JP3417439B2 - Multi-beam scanning optical recording device - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【発明の利用分野】本発明は、レーザ光を複数本に分
け、複数本のビームを並列に処理することで、高速化を
実現する多ビーム走査光記録装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a multi-beam scanning optical recording apparatus which divides a laser beam into a plurality of beams and processes a plurality of beams in parallel to realize high speed.

【０００２】[0002]

【従来の技術】レーザ光を複数本に分岐し、マルチチャ
ネル音響光学変調器に入射させ、複数本のビームをそれ
ぞれ独立に光変調させる光学系は従来、図５に示す光学
系が用いられている。この光学系ではレーザ光を複数本
に分岐するために、平行平面からなる光学ガラス基板上
に半透明な膜３０を形成させたビームスプリッターを用
い、それから出力される複数本の透過光を４で示す位置
に配置するマルチチャネル音響光学変調器１３に導いて
いる。2. Description of the Related Art Conventionally, an optical system shown in FIG. 5 has been used as an optical system for splitting a laser beam into a plurality of beams and making them incident on a multi-channel acousto-optic modulator to independently modulate a plurality of beams. There is. In this optical system, in order to split the laser light into a plurality of beams, a beam splitter in which a semitransparent film 30 is formed on an optical glass substrate composed of parallel planes is used. It leads to the multi-channel acousto-optic modulator 13 arranged at the position shown.

【０００３】[0003]

【発明が解決しようとする課題】ところで、マルチチャ
ネル音響光学変調器が高速に変調できるようにするため
には、この変調器内でレーザ光を微小なスポットに形成
させておくことが必要である。この目的のため、図５に
示すように、レンズ３１をビームスプリッター３３の前
に挿入することが考えられる。マルチチャネル音響光学
変調器は４の場所に配置されることになる。しかし、こ
の方法では、レンズからマルチチャネル音響光学変調器
まで、それぞれのレーザ光が通過する光路長は異なるこ
とになり、図中 で示すように光スポットの結像位置に
ずれが生じてしまう。このため、複数本のそれぞれのレ
ーザ光を一様にマルチチャネル音響光学変調器内で微小
な光スポットにさせることは困難である。By the way, in order to enable the multi-channel acousto-optic modulator to perform high-speed modulation, it is necessary to form a laser beam in a minute spot in the modulator. . For this purpose, it is conceivable to insert the lens 31 in front of the beam splitter 33, as shown in FIG. The multi-channel acousto-optic modulator will be located at 4 locations. However, in this method, the optical path length of each laser beam from the lens to the multi-channel acousto-optic modulator is different, so that the image forming position of the light spot is displaced as shown in the figure. For this reason, it is difficult to uniformly form a plurality of laser lights into minute light spots in the multi-channel acousto-optic modulator.

【０００４】従って、本発明の目的は、マルチチャネル
音響光学変調器内に複数の光スポットを精度良く発生さ
せ、高速に変調が可能なようにした、高速、高解像度の
多ビーム走査光記録装置を提供することにある。Therefore, an object of the present invention is to provide a high-speed, high-resolution multi-beam scanning optical recording device capable of accurately generating a plurality of light spots in a multi-channel acousto-optic modulator and performing high-speed modulation. To provide.

【０００５】[0005]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明では、レーザ光をウォラストンプリズム等の
偏光素子で多ビームに分岐し、それぞれのビームをマル
チチャネル変調器に入射させることで光強度変調し、該
変調された多ビームの配列方向の角度をダブプリズムで
回転させた後、光走査器で走査させ光記録を行なう装置
において、それぞれの偏光素子のビーム分離角度の比が
２の倍数である複数個のウォラストンプリズムを用い
る。この場合、その材料としてカルサイト(ＣａＣＯ３
の結晶)を用いると、複数本のビームのビーム分離角度
が精度良く、等しいピッチになる。さらに、後述する変
形ウォラストンプリズムを用いるとより精度が向上す
る。In order to achieve the above object, in the present invention, a laser beam is split into multiple beams by a polarizing element such as a Wollaston prism, and each beam is made incident on a multi-channel modulator. In the device for performing optical recording after performing optical intensity modulation with, and rotating the angle of the modulated multi-beams in the array direction by the Dove prism and then performing scanning with an optical scanner, the ratio of the beam separation angles of the respective polarization elements is A plurality of Wollaston prisms that are multiples of 2 are used. In this case, calcite (CaCO3
Crystal), the beam separation angles of a plurality of beams are accurately obtained and have the same pitch. Further, the accuracy is further improved by using a modified Wollaston prism described later.

【０００６】[0006]

【作用】本発明によれば、１本の光ビームから多数の等
ピッチで配列した、微小な光スポットを実現でき、多ビ
ームを用いた光記録装置に適用することで高速、高解像
度の装置が実現できる。According to the present invention, it is possible to realize a minute light spot in which a plurality of equal pitches are arranged from one light beam, and when applied to an optical recording apparatus using multiple beams, a high-speed and high-resolution apparatus. Can be realized.

【０００７】[0007]

【実施例】まず、ウォラストンプリズムの動作を図２で
説明する。マルチチャネル音響光学変調器は４の場所に
配置される。レーザ光１は１／４波長板８により円偏光
に変換されウォラストンプリズム２に入射する。ウォラ
ストンプリズム２は紙面に垂直および平行な光学軸をも
つ水晶あるいはカルサイト等の１軸性光学結晶を張り合
わせたもので、偏光方向の異なる２本のビーム５を角度
をなして出力させる（図３には光学軸が示されてい
る）。ウォラストンプリズムはレンズ３の前側焦点位置
に配置されているため、レンズ出射後のビーム６は互い
に平行な収束ビームとしてマルチチャネル音響光学変調
器４内に微小なスポットを形成させることができる。ウ
ォラストンプリズムから出射する２本のビームは互いに
直交する偏光方向をもっているが、マルチチャネル音響
光学変調器が特定の偏光方向でのみ動作する場合は、ウ
ォラストンプリズムを出射する２ビームのいずれかに１
／２波長板を配置し、偏光方向を調整するか、あるいは
すべての出射ビームに１枚の１／４波長板を通過させ、
円偏光に変換し、出射ビーム間の偏光の差による影響を
除く方法を選んでも良い。EXAMPLE First, the operation of the Wollaston prism will be described with reference to FIG. The multi-channel acousto-optic modulator is located at 4 locations. The laser light 1 is converted into circularly polarized light by the quarter-wave plate 8 and enters the Wollaston prism 2. The Wollaston prism 2 is made by laminating uniaxial optical crystals such as quartz or calcite having optical axes perpendicular and parallel to the paper surface, and outputs two beams 5 having different polarization directions at an angle (Fig. 3 shows the optical axis). Since the Wollaston prism is arranged at the front focal position of the lens 3, the beam 6 emitted from the lens can form a minute spot in the multi-channel acousto-optic modulator 4 as a converged beam parallel to each other. Although the two beams emitted from the Wollaston prism have polarization directions orthogonal to each other, if the multi-channel acousto-optic modulator operates only in a specific polarization direction, one of the two beams emitted from the Wollaston prism is used. 1
1/2 wave plate is placed and the polarization direction is adjusted, or all outgoing beams are passed through one quarter wave plate,
A method of converting into circularly polarized light and eliminating the influence of the difference in polarization between the outgoing beams may be selected.

【０００８】本発明の実施例を図３に示す。この光学系
では入射レーザ光１をまず１／４波長板８で円偏光に変
換し、ウォラストンプリズム７に入射させる。ウォラス
トンプリズムでは光学軸は４１、４２で示す方向を向い
ている。最初のウォラストンプリズムを出射したビーム
の分離角をａとしている。出射した２本のビームは再
び、１／４波長板８で円偏光に変換され、２番目のウォ
ラストンプリズム２に入射する。このウォラストンプリ
ズムは入射したビームを角度ｂで分離するとしている。
以上のように分離した４本のビームＬ１，Ｌ２、Ｌ３、
Ｌ４はそれぞれ次の角度で出射することになる。 Ｌ１： ａ／２ ＋ ｂ／２ Ｌ２： ａ／２ − ｂ／２ Ｌ３： −ａ／２ ＋ ｂ／２ Ｌ４： −ａ／２ − ｂ／２ ここで、ａ＝２ｂに設定すると、上式から次の関係が得
られる。 Ｌ１： ３ｂ／２ Ｌ２： ｂ／２ Ｌ３： −ｂ／２ Ｌ４： −３ｂ／２ 即ち、ａ＝２ｂに設定すると、４本のビームは等しい分
離角度の差で分離することがわかる。ウォラストンプリ
ズム７およびウォラストンプリズム２が上式を実現させ
るようにするためには、各ウォラストンプリズムの張り
合わせ角度θ1、θ2を適切に設定することで行うことが
できる。即ち、ウォラストンプリズムを構成する材料の
異常光線屈折率をｎｅ（レーザ光の偏光方向が光学軸と
平行である場合の屈折率）、常光線屈折率をｎo（レー
ザ光の偏光方向が光学軸と垂直である場合の屈折率）と
すると、ビーム分離角度ａおよびｂは近似的に次式で表
される。 ａ＝２（ｎe−ｎo）／ｔａｎ（θ1） ・・・ (1) ｂ＝２（ｎe−ｎo）／ｔａｎ（θ2） ・・・ (2) 式(1)、(2)を用いてａ＝２ｂとなるようにθ1、θ2を決
定すれば良い。An embodiment of the present invention is shown in FIG. In this optical system, the incident laser beam 1 is first converted into circularly polarized light by the quarter-wave plate 8 and is incident on the Wollaston prism 7. In the Wollaston prism, the optical axes are oriented in the directions indicated by 41 and 42. The separation angle of the beam emitted from the first Wollaston prism is set to a. The two emitted beams are again converted into circularly polarized light by the quarter-wave plate 8 and are incident on the second Wollaston prism 2. This Wollaston prism is supposed to split the incident beam at an angle b.
The four beams L1, L2, L3, separated as described above,
L4 will be emitted at the following angles, respectively. L1: a / 2 + b / 2 L2: a / 2−b / 2 L3: −a / 2 + b / 2 L4: −a / 2−b / 2 Here, when a = 2b is set, the above formula is obtained. Gives the following relationship. L1: 3b / 2 L2: b / 2 L3: -b / 2 L4: -3b / 2 That is, when a = 2b is set, it can be seen that four beams are separated by the same separation angle difference. In order for the Wollaston prism 7 and the Wollaston prism 2 to realize the above expression, it is possible to appropriately set the bonding angles θ1 and θ2 of the Wollaston prisms. That is, the extraordinary ray refractive index of the material forming the Wollaston prism is ne (refractive index when the polarization direction of the laser light is parallel to the optical axis), and the ordinary ray refractive index is no (the polarization direction of the laser light is the optical axis). And the beam separation angles a and b are approximately expressed by the following equation. a = 2 (ne-no) / tan ([theta] 1) ... (1) b = 2 (ne-no) / tan ([theta] 2) ... (2) Using equations (1) and (2), a It suffices to determine θ1 and θ2 so that = 2b.

【０００９】図４は図３の光学素子を接着し、張り合わ
せたものを９とし、出射光をレンズ３で結像面４に結像
させた図を示す。ａ＝２ｂの関係が満足させてあれば、
結像面４には等しいピッチで微小な光スポットを形成さ
せることができる。ところで、式(1)および式(2)の近似
式でなく、厳密な数値計算を行うと、図４に示した結像
面では、光スポット列の間隔が等しくなく、ずれが生じ
る事が分かった。以下に、計算例を示す。簡単のため、
図４のレンズの焦点距離ｆ＝６０ｍｍとし、結像面で
１.５ｍｍピッチの光スポット列がほしい場合を考え
る。（即ち、マルチチャネル変調器の電極ピッチが１.
５ｍｍの場合）そして、レーザ光の波長は０.４８８μ
ｍとする。FIG. 4 shows a diagram in which the optical element of FIG. 3 is adhered and pasted together to form 9 and the emitted light is imaged on the image plane 4 by the lens 3. If the relationship of a = 2b is satisfied,
Minute light spots can be formed on the image plane 4 at the same pitch. By the way, if a strict numerical calculation is performed instead of the approximate expressions of the equations (1) and (2), it is found that the intervals of the light spot rows are not equal on the image plane shown in FIG. It was An example of calculation is shown below. For simplicity,
Consider a case where the focal length f of the lens in FIG. 4 is 60 mm and a light spot train having a pitch of 1.5 mm is desired on the image plane. (That is, the electrode pitch of the multi-channel modulator is 1.
And the wavelength of the laser beam is 0.488μ
m.

【００１０】水晶を用いた場合を考える。ｎｅ＝１.５
５８８、ｎｏ＝１.５４９５である。最適な張り合わせ
角はθ１＝２０.５３９度、θ２＝３２.９３度と算出で
き、このときの結像位置は、ｘ１＝−２.３０２７ｍ
ｍ、ｘ２＝−０.７７０８ｍｍ、ｘ３＝０.７３０３ｍ
ｍ、ｘ４＝２.１９７３ｍｍとなる。これらの差を計算
すると光スポットの間隔は、｜ｘ１−ｘ２｜＝１.５３
２ｍｍ、｜ｘ２−ｘ３｜＝１.５０１ｍｍ、｜ｘ３−ｘ
４｜＝１.４６７ｍｍ、｜ｘ１−ｘ４｜＝４.５ｍｍと求
まる。所望の１.５ｍｍから最大３２μｍずれている。Consider the case where quartz is used. ne = 1.5
588, no = 1.49595. The optimum laminating angle can be calculated as θ1 = 20.539 ° and θ2 = 32.93 °, and the image forming position at this time is x1 = −2.3027 m.
m, x2 = -0.7708 mm, x3 = 0.7303 m
m, x4 = 2.1973 mm. When these differences are calculated, the light spot spacing is | x1-x2 | = 1.53.
2 mm, | x2-x3 | = 1.501 mm, | x3-x
4 | = 1.467 mm and | x1-x4 | = 4.5 mm. The maximum deviation is 32 μm from the desired 1.5 mm.

【００１１】カルサイトでは、ｎｅ＝１.４９０６、ｎ
ｏ＝１.６６７４７であり、最適な張り合わせ角はθ１
＝８１.９５度、θ２＝８５.９５４度となり、このと
き、結像位置は、ｘ１＝−２.２５４００５ｍｍ、ｘ２
＝−０.７５１２８ｍｍ、ｘ３＝０.７４９５７ｍｍ、ｘ
４＝２.２４９２８ｍｍとなる。これらの差を計算する
と、｜ｘ１−ｘ２｜＝１.５０２７２ｍｍ、｜ｘ２−ｘ
３｜＝１.５００８６ｍｍ、｜ｘ３−ｘ４｜＝１.４９９
７１ｍｍ、｜ｘ１−ｘ４｜＝４.５０３２９ｍｍと求ま
る。この場合、最大３μｍ程度のずれに抑えられてい
る。このように、小さなずれに抑えられたのはカルサイ
トの屈折率差が大きいためと考えられる。For calcite, ne = 1.4906, n
o = 1.66747, and the optimum laminating angle is θ1
= 81.95 degrees, θ2 = 85.954 degrees, and at this time, the imaging position is x1 = −2.2254005 mm, x2
= -0.75128 mm, x3 = 0.749957 mm, x
4 = 2.29928 mm. When these differences are calculated, | x1-x2 | = 1.50272 mm, | x2-x
3 | = 1.50086 mm, | x3-x4 | = 1.499
71 mm, | x1-x4 | = 4.50329 mm. In this case, the maximum deviation is suppressed to about 3 μm. It is considered that the reason why the small deviation is suppressed is that the difference in the refractive index of calcite is large.

【００１２】さらに、小さくずれを抑えるために、図８
に示すようにレーザ光を分離する方向の光学軸４７を角
度φだけ傾けることを試みた。ここでは図８の偏光素子
を変形ウォラストンプリズムと呼ぶことにする。Further, in order to suppress a small deviation, FIG.
It was attempted to incline the optical axis 47 in the direction of separating the laser light by the angle φ as shown in FIG. Here, the polarization element of FIG. 8 is called a modified Wollaston prism.

【００１３】カルサイトを用い、図９の５２、５５で示
す光学軸をｘ軸からそれぞれφ１、φ２だけ傾けるとす
る。張り合わせ角は、前と同様に、θ１＝８１.９５
度、θ２＝８５.９５４度とする。このとき、φ１＝１.
１０５度、φ２＝２.０６度とすると、結像位置は、ｘ
１＝−２.２５０７３２ｍｍ、ｘ２＝−０.７４９９８４
ｍｍ、ｘ３＝０.７５００１４ｍｍ、ｘ４＝２.２４９２
８１ｍｍであった。これらの差を計算すると、｜ｘ１−
ｘ２｜＝１.５００７５ｍｍ、｜ｘ２−ｘ３｜＝１.５０
０００ｍｍ、｜ｘ３−ｘ４｜＝１.４９９２７ｍｍ、｜
ｘ１−ｘ４｜＝４.５０００１ｍｍと求まる。この場
合、最大ずれは０.７５μｍに抑えられる。これは、最
初に説明した水晶の場合の４０倍低い値に抑制されてい
る。このように、光スポットの配列ピッチを精度良く設
定する事は、マルチチャネル変調器がすべての入射する
ビームにたいして一様で、高い光利用効率を確保するた
めに、重要である。また、光記録する場合、配列ピッチ
が不揃いであると、印字品質に重大な影響を与えること
になる。It is assumed that calcite is used and the optical axes indicated by 52 and 55 in FIG. 9 are inclined by φ1 and φ2 from the x-axis, respectively. The laminating angle is θ1 = 81.95 as before.
And θ2 = 85.954 degrees. At this time, φ1 = 1.
Assuming 105 degrees and φ2 = 2.06 degrees, the image forming position is x
1 = -2.250732 mm, x2 = -0.749984
mm, x3 = 0.7500014 mm, x4 = 2.2492
It was 81 mm. When these differences are calculated, | x1-
x2 | = 1.50075 mm, | x2-x3 | = 1.50
000 mm, | x3-x4 | = 1.49927 mm, |
x1−x4 | = 4.5001 mm. In this case, the maximum deviation is suppressed to 0.75 μm. This is suppressed to a value 40 times lower than in the case of the crystal described first. Thus, setting the array pitch of the light spots with high precision is important for the multi-channel modulator to ensure uniform and high light utilization efficiency for all incident beams. Further, in the case of optical recording, if the array pitches are not uniform, the print quality will be seriously affected.

【００１４】次に、マルチチャネル音響光学変調器の動
作を図６で説明する。１つのＰｂＭｏＯ4結晶あるいは
ＴｅＯ2等の音響光学媒体にトランスジューサ１６が複
数個設けてあり、入射する多ビーム光を独立に変調でき
る。すなわち、複数のトランスジューサにそれぞれ独立
した電気信号を与えると、それぞれの信号が独立に音波
を結晶中に伝搬させ、対応する光ビームを音波により回
折させて変調させる。図６中の１８が変調されたビーム
であり、光記録に利用される。１９は透過光であり、光
記録材料に達しないように適当な場所で遮蔽される。マ
ルチチャネル音響光学変調器に入射する光は互いに平行
であるため、電極１６で発生し、結晶１３中を伝搬する
超音波に対して、すべてのビームをブラッグ角近くに設
定でき、高い光利用効率で回折光１８を発生させること
が可能であり、従って、高い光利用効率で光変調するこ
とが可能となる。また、マルチチャネル音響光学素子１
３内では小さな光スポットに絞り込まれているため、こ
れらの小さなスポットを横切る超音波の通過時間を短く
することができ、高速な光変調が可能である。Next, the operation of the multi-channel acousto-optic modulator will be described with reference to FIG. A plurality of transducers 16 are provided on one acousto-optic medium such as PbMoO4 crystal or TeO2, so that incident multi-beam light can be independently modulated. That is, when an independent electric signal is applied to each of the plurality of transducers, each signal independently propagates a sound wave in the crystal, and the corresponding light beam is diffracted by the sound wave and modulated. Reference numeral 18 in FIG. 6 denotes a modulated beam, which is used for optical recording. Reference numeral 19 denotes transmitted light, which is shielded at an appropriate place so as not to reach the optical recording material. Since the lights incident on the multi-channel acousto-optic modulator are parallel to each other, all the beams can be set near the Bragg angle with respect to the ultrasonic waves generated in the electrode 16 and propagating in the crystal 13, and high light utilization efficiency is achieved. Thus, the diffracted light 18 can be generated, and therefore, the light modulation can be performed with high light utilization efficiency. In addition, the multi-channel acousto-optic device 1
Since the light spots are narrowed down to small light spots within 3, the transit time of ultrasonic waves that cross these small spots can be shortened, and high-speed light modulation is possible.

【００１５】図１は本発明の多ビームを走査して光記録
を行なうレーザプリンタ装置を示している。一度に多ビ
ームで光記録を行なうので、高速度あるいは高解像度の
レーザプリンタ装置が実現できる。レーザ装置１５から
出射したレーザ光１は１／４波長板、ウォラストンプリ
ズムで分岐した２ビームを発生させ、マルチチャネル音
響光学変調器１４に入射させる。レンズ３はすでに図２
で説明した。２５はマルチチャネル音響光学素子を駆動
する回路装置を示す。マルチチャネル音響光学素子を出
射した光はレンズで適当なビーム径に変換して後、ダブ
プリズム２０を通過し、回転多面鏡２１に入射する。回
転多面鏡２１は回転しており、多ビームを同時に感光ド
ラム２４上で走査する。レンズ２２は多ビーム光を感光
ドラム上に微小な多点スポットとして絞り込むためのも
のである。ところで、多ビーム光はマルチチャネル音響
光学素子内で小さなスポット列になされている。このス
ポット径をＤ、トランスジューサ配列ピッチをＴとする
とＴ／Ｄは１より大きい。このため感光ドラム上での多
点スポットもこの比で配列することになり、スポット径
よりもスポット配列ピッチが大きくなってしまう。多点
スポットの走査間に光の照射されない領域ができないよ
うにするため、即ち、走査線ピッチを多点スポットの間
隔より小さくするために、多点スポットは感光ドラム上
で傾けて走査する。図７は感光ドラム上の多点スポット
４５の配列方向と、走査方向の関係を示している。この
ように、スポット配列方向と走査方向とを斜めに設定す
る方法として、マルチチャネル音響光学素子１４および
偏光素子９を同時に光軸方向を回転軸として回転させる
方法があるが、回転させるもの自体の大きさが大きいの
で音響光学変調器への光の入射位置精度を維持して回転
を行なうのは非常に困難である。この困難を解消するた
め、ダブプリズム２０を用いる。この方法では、ダブプ
リズム２０を光軸方向を回転軸として回転させること
で、所定のスポット配列方向に調節し、設定する。ダブ
プリズムの像回転機構自体はよく知られているものであ
る。即ち、入射してくる光をダブプリズム内の底面で一
度、全反射させ、出射させている。このため、ダブプリ
ズム２０を光軸の回りに回転させると出射ビームが回転
することになるのである。光検知器２３は多ビームの光
を受光し、それぞれの光に対応する信号を発生し、対応
する光の同期信号とするためのものである。FIG. 1 shows a laser printer apparatus of the present invention for scanning multiple beams for optical recording. Since optical recording is performed with multiple beams at one time, a high-speed or high-resolution laser printer device can be realized. The laser beam 1 emitted from the laser device 15 generates two beams branched by a quarter-wave plate and a Wollaston prism, and enters the multi-channel acousto-optic modulator 14. Lens 3 is already in Figure 2
Explained in. Reference numeral 25 indicates a circuit device for driving the multi-channel acousto-optic device. The light emitted from the multi-channel acousto-optic device is converted into an appropriate beam diameter by a lens, passes through the Dove prism 20, and enters the rotating polygon mirror 21. The rotary polygon mirror 21 is rotating and simultaneously scans the photosensitive drum 24 with multiple beams. The lens 22 is for narrowing the multi-beam light as a minute multi-point spot on the photosensitive drum. By the way, multi-beam light is made into a small spot row in a multi-channel acousto-optic device. When this spot diameter is D and the transducer array pitch is T, T / D is larger than 1. For this reason, multiple spots on the photosensitive drum are also arranged at this ratio, and the spot arrangement pitch becomes larger than the spot diameter. In order to prevent a region where light is not irradiated during scanning of the multi-point spots, that is, in order to make the scanning line pitch smaller than the interval between the multi-point spots, the multi-point spots are scanned while being inclined on the photosensitive drum. FIG. 7 shows the relationship between the arrangement direction of the multipoint spots 45 on the photosensitive drum and the scanning direction. As described above, as a method of setting the spot arrangement direction and the scanning direction obliquely, there is a method of simultaneously rotating the multi-channel acousto-optic element 14 and the polarization element 9 with the optical axis direction as the rotation axis. Since the size is large, it is very difficult to rotate while maintaining the accuracy of the incident position of light on the acousto-optic modulator. In order to eliminate this difficulty, the dove prism 20 is used. In this method, the Dove prism 20 is rotated about the optical axis direction to adjust and set it in a predetermined spot arrangement direction. The image rotation mechanism itself of the Dove prism is well known. That is, the incident light is totally reflected once on the bottom surface inside the Dove prism and emitted. Therefore, when the Dove prism 20 is rotated around the optical axis, the outgoing beam is rotated. The photodetector 23 receives multiple beams of light, generates signals corresponding to the respective lights, and uses the signals as synchronization signals of the corresponding lights.

【００１６】[0016]

【発明の効果】以上述べた本発明の多ビーム走査光記録
装置は、レーザ光の偏光を利用し、多ビームに分岐し、
発生した多ビームをマルチャネル音響光学変調器で変調
し、一度に走査するので高速、高解像光記録装置が実現
できる。The multi-beam scanning optical recording apparatus of the present invention described above utilizes the polarization of laser light and splits into multiple beams.
Since the generated multi-beams are modulated by a multichannel acousto-optic modulator and scanned at one time, a high-speed, high-resolution optical recording device can be realized.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】 本発明の多ビーム走査光記録装置の概略構成
図である。FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a multi-beam scanning optical recording apparatus of the present invention.

【図２】 ウォラストンプリズムの動作説明図である。FIG. 2 is an operation explanatory diagram of a Wollaston prism.

【図３】 多ビーム発生動作の原理を示す説明図であ
る。FIG. 3 is an explanatory diagram showing the principle of multi-beam generation operation.

【図４】 偏光素子と結像面の関係を示す説明図であ
る。FIG. 4 is an explanatory diagram showing a relationship between a polarizing element and an image plane.

【図５】 従来技術を示す説明図である。FIG. 5 is an explanatory diagram showing a conventional technique.

【図６】 マルチチャネル音響光学変調器の動作説明図
である。FIG. 6 is an operation explanatory diagram of a multi-channel acousto-optic modulator.

【図７】 多点スポット走査方法の説明図である。FIG. 7 is an explanatory diagram of a multipoint spot scanning method.

【図８】 変形ウォラストンプリズムの説明図である。FIG. 8 is an explanatory diagram of a modified Wollaston prism.

【図９】 変形ウォラストンプリズムを用いた多ビーム
発生光学系の説明図である。FIG. 9 is an explanatory diagram of a multi-beam generation optical system using a modified Wollaston prism.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１はレ−ザ光、１５はレーザ光源、２、７はウォラスト
ンプリズム、３はレンズ、１４はマルチチャネル音響光
学変調器、１６はトラスジューサ電極、２０はダブプリ
ズム、２１は回転多面鏡、２４は感光ドラム、２３は光
検知装置、４１、４２、４３、４４、５１、５２、５
４、５５は光学軸である。1 is a laser beam, 15 is a laser light source, 2 and 7 are Wollaston prisms, 3 is a lens, 14 is a multi-channel acousto-optic modulator, 16 is a transducer electrode, 20 is a dove prism, 21 is a rotating polygon mirror, Reference numeral 24 is a photosensitive drum, 23 is a light detection device, 41, 42, 43, 44, 51, 52, 5
Reference numerals 4 and 55 are optical axes.

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項１】ビーム分離角度の比が２の倍数である偏光
素子を複数個用いて、レーザ光を多ビームに分岐し、そ
れぞれのビームをマルチチャネル変調器に入射させるこ
とで光強度変調し、感光材料上では該変調された多ビー
ムの配列方向の角度を斜めにして走査して光記録を行な
う多ビーム走査光記録装置において、前記偏光素子は、
レーザ光を分離する方向の光学軸を傾けてなる光学結晶
を含むことを特徴とする多ビーム走査光記録装置。1. Polarized light having a beam separation angle ratio that is a multiple of two.
The laser light is split into multiple beams by using a plurality of elements, and the light intensity is modulated by making each beam incident on a multi-channel modulator. On the photosensitive material, the angle of the array direction of the modulated multiple beams is changed. In a multi-beam scanning optical recording device that performs oblique scanning to perform optical recording , the polarizing element is
Optical crystal in which the optical axis for separating the laser beam is tilted
Multiple beam scanning optical recording apparatus which comprises a. 【請求項２】前記偏光素子が、ウォラストンプリズムで
あることを特徴とする請求項１記載の多ビーム走査光記
録装置。Wherein said polarizing element, Wollaston prism
Multiple beam scanning optical recording apparatus according to claim 1, wherein there. 【請求項３】前記マルチチャネル変調器として、マルチ
チャネル音響光学変調器を用い、前記偏光素子と前記マ
ルチチャネル音響光学変調器との間にレンズを配置し、
前記偏光素子を前記レンズの前側焦点位置に配置すると
ともに、前記マルチチャネル音響光学変調器を前記レン
ズの後側焦点位置に配置したことを特徴とする請求項１
記載の多ビーム走査光記録装置。As claimed in claim 3, wherein the multi-channel modulator, using a multi-channel acousto-optic modulator, to place the lens between the polarizing element and the Ma <br/> Ruchi channel acousto-optic modulator,
When placing the polarization element on the front focal point of the lens
Both claim 1, characterized in that the multi-channel acousto-optic modulator disposed in the rear focal position of the lens <br/>'s
The multi-beam scanning optical recording device described .