JP3414569B2 - Fluid pressure actuator - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 【０００１】 【発明の属する技術分野】本発明は、産業用ロボット等
に用いられる流体圧アクチュエータに関する。この流体
圧アクチュエータは、その構成部品であるテーブルにワ
ークやツール等を搭載し、流体圧の供給によってこれら
を移送するものである。 【０００２】 【従来の技術】本願出願人が先に提案した実開平４−１
９９０４号考案においては、内部にシリンダを一体的に
設けたテーブルに直動ベアリングのベアリングブロック
が連結されており、よってテーブルが駆動機能とガイド
機能とを兼ね備えた構成となっている。 【０００３】しかしながら、このようにテーブルが二種
類の機能を兼ね備えていると、高精度で安価な市販の直
動ベアリングを採用しているにもかかわらず、その精度
が損なわれるという問題がある。 【０００４】 【発明が解決しようとする課題】本発明は以上の点に鑑
み、テーブルがガイド機能を備えるとともに別の部材が
駆動機能を備えるように構成されており、もってテーブ
ルが高精度に作動することが確保されている流体圧アク
チュエータを提供することを目的とする。 【０００５】 【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の流体圧アクチュエータは、シリンダチュー
ブと、前記シリンダチューブに対して相対移動可能にこ
のシリンダチューブ内に設けられたピストンと、前記シ
リンダチューブを挿入穴に内挿固着し、圧縮空気によっ
て進退自在に変位する駆動部材と、前記駆動部材の変位
に伴ってガイド部材に沿ってスライド自在に従動するテ
ーブルと、を備え、前記挿入穴と交差するように前記駆
動部材に設けられた貫通穴より連結用ねじを前記テーブ
ルにねじ込んで、前記駆動部材と前記テーブルとを連結
することにした。 【０００６】 【作用】上記構成を備えた本発明の流体圧アクチュエー
タにおいては、テーブルがガイド部材に対して相対移動
するガイド機能を備えるとともに、駆動部材が圧縮空気
の供給を受けてテーブルを相対移動させる駆動機能を備
えていて、テーブルがガイド機能だけを備えているため
に、テーブルを高精度に作動させることが可能である。 【０００７】テーブルと駆動部材とを別体として両部材
を連結すれば、直動ベアリングの精度を十分に発揮させ
ることが可能であるが、両部材を連結する場合、通常の
手段では、駆動部材の内部に設けられたシリンダを避け
るようにして、連結用ねじを挿入する穴が設けられるこ
とになる。したがってこの穴がシリンダを迂回するよう
に設けられるために、必要以上に駆動部材を大きくした
りシリンダ径を小さくしたりしなければならず、これを
原因として、十分な推力を得られなくなる虞がある。こ
れに対して、本発明によれば、駆動部材の内部にシリン
ダが一体的に設けられておらず、以下のように構成され
ているために、必要以上に駆動部材を大きくしたりシリ
ンダ径を小さくしたりする必要がない。 【０００８】 【発明の実施の形態】すなわち、駆動部材に、この駆動
部材と別体のシリンダチューブを挿入するための挿入穴
が設けられるとともに、駆動部材をテーブルに連結すべ
く用いられる連結用ねじをねじ込むための貫通穴が設け
られており、後者の貫通穴が、外部からテーブルへ向け
て、前者の挿入穴と交差するように設けられている。ま
た駆動部材に対してシリンダチューブが別体であるため
に、挿入穴にシリンダチューブを後付けすることが可能
である。したがってアクチュエータの当該構成部分が以
下のようにして組み立てられることになる。 【０００９】すなわち、テーブルに対して駆動部材を位
置合わせして、駆動部材に設けられた貫通穴に連結用ね
じを挿入し、この連結用ねじをテーブルにねじ込んで、
先ずテーブルに駆動部材を連結する。テーブルには予
め、対応する位置にねじ穴を設けておく。そしてこのよ
うにしてテーブルに駆動部材を連結してから、この駆動
部材と別体のシリンダチューブを、駆動部材に設けられ
た挿入穴に挿入する。したがってこのようにすれば、駆
動部材の内部に設けられるシリンダを避けることなく貫
通穴を設けることが可能となるために、必要以上に駆動
部材を大きくしたりシリンダ径を小さくしたりする必要
がなく、これによって駆動部材をコンパクト化すること
が可能となる。また連結用ねじによってテーブルに駆動
部材を連結してから駆動部材の挿入穴にシリンダチュー
ブを挿入するため、シリンダの内壁に連結の痕跡が残る
ことがない。 【００１０】また連結用ねじの他に、キー、ピンまたは
円筒コロ等よりなる嵌合部材をテーブルおよび駆動部材
の双方に嵌合して、作動時にテーブルに加わる衝撃によ
って駆動部材との間に発生する剪断力を支えるようにす
ると、より強度の高い連結構造を構成することが可能と
なる。またこのようにすると連結用ねじを小径化するこ
とが可能となり、駆動部材を更にコンパクト化すること
が可能となる。 【００１１】 【実施例】つぎに本考案の実施例を図面にしたがって説
明する。図１は当該実施例に係る流体圧アクチュエータ
の一部切欠した平面図、図２は正面図、図３は側面図
（左側面図）、図４は連結部材単品の断面図である。 【００１２】図１ないし図３において、先ず、符号１は
固定部を示しており、この固定部１が以下のように構成
されている。 【００１３】すなわち、一対の端部材２，３が互いに平
行に配置されており、この一対の端部材２，３の間にレ
ール状のガイド部材４が端部材２，３と直交するように
架設されるとともに、ロッド５がガイド部材４と平行に
架設されている。ガイド部材４は複数のボルト６によっ
て端部材２，３に硬く固定されている。ロッド５は中空
であって、かつ軸方向に二分割されており、分割体７，
８同士の間にピストン９が挾まれている。ロッド５の分
割体７，８はそれぞれ、その軸方向一端部７ａ，８ａに
おいて、端部材２，３の内側側面に設けられた挿入凹部
１０，１１に挿入されるとともに、軸方向他端部７ｂ，
８ｂにおいて、ピストン９の軸方向端面に設けられた挿
入用凹部１２，１３に挿入されている。 【００１４】端部材２，３の外側側面にそれぞれ配管ポ
ート１４，１５が設けられており、この配管ポート１
４，１５とロッド５の分割体７，８の中空部７ｃ，８ｃ
とを連通するように、端部材２，３にそれぞれ接続路１
６，１７が設けられている。また中空部７ｃ，８ｃと後
記するシリンダチューブ３６内部の両室を連通するよう
に、ピストン９の軸方向端面にそれぞれ、連通用凹部１
８，１９が挿入用凹部１２，１３と一部重なるようにし
て設けられている。また端部材２，３にそれぞれ、後記
する移動部３１が往復動のストローク限に来たときに緩
衝作用をなすショックアブソーバ２０，２１が取り付け
られている。ショックアブソーバ２０，２１はそれぞれ
ねじ込み式であって、よってその端部材２，３に対する
取付位置を軸方向に調整可能である。 【００１５】図１ないし図３において、符号３１は移動
部を示しており、この移動部３１が以下のように構成さ
れている。 【００１６】すなわち、略箱形を呈し、ワークまたはツ
ール等（以下、ワーク等と称する）の搭載面３３を備え
たテーブル３２がガイド部材４の上に転動体（図示せ
ず）を介して、ガイド部材４の長手方向に沿って相対移
動自在に高精度に組み合わされており、このテーブル３
２に駆動部材３４が連結され、この駆動部材３４の略中
央に挿入穴３５が貫通形成され、この挿入穴３５にシリ
ンダチューブ３６が内挿固着され、このシリンダチュー
ブ３６の内周側に上記したロッド５およびピストン９が
相対移動自在に組み込まれている。シリンダチューブ３
６の両端はカバー３７，３８によって閉塞されており、
このカバー３７，３８に対してロッド５の分割体７，８
が相対移動自在に貫挿されている。 【００１７】テーブル３２に対して駆動部材３４が、以
下のようにして連結されている。 【００１８】すなわち、先ず、図４に良く示されている
ように、シリンダチューブ３６を内挿固着する挿入穴３
５を貫通形成した駆動部材３４に、挿入穴３５と直角に
交差するように、貫通穴３９が二組、互いに平行に設け
られており、この貫通穴３９がそれぞれ、挿入用開口部
４０と連結用開口部４１とを同軸上に備えている。挿入
用開口部４０は、テーブル３２に駆動部材３４を連結す
る際に連結用ねじ４３を矢印Ａ方向に差し通すためのも
ので、その内径寸法を連結用ねじ４４の大径の頭部の外
径寸法より大きく設定されている。一方、連結用開口部
４１は、テーブル３２に駆動部材３４を連結する際に連
結用ねじ４４の小径のねじ部を通すとともに頭部を着座
させるもので、頭部収容部４２と、ねじ部貫挿部４３と
を備えており、頭部収容部４２が、連結用ねじ４４の頭
部の外径寸法より大きな内径寸法と、頭部の軸方向長さ
（ねじ込み方向長さ）より大きな軸方向長さ（ねじ込み
方向深さ）とを備えており、ねじ部貫挿部４３が、連結
用ねじ４４の頭部の外径寸法より小さく、かつねじ部の
外径寸法より大きな内径寸法を備えている。また駆動部
材３４と対面することになるテーブル３２の側面に、連
結用ねじ４４のねじ部をねじ込むねじ穴（図示せず）が
二つ、それぞれねじ部貫挿部４３に対応して設けられて
いる。一部において説明の繰り返しになるが、挿入用開
口部４０、頭部収容部４２、ねじ部貫挿部４３およびね
じ穴は同軸上に配置されている。 【００１９】また図１および図４に示したように、二組
の貫通穴３９のねじ部貫挿部４３の間に位置して、駆動
部材３４の側面に嵌合凹部４５が設けられるとともに、
これと対向してテーブル３２の側面に嵌合用凹部４６が
設けられており、この双方の凹部４５，４６に、キー、
ピンまたは円筒コロ等よりなる嵌合部材４７が嵌合され
ている。この嵌合構造は、作動時にテーブル３２に加わ
る衝撃によって駆動部材３４との間に発生する剪断力を
これによって支えて、ねじ４４にかかる負担を軽減する
ものである。また駆動部材３４の変位方向端面にそれぞ
れ、ショックアブソーバ２０，２１に当接する受け部材
４８，４９が取り付けられている。 【００２０】上記構成を備えた流体アクチュエータは、
産業用ロボット等に装着され、テーブル３２にワーク等
を搭載し、圧縮空気の供給によってこのワーク等を直線
的に往復動させるもので、以下の作用効果を奏する。 【００２１】 ガイド部材４に対し相対移動するガイ
ド機能を備えたテーブル３２と、圧縮空気の供給を受け
てテーブル３２を相対移動させる駆動機能を備えた駆動
部材３４とが別体とされているために、高精度で安価な
市販のベアリング（ガイド部材４、転動体およびテーブ
ル３２よりなる）の精度を十分に発揮させることができ
る。 駆動部材３４に直接シリンダを設けず、シリン
ダチューブ３６を内挿固着することにしたために、必要
以上に駆動部材３４を大きくしたりシリンダ径を小さく
したりすることなく、駆動部材３４をコンパクトにする
ことができる。 図５または図６に示すように、テー
ブル３２およびガイド部材４の数の設定が容易で、用途
に応じた剛性を持った流体圧アクチュエータを容易に供
給することができる。 【００２２】 テーブル３２の高さが市販のベアリン
グそのままなので、ユーザーにおいて市販のベアリング
を購入し、テーブル３２およびガイド部材３４を任意に
追加することができ、剛性向上の改造を容易に行なうこ
とができる。 端部材２，３にそれぞれ、軸方向に変位可能にショッ
クアブソーバ２０，２１が備えられているために、スト
ロークエンドでの緩衝効果があるとともに、テーブル３
２のストロークエンド位置の微妙な設定が可能である。 駆動部材３４およびテーブル３２双方の凹部４５，
４６に、キー、ピンまたは円筒コロ等よりなる嵌合部材
４７が嵌合されているために、作動時にテーブル３２に
加わる衝撃によって駆動部材３４との間に発生する剪断
力をこれによって支えることができる。したがって、よ
り強度の高い連結構造を提供することができる。また併
せて、これによって連結用ねじ４４を小径化することが
でき、駆動部材３４を更にコンパクト化することができ
る。 【００２３】 【発明の効果】本発明は、以下の効果を奏する。 【００２４】 ガイド部材に対し相対移動するガイド
機能を備えたテーブルと、圧縮空気の供給を受けてテー
ブルを相対移動させる駆動機能を備えた駆動部材とが別
体とされているために、高精度で安価な市販のベアリン
グの精度を十分に発揮させることができる。 駆動部
材に直接シリンダを設けず、シリンダチューブを内挿固
着することにしたために、必要以上に駆動部材を大きく
したりシリンダ径を小さくしたりすることなく、駆動部
材をコンパクトにすることができる。 テーブルおよ
びガイド部材の数の設定が容易で、用途に応じた剛性を
持った流体圧アクチュエータを容易に供給することがで
きる。 テーブルの高さが市販のベアリングそのまま
なので、ユーザーにおいて市販のベアリングを購入し、
テーブルおよびガイド部材を任意に追加することがで
き、剛性向上の改造を容易に行なうことができる。Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a fluid pressure actuator used for an industrial robot or the like. In this fluid pressure actuator, a work, a tool, and the like are mounted on a table, which is a component thereof, and are transferred by supplying a fluid pressure. 2. Description of the Related Art Japanese Unexamined Utility Model Application Publication No. Hei.
In the invention of No. 9904, a bearing block of a linear motion bearing is connected to a table in which a cylinder is integrally provided, and thus the table has a configuration having both a driving function and a guiding function. However, if the table has two functions as described above, there is a problem that the accuracy is impaired even though a high-precision and inexpensive commercially available linear motion bearing is employed. [0004] In view of the above, the present invention is configured such that the table has a guide function and another member has a drive function, so that the table can be operated with high precision. It is an object of the present invention to provide a fluid pressure actuator which is ensured to operate. [0005] To achieve the above object, a fluid pressure actuator according to the present invention comprises a cylinder tube.
And blanking, a piston provided relatively movable in the cylinder tube with respect to the cylinder tube, a drive member to which the to inner挿固wearing cylinder tube insertion hole is displaced retractably by the compressed air, the driving A table that is slidably driven along the guide member with the displacement of the member, and a connection screw is screwed into the table from a through hole provided in the drive member so as to intersect with the insertion hole, The driving member and the table are connected. In the fluid pressure actuator of the present invention having the above structure, the table has a guide function for moving the table relative to the guide member, and the drive member receives the supply of the compressed air to move the table relatively. Since the table has only a guide function, the table can be operated with high accuracy. [0007] If the table and the driving member are connected separately and the two members are connected, it is possible to sufficiently exert the accuracy of the linear motion bearing. The hole for inserting the connecting screw is provided so as to avoid the cylinder provided inside the inside. Therefore, since this hole is provided so as to bypass the cylinder, it is necessary to increase the drive member or reduce the cylinder diameter more than necessary, and there is a possibility that sufficient thrust may not be obtained due to this. is there. On the other hand, according to the present invention, since the cylinder is not integrally provided inside the driving member, and is configured as follows, the driving member is enlarged unnecessarily or the cylinder diameter is increased more than necessary. There is no need to make it smaller. [0008] That is, a drive member is provided with an insertion hole for inserting a cylinder tube separate from the drive member, and a connecting screw used to connect the drive member to a table. Is provided, and the latter through hole is provided so as to intersect the former insertion hole from outside to the table. Further, since the cylinder tube is separate from the drive member, the cylinder tube can be retrofitted to the insertion hole. Therefore, the components of the actuator are assembled as follows. That is, the driving member is positioned with respect to the table, a connecting screw is inserted into a through hole provided in the driving member, and the connecting screw is screwed into the table.
First, the driving member is connected to the table. The table is provided with screw holes at corresponding positions in advance. After the drive member is connected to the table in this manner, a cylinder tube separate from the drive member is inserted into an insertion hole provided in the drive member. Therefore, in this case, it is possible to provide the through hole without avoiding the cylinder provided inside the driving member, so that it is not necessary to increase the driving member or reduce the cylinder diameter more than necessary. Thus, the driving member can be made compact. Further, since the cylinder tube is inserted into the insertion hole of the drive member after the drive member is connected to the table by the connection screw, no trace of the connection remains on the inner wall of the cylinder. In addition to the connecting screw, a fitting member such as a key, a pin, a cylindrical roller or the like is fitted to both the table and the driving member, and is generated between the driving member and the table by an impact applied to the table during operation. By supporting the shearing force, it is possible to form a connection structure having higher strength. Further, in this case, the diameter of the connecting screw can be reduced, and the driving member can be further downsized. Next, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. 1 is a partially cutaway plan view of the fluid pressure actuator according to the embodiment, FIG. 2 is a front view, FIG. 3 is a side view (left side view), and FIG. 4 is a cross-sectional view of a single connecting member. In FIG. 1 to FIG. 3, reference numeral 1 denotes a fixed portion, and the fixed portion 1 is configured as follows. That is, a pair of end members 2 and 3 are arranged in parallel with each other, and a rail-shaped guide member 4 is installed between the pair of end members 2 and 3 so as to be orthogonal to the end members 2 and 3. At the same time, the rod 5 is installed in parallel with the guide member 4. The guide member 4 is rigidly fixed to the end members 2 and 3 by a plurality of bolts 6. The rod 5 is hollow and axially divided into two parts.
A piston 9 is sandwiched between the eight. The divided bodies 7 and 8 of the rod 5 are inserted into insertion recesses 10 and 11 provided on the inner side surfaces of the end members 2 and 3 at one axial end 7a and 8a, respectively, and the other axial end 7b. ,
At 8b, the piston 9 is inserted into insertion recesses 12 and 13 provided on the axial end surface of the piston 9. Piping ports 14 and 15 are provided on the outer side surfaces of the end members 2 and 3, respectively.
Hollow portions 7c, 8c of divided bodies 7, 8 of 4, 5 and rod 5
Are connected to the end members 2 and 3 so that
6, 17 are provided. The communication recesses 1 are provided on the axial end faces of the piston 9 so as to communicate the hollow portions 7c and 8c with both chambers inside the cylinder tube 36 described later.
8 and 19 are provided so as to partially overlap the insertion recesses 12 and 13. Further, shock absorbers 20 and 21 are mounted on the end members 2 and 3, respectively, and serve as a buffering function when a moving section 31 to be described later reaches a reciprocating stroke limit. Each of the shock absorbers 20 and 21 is a screw-in type, so that the mounting position with respect to the end members 2 and 3 can be adjusted in the axial direction. In FIG. 1 to FIG. 3, reference numeral 31 denotes a moving unit, and the moving unit 31 is configured as follows. That is, a table 32 having a substantially box shape and having a mounting surface 33 for a work or a tool (hereinafter, referred to as a work or the like) is placed on the guide member 4 via a rolling element (not shown). The table 3 is combined with high precision so as to be relatively movable along the longitudinal direction of the guide member 4.
2, a drive member 34 is connected to the drive member 34, and an insertion hole 35 is formed substantially at the center of the drive member 34. A cylinder tube 36 is inserted and fixed in the insertion hole 35, and the above-described structure is provided on the inner peripheral side of the cylinder tube 36. The rod 5 and the piston 9 are incorporated so as to be relatively movable. Cylinder tube 3
6 are closed by covers 37 and 38,
The divided bodies 7, 8 of the rod 5 are attached to the covers 37, 38.
Are inserted so as to be relatively movable. A driving member 34 is connected to the table 32 as follows. That is, first, as best shown in FIG. 4, the insertion holes 3 for inserting and fixing the cylinder tube 36 thereinto are inserted.
The drive member 34 having the through-hole 5 formed therein is provided with two sets of through-holes 39 parallel to each other so as to intersect at right angles with the insertion holes 35, and the through-holes 39 are respectively connected to the insertion openings 40. Opening 41 is provided coaxially. The insertion opening 40 is for inserting the connection screw 43 in the direction of arrow A when connecting the drive member 34 to the table 32, and has an inner diameter dimension outside the large diameter head of the connection screw 44. It is set larger than the diameter dimension. On the other hand, the connection opening 41 allows a small-diameter screw portion of the connection screw 44 to pass therethrough and seat the head when the drive member 34 is connected to the table 32. The head receiving portion 42 has an inner diameter larger than the outer diameter of the head of the connecting screw 44 and an axial length larger than the axial length (length in the screwing direction) of the head. The screw portion penetrating portion 43 has an inner diameter smaller than the outer diameter of the head of the connecting screw 44 and larger than the outer diameter of the screw portion. I have. Also, two screw holes (not shown) for screwing the threaded portions of the connection screws 44 are provided on the side surface of the table 32 facing the drive member 34, respectively, corresponding to the threaded portions 43. I have. Although the description will be partially repeated, the insertion opening 40, the head accommodating portion 42, the screw portion penetrating portion 43, and the screw hole are coaxially arranged. As shown in FIGS. 1 and 4, a fitting recess 45 is provided on the side surface of the drive member 34 between the threaded insertion portions 43 of the two sets of through holes 39.
Opposite to this, a recess 46 for fitting is provided on the side surface of the table 32, and a key,
A fitting member 47 made of a pin or a cylindrical roller is fitted. This fitting structure supports the shear force generated between the drive member 34 and the drive member 34 by the impact applied to the table 32 during operation, thereby reducing the load on the screw 44. Further, receiving members 48 and 49 abutting on the shock absorbers 20 and 21 are attached to end faces in the displacement direction of the driving member 34, respectively. The fluid actuator having the above configuration is
A work or the like is mounted on an industrial robot or the like, and a work or the like is mounted on the table 32, and the work or the like is linearly reciprocated by the supply of compressed air. The table 32 having a guide function for moving the table 32 relative to the guide member 4 and the drive member 34 having a drive function for moving the table 32 relative to the supply of compressed air are provided separately. In addition, the accuracy of a high-precision and inexpensive commercially available bearing (comprising the guide member 4, the rolling element and the table 32) can be sufficiently exhibited. Since the drive member 34 is not directly provided with a cylinder and the cylinder tube 36 is inserted and fixed , the drive member 34 can be made compact without increasing the drive member 34 or reducing the cylinder diameter more than necessary. be able to. As shown in FIG. 5 or FIG. 6, the number of the tables 32 and the guide members 4 can be easily set, and a fluid pressure actuator having rigidity according to the application can be easily supplied. Since the height of the table 32 is the same as the commercially available bearing, the user can purchase a commercially available bearing, arbitrarily add the table 32 and the guide member 34, and easily modify the rigidity. . Since the end members 2 and 3 are provided with the shock absorbers 20 and 21 so as to be displaceable in the axial direction, the end members 2 and 3 have a cushioning effect at the stroke end, and have the table 3.
Fine setting of the stroke end position of No. 2 is possible. Recesses 45 in both drive member 34 and table 32,
Since the fitting member 47 formed of a key, a pin, a cylindrical roller, or the like is fitted to the 46, it is possible to support the shearing force generated between the driving member 34 and the drive member 34 by an impact applied to the table 32 during operation. it can. Therefore, a connection structure with higher strength can be provided. At the same time, the diameter of the connecting screw 44 can be reduced, and the driving member 34 can be made more compact. The present invention has the following effects. Since a table having a guide function for relatively moving the table relative to the guide member and a drive member having a drive function for relatively moving the table in response to the supply of compressed air are provided separately, high accuracy is achieved. Therefore, the accuracy of a low-cost and commercially available bearing can be sufficiently exhibited. No cylinder is directly provided on the drive member, and the cylinder tube is inserted and fixed.
Since the mounting is performed , the driving member can be made compact without increasing the driving member or reducing the cylinder diameter more than necessary. The number of tables and guide members can be easily set, and a fluid pressure actuator having rigidity according to the application can be easily supplied. Since the height of the table is the same as commercially available bearings, users purchase commercially available bearings,
The table and the guide member can be arbitrarily added, and the modification for improving the rigidity can be easily performed.

【図面の簡単な説明】 【図１】本発明の第一実施例に係る流体圧アクチュエー
タの一部切欠した平面図 【図２】同実施例に係る流体圧アクチュエータの正面図 【図３】同実施例に係る流体圧アクチュエータの側面図 【図４】同実施例に係る連結部材の断面図 【図５】本発明の第二実施例に係る流体圧アクチュエー
タの一部切欠した平面図 【図６】本発明の第三実施例に係る流体圧アクチュエー
タの一部切欠した平面図 【符号の説明】 １ 固定部 ２，３ 端部材 ４ ガイド部材 ５ ロッド ６ ボルト ７，８ 分割体 ９ ピストン １０，１１ 挿入凹部 １２，１３ 挿入用凹部 １４，１５ 配管ポート １６，１７ 接続路 １８，１９ 連通用凹部 ２０，２１ ショックアブソーバ ３１ 移動部 ３２ テーブル ３３ 搭載面 ３４ 駆動部材 ３５ 挿入穴 ３６ シリンダチューブ ３７，３８ カバー ３９ 貫通穴 ４０ 挿入用開口部 ４１ 連結用開口部 ４２ 頭部収容部 ４３ ねじ部貫挿部 ４４ 連結用ねじ ４５ 嵌合凹部 ４６ 嵌合用凹部 ４７ 嵌合部材 ４８，４９受け部材BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a partially cutaway plan view of a hydraulic actuator according to a first embodiment of the present invention. FIG. 2 is a front view of a hydraulic actuator according to the embodiment. FIG. 4 is a cross-sectional view of a connecting member according to the embodiment. FIG. 5 is a partially cutaway plan view of a fluid pressure actuator according to a second embodiment of the present invention. A partially cutaway plan view of a fluid pressure actuator according to a third embodiment of the present invention [Explanation of reference numerals] 1 Fixing portions 2 and 3 End members 4 Guide members 5 Rods 6 Bolts 7 and 8 Split bodies 9 Pistons 10 and 11 Insertion recesses 12, 13 Insertion recesses 14, 15 Piping ports 16, 17 Connection paths 18, 19 Communication recesses 20, 21 Shock absorber 31 Moving part 32 Table 33 Mounting surface 34 Drive member 35 Insertion hole 36 Cylinder tube 37, 38 cover 39 through holes 40 insertion opening 41 connecting opening 42 head accommodating portion 43 threaded portion transmural insertion portion 44 connecting screw 45 fitting recess 46 fitting concave portion 47 engaging members 48 and 49 receiving member

フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B25J 19/00 B23Q 3/02 B23Q 3/06 302 F15B 15/14 340 Continuation of the front page (58) Field surveyed (Int. Cl. ⁷ , DB name) B25J 19/00 B23Q 3/02 B23Q 3/06 302 F15B 15/14 340

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】 【請求項１】 シリンダチューブ（３６）と、前記シリ
ンダチューブ（３６）に対して相対移動可能にこのシリ
ンダチューブ（３６）内に設けられたピストン（９）
と、前記シリンダチューブ（３６）を挿入穴（３５）に
内挿固着し、圧縮空気によって進退自在に変位する駆動
部材（３４）と、前記駆動部材（３４）の変位に伴って
ガイド部材（４）に沿ってスライド自在に従動するテー
ブル（３２）と、を備え、 前記挿入穴（３５）と交差するように前記駆動部材（３
４）に設けられた貫通穴（３９）より連結用ねじ（４
４）を前記テーブル（３２）にねじ込んで、前記駆動部
材（３４）と前記テーブル（３２）とを連結することを
特徴とする流体圧アクチュエータ。(57) Claims 1. A cylinder tube (36) and a cylinder tube (36) are provided in the cylinder tube (36) so as to be relatively movable with respect to the cylinder tube (36). Piston (9)
And insert the cylinder tube (36) into the insertion hole (35).
A drive member (34) which is inserted and fixed and is displaceably movable forward and backward by compressed air; and a table (32) which is slidably driven along the guide member (4) with the displacement of the drive member (34). And the driving member (3) intersects with the insertion hole (35).
4) Through the through hole (39) provided in the connection screw (4)
4) screwing the table (32) into the table (32) to connect the driving member (34) to the table (32).