JP3414918B2 - 磁気軸受搭載回転電機 - Google Patents
磁気軸受搭載回転電機Info
- Publication number
- JP3414918B2 JP3414918B2 JP06222396A JP6222396A JP3414918B2 JP 3414918 B2 JP3414918 B2 JP 3414918B2 JP 06222396 A JP06222396 A JP 06222396A JP 6222396 A JP6222396 A JP 6222396A JP 3414918 B2 JP3414918 B2 JP 3414918B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electric machine
- magnetic bearing
- magnetic
- power supply
- bearing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C39/00—Relieving load on bearings
- F16C39/02—Relieving load on bearings using mechanical means
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/04—Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
- F16C32/0406—Magnetic bearings
- F16C32/044—Active magnetic bearings
- F16C32/0442—Active magnetic bearings with devices affected by abnormal, undesired or non-standard conditions such as shock-load, power outage, start-up or touchdown
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/04—Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
- F16C32/0406—Magnetic bearings
- F16C32/044—Active magnetic bearings
- F16C32/0444—Details of devices to control the actuation of the electromagnets
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Motor Or Generator Frames (AREA)
- Connection Of Motors, Electrical Generators, Mechanical Devices, And The Like (AREA)
Description
承される回転子を有する磁気軸受搭載回転機に関する。
滑油による汚染の防止、摩擦損失が殆ど無いことによる
省エネルギー化、回転軸の非接触支持による低振動化等
の要求に答える回転電機として磁気軸受搭載回転電機が
ある。この磁気軸受搭載回転電機では図4に示すよう
に、何等かの事情により磁気軸受での支持が不能になっ
た場合を考慮して、無潤滑或いは固体潤滑のボールベア
リング等からなるタッチダウン軸受が付加されている。
載した三相モータの実施例について図4及び図5を参照
して説明する。図4に於いて101は回転軸、102は
モータであり、モータ回転子102−1は回転軸101
の中央部に固定され、モータ固定子102−2はモータ
回転子102−1に対向して円周上の空隙を有して静止
側に固定されており、インバータによるモータ駆動装置
104によって駆動され、回転軸101を回転させる。
105は能動型のラジアル磁気軸受であり、回転軸10
1の円周上に空隙を有して静止側上下と左右に、またモ
ータ固定子102−2を挟んで軸方向に2組固定されて
いる。
変位を検出する変位センサであり、各ラジアル磁気軸受
105の側に位置して取付けられている。107はスラ
スト磁気軸受であり、回転軸101の軸端部に設けられ
た円盤111を軸方向に挟んで取付けられている。10
8は回転軸101の軸方向変位センサであり、スラスト
磁気軸受107側軸端部に取付けられている。109は
磁気軸受制御装置であり、ラジアル変位センサ106と
スラスト変位センサ108の検出信号によって、回転軸
101を安定に非接触に支持する様、ラジアル磁気軸受
105とスラスト磁気軸受107の電流を制御して磁気
吸引力を制御する。
ら成るタッチダウン軸受で、回転軸101とラジアル磁
気軸受106との間の空隙より、タッチダウン軸受11
0と回転軸101との空隙の方が小さくなる様にして固
定側に固定してある。また、スラスト磁気軸受107に
ついても同様に、スラスト磁気軸受107と回転軸10
1との空隙より、タッチダウン軸受110と回転軸10
1との空隙の方が小さくなる様に構成されている。
01の位置検出回路109−1によって得られた軸振れ
信号を比較回路109−3にて比較して、それらの軸振
れ信号がある設定値以上に達したとき、モータ電源を遮
断するためのトリップ信号の出力回路109−4と磁気
軸受の電源を遮断するためのトリップ信号の出力回路1
09−5を備えた異常検出回路109−6を具備してい
る。トリップ信号の出力回路109−4によって接点ス
イッチ109−7を作動させ、それによりモータ電源を
遮断するための接点スイッチ109−8を動作させる。
さらに、接点109−7を磁気軸受の電源を遮断する出
力回路109−5によって作動する接点スイッチ109
−9とシリーズに接続し、接点スイッチ109−8が動
作してから、つまりモータ電源が遮断してからでないと
磁気軸受の電源遮断接点スイッチ109−10が動作で
きない構成となっている。
106−6のフローチャートを示したもので、モータ電
源の遮断の信号と磁気軸受遮断信号の両方が成立して初
めて磁気軸受の電源が遮断される様な構成となってい
る。(特願平5−287144号)
り、タッチダウン時の回転軸の撓みの増大を避けること
ができ、タッチダウン軸受以外の部位で回転軸が固定側
の部材と接触して損傷するような問題はなく、安定した
モータの停止が行える様になる。しかし、ラジアル磁気
軸受105及びスラスト磁気軸受107共タッチダウン
させてしまうと、タッチダウン軸受のラジアル面とスラ
スト面の摩擦が同時に作用し、タッチダウン軸受110
の急激な温度上昇が助長され、タッチダウン軸受が受け
るダメージが大きくなり、1回のタッチダウンにより、
タッチダウン軸受をその都度交換する必要があった。こ
れにより交換のメンテナンスのために膨大な時間を要
し、非経済的であった。従って、これをさらに改善する
要望があった。
として用い、何らかの理由によりタッチダウンしても、
回転電機の回転軸とタッチダウン軸受が受けるダメージ
を少なくし、回転軸はもちろんタッチダウン軸受の継続
使用が出来る磁気軸受搭載回転電機を提供することを目
的とする。
目的を達成するために、同一の回転軸上に回転電機の回
転子と磁気軸受の回転子を有する磁気軸受搭載回転電機
において、回転軸の軸振れの大きさを検出する手段と、
検出された軸触れの大きさによって回転電機への電源を
遮断する手段と、各磁気軸受の電磁石へ供給する電流を
遮断する手段とを有する構成とする。又、回転電機の駆
動電源回路が遮断されないと磁気軸受制御装置の電源回
路が遮断できない構成とし、夫々の磁気軸受が独立して
制御装置の電源回路が遮断できる構成とする。
え付けられた回転軸の位置検出器によって検出された回
転軸の軸振れの大きさが所定値を越えると、回転電機の
駆動電源が先に遮断される。これにより回転軸がフリー
ラン状態になった後、つまり強制的な回転力が作用しな
くなってから、軸振れの大きさが所定の値を越えたこと
を示した位置検出器に対応した磁気軸受の電磁石に流れ
る電流が遮断され、その磁気軸受部のみがタッチダウン
する。これによりタッチダウン時の回転軸とタッチダウ
ン軸受の受ける衝撃力を僅少にすることができる。
2を用いて説明する。図1は本発明による磁気軸受を搭
載した三相モータの断面図および緊急時のモータおよび
磁気軸受制御装置の配線図である。図1に於いて101
は回転軸、102はモータであり、モータ回転子102
−1は回転軸101の中央部に固定され、モータ固定子
102−2はモータ回転子102−1に対向して円周上
の空隙を有して静止側に固定されており、インバータに
よるモータ駆動装置104によって駆動され、回転軸1
01を回転させる。105は能動型のラジアル磁気軸受
であり、回転軸101の円周上に空隙を有して静止側上
下と左右に、またモータステータ102−2を挟んで軸
方向に2組固定されている。
向の軸変位を検出する変位センサであり、各ラジアル磁
気軸受105a,bの側に位置して取付けられている。
107はスラスト磁気軸受であり、回転軸101の軸端
部に設けられた円盤111を軸方向に挟んで取付けられ
ている。108は回転軸101の軸方向変位センサであ
り、スラスト磁気軸受107側軸端部に取付けられてい
る。109は磁気軸受制御装置であり、各ラジアル変位
センサ106a,bとスラスト変位センサ108の検出
信号によって、回転軸101を安定に非接触に支持する
様、各ラジアル磁気軸受105a,bとスラスト磁気軸
受107の電流を制御して磁気吸引力を制御する。
ら成るタッチダウン軸受で、回転軸101とラジアル磁
気軸受106a,bとの間の空隙よりタッチダウン軸受
110と回転軸101との空隙の方が小さくなる様にし
て固定側に固定してある。また、スラスト磁気軸受10
7についても同様に、スラスト磁気軸受107と回転軸
101との空隙より、タッチダウン軸受110と回転軸
101との空隙の方が小さくなる様に構成されている。
101の位置検出回路109−1Rによって得られた軸
振れ信号を、比較回路109−3R及び109−3Sに
て比較して、それらの軸振れ信号が夫々ある設定値以上
に達したとき、モータ電源を遮断するためのトリップ信
号の出力回路109−4R及び109−4Sとラジアル
磁気軸受の電源を遮断するためのトリップ信号の出力回
路109−5R及びスラスト磁気軸受の電源を遮断する
ためのトリップ信号の出力回路109−5Sを備えた異
常検出回路109−6Rと109−6Sを具備してい
る。
109−4Sによって夫々接点スイッチ109−7R或
いは109−7Sを作動させ、それによりモータ電源を
遮断するための接点スイッチ109−8R或いは109
−8Sを動作させる。更に、接点109−7Rをラジア
ル磁気軸受の電源を遮断する出力回路109−5Rによ
って作動する接点スイッチ109−9Rとシリーズに接
続し、接点スイッチ109−8Rが動作してから、つま
りモータ電源が遮断してからでないとラジアル磁気軸受
の電源遮断接点スイッチ109−10Rが動作できない
構成となっている。
の電源を遮断する出力回路109−5Sによって作動す
る接点スイッチ109−9Sとシリーズに接続し、ラジ
アル磁気軸受と同様に接点スイッチ109−8Sが動作
してから、つまりモータ電源が遮断してからでないとス
ラスト磁気軸受の電源遮断接点スイッチ109−10S
が動作できない構造となっている。つまり、上述の様に
ラジアル磁気軸受とスラスト磁気軸受の軸振れ信号,比
較回路が夫々分かれていて、夫々の磁気軸受の遮断が独
立に行える様になっている。
106−6Rと109−6Sのフローチャートを示した
もので、モータ電源の遮断の信号とラジアル磁気軸受遮
断信号の両方が成立して初めてラジアル磁気軸受の電源
が遮断され、またモータ電源の遮断の信号とスラスト磁
気軸受遮断信号の両方が成立して初めてスラスト磁気軸
受の電源が遮断される様にラジアル磁気軸受とスラスト
磁気軸受の遮断がそれぞれ独立した構成となっている。
先に遮断されるため、磁気軸受電源が遮断されたタッチ
ダウン時に、強制的なモータの回転力による遠心力の作
用やモータの鉄心部の偏心による磁気吸引力の作用が全
くなくなる。また、ラジアル方向の変位信号としきい値
との比較及びスラスト方向の変位信号としきい値との比
較が独立しており、夫々の磁気軸受の遮断が独立して行
われるため、変位の異常を示した方向の磁気軸受だけが
遮断されることになる。
回転軸の撓みの増大を避けることができ、タッチダウン
軸受以外の部位で回転軸が固定側の部材と接触して損傷
するような問題はなく、安定したモータの停止が行え
る。また、変位の異常がスラスト方向あるいはラジアル
方向のどちらか一方に生じた場合、その方向の磁気軸受
のみ遮断され、他方の磁気軸受は作動しているため、タ
ッチダウン箇所がスラストあるいはラジアルのどちらか
一方となり、タッチダウン時のダメージを少なく抑える
ことができる。
転子の軸直角方向所定の軸振れ、つまり振動振幅により
2個のラジアル磁気軸受を作動するための電源を遮断す
る回路を一つにまとめ、回転子の軸方向の所定の振動振
幅により1個のスラスト磁気軸受を作動するための電源
を遮断する回路と独立して備えた磁気軸受搭載モータを
例に説明した。しかし、ラジアル磁気軸受及びスラスト
磁気軸受はそれぞれ一つあるいは複数個でも良く、複数
個の磁気軸受に対応したそれぞれの所定の振動振幅によ
り、それぞれ独立(ラジアル磁気軸受を複数個具備して
いるときは、それぞれのラジアル磁気軸受毎に独立、ス
ラスト磁気軸受についても同様)した遮断回路を有する
ものも本発明に包含される。また、上記の例ではラジア
ル磁気軸受とスラスト磁気軸受を必ず備えた回転電機で
説明したが、ラジアル磁気軸受あるいはスラスト磁気軸
受どちらか一方でも良く、さらに磁気軸受の遮断基準と
して軸の振動振幅を用いて説明したが、図3のフローチ
ャートに示すように軸の静的変位を基準としても良い。
れているので、タッチダウンの際、回転軸に過大な磁気
吸引力が作用する事がなく、またタッチダウン箇所を限
定することができるため、タッチダウンベアリングが受
ける衝撃を少なく抑えることができ、タッチダウン軸受
の複数回の使用が可能となり、タッチダウンベアリング
交換のメンテナンスが節約できる。さらにタッチダウン
時の衝撃も僅少に抑えることができることにより、モー
タの信頼性も向上する。
の断面図及び磁気軸受制御装置の配線図、
路のフローチャート、
の異常検出回路のフローチャート、
図及び磁気軸受制御装置の配線図、
ローチャート。
タ、104…モータ駆動装置、105,105a,10
5b…ラジアル磁気軸受、106,106a,106b
…ラジアル方向軸変位センサ、107…スラスト磁気軸
受、108…スラスト方向軸変位センサ、 109…磁
気軸受制御装置、109−1…回転軸の位置検出回路、
109−1R…回転軸のラジアル方向位置検出回路、1
09−1S…回転軸のスラスト方向位置検出回路、10
9−2…磁気軸受出力回路、109−2R…ラジアル磁
気軸受出力回路、109−2S…スラスト磁気軸受出力
回路、109−3…変位信号比較回路、109−3R…
ラジアル方向変位比較回路、109−3S…スラスト方
向変位比較回路、109−4,109−4R,109−
4S…モータのトリップ信号出力回路109−5…磁気
軸受遮断のためのトリップ回路、109−5R…ラジア
ル磁気軸受遮断のためのトリップ回路、109−5S…
スラスト磁気軸受遮断のためのトリップ回路、109−
6…磁気軸受異常検出回路、109−6R…ラジアル磁
気軸受異常検出回路、109−6S…スラスト磁気軸受
異常検出回路、109−7…磁気軸受の接点スイッチ、
109−7R…ラジアル磁気軸受の接点スイッチ、10
9−7S…スラスト磁気軸受の接点スイッチ、109−
8,109−8R,109−8S…モータ遮断用接点ス
イッチ、109−9,109−9R,109−9S…接
点スイッチ、109−10…磁気軸受遮断用接点スイッ
チ、109−10R…ラジアル磁気軸受遮断用接点スイ
ッチ、109−10S…スラスト磁気軸受遮断用接点ス
イッチ。
Claims (4)
- 【請求項1】 回転軸に直角方向の回転軸の姿勢を制御
する一個或いは複数個のラジアル磁極鉄心と、回転軸の
軸方向の姿勢を制御する一個或いは複数個のスラスト磁
極鉄心と、前記夫々の磁極鉄心からなる電磁石の磁気吸
引力を制御する制御回路により構成される一個或いは複
数個のラジアル磁気軸受と一個或いは複数個のスラスト
磁気軸受によって支承される回転子を有する磁気軸受搭
載回転電機と、前記磁気軸受搭載回転電機を駆動する回
転電機駆動用の電源で前記回転子の振動振幅の大きさに
よって回転電機の駆動電源を遮断させる手段と、前記磁
気軸受の電磁石の電源を遮断させる手段を備え、前記回
転電機駆動電源が遮断されないと前記磁気軸受の電源を
遮断できないように構成される磁気軸受搭載回転電機に
おいて、回転子の軸直角方向の所定の振動振幅により前
記一個或いは複数個のラジアル磁気軸受を作動するため
の電源を一括して遮断する回路と、回転子の軸方向の所
定の振動振幅により前記一個或いは複数個のスラスト磁
気軸受を作動するための電源を一括して遮断する回路と
を独立して備えたことを特徴とする磁気軸受搭載回転電
機。 - 【請求項2】 回転軸に直角方向の回転軸の姿勢を制御
する一個或いは複数個のラジアル磁極鉄心と、回転軸の
軸方向の姿勢を制御する一個或いは複数個のスラスト磁
極鉄心と、前記夫々の磁極鉄心からなる電磁石の磁気吸
引力を制御する制御回路により構成される一個或いは複
数個のラジアル磁気軸受と一個或いは複数個のスラスト
磁気軸受によって支承される回転子を有する磁気軸受搭
載回転電機と、前記磁気軸受搭載回転電機を駆動する回
転電機駆動用の電源で前記回転子の変位の大きさによっ
て回転電機の駆動電源を遮断させる手段と、前記磁気軸
受の電磁石の電源を遮断させる手段を備え、前記回転電
機駆動電源が遮断されないと前記磁気軸受の電源を遮断
できないように構成される磁気軸受搭載回転電機におい
て、回転子の軸直角方向の所定の変位により前記一個或
いは複数個のラジアル磁気軸受を作動するための電源を
一括して遮断する回路と、回転子の軸方向の所定の変位
により前記一個或いは複数個のスラスト磁気軸受を作動
するための電源を一括して遮断する回路とを独立して備
えたことを特徴とする磁気軸受搭載回転電機。 - 【請求項3】 回転軸に直角方向の回転軸の姿勢を制御
する一個或いは複数個のラジアル磁極鉄心と、回転軸の
軸方向の姿勢を制御する一個或いは複数個のスラスト磁
極鉄心と、前記夫々の磁極鉄心からなる電磁石の磁気吸
引力を制御する制御回路により構成される一個或いは複
数個のラジアル磁気軸受と一個或いは複数個のスラスト
磁気軸受によって支承される回転子を有する磁気軸受搭
載回転電機と、前記磁気軸受搭載回転電機を駆動する回
転電機駆動用の電源で、前記回転子の振動振幅の大きさ
によって回転電機の駆動電源を遮断させる手段と、前記
磁気軸受の電磁石の電源を遮断させる手段を備え、前記
回転電機駆動電源が遮断されないと前記磁気軸受の電源
を遮断できないように構成される磁気軸受搭載回転電機
において、回転子の軸直角方向の所定の振動振幅により
前記一個或いは複数個のラジアル磁気軸受を作動するた
めの夫々の電源を遮断する回路と、回転子の軸方向の所
定の振動振幅により前記一個或いは複数個のスラスト磁
気軸受を作動するための夫々の電源を遮断する回路とを
全て独立して備えたことを特徴とする磁気軸受搭載回転
電機。 - 【請求項4】 回転軸に直角方向の回転軸の姿勢を制御
する一個或いは複数個のラジアル磁極鉄心と、回転軸の
軸方向の姿勢を制御する一個或いは複数個のスラスト磁
極鉄心と、前記夫々の磁極鉄心からなる電磁石の磁気吸
引力を制御する制御回路により構成される一個或いは複
数個のラジアル磁気軸受と一個或いは複数個のスラスト
磁気軸受によって支承される回転子を有する磁気軸受搭
載回転電機と、前記磁気軸受搭載回転電機を駆動する回
転電機駆動用の電源で、前記回転子の変位の大きさによ
って回転電機の駆動電源を遮断させる手段と、前記磁気
軸受の電磁石の電源を遮断させる手段を備え、前記回転
電機駆動電源が遮断されないと前記磁気軸受の電源を遮
断できないように構成される磁気軸受搭載回転電機にお
いて、回転子の軸直角方向の所定の変位により前記一個
或いは複数個のラジアル磁気軸受を作動するための夫々
の電源を遮断する回路と、回転子の軸方向の所定の変位
により前記一個或いは複数個のスラスト磁気軸受を作動
するための電源を一括して遮断する回路とを全て独立し
て備えたことを特徴とする磁気軸受搭載回転電機。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP06222396A JP3414918B2 (ja) | 1996-03-19 | 1996-03-19 | 磁気軸受搭載回転電機 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP06222396A JP3414918B2 (ja) | 1996-03-19 | 1996-03-19 | 磁気軸受搭載回転電機 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09261919A JPH09261919A (ja) | 1997-10-03 |
JP3414918B2 true JP3414918B2 (ja) | 2003-06-09 |
Family
ID=13193947
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP06222396A Expired - Lifetime JP3414918B2 (ja) | 1996-03-19 | 1996-03-19 | 磁気軸受搭載回転電機 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3414918B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
AU6586000A (en) * | 1999-08-31 | 2001-03-26 | Eskom | The protection of an electricity generator |
DE102005032184A1 (de) * | 2005-07-09 | 2007-01-18 | Saurer Gmbh & Co. Kg | Verfahren zum Betreiben eines elektromotorischen Antriebs |
-
1996
- 1996-03-19 JP JP06222396A patent/JP3414918B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH09261919A (ja) | 1997-10-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5166566A (en) | Magnetic bearings for a high speed rotary vacuum pump | |
US6617734B2 (en) | Magnetic bearing control device | |
US6545378B2 (en) | Electric spindle motor with magnetic bearing and hydrodynamic bearing | |
JP2006513687A (ja) | 最小電力磁気軸受および電動機/発電機を備えるエネルギー貯蔵フライホイール | |
EP2012019B1 (en) | Bearing apparatus and centrifugal compressor provided with same | |
US20080206079A1 (en) | Turbo-molecular pump and touchdown bearing device | |
JP2001508155A (ja) | 加速度接地用バックアップベアリング | |
JPS59144333A (ja) | モ−タ | |
JP3414918B2 (ja) | 磁気軸受搭載回転電機 | |
JP3820479B2 (ja) | フライホイール装置 | |
JP2620855B2 (ja) | 磁気軸受装置 | |
JPH06311699A (ja) | 磁気軸受搭載回転電機 | |
JPH09303395A (ja) | 磁気軸受装置 | |
JP2541371B2 (ja) | 高速度回転真空ポンプの磁気軸受構造 | |
JPS60190697A (ja) | タ−ボ分子ポンプにおける磁気軸受の制御方式 | |
JPH1084656A (ja) | 磁気浮上回転機械 | |
JPH10184586A (ja) | ターボ分子ポンプ | |
JPH08242569A (ja) | 無整流子モータ | |
JPH0686523A (ja) | 無整流子モータ | |
JP3779105B2 (ja) | 磁気軸受の停電補償システム | |
JP2000136791A (ja) | ターボ分子ポンプ | |
JP3042545B2 (ja) | 磁気軸受装置 | |
JP3035876B2 (ja) | キャンドモータポンプ | |
JPH076541B2 (ja) | 磁気軸受装置 | |
JPH0562693B2 (ja) |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20030318 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080404 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090404 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100404 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100404 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110404 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120404 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130404 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130404 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140404 Year of fee payment: 11 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |