JP3413485B2 - リニアモータにおける推力リップル測定方法 - Google Patents
リニアモータにおける推力リップル測定方法Info
- Publication number
- JP3413485B2 JP3413485B2 JP2000021680A JP2000021680A JP3413485B2 JP 3413485 B2 JP3413485 B2 JP 3413485B2 JP 2000021680 A JP2000021680 A JP 2000021680A JP 2000021680 A JP2000021680 A JP 2000021680A JP 3413485 B2 JP3413485 B2 JP 3413485B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- linear motor
- thrust
- constant
- phase
- master
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)
- Control Of Linear Motors (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はリニアモータの特性
測定方法に関し、特にリニアモータにおける推力定数、
推力リップルの測定方法に関する。
測定方法に関し、特にリニアモータにおける推力定数、
推力リップルの測定方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】図３を参照して、リニアモータの一例に
ついて説明する。このリニアモータは、断面Ｕ字形状の
固定ヨーク３０が走行方向に延びるように設けられてい
る。固定ヨーク３０の上方には被駆動体、例えばステー
ジとの結合部４０が、走行方向にスライド可能に設けら
れる。結合部４０の下側には、コイル部４１が設置され
ている。コイル部４１の２つの主面とギャップを介して
対向するように、固定ヨーク３０の内壁には永久磁石３
１が走行方向に間隔をおいて固定されている。
ついて説明する。このリニアモータは、断面Ｕ字形状の
固定ヨーク３０が走行方向に延びるように設けられてい
る。固定ヨーク３０の上方には被駆動体、例えばステー
ジとの結合部４０が、走行方向にスライド可能に設けら
れる。結合部４０の下側には、コイル部４１が設置され
ている。コイル部４１の２つの主面とギャップを介して
対向するように、固定ヨーク３０の内壁には永久磁石３
１が走行方向に間隔をおいて固定されている。
【０００３】なお、３相リニアモータの場合には、コイ
ル部４１として、Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相の３相分のコイルが
備えられる。
ル部４１として、Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相の３相分のコイルが
備えられる。
【０００４】このリニアモータは、永久磁石３１からの
磁束とコイル部４１に流れる電流との相互作用により生
じる電磁力により、結合部４０とコイル部４１とが一体
的に走行する。
磁束とコイル部４１に流れる電流との相互作用により生
じる電磁力により、結合部４０とコイル部４１とが一体
的に走行する。
【０００５】このようなリニアモータは、より高精度の
位置決め、高推力が得られることから、Ｘ−Ｙステージ
の駆動源として、ボールネジ機構に代えて用いられるよ
うになってきている。
位置決め、高推力が得られることから、Ｘ−Ｙステージ
の駆動源として、ボールネジ機構に代えて用いられるよ
うになってきている。
【０００６】ところで、この種のリニアモータにおいて
は、その性能を知るために特性を計測する一つの要素と
して、製造工程において推力定数、推力リップルの測定
が行われる。
は、その性能を知るために特性を計測する一つの要素と
して、製造工程において推力定数、推力リップルの測定
が行われる。
【０００７】従来の推力定数、推力リップルの測定方法
について図４を参照して説明する。図４において、測定
対象となるリニアモータ可動部５１に、マイクロメータ
５３等により移動距離が特定出来るステージ５２に取付
けられたロードセル５４を押し当てる。そして、リニア
モータ可動部５１をロードセル５４に押し当てる方向へ
バネ５５により引っ張る構造にしてある。５６はヨーク
である。
について図４を参照して説明する。図４において、測定
対象となるリニアモータ可動部５１に、マイクロメータ
５３等により移動距離が特定出来るステージ５２に取付
けられたロードセル５４を押し当てる。そして、リニア
モータ可動部５１をロードセル５４に押し当てる方向へ
バネ５５により引っ張る構造にしてある。５６はヨーク
である。
【０００８】このような装置を用いてリニアモータの各
相（Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相）に一定電流を流して推力を発生
させ、それを制止するために必要な力をロードセル５４
で測定するという作業を磁石配列の各点で繰り返し行
う。この結果、ロードセル５４の出力信号として得られ
たものが推力定数であり、得られた各相の推力定数をｓ
ｉｎ励磁、すなわち三相分を合成したものと一定推力と
の差（変動分）が推力リップルである。
相（Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相）に一定電流を流して推力を発生
させ、それを制止するために必要な力をロードセル５４
で測定するという作業を磁石配列の各点で繰り返し行
う。この結果、ロードセル５４の出力信号として得られ
たものが推力定数であり、得られた各相の推力定数をｓ
ｉｎ励磁、すなわち三相分を合成したものと一定推力と
の差（変動分）が推力リップルである。
【０００９】図５（ａ）にはロードセル５４の出力信号
として得られた推力定数が示され、図５（ｂ）には図５
（ａ）の三相分を合成したものが推力リップルとして示
されている。
として得られた推力定数が示され、図５（ｂ）には図５
（ａ）の三相分を合成したものが推力リップルとして示
されている。
【００１０】なお、図４の装置に代えて、図６に示すよ
うに、測定対象となるリニアモータをスレーブリニアモ
ータ６１としてベアリング機構のような接触式式案内機
構６２を介してマスターリニアモータ６３と連結し、マ
スターリニアモータ６３を作動させた時にスレーブリニ
アモータ６１における各相に発生する速度誘起電圧を計
測し、計測された各相の速度誘起電圧と移動速度との比
から毎相誘起電圧定数を求め、そこから推力定数、推力
リップルを測定することも行われている。
うに、測定対象となるリニアモータをスレーブリニアモ
ータ６１としてベアリング機構のような接触式式案内機
構６２を介してマスターリニアモータ６３と連結し、マ
スターリニアモータ６３を作動させた時にスレーブリニ
アモータ６１における各相に発生する速度誘起電圧を計
測し、計測された各相の速度誘起電圧と移動速度との比
から毎相誘起電圧定数を求め、そこから推力定数、推力
リップルを測定することも行われている。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図４の
装置による推力定数、推力リップルの測定では、マイク
ロメータ５３等のセンサの精度に伴う誤差が含まれてし
まう。また、図６に示すような測定方法でも、ガイド系
を接触式としているために測定の正確性、駆動方法が実
運用とは異なるので、推力リップルの定量的な評価とし
ては正確とはいえない部分が多分にあるという問題があ
った。
装置による推力定数、推力リップルの測定では、マイク
ロメータ５３等のセンサの精度に伴う誤差が含まれてし
まう。また、図６に示すような測定方法でも、ガイド系
を接触式としているために測定の正確性、駆動方法が実
運用とは異なるので、推力リップルの定量的な評価とし
ては正確とはいえない部分が多分にあるという問題があ
った。
【００１２】そこで、本発明の課題は、ステージ駆動用
のリニアモータの性能を決定する推力定数、推力リップ
ルの測定方法について、測定精度の向上を図ることにあ
る。
のリニアモータの性能を決定する推力定数、推力リップ
ルの測定方法について、測定精度の向上を図ることにあ
る。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明による推力リップ
ル測定方法は、測定対象となるリニアモータをスレーブ
リニアモータとして非接触式ステージ機構を介してマス
ターリニアモータと連結し、前記マスターリニアモータ
を作動させた時に前記スレーブリニアモータにおける各
相に発生する速度誘起電圧を計測し、計測された各相の
速度誘起電圧と移動速度との比から毎相誘起電圧定数を
求め、そこから推力定数、推力リップルを測定すること
を特徴とする。
ル測定方法は、測定対象となるリニアモータをスレーブ
リニアモータとして非接触式ステージ機構を介してマス
ターリニアモータと連結し、前記マスターリニアモータ
を作動させた時に前記スレーブリニアモータにおける各
相に発生する速度誘起電圧を計測し、計測された各相の
速度誘起電圧と移動速度との比から毎相誘起電圧定数を
求め、そこから推力定数、推力リップルを測定すること
を特徴とする。
【００１４】本推力リップル測定方法においては特に、
前記マスターリニアモータの定速性を確保するために該
マスターリニアモータを外乱オブザーバ制御方式により
駆動することを特徴とする。
前記マスターリニアモータの定速性を確保するために該
マスターリニアモータを外乱オブザーバ制御方式により
駆動することを特徴とする。
【００１５】
【発明の実施の形態】図１を参照して、本発明の実施の
形態について説明する。本形態は、測定の効率化、精度
向上を図るため、図１に示すような装置を用いて測定を
行う点に特徴を有する。装置の構成は、測定対象となる
リニアモータ（以後、スレーブリニアモータと呼ぶ）１
１を非接触式のステージ機構１２を介し、このステージ
機構１２のリニアガイド軸を対象軸としてリニアモータ
（以下、マスターリニアモータと呼ぶ）１３を連結す
る。非接触式のステージ機構というのは、ステージのリ
ニアガイド機構として、いわゆる静圧空気軸受けを採用
したステージ機構であり、良く知られているので、ここ
では詳細な説明は省略する。ステージ機構１２とマスタ
ーリニアモータ１３の組合わせは、本測定方法を実現す
るために専用のものが備えられる。
形態について説明する。本形態は、測定の効率化、精度
向上を図るため、図１に示すような装置を用いて測定を
行う点に特徴を有する。装置の構成は、測定対象となる
リニアモータ（以後、スレーブリニアモータと呼ぶ）１
１を非接触式のステージ機構１２を介し、このステージ
機構１２のリニアガイド軸を対象軸としてリニアモータ
（以下、マスターリニアモータと呼ぶ）１３を連結す
る。非接触式のステージ機構というのは、ステージのリ
ニアガイド機構として、いわゆる静圧空気軸受けを採用
したステージ機構であり、良く知られているので、ここ
では詳細な説明は省略する。ステージ機構１２とマスタ
ーリニアモータ１３の組合わせは、本測定方法を実現す
るために専用のものが備えられる。
【００１６】本形態では更に、マスターリニアモータ１
３の駆動制御系として外乱オブザーバ制御を採用するこ
とでマスターリニアモータ１３の定速性を確保するよう
にしている。
３の駆動制御系として外乱オブザーバ制御を採用するこ
とでマスターリニアモータ１３の定速性を確保するよう
にしている。
【００１７】以下に、図２を参照して、外乱オブザーバ
制御について説明する。
制御について説明する。
【００１８】図２において、マスターリニアモータ１３
はフィードバック制御系により駆動される。すなわち、
マスターリニアモータ１３に対する制御は、リニアガイ
ド機構に設けられたリニアエンコーダ１３−１の位置検
出値をフィードバックして位置指令値との偏差を検出
し、この偏差を位置制御器１３−２に与える。位置制御
器１３−２では、この偏差に基づいて制御量指令値を作
成する。そして、フィードバック制御系の制御ループ
に、外乱オブザーバ１３−３と減算器１３−４との組合
わせによる外乱補償器を付加し、リニアガイド機構の特
性の変動等の外乱要因をキャンセルする構成としてい
る。外乱補償器から出力される電流指令値は、マスター
リニアモータ１３用のモータアンプ１３−５に与えら
れ、モータアンプ１３−５は与えられた電流指令値に基
づいてマスターリニアモータ１３の制御を行う。
はフィードバック制御系により駆動される。すなわち、
マスターリニアモータ１３に対する制御は、リニアガイ
ド機構に設けられたリニアエンコーダ１３−１の位置検
出値をフィードバックして位置指令値との偏差を検出
し、この偏差を位置制御器１３−２に与える。位置制御
器１３−２では、この偏差に基づいて制御量指令値を作
成する。そして、フィードバック制御系の制御ループ
に、外乱オブザーバ１３−３と減算器１３−４との組合
わせによる外乱補償器を付加し、リニアガイド機構の特
性の変動等の外乱要因をキャンセルする構成としてい
る。外乱補償器から出力される電流指令値は、マスター
リニアモータ１３用のモータアンプ１３−５に与えら
れ、モータアンプ１３−５は与えられた電流指令値に基
づいてマスターリニアモータ１３の制御を行う。
【００１９】フィードバック制御系に付加された外乱補
償器について説明する。まず、外乱オブザーバ１３−３
においては、２次低域通過型フィルタ（Ｇｓ）からなる
フィルタ１３−３１を用いて、制御量指令値をフィルタ
リングする。また、マスターリニアモータ１３及び負荷
を擬似した制御対象の逆モデル（Ｍｓ2 ／Ｋｆ、ここ
で、Ｍｓはマスターリニアモータ１３及び負荷、すなわ
ちステージ機構１２の可動部の質量、Ｋｆはモータ推力
定数）及び２次低域通過型フィルタ（Ｇｓ）から成るフ
ィルタ１３−３２を用いて、リニアエンコーダ１３−１
にて検出された位置検出値より制御対象に印加されてい
る実推力値指令値を推定する。
償器について説明する。まず、外乱オブザーバ１３−３
においては、２次低域通過型フィルタ（Ｇｓ）からなる
フィルタ１３−３１を用いて、制御量指令値をフィルタ
リングする。また、マスターリニアモータ１３及び負荷
を擬似した制御対象の逆モデル（Ｍｓ2 ／Ｋｆ、ここ
で、Ｍｓはマスターリニアモータ１３及び負荷、すなわ
ちステージ機構１２の可動部の質量、Ｋｆはモータ推力
定数）及び２次低域通過型フィルタ（Ｇｓ）から成るフ
ィルタ１３−３２を用いて、リニアエンコーダ１３−１
にて検出された位置検出値より制御対象に印加されてい
る実推力値指令値を推定する。
【００２０】そして、減算器１３−３３によりフィルタ
１３−３１と１３−３２の出力の差分をとることによ
り、制御対象に印加されている外乱力を推定し、この推
定外乱力を減算器１３−４により制御量指令値から減算
することにより、外乱力を補償する。このように、実推
力推定時の制御対象モデルとして、マスターリニアモー
タ１３及び負荷の質量からなるモデルを用いることで、
リニアガイド機構の案内摩擦の変動等を外乱力として推
定し補償することができる。
１３−３１と１３−３２の出力の差分をとることによ
り、制御対象に印加されている外乱力を推定し、この推
定外乱力を減算器１３−４により制御量指令値から減算
することにより、外乱力を補償する。このように、実推
力推定時の制御対象モデルとして、マスターリニアモー
タ１３及び負荷の質量からなるモデルを用いることで、
リニアガイド機構の案内摩擦の変動等を外乱力として推
定し補償することができる。
【００２１】以上のように、本形態では、外乱オブザー
バ１３−３を用いた外乱補償器により、ステージ機構１
２のステージの位置で変動するリニアガイド機構の案内
摩擦の変動等を外乱として推定し、これら外乱要因を補
償することができる。
バ１３−３を用いた外乱補償器により、ステージ機構１
２のステージの位置で変動するリニアガイド機構の案内
摩擦の変動等を外乱として推定し、これら外乱要因を補
償することができる。
【００２２】図１の装置及び図２の駆動制御系を用い
て、非接触式のステージ機構１２をガイド系としてまず
マスターリニアモータ１３をオブザーバ制御により作動
させ、スレーブリニアモータ（コイル）１１を磁石列の
中を一定速度で移動させた時、各相に発生する速度誘起
電圧の基本波成分の実効値と移動速度との比である毎相
誘起電圧定数を求める。この毎相誘起電圧定数に基づい
て推力定数が算出される。推力定数というのは推力値の
平均値であり、推力値は電磁力に基づく周知の計算方法
で算出される。すなわち、誘起電圧がわかれば推力を知
ることができる。一方、各相の正弦波は（３／２）πず
つ位相がずれているので、各時点での３相分の電圧の和
を求めれば推力リップルを求めることが出来る。すなわ
ち、ある時点での各相の値の和が０であれば、推力リッ
プルは０であり、０でなければ推力リップルとして検出
される。毎相誘起電圧や推力リップルはそれぞれ、図５
（ａ）、（ｂ）に示した波形と同じような波形になる。
て、非接触式のステージ機構１２をガイド系としてまず
マスターリニアモータ１３をオブザーバ制御により作動
させ、スレーブリニアモータ（コイル）１１を磁石列の
中を一定速度で移動させた時、各相に発生する速度誘起
電圧の基本波成分の実効値と移動速度との比である毎相
誘起電圧定数を求める。この毎相誘起電圧定数に基づい
て推力定数が算出される。推力定数というのは推力値の
平均値であり、推力値は電磁力に基づく周知の計算方法
で算出される。すなわち、誘起電圧がわかれば推力を知
ることができる。一方、各相の正弦波は（３／２）πず
つ位相がずれているので、各時点での３相分の電圧の和
を求めれば推力リップルを求めることが出来る。すなわ
ち、ある時点での各相の値の和が０であれば、推力リッ
プルは０であり、０でなければ推力リップルとして検出
される。毎相誘起電圧や推力リップルはそれぞれ、図５
（ａ）、（ｂ）に示した波形と同じような波形になる。
【００２３】実際には、各相に発生する速度誘起電圧を
ディジタル値に変換したうえでサンプリングを行い、パ
ーソナルコンピュータのような演算手段に与えることで
推力定数や推力リップルの算出が自動的に行われる。
ディジタル値に変換したうえでサンプリングを行い、パ
ーソナルコンピュータのような演算手段に与えることで
推力定数や推力リップルの算出が自動的に行われる。
【００２４】
【発明の効果】本発明による推力定数、推力リップルの
測定方法によれば、ガイド系に非接触式のガイド機構を
採用し、マスターモータの定速性を確保するために外乱
オブザーバ制御を用いることにより、精度の高い推力リ
ップルの測定が可能となる。
測定方法によれば、ガイド系に非接触式のガイド機構を
採用し、マスターモータの定速性を確保するために外乱
オブザーバ制御を用いることにより、精度の高い推力リ
ップルの測定が可能となる。
【図１】本発明によるリップル測定法に用いられる装置
の構成を概略的に示した図である。
の構成を概略的に示した図である。
【図２】図１の装置におけるマスターリニアモータの駆
動制御系の構成を示した図である。
動制御系の構成を示した図である。
【図３】リニアモータの概略構成を説明するための図で
ある。
ある。
【図４】従来のリップル測定法の第１の例を説明するた
めの図である。
めの図である。
【図５】図４のリップル測定法により得られる信号波形
を示した図である。
を示した図である。
【図６】従来のリップル測定法の第２の例を説明するた
めの図である。
めの図である。
１１、６１ スレーブリニアモータ
１２ 非接触式のステージ機構
１３、６３ マスターリニアモータ
５１ リニアモータ可動部
５２ ステージ
５３ マイクロメータ
５４ ロードセル
５５ バネ
６２ 接触式のステージ機構
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G01L 5/00
H02P 7/00
Claims (2)
- 【請求項１】 測定対象となるリニアモータをスレーブ
リニアモータとして非接触式ステージ機構を介してマス
ターリニアモータと連結し、前記マスターリニアモータ
を作動させた時に前記スレーブリニアモータにおける各
相に発生する速度誘起電圧を計測し、計測された各相の
速度誘起電圧と移動速度との比から毎相誘起電圧定数を
求め、そこから推力定数、推力リップルを測定すること
を特徴とするリニアモータにおける推力リップル測定方
法。 - 【請求項２】 請求項１記載の推力リップル測定方法に
おいて、前記マスターリニアモータの定速性を確保する
ために該マスターリニアモータを外乱オブザーバ制御方
式により駆動することを特徴とするリニアモータにおけ
る推力リップル測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000021680A JP3413485B2 (ja) | 2000-01-31 | 2000-01-31 | リニアモータにおける推力リップル測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000021680A JP3413485B2 (ja) | 2000-01-31 | 2000-01-31 | リニアモータにおける推力リップル測定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001218497A JP2001218497A (ja) | 2001-08-10 |
| JP3413485B2 true JP3413485B2 (ja) | 2003-06-03 |
Family
ID=18548059
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000021680A Expired - Fee Related JP3413485B2 (ja) | 2000-01-31 | 2000-01-31 | リニアモータにおける推力リップル測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3413485B2 (ja) |
Families Citing this family (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101124179B1 (ko) | 2003-04-09 | 2012-03-27 | 가부시키가이샤 니콘 | 노광 방법 및 장치, 그리고 디바이스 제조 방법 |
| TWI457712B (zh) | 2003-10-28 | 2014-10-21 | 尼康股份有限公司 | 照明光學裝置、投影曝光裝置、曝光方法以及元件製造方法 |
| TWI512335B (zh) | 2003-11-20 | 2015-12-11 | 尼康股份有限公司 | 光束變換元件、光學照明裝置、曝光裝置、以及曝光方法 |
| TWI360837B (en) | 2004-02-06 | 2012-03-21 | Nikon Corp | Polarization changing device, optical illumination |
| EP1881521B1 (en) | 2005-05-12 | 2014-07-23 | Nikon Corporation | Projection optical system, exposure apparatus and exposure method |
| US8140288B2 (en) | 2007-04-18 | 2012-03-20 | Nikon Corporation | On-machine methods for identifying and compensating force-ripple and side-forces produced by actuators on a multiple-axis stage |
| JP5267029B2 (ja) | 2007-10-12 | 2013-08-21 | 株式会社ニコン | 照明光学装置、露光装置及びデバイスの製造方法 |
| US8379187B2 (en) | 2007-10-24 | 2013-02-19 | Nikon Corporation | Optical unit, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method |
| US9116346B2 (en) | 2007-11-06 | 2015-08-25 | Nikon Corporation | Illumination apparatus, illumination method, exposure apparatus, and device manufacturing method |
| JP6308852B2 (ja) * | 2014-04-15 | 2018-04-11 | キヤノン株式会社 | 駆動装置、リソグラフィ装置、および物品の製造方法 |
| KR102353852B1 (ko) * | 2017-10-27 | 2022-01-19 | 한국전기연구원 | 직선 축 액추에이터의 성능 평가 장치 및 방법 |
| WO2019116957A1 (ja) | 2017-12-15 | 2019-06-20 | 三菱電機株式会社 | 推力測定装置 |
| CN108445390A (zh) * | 2018-03-23 | 2018-08-24 | 哈尔滨工业大学 | 对拖式高精度直线电机测试平台 |
| JP7490436B2 (ja) | 2020-04-20 | 2024-05-27 | キヤノン株式会社 | 駆動システム、リソグラフィ装置および物品の製造方法。 |
-
2000
- 2000-01-31 JP JP2000021680A patent/JP3413485B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2001218497A (ja) | 2001-08-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3413485B2 (ja) | リニアモータにおける推力リップル測定方法 | |
| Lee et al. | Acceleration estimator for low-velocity and low-acceleration regions based on encoder position data | |
| Hoseinnezhad et al. | Calibration of resolver sensors in electromechanical braking systems: A modified recursive weighted least-squares approach | |
| US20120187873A1 (en) | Linear motor driving system and linear motor control method | |
| US9529342B2 (en) | Method and device for operating an actuator with a brushless electric motor | |
| Hurst et al. | Speed sensorless field-oriented control of induction machines using current harmonic spectral estimation | |
| Rohrig et al. | Identification and compensation of force ripple in linear permanent magnet motors | |
| Renton et al. | Motion control for linear motor feed drives in advanced machine tools | |
| JP2000512478A (ja) | モータ用制御装置および制御方法 | |
| US6671637B2 (en) | Thrust ripple measuring apparatus and method in linear motor | |
| JP5666025B2 (ja) | 電子整流型のサーボ駆動装置を有する位置決めシステムを較正するための方法および装置 | |
| JPH03105209A (ja) | ゼロ追求型位置センサ | |
| Kim et al. | Vibration-generation mechanism and reduction method in linear iron-cored permanent-magnet synchronous motors at stationary state | |
| US8970079B2 (en) | Method for adjusting resistance of electromagnet in magnetic bearing and for sensorless determination of position of object mounted in magnetic bearing, taking into account adjusted value of resistance | |
| Mekid et al. | High precision linear slide. Part II: control and measurements | |
| JPH08152910A (ja) | 位置決め装置および外力推定器 | |
| US6848308B2 (en) | Circuit arrangement for evaluating an acceleration sensor using the Ferraris principle | |
| JPWO2008117345A1 (ja) | リニアモータ及びその制御方法 | |
| JP3287147B2 (ja) | 誘導電動機の制御方法 | |
| Araujo et al. | General sensorless method with parameter identification and double Kalman filter applied to a bistable fast linear switched reluctance actuator for textile machine | |
| CN111413017B (zh) | 一种测试音圈电机拉力常数的方法 | |
| Denkena et al. | Analysis and Application of a Linear Drive in End Milling | |
| JP2009159751A (ja) | リニアモータの推力リップル補償装置とモータ制御装置 | |
| Kato et al. | Self‐sensing active magnetic bearings with zero‐bias‐current control | |
| Seok et al. | Initial position estimation for closed-loop linear hybrid stepping motor drives using DC excitation |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20030219 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080404 Year of fee payment: 5 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090404 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090404 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100404 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100404 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110404 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120404 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120404 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130404 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130404 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140404 Year of fee payment: 11 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |