crystal chamber 48 becomes low, and the color filter 4
Both 1 and the plasma part 2 are pressed by the atmospheric pressure toward the liquid crystal chamber 48. That is, the color filter 41 and the plasma unit 2 are brought into close contact with each other. Even in this state, the height of the liquid crystal chamber 48 is maintained at a predetermined height by the gap spacers that have been sprayed in advance.
【００３２】この、カラーフィルタ４１とプラズマ部２
が吸着された状態で、液晶シール材４４に紫外線を照射
し液晶シール材４４を硬化させ、カラーフィルタ４１を
プラズマ部２に貼着する。The color filter 41 and the plasma section 2
While the liquid crystal sealing material 44 is adsorbed, the liquid crystal sealing material 44 is irradiated with ultraviolet rays to cure the liquid crystal sealing material 44, and the color filter 41 is attached to the plasma part 2.
【００３３】このように、第１実施例のプラズマアドレ
ス表示装置の製造方法によれば、カラーフィルタ４１に
設けられている液晶注入口４６を介して、液晶室４８を
真空にひき、カラーフィルタ４１とプラズマ部２を吸着
させ貼着しているので、それらの基板間に所定の高さに
液晶室４８を形成した状態で適切に接合される。したが
って、液晶シール材４４は最初から、プラズマ部２のカ
ラーフィルタ４１と対向する面の全周縁部に塗布すれば
よく、排気のための開口を設けるような構造にする必要
がない。したがって、カラーフィルタ４１を接合した後
に、その排気口を塞ぐ処理も不要となる。As described above, according to the method of manufacturing the plasma addressed display device of the first embodiment, the liquid crystal chamber 48 is evacuated to the vacuum through the liquid crystal injection port 46 provided in the color filter 41. Since the plasma portion 2 is adsorbed and adhered, the plasma portion 2 is appropriately joined with the liquid crystal chamber 48 formed at a predetermined height between these substrates. Therefore, the liquid crystal sealing material 44 may be applied from the beginning to the entire peripheral portion of the surface of the plasma portion 2 that faces the color filter 41, and it is not necessary to provide a structure for providing an opening for exhaust. Therefore, it is not necessary to perform a process of closing the exhaust port after joining the color filter 41.
【００３４】また、このようなプラズマアドレス表示装
置の製造工程においては、ゴミの存在が大きな問題とな
っていた。たとえば、液晶室４８の高さ（７μｍ）より
も大きいゴミが１つでも存在すると、カラーフィルタ４
１を接合した際に誘電体シート３が割れてしまうという
問題が生じていた。そして、前述したような袋状のフィ
ルムを用いる方法においては、静電気によりそのフィル
ムにゴミが付着しやすいという問題があった。しかし、
この第１実施例のプラズマアドレス表示装置の製造方法
においては、前述した方法のようなフィルムを使用して
いないので、そのゴミにより誘電体シート３が割れてし
まうことを防ぐことができる。Further, in the manufacturing process of such a plasma addressed display device, the presence of dust has been a serious problem. For example, if any dust larger than the height (7 μm) of the liquid crystal chamber 48 exists, the color filter 4
There was a problem that the dielectric sheet 3 was cracked when the Nos. 1 and 1 were joined. Further, in the method using the bag-shaped film as described above, there is a problem that dust easily attaches to the film due to static electricity. But,
In the method of manufacturing the plasma addressed display device of the first embodiment, since no film is used unlike the method described above, it is possible to prevent the dielectric sheet 3 from being broken by dust.
【００３５】第２実施例
本発明のプラズマアドレス表示装置の製造方法の第２実
施例について説明する。第２実施例のプラズマアドレス
表示装置の製造方法は、カラーフィルタ４１の液晶注入
口４６を介して液晶室４８を真空に引いて、カラーフィ
ルタ４１とプラズマ部２を吸着させる第１実施例の方法
と、袋状のフィルムを用いてその中を真空に引いてプラ
ズマ部２とカラーフィルタ４１を接合する方法とを併用
した方法である。 Second Embodiment A second embodiment of the method of manufacturing the plasma addressed display device of the present invention will be described. In the method of manufacturing the plasma addressed display device of the second embodiment, the liquid crystal chamber 48 is evacuated through the liquid crystal injection port 46 of the color filter 41 to adsorb the color filter 41 and the plasma part 2 to each other. And a method of joining the plasma part 2 and the color filter 41 by using a bag-shaped film to draw a vacuum inside the film.
【００３６】以下、液晶部４を形成する工程について、
図３〜図５を参照して説明する。図３は、プラズマアド
レス表示装置の上面図の一部を示す図であり、（Ａ）は
スペーサ１４０を液晶注入口４６の近傍に行方向の向き
に置いた例を示す図、（Ｂ）はスペーサ１４０を液晶注
入口４６の近傍に列方向の向きに置いた例を示す図であ
る。図４は、カラーフィルタ４１を液晶シール材４４を
介してプラズマ部２の上面に接合する方法を示す図であ
る。図５は、補強シール６を用いた際のプラズマアドレ
ス表示装置１の構造の一部を示す図である。The steps of forming the liquid crystal section 4 will be described below.
This will be described with reference to FIGS. FIG. 3 is a diagram showing a part of a top view of the plasma addressed display device, FIG. 3 (A) showing an example in which the spacer 140 is placed in the row direction in the vicinity of the liquid crystal injection port 46, and FIG. FIG. 6 is a diagram showing an example in which a spacer 140 is placed near a liquid crystal injection port 46 in a column direction. FIG. 4 is a diagram showing a method of bonding the color filter 41 to the upper surface of the plasma unit 2 via the liquid crystal sealing material 44. FIG. 5 is a diagram showing a part of the structure of the plasma addressed display device 1 when the reinforcing seal 6 is used.
【００３７】まず、第１実施例と同様に、プラズマ部２
の上面に、ギャップスペーサを散布し、さらに、液晶シ
ール材４４を、プラズマ部２の上面の周縁部の全範囲に
渡って塗布する。この液晶シール材４４が塗布されたプ
ラズマ部２の上に、カラーフィルタ４１を重ね合わせ
る。その結果、プラズマ部２とカラーフィルタ４１の間
には液晶室４８が形成される。First, as in the first embodiment, the plasma unit 2
The gap spacers are scattered on the upper surface of the liquid crystal sealing material 44, and the liquid crystal sealing material 44 is applied over the entire peripheral area of the upper surface of the plasma portion 2. The color filter 41 is superposed on the plasma part 2 coated with the liquid crystal sealing material 44. As a result, a liquid crystal chamber 48 is formed between the plasma unit 2 and the color filter 41.
【００３８】次に、カラーフィルタ４１の液晶注入口４
６の近傍に、所定の高さを有するスペーサ１４０をお
く。このスペーサ１４０は、後にプラズマアドレス表示
装置１を袋状のフィルム１５０に入れた際に、そのフィ
ルム１５０により液晶注入口４６が塞がれないように置
くものであり、図３（Ａ）または（Ｂ）に示すように、
液晶注入口４６の近傍に任意の方向で置いてよい。Next, the liquid crystal injection port 4 of the color filter 41
A spacer 140 having a predetermined height is placed in the vicinity of 6. The spacer 140 is placed so that the liquid crystal injection port 46 is not blocked by the film 150 when the plasma address display device 1 is put in the bag-shaped film 150 later, as shown in FIG. As shown in B),
It may be placed near the liquid crystal inlet 46 in any direction.
【００３９】次に、図４に示すように、このスペーサ１
４０の置かれたプラズマアドレス表示装置１を、袋状の
フィルム１５０内に入れ、その袋の開口部を排気ポンプ
１２０に接続し、排気ポンプ１２０を稼働させ、フィル
ム１５０を真空に引く。その結果、フィルム１５０内が
真空になり、プラズマアドレス表示装置１全体がフィル
ム１５０により外から内方向に押される。すなわち、カ
ラーフィルタ４１とプラズマ部２が密着される。また、
カラーフィルタ４１の液晶注入口４６部はスペーサ１４
０が設けられているので、フィルム１５０がプラズマア
ドレス表示装置１に密着しても液晶注入口４６を閉塞し
ない。したがって、液晶室４８内もこの液晶注入口４６
を介して真空に引かれ、その結果、液晶室４８内が低圧
となり、これによってもカラーフィルタ４１とプラズマ
部２は押しつけられる。Next, as shown in FIG.
The plasma address display device 1 on which 40 is placed is put in a bag-shaped film 150, the opening of the bag is connected to the exhaust pump 120, the exhaust pump 120 is operated, and the film 150 is evacuated. As a result, the inside of the film 150 is evacuated, and the entire plasma addressed display device 1 is pushed inward from the outside by the film 150. That is, the color filter 41 and the plasma unit 2 are brought into close contact with each other. Also,
The liquid crystal injection port 46 of the color filter 41 has a spacer 14
Since 0 is provided, the liquid crystal injection port 46 is not closed even when the film 150 is in close contact with the plasma addressed display device 1. Therefore, the liquid crystal chamber 48 also has the liquid crystal inlet 46.
The liquid crystal chamber 48 is low in pressure as a result of being evacuated through the, and the color filter 41 and the plasma portion 2 are also pressed by this.
【００４０】この、カラーフィルタ４１とプラズマ部２
が吸着された状態で、液晶シール材４４に紫外線を照射
し液晶シール材４４を硬化させ、カラーフィルタ４１を
プラズマ部２に貼着する。なお、スペーサ１４０は、前
記貼着終了後取り除く。The color filter 41 and the plasma section 2
While the liquid crystal sealing material 44 is adsorbed, the liquid crystal sealing material 44 is irradiated with ultraviolet rays to cure the liquid crystal sealing material 44, and the color filter 41 is attached to the plasma part 2. In addition, the spacer 140 is removed after the pasting.
【００４１】このように、第２実施例のプラズマアドレ
ス表示装置の製造方法においては、カラーフィルタ４１
に設けられている液晶注入口４６を介して、液晶室４８
を真空にひき、カラーフィルタ４１とプラズマ部２を吸
着させるようにすると同時に、フィルム１５０によって
もカラーフィルタ４１とプラズマ部２が押しつけられ、
それらの間に所定の高さに液晶室４８を形成した状態で
適切に接合される。したがって、液晶シール材４４は最
初から、プラズマ部２のカラーフィルタ４１と対向する
面の全周縁部に塗布すればよく、排気のための開口を設
けるような構造にする必要がない。したがって、カラー
フィルタ４１を接合した後に、その排気口を塞ぐ処理も
不要となる。As described above, in the method of manufacturing the plasma addressed display device of the second embodiment, the color filter 41 is used.
Through a liquid crystal inlet 46 provided in the liquid crystal chamber 48.
To vacuum so that the color filter 41 and the plasma part 2 are attracted, and at the same time, the color filter 41 and the plasma part 2 are pressed by the film 150,
The liquid crystal chamber 48 is formed between them at a predetermined height and is appropriately bonded. Therefore, the liquid crystal sealing material 44 may be applied from the beginning to the entire peripheral portion of the surface of the plasma portion 2 that faces the color filter 41, and it is not necessary to provide a structure for providing an opening for exhaust. Therefore, it is not necessary to perform a process of closing the exhaust port after joining the color filter 41.
【００４２】また、プラズマアドレス表示装置１におい
ては、しばしば、プラズマガラス２１、誘電体シート
３、および、カラーフィルタ４１の接合をより強力にす
るために、図５に示すように、フリットシール２５およ
び液晶シール材４４の外側に、さらに前記３つの構成部
を接着する補強シール６を用いる場合がある。このよう
な場合には、液晶室４８内部を低圧にしてカラーフィル
タ４１とプラズマ部２を押しつけたのみでは、所望の形
状で固定できない場合がある。すなわち、プラズマアド
レス表示装置１全体を真空雰囲気中において、全体を押
した状態で固定するほうが望ましい。第２実施例のプラ
ズマアドレス表示装置１の製造方法は、そのような場合
に好適である。In the plasma addressed display device 1, the frit seal 25 and the frit seal 25 are often used in order to strengthen the bonding of the plasma glass 21, the dielectric sheet 3 and the color filter 41, as shown in FIG. In some cases, a reinforcing seal 6 for further adhering the above-mentioned three constituent parts may be used on the outside of the liquid crystal sealing material 44. In such a case, it may not be possible to fix the liquid crystal chamber 48 in a desired shape by simply lowering the pressure inside the liquid crystal chamber 48 and pressing the color filter 41 and the plasma unit 2 together. That is, it is desirable to fix the entire plasma addressed display device 1 in a vacuum atmosphere while pressing the whole. The method of manufacturing the plasma addressed display device 1 of the second embodiment is suitable for such a case.
【００４３】なお、本発明は第１実施例および第２実施
例に限られるものではなく、種々の改変が可能である。
たとえば、第１実施例においては、真空パッド１１０を
液晶注入口４６に当接させて、排気ポンプ１２０により
液晶室４８内を真空に引く方法を採ったがこれに限られ
るものではない。液晶注入口４６から液晶室４８を真空
に引く方法、あるいは、排気方法などは任意の方法でよ
い。また、第２実施例で用いたスペーサ１４０の形状、
材質なども、任意の形状、材質のものでよい。さらに、
プラズマアドレス表示装置の構成も、本実施例に限られ
るものではなく、たとえば、プラズマ基板の上に所定の
基板を積層して、液晶室を形成するような構成であれ
ば、その他はどのようなプラズマアドレス表示装置であ
っても、本発明が適用可能である。その他、液晶シール
材の材質、硬化方法なども、任意の材質、方法でよい。The present invention is not limited to the first and second embodiments, but various modifications can be made.
For example, in the first embodiment, a method has been adopted in which the vacuum pad 110 is brought into contact with the liquid crystal injection port 46 and the inside of the liquid crystal chamber 48 is evacuated by the exhaust pump 120, but the method is not limited to this. An arbitrary method may be used as a method of drawing a vacuum in the liquid crystal chamber 48 from the liquid crystal inlet 46 or an exhaust method. Further, the shape of the spacer 140 used in the second embodiment,
The material and the like may be of any shape and material. further,
The configuration of the plasma address display device is not limited to this embodiment, and any other configuration may be adopted as long as it is a configuration in which a predetermined substrate is laminated on a plasma substrate to form a liquid crystal chamber. The present invention can be applied to a plasma address display device. In addition, the material and the curing method of the liquid crystal sealing material may be arbitrary materials and methods.
【００４４】[0044]
【発明の効果】本発明のプラズマアドレス表示装置の製
造方法によれば、液晶基板に設けられている液晶室への
液晶注入用の開口を用いて液晶室内の排気を行い、液晶
基板部をプラズマ基板部に接合することができるように
したので、液晶基板をプラズマ基板に接合する際に液晶
室の排気を行うために形成された排気口を塞ぐ処理が不
必要になり、時間および手間を削減して、より簡単に、
カラーフィルタなどを有する液晶基板をプラズマ基板に
接合することができる。According to the method of manufacturing the plasma addressed display device of the present invention, the liquid crystal chamber is evacuated by using the opening for injecting the liquid crystal into the liquid crystal chamber provided in the liquid crystal substrate, and the liquid crystal substrate is plasma-treated. Since it can be bonded to the substrate part, when bonding the liquid crystal substrate to the plasma substrate, the process of closing the exhaust port formed to exhaust the liquid crystal chamber is unnecessary, saving time and labor. And easier
A liquid crystal substrate having a color filter or the like can be bonded to the plasma substrate.
【図１】本発明の第１実施例のプラズマアドレス表示装
置の製造方法に関し、液晶シール材の塗布状態を説明す
るためのプラズマアドレス表示装置の上面図である。FIG. 1 is a top view of a plasma addressed display device for explaining a coating state of a liquid crystal sealing material in a method of manufacturing a plasma addressed display device according to a first embodiment of the present invention.
【図２】本発明の第１実施例のプラズマアドレス表示装
置の製造方法の、液晶部を液晶シール材を介してプラズ
マ部の上面に接合する方法を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing a method of bonding the liquid crystal portion to the upper surface of the plasma portion via the liquid crystal sealing material in the method of manufacturing the plasma addressed display device according to the first embodiment of the present invention.
【図３】本発明の第２実施例のプラズマアドレス表示装
置の製造方法に関し、液晶注入口の近傍にスペーサを置
いた状態を示すプラズマアドレス表示装置の上面図の一
部を示す図であり、（Ａ）はスペーサを液晶注入口の近
傍に行方向の向きに置いた例を示す図、（Ｂ）はスペー
サを液晶注入口の近傍に列方向の向きに置いた例を示す
図である。FIG. 3 is a diagram showing a part of a top view of the plasma addressed display device showing a state where a spacer is placed in the vicinity of a liquid crystal injection port in a method for manufacturing a plasma addressed display device according to a second embodiment of the present invention; (A) is a diagram showing an example in which spacers are arranged in the row direction near the liquid crystal injection port, and (B) is a diagram showing an example in which spacers are arranged in the column direction near the liquid crystal injection port.
【図４】本発明の第２実施例のプラズマアドレス表示装
置の製造方法を説明する図であって、液晶部を、液晶シ
ール材を介してプラズマ部の上面に接合する方法を示す
図である。FIG. 4 is a diagram illustrating a method of manufacturing the plasma addressed display device according to the second embodiment of the present invention, which is a diagram showing a method of bonding the liquid crystal portion to the upper surface of the plasma portion via the liquid crystal sealing material. .
【図５】補強シールを用いた際のプラズマアドレス表示
装置の構造の一部を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing a part of the structure of the plasma addressed display device when a reinforcing seal is used.
【図６】プラズマアドレス表示装置の構造を示す図であ
る。FIG. 6 is a diagram showing a structure of a plasma addressed display device.
【図７】図６に示したプラズマアドレス表示装置の各部
の寸法を例示する図である。FIG. 7 is a diagram illustrating the dimensions of each part of the plasma addressed display device shown in FIG.
【図８】図６に示したプラズマアドレス表示装置の製造
手順を示す流れ図である。8 is a flowchart showing a manufacturing procedure of the plasma addressed display device shown in FIG.
【図９】図８に示したプラズマアドレス表示装置の各製
造工程を示す図であり、（Ａ）は電極の形成工程を示す
図、（Ｂ）はバリアリブの形成工程を示す図、（Ｃ）は
薄板ガラスの接合工程を示す図、（Ｄ）は液晶シール材
の塗布工程を示す図、（Ｅ）はカラーフィルタの接合工
程を示す図、（Ｆ）は液晶の充填工程を示す図である。9A and 9B are diagrams showing each manufacturing process of the plasma addressed display device shown in FIG. 8, wherein FIG. 9A is a diagram showing an electrode forming process, FIG. 9B is a diagram showing a barrier rib forming process, and FIG. FIG. 4A is a diagram showing a thin glass bonding process, FIG. 4D is a liquid crystal sealing material coating process, FIG. 6E is a color filter bonding process, and FIG. 4F is a liquid crystal filling process. .
【図１０】図６に示したプラズマアドレス表示装置の誘
電体シート上への液晶シール材の塗布状態を示す図であ
る。10 is a diagram showing a liquid crystal sealing material applied onto a dielectric sheet of the plasma addressed display device shown in FIG.
【図１１】図６に示したプラズマアドレス表示装置の誘
電体シート上へカラーフィルタを接合する方法を示す図
である。11 is a diagram showing a method of bonding a color filter onto a dielectric sheet of the plasma addressed display device shown in FIG.
１…プラズマアドレス表示装置 ２…プラズマ部 ２１…プラズマガラス ２２…電極 ２３…バリアリブ ２４…プラズマ室 ２５…フリットシール ３…誘電体シート ３１…塗布面 ４…液晶部 ４１…カラーフィルタ ４２…データ電極 ４３…液晶層 ４４…液晶シール材 ４５…ギャップスペーサ ４６…液晶注入口 ４７…排気口 ４８…液晶室 ６…補強シール ９…液晶 １１０…真空パッド １２０…排気ポンプ １３０…排気管 １４０…スペーサ １５０…フィルム 1 ... Plasma address display device 2 ... Plasma part 21 ... Plasma glass 22 ... Electrode 23 ... Barrier rib 24 ... Plasma chamber 25 ... Frit seal 3 ... Dielectric sheet 31 ... Application surface 4 ... Liquid crystal part 41 ... Color filter 42 ... Data electrode 43 ... Liquid crystal layer 44 ... Liquid crystal sealing material 45 ... Gap spacer 46 ... Liquid crystal inlet 47 ... Exhaust port 48 ... Liquid crystal chamber 6 ... Reinforcement seal 9 ... Liquid crystal 110 ... Vacuum pad 120 ... Exhaust pump 130 ... Exhaust pipe 140 ... Spacer 150 ... film
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G02F 1/1333 G02F 1/13 101 G02F 1/133 505 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (58) Fields surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) G02F 1/1333 G02F 1/13 101 G02F 1/133 505
Claims (4)
を形成し、これらプラズマ電極の上にバリアリブを積層
し、上記プラズマ電極とバリアリブとからなる積層体を
複数介在させて上記プラズマガラス基板と誘電体シート
とを対向させてプラズマ部を形成し、 上記プラズマ部の上記誘電体シートの上に液晶室の高さ
を確保するためのギャップスペースを散布し、上記誘電
体シートの周縁部に液晶シール材を塗布し、上記ギャッ
プスペースおよび上記液晶シール材を挟んで上記誘電体
シートと対向させて隣接する位置に形成された少なくと
も２つの開口を有するカラーフィルタを重ね合わせて、
上記対向する誘電体シートとカラーフィルタとこれらの
周縁に位置する上記液晶シール材とで規定される上記液
晶室を形成し、 上記カラーフィルタに形成された開口から上記液晶室の
内部を排気して上記カラーフィルタと上記誘電体シート
とを上記ギャップスペースを介在させて密着させて、上
記カラーフィルタと上記プラズマ部とを吸着状態にし、 上記液晶シール材を硬化させて、上記カラーフィルタを
上記誘電体シートに貼着させて、上記プラズマ部に上記
液晶室を固定するプラズマアドレス表示装置の製造方
法。1. A plurality of plasma electrodes are formed on a plasma glass substrate, barrier ribs are laminated on the plasma electrodes, and a plurality of laminates composed of the plasma electrodes and the barrier ribs are interposed between the plasma glass substrate and the dielectric. A plasma portion is formed by facing the sheet, and a gap space for ensuring the height of the liquid crystal chamber is scattered on the dielectric sheet of the plasma portion, and a liquid crystal sealing material is provided on the peripheral edge of the dielectric sheet. Is applied, and a color filter having at least two openings formed at positions adjacent to and facing the dielectric sheet with the gap space and the liquid crystal sealing material interposed therebetween is overlapped,
The liquid crystal chamber defined by the facing dielectric sheet, the color filter, and the liquid crystal sealing material located on the periphery of these is formed, and the inside of the liquid crystal chamber is exhausted from the opening formed in the color filter. The color filter and the dielectric sheet are brought into close contact with each other with the gap space interposed, the color filter and the plasma part are brought into an adsorbed state, the liquid crystal sealing material is cured, and the color filter is attached to the dielectric. A method of manufacturing a plasma addressed display device, which is adhered to a sheet to fix the liquid crystal chamber to the plasma part.
パッドを当接させ、上記排気管を介して排気ポンプで上
記液晶室の内部を排気する、 請求項１記載のプラズマアドレス表示装置の製造方法。2. A plasma address display device according to claim 1, wherein a vacuum pad provided at a tip of an exhaust pipe is brought into contact with the opening, and the inside of the liquid crystal chamber is exhausted by an exhaust pump through the exhaust pipe. Manufacturing method.
アドレス表示装置を袋状フィルムに挿入し、上記袋状フ
ィルム内を排気ポンプで排気し、上記スペーサ部分を介
して上記開口を通して上記液晶室の内部を排気する、 請求項１記載のプラズマアドレス表示装置の製造方法。3. A spacer is disposed in the vicinity of the opening, a plasma address display device in which the liquid crystal chamber is formed on the plasma portion is inserted into a bag-shaped film, and the inside of the bag-shaped film is exhausted by an exhaust pump. The method of manufacturing a plasma addressed display device according to claim 1, wherein the inside of the liquid crystal chamber is exhausted through the opening through the spacer portion.
り、上記液晶シール材の硬化は紫外線を照射して行う、 請求項１記載のプラズマアドレス表示装置の製造方法。4. The method of manufacturing a plasma addressed display device according to claim 1, wherein the liquid crystal sealing material 44 is an ultraviolet curable material, and the liquid crystal sealing material is cured by irradiating ultraviolet rays.
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|---|---|---|---|
| JP11343395A JP3421888B2 (en) | 1995-05-11 | 1995-05-11 | Manufacturing method of plasma address display device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| JP11343395A JP3421888B2 (en) | 1995-05-11 | 1995-05-11 | Manufacturing method of plasma address display device |
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| Publication Number | Publication Date |
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| JPH08304798A JPH08304798A (en) | 1996-11-22 |
| JP3421888B2 true JP3421888B2 (en) | 2003-06-30 |
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