JP3417507B2 - Arbitrary waveform generator for DUT test - Google Patents
Arbitrary waveform generator for DUT testInfo
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Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は、デバイス試験装置の
任意波形発生器からの出力信号を複数のフィルタ群の何
れかでフィルタした後DUT(被試験デバイス)に供給
して試験する装置において、このフィルタ群の位相特性
の測定に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus for testing an output signal from an arbitrary waveform generator of a device testing apparatus by filtering it with any one of a plurality of filter groups and then supplying it to a DUT (device under test) for testing. It relates to the measurement of the phase characteristic of this filter group.
【0002】[0002]
【従来の技術】アナログデジタル混在のDUTを測定す
る試験装置としてMixed Signal IC Testerがある。これ
にはDUTに任意の試験波形を供給する任意波形発生器
70を有していて、この中には階段状出力波形をフィル
タ(ローパスフィルタ)でスムージングする回路があ
る。このフィルタ(ローパスフィルタ)は複数あって、
各種試験条件に応じて切り替えて使用している。2. Description of the Related Art A mixed signal IC tester is known as a test device for measuring a DUT in which analog and digital are mixed. It has an arbitrary waveform generator 70 for supplying an arbitrary test waveform to the DUT, and there is a circuit for smoothing the stepped output waveform with a filter (low-pass filter) therein. There are multiple filters (low-pass filters),
It is used by switching according to various test conditions.
【0003】前記フィルタ群は、アナログ回路で構成さ
れ、各種DUTに対応する為多様なフィルタ特性のもの
を用意され個々に異なるフィルタ特性を有している。ま
たこれらフィルタ回路は環境温度により変動しやすい。
試験装置では、DUTの様々な電気試験を行う上で、D
UTに印加する波形の位相や振幅は、既知の値とする必
要があり、この為に、キャリブレーションを実施して、
フィルタ回路の位相特性を求めている。The filter group is made up of analog circuits, has various filter characteristics in order to correspond to various DUTs, and has different filter characteristics. Further, these filter circuits are likely to change depending on the ambient temperature.
In the test equipment, when performing various electrical tests of DUT,
The phase and amplitude of the waveform applied to the UT must be known values, and for this reason, calibration is performed to
Obtaining the phase characteristics of the filter circuit.
【0004】図3は任意波形発生器70の出力波形を所
望のフィルタ条件でフィルタした後、この波形信号94
をDUT100に与えて各種電気的特性を測定する場合
のデバイス測定の一構成例であって、任意波形発生器7
0と、スペクトラムアナライザ150と、制御部72と
で成る。任意波形発生器70は、パターンメモリ74と
DA変換器76とフィルタ部80とで成る。FIG. 3 shows a waveform signal 94 after the output waveform of the arbitrary waveform generator 70 is filtered under a desired filter condition.
2 is a configuration example of device measurement in the case of applying various values to the DUT 100 to measure various electrical characteristics.
0, the spectrum analyzer 150, and the controller 72. The arbitrary waveform generator 70 includes a pattern memory 74, a DA converter 76, and a filter unit 80.
【0005】DUT100は、例えば通信用デバイスで
あって、フィルタ部80でフィルタリングされた信号を
受けて、復調して出力するデバイスである。任意波形発
生器70は、デジタル的に任意の波形を発生可能となっ
ていて、パターンメモリ74からの連続するデータを読
みだしてDA変換器76でアナログ信号に変換した後、
フィルタ部80に供給する。The DUT 100 is, for example, a communication device that receives a signal filtered by the filter section 80, demodulates it, and outputs it. The arbitrary waveform generator 70 is capable of digitally generating an arbitrary waveform, and after reading continuous data from the pattern memory 74 and converting it into an analog signal by the DA converter 76,
It is supplied to the filter unit 80.
【0006】フィルタ部80では、前記信号を所定のフ
ィルタ特性に切り替えてフィルタした波形信号94をD
UTへ供給する。ここで使われるフィルタ群は、多種あ
ってフィルタ群第1フィルタ821〜第nフィルタ82n
が用意してある。これらフィルタは、アナログ回路で構
成している為、経時変化や温度変化に伴って位相特定が
変動してくる。本装置はデバイスの試験装置である為
に、試験確度を高める為にDUTに印加される波形信号
94の出力位相は既知の出力位相で試験する。この為、
フィルタ部80入出力端での位相特性を予めキャリブレ
ーション測定して求めておかなければならない。In the filter section 80, the waveform signal 94 obtained by filtering the signal by switching it to a predetermined filter characteristic is D
Supply to UT. There are various filter groups used here, and the filter group includes the first filter 821 to the nth filter 82n.
Is available. Since these filters are composed of analog circuits, the phase identification changes with the passage of time and temperature. Since this apparatus is a device testing apparatus, the output phase of the waveform signal 94 applied to the DUT is tested with a known output phase in order to improve the test accuracy. Therefore,
The phase characteristics at the input and output ends of the filter section 80 must be obtained by performing calibration measurement in advance.
【0007】このキャリブレーション測定時の為に、切
り替えスイッチ78、92とスペクトラムアナライザ1
50を設けて、スペクトラムアナライザ150のTG端
子からスイッチ78を経由して第1〜第nフィルタに信
号を供給し、スイッチ92を経由して何れかのフィルタ
出力端をスペクトラムアナライザ150の測定入力端子
に与えて、位相モードで所望の周波数範囲を掃引して位
相特性データを測定する。制御部72は、この測定デー
タをGPIB経由で受け取り内部の位相補正パラメータ
メモリ73へ保存更新する。この位相特性から、任意波
形発生器70が出力すべき位相タイミングを調整制御す
ることで、他の信号との位相関係を所望の位相関係にで
き、DUTを所定のタイミングで電気試験可能となる。For this calibration measurement, the selector switches 78 and 92 and the spectrum analyzer 1
50 is provided to supply a signal from the TG terminal of the spectrum analyzer 150 to the first to nth filters via the switch 78, and one of the filter output terminals is connected to the measurement input terminal of the spectrum analyzer 150 via the switch 92. Then, the phase characteristic data is measured by sweeping a desired frequency range in the phase mode. The control unit 72 receives this measurement data via GPIB and saves and updates it in the internal phase correction parameter memory 73. From this phase characteristic, by adjusting and controlling the phase timing to be output by the arbitrary waveform generator 70, the phase relationship with other signals can be made into a desired phase relationship, and the DUT can be electrically tested at a predetermined timing.
【0008】[0008]
【発明が解決しようとする課題】上記説明のように、外
部にスペクトラムアナライザ150を設けてキャリブレ
ーションを実施して、各フィルタの通過特性を測定して
位相データを取得する。この為には、スペクトラムアナ
ライザ150を設ける必要があり、高価となる難点があ
る。そこで、本発明が解決しようとする課題は、任意波
形発生器70をキャリブレーション用の信号源として活
用し、フィルタ部80を通過した場合とバイパスした場
合のサンプリングデータを測定し、FFT処理して位相
を算出することにより、比較的安価なフィルタの位相特
性測定機能を実現することを目的とする。As described above, the spectrum analyzer 150 is provided outside to perform calibration, and the pass characteristics of each filter are measured to obtain phase data. For this purpose, it is necessary to provide the spectrum analyzer 150, and there is a drawback that it becomes expensive. Therefore, the problem to be solved by the present invention is to utilize the arbitrary waveform generator 70 as a signal source for calibration, measure sampling data when passing through the filter unit 80 and when bypassing, and perform FFT processing. The purpose is to realize the phase characteristic measuring function of a relatively inexpensive filter by calculating the phase.
【0009】[0009]
【課題を解決する為の手段】上記課題を解決するため
に、本発明の構成では、AD変換器14でのサンプリン
グ開始と同期して掃引サイン波71sinを発生させるパ
ターン発生メモリ74とDA変換器76を設け、前記掃
引サイン波71sinに同期して、フィルタ部80の各フ
ィルタの通過特性をサンプリングしてデジタル信号に量
子化し、バッファメモリ16に格納するAD変換器14
を設け、前記で取得したバッファメモリ16のデータを
受けて、時間(t)の関数のデータから、周波数(f)の複素
数関数データ列R(f)、I(f)に変換するFFT処理部1
8を設け、前記のFFT処理部18からの複素数関数デ
ータ列R(f)、I(f)を受けて、各周波数(f)における位
相φ(f)を算出する位相差演算部20を設ける構成手段
にする。これにより、任意波形発生器70内でDA変換
器76が出力する階段状波形をフィルタするフィルタ部
80の位相特性測定機能を実現する。In order to solve the above problems, in the configuration of the present invention, the pattern generation memory 74 and the DA converter for generating the swept sine wave 71sin in synchronization with the sampling start in the AD converter 14 are provided. An AD converter 14 for sampling the pass characteristic of each filter of the filter section 80, quantizing it into a digital signal, and storing it in the buffer memory 16 in synchronization with the sweep sine wave 71sin.
Is provided and receives the data of the buffer memory 16 obtained above, and converts the data of the function of time (t) into the complex number function data sequence R (f) and I (f) of the frequency (f). 1
8 is provided, and a phase difference calculation unit 20 that receives the complex number function data sequence R (f) and I (f) from the FFT processing unit 18 and calculates the phase φ (f) at each frequency (f) is provided. Make it a constituent means. As a result, the phase characteristic measuring function of the filter unit 80 that filters the stepped waveform output from the DA converter 76 in the arbitrary waveform generator 70 is realized.
【0010】[0010]
【作用】フィルタ無し、フィルタ有りの各々の測定デー
タは、AD変換器14のサンプリング開始と掃引サイン
波71sinの発生タイミングと掃引サイン波71sinの掃
引速度の条件を同一にすることで、同期した測定データ
が得られる。即ち、別の時間で測定した他のフィルタの
測定データとの相関が得られる効果がある。任意波形発
生器70は、掃引サイン波71sinをサンプリング開始
と同期して発生させることで、位相特性測定用の信号源
として兼用使用できる効果を持つ。The measurement data without a filter and with a filter are measured in synchronization by making the sampling start of the AD converter 14, the generation timing of the sweep sine wave 71sin, and the sweep speed of the sweep sine wave 71sin the same. Data is obtained. That is, there is an effect that the correlation with the measurement data of another filter measured at another time is obtained. The arbitrary waveform generator 70 has an effect that it can be used also as a signal source for phase characteristic measurement by generating the swept sine wave 71sin in synchronization with the start of sampling.
【0011】FFT処理部18は、同期して取得したバ
ッファメモリ16のデータを読みだして、時間(t)の関
数のデータから、周波数(f)の複素数関数データ列R
(f)、I(f)に変換する効果が得られる。位相差演算部2
0は、FFT処理部18からの複素数関数データ列R
(f)、I(f)を受けて、各周波数(f)における位相φ(f)を
算出でき、個々のフィルタの掃引周波数区間fareaの位
相φ(f)特性が得られる。これらにより、各フィルタの
位相特性測定機能を比較的安価に実現できることとな
る。これらによって、各フィルタの位相特性測定機能を
比較的安価に実現でき、DUTに印加する波形信号94
の出力位相が既知の出力位相で試験可能となる。The FFT processing unit 18 reads the data of the buffer memory 16 obtained synchronously, and from the data of the function of time (t), the complex function data string R of frequency (f).
The effect of converting into (f) and I (f) is obtained. Phase difference calculation unit 2
0 is the complex number function data string R from the FFT processing unit 18.
By receiving (f) and I (f), the phase φ (f) at each frequency (f) can be calculated, and the phase φ (f) characteristic of the sweep frequency section farea of each filter can be obtained. As a result, the phase characteristic measuring function of each filter can be realized at a relatively low cost. With these, the phase characteristic measuring function of each filter can be realized at a relatively low cost, and the waveform signal 94 applied to the DUT
The output phase of can be tested with a known output phase.
【0012】[0012]
【実施例】図1に本発明によるフィルタの位相特性取得
の一構成図を示す。構成は、任意波形発生器70と、A
D変換器14と、バッファメモリ16と、FFT処理部
18と、位相差演算部20とで成る。任意波形発生器7
0は、従来同様に、パターンメモリ74とDA変換器7
6とフィルタ部80とで成る。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIG. 1 shows a block diagram of phase characteristic acquisition of a filter according to the present invention. The configuration is such that an arbitrary waveform generator 70 and A
It includes a D converter 14, a buffer memory 16, an FFT processing unit 18, and a phase difference calculation unit 20. Arbitrary waveform generator 7
0 is the pattern memory 74 and the DA converter 7 as in the conventional case.
6 and a filter section 80.
【0013】本発明では、位相特性取得時に、任意波形
発生器70の出力パターンとして掃引サイン波形を発生
させる。掃引サイン波(スウェプトサイン波あるいはマ
ルチサイン波)71sinとは、図2に示すように、所望
の周波数区間fareaの下限から上限迄の周波数を連続的
に掃引発生し、かつスウェプトサイン波の場合では時間
軸に対して振幅一定のサイン波形である。マルチサイン
波の場合では周波数軸に対して振幅一定なサイン波形で
ある。In the present invention, a sweep sine waveform is generated as an output pattern of the arbitrary waveform generator 70 when the phase characteristic is acquired. As shown in FIG. 2, the swept sine wave (swept sine wave or multi-sine wave) 71sin is a swept sine wave in which a frequency from a lower limit to an upper limit of a desired frequency section farea is continuously generated. It is a sine waveform whose amplitude is constant with respect to the time axis. In the case of a multi-sine wave, it is a sine waveform with a constant amplitude on the frequency axis.
【0014】測定原理は、フィルタ部80をバイパスし
たときの位相特性φBデータを掃引サイン波71sinの
発生と同期して測定し、個々のフィルタを通過させたと
きの位相特性φAデータも同様に同期して測定し、両者
をFFT処理して各周波数点における位相差φdif=φ
A−φBとして算出する。The measuring principle is that the phase characteristic φB data when the filter section 80 is bypassed is measured in synchronization with the generation of the swept sine wave 71sin, and the phase characteristic φA data when passing through the individual filters is also synchronized. And perform FFT processing on both, and phase difference at each frequency point φdif = φ
It is calculated as A-φB.
【0015】ところで、両者の測定は、同時に測定でき
ず、別の時間で測定することとなる為、掃引サイン波7
1sinに完全に同期してサンプリング開始させる必要が
ある。この為、任意波形発生器70の発生開始のスター
ト信号74sttで同期をさせる。又、サンプリング・ク
ロック77clkをDA変換器76とAD変換器14とに
与えて同期を正確にする。無論、掃引サイン波71sin
の掃引速度の条件は同一にする。By the way, the measurement of both cannot be performed at the same time, and the measurement is performed at different times.
It is necessary to start sampling in perfect synchronization with 1sin. Therefore, synchronization is performed by the start signal 74stt for starting the generation of the arbitrary waveform generator 70. In addition, the sampling clock 77clk is applied to the DA converter 76 and the AD converter 14 for accurate synchronization. Of course, swept sine wave 71sin
The same sweep speed conditions are used.
【0016】また、サンプリング・クロック77clkの
周波数は、後でFFT処理時に演算精度が悪化しない程
度の分解能を取得できるようにする為に、掃引サイン波
71sinより十分高い周波数を使用し、例えば掃引サイ
ン波71sinの上限が200KHzの場合は、8MHz
程度のクロックを使用し、1つのサイン波形区間で数十
点をサンプリングできるようにする。The frequency of the sampling clock 77clk is set to a frequency sufficiently higher than the sweep sine wave 71sin in order to obtain a resolution that does not deteriorate the calculation accuracy during the FFT processing later. If the upper limit of wave 71sin is 200 KHz, 8 MHz
A sine clock is used so that tens of points can be sampled in one sine waveform section.
【0017】測定手順は、第1に、スイッチ12でフィ
ルタ部80をバイパスさせたときの測定条件で通過特性
を測定する。スタート信号74sttで掃引サイン波71s
inを発生開始し、これに同期してサンプリング・クロッ
ク77clk毎にAD変換器14でデジタル信号に量子化
し、掃引周波数区間fareaの下限から上限迄の周波数を
連続的に測定してバッファメモリ16に格納する。The measurement procedure is as follows. First, the pass characteristic is measured under the measurement condition when the filter section 80 is bypassed by the switch 12. Sweep sine wave 71s with start signal 74stt
The generation of in is started, and in synchronization with this, the AD converter 14 quantizes into a digital signal every sampling clock 77clk, and the frequency from the lower limit to the upper limit of the sweep frequency section farea is continuously measured and stored in the buffer memory 16. Store.
【0018】第2に、フィルタ部80内の各フィルタに
切り替えたときの測定条件で測定する。前記同様に、ス
タート信号74sttに同期して順次各フィルタの通過特
性を測定し、バッファメモリ16に格納する。Secondly, the measurement is performed under the measurement conditions when switching to each filter in the filter section 80. Similarly to the above, the pass characteristics of each filter are sequentially measured in synchronization with the start signal 74stt and stored in the buffer memory 16.
【0019】FFT処理部18は、前記で同期して取得
したバッファメモリ16のデータを読みだして、フィル
タ無し、フィルタ有りの各々の測定データを、時間(t)
の関数を周波数(f)の複素数関数データ列R(f)、I(f)
に変換して位相差演算部20に供給する。ここで、R
(f)は実数成分であり、I(f)は虚数成分である。The FFT processing unit 18 reads out the data of the buffer memory 16 acquired in synchronization with the above, and outputs the measurement data without filter and with filter with time (t).
Is a complex number function data string R (f), I (f) of frequency (f)
And is supplied to the phase difference calculator 20. Where R
(f) is a real number component, and I (f) is an imaginary number component.
【0020】位相差演算部20は、各々のフィルタ毎の
各周波数における位相を求めるものである。各周波数
(f)における位相はφ(f)=tan-1(I(f)/R(f))とし
て算出される。フィルタ無し時の位相特性値を、各周波
数における基準位相角=0度とみなし、この基準位相角
を各々のフィルタの位相値から差し引くことで、個々の
フィルタの掃引周波数区間fareaの位相φ(f)特性が求
まることとなる。これにより、高価なスペクトラムアナ
ライザを外部に用意することなく、各フィルタの位相特
性が比較的安価に求められる。The phase difference calculating section 20 obtains the phase at each frequency for each filter. Each frequency
The phase at (f) is calculated as φ (f) = tan −1 (I (f) / R (f)). Considering the phase characteristic value without a filter as the reference phase angle at each frequency = 0 degree, and subtracting this reference phase angle from the phase value of each filter, the phase φ (f ) The characteristics will be obtained. As a result, the phase characteristics of each filter can be obtained relatively inexpensively without preparing an expensive spectrum analyzer outside.
【0021】上記実施例の説明では、フィルタ部80を
バイパスしたときの位相特性φBも測定する場合で説明
していたが、この位相特性φBは経時変化が殆ど無い
為、当初に求めた値をメモリに保存して使用するように
しても良い。これにより、バイパスしたときの位相特性
φBについては、その都度の測定実施は不要としても良
い。In the above description of the embodiment, the case where the phase characteristic φB when the filter section 80 is bypassed is also measured, but since the phase characteristic φB hardly changes with time, the value initially obtained is It may be stored in the memory and used. As a result, the phase characteristic φB when bypassed need not be measured each time.
【0022】[0022]
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、下記に記載されるような効果を奏する。フ
ィルタ無し、フィルタ有りの各々の測定データは、AD
変換器14のサンプリング開始と掃引サイン波71sin
の発生タイミングと掃引サイン波71sinの掃引速度の
条件を同一にすることで、同期した測定データが得られ
る。即ち、別の時間で測定した他のフィルタの測定デー
タとの相関が得られる効果がある。任意波形発生器70
は、掃引サイン波71sinをサンプリング開始と同期し
て発生させることで、位相特性測定用の信号源として使
用できる効果を持つ。FFT処理部18は、同期して取
得したバッファメモリ16のデータを読みだして、時間
(t)の関数のデータから、周波数(f)の複素数関数データ
列R(f)、I(f)に変換する効果が得られる。位相差演算
部20は、FFT処理部18からの複素数関数データ列
R(f)、I(f)を受けて、各周波数(f)における位相φ(f)
を算出でき、個々のフィルタの掃引周波数区間fareaの
位相φ(f)特性が得られる。これらにより、各フィルタ
の位相特性測定機能を比較的安価に実現できることとな
る。Since the present invention is configured as described above, it has the following effects. Each measurement data without filter and with filter is AD
Sampling start of converter 14 and sweep sine wave 71sin
The same measurement data can be obtained by setting the same generation timing and the sweep speed condition of the sweep sine wave 71sin. That is, there is an effect that the correlation with the measurement data of another filter measured at another time is obtained. Arbitrary waveform generator 70
Has an effect that it can be used as a signal source for phase characteristic measurement by generating the swept sine wave 71sin in synchronization with the start of sampling. The FFT processing unit 18 reads out the data of the buffer memory 16 acquired synchronously and
The effect of converting the data of the function of (t) into the complex number function data sequence R (f) and I (f) of the frequency (f) can be obtained. The phase difference calculation unit 20 receives the complex number function data sequence R (f) and I (f) from the FFT processing unit 18, and receives the phase φ (f) at each frequency (f).
Can be calculated, and the phase φ (f) characteristic of the sweep frequency section farea of each filter can be obtained. As a result, the phase characteristic measuring function of each filter can be realized at a relatively low cost.
【図1】本発明の、フィルタの位相特性取得の一構成図
を示す。FIG. 1 shows a configuration diagram of phase characteristic acquisition of a filter according to the present invention.
【図2】本発明の、任意波形発生器70が出力する掃引
サイン波形を説明するスペクトラム図である。FIG. 2 is a spectrum diagram for explaining a swept sine waveform output by an arbitrary waveform generator 70 of the present invention.
【図3】従来の、スペクトラムアナライザ150を使用
してフィルタの位相特性を取得する構成図を示す。FIG. 3 shows a conventional configuration diagram for acquiring a phase characteristic of a filter using a spectrum analyzer 150.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI H03B 28/00 G01R 31/28 Q (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01R 31/3183 G01R 27/28 G01R 35/00 G06F 1/02 H03B 23/00 H03B 28/00 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (51) Int.Cl. 7 Identification code FI H03B 28/00 G01R 31/28 Q (58) Fields investigated (Int.Cl. 7 , DB name) G01R 31/3183 G01R 27 / 28 G01R 35/00 G06F 1/02 H03B 23/00 H03B 28/00
Claims (2)
(76)が出力する階段状波形をフィルタするフィルタ
部(80)の位相特性の取得において、 AD変換器(14)でのサンプリング開始と同期して掃
引サイン波(71sin)を発生させるパターン発生メモ
リ(74)とDA変換器(76)を設け、 前記掃引サイン波(71sin)に同期して、フィルタ部
(80)の各フィルタの通過特性をサンプリングしてデ
ジタル信号に量子化し、バッファメモリ(16)に格納
するAD変換器(14)を設け、 前記で取得したバッファメモリ(16)のデータを受け
て、時間(t)の関数のデータから、周波数(f)の複素数関
数データ列R(f)、I(f)に変換するFFT処理部(1
8)を設け、 前記のFFT処理部(18)からの複素数関数データ列
R(f)、I(f)を受けて、各周波数(f)における位相φ(f)
を算出する位相差演算部(20)を設け、 以上を具備していることを特徴としたDUT試験用の任
意波形発生装置。1. Sampling by an AD converter (14) in obtaining a phase characteristic of a filter section (80) for filtering a stepwise waveform output from a DA converter (76) in an arbitrary waveform generator (70). A pattern generation memory (74) for generating a swept sine wave (71sin) in synchronization with the start and a DA converter (76) are provided, and each filter of the filter section (80) is synchronized with the swept sine wave (71sin). Is provided with an AD converter (14) for sampling the pass characteristic of quantized into a digital signal and storing it in a buffer memory (16), and receiving the data of the buffer memory (16) acquired above, the time (t) An FFT processing unit (1) that converts function data into complex number function data strings R (f) and I (f) of frequency (f)
8) is provided, receives the complex number function data sequence R (f), I (f) from the FFT processing unit (18), and receives the phase φ (f) at each frequency (f).
An arbitrary waveform generator for a DUT test, which is provided with a phase difference calculator (20) for calculating
トサイン波あるいはマルチサイン波による掃引サイン波
とした請求項1記載のDUT試験用の任意波形発生装
置。2. The arbitrary waveform generator for DUT test according to claim 1, wherein the swept sine wave (71sin) is a swept sine wave or swept sine wave.
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
JP15829595A JP3417507B2 (en) | 1995-05-31 | 1995-05-31 | Arbitrary waveform generator for DUT test |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP15829595A JP3417507B2 (en) | 1995-05-31 | 1995-05-31 | Arbitrary waveform generator for DUT test |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JPH08327709A JPH08327709A (en) | 1996-12-13 |
JP3417507B2 true JP3417507B2 (en) | 2003-06-16 |
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