JP3409223B2 - Linear motor - Google Patents
Linear motorInfo
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- JP3409223B2 JP3409223B2 JP31627894A JP31627894A JP3409223B2 JP 3409223 B2 JP3409223 B2 JP 3409223B2 JP 31627894 A JP31627894 A JP 31627894A JP 31627894 A JP31627894 A JP 31627894A JP 3409223 B2 JP3409223 B2 JP 3409223B2
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Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、対向する永久磁石間に
形成された磁気空隙内を可動コイルが直線運動する形式
のリニアモータに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a linear motor of a type in which a moving coil linearly moves in a magnetic gap formed between opposed permanent magnets.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来１０cm乃至１００cmといった長いス
トロークの範囲内で物体の位置決めを行うための駆動装
置としては、例えば、特公昭５８−４９１００号および
実開昭６３−９３７８３号公報に開示されているような
可動コイル形リニアモータが多用されている。このリニ
アモータは、厚さ方向に着磁した複数の永久磁石を異極
同士が対向するように配置し、対向する永久磁石間に形
成された空隙内に、磁束と直角方向に運動する可動コイ
ル組立体を配設した構造を有する。2. Description of the Related Art Conventionally, driving devices for positioning an object within a long stroke range of 10 cm to 100 cm are disclosed in, for example, Japanese Patent Publication No. 58-49100 and Japanese Utility Model Publication No. 63-93783. Such moving coil type linear motors are often used. In this linear motor, a plurality of permanent magnets magnetized in the thickness direction are arranged so that different poles face each other, and a movable coil that moves in a direction perpendicular to the magnetic flux is formed in a gap formed between the facing permanent magnets. It has a structure in which an assembly is arranged.
【０００３】このようなリニアモータでは、磁気回路部
にセンターヨークがなく、しかも空隙内で磁束が複数個
の閉ループを構成し、磁路の一部に磁束が集中しないよ
うになっているので、長いストロークの全域に亘って一
様な磁束密度を発生させることができる。In such a linear motor, there is no center yoke in the magnetic circuit portion, and the magnetic flux forms a plurality of closed loops in the air gap so that the magnetic flux is not concentrated in a part of the magnetic path. A uniform magnetic flux density can be generated over the entire long stroke.
【０００４】図８は従来のリニアモータを示す原理説明
図である。図８において１はヨークであり、鉄板のよう
な強磁性材料により例えば平板状に形成する。２は永久
磁石であり、厚さ方向に着磁し、表面にＮＳ磁極が交互
に出現するようにヨーク１の長手方向に配設して固着す
る。上記のように形成したヨーク１を永久磁石２の異極
が対向するように空隙３を介して配設する。４は支持板
であり、前記空隙３を確保するためにヨーク１の長手方
向両端部に固着する。FIG. 8 is a principle explanatory view showing a conventional linear motor. In FIG. 8, reference numeral 1 is a yoke, which is made of a ferromagnetic material such as an iron plate and has a flat plate shape, for example. Reference numeral 2 denotes a permanent magnet, which is magnetized in the thickness direction, and is arranged and fixed in the longitudinal direction of the yoke 1 so that NS magnetic poles alternately appear on the surface. The yoke 1 formed as described above is arranged via the air gap 3 so that the different poles of the permanent magnet 2 face each other. Reference numeral 4 denotes a support plate, which is fixed to both ends of the yoke 1 in the longitudinal direction in order to secure the gap 3.
【０００５】なお支持板４は前記ヨーク１と同様の強磁
性材料によって形成することが好ましい。次に５はコイ
ルであり、前記空隙３における磁束と巻線方向が直交す
るような偏平の多相コイルによって形成する。すなわち
複数個のコイルを永久磁石２の配設方向に若干量宛ずら
せて配設し、磁極の方向を磁界検出素子等の手段を介し
て検出し、電流を流すべきコイルおよびその方向を切り
換え得るように形成する。なお上記コイル５はホルダ
（図示せず）に一体に支持されて可動子を形成する。The supporting plate 4 is preferably made of the same ferromagnetic material as the yoke 1. Next, reference numeral 5 denotes a coil, which is formed by a flat multi-phase coil whose winding direction is orthogonal to the magnetic flux in the air gap 3. That is, a plurality of coils may be arranged so as to be slightly displaced in the arrangement direction of the permanent magnets 2, the direction of the magnetic poles may be detected by means of a magnetic field detecting element, etc., and the coil to which a current should flow and its direction can be switched. To form. The coil 5 is integrally supported by a holder (not shown) to form a mover.
【０００６】以上の構成により、コイル５に電流を流す
と、コイル５の巻線方向が永久磁石２による磁束と直交
しているので、コイル５はフレミングの左手の法則によ
り、ヨーク１の長手方向の駆動力を受けるから、コイル
５を一体に支持してなる可動子（図示せず）はヨーク１
の長手方向に移動する。次にコイル５に前記と逆方向の
電流を流すと、コイル５には前記と逆方向の駆動力が作
用するから、可動子は前記と逆方向に移動する。従って
コイル５への通電およびその電流の方向を選択すること
により、可動子を所定位置に移動させることができる。With the above structure, when a current is passed through the coil 5, the winding direction of the coil 5 is orthogonal to the magnetic flux generated by the permanent magnet 2. Therefore, the coil 5 moves in the longitudinal direction of the yoke 1 according to Fleming's left-hand rule. The movable element (not shown) that integrally supports the coil 5 receives the driving force of the yoke 1.
Move in the longitudinal direction. Next, when a current in the opposite direction to the above is applied to the coil 5, a driving force in the opposite direction to the above acts on the coil 5, so that the mover moves in the opposite direction. Therefore, the mover can be moved to a predetermined position by selecting the energization of the coil 5 and the direction of the current.
【０００７】図６は本発明の対象であるリニアモータの
例を示す要部断面図である。図６において１１はベース
であり、軟鋼のような強磁性材料により平板状に形成す
る。１２はセンターヨーク、１３はサイドヨークであ
り、各々前記ベース１１と同様の材料によって平板状に
形成すると共に、ベース１１上に間隔を介して固着す
る。次に１４は永久磁石であり、例えば希土類系磁石に
より後述するような形状寸法に形成し、センターヨーク
１２およびサイドヨーク１３の夫々の対向面に、相隣る
磁極の極性が異なるように複数個を、空隙１５を介して
異極が対向するように配設する。FIG. 6 is a cross-sectional view of essential parts showing an example of a linear motor which is the object of the present invention. In FIG. 6, reference numeral 11 is a base, which is formed in a flat plate shape with a ferromagnetic material such as mild steel. Reference numeral 12 is a center yoke, and 13 is a side yoke, which are made of the same material as that of the base 11 and are formed in a flat plate shape, and are fixed on the base 11 with a space therebetween. Next, 14 is a permanent magnet, which is formed of, for example, a rare earth magnet in a shape and dimension as described later, and a plurality of magnets are formed on the respective facing surfaces of the center yoke 12 and the side yokes 13 so that adjacent magnetic poles have different polarities. Are arranged so that the different poles face each other through the gap 15.
【０００８】図６において永久磁石１４の配設方向は紙
面と直交する方向である。次に１６は可動子であり、キ
ャリッジ１７の下方にコイルフレーム１８を固着し、コ
イルフレーム１８が前記空隙１５内において紙面と直交
する方向に移動可能に設ける。このコイルフレーム１８
は、推力リップルの発生を防止するため、非磁性材料に
よって形成する。すなわち、例えばアルミニウム合金製
の枠（絶縁性を付与するため表面はアルマイト処理をし
ておく）の表面に樹脂（例えばガラス入エポキシ樹脂）
製の基板を装着し、この基板上に後述するコイル１９を
固着して形成する。In FIG. 6, the disposing direction of the permanent magnet 14 is a direction orthogonal to the paper surface. Next, 16 is a mover, and a coil frame 18 is fixed below the carriage 17, and the coil frame 18 is provided in the space 15 so as to be movable in a direction orthogonal to the paper surface. This coil frame 18
Is formed of a non-magnetic material in order to prevent generation of thrust ripple. That is, for example, a resin (for example, glass-filled epoxy resin) is applied to the surface of a frame made of an aluminum alloy (the surface is alumite-treated to provide insulation)
A substrate made of aluminum is attached, and a coil 19 described later is fixed and formed on this substrate.
【０００９】なおコイルフレーム１８を磁性材料によっ
て形成したり、あるいは可動子１６の側にバックヨーク
が存在すると、永久磁石１４の吸着力によるアンバラン
スが発生し、推力リップルの発生原因の一つとなる。１
９はコイルであり、偏平状に形成すると共にコイルフレ
ーム１８の両面に設ける。If the coil frame 18 is made of a magnetic material, or if a back yoke is present on the side of the mover 16, an imbalance due to the attraction force of the permanent magnet 14 occurs, which is one of the causes of the thrust ripple. . 1
Reference numeral 9 denotes a coil, which is formed in a flat shape and is provided on both surfaces of the coil frame 18.
【００１０】図７は図６におけるコイルフレーム１８を
示す要部斜視図であり、同一部分は図６と同一の参照符
号で示す。コイル１９は例えば３相コイル（特開昭６２
−１９３５４３号公報参照）とし、各相はすべて直列接
続すると共に、各相間はＹ形接続とする。FIG. 7 is a perspective view of an essential part showing the coil frame 18 in FIG. 6, and the same portions are designated by the same reference numerals as those in FIG. The coil 19 is, for example, a three-phase coil (Japanese Unexamined Patent Publication No. 62-62160
No. 193543), all the phases are connected in series, and the phases are connected in a Y-shape.
【００１１】本発明の対象のリニアモータは、上記のよ
うに多相コイルを使用して、この多相コイルに正弦波状
の駆動電流を供給するのであるが、相数が多くなる程力
率が低下するため、入力電流を増加する必要があるの
で、２相または３相の通電方式を採用するのが望まし
い。すなわち本発明のリニアモータは、後述するような
特定形状の永久磁石を有する磁気回路と、２相または３
相の正弦波電流出力型の駆動回路とを組合わせた構成と
することが望ましい。The linear motor of the present invention uses a polyphase coil as described above and supplies a sinusoidal drive current to the polyphase coil. The power factor increases as the number of phases increases. Since it decreases, it is necessary to increase the input current. Therefore, it is desirable to adopt a two-phase or three-phase energization method. That is, the linear motor of the present invention has a magnetic circuit having a permanent magnet of a specific shape as will be described later and a two-phase or three-phase magnetic circuit.
It is desirable to have a configuration in which a phase sine wave current output type drive circuit is combined.
【００１２】上記構成の可動子１６を組立てる場合に
は、キャリッジ１７にコイルフレーム１８を嵌着すべき
溝２０および貫通孔（図示せず）を穿設しておくと共
に、コイルフレーム１８の上端縁にはねじ孔（図示せ
ず）を設け、ボルト若しくは止めねじ（何れも図示せ
ず）を締結して組立てる手段が一般に使用されている。When assembling the mover 16 having the above structure, the carriage 17 is provided with the groove 20 and the through hole (not shown) into which the coil frame 18 is to be fitted, and the upper edge of the coil frame 18 is formed. Generally, a means for assembling is provided by providing a screw hole (not shown) and fastening a bolt or a set screw (neither is shown).
【００１３】しかしながら、このような手段によるとき
には、キャリッジ１７およびコイルフレーム１８に溝２
０その他の機械加工を施しておく必要があると共に、組
立作業が煩雑であるため、加工工数および組立工数が大
になり、コスト高となるという問題点がある。一方上記
締結手段の他に、接着剤による固着手段も試みられてい
るが、位置決め用の溝２０を加工する必要があると共
に、接着剤の硬化に時間を要することもあり、大幅な工
数低減を期待することができない。また組立後における
キャリッジ１７とコイルフレーム１８との直角度および
位置決め精度を確保することが困難であるという問題点
も併存する。However, when using such means, the groove 2 is formed in the carriage 17 and the coil frame 18.
Since it is necessary to perform other mechanical processing, and the assembling work is complicated, there is a problem in that the number of processing man-hours and the number of assembling man-hours become large and the cost becomes high. On the other hand, in addition to the fastening means described above, fixing means using an adhesive has been attempted, but since it is necessary to process the positioning groove 20 and it may take time to cure the adhesive, it is possible to significantly reduce the number of steps. I can't expect. There is also a problem that it is difficult to secure the perpendicularity and the positioning accuracy between the carriage 17 and the coil frame 18 after assembly.
【００１４】上記問題点を解決するために、本出願人は
すでに、多相コイルを備えたコイルフレームを成形用金
型内にインサートし、この成形用金型内に熱可塑性樹脂
材料を充填することにより前記コイルフレームを一体に
抱持固着してなるキャリッジを形成する、という内容に
ついて出願している（特願平３−３２８４８１号）。In order to solve the above-mentioned problems, the present applicant has already inserted a coil frame having a multi-phase coil into a molding die and filling the molding die with a thermoplastic resin material. Thus, a patent application has been filed for forming a carriage formed by integrally holding and fixing the coil frame (Japanese Patent Application No. 3-328481).
【００１５】[0015]
【発明が解決しようとする課題】上記の構成により、可
動子１６の組立工数を低減することができるが、未だ若
干の問題点が存在することが判明した。すなわちキャリ
ッジ１７が熱可塑性樹脂材料によって形成されているた
め、剛性が不足し、またはキャリッジ１７とコイルフレ
ーム１８との結合部の固着強度が不足するため、可動子
１６全体の固有振動数が低い（例えば５００〜１kHz ）
という問題点がある。このため、リニアモータの停止精
度、アクセス時間等の特性の向上が困難であるという欠
点がある。一方この種のリニアモータに要求される特性
は、近年ますます厳しくなってきており、更に固有振動
数の大なるリニアモータの出現が望まれている。With the above construction, the man-hours for assembling the mover 16 can be reduced, but it has been found that some problems still exist. That is, since the carriage 17 is made of a thermoplastic resin material, the rigidity is insufficient, or the fixing strength of the joint portion between the carriage 17 and the coil frame 18 is insufficient, so that the natural frequency of the entire mover 16 is low ( (Eg 500-1kHz)
There is a problem. Therefore, there is a drawback that it is difficult to improve characteristics such as stop accuracy and access time of the linear motor. On the other hand, the characteristics required for this type of linear motor have become more and more severe in recent years, and the advent of a linear motor having a large natural frequency is desired.
【００１６】本発明は、上記従来技術に存在する問題点
を解決し、可動子を構成するキャリッジおよびコイルフ
レームの剛性が大であり、固有振動数の大なるリニアモ
ータを提供することを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to solve the above problems existing in the prior art and to provide a linear motor in which the carriage and the coil frame forming the mover have a large rigidity and a natural frequency is large. To do.
【００１７】[0017]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、第１の発明においては、相隣る磁極の極性が異なる
ように複数個の永久磁石を、空隙を介して異極が対向す
るように配設し、この空隙内に多相コイルからなるコイ
ルフレームを介装させ、かつキャリッジを介してコイル
フレームを前記永久磁石の配設方向に移動可能に設ける
と共に、前記多相コイルに正弦波駆動電流を供給するた
めの駆動回路を備えてなるリニアモータにおいて、多相
コイルを構成する夫々の相コイルを永久磁石の配設方向
に沿って順次非重畳状態に配設し、キャリッジとコイル
フレームとを非磁性金属材料によって一体鋳造して形成
すると共に、前記多相コイルを前記コイルフレーム内に
樹脂材料により一体に抱持固着する、という技術的手段
を採用した。In order to achieve the above object, in the first aspect of the present invention, a plurality of permanent magnets are opposed to each other through a gap so that adjacent magnetic poles have different polarities. And a coil frame composed of a polyphase coil is interposed in this space, and the coil frame is movably provided in the direction in which the permanent magnets are arranged via a carriage, and a sine coil is provided on the polyphase coil. In a linear motor having a drive circuit for supplying a wave drive current, the phase coils forming the polyphase coil are sequentially arranged in a non-overlapping state along the arrangement direction of the permanent magnets, and the carriage and the coils are arranged. A technical means is adopted in which the frame and the multi-phase coil are integrally cast and formed of a non-magnetic metal material, and the polyphase coil is integrally held and fixed in the coil frame by a resin material.
【００１８】次に第２の発明においては、上記第１の発
明の技術的手段に、コイルフレームに各々磁界検出素子
および多相コイルを収納する素子空孔およびコイル空孔
を隣接して設け、永久磁石の配設方向における前記コイ
ルフレームの一方の端部と前記素子空孔との間、素子空
孔とコイル空孔との間およびコイル空孔とコイルフレー
ムの他方の端部との間に夫々形成される第１ないし第３
の桟の幅寸法を夫々ａ，ｂ，ｃ、永久磁石の幅寸法を
Ｗ、高さ寸法をＨ、第１の桟と第２の桟とのピッチ寸
法、第２の桟と第３の桟とのピッチ寸法および第１の桟
と第３の桟とのピッチ寸法を夫々ｐ，ｑ，ｒ、ならびに
前記素子空孔の高さ寸法をＨ1 としたときに、
ａ＜Ｗ，ｂ＜Ｗ，ｃ＜Ｗ，
ｐ≠（２ｎ＋１）Ｗ，ｑ≠（２ｎ＋１）Ｗ，ｒ≠（２ｎ
＋１）Ｗ
（但し、ｎは正の整数）
（１／２）Ｈ≦Ｈ1
に形成する、という技術的手段を付加した。In a second aspect of the invention, in addition to the technical means of the first aspect of the invention, an element hole and a coil hole for accommodating a magnetic field detecting element and a polyphase coil are provided adjacent to each other in the coil frame, Between one end of the coil frame and the element hole in the arrangement direction of the permanent magnet, between the element hole and the coil hole, and between the coil hole and the other end of the coil frame. First to third formed respectively
A, b, and c, width dimensions of the permanent magnets W, height dimensions H, pitch dimensions between the first and second rails, second rails and third rails, respectively. And p and q and r, respectively, and the height dimension of the element hole is H 1 , a <W, b <W , C <W, p ≠ (2n + 1) W, q ≠ (2n + 1) W, r ≠ (2n
+1) W (provided that n is a positive integer) (1/2) H ≦ H 1 The technical means of forming is added.
【００１９】本発明における非磁性金属材料としては、
銅合金、アルミニウム合金、マグネシウム合金、亜鉛合
金等の公知の鋳造可能な非磁性合金の１種または２種以
上を使用することができる。就中アルミニウム合金およ
びマグネシウム合金のような軽合金を使用することが軽
量化の点で好ましい。As the non-magnetic metal material in the present invention,
One or more known non-magnetic, castable alloys such as copper alloys, aluminum alloys, magnesium alloys, and zinc alloys can be used. Especially, it is preferable to use a light alloy such as an aluminum alloy and a magnesium alloy in terms of weight reduction.
【００２０】本発明における一体鋳造手段としては公知
の鋳造手段を採用できるが、例えば遠心鋳造法、置注ぎ
鋳造法、圧力ダイカスト法（ダイ鋳造法）、重力ダイカ
スト法、低圧鋳造法、爆発鋳造法、ロスト・ワックス法
に代表される精密鋳造法、圧迫鋳造法、減圧鋳造法、真
空鋳造法（真空脱ガス法）、組合せ鋳造法、連続鋳造
法、加圧鋳造法、半融体鋳造法（レオキャスティング）
等が挙げられる。これらの鋳造手段は通常大気中または
真空中で実施されるが、必要に応じて不活性ガス雰囲気
（Ａｒ，Ｎ2 ，ＣＯ2 ，Ｈ2 等の１種または２種以上）
中で行ってもよい。As the integral casting means in the present invention, known casting means can be adopted. For example, centrifugal casting method, pouring casting method, pressure die casting method (die casting method), gravity die casting method, low pressure casting method, explosion casting method. , Precision casting method represented by lost wax method, compression casting method, reduced pressure casting method, vacuum casting method (vacuum degassing method), combination casting method, continuous casting method, pressure casting method, semi-melt casting method ( Leo casting)
Etc. These casting means are usually carried out in the atmosphere or vacuum, but if necessary, an inert gas atmosphere (one or more of Ar, N 2 , CO 2 , H 2 etc.)
You can go inside.
【００２１】そして上記一体鋳造手段において、ニアネ
ットシェイプ（Near-Net-Shape）の一体鋳造品の得られ
易い鋳造方案を選択することが極めて重要となる。更に
上述のようにして形成された一体鋳造品に、必要に応じ
て適宜の熱処理および機械加工を施し、充分な強度およ
び寸法精度を付与することができる。In the above-mentioned integral casting means, it is extremely important to select a casting method in which a near-net-shape integral casting product can be easily obtained. Further, the integrally cast product formed as described above can be subjected to appropriate heat treatment and machining as required to give sufficient strength and dimensional accuracy.
【００２２】また多相コイルをコイルフレーム内に抱持
固着するための樹脂材料としては、熱硬化性樹脂および
熱可塑性樹脂を使用し、かつ注型成形、圧縮成形、トラ
ンスファー成形、射出成形等の公知の成形手段を使用す
ることができる。この中で生産性の点から射出成形によ
ることが好ましい。従って樹脂材料としては熱可塑性樹
脂を使用するのがよい。As the resin material for holding and fixing the multi-phase coil in the coil frame, a thermosetting resin and a thermoplastic resin are used, and casting molding, compression molding, transfer molding, injection molding and the like are used. Known molding means can be used. Of these, injection molding is preferable from the viewpoint of productivity. Therefore, it is preferable to use a thermoplastic resin as the resin material.
【００２３】上記の熱可塑性樹脂としては、例えばポリ
フェニリンサルファイド樹脂、ポリブチレンテレフタレ
ート樹脂、ポリアミド樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミ
ドイミド樹脂、ポリエステル樹脂、ポリエーテルエーテ
ルケトン樹脂、ポリエーテルサルホン樹脂等の公知の樹
脂（好ましくは耐熱性樹脂がよい）の１種または２種以
上を用い得る。As the above-mentioned thermoplastic resin, for example, polyphenylene sulfide resin, polybutylene terephthalate resin, polyamide resin, polyimide resin, polyamideimide resin, polyester resin, polyether ether ketone resin, polyether sulfone resin, etc. are known. One type or two or more types of the above resins (preferably heat resistant resins are preferable) can be used.
【００２４】これらの樹脂の内では、縦弾性率（測定
法：ＡＳＴＭ Ｄ−６３８）が１０×１０4 kg／cm2 以
上（好ましくは１３×１０4 kg／cm2 以上）のものが好
ましい。特に熱可塑性樹脂として液晶ポリマー（溶融状
態で液晶性を示す）の一種である液晶性ポリエステル樹
脂（主鎖中に剛直鎖を有するポリエステル）を使用する
と好ましい。また縦弾性率を増大させるために、ガラス
繊維、ＣＢ繊維等を混入させた所謂ＦＲＰ若しくはエン
ジニアリングプラスチックとするのが好ましい。Among these resins, those having a longitudinal elastic modulus (measurement method: ASTM D-638) of 10 × 10 4 kg / cm 2 or more (preferably 13 × 10 4 kg / cm 2 or more) are preferable. In particular, it is preferable to use, as the thermoplastic resin, a liquid crystalline polyester resin (polyester having a rigid straight chain in the main chain) which is a kind of liquid crystal polymer (which exhibits liquid crystallinity in a molten state). Further, in order to increase the longitudinal elastic modulus, so-called FRP or engineering plastic in which glass fiber, CB fiber and the like are mixed is preferably used.
【００２５】次に第２の発明における磁界検出素子とし
ては、ホール素子、磁気抵抗素子、方向性磁電素子、磁
気ダイオードのような磁電素子を使用できると共に、光
電素子を使用して光学的に永久磁石の位置を検出しても
よい。Next, as the magnetic field detecting element in the second invention, a Hall element, a magnetoresistive element, a directional magnetoelectric element, a magnetoelectric element such as a magnetic diode can be used, and an optoelectronic element is used to achieve optical permanentity. The position of the magnet may be detected.
【００２６】なお第２の発明におけるコイルフレームの
構成部分の永久磁石の幅寸法および高さ寸法に対する限
定条件は、コイルフレームの移動の際にコイルフレーム
内に発生する渦電流を阻止し、リニアモータの特性を向
上させるためのものである。The limiting condition for the width dimension and height dimension of the permanent magnets of the coil frame components in the second invention is to prevent eddy currents generated in the coil frame during movement of the coil frame, To improve the characteristics of.
【００２７】[0027]
【作用】上記の構成により、可動子の製作、組立工数を
大幅に低減させ得ると共に、可動子を構成するキャリッ
ジおよびコイルフレームの剛性を向上させ、固有振動数
を大にさせ得るのである。With the above structure, the man-hours for manufacturing and assembling the mover can be significantly reduced, the rigidity of the carriage and the coil frame forming the mover can be improved, and the natural frequency can be increased.
【００２８】[0028]
【実施例】図１は本発明の実施例におけるキャリッジお
よびコイルフレームを示す要部斜視図であり、同一部分
は前記図６および図７と同一の参照符号で示す。図１に
おいて２１はコイル空孔であり、コイルフレーム１８に
例えば長方形状に形成して設ける。この場合、キャリッ
ジ１７およびコイルフレーム１８は、例えばＪＩＳＡＣ
２Ａのアルミニウム合金鋳物により、一体鋳造して形成
される。またコイル空孔２１は、例えば中子等の使用に
より、鋳造時に同時に形成される。1 is a perspective view of a main part showing a carriage and a coil frame in an embodiment of the present invention, and the same parts are designated by the same reference numerals as those in FIGS. 6 and 7. In FIG. 1, reference numeral 21 denotes a coil hole, which is formed in the coil frame 18 in a rectangular shape, for example. In this case, the carriage 17 and the coil frame 18 are, for example, JISAC.
The aluminum alloy casting of 2A is integrally cast. Further, the coil holes 21 are formed at the same time during casting by using, for example, a core.
【００２９】なお必要に応じて上記一体鋳造品に適宜の
熱処理および機械加工を施し、キャリッジ１７、コイル
フレーム１８およびコイル空孔２１の機能を充分に満足
する強度および寸法精度が付与されている。If necessary, the integrally cast product is appropriately heat-treated and machined so as to have strength and dimensional accuracy that sufficiently satisfy the functions of the carriage 17, the coil frame 18 and the coil holes 21.
【００３０】図２は本発明の実施例における可動子を示
す要部側面図、図３（ａ）、図３（ｂ）は図２における
Ａ−Ａ線断面図であり、同一部分は前記図１、図６およ
び図７と同一の参照符号にて示す。図２および図３
（ａ）、図３（ｂ）において、２２は端子であり、コイ
ルフレーム１８に絶縁材料からなるスリーブ２３を介し
て設けられ、コイル１９の夫々の巻線端を接続し、所定
の結線が行われる。FIG. 2 is a side view of a main part showing a mover according to an embodiment of the present invention, and FIGS. 3 (a) and 3 (b) are sectional views taken along the line AA in FIG. 1, and the same reference numerals as those in FIGS. 2 and 3
In FIG. 3A and FIG. 3B, reference numeral 22 is a terminal, which is provided on the coil frame 18 via a sleeve 23 made of an insulating material, connects the respective winding ends of the coil 19, and makes a predetermined connection. Be seen.
【００３１】上記コイル１９をコイルフレーム１８に固
定するには、例えばコイルフレーム１８およびコイル１
９の外形輪郭に対応する空間を設けてなる成形用金型内
の所定位置にコイルフレーム１８およびコイル１９をイ
ンサートし、例えばポリフェニリンサルファイド樹脂の
ような熱可塑性樹脂を例えば射出成形手段によって成形
用金型内に注入充填すれば、コイル１９がコイルフレー
ム１８のコイル空孔２１内に一体に抱持固着される。鎖
線は上記樹脂からなる保持部材２４を示す。To fix the coil 19 to the coil frame 18, for example, the coil frame 18 and the coil 1
The coil frame 18 and the coil 19 are inserted into a predetermined position in a molding die having a space corresponding to the outer contour of 9, and a thermoplastic resin such as polyphenylene sulfide resin is molded by, for example, injection molding means. By injecting and filling in the mold, the coil 19 is integrally held and fixed in the coil hole 21 of the coil frame 18. The chain line indicates the holding member 24 made of the above resin.
【００３２】なお図３（ａ）は２組のコイル１９をそれ
らのコイルパターンが対称となるように背中合わせに配
置した場合であり、２組のコイル１９，１９の境界面が
中間面２５となっている。一方図３（ｂ）は、例えば絶
縁性を付与するため表面がアルマイト処理されたアルミ
ニウム合金等の非磁性材料からなる薄板の表面に、例え
ばガラス入りエポキシ樹脂製の基板を貼着して形成した
中間部材３０によって中間面２５を形成する。FIG. 3A shows a case where two sets of coils 19 are arranged back to back so that their coil patterns are symmetrical, and the boundary surface between the two sets of coils 19 is an intermediate surface 25. ing. On the other hand, FIG. 3B is formed, for example, by adhering a glass-made epoxy resin substrate to the surface of a thin plate made of a non-magnetic material such as an aluminum alloy whose surface has been anodized to impart insulation. The intermediate member 30 forms the intermediate surface 25.
【００３３】この中間部材３０はコイルフレーム１８に
設けられた溝３１に挿入されて一体化されるのである。
そして中間部材３０の中間面２５に２組のコイル１９，
１９をそれらのコイルパターンが対称となるように背中
合わせに配置することにより、コイルフレーム１８への
固着強度を向上できる。The intermediate member 30 is inserted into and integrated with the groove 31 provided in the coil frame 18.
Then, two sets of coils 19 are provided on the intermediate surface 25 of the intermediate member 30,
By arranging 19 so that their coil patterns are symmetrical, the fixing strength to the coil frame 18 can be improved.
【００３４】図４は本発明の実施例におけるコイルの構
成の例を示す説明図であり、（ａ）は側面、（ｂ），
（ｃ）は各々（ａ）におけるＢ−Ｂ線断面およびＣ−Ｃ
線断面を示し、同一部分は前記図２および図３と同一の
参照符号で示す。図４において、１９ａ〜１９ｆは夫々
コイル１９を構成する相コイルを示す。FIG. 4 is an explanatory view showing an example of the structure of the coil in the embodiment of the present invention, in which (a) is a side surface, (b),
(C) is a cross section taken along the line BB and CC in (a).
A line cross section is shown, and the same portions are denoted by the same reference numerals as those in FIGS. 2 and 3. In FIG. 4, reference numerals 19a to 19f denote phase coils forming the coil 19, respectively.
【００３５】３相交流電流によってリニアモータを作動
させる場合には、３組の相コイルを必要とするが、図４
に示す例においては、相コイル１９ａと１９ｅ、１９ｂ
と１９ｆ、１９ｃと１９ｄは夫々同相位置にあり、３組
各２個、計６個の相コイル１９ａ〜１９ｆによってコイ
ル１９を構成している。夫々の相コイル１９ａ〜１９ｆ
は偏平状に形成され、コイル１９の長手方向に殆ど隙間
を生ずることなく配置され、永久磁石１４による鎖交磁
界に対して有効に作用するように設けられている。When a linear motor is operated by a three-phase alternating current, three sets of phase coils are required.
In the example shown in, the phase coils 19a and 19e, 19b
And 19f and 19c and 19d are in the same phase position, respectively, and the coil 19 is configured by three pairs of two phase coils 19a to 19f, two in total. Each phase coil 19a-19f
Are formed in a flat shape, are arranged with almost no gap in the longitudinal direction of the coil 19, and are provided so as to effectively act on the interlinking magnetic field by the permanent magnet 14.
【００３６】なお相コイル１９ｄ〜１９ｆは図４（ａ）
（ｂ）に示すように、それらの上下端部が略Ｚ字状に屈
曲され、鎖交磁界が存在しない上下端部においてのみ相
コイル１９ａ〜１９ｃ上に重畳された構成とする。すな
わち相コイル１９ａ〜１９ｆは、夫々の中央部が相互に
重ならないように隣り合わせて同一平面状に順次配列
し、上記鎖交磁界内に位置するコイル中央部を、コイル
１９の片側では１相分、両側では２相分の厚さを有する
偏平状のコイル１９を形成するという非重畳状態に構成
するのである。The phase coils 19d to 19f are shown in FIG.
As shown in (b), the upper and lower ends thereof are bent into a substantially Z shape, and are superposed on the phase coils 19a to 19c only at the upper and lower ends where no interlinking magnetic field exists. That is, the phase coils 19a to 19f are sequentially arranged adjacent to each other in the same plane so that their central portions do not overlap each other, and the coil central portions located in the interlinking magnetic field are separated by one phase on one side of the coil 19. The non-overlapping state in which the flat coil 19 having the thickness of two phases is formed on both sides is configured.
【００３７】上記のように構成されたコイル１９は、通
常は２組を図４（ｂ）（ｃ）に示す中間面２５（この場
合はコイル１９，１９の境界面）を介して対称に一体化
して使用される。なおこのような構成のコイル１９は、
前記図２および図３に示すように、コイルフレーム１８
のコイル空孔２１内に収納され、例えば熱可塑性樹脂か
らなる保持部材２４によってコイルフレーム１８に一体
に抱持固着される。In the coil 19 constructed as described above, normally two sets are symmetrically integrated via the intermediate surface 25 (in this case, the boundary surface between the coils 19 and 19) shown in FIGS. 4B and 4C. It is used after being converted. The coil 19 having such a configuration is
As shown in FIGS. 2 and 3, the coil frame 18
Is housed in the coil cavity 21 and is integrally held and fixed to the coil frame 18 by a holding member 24 made of, for example, a thermoplastic resin.
【００３８】上記の構成により、コイル１９に３相交流
電流を通電することにより、図２においてキャリッジ１
７およびコイルフレーム１８ならびにコイル１９からな
る可動子１６を左右方向に駆動することができる。この
場合、キャリッジ１７とコイルフレーム１８とは一体鋳
造によって形成されているため、また多相コイル１９は
保持部材２４によってコイルフレーム１８に一体に抱持
固着されているため、充分な剛性を有し、例えば0.5 〜
1.0 kHz の低周波数域における共振を発生することな
く、その固有振動数が1.0 kHz を超え、好ましくは2.0
kHz 以上となり、停止精度を向上させることができると
共に、アクセス時間を短縮させることができるのであ
る。With the above structure, the carriage 19 is supplied with a three-phase alternating current through the coil 19 in FIG.
The mover 16 including the coil 7, the coil frame 18, and the coil 19 can be driven in the left-right direction. In this case, since the carriage 17 and the coil frame 18 are formed by integral casting, and the polyphase coil 19 is integrally held and fixed to the coil frame 18 by the holding member 24, it has sufficient rigidity. , For example 0.5 ~
Its natural frequency exceeds 1.0 kHz without resonance in the low frequency range of 1.0 kHz, preferably 2.0
Since it is above kHz, the stopping accuracy can be improved and the access time can be shortened.
【００３９】図５は本発明の他の実施例を示す一部構成
部材を省略した要部側面図であり、同一部分は前記図１
ないし図４と同一の参照符号で示す。図５において、２
６は磁界検出素子を収納する素子空孔である。磁界検出
素子としては、例えばホール素子を使用し、対向する永
久磁石１４の磁極を検出し、対応する相コイル（図示せ
ず、図４における符号１９ａ〜１９ｆ参照）への通電を
制御する。FIG. 5 is a side view of an essential part of the other embodiment of the present invention with some constituent members omitted, and the same parts are shown in FIG.
1 to 4 are designated by the same reference numerals. In FIG. 5, 2
Reference numeral 6 is an element hole for housing the magnetic field detection element. As the magnetic field detecting element, for example, a Hall element is used to detect the magnetic poles of the opposing permanent magnets 14 and to control the energization to the corresponding phase coil (not shown, see 19a to 19f in FIG. 4).
【００４０】２７〜２９は夫々第１ないし第３の桟であ
り、夫々永久磁石１４の配設方向、すなわちコイルフレ
ーム１８の長手方向における、コイルフレーム１８の右
端部と素子空孔２６との間、素子空孔２６とコイル空孔
２１との間、およびコイル空孔２１とコイルフレーム１
８の左端部との間に形成される。ａ〜ｃは夫々第１ない
し第３の桟２７〜２９の幅寸法、ｐ〜ｒは夫々第１の桟
２７と第２の桟２８とのピッチ寸法、第２の桟２８と第
３の桟２９のピッチ寸法、および第１の桟２７と第３の
桟２９のピッチ寸法である。なおＷおよびＷ1 は各々永
久磁石１４および素子空孔２６の幅寸法であり、Ｈおよ
びＨ1 は各々永久磁石１４および素子空孔２６の高さ寸
法である。Reference numerals 27 to 29 denote first to third crosspieces, respectively, between the right end portion of the coil frame 18 and the element hole 26 in the arrangement direction of the permanent magnet 14, that is, the longitudinal direction of the coil frame 18. Between the element hole 26 and the coil hole 21, and between the coil hole 21 and the coil frame 1.
It is formed between the left end of 8 and. a to c are the width dimensions of the first to third rails 27 to 29, p to r are the pitch dimensions of the first rail 27 and the second rail 28, respectively, and the second rail 28 and the third rail are respectively. 29, and the pitch dimensions of the first rail 27 and the third rail 29. Note that W and W 1 are the width dimensions of the permanent magnet 14 and the element hole 26, respectively, and H and H 1 are the height dimensions of the permanent magnet 14 and the element hole 26, respectively.
【００４１】コイルフレーム１８は強度および剛性を保
つために、第１ないし第３の桟２７〜２９の幅寸法ａ〜
ｃをある程度確保する必要があるが、これらの部位は永
久磁石１４の磁界中を移動するため、渦電流が発生す
る。この渦電流はリニアモータの効率を低下させるた
め、可能な限り少なくする必要がある。従って第１ない
し第３の桟２７〜２９の幅寸法ａ〜ｃは夫々永久磁石１
４の幅寸法Ｗより小に形成することが好ましい。すなわ
ちａ＜Ｗ，ｂ＜Ｗ，ｃ＜Ｗとする。In order to maintain strength and rigidity, the coil frame 18 has widths a to 1 to 3 of the first to third bars 27 to 29.
It is necessary to secure c to some extent, but since these parts move in the magnetic field of the permanent magnet 14, an eddy current is generated. Since this eddy current reduces the efficiency of the linear motor, it needs to be reduced as much as possible. Therefore, the widths a to c of the first to third bars 27 to 29 are set to the permanent magnet 1 respectively.
It is preferable to form the width smaller than the width dimension W of 4. That is, a <W, b <W, c <W.
【００４２】次に上記第１ないし第３の桟２７〜２９の
夫々の間のピッチ寸法ｐ〜ｒは、リニアモータの出力向
上のために永久磁石１４の幅寸法Ｗの偶数倍とすること
が最も好ましいが、奇数倍とならないように形成するこ
とが好ましい。すなわち ｐ≠（２ｎ＋１）Ｗ，ｑ≠
（２ｎ＋１）Ｗ，ｒ≠（２ｎ＋１）Ｗ（但し、ｎは正の
整数）とするのがよい。Next, the pitch dimensions p to r between the first to third crosspieces 27 to 29 may be even multiples of the width dimension W of the permanent magnet 14 in order to improve the output of the linear motor. Most preferably, it is preferably formed so as not to be an odd multiple. That is, p ≠ (2n + 1) W, q ≠
It is preferable that (2n + 1) W and r ≠ (2n + 1) W (where n is a positive integer).
【００４３】磁界検出素子を収納する素子空孔２６は、
永久磁石１４の磁極を検出するという機能を果たすため
には、永久磁石１４の幅寸法Ｗと略同程度の幅寸法Ｗ1
を有し、かつ前記磁極と対向する位置に設ける必要があ
る。図５に示す例においては、素子空孔２６の高さ寸法
Ｈ1 は永久磁石１４の高さ寸法Ｈよりも大きく、問題の
生じない場合であるが、素子空孔２６が小さく、上記寸
法Ｈ1 がＨ／２よりも小さい場合には、下記のような問
題が生じてくる。The element hole 26 for accommodating the magnetic field detecting element is
In order to perform the function of detecting the magnetic pole of the permanent magnet 14, a width dimension W 1 approximately equal to the width dimension W 1 of the permanent magnet 14 is required.
And has to be provided at a position facing the magnetic pole. In the example shown in FIG. 5, the height dimension H 1 of the element hole 26 is larger than the height dimension H of the permanent magnet 14 so that no problem occurs. When 1 is smaller than H / 2, the following problems occur.
【００４４】すなわち、素子空孔２６の上側または下側
の部分の一方または両方のコイルフレーム１８の領域が
前記磁極（１磁極または２磁極以上）と対向することに
なり、かつこの領域の幅方向寸法が永久磁石１４の幅寸
法Ｗと同程度以上となっているため渦電流が発生し、不
要な損失の原因となるおそれがある。このため素子空孔
２６の高さ寸法Ｈ1 は、永久磁石１４の高さ寸法Ｈ以上
に形成することが好ましい。That is, the region of the coil frame 18 in one or both of the upper and lower portions of the element hole 26 faces the magnetic pole (one magnetic pole or two magnetic poles or more), and the width direction of this region. Since the dimension is equal to or larger than the width dimension W of the permanent magnet 14, an eddy current is generated, which may cause unnecessary loss. Therefore, the height dimension H 1 of the element hole 26 is preferably formed to be equal to or larger than the height dimension H of the permanent magnet 14.
【００４５】上記の構成により、前記の実施例における
作用に加えて、有害な渦電流の発生を最少限に抑制する
ことができ、リニアモータの効率を向上させることがで
きるのである。With the above construction, in addition to the operation of the above-described embodiment, the generation of harmful eddy currents can be suppressed to a minimum and the efficiency of the linear motor can be improved.
【００４６】なお上記の実施例においては、図３（ａ）
に示されるように、コイル１９とコイルフレーム１８と
を非接触状態で配置して、熱可塑性樹脂を介して一体に
固着した例であり、また図３（ｂ）に示されるように、
コイルフレーム１８に形成された溝３１に中間部材３０
を挿入され得るようにコイル１９を配置し、これらを熱
可塑性樹脂によって一体に固着した例について記述し
た。しかし上記以外に、例えばコイル１９が固着される
コイルフレーム１８側に突起を設けると共に、この突起
と係合する係合部をコイル１９に設けて両者を係合させ
た後、熱可塑性樹脂によって一体に固着させて固着強度
を一層高める等の、コイルフレーム１８およびコイル１
９に係わる設計変更を行うことは自由である。In the above embodiment, FIG. 3 (a)
As shown in FIG. 3, the coil 19 and the coil frame 18 are arranged in a non-contact state and integrally fixed through a thermoplastic resin. Further, as shown in FIG.
The intermediate member 30 is formed in the groove 31 formed in the coil frame 18.
In the above description, the coil 19 is arranged so that it can be inserted, and these are integrally fixed by a thermoplastic resin. However, in addition to the above, for example, a protrusion is provided on the side of the coil frame 18 to which the coil 19 is fixed, and an engaging portion that engages with the protrusion is provided on the coil 19 to engage the two, and then integrated with a thermoplastic resin. The coil frame 18 and the coil 1 by further fixing them to the
It is free to make design changes related to item 9.
【００４７】[0047]
【発明の効果】本発明は以上記述のような構成および作
用であるから、キャリッジおよびコイルフレームの剛性
を向上させることができ、固有振動数を従来のものにお
ける５００Hz〜１kHz から１kHz を超え、好ましくは２
kHz 以上に向上させることができる。従って停止精度の
向上およびアクセス時間を短縮することができる。また
キャリッジとコイルフレームとを一体鋳造する構成のた
め、組立工数および組立時間の低減が図れ、製作コスト
の低減が可能であると共に、寸法精度を向上させ得ると
いう効果がある。Since the present invention has the structure and operation as described above, it is possible to improve the rigidity of the carriage and the coil frame, and the natural frequency exceeds 500 Hz to 1 kHz in the conventional one and exceeds 1 kHz, which is preferable. Is 2
It can be improved above kHz. Therefore, the stop accuracy can be improved and the access time can be shortened. Further, since the carriage and the coil frame are integrally cast, the number of assembling steps and the assembling time can be reduced, the manufacturing cost can be reduced, and the dimensional accuracy can be improved.
【図１】本発明の実施例におけるキャリッジおよびコイ
ルフレームを示す要部斜視図である。FIG. 1 is a perspective view of essential parts showing a carriage and a coil frame in an embodiment of the present invention.
【図２】本発明の実施例における可動子を示す要部側面
図である。FIG. 2 is a side view of an essential part showing a mover according to an embodiment of the present invention.
【図３】図２におけるＡ−Ａ線断面図であり、（ａ）は
中間部材を欠如するもの、（ｂ）は中間部材を有するも
のを示す。3A and 3B are cross-sectional views taken along the line AA in FIG. 2, where FIG. 3A shows one lacking an intermediate member, and FIG. 3B shows one having an intermediate member.
【図４】本発明の実施例におけるコイルの構成の例を示
す説明図であり、（ａ）は側面、（ｂ）は（ａ）におけ
るＢ−Ｂ線断面、（ｃ）は（ａ）におけるＣ−Ｃ線断面
を示す。4A and 4B are explanatory views showing an example of the configuration of the coil in the embodiment of the present invention, in which FIG. 4A is a side view, FIG. 4B is a sectional view taken along line BB in FIG. 4A, and FIG. A CC line cross section is shown.
【図５】本発明の他の実施例を示す一部構成部材を省略
した要部側面図である。FIG. 5 is a side view of an essential part showing another embodiment of the present invention with some constituent members omitted.
【図６】本発明の対象であるリニアモータの例を示す要
部断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view of an essential part showing an example of a linear motor which is an object of the present invention.
【図７】図６におけるコイルフレーム１８を示す要部斜
視図である。7 is a perspective view of relevant parts showing a coil frame 18 in FIG.
【図８】従来のリニアモータを示す原理説明図である。FIG. 8 is a principle explanatory view showing a conventional linear motor.
１４ 永久磁石 １６ 可動子 １７ キャリッジ １８ コイルフレーム １９ コイル 14 permanent magnet 16 mover 17 carriage 18 coil frame 19 coils
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平６−38503（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−168219（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−168218（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−49229（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−255456（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−222670（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−193543（ＪＰ，Ａ) 実開 昭63−93783（ＪＰ，Ｕ) 特公 昭58−49100（ＪＰ，Ｂ２) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H02K 41/00 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (56) Reference JP-A-6-38503 (JP, A) JP-A-5-168219 (JP, A) JP-A-5-168218 (JP, A) JP-A-5- 49229 (JP, A) JP 4-255456 (JP, A) JP 3-222670 (JP, A) JP 62-193543 (JP, A) Actual development JP 63-93783 (JP, U) JP-B-58-49100 (JP, B2) (58) Fields investigated (Int.Cl. 7 , DB name) H02K 41/00
Claims (2)
の永久磁石を、空隙を介して異極が対向するように配設
し、この空隙内に多相コイルからなるコイルフレームを
介装させ、かつキャリッジを介してコイルフレームを前
記永久磁石の配設方向に移動可能に設けると共に、前記
多相コイルに正弦波駆動電流を供給するための駆動回路
を備えてなるリニアモータにおいて、 多相コイルを構成する夫々の相コイルを永久磁石の配設
方向に沿って順次非重畳状態に配設し、キャリッジとコ
イルフレームとを非磁性金属材料によって一体鋳造して
形成すると共に、前記多相コイルを前記コイルフレーム
内に樹脂材料により一体に抱持固着したことを特徴とす
るリニアモータ。1. A plurality of permanent magnets are arranged such that adjacent magnetic poles have different polarities so that different poles face each other through a gap, and a coil frame composed of a multiphase coil is interposed in the gap. And a coil frame movably mounted in the direction in which the permanent magnets are arranged via a carriage, and a drive circuit for supplying a sinusoidal drive current to the polyphase coils. The respective phase coils constituting the phase coil are sequentially arranged in a non-overlapping state along the arrangement direction of the permanent magnets, the carriage and the coil frame are integrally cast from a non-magnetic metal material, and the multi-phase coil is formed. A linear motor in which a coil is integrally held and fixed in the coil frame by a resin material.
び多相コイルを収納する素子空孔およびコイル空孔を隣
接して設け、永久磁石の配設方向における前記コイルフ
レームの一方の端部と前記素子空孔との間、素子空孔と
コイル空孔との間およびコイル空孔とコイルフレームの
他方の端部との間に夫々形成される第１ないし第３の桟
の幅寸法を夫々ａ，ｂ，ｃ、永久磁石の幅寸法をＷ、高
さ寸法をＨ、第１の桟と第２の桟とのピッチ寸法、第２
の桟と第３の桟とのピッチ寸法および第１の桟と第３の
桟とのピッチ寸法を夫々ｐ，ｑ，ｒ、ならびに前記素子
空孔の高さ寸法をＨ1 としたときに、 ａ＜Ｗ，ｂ＜Ｗ，ｃ＜Ｗ， ｐ≠（２ｎ＋１）Ｗ，ｑ≠（２ｎ＋１）Ｗ，ｒ≠（２ｎ
＋１）Ｗ （但し、ｎは正の整数） （１／２）Ｈ≦Ｈ1 に形成したことを特徴とする請求項１記載のリニアモー
タ。2. An element hole for accommodating a magnetic field detecting element and a multi-phase coil and a coil hole are provided adjacent to each other in the coil frame, and one end of the coil frame and the element in the arrangement direction of the permanent magnet. The widths of the first to third bars formed between the hole and the element hole and between the coil hole and between the coil hole and the other end of the coil frame are respectively a, b, c, the width dimension of the permanent magnet is W, the height dimension is H, the pitch dimension between the first crosspiece and the second crosspiece, the second
When the pitch dimension between the crosspiece and the third crosspiece and the pitch dimension between the first crosspiece and the third crosspiece are p, q, and r, respectively, and the height dimension of the element hole is H 1 , a <W, b <W, c <W, p ≠ (2n + 1) W, q ≠ (2n + 1) W, r ≠ (2n
+1) W (where, n is a positive integer) (1/2) linear motor according to claim 1, characterized by forming the H ≦ H 1.
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1994
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