JP3412732B2 - 欠陥検査方法及びその装置 - Google Patents
欠陥検査方法及びその装置Info
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Description
る領域又は写真を張り付ける領域に欠陥(凹凸、汚れ
等)があるかどうかを検査する欠陥検査方法及びその装
置に関する。
に管理されたシートやカード等(以下総称して枚葉とい
う)の表面の欠陥を検査する場合は、枚葉に文字を印刷
又は写真を張り付けるラインにおいて、CCD内蔵のラ
インセンサカメラで搬送されて来る枚葉表面をスキャニ
ングしながら一枚葉分の画像データを蓄積する。そし
て、この一枚葉分の画像データを解析して所定領域に欠
陥がないかどうかを検査するのが一般的であった。
ような従来の欠陥検査装置は、画像データを一枚葉分蓄
積した後に、所定領域に欠陥がないかどうかを判定して
いるので、検査結果を得るのに時間を要するという問題
点と、大容量の画像メモリが必要となり、コスト高にな
るという問題点があった。
データを一枚葉分蓄積した後に、所定領域に欠陥がない
かどうかを判定しているので、全ての枚葉の検査が終わ
ったときは、非常に時間が経過しているという問題点が
あった。
と時間を要するという問題点があった。
されたもので、枚葉等の被検査物の欠陥を短時間で検出
できる欠陥検査方法及びその装置を得ることを目的とす
る。
は、搬送されて来る被検査物を撮像して、前記被検査物
の流れ方向に対する水平走査線方向の映像を逐次得る工
程と、 前記水平走査線方向の映像が得られる毎に、前
記撮像のタイミングに合わせたデジタルの画像データに
変換する工程と、前記水平走査線分の画像データを一定
数、蓄積する工程と、前記被検査物の検査領域を座標デ
ータで予め記憶し、前記一定数の画像データの座標が前
記予め記憶されている検査領域に位置しているとき、該
検査領域の座標範囲に対応する検査ウインドウを検査領
域名に対応させて設定する工程と、前記デジタルの画像
データを入力し、3行3列の画素領域毎の水平、垂直方
向の濃度の変化量を算出して、それぞれ加算し、平均化
処理して微細欠陥を強調した後に、2値化して所定レベ
ル以上の欠陥データをミクロフィルタ後の欠陥データと
した検査結果を得る工程と、前記デジタルの画像データ
を入力し、該デジタルの画像データの濃度情報に対して
ノイズを除去して、それぞれのしきい値により、明るい
箇所の欠陥を強調した明るい箇所の欠陥データ及び暗い
箇所の輪郭を強調した暗い箇所の欠陥データとした検査
結果を得る工程と、前記ミクロフィルタ後の欠陥データ
が得られる毎に計数すると共に、前記明るい箇所の欠陥
データが得られる毎に計数し、かつ前記暗い箇所の欠陥
データが得られる毎に計数する工程と、前記計数された
ミクロフィルタ後の欠陥データの個数、前記計数された
明るい箇所の欠陥データの個数、前記係数された暗い箇
所の欠陥データの個数がそれぞれのしきい値を満足して
いないときは、前記被検査物を後段で加工する際に影響
がある欠陥と認識する工程と、前記被検査物を後段で加
工する際に影響がある欠陥と認識したときは、前記検査
ウィンドウの検査領域名と、前記検査結果とを知らせる
工程とを備えたことを要旨とする。
線方向の映像が逐次得られると、この撮像タイミングに
合わせた画像データに変換される。
れて、被検査物の欠陥が強調され、この強調カ所の欠陥
が検査領域の区分けされた所定領域に位置しているとき
に計数され、この計数した欠陥の個数が所定以上のとき
は、後段で加工する際に影響がある欠陥として知らせら
れる。
され、この計数値が被検査物を後段で加工する際に影響
がある欠陥として認識されると、その欠陥個所の検査領
域の名称が欠陥の種類と共に知らせられる。
する搬送機構上の所定位置に設けられたラインセンサカ
メラと、前記被検査物が前記所定位置に来たとき、前記
ラインセンサカメラからの映像信号を取り込んで、前記
映像信号の画素毎の濃度情報をデジタルの画像データに
変換する画像入力部と、前記水平走査線分の画像データ
を一定数、蓄積するフレームメモリと、予め記憶されて
いる被検査物の検査領域の座標範囲を、一定領域毎に分
割した検査ウィンドウを設け、この検査ウィンドウに前
記一定領域の座標範囲と検査領域名とを対応させて設定
する検査領域決定処理部と、前記デジタルの画像データ
を入力し、3行3列の画素領域毎の水平、垂直方向の濃
度の変化量を算出して、それぞれ加算し、平均化処理し
て微細欠陥を強調した後に、2値化して所定レベル以上
の欠陥データをミクロフィルタ後の欠陥データとした検
査結果を得るミクロフイルタと、前記デジタルの画像デ
ータを入力し、該デジタルの画像データの濃度情報に対
してノイズを除去して、それぞれのしきい値により、明
るい箇所の欠陥を強調した明るい箇所の欠陥データ及び
暗い箇所の輪郭を強調した暗い箇所の欠陥データとした
検査結果を得る2値化フイルタと、 前記ミクロフィル
タ後の欠陥データが得られる毎に計数すると共に、前記
明るい箇所の欠陥データが得られる毎に計数し、かつ前
記暗い箇所の欠陥データが得られる毎に計数する工程前
記フィルタ部からの欠陥データを計数する欠陥データ計
数部と、前記計数されたミクロフィルタ後の欠陥データ
の個数、前記計数された明るい箇所の欠陥データの個
数、前記係数された暗い箇所の欠陥データの個数がそれ
ぞれのしきい値を満足していないときは、前記被検査物
を後段で加工する際に影響がある欠陥と認識し、前記検
査ウィンドウの検査領域名と、前記検査結果とを知らせ
る欠陥判定処理部とを備えたことを要旨とする。
すると、この画像データの濃度の変化量の色むら強調さ
れ、被検査物がラインセンサカメラの所定位置に来る
と、画像入力部により、ラインセンサカメラからの被検
査物の水平走査線方向の映像信号が画像データに変換さ
せられる。
部により強調され、この強調カ所の欠陥が検査領域決定
処理部で設定した検査ウィンドウの所定領域に位置して
いると、欠陥データ計数部によって計数される。次に、
欠陥判定処理部によって、この計数した欠陥の個数が所
定以上かどうか判定され、所定以上のときは、後段で加
工する際に影響がある欠陥として知らせられ、欠陥とし
て認識されると、その欠陥個所の検査領域の名称が欠陥
の種類と共に知らせられる。
として説明する。図1は本実施の形態の欠陥検査装置の
概略構成図である。図1の欠陥検査装置1は、搬送機構
2上の所定位置に設けられ、搬送機構2の搬送ライン上
を撮影するラインセンサカメラ3と、搬送機構2上のラ
インセンサカメラ3が撮像する撮像ライン近傍に設けら
れ、照明用電源4からの電力に基づいた光を照射する照
明器5と、ラインセンサカメラ3より上流の位置に設け
られ、搬送機構2によって搬送されて来た枚葉6を検出
する枚葉検出用のセンサ7と、枚葉検出用のセンサ7が
枚葉6を検出したとき、ラインセンサカメラ3からの映
像信号を所定ライン分毎に取り込み、取り込んだライン
分の画像データから枚葉6の所定領域の欠陥を検出し、
この検出結果を分別部8、パソコン9及びプリンタ10
に出力する枚葉検査制御装置11とを備えている。
の画像を表示するモニタ12が備えられている。
図2に示す従業員証等の枚葉6が図2に示すような搬送
方向で、搬送されて来たとき、ラインセンサカメラ3に
よって、この枚葉6を撮像し、枚葉検査制御装置11が
枚葉6の所定ライン分(例えば15ライン〜25ライ
ン)の画像データから写真が張り付けられる領域15又
は文字が印字される領域16に存在する欠陥を検出す
る。 枚葉検査制御装置11は、図1に示すように、エン
コーダ20と、パルスコントローラ21と、画像入力部
22と、フィルタ部23と、フレームメモリ24と、欠
陥データ計数部25と、メモリ26と、検査領域決定部
27と、欠陥判定部28とを備えている。
に、エンコーダ20と、パルスコントローラ21と、画
像入力部22と、フィルタ部23と、フレームメモリ2
4と、欠陥データ計数部25と、メモリ26と、検査領
域決定部27と、欠陥判定部28とを備えている。
をパルスコントローラ21に出力する。
センサ7が枚葉6を検出すると、画像分解幅の幅のパル
ス信号を画像入力部22に出力する。
1からのパルス信号の入力に伴って、ラインセンサカメ
ラ3からの1ライン毎の映像信号とパルスコントローラ
21からのパルス信号との同期を取り、1ライン分のデ
ジタルの画像データ(画素の濃度)をフィルタ部23及
びフレームメモリ24に出力する。
らの画像データを所定ライン分蓄積する。
画像データをミクロフィルタ処理して欠陥(微小な凹
凸、ピンホール等の輪郭)を強調したデータを出力す
る。また、画像入力部22からの画像データを2値化フ
ィルタ処理して欠陥(大きな凹凸、ピンホール)を強調
したデータを出力する。
からのミクロフィルタ処理されて欠陥が強調されたデー
タを計数すると共に、フィルタ部23からの2値化フィ
ルタ処理されて欠陥が強調されたデータを計数する。
リ24の所定ライン分の画像データの座標(Xi、Y
i)を読み、この座標(Xi、Yi)がメモリ26に設
定されている枚葉6の領域15又は領域16の座標(x
i、yi)に位置しているときは、これらの領域の座標
(xi、yi)を後述する所定ライン分の検査ウィンド
ウに設定し、この検査ウィンドウに設定された範囲の画
像データの欠陥個数を欠陥データ計数部25に計数させ
る。
25が計数した両方の欠陥データの個数を判定し、それ
ぞれの欠陥データが所定以上の個数の場合は欠陥と認識
し、その欠陥カ所の領域を検査領域決定処理部27の検
査ウインドウから読み込んで知らせる。
分別部8に知らせて欠陥のある枚葉6を排除させたり、
パソコン9に検査結果を出力したり、若しくはプリンタ
10に出力する。
は、A/D変換器、シェーディング補正回路、射影演算
回路、輝度補正回路等を備えている。
ンサ7により検出されて、パルスコントローラ21から
パルス信号が入力すると、ラインセンサカメラ3からの
枚葉6の映像信号とパルス信号とを同期を取ってデジタ
ル化した後に、シューディング補正と射影補正と輝度補
正とをおこなった画像データを送出する。
クロフィルタ回路30と、2値化フィルタ回路31とか
ら構成されている。
ィルタ、横ソーベルフィルタ、除算テーブル、2値化回
路、ノイズ除去回路等を備えている。このような、ミク
ロフィルタ回路30は、縦ソーベルフィルタと横ソーベ
ルフィルタとが3行3列の9つの格子領域の垂直及び水
平方向の濃度の変化量を求めて、それぞれの変化量を画
素毎に加算し、加算した変化量の平均値を3行3列の9
つの格子領域の中心画素の変化量の平均とすることによ
って、微細な凹凸又はピンホール等の欠陥の垂直方向及
び水平方向の輪郭を強調する。
び低周波成分を除去した後に、所定レベル以上の欠陥カ
所を2値化回路により2値化した欠陥を強調したデータ
(以下ミクロフィルタ処理後の欠陥データという)を出
力する。
2から供給される0〜255の256階調で現した画素
毎の濃度情報に対して平均値フィルタによりノイズを除
去した後に、それぞれ所定のしきい値により、凸部のよ
うな明るい欠陥の輪郭を強調したデータ(以下明るい箇
所の欠陥データという)と、凹部のような暗い欠陥の輪
郭を強調したデータ(以下暗い箇所の欠陥データとい
う)を出力する。
に、セクタ加算回路35と、バッファメモリ回路36と
を備えている。
に、ミクロフィルタ回路30からのミクロフィルタ処理
後の欠陥データを計数する加算器42と、2値化フィル
タ回路31からの明るい箇所の欠陥データの個数を計数
する加算器43と、2値化フィルタ回路31からの暗い
箇所の欠陥データの個数を計数する加算器44とから構
成されている。
陥データが閾値jaを満足していないときは、前回の欠
陥個数に加算する。加算器43は、2値化フィルタ回路
31からの明るい箇所の欠陥データの個数が閾値jbを
満足していないときは、前回の欠陥個数に加算する。加
算器44は、2値化フィルタ回路31からの暗い箇所の
欠陥データの個数が閾値jcを満足していないときは、
前回の欠陥個数に加算する。
査領域決定処理部27からの加算指示に基づいて、それ
ぞれに入力する欠陥データを所定ライン分加算する。
43及び44に対応するバッファメモリ46、47及び
48を備えている。
所定ライン分のミクロフィルタ処理後の欠陥データの個
数を記憶する。バッファメモリ47は、加算器43から
の所定ライン分の明るい箇所の欠陥データの個数を記憶
する。バッファメモリ48は、加算器44からの所定ラ
イン分の暗い箇所の欠陥データの個数を記憶する。
6の検査する領域(領域15と領域16)の座標が記憶
されている。枚葉6というのは、図4に示すように、未
検査領域、検査領域が決められている。特に、写真が張
り付けられる領域15又は文字が印字される領域16と
いうのは、凹凸又は汚れ等があってはならないものであ
る。このため、図5に示すように、領域15の検査領域
kaの座標領域(xai、yai)〜(xbn、yb
n)と、領域16の検査領域kbの座標領域(xbi、
ybi)〜(xbn、ybn)とを、検査する領域の名
称miに対応させて記憶している。また、これらの座標
領域は、枚葉の種類によって異なるため、オペレータに
よって設定する。
部27の各検査ウィンドウWiのフラグが立てられてい
る座標領域(以下検査するセクタ座標という)を読み、
このセクタ座標に対応する各画素領域のミクロフィルタ
処理後のデータを順次読み込みながら閾値jaを満足し
ないデータを欠陥として加算する加算器42と、検査す
るセクタ座標に対応する各画素領域の2値化フィルタ処
理後のデータ(明)を順次読み込みながら閾値jbを満
足しないデータを欠陥として加算する加算器43と、検
査するセクタ座標に対応する各画素領域の2値化フィル
タ処理後のデータ(暗)を順次読み込みながら閾値jc
を満足しないデータを欠陥として加算する加算器44と
を備えている。
加算結果を記憶するバッファメモリ46と、加算器43
の加算結果を記憶するバッファメモリ47と、加算器4
4の加算結果を記憶するバッファメモリ48とを備えて
いる。
検査する領域(領域15と領域16)の座標が記憶され
ている。この枚葉6というのは、図5に示すように、未
検査領域、検査領域が決められている。特に、写真が張
り付けられる領域15又は文字が印字される領域16と
いうのは、凹凸又は汚れ等があってはならないものであ
る。このため、図5に示すように、領域15の検査領域
kaの座標領域(xai、yai)〜(xbn、yb
n)と、領域16の検査領域kbの座標領域(xbi、
ybi)〜(xbn、ybn)とを検査する領域の名称
miに対応させて記憶している。また、これらの座標領
域は、枚葉の種類によって異なるため、オペレータによ
って設定する。
7は、図6に示すように、比較手段50と、検査エリア
更新手段51と、検査ウインドウ用のメモリ52と、計
数制御手段53とを備えている。
ライン毎の画像データのXY座標系における座標(X
i、Yi)とメモリ26の検査領域の座標範囲(xi、
yi)とを比較し、座標(Xi、Yi)が座標範囲(x
i、yi)に含まれているとき、検査エリア更新手段5
1を起動させる。
メモリ26の検査領域の座標範囲(xi、yi)を読
み、この検査領域に対応する検査ウィンドウの領域にフ
ラグを立てる。また、メモリ52の各検査ウィンドウW
iがクリアにされると、メモリ26の検査領域の座標範
囲(xi、yi)の内の次の座標を読み、この座標に対
応する検査ウィンドウWiの領域にフラグを立てる。
ィンドウへのフラグの設定が終わると、欠陥データ計数
部25に計数指示を出力する。そして、欠陥データ計数
部25の各加算器が加算する毎に、先頭の検査ウィンド
ウから順次フラグをクリアにし、最後のフラグをクリア
にしたとき、計数指示を停止する。
ィンドウに設定された範囲(セクタともいう)の画像デ
ータの欠陥個数を欠陥データ計数部25に計数させてい
る。
る。メモリ52の検査ウィンドウWiは、図7の(a)
に示すように、ラインセンサカメラ3のセンス方向(X
軸)と枚葉6の搬送方向(Y軸)とからなる座標軸に、
各画素領域を設けた検査ウィンドウWiにされている。
そして、これらの検査ウィンドウWiは、所定ライン分
設けられている。また、各検査ウィンドウWiには枚葉
6のY軸方向の領域の名称miが付加されている。
名称が記号mi(m1,m2)にされて付加されてい
る。
する領域は、図7の(b)に示すように、検査する範囲
が決まると、この範囲の領域にフラグ(図においては斜
線)が立てられるものである。
立てられている座標を読むことによって、どの範囲(セ
クタ)の画像データを検査するかを知らせている。
8に示すように欠陥判定手段55が設けられ、欠陥デー
タ計数部25のバッファメモリ46に記憶されているミ
クロフィルタ処理後の欠陥データの個数と、バッファメ
モリ47に記憶されている2値化フィルタ処理後の明る
い箇所の欠陥データの個数と、バッファメモリ48に記
憶されている2値化フィルタ処理後の暗い箇所の欠陥デ
ータの個数とを入力し、それぞれの閾値p,q,rを満
足していないときは後段において影響がある微細欠陥又
は大きな欠陥と認識する。そして、欠陥を認識したカ所
の検査領域を検査領域決定処理部27のメモリ52から
読み、欠陥個所の領域名と欠陥の種類を判定結果として
知らせる。
細な欠陥を枚葉6の検査領域において検出する例を説明
する。
ついて以下に動作を説明する。例えば、カード化された
証明書等の枚葉6が図1に示す搬送機構2によって搬送
されて、センサ7により、枚葉6が検出されると、セン
サ7からは枚葉検出信号が枚葉検査制御装置11に出力
される。
センサカメラ3からの1ラインの映像信号を、画像入力
部22が入力してデジタル変換した後に光学的な誤差に
基づく補正をおこなった画像データをフレームメモリ2
4とフィルタ部23に出力する。
は、フィルタ部23によって、画像入力部22からの画
像データがミクロフィルタ処理されて微細欠陥の輪郭が
強調されたデータ(ミクロフィルタ処理後の欠陥デー
タ)が出力される。
な欠陥の画像データが入力すると、その画像データを2
56階調表現した場合は、図9の(b)に示すようにな
る。
に2値化した場合には閾値との変化がなく欠陥を検出す
ることが困難である。
回路30により、垂直及び水平方向の濃度の変化量を求
めて、それぞれの変化量を画素毎に加算し、加算した変
化量の平均値を3行3列の9つの格子領域の中心画素の
変化量の平均とすることによって、垂直方向及び水平方
向の輪郭を強調すると、図9の(c)に示すように、欠
陥カ所が閾値以上のレベルとなる。
後に、図9の(d)に示すように、欠陥カ所を2値化し
たミクロフィルタ処理後の欠陥データを得て欠陥データ
計数部25に出力する。
26に予め記憶されている枚葉6の領域15の検査領域
kaの座標領域(xai、yai)〜(xbn、yb
n)と、領域16の検査領域kbの座標領域(xbi、
ybi)〜(xbn、ybn)とを読み、図7の(b)
に示すように、メモリ52の各検査ウィンドウWiにフ
ラグを立てている。即ち、今回の所定ライン分の検査領
域を設定し、計数制御手段53が欠陥データ計数部25
に加算指示をしている。
理後の欠陥データがフィルタ部23から出力されると、
欠陥データ計数部25の加算器42は、検査領域決定処
理部27からの加算指示が停止するまで、閾値以上の前
回の欠陥データと加算する。そして、検査領域決定処理
部27からの加算指示が停止すると、加算結果をバッフ
ァメモリ46に記憶する。
陥判定処理部28によって読み込まれ、図8に示す欠陥
判定手段55によってミクロフィルタ処理後のデータの
個数(欠陥面積ともいう)が予め設定されている閾値p
以上のときは印字又は写真の張り付けに影響がある微細
欠陥と認識され、かつこの微細欠陥がある箇所の検査領
域名miが検査領域決定処理部27のメモリ52の検査
ウィンドウに基づいて判定される。そして、これらの判
定結果が外部に知らせられる。
けられる領域15又は文字が印字される領域16の所定
ライン分の画像データに基づいて微細欠陥と欠陥個所名
とが分かるので、短時間で欠陥のある枚葉を検出でき
る。
査領域において検出する例を説明する。
に微細欠陥以上の凹凸欠陥があった場合は、フィルタ部
23によって、画像入力部22からの画像データが2値
化フィルタ処理されて凹部又は凸部の欠陥が強調された
データ(明るい欠陥データ又は暗い欠陥データ)が出力
される。
凸の画像データがフィルタ部23に入力されると、その
画像を256階調表現した場合は、図10の(b)に示
すように、凹凸カ所がはっきりしている。
タを明側閾値と暗側閾値によって別けて2値化し、図1
0の(c)に示す2値化フィルタ処理後の明るい欠陥デ
ータ又は図10の(d)に示す2値化フィルタ処理後の
暗い欠陥データを欠陥データ計数部25に出力する。
3又は加算機器44は、2値化フィルタ処理後の明るい
欠陥データ又は2値化フィルタ処理後の暗い欠陥データ
を、検査領域決定処理部27からの加算指示が停止する
まで、閾値以上の前回の欠陥データと加算する。
定処理部27からの加算指示が停止すると、加算結果を
バッファメモリ47又はバッファメモリ48に記憶す
る。
陥判定処理部28によって読み込まれ、図8に示す欠陥
判定手段55が閾値r以上のときは印字又は写真の張り
付けに影響がある凸欠陥と認識する。また、この凸欠陥
がある箇所の検査領域名miが検査領域決定処理部27
のメモリ52の検査ウィンドウに基づいて判定され、こ
れらの判定結果が外部に知らせられる。
けられる領域15又は文字が印字される領域16の所定
ライン分の画像データに基づいて凸欠陥とその欠陥個所
名とが分かるので、短時間で欠陥のある枚葉を検出でき
る。
図8に示す欠陥判定手段55が閾値q以上のときは印字
又は写真の張り付けに影響がある凹欠陥と認識され、か
つこの凹欠陥がある箇所の検査領域名miが検査領域決
定処理部27のメモリ52の検査ウィンドウに基づいて
判定される。そして、これらの判定結果が外部に知らせ
られる。
けられる領域15又は文字が印字される領域16の所定
ライン分の画像データに基づいて凹欠陥とその欠陥個所
名とが分かるので、短時間で欠陥のある枚葉を検出でき
る。
び色むらを強調した欠陥データを出力するようにしても
よい。
は、フィルタ部23と、欠陥データ蓄積部25と、欠陥
判定処理部28とを図11に示す構成とする。
フィルタ回路60と第2の色むらフィルタ回路61とを
備えている、第1の色むらフィルタ回路60は、画像入
力部22からの画像データの高周波成分の縦横の色むら
を強調したデータを出力する。
力部22からの画像データの低週波成分の縦横の色むら
を強調したデータを出力する。
第2の色むらフィルタ回路からの画像データの強調カ所
をラッチするラッチ処理部65を備えている。
モリ46に記憶されたミクロフィルタ処理後の欠陥デー
タの個数と、バッファメモリ47に記憶された2値化フ
ィルタ処理後の明るい欠陥データと、バッファメモリ4
8に記憶された2値化フィルタ処理後の暗い欠陥データ
の個数と、ラッチ処理部65でラッチされた色むら欠陥
のデータを入力してその欠陥カ所を知らせる。
タ回路61は、例えば図12に示すように3行3列の格
子領域の中心のΣijの濃度を基に、縦ソーベルフィル
タと横ソーベルフィルタ等を用いてムラを強調する。
タ回路60によって強調された高周波成分の縦方向の色
むらデータと横方向の色むらデータと、第2の色むらフ
ィルタ回路61によって強調された低周波成分の縦方向
の色むらデータと横方向の色むらデータとをラッチして
欠陥判定処理部28に出力する。
理後の欠陥個数と、2値化処理後の欠陥個数(明)、
(暗)とを入力して閾値p,r,qを満足していない場
合は欠陥と認識し、この欠陥がどこの検査領域かを知ら
せる。
メモリ52の検査ウィンドウWiの名称miを読むこと
によって分かる。
タ(高周波成分の縦と横、低周波成分の縦と横)を入力
し、これらの色むらデータが予め設定されている閾値
s、t,u以上のときは、色むらと認識し、かつその色
むらがあった検査領域をパソコン9又はプリンタ10若
しくは分別部8に知らせる。
センサカメラ3からの1ラインの映像信号が画像入力部
22により取り込まれて、デジタル変換されて出力さ
れ、この画像データに色むら欠陥があると、フィルタ部
23の第1の色むらフィルタ回路60及び第2の色むら
フィルタ回路61は、縦ソーベルフィルタと横ソーベル
フィルタ等を用いてムラを強調する。
なっている。このように2チャンネルの色むらフィルタ
としたのは、一般に色むらの大きさは異なっており、印
刷に影響がある大きな色むら(周波数が高い)又は小さ
な色むら(周波数が低い)を検出可能とするためであ
る。次に、ラッチ処理部65は、第1の色むらフィルタ
回路60又は第2の色むらフィルタ回路61によって色
むらが強調されると、その強調カ所をラッチして欠陥判
定処理部28に出力する。
は、例えば図13の(a)に示す色むらがある画像デー
タを、図13の(b)に示すように、256階調表現す
ると濃度のばらつきはほとんどない。
子領域の中心のΣijの濃度を基に、図13の(c)に
示すような画像データを得て、縦ソーベルフィルタと横
ソーベルフィルタ等を行うと、図13の(d)に示すよ
うなムラの縦と横が強調された色むらデータを得ること
ができる。
すように、高周波数のムラ1(縦方向)と、高周波数の
ムラ1(横方向)と、低周波数のムラ2(縦方向)と、
低周波数のムラ2(横方向)との7情報を入力し、それ
ぞれのデータに対応して設けた閾値s,t,uを満足し
ていない場合は、後段において影響がある色むら欠陥と
認識し、この欠陥がどこの検査領域かを検査ウィンドウ
Wiに対応する名称から読み込んで知らせる。
に示すようにミクロフィルタ処理後のデータと、2値化
フィルタ処理後のデータ(明)と、2値化フィルタ処理
後のデータ(暗)と、高周波数のムラ1(縦方向)と、
高周波数のムラ1(横方向)と、低周波数のムラ2(縦
方向)と、低周波数のムラ2(横方向)との7情報を入
力し、それぞれのデータに対応して設けた閾値p,r,
q、s,t,uを満足していない場合は欠陥と認識し、
この欠陥がどこの検査領域かを検査ウィンドウWiに対
応する名称から読み込んで知らせる。
タから微細欠陥、凹凸欠陥、シミ、汚れ、色むら等の欠
陥とその欠陥個所名とが分かるので、短時間で欠陥のあ
る枚葉を検出できる。
理部は、欠陥判定処理部に設けてもよい。
2に示す搬送方向を実施の形態として説明したが、搬送
方向は90度回転させた方向にして搬送させてもよい。
れば、被検査物の一画面の画像データを蓄積しなくと
も、検査領域の所定領域における欠陥を認識するので、
欠陥がある被検査物を短時間で検出して知らせることが
できるという効果が得られている。
カ所の検査領域も知らせるので、どこに後段の加工に影
響がある欠陥があるかが分かるという効果が得られてい
る。
積しなくとも、検査領域の所定領域における微細欠陥が
認識されるので、被検査物に微細欠陥があると直ちに、
微細欠陥がある被検査物として知らせられると共に、そ
の欠陥個所を知らせられるという効果が得られている。
積しなくとも、検査領域の所定領域における微細欠陥以
上の欠陥が認識されるので、被検査物に微細欠陥以上の
欠陥があると直ちに、微細欠陥以上の欠陥がある被検査
物として知らせられると共に、その欠陥個所を知らせら
れるという効果が得られている。
蓄積しなくとも、検査領域の所定領域における色むら欠
陥が認識されるので、被検査物に色むら欠陥があると直
ちに、色むら欠陥がある被検査物として知らせられると
共に、その欠陥個所を知らせられるという効果が得られ
ている。
積しなくとも、検査領域の所定領域における欠陥を認識
するので、欠陥がある被検査物を短時間で検出して知ら
せることができるという効果が得られている。
積する必要がないので、大容量の画像メモリを必要とし
ないから低コストになる。
記憶しているため、被検査物の種類に応じた検査領域と
検査領域名とをオペレータが任意に設定できるという効
果が得られている。
積しなくとも、検査領域の所定領域における色むら欠陥
が認識されるので、被検査物に色むら欠陥があると直ち
に、色むら欠陥がある被検査物として知らせられると共
に、その欠陥個所を知らせられるという効果が得られて
いる。
る。
である。
る。
欠陥データ計数部の概略構成図である。
図である。
部を説明する説明図である。
Claims (4)
- 【請求項1】 搬送されて来る被検査物を撮像して、前
記被検査物の流れ方向に対する水平走査線方向の映像を
逐次得る工程と、 前記水平走査線方向の映像が得られる毎に、前記撮像の
タイミングに合わせたデジタルの画像データに変換する
工程と、 前記水平走査線分の画像データを一定数、蓄積する工程
と、 前記被検査物の検査領域を座標データで予め記憶し、前
記一定数の画像データの座標が前記予め記憶されている
検査領域に位置しているとき、該検査領域の座標範囲に
対応する検査ウインドウを検査領域名に対応させて設定
する工程と、 前記デジタルの画像データを入力し、3行3列の画素領
域毎の水平、垂直方向の濃度の変化量を算出して、それ
ぞれ加算し、平均化処理して微細欠陥を強調した後に、
2値化して所定レベル以上の欠陥データをミクロフィル
タ後の欠陥データとした検査結果を得る工程と、 前記デジタルの画像データを入力し、該デジタルの画像
データの濃度情報に対してノイズを除去して、それぞれ
のしきい値により、明るい箇所の欠陥を強調した明るい
箇所の欠陥データ及び暗い箇所の輪郭を強調した暗い箇
所の欠陥データとした検査結果を得る工程と、 前記ミクロフィルタ後の欠陥データが得られる毎に計数
すると共に、前記明るい箇所の欠陥データが得られる毎
に計数し、かつ前記暗い箇所の欠陥データが得られる毎
に計数する工程と、 前記計数されたミクロフィルタ後の欠陥データの個数、
前記計数された明るい箇所の欠陥データの個数、前記係
数された暗い箇所の欠陥データの個数がそれぞれのしき
い値を満足していないときは、前記被検査物を後段で加
工する際に影響がある欠陥と認識する工程と、 前記被検査物を後段で加工する際に影響がある欠陥と認
識したときは、前記検査ウィンドウの検査領域名と、前
記検査結果とを知らせる工程とを有することを特徴とす
る欠陥検査方法。 - 【請求項2】 前記各計数は、前記検査ウインドウの範
囲に渡って計数することを特徴とする請求項1記載の欠
陥検査方法。 - 【請求項3】 被検査物を搬送する搬送機構上の所定位
置に設けられたラインセンサカメラと、 前記被検査物が前記所定位置に来たとき、前記ラインセ
ンサカメラからの映像信号を取り込んで、前記映像信号
の画素毎の濃度情報をデジタルの画像データに変換する
画像入力部と、 前記水平走査線分の画像データを一定数、蓄積するフレ
ームメモリと、 予め記憶されている被検査物の検査領域の座標範囲を、
一定領域毎に分割した検査ウィンドウを設け、この検査
ウィンドウに前記一定領域の座標範囲と検査領域名とを
対応させて設定する検査領域決定処理部と、 前記デジタルの画像データを入力し、3行3列の画素領
域毎の水平、垂直方向の濃度の変化量を算出して、それ
ぞれ加算し、平均化処理して微細欠陥を強調した後に、
2値化して所定レベル以上の欠陥データをミクロフィル
タ後の欠陥データとした検査結果を得るミクロフイルタ
と、 前記デジタルの画像データを入力し、該デジタルの画像
データの濃度情報に対してノイズを除去して、それぞれ
のしきい値により、明るい箇所の欠陥を強調した明るい
箇所の欠陥データ及び暗い箇所の輪郭を強調した暗い箇
所の欠陥データとした検査結果を得る2値化フイルタ
と、 前記ミクロフィルタ後の欠陥データが得られる毎に計数
すると共に、前記明るい箇所の欠陥データが得られる毎
に計数し、かつ前記暗い箇所の欠陥データが得られる毎
に計数する工程前記フィルタ部からの欠陥データを計数
する欠陥データ計数部と、 前記計数されたミクロフィルタ後の欠陥データの個数、
前記計数された明るい箇所の欠陥データの個数、前記係
数された暗い箇所の欠陥データの個数がそれぞれのしき
い値を満足していないときは、前記被検査物を後段で加
工する際に影響がある欠陥と認識し、前記検査ウィンド
ウの検査領域名と、前記検査結果とを知らせる欠陥判定
処理部とを有することを特徴とする欠陥検査装置。 - 【請求項4】 前記欠陥データ計数部は、前記検査ウイ
ンドウの範囲に渡って計数することを特徴とする請求項
3記載の欠陥検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16748696A JP3412732B2 (ja) | 1996-06-27 | 1996-06-27 | 欠陥検査方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16748696A JP3412732B2 (ja) | 1996-06-27 | 1996-06-27 | 欠陥検査方法及びその装置 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003011499A Division JP2003215050A (ja) | 2003-01-20 | 2003-01-20 | 欠陥検査方法及びその装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1011579A JPH1011579A (ja) | 1998-01-16 |
JP3412732B2 true JP3412732B2 (ja) | 2003-06-03 |
Family
ID=15850582
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP16748696A Expired - Fee Related JP3412732B2 (ja) | 1996-06-27 | 1996-06-27 | 欠陥検査方法及びその装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3412732B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100969052B1 (ko) | 2004-03-03 | 2010-07-09 | 엘지전자 주식회사 | 라인 카메라의 획득 화상 개선장치 |
KR102336433B1 (ko) * | 2019-12-20 | 2021-12-07 | (주)캠시스 | 카메라를 이용한 수율 관리 시스템 및 방법 |
-
1996
- 1996-06-27 JP JP16748696A patent/JP3412732B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH1011579A (ja) | 1998-01-16 |
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