JP3408134B2 - Liquid crystal display - Google Patents
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- JP3408134B2 JP3408134B2 JP2620498A JP2620498A JP3408134B2 JP 3408134 B2 JP3408134 B2 JP 3408134B2 JP 2620498 A JP2620498 A JP 2620498A JP 2620498 A JP2620498 A JP 2620498A JP 3408134 B2 JP3408134 B2 JP 3408134B2
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- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1337—Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers
- G02F1/133707—Structures for producing distorted electric fields, e.g. bumps, protrusions, recesses, slits in pixel electrodes
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示装置に関
し、特に、HDTVなどの高品位テレビやCAD用ディ
スプレイなどへの応用に適した大型の液晶表示装置に関
する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid crystal display device, and more particularly to a large-sized liquid crystal display device suitable for application to a high-definition television such as HDTV or a display for CAD.
【0002】[0002]
【従来の技術】液晶表示装置の視野角特性を改善する方
法として、液晶分子を各絵素ごとに軸対称状に配向した
表示モード(Axially Symmetric A
ligned Microcell Mode:ASM
モード)が、特開平7−120728号公報に開示され
ている。この方式は、液晶材料と光硬化樹脂との混合物
から相分離を利用して液晶分子を軸対称状に配向させる
技術であり、軸対称状配向中心軸出し電圧を印加するこ
とにより、軸対称状に配向した液層分子が基板に対して
垂直に配向するp型の表示モードである。2. Description of the Related Art As a method of improving the viewing angle characteristics of a liquid crystal display device, a display mode (Axially Symmetric A) in which liquid crystal molecules are aligned axially symmetrically for each picture element is used.
Signed Microcell Mode: ASM
Mode) is disclosed in JP-A-7-120728. This method is a technique for orienting liquid crystal molecules in an axially symmetrical manner by utilizing phase separation from a mixture of a liquid crystal material and a photo-curable resin. This is a p-type display mode in which liquid layer molecules oriented in the direction are oriented perpendicular to the substrate.
【0003】また、他の技術として、特願平8−341
590において、電極を各々有する一対の基板と、該一
対の基板に挟持された液晶層とを有し、該液晶層の液晶
分子は負の誘電異方性を有し、軸対称状配向中心軸出し
電圧無印加時には、該液晶分子が該一対の基板に対して
垂直に配向しており、軸対称状配向中心軸出し電圧の印
加時には、該液晶分子が複数の絵素領域毎に軸対称状に
配向する液晶表示装置が開示されている。本提案の液晶
表示装置においては、ノーマリーブラックモードで動作
するため、従来のASMモードの液晶表示装置に比べて
高コントラストを得ることができ、また、簡単に製造す
ることができる。Another technique is Japanese Patent Application No. 8-341.
590, a pair of substrates each having an electrode and a liquid crystal layer sandwiched between the pair of substrates, the liquid crystal molecules of the liquid crystal layer have a negative dielectric anisotropy, When no output voltage is applied, the liquid crystal molecules are aligned vertically with respect to the pair of substrates, and the liquid crystal molecules are axially symmetric in each of a plurality of pixel regions when the center axis alignment voltage is applied. There is disclosed a liquid crystal display device which is oriented in a vertical direction. Since the proposed liquid crystal display device operates in the normally black mode, it is possible to obtain a higher contrast than the conventional ASM mode liquid crystal display device, and it is possible to easily manufacture the liquid crystal display device.
【0004】図9に従来のn型ASMの液晶表示装置の
模式図を示す。図9(b)はその平面図、図9(a)は
図9(b)のX−X線による断面図である。FIG. 9 shows a schematic diagram of a conventional n-type ASM liquid crystal display device. 9 (b) is a plan view thereof, and FIG. 9 (a) is a sectional view taken along line XX of FIG. 9 (b).
【0005】この液晶表示装置は、所定の間隔をもって
対向配設されたガラス基板101とガラス基板102と
を有し、両基板101、102間には負の誘電率異方性
を有する液晶材料からなる液晶層109が挟持されてい
る。図上側のガラス基板102の内表面には、信号電極
104がストライプ状に形成されており、この上を覆っ
てポリイミド等の垂直配向層105がほぼ全面に形成さ
れている。This liquid crystal display device has a glass substrate 101 and a glass substrate 102, which are arranged to face each other with a predetermined gap, and a space between the substrates 101 and 102 is made of a liquid crystal material having a negative dielectric anisotropy. The liquid crystal layer 109 is sandwiched. Signal electrodes 104 are formed in stripes on the inner surface of the glass substrate 102 on the upper side of the figure, and a vertical alignment layer 105 made of polyimide or the like is formed on almost the entire surface to cover the signal electrodes 104.
【0006】また、図下側のガラス基板101の内表面
には、信号電極103が前記信号電極104と交差する
状態でストライプ状に形成されており、さらにその上に
格子状の区画壁106が設けられ、この区画壁106の
上に選択的に柱状突起107が図上側のガラス基板10
2に達するように設けられている。On the inner surface of the glass substrate 101 on the lower side of the drawing, signal electrodes 103 are formed in a stripe shape so as to intersect with the signal electrodes 104, and grid-shaped partition walls 106 are further formed thereon. The columnar protrusions 107 are provided on the partition wall 106 selectively and on the glass substrate 10 on the upper side of the drawing.
It is provided to reach 2.
【0007】前記区画壁106は、例えば感光性樹脂
を、マスクを介して露光現像することによりパターニン
グ形成されており、柱状突起107も区画壁106と同
様に、例えば感光性樹脂を、マスクを介して露光現像す
ることによりパターニング形成されている。これら信号
電極103、区画壁106及び柱状突起107の上は、
ポリイミド等からなる垂直配向層105が被覆されてい
る。The partition wall 106 is formed by patterning, for example, by exposing and developing a photosensitive resin through a mask, and the columnar projections 107 are made of, for example, a photosensitive resin through a mask similarly to the partition wall 106. Then, it is exposed and developed to form a pattern. Above these signal electrodes 103, partition walls 106 and columnar protrusions 107,
A vertical alignment layer 105 made of polyimide or the like is covered.
【0008】この技術においては、区画壁106によっ
て液晶領域108の位置および大きさを規定している。
区画壁106によって囲まれた部分が液晶領域108と
なり、両信号電極103、104の間の電圧無印加時に
は、液晶領域108内の液晶分子が一対の基板101、
102に対して略垂直に配向し、電圧印加時には液晶分
子が各液晶領域108毎に軸対称状に配向する。また、
区画壁106と基板102との間に存在する柱状突起1
07は、基板102に接する故に、セル厚を一定に維持
する機能を有する。In this technique, the partition wall 106 defines the position and size of the liquid crystal region 108.
The portion surrounded by the partition wall 106 becomes the liquid crystal region 108, and when no voltage is applied between the signal electrodes 103 and 104, the liquid crystal molecules in the liquid crystal region 108 form a pair of substrates 101,
The liquid crystal molecules are aligned substantially perpendicular to 102, and the liquid crystal molecules are oriented in axial symmetry in each liquid crystal region 108 when a voltage is applied. Also,
Columnar protrusion 1 existing between the partition wall 106 and the substrate 102
07 has a function of keeping the cell thickness constant because it is in contact with the substrate 102.
【0009】図10を参照しながら、この液晶表示装置
の構成および動作原理を説明する。図10(a)及び図
10(b)は、軸対称状配向中心軸出し電圧無印加時
の、図10(c)及び図10(d)は、軸対称状配向中
心軸出し電圧印加時の状態を示し、図10(a)及び図
10(c)は断面図、図10(b)及び図10(d)は
上面をクロスニコル状態の偏光顕微鏡で観察した結果を
しめす。The configuration and operating principle of this liquid crystal display device will be described with reference to FIG. 10 (a) and 10 (b) show a case where no axial centering alignment centering voltage is applied, and FIGS. 10 (c) and 10 (d) show a case where axis symmetrical alignment centering voltage is applied. 10 (a) and 10 (c) are sectional views, and FIGS. 10 (b) and 10 (d) show the results obtained by observing the upper surface with a polarization microscope in the crossed Nicols state.
【0010】この液晶表示装置は、一対の基板132と
134の間に、誘電異方性が負の液晶分子142からな
る液晶層140が挟持されている。一対の基板132と
134の液晶層140に接する側の面には、それぞれ透
明電極131および133が形成され、さらに、その上
に垂直配向層138aおよび138bが形成されてい
る。また、一対の基板132と134の少なくとも一方
の液晶層140に接する側の面には、凸部136が形成
されている。In this liquid crystal display device, a liquid crystal layer 140 composed of liquid crystal molecules 142 having a negative dielectric anisotropy is sandwiched between a pair of substrates 132 and 134. Transparent electrodes 131 and 133 are formed on the surfaces of the pair of substrates 132 and 134 in contact with the liquid crystal layer 140, respectively, and vertical alignment layers 138a and 138b are further formed thereon. Further, a projection 136 is formed on the surface of at least one of the pair of substrates 132 and 134 that is in contact with the liquid crystal layer 140.
【0011】後述するように、軸対称状配向中心軸出し
電圧印加時に軸対称状配向を呈する領域が凸部136に
よって規定される。したがって、図10(c)に示すよ
うに、軸対称状配向中心軸144を中心に、凸部136
によって規定された絵素領域内で、液晶分子142が軸
対称状配向する。As will be described later, the projection 136 defines a region having an axially symmetric orientation when a central axis-aligning voltage is applied. Therefore, as shown in FIG. 10 (c), the protrusion 136 is centered on the axially symmetrical orientation central axis 144.
The liquid crystal molecules 142 are axisymmetrically aligned in the pixel region defined by
【0012】軸対称状配向中心軸出し電圧無印加時に
は、図10(a)に示すように、液晶分子142は、垂
直配向層の配向規制力によって、基板に垂直な方向に配
向している。軸対称状配向中心軸出し電圧無印加状態の
絵素領域をクロスニコル状態の偏光顕微鏡で観察する
と、図10(b)に示したように、暗視野を呈する(ノ
ーマリーブラックモード)。軸対称状配向中心軸出し電
圧を印加すると、負の誘電異方性を有する液晶分子14
2に、液晶分子の長軸を電界の方向に対して垂直に配向
させる力が働くので、図10(c)に示すように基板に
垂直な方向から傾く(中間調表示状態)。この状態の絵
素領域をクロスニコル状態の偏光顕微鏡で観察すると、
図10(d)に示すように、偏光軸に沿った方向に消光
模様が観察される。When no axial centering voltage is applied, the liquid crystal molecules 142 are aligned in the direction perpendicular to the substrate due to the alignment regulating force of the vertical alignment layer, as shown in FIG. When a picture element region in which no axially centering voltage is applied with an axially symmetric orientation is observed with a crossed Nicols polarization microscope, a dark field is exhibited as shown in FIG. 10B (normally black mode). Liquid crystal molecules 14 having a negative dielectric anisotropy when an axially symmetrical alignment centering voltage is applied.
Since a force for orienting the long axes of the liquid crystal molecules perpendicularly to the direction of the electric field acts on 2, the liquid crystal molecules tilt from the direction perpendicular to the substrate as shown in FIG. 10C (halftone display state). When observing the picture element area in this state with a crossed Nicols polarization microscope,
As shown in FIG. 10D, an extinction pattern is observed in the direction along the polarization axis.
【0013】図11に、上記液晶表示装置の電圧透過率
曲線を示す。FIG. 11 shows a voltage transmittance curve of the above liquid crystal display device.
【0014】電圧を印加していくと透過率が徐々に増加
していき、さらに電圧が上昇していくと透過率は飽和に
至る。透過率が飽和する電圧を飽和電圧(Vst)と呼
ぶ。また、Vst(飽和電圧)における透過率に対して
相対的に透過率が10%になる電圧をVth(しきい値
電圧)と呼ぶ。電圧無印加の状態から電圧を印加してい
くと、液晶分子が基板に垂直な方向から傾いていくが、
倒れる方向が一義的に決まらないため、凸部136によ
って規定される軸対称状配向を呈する液晶領域内に、複
数の軸対称状配向中心軸が形成される。複数の軸対称状
配向中心軸が存在する状態は、不安定な配向状態であり
透過率も安定しない。さらに1/2Vth以上の電圧を
印加し続けると、複数存在している軸対称状配向中心軸
が凸部136によって規定される液晶領域毎に一つにな
る。液晶層140に印加する電圧が、1/2Vthから
Vstまでの間にある場合には、透過率は図11に示し
た動作範囲内を可逆的に変化する。1/2Vth付近の
電圧を印加した状態においては、液晶分子は基板に対し
てほぼ垂直配向しているとともに、1/2Vth以上の
電圧を印加した時の軸対称状配向状態、すなわち軸対称
状配向中心軸に対する対称性を記憶している。しかしな
がら、電圧を無印加にしたり、印加電圧が1/2Vth
よりも低くなると、液晶分子は基板に対してほぼ垂直配
向しており、かつ軸対称状配向状態を記憶していない状
態に戻る。この状態から再度1/2Vth以上の電圧を
印加しても、一旦複数の軸対称状配向中心軸が形成され
る。例えば、液晶セル中に、n型の液晶材料を注入した
段階では、同様の挙動を示す。The transmittance gradually increases as a voltage is applied, and the transmittance reaches saturation as the voltage further increases. The voltage at which the transmittance is saturated is called the saturation voltage (Vst). A voltage at which the transmittance is 10% relative to the transmittance at Vst (saturation voltage) is called Vth (threshold voltage). When voltage is applied from the state where no voltage is applied, the liquid crystal molecules tilt from the direction perpendicular to the substrate.
Since the tilt direction is not uniquely determined, a plurality of axially symmetrical alignment central axes are formed in the liquid crystal region that exhibits the axially symmetrical alignment defined by the protrusion 136. The state in which a plurality of axially symmetrical alignment central axes exist is an unstable alignment state and the transmittance is not stable. When a voltage of 1/2 Vth or more is continuously applied, a plurality of axisymmetric alignment center axes that exist are provided for each liquid crystal region defined by the protrusion 136. When the voltage applied to the liquid crystal layer 140 is between 1/2 Vth and Vst, the transmittance reversibly changes within the operating range shown in FIG. In the state where a voltage near 1/2 Vth is applied, the liquid crystal molecules are almost vertically aligned with respect to the substrate, and when the voltage of 1/2 Vth or more is applied, that is, the axially symmetric alignment state, that is, the axially symmetric alignment. It remembers the symmetry about the central axis. However, no voltage is applied or the applied voltage is 1/2 Vth.
When it becomes lower than the above, the liquid crystal molecules are almost vertically aligned with respect to the substrate and return to the state in which the axially symmetric alignment state is not stored. Even if a voltage of 1/2 Vth or more is applied again from this state, a plurality of axis-symmetric alignment center axes are once formed. For example, when an n-type liquid crystal material is injected into the liquid crystal cell, the same behavior is exhibited.
【0015】上述したように前記液晶表示装置は、電圧
無印加時には、液晶分子は基板に垂直な方向に配向して
黒表示となり、電圧印加時には、液晶分子が絵素領域毎
に形成された軸対称状配向中心軸を中心に軸対称状配向
状態となり白表示となるノーマリーブラックモードで動
作する。しかしながら、電圧印加直後には複数の軸対称
状配向中心軸が形成されるため、電圧無印加状態を黒表
示とすると不安定な動作になる。この液晶表示装置にお
ける表示モードで安定な動作をするには、表示動作をさ
せる前にあらかじめ、絵素領域毎に一つの軸対称状配向
中心軸を形成しておくことが望ましい。As described above, in the liquid crystal display device, when no voltage is applied, the liquid crystal molecules are oriented in the direction perpendicular to the substrate to provide black display, and when voltage is applied, the liquid crystal molecules are formed in each pixel region. Symmetrical Alignment It operates in a normally black mode in which an axisymmetric alignment state is formed around the central axis and white display is performed. However, since a plurality of axis-symmetric alignment center axes are formed immediately after the voltage is applied, the operation becomes unstable when the voltage is not applied in black display. In order to perform stable operation in the display mode of this liquid crystal display device, it is desirable to form one axis-symmetric alignment center axis for each pixel area in advance before performing the display operation.
【0016】表示動作をさせる前にあらかじめ、絵素領
域毎に一つの軸対称状配向中心軸を形成しておくには、
一定の電圧、すなわち1/2Vth以上の電圧を印加す
ればよい。このようにして絵素領域毎に唯一の軸対称状
配向中心軸が形成され、白表示時に安定した軸対称状配
向状態が実現される。しかしながら、一旦電圧無印加状
態にすると、初期の複数の軸対称状配向中心軸が形成さ
れる不安定な状態に戻ってしまうので、表示を始めてか
らは、黒表示においても、電圧無印加状態ではなく、一
定の電圧、すなわち1/2Vth付近の電圧が印加され
ている状態で使用する。この表示モードでは、動作電圧
として安定な軸対称状配向状態が得られる電圧の範囲
(1/2Vth以上でVst以下の電圧)で使用する。Before the display operation, one axisymmetric alignment center axis is formed for each pixel region in advance.
A constant voltage, that is, a voltage of 1/2 Vth or more may be applied. In this way, only one axis-symmetrical alignment central axis is formed for each pixel region, and a stable axis-symmetrical alignment state is realized during white display. However, once no voltage is applied, the initial unstable state in which a plurality of axially-symmetric alignment central axes are formed is returned. Therefore, after the display is started, even in black display, no voltage is applied. Instead, it is used in a state where a constant voltage, that is, a voltage near 1/2 Vth is applied. In this display mode, the operating voltage is used in a voltage range (a voltage of 1/2 Vth or more and a voltage of Vst or less) in which a stable axially symmetric orientation state is obtained.
【0017】更には、電圧印加時において、各絵素領域
毎の液晶分子を安定に軸対称状配向させるべく、少なく
ともどちらか一方の基板の液晶領域に対応する領域の液
晶層に接する表面に、高分子材料からなる軸対称状配向
固定層を設ける技術を開示している。この軸対称状配向
固定層の形成は、一対の基板間に、すくなくとも液晶材
料と光硬化性材料とからなる前駆体混合物を配置してお
き、該混合物を電圧を印加しながら硬化することによっ
て実現できる。上記印加電圧は、前述した軸対称状配向
が安定化する1/2Vth以上で、Vst以下であれば
よい。Further, at the time of applying a voltage, in order to stably orient the liquid crystal molecules in each pixel region in an axially symmetrical manner, at least the surface of the substrate in contact with the liquid crystal layer in the region corresponding to the liquid crystal region, Disclosed is a technique of providing an axially symmetric orientation fixed layer made of a polymer material. The formation of this axially symmetric alignment fixing layer is realized by placing a precursor mixture consisting of at least a liquid crystal material and a photocurable material between a pair of substrates and curing the mixture while applying a voltage. it can. The applied voltage may be 1/2 Vth or more, which stabilizes the above-mentioned axially symmetric orientation, and Vst or less.
【0018】[0018]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来の大型表示装置に適用する場合においては、以下の
問題がある。However, when applied to the above-mentioned conventional large-sized display device, there are the following problems.
【0019】一般に透明電極にはITOが用いられてお
り、ITOは抵抗率が高く、大画面になるほど、パネル
内での液晶層にかかる印加電圧が不均一になる。In general, ITO is used for the transparent electrode, and ITO has a high resistivity, and the larger the screen, the more uneven the applied voltage applied to the liquid crystal layer in the panel.
【0020】上記の従来の技術の表示モードでは、動作
電圧として安定な軸対称状配向状態が得られる電圧の範
囲(1/2Vth以上でVst以下の電圧)で使用して
いる。大画面化にすると、黒表示において印加される電
圧のパネル内で不均一さが大きくなり、1/2Vth以
下の電圧しかかからずに、安定した軸対称状配向状態が
得られない画素が存在し、表示むらとなり、ざらつきの
原因となっていた。表示むらを無くそうとすると、駆動
電圧を高くする必要があった。In the above-mentioned conventional display mode, the operating voltage is used within a voltage range (a voltage of 1/2 Vth or more and a voltage of Vst or less) that can provide a stable axially symmetric orientation state. When the screen is made larger, the non-uniformity of the voltage applied in the black display becomes large in the panel, and there is a pixel in which a stable axially symmetric orientation state cannot be obtained, because a voltage of 1/2 Vth or less is applied. However, the display becomes uneven, which causes roughness. To eliminate the display unevenness, it was necessary to increase the driving voltage.
【0021】また、更なる従来の技術では、すくなくと
も液晶材料と光硬化性材料とからなる前駆体混合物を電
圧を印加しながら硬化することによって、少なくともど
ちらか一方の基板の液晶領域に対応する領域の液晶層に
接する表面に、高分子材料からなる軸対称状配向固定層
を形成している。上記軸対称状配向固定層を形成する工
程において、液層分子が基板の法線方向に対してある角
度(チルト角)でチルトしていることが重要である。液
晶分子を基板の法線方向に対してある角度でチルトさせ
るには、電圧を印加すれば良い。印加電圧は、前述した
表示モード時に軸対称状配向が安定化する1/2Vth
以上で、Vst以下であればよい。上記軸対称状配向固
定層の形成時の印加電圧も、大画面化になると、パネル
内で不均一さが大きくなり、上記軸対称状配向固定層の
形成時に1/2Vth以下の電圧しか印加されない画素
が増え、配向が固定されずに液晶パネルが作製され、表
示の際に、軸対称状配向状態が不安定になり、表示むら
となり、ざらつきの原因となったり、立ち上がり時間が
遅くなるなどの問題があった。Further, in a further conventional technique, a precursor mixture consisting of at least a liquid crystal material and a photo-curable material is cured while applying a voltage, whereby a region corresponding to the liquid crystal region of at least one of the substrates. An axisymmetric alignment fixing layer made of a polymer material is formed on the surface of the liquid crystal layer in contact with the liquid crystal layer. In the step of forming the axially symmetric alignment fixed layer, it is important that the liquid layer molecules are tilted at a certain angle (tilt angle) with respect to the normal direction of the substrate. A voltage may be applied to tilt the liquid crystal molecules at an angle with respect to the normal line direction of the substrate. The applied voltage is 1/2 Vth at which the axially symmetric orientation is stabilized in the display mode described above.
Thus, it may be Vst or less. The applied voltage at the time of forming the above-mentioned axially symmetric orientation-fixed layer also becomes large in the panel when the screen becomes large, and only a voltage of 1/2 Vth or less is applied at the time of formation of the above-mentioned axis-symmetrically oriented fixed layer. When the liquid crystal panel is manufactured without increasing the number of pixels and the orientation is not fixed, the axially symmetric orientation state becomes unstable at the time of display, causing display unevenness, causing roughness, and slowing the rise time. There was a problem.
【0022】本発明は、このような従来技術の課題を解
決すべくなされたものであり、大画面でも、均一に絵素
領域ごとに液晶分子が軸対称状配向した液晶領域を有
し、全方位視角特性の優れた、ざらつきのない高コント
ラストの液晶表示装置を提供することを目的とする。The present invention has been made to solve the problems of the prior art as described above, and has a liquid crystal region in which liquid crystal molecules are uniformly aligned in each pixel region even in a large screen, An object of the present invention is to provide a high-contrast liquid crystal display device having excellent azimuth and viewing angle characteristics and having no roughness.
【0023】[0023]
【課題を解決するための手段】本発明の液晶表示装置
は、一対の基板と該一対の基板に挟持された液晶層とを
有し、該一対の基板上に透明電極が形成されており、該
液晶層は絵素毎に少なくとも一つの絵素領域を有し、該
絵素領域内の液晶分子が軸対称状配向中心軸を中心に軸
対称状に配向する液晶表示装置において、少なくとも一
方の基板の液晶層側の表面に、該透明電極と接するよう
に、該絵素領城を実質的に包囲する凸部が形成されてお
り、かつ、該凸部は導電性材料からなる領域を有してお
り、かつ、該導電性領域は該透明電極と接しており、そ
のことにより上記目的が達成される。A liquid crystal display device of the present invention has a pair of substrates and a liquid crystal layer sandwiched between the pair of substrates, and a transparent electrode is formed on the pair of substrates. The liquid crystal layer has at least one picture element region for each picture element, and at least one of liquid crystal display devices in which liquid crystal molecules in the picture element region are oriented in axial symmetry about an axis of axial alignment A convex portion that substantially surrounds the pixel region is formed on the surface of the substrate on the liquid crystal layer side so as to be in contact with the transparent electrode, and the convex portion has a region made of a conductive material. And the conductive region is in contact with the transparent electrode, whereby the above object is achieved.
【0024】本発明の液晶表示装置において、前記液晶
層の液晶分子は負の誘電異方性を有し、電圧無印加時に
は該液晶分子が該一対の基板に対して略垂直に配向し、
電圧印加時には該液晶分子が複数の絵素領域毎に軸対称
状配向中心軸を中心に軸対称状に配向する構成とするこ
とができる。In the liquid crystal display device of the present invention, the liquid crystal molecules of the liquid crystal layer have a negative dielectric anisotropy, and the liquid crystal molecules are aligned substantially perpendicular to the pair of substrates when no voltage is applied,
When a voltage is applied, the liquid crystal molecules may be oriented in axial symmetry with respect to each of the plurality of picture element regions about the axis of axial symmetry.
【0025】本発明の液晶表示装置において、前記一対
の基板の少なくとも一方の基板上に形成された透明電極
がストライプ状である構成とすることができる。In the liquid crystal display device of the present invention, the transparent electrodes formed on at least one of the pair of substrates may have a stripe shape.
【0026】本発明の液晶表示装置において、前記凸部
の導電性領域が単層の金属薄膜、または多層の金属薄膜
からなる構成であってもよい。In the liquid crystal display device of the present invention, the conductive region of the protrusion may be a single-layer metal thin film or a multi-layer metal thin film.
【0027】本発明の液晶表示装置において、前記凸部
が導電性領域と絶縁層とからなり、該導電性領域の上に
該絶縁層が積層された構成となっていてもよい。In the liquid crystal display device of the present invention, the convex portion may include a conductive region and an insulating layer, and the insulating layer may be laminated on the conductive region.
【0028】本発明の液晶表示装置において、前記凸部
が導電性領域と絶縁層とからなり、該導電性領域を覆う
ように該絶縁層が形成された構成となっていてもよい。In the liquid crystal display device of the present invention, the convex portion may include a conductive region and an insulating layer, and the insulating layer may be formed so as to cover the conductive region.
【0029】本発明の液晶表示装置において、前記金属
薄膜が、アルミニウム、クロム、ニッケル、モリブデ
ン、チタン、銅、銀もしくは金の単体、またはこれらの
2種以上の合金からなる構成であってもよい。In the liquid crystal display device of the present invention, the metal thin film may be composed of aluminum, chromium, nickel, molybdenum, titanium, copper, silver or gold alone, or an alloy of two or more thereof. .
【0030】本発明の液晶表示装置において、前記凸部
の幅が5μm以上20μm以下であることが好ましい。In the liquid crystal display device of the present invention, it is preferable that the width of the convex portion is 5 μm or more and 20 μm or less.
【0031】本発明の液晶表示装置において、前記凸部
の高さが液晶層厚の20%以上80%以下であることが
好ましい。In the liquid crystal display device of the present invention, it is preferable that the height of the convex portion is 20% or more and 80% or less of the liquid crystal layer thickness.
【0032】本発明の液晶表示装置において、前記透明
電極の膜厚が700オングストローム以上4000オン
グストローム以下の範囲内にあることが好ましい。In the liquid crystal display device of the present invention, the film thickness of the transparent electrode is preferably in the range of 700 angstroms or more and 4000 angstroms or less.
【0033】本発明の液晶表示装置において、前記凸部
の面抵抗率が0.5オーム/□以上2.0オーム/□以
下の範囲内にあることが好ましい。In the liquid crystal display device of the present invention, it is preferable that the surface resistivity of the convex portion is within a range of 0.5 ohm / square or more and 2.0 ohm / square or less.
【0034】以下、本発明の作用について説明する。The operation of the present invention will be described below.
【0035】本発明にあっては、絵素領域を実質的に包
囲する凸部の存在により、液晶層の絵素領域の位置及び
大きさが規定され、液素領域内の液晶分子が軸対称状配
向中心軸を中心に軸対称状に配向する。このとき、凸部
の導電性領域が透明電極と接するように形成されている
ことにより、その凸部の導電性領域が透明電極の補助電
極として機能し、結果として、電極の低抵抗化が実現で
きる。それにより、動作電圧および、軸対称状配向固定
層形成時の印加電圧の液晶パネル内の不均一性が小さく
なるため、液晶パネル内で均一で安定した軸対称状配向
状態を実現することができ、液晶表示装置の表示品位を
向上させることができる。In the present invention, the position and size of the picture element region of the liquid crystal layer are defined by the presence of the convex portion that substantially surrounds the picture element region, and the liquid crystal molecules in the liquid crystal region are axisymmetric. Alignment Orients in an axially symmetrical manner around the central axis. At this time, since the conductive area of the convex portion is formed so as to be in contact with the transparent electrode, the conductive area of the convex portion functions as an auxiliary electrode of the transparent electrode, and as a result, the resistance of the electrode is reduced. it can. As a result, the non-uniformity of the operating voltage and the applied voltage during the formation of the axially symmetric alignment fixed layer in the liquid crystal panel is reduced, so that a uniform and stable axially symmetric alignment state can be realized in the liquid crystal panel. Therefore, the display quality of the liquid crystal display device can be improved.
【0036】また、前記凸部の導電性領域を金属薄膜で
形成することにより、安価なウエットエッチングで精度
よく凸部を形成することができる。Further, by forming the conductive region of the convex portion with a metal thin film, the convex portion can be accurately formed by inexpensive wet etching.
【0037】前記凸部の導電性領域を、多層の金属薄膜
で形成することができる。例えば、前記透明電極がIT
Oであり、前記凸部の導電性領域がアルミニウムまたは
アルミニウムの合金であるとき、前記導電性領域の前記
透明電極に接する側にさらに金属薄膜を形成し、ITO
の還元電位とアルミニウムの酸化電位との差よりも、I
TOの還元電位と前記透明電極に接する側に形成した金
属薄膜の酸化電位との差を小さくすることにより、アル
ミニウム薄膜のパターニングのフォトリソグラフィー工
程中の現像工程において、ITOとアルミニウム間で酸
化還元反応が起き腐食する、いわゆる電食反応の発生を
防ぐことができ、凸部の導電性領域をポジレジストでパ
ターニングすることが可能となり、より微細加工が可能
となり、液晶表示装置の高精細化が実現できる。例え
ば、前記透明電極に接する側に形成する金属薄膜とし
て、モリブデンまたはモリブデンの合金の薄膜を使用す
ることができる。The conductive area of the convex portion can be formed of a multilayer metal thin film. For example, the transparent electrode is IT
O and the conductive region of the convex portion is aluminum or an aluminum alloy, a metal thin film is further formed on the side of the conductive region in contact with the transparent electrode.
Than the difference between the reduction potential of aluminum and the oxidation potential of aluminum.
By reducing the difference between the reduction potential of TO and the oxidation potential of the metal thin film formed on the side in contact with the transparent electrode, the redox reaction between ITO and aluminum in the development step during the photolithography step of patterning the aluminum thin film. It is possible to prevent the occurrence of so-called electrolytic corrosion reaction, which is caused by corrosion, and it is possible to pattern the conductive region of the convex portion with a positive resist, which enables finer processing and realizes higher definition of the liquid crystal display device. it can. For example, a thin film of molybdenum or an alloy of molybdenum can be used as the metal thin film formed on the side in contact with the transparent electrode.
【0038】前記凸部は、前記導電性領域上に絶縁層を
積層した多層構造にすることにより、前記凸部の上に形
成する配向膜との密着性を良くすることができる。ま
た、前記凸部と他方の基板に形成した透明電極との上下
リークを防止することができる。By forming the convex portion into a multi-layer structure in which an insulating layer is laminated on the conductive region, it is possible to improve the adhesion with the alignment film formed on the convex portion. Further, it is possible to prevent vertical leakage between the convex portion and the transparent electrode formed on the other substrate.
【0039】前記絶縁層として、新たに膜を形成するこ
となく、前記導電性領域をパターニング形成する時に用
いるフォトレジストをエッチング後、剥離せずにそのま
ま用いることにより、工程を簡略化することができる。The process can be simplified by using, as the insulating layer, a photoresist used for patterning the conductive region without using a new film after etching and using the photoresist as it is without peeling. .
【0040】前記凸部の導電性領域の上面および側面を
絶縁層で被覆することにより、隣接する凸部の導電性領
域間で発生する横電界による液晶分子の配向の乱れを防
止することができる。By covering the upper surface and the side surface of the conductive region of the convex portion with the insulating layer, it is possible to prevent the disorder of the alignment of the liquid crystal molecules due to the lateral electric field generated between the conductive regions of the adjacent convex portions. .
【0041】[0041]
【発明の実施の形態】まず、本発明に係る液晶表示装置
の基本構成について、図1に基づいて説明する。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS First, the basic structure of a liquid crystal display device according to the present invention will be described with reference to FIG.
【0042】この液晶表示装置の構成は、図1(a)に
示すように、一対の基板32と34の間に、誘電異方性
が負の液晶分子42からなる液晶層40が挟持されてい
る。一対の基板32と34の液晶層40に接する側の面
には、それぞれITOからなる透明電極31および33
が形成され、その少なくとも一方の透明電極31の上に
は、導電性材料からなる凸部36が透明電極31と接触
して形成されている。さらに、その上に垂直配向層38
aおよび38bが形成されている。In this liquid crystal display device, as shown in FIG. 1A, a liquid crystal layer 40 composed of liquid crystal molecules 42 having a negative dielectric anisotropy is sandwiched between a pair of substrates 32 and 34. There is. On the surfaces of the pair of substrates 32 and 34 that are in contact with the liquid crystal layer 40, the transparent electrodes 31 and 33 made of ITO are formed, respectively.
Is formed, and a convex portion 36 made of a conductive material is formed on at least one of the transparent electrodes 31 in contact with the transparent electrode 31. In addition, a vertical alignment layer 38 is formed on it.
a and 38b are formed.
【0043】前記凸部36の材料としては、アルミニウ
ム、クロム、ニッケル、モリブデン、チタン、銅、銀も
しくは金の単体、またはこれらの2種以上の合金を使用
するのが好ましい。その理由は、ITOより体積抵抗が
小さいからである。As the material of the convex portion 36, it is preferable to use aluminum, chromium, nickel, molybdenum, titanium, copper, silver or gold alone, or an alloy of two or more of these. The reason is that the volume resistance is smaller than that of ITO.
【0044】また、凸部36の幅を5μm以上20μm
以下とするのは、5μmより小さい場合は、断線等の問
題が発生し易くなり、20μmを超える場合には、開口
率を著しく低下させることとなるからである。Further, the width of the convex portion 36 is 5 μm or more and 20 μm or more.
The reason for this is that if the thickness is less than 5 μm, problems such as disconnection are likely to occur, and if the thickness exceeds 20 μm, the aperture ratio is significantly reduced.
【0045】また、凸部36の高さを、液晶層の厚みの
20%以上80%以下とするのは、20%より小さい場
合には、軸対称状配向が形成されなくなり、80%を超
える場合には、上下基板でショートが起こるからであ
る。Further, the height of the convex portion 36 is set to 20% or more and 80% or less of the thickness of the liquid crystal layer. When the height is smaller than 20%, the axially symmetric orientation is not formed and exceeds 80%. In this case, a short circuit will occur between the upper and lower substrates.
【0046】また、透明電極の膜厚を700オングスト
ローム以上4000オングストローム以下の範囲内にす
るのは、700オングストロームより小さい場合には、
ガラス基板から透明電極がはがれ易くなり、4000オ
ングストロームを超える場合には、光の透過率を著しく
悪化させることになるからである。If the thickness of the transparent electrode is within the range of 700 angstroms or more and 4000 angstroms or less, if it is less than 700 angstroms,
This is because the transparent electrode is easily peeled off from the glass substrate, and when it exceeds 4000 Å, the light transmittance is significantly deteriorated.
【0047】また、前記凸部の面抵抗率を0.5オーム
/□以上2.0オーム/□以下の範囲内にするのは、
0.5オーム/□より小さくするためには、不必要に凸
部の幅を広げるか、または、凸部の高さを高くせざるを
得なくなり、開口率が低くなるか、他方の基板に形成し
た透明電極との間で上下リークが発生する原因となり、
2.0オーム/□を超える場合には、低抵抗化を実現し
得ないことになるからである。Further, the surface resistivity of the convex portion is set within the range of 0.5 ohm / □ or more and 2.0 ohm / □ or less,
In order to make it smaller than 0.5 ohm / □, it is necessary to unnecessarily widen the width of the convex portion or increase the height of the convex portion, and the aperture ratio is lowered or the other substrate is Causes vertical leakage between the formed transparent electrode,
This is because if it exceeds 2.0 ohms / square, low resistance cannot be realized.
【0048】この構成の液晶表示装置においては、軸対
称状配向中心軸出し電圧印加時に軸対称状配向を呈する
領域が凸部36によって規定される。したがって、図1
(c)に示すように、軸対称状配向中心軸44を中心
に、凸部36によって規定された絵素領域内で、液晶分
子42が軸対称状配向する。In the liquid crystal display device having this structure, the convex portion 36 defines the region exhibiting the axially symmetric orientation when the axial centering voltage is applied. Therefore, FIG.
As shown in (c), the liquid crystal molecules 42 are oriented in an axially symmetrical manner within the pixel region defined by the convex portion 36 about the axially symmetrical orientation central axis 44.
【0049】軸対称状配向中心軸出し電圧無印加時に
は、図1(a)に示すように、液晶分子42は、垂直配
向層の配向規制力によって、基板に垂直な方向に配向し
ている。軸対称状配向中心軸出し電圧無印加状態の絵素
領域をクロスニコル状態の偏光顕微鏡で観察すると、図
1(b)に示したように、暗視野を呈する(ノーマリー
ブラックモード)。軸対称状配向中心軸出し電圧を印加
すると、負の誘電異方性を有する液晶分子42に、液晶
分子の長軸を電界の方向に対して垂直に配向させる力が
働くので、図1(c)に示すように基板に垂直な方向か
ら傾く(中間調表示状態)。この状態の絵素領域をクロ
スニコル状態の偏光顕微鏡で観察すると、図1(d)に
示すように偏光軸に沿った方向に消光模様が観察され
る。Axisymmetric Alignment When no centering voltage is applied, the liquid crystal molecules 42 are aligned in the direction perpendicular to the substrate due to the alignment regulating force of the vertical alignment layer, as shown in FIG. When the picture element region in which the axially symmetric orientation centering voltage is not applied is observed with a polarization microscope in a crossed Nicols state, a dark field is exhibited as shown in FIG. 1B (normally black mode). Axisymmetric alignment When a centering voltage is applied, the liquid crystal molecules 42 having negative dielectric anisotropy have a force to align the long axes of the liquid crystal molecules perpendicularly to the direction of the electric field. ) As shown in (), it is tilted from the direction perpendicular to the substrate (halftone display state). When the picture element region in this state is observed with a crossed Nicols polarization microscope, an extinction pattern is observed in the direction along the polarization axis as shown in FIG.
【0050】上述したように、この構成の液晶表示装置
は絵素領域を取り囲むように凸部36を有している。こ
の凸部36が無く、液晶層40の厚さ(セルギャップ)
が均一な場合、液晶ドメイン(連続的に配向した領域:
ディスクリネーションラインの発生が無い領域)が形成
される位置または大きさを規定できないので、ランダム
配向状態になってしまい、中間調表示においてざらつい
た表示となる。As described above, the liquid crystal display device having this structure has the convex portion 36 so as to surround the picture element region. The thickness of the liquid crystal layer 40 (cell gap) does not include the convex portion 36.
Liquid crystal domains (continuously aligned regions:
Since it is not possible to define the position or size at which a region where no disclination line is generated) is formed, a random alignment state occurs, resulting in a rough display in halftone display.
【0051】本発明のように凸部36を形成することに
より、軸対称状配向を呈する液晶領域の位置および大き
さが規定される。また、凸部36は液晶層40の厚さを
制御しており、絵素領域間の液晶分子の相互作用を弱め
るために形成されている。液層層40の厚さは絵素領域
周辺の液晶層の厚さ(dout)が絵素領域内の(開口
部)の液晶層の厚さ(din)より小さく(din>d
out)なっており、さらに0.2×din≦dout
≦0.8×dinの関係を満足することが好ましい。す
なわち、0.2×din>doutの場合、この凸部3
6が絵素領域間の液晶分子の相互作用を弱める効果が十
分でなく、絵素領域ごとに単一の軸対称状配向領域を形
成することが困難な場合がある。さらに、dout>
0.8dinでは、液晶セルへの液晶材料の注入が困難
になる場合がある。By forming the convex portion 36 as in the present invention, the position and size of the liquid crystal region exhibiting the axially symmetrical alignment are defined. Further, the convex portion 36 controls the thickness of the liquid crystal layer 40, and is formed to weaken the interaction of liquid crystal molecules between the pixel regions. The thickness of the liquid layer 40 is such that the thickness (dout) of the liquid crystal layer in the vicinity of the pixel region is smaller than the thickness (din) of the liquid crystal layer (in the opening) in the pixel region (din> d).
out), and 0.2 × din ≦ dout
It is preferable to satisfy the relationship of ≦ 0.8 × din. That is, when 0.2 × din> dout, this convex portion 3
In some cases, the effect of 6 weakening the interaction of liquid crystal molecules between the pixel regions is not sufficient, and it may be difficult to form a single axially symmetric alignment region for each pixel region. Furthermore, dout>
If it is 0.8 din, it may be difficult to inject the liquid crystal material into the liquid crystal cell.
【0052】なお、「絵素」は、一般に、表示を行う最
小単位として定義される。本願明細書において用いられ
る「絵素領域」という用語は、「絵素」に対応する表示
装置の一部の領域をさす。ただし、縦横比が大きい絵素
(長絵素)の場合、一つの長絵素に対して、複数の絵素
領域を形成してもよい。絵素に対応して形成される絵素
領域の数は、軸対称状配向が安定に形成され得る限り、
できるだけ少ない方が好ましい。The "picture element" is generally defined as the minimum unit for displaying. As used herein, the term "picture element region" refers to a portion of the display device that corresponds to the "picture element." However, in the case of a picture element having a large aspect ratio (long picture element), a plurality of picture element regions may be formed for one long picture element. The number of picture element regions formed corresponding to picture elements is as long as the axially symmetric orientation can be stably formed.
It is preferably as small as possible.
【0053】ここで、軸対称状配向とは、放射状、同心
円状(タンジェンシャル状)などの配向をいう。Here, the axially symmetric orientation means a radial orientation, a concentric orientation (tangential orientation) or the like.
【0054】(実施形態1)図2に、実施形態1の液晶
表示装置の模式図を示す。図2(a)は、図2(b)の
X−X線による断面図、図2(b)は平面図を示す。(Embodiment 1) FIG. 2 shows a schematic view of a liquid crystal display device of Embodiment 1. 2A is a sectional view taken along line XX in FIG. 2B, and FIG. 2B is a plan view.
【0055】この液晶表示装置は、一対のガラス基板
2、8を有し、間に液晶層16が設けられている。一方
(図上側)のガラス基板2の上には、ITOからなる透
明電極3と垂直配向層22とが、前者を基板2側にして
形成されている。他方(図下側)のガラス基板8の上に
は、ITOからなる透明電極10が形成され、透明電極
10上にはアルミニウムからなる凸部17が形成されて
いる。この凸部17は、図2(b)に示すように、絵素
領域15を囲むように設けられている。また、透明電極
10および凸部17の外表面には、垂直配向層22が形
成されている。This liquid crystal display device has a pair of glass substrates 2 and 8, and a liquid crystal layer 16 is provided between them. On one (upper side of the figure) glass substrate 2, a transparent electrode 3 made of ITO and a vertical alignment layer 22 are formed with the former side facing the substrate 2. A transparent electrode 10 made of ITO is formed on the other (lower side of the figure) glass substrate 8, and a convex portion 17 made of aluminum is formed on the transparent electrode 10. The convex portion 17 is provided so as to surround the picture element region 15, as shown in FIG. Further, a vertical alignment layer 22 is formed on the outer surfaces of the transparent electrode 10 and the protrusions 17.
【0056】さらに、透明電極10と透明電極10との
間の絵素領域外には、柱状スペーサ20が形成されてい
る(図2(b)参照)。この柱状スペーサ20は両基板
2、8の間隔を調整するものであり、両基板2、8に達
するように設けられており、この柱状スペーサ20の周
面にも垂直配向層21が形成されている。Further, a columnar spacer 20 is formed outside the pixel area between the transparent electrodes 10 (see FIG. 2B). The columnar spacer 20 adjusts the distance between the substrates 2 and 8, and is provided so as to reach the substrates 2 and 8. The vertical alignment layer 21 is also formed on the peripheral surface of the columnar spacer 20. There is.
【0057】かかる構成の液晶表示装置は、以下のよう
に製造される。The liquid crystal display device having such a structure is manufactured as follows.
【0058】まず、一方のガラス基板2上に、ITOか
らなる厚み700nmの透明電極3を形成し、さらに、
JALS−204(日本合成ゴム社製)をスピンコート
し、垂直配向層22を形成した。First, a transparent electrode 3 made of ITO and having a thickness of 700 nm is formed on one glass substrate 2, and further,
JALS-204 (manufactured by Japan Synthetic Rubber Co., Ltd.) was spin-coated to form the vertical alignment layer 22.
【0059】次に、他方のガラス基板8上に、ITOか
らなる厚み700nm、幅160μmの透明電極10を
ストライプ状に形成し、さらに透明電極10上にアルミ
ニウムからなる凸部17を形成する。この凸部17の形
成は、アルミニウム薄膜を厚み3μmに形成し、透明電
極10の両端から幅10μmの領域を残すように、絵素
領域15に対応する箇所をフォトリソグラフィーとエッ
チングにより除去することにより行った。なお、ここで
は、金属薄膜としてアルミニウムを用いたが、本発明は
これに限らず、クロム、ニッケル、モリブデン、チタ
ン、銅、銀もしくは金の単体を用いても、または、アル
ミニウム、クロム、ニッケル、モリブデン、チタン、
銅、銀もしくは金の2種以上の合金を用いてもよい。Next, a transparent electrode 10 made of ITO and having a thickness of 700 nm and a width of 160 μm is formed in a stripe shape on the other glass substrate 8, and a convex portion 17 made of aluminum is further formed on the transparent electrode 10. The protrusions 17 are formed by forming an aluminum thin film with a thickness of 3 μm and removing the portions corresponding to the picture element regions 15 by photolithography and etching so as to leave regions with a width of 10 μm from both ends of the transparent electrode 10. went. Although aluminum is used as the metal thin film here, the present invention is not limited to this, and chromium, nickel, molybdenum, titanium, copper, silver or gold alone may be used, or aluminum, chromium, nickel, Molybdenum, titanium,
Two or more alloys of copper, silver or gold may be used.
【0060】次に、透明電極10と透明電極10の間の
絵素領域外に、感光性ポリイミドを用いて、高さ約5μ
mの柱状スペーサ20を形成した。Next, outside the picture element region between the transparent electrodes 10 and 10, a photosensitive polyimide is used to make a height of about 5 μm.
m columnar spacers 20 were formed.
【0061】次に、透明電極10および凸部17が形成
されたガラス基板8上に、JALS−204(日本合成
ゴム社製)をスピンコートし、垂直配向層21を形成し
た。Next, JALS-204 (manufactured by Japan Synthetic Rubber Co., Ltd.) was spin-coated on the glass substrate 8 on which the transparent electrode 10 and the convex portion 17 were formed to form the vertical alignment layer 21.
【0062】次に、両方の基板2、8を貼り合わせ、さ
らに、両基板2と8の間に液晶層16としてn型液晶材
料(Δε=−4.0、Δn=0.08、セルギャップ5
μmで90°ツイストとなるように液晶材料固有のツイ
スト角を設定)を注入し、液晶セルを完成させた。な
お、完成した液晶セルにおける、透明電極10および凸
部17の2層構造電極としての面抵抗率は1.2オーム
/□であった。Next, both substrates 2 and 8 are bonded together, and an n-type liquid crystal material (Δε = −4.0, Δn = 0.08, cell gap) is formed as a liquid crystal layer 16 between both substrates 2 and 8. 5
A twist angle peculiar to the liquid crystal material was set so that the twist would be 90 ° in μm), and the liquid crystal cell was completed. In the completed liquid crystal cell, the surface resistivity of the transparent electrode 10 and the convex portion 17 as a two-layer structure electrode was 1.2 ohm / □.
【0063】次に、液晶セルの両側に、偏光板をクロス
ニコル状態になるように配置し、液晶表示装置を完成し
た。Next, polarizing plates were arranged on both sides of the liquid crystal cell so as to be in a crossed Nicols state, and a liquid crystal display device was completed.
【0064】図3は、液晶セルに、約4Vの電圧を印加
しながら、各絵素を偏光顕微鏡(クロスニコル)を用い
て透過モードで観察した結果を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing a result of observing each picture element in a transmission mode using a polarization microscope (Cross Nicol) while applying a voltage of about 4 V to the liquid crystal cell.
【0065】図3より理解されるように、白表示時にお
いて、液晶パネル全体にわたって、各絵素領域内の液晶
分子が軸対称状配向中心軸を中心に軸対称状に配向し、
かつ、軸対称状配向中心軸が、絵素領域のほぼ中心部位
置に形成されているのが観察され、ザラツキや表示むら
のない視角特性の優れた液晶表示装置を得ることができ
た。As can be seen from FIG. 3, during white display, the liquid crystal molecules in each picture element region are oriented in axial symmetry about the central axis of the alignment, over the entire liquid crystal panel.
Further, it was observed that the central axis of the axisymmetric orientation was formed at the substantially central position of the picture element region, and it was possible to obtain a liquid crystal display device having excellent viewing angle characteristics with no roughness or display unevenness.
【0066】(実施形態2)本実施形態2では、凸部1
7が多層の金属薄膜で形成されていること以外は、実施
形態1と同様に、液晶表示装置を形成する。(Second Embodiment) In the second embodiment, the convex portion 1
A liquid crystal display device is formed in the same manner as in Embodiment 1 except that 7 is formed of a multilayer metal thin film.
【0067】まず、一方のガラス基板2上にITOから
なる厚み700nmの透明電極3を形成し、さらに、J
ALS−204(日本合成ゴム社製)をスピンコート
し、垂直配向層22を形成した。First, a transparent electrode 3 made of ITO and having a thickness of 700 nm is formed on one glass substrate 2, and then J
ALS-204 (manufactured by Japan Synthetic Rubber Co., Ltd.) was spin-coated to form the vertical alignment layer 22.
【0068】次に、他方のガラス基板8上に、ITOか
らなる厚み700nm、幅160μmの透明電極10を
ストライプ状に形成し、さらに透明電極10上にモリブ
デンとアルミニウムの2層からなる凸部17を形成す
る。この凸部17の形成は以下のように行った。例え
ば、蒸着法でモリブデンを厚み約100nm、続けてア
ルミニウムを厚み約3μm形成し、さらに、ポジ型フォ
トレジスト(TFRB−3;東京応化(株)社製)を厚
み約1μm塗布した後、露光、現像する。このとき、ア
ルミニウム薄膜とITO(透明電極10)との間にモリ
ブデン薄膜が存在することにより、現像時にITOにピ
ンホールが発生することを防ぐことができる。続いて、
アルミニウム薄膜とモリブデン薄膜を同時に、透明電極
10の両端から幅10μmの領域を残すように、絵素領
域15に対応する箇所をエッチングにより除去し、更
に、フォトレジストを剥離することにより凸部17を形
成した。なお、ここでは、金属薄膜としてアルミニウム
とモリブデンを用いたが、本発明はこれに限らず、クロ
ム、ニッケル、チタン、銅、銀もしくは金の単体を用い
ても、または、多層の金属薄膜の各々の層に、アルミニ
ウム、クロム、ニッケル、モリブデン、チタン、銅、銀
もしくは金の2種以上の合金を用いてもよい。Next, a transparent electrode 10 made of ITO and having a thickness of 700 nm and a width of 160 μm is formed in a stripe shape on the other glass substrate 8, and the convex portion 17 composed of two layers of molybdenum and aluminum is further formed on the transparent electrode 10. To form. The formation of the convex portion 17 was performed as follows. For example, molybdenum is formed to a thickness of about 100 nm by vapor deposition, aluminum is formed to a thickness of about 3 μm, and a positive photoresist (TFRB-3; manufactured by Tokyo Ohka Co., Ltd.) is applied to a thickness of about 1 μm. develop. At this time, the presence of the molybdenum thin film between the aluminum thin film and the ITO (transparent electrode 10) can prevent the occurrence of pinholes in the ITO during development. continue,
At the same time, the aluminum thin film and the molybdenum thin film are removed by etching so as to leave a region having a width of 10 μm from both ends of the transparent electrode 10 by etching, and the photoresist 17 is peeled off to form the convex portion 17. Formed. Although aluminum and molybdenum are used here as the metal thin film, the present invention is not limited to this, and a simple substance of chromium, nickel, titanium, copper, silver, or gold may be used, or each of the metal thin films of multiple layers may be used. You may use the alloy of 2 or more types of aluminum, chromium, nickel, molybdenum, titanium, copper, silver, or gold for this layer.
【0069】次に、透明電極10と透明電極10の間の
絵素領域外に、感光性ポリイミドを用いて、高さ約5μ
mの柱状スペーサ20を形成した。Next, outside the picture element region between the transparent electrodes 10 and 10, a photosensitive polyimide is used to make a height of about 5 μm.
m columnar spacers 20 were formed.
【0070】次に、透明電極10および凸部17が形成
されたガラス基板8上に、JALS−204(日本合成
ゴム社製)をスピンコートし、垂直配向層21を形成し
た。Next, JALS-204 (manufactured by Japan Synthetic Rubber Co., Ltd.) was spin-coated on the glass substrate 8 on which the transparent electrode 10 and the convex portion 17 were formed, to form the vertical alignment layer 21.
【0071】次に、両方の基板2、8を貼り合わせ、さ
らに、両基板2と8の間に液晶層16としてn型液晶材
料(Δε=−4.0、Δn=0.08、セルギャップ5
μmで90°ツイストとなるように液晶材料固有のツイ
スト角を設定)を注入し、液晶セルを完成させた。な
お、完成した液晶セルにおける、透明電極10および凸
部17の2層構造電極としての面抵抗率は1.5オーム
/□であった。Next, both substrates 2 and 8 were bonded together, and an n-type liquid crystal material (Δε = −4.0, Δn = 0.08, cell gap) was used as the liquid crystal layer 16 between both substrates 2 and 8. 5
A twist angle peculiar to the liquid crystal material was set so that the twist would be 90 ° in μm), and the liquid crystal cell was completed. In the completed liquid crystal cell, the surface resistivity of the transparent electrode 10 and the protrusion 17 as a two-layer structure electrode was 1.5 ohm / □.
【0072】次に、液晶セルの両側に、偏光板をクロス
ニコル状態になるように配置し、液晶表示装置を完成し
た。Next, polarizing plates were arranged on both sides of the liquid crystal cell so as to be in a crossed Nicol state, and a liquid crystal display device was completed.
【0073】完成した液晶セルに、約4Vの電圧を印加
しながら、各絵素を偏光顕微鏡(クロスニコル)を用い
て透過モードで観察したところ、実施形態1と同様に、
白表示時において、液晶パネル全体にわたって、各絵素
領域内の液晶分子が軸対称状配向中心軸を中心に軸対称
状に配向し、かつ、軸対称状配向中心軸が、絵素領域の
ほぼ中心部位置に形成されているのが観察され、ザラツ
キや表示むらのない視角特性の優れた液晶表示装置を得
ることができた。While applying a voltage of about 4 V to each of the completed liquid crystal cells, each picture element was observed in a transmission mode using a polarization microscope (Cross Nicol).
At the time of white display, the liquid crystal molecules in each picture element region are aligned in an axially symmetric manner around the axis of axially symmetric orientation, and the axis of axially symmetric orientation is almost equal to that of the pixel area over the entire liquid crystal panel. It was observed that the liquid crystal display device was formed at the center position, and a liquid crystal display device having excellent viewing angle characteristics without graininess or display unevenness could be obtained.
【0074】(実施形態3)本実施形態3では、凸部1
7が金属薄膜と絶縁層としての有機樹脂層との多層膜で
形成されていること以外は、実施形態1と同様に、液晶
表示装置を形成する。(Third Embodiment) In the third embodiment, the convex portion 1
A liquid crystal display device is formed in the same manner as in Embodiment 1 except that 7 is formed of a multilayer film including a metal thin film and an organic resin layer as an insulating layer.
【0075】まず、一方のガラス基板2上にITOから
なる厚み700nmの透明電極3を形成し、さらに、J
ALS−204(日本合成ゴム社製)をスピンコート
し、垂直配向層22を形成した。First, a transparent electrode 3 made of ITO and having a thickness of 700 nm is formed on one glass substrate 2, and then J
ALS-204 (manufactured by Japan Synthetic Rubber Co., Ltd.) was spin-coated to form the vertical alignment layer 22.
【0076】次に、他方のガラス基板8上に、ITOか
らなる厚み700nm、幅160μmの透明電極10を
ストライプ状に形成し、さらに図4に示すように透明電
極10上にアルミニウムからなる導電性領域17aとレ
ジストからなる絶縁層17bの2層からなる凸部17を
形成する。この凸部17の形成は、以下のように行っ
た。例えば、スパッタ法でアルミニウムを厚み約0.5
μm形成し、さらに、ポジ型フォトレジスト(TFRB
−3;東京応化(株)社製)を厚み約2.5μm塗布し
た後、露光、現像し、続いて、アルミニウム薄膜を透明
電極10の両端から幅20μmの領域を残すように、絵
素領域15に対応するアルミニウム薄膜の箇所をエッチ
ングにより除去することにより行った。この実施形態3
の凸部17は、アルミニウム薄膜17aの上に、それと
同一面積でレジスト17bが形成された構成である。金
属薄膜としてアルミニウムを用いたが、本発明はこれに
限らず、クロム、ニッケル、モリブデン、チタン、銅、
銀もしくは金の単体を用いても、または、アルミニウ
ム、クロム、ニッケル、モリブデン、チタン、銅、銀も
しくは金の2種以上の合金を用いてもよい。Next, a transparent electrode 10 made of ITO and having a thickness of 700 nm and a width of 160 μm is formed in a stripe shape on the other glass substrate 8, and as shown in FIG. A convex portion 17 having two layers, that is, a region 17a and an insulating layer 17b made of a resist is formed. The formation of the convex portion 17 was performed as follows. For example, aluminum is sputtered to a thickness of about 0.5.
μm thick, and a positive photoresist (TFRB
-3; Tokyo Ohka Co., Ltd.) is applied to a thickness of about 2.5 μm, and then exposed and developed, and then the aluminum thin film is formed so as to leave a region of 20 μm width from both ends of the transparent electrode 10. It was carried out by removing the portion of the aluminum thin film corresponding to 15 by etching. This Embodiment 3
The convex portion 17 has a structure in which the resist 17b is formed on the aluminum thin film 17a in the same area as the convex portion 17. Although aluminum was used as the metal thin film, the present invention is not limited to this, and chromium, nickel, molybdenum, titanium, copper,
A simple substance of silver or gold may be used, or an alloy of two or more of aluminum, chromium, nickel, molybdenum, titanium, copper, silver or gold may be used.
【0077】次に、透明電極10と透明電極10の間の
絵素領域外に、感光性ポリイミドを用いて、高さ約5μ
mの柱状スペーサ20を形成した。Next, a photosensitive polyimide is used outside the pixel region between the transparent electrodes 10 and about 5 μm in height.
m columnar spacers 20 were formed.
【0078】次に、透明電極10および凸部17が形成
されたガラス基板8上に、JALS−204(日本合成
ゴム社製)をスピンコートし、垂直配向層21を形成し
た。Next, JALS-204 (manufactured by Japan Synthetic Rubber Co., Ltd.) was spin-coated on the glass substrate 8 on which the transparent electrode 10 and the convex portion 17 were formed, to form the vertical alignment layer 21.
【0079】次に、両方の基板2、8を貼り合わせ、さ
らに、両基板2と8の間に液晶層16としてn型液晶材
料(Δε=−4.0、Δn=0.08、セルギャップ5
μmで90°ツイストとなるように液晶材料固有のツイ
スト角を設定)を注入し、液晶セルを完成させた。な
お、完成した液晶セルにおける、透明電極10および凸
部17の2層構造電極としての面抵抗率は1.4オーム
/□であった。Next, both substrates 2 and 8 are bonded together, and an n-type liquid crystal material (Δε = −4.0, Δn = 0.08, cell gap) is formed as a liquid crystal layer 16 between both substrates 2 and 8. 5
A twist angle peculiar to the liquid crystal material was set so that the twist would be 90 ° in μm), and the liquid crystal cell was completed. In the completed liquid crystal cell, the surface resistivity of the transparent electrode 10 and the convex portion 17 as a two-layer structure electrode was 1.4 ohm / □.
【0080】次に、液晶セルの両側に、偏光板をクロス
ニコル状態になるように配置し、液晶表示装置を完成し
た。Next, polarizing plates were arranged on both sides of the liquid crystal cell so as to be in a crossed Nicols state, and a liquid crystal display device was completed.
【0081】完成した液晶セルに、約4Vの電圧を印加
しながら、各絵素を偏光顕微鏡(クロスニコル)を用い
て透過モードで観察したところ、実施形態1と同様に、
白表示時において、液晶パネル全体にわたって、各絵素
領域内の液晶分子が軸対称状配向中心軸を中心に軸対称
状に配向し、かつ、軸対称状配向中心軸が、絵素領域の
ほぼ中心部位置に形成されているのが観察され、ザラツ
キや表示むらのない視角特性の優れた液晶表示装置を得
ることができた。While applying a voltage of about 4 V to each of the completed liquid crystal cells, each picture element was observed in a transmission mode using a polarization microscope (Cross Nicol).
At the time of white display, the liquid crystal molecules in each picture element region are aligned in an axially symmetric manner around the axis of axially symmetric orientation, and the axis of axially symmetric orientation is almost equal to that of the pixel area over the entire liquid crystal panel. It was observed that the liquid crystal display device was formed at the center position, and a liquid crystal display device having excellent viewing angle characteristics without graininess or display unevenness could be obtained.
【0082】(実施形態4)本実施形態4では、実施形
態3と同様に、凸部17が金属薄膜と絶縁層としての有
機樹脂層との多層膜で形成されていること以外は、実施
形態1と同様に、液晶表示装置を形成する。但し、上述
した実施形態3では金属薄膜の上に、それと同一面積で
絶縁層を形成しているが、本実施形態4は金属薄膜の上
面と側面とを覆うように絶縁層を形成する場合である。(Embodiment 4) Embodiment 4 is the same as Embodiment 3, except that the convex portion 17 is formed of a multilayer film including a metal thin film and an organic resin layer as an insulating layer. A liquid crystal display device is formed in the same manner as 1. However, in the third embodiment described above, the insulating layer is formed on the metal thin film in the same area as that, but in the fourth embodiment, the insulating layer is formed so as to cover the upper surface and the side surface of the metal thin film. is there.
【0083】まず、一方のガラス基板2上にITOから
なる厚み700nmの透明電極3を形成し、さらに、J
ALS−204(日本合成ゴム社製)をスピンコート
し、垂直配向層22を形成した。First, a transparent electrode 3 made of ITO and having a thickness of 700 nm is formed on one glass substrate 2, and then J
ALS-204 (manufactured by Japan Synthetic Rubber Co., Ltd.) was spin-coated to form the vertical alignment layer 22.
【0084】次に、他方のガラス基板8上に、ITOか
らなる厚み700nm、幅160μmの透明電極10を
ストライプ状に形成し、さらに図5に示すように透明電
極10上にアルミニウムからなる導電性領域17aとレ
ジストからなる絶縁層17bの2層からなる凸部17を
形成する。この凸部17の形成は、以下のように行っ
た。例えば、スパッタ法でアルミニウムを厚み約1μm
形成し、さらに、ポジ型フォトレジスト(TFRB−
3;東京応化(株)社製)を厚み約2μm塗布した後、
露光、現像する。続いて、アルミニウム薄膜を透明電極
10の両端から幅10μmの領域を残すように、絵素領
域15に対応するアルミニウム薄膜の箇所をエッチング
により除去し、その後、フォトレジストを約120℃で
焼成して、アルミニウム薄膜の上にのみ存在するフォト
レジストを軟化させ、アルミニウム薄膜17aの上面と
側面とをフォトレジスト17bで被覆させることによ
り、凸部17を形成した。金属薄膜としてアルミニウム
を用いたが、本発明はこれに限らず、クロム、ニッケ
ル、モリブデン、チタン、銅、銀もしくは金の単体を用
いても、または、アルミニウム、クロム、ニッケル、モ
リブデン、チタン、銅、銀もしくは金の2種以上の合金
を用いてもよい。Next, a transparent electrode 10 made of ITO and having a thickness of 700 nm and a width of 160 μm is formed in a stripe shape on the other glass substrate 8, and as shown in FIG. A convex portion 17 having two layers, that is, a region 17a and an insulating layer 17b made of a resist is formed. The formation of the convex portion 17 was performed as follows. For example, aluminum is sputtered to a thickness of approximately 1 μm.
Then, a positive photoresist (TFRB-
3; after applying a thickness of about 2 μm, manufactured by Tokyo Ohka Co., Ltd.,
Expose and develop. Then, the aluminum thin film is removed by etching so as to leave a region having a width of 10 μm from both ends of the transparent electrode 10, and the photoresist is baked at about 120 ° C. to remove the aluminum thin film corresponding to the pixel region 15. The convex portion 17 was formed by softening the photoresist existing only on the aluminum thin film and covering the upper surface and the side surface of the aluminum thin film 17a with the photoresist 17b. Although aluminum is used as the metal thin film, the present invention is not limited to this, and a single substance of chromium, nickel, molybdenum, titanium, copper, silver or gold is used, or aluminum, chromium, nickel, molybdenum, titanium, copper. Two or more alloys of silver, gold or gold may be used.
【0085】次に、透明電極10と透明電極10の間の
絵素領域外に、感光性ポリイミドを用いて、高さ約5μ
mの柱状スペーサ20を形成した。Next, outside the picture element region between the transparent electrodes 10 and 10, a photosensitive polyimide is used to make a height of about 5 μm.
m columnar spacers 20 were formed.
【0086】次に、透明電極10および凸部17が形成
されたガラス基板8上に、JALS−204(日本合成
ゴム社製)をスピンコートし、垂直配向層21を形成し
た。Next, JALS-204 (manufactured by Japan Synthetic Rubber Co., Ltd.) was spin-coated on the glass substrate 8 on which the transparent electrode 10 and the convex portion 17 were formed to form the vertical alignment layer 21.
【0087】次に、両方の基板2、8を貼り合わせ、さ
らに、両基板2と8の間に液晶層16としてn型液晶材
料(Δε=−4.0、Δn=0.08、セルギャップ5
μmで90°ツイストとなるように液晶材料固有のツイ
スト角を設定)を注入し、液晶セルを完成させた。な
お、完成した液晶セルにおける、透明電極10および凸
部17の2層構造電極としての面抵抗率は1.6オーム
/□であった。Next, both substrates 2 and 8 were bonded together, and an n-type liquid crystal material (Δε = −4.0, Δn = 0.08, cell gap) was formed as a liquid crystal layer 16 between both substrates 2 and 8. 5
A twist angle peculiar to the liquid crystal material was set so that the twist would be 90 ° in μm), and the liquid crystal cell was completed. In the completed liquid crystal cell, the surface resistivity of the transparent electrode 10 and the convex portion 17 as a two-layer structure electrode was 1.6 ohm / □.
【0088】次に、液晶セルの両側に、偏光板をクロス
ニコル状態になるように配置し、液晶表示装置を完成し
た。Next, polarizing plates were arranged on both sides of the liquid crystal cell so as to be in a crossed Nicols state, and a liquid crystal display device was completed.
【0089】完成した液晶セルに、約4Vの電圧を印加
しながら、各絵素を偏光顕微鏡(クロスニコル)を用い
て透過モードで観察したところ、実施形態1と同様に、
白表示時において、液晶パネル全体にわたって、各絵素
領域内の液晶分子が軸対称状配向中心軸を中心に軸対称
状に配向し、かつ、軸対称状配向中心軸が、絵素領域の
ほぼ中心部位置に形成されているのが観察され、ザラツ
キや表示むらのない視角特性の優れた液晶表示装置を得
ることができた。While applying a voltage of about 4 V to each of the completed liquid crystal cells, each picture element was observed in a transmission mode using a polarizing microscope (Cross Nicol).
At the time of white display, the liquid crystal molecules in each picture element region are aligned in an axially symmetric manner around the axis of axially symmetric orientation, and the axis of axially symmetric orientation is almost equal to that of the pixel area over the entire liquid crystal panel. It was observed that the liquid crystal display device was formed at the center position, and a liquid crystal display device having excellent viewing angle characteristics without graininess or display unevenness could be obtained.
【0090】なお、上述した実施形態2〜実施形態4に
おいては、金属薄膜で2層とし、または金属薄膜と有機
樹脂層(例えばレジスト)とで2層としているが、本発
明はこれに限らず、同様の材質構成で2層より多い3層
以上の多層構造としてもよいことはもちろんである。ま
た、このことは、後述する実施形態5に、実施形態2〜
実施形態4を適用する場合においても同様である。In the above-described Embodiments 2 to 4, the metal thin film has two layers, or the metal thin film and the organic resin layer (for example, resist) have two layers, but the present invention is not limited to this. Needless to say, a multilayer structure having three or more layers, which has more than two layers with the same material configuration, may be used. In addition, this is similar to Embodiment 2 described later in Embodiment 2
The same applies when the fourth embodiment is applied.
【0091】(実施形態5)実施形態5は、プラズマア
ドレス型の液晶表示装置に適用した場合である。(Fifth Embodiment) The fifth embodiment is applied to a plasma addressed liquid crystal display device.
【0092】図6は、本実施形態に係るプラズマアドレ
ス型の液晶表示装置の具体的構成を示す模式断面図であ
る。FIG. 6 is a schematic sectional view showing a specific structure of the plasma addressed liquid crystal display device according to the present embodiment.
【0093】この液晶表示装置は、液晶層59を挟んで
一方側(図の上側)に透明なガラス等からなる基板58
を有し、他方側(図の下側)に誘電体シートとしての薄
板ガラス53と基板54とが対向配設されたプラズマ発
生基板52を有する。プラズマ基板52の基板54と薄
板ガラス53との間には、ライン状に隔壁57が形成さ
れ、この隔壁57と、基板54と、薄板ガラス53とで
囲まれた空間は、電離用ガスが封入されたライン状のチ
ャンネル55を構成する。各チャンネル55内には、電
離用ガスをイオンするためのアノード電極Aおよびカソ
ード電極Kが設けられている。In this liquid crystal display device, a substrate 58 made of transparent glass or the like is provided on one side (upper side in the drawing) with the liquid crystal layer 59 interposed therebetween.
And a plasma generating substrate 52 having a thin glass plate 53 as a dielectric sheet and a substrate 54 arranged opposite to each other on the other side (lower side in the drawing). A partition 57 is formed in a line shape between the substrate 54 of the plasma substrate 52 and the thin glass 53, and a space surrounded by the partition 57, the substrate 54, and the thin glass 53 is filled with an ionizing gas. To form a line-shaped channel 55. Inside each channel 55, an anode electrode A and a cathode electrode K for ionizing the ionizing gas are provided.
【0094】一方、基板58の液晶層59側には、カラ
ーフィルタ63が設けられており、その上に、データ線
としての透明電極60が、ストライプ状に、かつ、ライ
ン状のチャンネル55に対して交差して、例えば垂直方
向に配線されている。前記液晶層59は、基板58と薄
板ガラス53とに挟持されており、基板58と薄板ガラ
ス53との間のセル厚は、柱状スペーサ67にて一定に
維持されている。なお、基板58および薄板ガラス53
の液晶層59側の表面には、垂直配向膜68が形成され
ている。また、基板58、カラーフィルタ63、透明電
極60および液晶層59からなる部分は表示セル51を
構成する。On the other hand, a color filter 63 is provided on the liquid crystal layer 59 side of the substrate 58, and a transparent electrode 60 as a data line is provided on the color filter 63 in a striped and linear channel 55. Are crossed, and are wired in the vertical direction, for example. The liquid crystal layer 59 is sandwiched between the substrate 58 and the thin glass plate 53, and the cell thickness between the substrate 58 and the thin glass plate 53 is kept constant by the columnar spacer 67. The substrate 58 and the thin glass plate 53
A vertical alignment film 68 is formed on the surface of the liquid crystal layer 59 side. Further, the display cell 51 is composed of a portion including the substrate 58, the color filter 63, the transparent electrode 60, and the liquid crystal layer 59.
【0095】このように構成された液晶表示装置の一方
側(図上側)に偏光板69aが設けられ、他方側(図下
側)に偏光板69bとバックライト62とが設けられて
いる。A polarizing plate 69a is provided on one side (upper side in the drawing) of the liquid crystal display device thus configured, and a polarizing plate 69b and a backlight 62 are provided on the other side (lower side in the drawing).
【0096】このプラズマアドレス型液晶表示装置の製
造方法は、図2のガラス基板8の代わりに、図6で示す
プラズマ発生基板52を用いる。このプラズマ発生基板
52の作製は、公知の方法により作製される。In the method of manufacturing the plasma addressed liquid crystal display device, the plasma generating substrate 52 shown in FIG. 6 is used instead of the glass substrate 8 shown in FIG. The plasma generation substrate 52 is manufactured by a known method.
【0097】図7に、実施形態2のプラズマアドレス型
液晶表示装置の表示セル51部分の詳細な模式図を示
す。図7(a)は図7(b)のX−X線による断面図、
図7(b)は平面図を示す。FIG. 7 shows a detailed schematic view of the display cell 51 portion of the plasma addressed liquid crystal display device of the second embodiment. FIG. 7A is a sectional view taken along line XX of FIG.
FIG. 7B shows a plan view.
【0098】図下側の薄板ガラス53上に、JALS−
204(日本合成ゴム社製)をスピンコートし、垂直配
向層68を形成した。On the thin glass plate 53 on the lower side of the figure, JALS-
The vertical alignment layer 68 was formed by spin coating 204 (manufactured by Japan Synthetic Rubber Co., Ltd.).
【0099】図上側のガラス基板58上には、カラーフ
ィルタ63を形成し、その上に、ITOからなる厚み7
00nm、幅160μmの透明電極60をストライプ状
に形成し、さらに透明電極60上にアルミニウムからな
る凸部70を形成する。この凸部70の形成は、アルミ
ニウム薄膜を厚み3μmに形成し、透明電極60の両端
から幅10nmの領域を残すように、絵素領域71に対
応する箇所をフォトリソグラフィーとエッチングにより
除去することにより行った。さらに、透明電極60と透
明電極60の間の絵素領域外に、感光性ポリイミドを用
いて、高さ約5μmの柱状スペーサ67を形成した。さ
らに、透明電極60および凸部70が形成されたガラス
基板58上に、JALS−204(日本合成ゴム社製)
をスピンコートし、垂直配向層68を形成した。この実
施形態でもアルミニウムに限らず、上述したような金属
単体または合金を用いることができる。A color filter 63 is formed on the glass substrate 58 on the upper side of the drawing, and a thickness 7 made of ITO is formed on the color filter 63.
A transparent electrode 60 having a width of 00 nm and a width of 160 μm is formed in a stripe shape, and a convex portion 70 made of aluminum is formed on the transparent electrode 60. The convex portion 70 is formed by forming an aluminum thin film with a thickness of 3 μm and removing the portion corresponding to the picture element region 71 by photolithography and etching so as to leave a region with a width of 10 nm from both ends of the transparent electrode 60. went. Further, a columnar spacer 67 having a height of about 5 μm was formed outside the pixel region between the transparent electrodes 60 by using photosensitive polyimide. Further, on the glass substrate 58 on which the transparent electrode 60 and the convex portion 70 are formed, JALS-204 (manufactured by Japan Synthetic Rubber Co., Ltd.)
Was spin-coated to form a vertical alignment layer 68. Also in this embodiment, not only aluminum but also the above metal simple substance or alloy can be used.
【0100】そして、プラズマ発生基板52側の薄板ガ
ラス53と、表示セル51側のガラス基板58とを貼り
合わせ、さらに、薄板ガラス53とガラス基板58との
間に液晶層59としてn型液晶材料(Δε=−4.0、
Δn=0.08、セルギャップ5μmで90°ツイスト
となるように液晶材料固有のツイスト角を設定)を注入
した。なお、透明電極60および凸部70の2層構造電
極としての面抵抗率は1.2オーム/□であった。Then, the thin glass plate 53 on the plasma generating substrate 52 side and the glass substrate 58 on the display cell 51 side are bonded together, and an n-type liquid crystal material is formed as a liquid crystal layer 59 between the thin glass plate 53 and the glass substrate 58. (Δε = −4.0,
A twist angle peculiar to the liquid crystal material was set so that the twist was 90 ° at Δn = 0.08 and the cell gap was 5 μm. The surface resistivity of the transparent electrode 60 and the convex portion 70 as a two-layer structure electrode was 1.2 ohm / □.
【0101】その後、プラズマ発生基板52と表示セル
51とが貼り合わせられたものの両側に、図6に示すよ
うに偏光板69a、69bをクロスニコル状態になるよ
うに配置し、更に偏光板69bの外側にバックライト6
2を設け、プラズマアドレス型液晶表示装置を完成し
た。After that, polarizing plates 69a and 69b are arranged on both sides of the plasma generation substrate 52 and the display cell 51 bonded together so as to be in a crossed Nicol state as shown in FIG. Backlight 6 on the outside
2 was provided to complete the plasma addressed liquid crystal display device.
【0102】なお、このプラズマアドレス型液晶表示装
置を表示状態にし、各絵素を偏光顕微鏡(クロスニコ
ル)を用いて透過モードで観察すると、図3と同様の結
果が得られた。When the plasma-addressed liquid crystal display device was brought into a display state and each picture element was observed in a transmission mode using a polarization microscope (Cross Nicol), the same result as in FIG. 3 was obtained.
【0103】このことより理解されるように、白表示時
において、パネル全体にわたって、各絵素領域内の液晶
分子が軸対称状配向中心軸を中心に軸対称状に配向し、
かつ、軸対称状配向中心軸が、絵素領域のほぼ中心部位
置に形成されているのが観察され、ザラツキや表示むら
のない視角特性の優れたプラズマアドレス型液晶表示装
置を得ることができた。As can be understood from this, during white display, the liquid crystal molecules in each pixel region are oriented in axial symmetry around the central axis of axial alignment, over the entire panel,
Moreover, it was observed that the axially symmetrical alignment central axis was formed substantially at the central position of the pixel region, and it was possible to obtain a plasma addressed liquid crystal display device with excellent viewing angle characteristics without graininess or display unevenness. It was
【0104】(比較例1)図9に、従来例で用いた液晶
表示装置の断面図を示す。(Comparative Example 1) FIG. 9 is a sectional view of a liquid crystal display device used in a conventional example.
【0105】この液晶表示装置は、以下のようにして製
造されている。すなわち、一方のガラス基板102上
に、ITOからなる厚み700nmの透明電極104を
形成し、さらに、JALS−204(日本合成ゴム社
製)をスピンコートして垂直配向層105を形成した。This liquid crystal display device is manufactured as follows. That is, a transparent electrode 104 made of ITO and having a thickness of 700 nm was formed on one glass substrate 102, and JALS-204 (manufactured by Japan Synthetic Rubber Co., Ltd.) was spin-coated to form a vertical alignment layer 105.
【0106】他方のガラス基板101上に、ITOから
なる厚み700nmの透明電極103を形成し、さら
に、透明電極103上の絵素領域外に、感光性ポリイミ
ドを用いて、高さ約5μmのスペーサ107を形成し
た。その後、アクリル系ネガ型レジストで、高さ約3μ
mの凸部106を形成した。凸部106で包囲される領
域、すなわち絵素領域の大きさは、190μm×325
μmとした。その上に、JALS−204(日本合成ゴ
ム社製)をスピンコートし、垂直配向層105を形成し
た。A transparent electrode 103 made of ITO and having a thickness of 700 nm is formed on the other glass substrate 101, and a photosensitive polyimide is used outside the pixel region on the transparent electrode 103 to form a spacer having a height of about 5 μm. Formed 107. After that, with acrylic negative resist, height about 3μ
The convex portion 106 of m was formed. The area surrounded by the convex portion 106, that is, the size of the pixel area is 190 μm × 325.
μm. Then, JALS-204 (manufactured by Japan Synthetic Rubber Co., Ltd.) was spin-coated to form a vertical alignment layer 105.
【0107】その後、両方の基板を貼り合わせ、さら
に、基板間に液晶層109としてn型液晶材料(Δε=
−4.0、Δn=0.08、セルギャップ5μmで90
°ツイストとなるように液晶材料固有のツイスト角を設
定)を注入することにより、液晶セルを完成させた。透
明電極103の面抵抗率は6.0オーム/□であった。After that, both substrates are bonded together, and an n-type liquid crystal material (Δε =
-4.0, Δn = 0.08, 90 at cell gap 5 μm
The liquid crystal cell was completed by injecting (twist angle peculiar to the liquid crystal material was set so as to be twisted). The surface resistivity of the transparent electrode 103 was 6.0 ohm / □.
【0108】その後、液晶セルの両側に、偏光板をクロ
スニコル状態になるように配置し、液晶表示装置を完成
した。After that, polarizing plates were arranged on both sides of the liquid crystal cell so as to be in a crossed Nicols state, and a liquid crystal display device was completed.
【0109】図8は、完成した液晶セルに、約4Vの電
圧を印加しながら、各絵素を偏光顕微鏡(クロスニコ
ル)を用いて透過モードで観察した結果を示す。FIG. 8 shows the result of observing each picture element in the transmission mode using a polarization microscope (Cross Nicol) while applying a voltage of about 4 V to the completed liquid crystal cell.
【0110】図8より理解されるように、白表示時にお
いて、各絵素領域内の液晶分子が中心軸を中心に軸対称
状に配向しているが、絵素領域によっては軸対称状配向
中心軸が、絵素領域の中心部から大きくずれた位置に形
成されているものが観察され、ザラツキや表示むらのな
い視角特性の優れた液晶表示装置を得ることができなか
った。As can be understood from FIG. 8, the liquid crystal molecules in each picture element region are oriented in axial symmetry about the central axis during white display, but depending on the picture element region, they are oriented in axial symmetry. It was observed that the central axis was formed at a position largely deviated from the center of the picture element region, and it was not possible to obtain a liquid crystal display device having excellent viewing angle characteristics free from roughness and display unevenness.
【0111】なお、上述した実施形態5は、プラズマア
ドレス型液晶表示装置に実施形態1を適用した構成であ
るが、本発明はこれに限らず、プラズマアドレス型液晶
表示装置に上述した実施形態2〜実施形態4を適用する
ことができる。その場合でも得られたプラズマアドレス
型液晶表示装置は、実施形態5と同様に、各絵素領域内
の液晶分子が軸対称状配向中心軸を中心に軸対称状に配
向し、かつ、軸対称状配向中心軸が、絵素領域のほぼ中
心部位置に形成されているのが観察され、ザラツキや表
示むらのない視角特性の優れたものになることはもちろ
んである。The fifth embodiment described above has a configuration in which the first embodiment is applied to the plasma addressed liquid crystal display device, but the present invention is not limited to this, and the second embodiment described above is applied to the plasma addressed liquid crystal display device. ~ Embodiment 4 can be applied. Even in that case, in the obtained plasma addressed liquid crystal display device, the liquid crystal molecules in each picture element region are oriented in axial symmetry about the axis of axial symmetry and are axially symmetric as in the fifth embodiment. It is observed that the uniform alignment central axis is formed substantially at the central position of the picture element region, and it is of course that the viewing angle characteristic is excellent without graininess or display unevenness.
【0112】[0112]
【発明の効果】以上詳述したように、本発明にあって
は、絵素領域を実質的に包囲する凸部の存在により、液
晶層の絵素領域の位置及び大きさが規定され、液素領域
内の液晶分子が軸対称状配向中心軸を中心に軸対称状に
配向し、このとき、凸部の導電性領域が透明電極と接す
るように形成されているので、その凸部の導電性領域が
透明電極の補助電極として機能し、結果として、電極の
低抵抗化が実現でき、それにより、動作電圧および、軸
対称状配向固定層形成時の印加電圧の液晶パネル内の不
均一性が小さくなるため、液晶パネル内で均一で安定し
た軸対称状配向状態を実現することができ、液晶表示装
置の表示品位を向上させることができる。As described in detail above, in the present invention, the position and size of the picture element region of the liquid crystal layer are defined by the presence of the convex portion that substantially surrounds the picture element region, The liquid crystal molecules in the elementary regions are oriented in axial symmetry about the central axis of the alignment, and at this time, the conductive region of the convex portion is formed so as to be in contact with the transparent electrode. Region functions as an auxiliary electrode of the transparent electrode, and as a result, the resistance of the electrode can be reduced, which results in non-uniformity of the operating voltage and the applied voltage during the formation of the axisymmetric alignment fixed layer in the liquid crystal panel. Is smaller, it is possible to realize a uniform and stable axisymmetric alignment state in the liquid crystal panel, and it is possible to improve the display quality of the liquid crystal display device.
【0113】また、前記凸部の導電性領域を金属薄膜で
形成することにより、安価なウエットエッチングで精度
よく凸部を形成することができる。また、前記凸部の導
電性領域を、多層の金属薄膜で形成する場合、電食反応
の発生を防ぐことができ、凸部の導電性領域をポジレジ
ストでパターニングすることが可能となり、より微細加
工が可能となり、液晶表示装置の高精細化が実現でき
る。Further, by forming the conductive region of the convex portion with a metal thin film, the convex portion can be formed with high precision by inexpensive wet etching. Further, when the conductive area of the convex portion is formed of a multi-layered metal thin film, it is possible to prevent the occurrence of electrolytic corrosion reaction, and it is possible to pattern the conductive area of the convex portion with a positive resist. Processing becomes possible and high definition of the liquid crystal display device can be realized.
【0114】また、凸部を導電性領域上に絶縁層を積層
した多層構造にする場合は、凸部の上に形成する配向膜
との密着性を良くすることができ、また、凸部と他方の
基板に形成した透明電極との上下リークを防止すること
ができる。また、記絶縁層として、新たに膜を形成する
ことなく、導電性領域をパターニング形成する時に用い
るフォトレジストをエッチング後、剥離せずにそのまま
用いることにより、工程を簡略化することができる。ま
た、凸部の導電性領域の上面および側面を絶縁層で被覆
する場合は、隣接する凸部の導電性領域間で発生する横
電界による液晶分子の配向の乱れを防止することができ
る。When the convex portion has a multi-layer structure in which an insulating layer is laminated on the conductive region, the adhesion with the alignment film formed on the convex portion can be improved, and the convex portion and the It is possible to prevent vertical leakage from the transparent electrode formed on the other substrate. Further, the process can be simplified by using the photoresist used for patterning the conductive region as it is, without forming a new film as the insulating layer, after etching and without peeling it off. In addition, when the upper surface and the side surface of the conductive region of the convex portion are covered with the insulating layer, it is possible to prevent the alignment disorder of the liquid crystal molecules due to the horizontal electric field generated between the conductive regions of the adjacent convex portions.
【0115】また、本発明による場合には、絵素領域毎
の液晶分子が軸対称状に配向した視角特性の優れた高コ
ントラストの液晶表示装置が提供される。得られた本発
明の液晶表示装置は、特に、HDTVなどの高品位テレ
ビやCAD用ディスプレイなどへの応用に適した大型の
液晶表示装置に好適に用いられる。Further, according to the present invention, there is provided a high-contrast liquid crystal display device in which liquid crystal molecules in each picture element region are oriented in axial symmetry and which has excellent viewing angle characteristics. The obtained liquid crystal display device of the present invention is particularly preferably used for a large-sized liquid crystal display device suitable for application to a high-definition television such as HDTV or a display for CAD.
【図1】本発明に係る液晶表示装置の基本構成を説明す
る為の図であり、(a)及び(b)は軸対称状配向中心
軸出し電圧無印加時の、(c)及び(d)は軸対称状配
向中心軸出し電圧印加時の状態を示し、(a)及び
(c)は断面図、(b)および(d)は上面をクロスニ
コル状態の偏光顕微鏡で観察した結果を示す。FIG. 1 is a diagram for explaining a basic configuration of a liquid crystal display device according to the present invention, where (a) and (b) are (c) and (d) when no axial centering alignment centering voltage is applied. ) Indicates a state when an axially symmetrical orientation centering centering voltage is applied, (a) and (c) are cross-sectional views, and (b) and (d) show the results of observing the upper surface with a crossed Nicol polarization microscope. .
【図2】本発明の実施形態1の液晶表示装置を示す図で
あり、(a)は断面図、(b)は平面図を示す。2A and 2B are diagrams showing a liquid crystal display device according to Embodiment 1 of the present invention, in which FIG. 2A is a sectional view and FIG. 2B is a plan view.
【図3】本発明の実施形態1および実施形態2におい
て、軸対称状配向中心軸の位置と表示品質との関係を説
明するための図である。FIG. 3 is a diagram for explaining a relationship between a position of an axially symmetrical alignment central axis and display quality in the first and second embodiments of the present invention.
【図4】本発明の実施形態3における凸部の構造を示す
断面図である。FIG. 4 is a sectional view showing a structure of a convex portion according to a third embodiment of the present invention.
【図5】本発明の実施形態4における凸部の構造を示す
断面図である。FIG. 5 is a sectional view showing a structure of a convex portion according to Embodiment 4 of the present invention.
【図6】本発明の実施形態2のプラズマアドレス型液晶
表示装置を示す断面図である。FIG. 6 is a sectional view showing a plasma addressed liquid crystal display device according to a second embodiment of the present invention.
【図7】本発明の実施形態2のプラズマアドレス型液晶
表示装置の表示セル部分を示す図であり、(a)は断面
図、(b)は平面図を示す。7A and 7B are views showing a display cell portion of a plasma addressed liquid crystal display device according to a second embodiment of the present invention, wherein FIG. 7A is a sectional view and FIG. 7B is a plan view.
【図8】比較例の軸対称状配向中心軸の位置と表示品質
との関係を説明するための図である。FIG. 8 is a diagram for explaining the relationship between the position of the central axis of the axially symmetrical alignment and the display quality in the comparative example.
【図9】従来の液晶表示装置を示す図であり、(a)は
断面図、(b)は平面図を示す。9A and 9B are views showing a conventional liquid crystal display device, in which FIG. 9A is a sectional view and FIG. 9B is a plan view.
【図10】他の従来の液晶表示装置の構成および動作原
理を説明する図であり、(a)及び(b)は軸対称状配
向中心軸出し電圧無印加時の、(c)及び(d)は軸対
称状配向中心軸出し電圧印加時の状態を示し、(a)及
び(c)は断面図、(b)および(d)は上面をクロス
ニコル状態の偏光顕微鏡で観察した結果を示す。FIG. 10 is a diagram for explaining the configuration and operation principle of another conventional liquid crystal display device, wherein (a) and (b) are (c) and (d) when no axial centering alignment centering voltage is applied. ) Indicates a state when an axially symmetrical orientation centering centering voltage is applied, (a) and (c) are cross-sectional views, and (b) and (d) show the results of observing the upper surface with a crossed Nicol polarization microscope. .
【図11】液晶表示装置の電圧透過率曲線を示す図であ
る。FIG. 11 is a diagram showing a voltage transmittance curve of a liquid crystal display device.
2 ガラス基板 3 透明電極 8 ガラス基板 10 透明電極 15 絵素領域 16 液晶層 17 凸部 17a 導電性領域 17b 絶縁層 20 柱状スペーサ 21 垂直配向層 22 垂直配向層 31 透明電極 32 基板 33 透明電極 34 基板 36 凸部 38a、38b 垂直配向層 40 液晶層 42 液晶分子 44 軸対称状配向中心軸 51 表示セル 52 プラズマ発生基板 53 薄板ガラス 54 基板 55 チャンネル 57 隔壁 58 基板 59 液晶層 60 透明電極 A アノード電極 K カソード電極 62 バックライト 63 カラーフィルタ 67 柱状スペーサ 68 垂直配向層 69a、69b 偏光板 70 凸部 71 絵素領域 2 glass substrates 3 transparent electrodes 8 glass substrates 10 Transparent electrode 15 picture element area 16 Liquid crystal layer 17 convex 17a conductive region 17b Insulation layer 20 Column spacer 21 Vertical alignment layer 22 Vertical alignment layer 31 transparent electrode 32 substrates 33 Transparent electrode 34 substrate 36 convex 38a, 38b Vertical alignment layer 40 Liquid crystal layer 42 Liquid crystal molecule 44 Axisymmetric orientation central axis 51 display cells 52 Plasma generation substrate 53 Thin glass 54 substrate 55 channels 57 partitions 58 substrate 59 Liquid crystal layer 60 transparent electrode A anode electrode K cathode electrode 62 Backlight 63 color filters 67 Column spacer 68 Vertical alignment layer 69a, 69b Polarizing plate 70 convex 71 Picture element area
フロントページの続き (72)発明者 中村 憲明 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シャープ株式会社内 (72)発明者 姫島 克行 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シャープ株式会社内 (56)参考文献 特開 平2−228629(JP,A) 特開 平9−258241(JP,A) 特開 平4−86726(JP,A) 特開 平10−186330(JP,A) 特開 平7−120728(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G02F 1/1333 G02F 1/1337 G02F 1/1343 Front page continued (72) Inventor Noriaki Nakamura 22-22 Nagaike-cho, Naganocho, Abeno-ku, Osaka-shi, Osaka Prefecture Sharp Corporation (72) Inventor Katsuyuki Himejima 22-22, Nagaike-cho, Abeno-ku, Osaka City, Osaka Prefecture (56) ) Reference JP-A-2-228629 (JP, A) JP-A-9-258241 (JP, A) JP-A-4-86726 (JP, A) JP-A-10-186330 (JP, A) JP-A-10-186330 (JP, A) 7-120728 (JP, A) (58) Fields investigated (Int.Cl. 7 , DB name) G02F 1/1333 G02F 1/1337 G02F 1/1343
Claims (10)
液晶層とを有し、該一対の基板上に透明電極が形成され
ており、該液晶層は絵素毎に少なくとも一つの絵素領域
を有し、該絵素領域内の液晶分子が軸対称状配向中心軸
を中心に軸対称状に配向する液晶表示装置において、 少なくとも一方の基板の液晶層側の表面に、該透明電極
と接するように、該絵素領城を実質的に包囲する凸部が
形成されており、かつ、該凸部は導電性材料からなる領
域を有しており、かつ、該導電性領域は該透明電極と接
しており、さらに、前記凸部の高さが液晶層厚の20%
以上80%以下であることを特徴とする液晶表示装置。1. A pair of substrates and a liquid crystal layer sandwiched between the pair of substrates, a transparent electrode is formed on the pair of substrates, and the liquid crystal layer has at least one picture element for each picture element. In a liquid crystal display device having a pixel region, in which liquid crystal molecules in the pixel region are oriented in axial symmetry around an axis of axial alignment, the transparent electrode is formed on the surface of at least one substrate on the liquid crystal layer side. A convex portion that substantially surrounds the picture element region, and the convex portion has a region made of a conductive material, and the conductive region is It is in contact with the transparent electrode, and the height of the protrusion is 20% of the liquid crystal layer thickness.
A liquid crystal display device characterized by being 80% or less .
を有し、電圧無印加時には該液晶分子が該一対の基板に
対して略垂直に配向し、電圧印加時には該液晶分子が複
数の絵素領域毎に軸対称状配向中心軸を中心に軸対称状
に配向する請求項1に記載の液晶表示装置。2. The liquid crystal molecules of the liquid crystal layer have a negative dielectric anisotropy, the liquid crystal molecules are aligned substantially perpendicular to the pair of substrates when no voltage is applied, and the liquid crystal molecules are aligned when a voltage is applied. The liquid crystal display device according to claim 1, wherein the plurality of picture element regions are oriented symmetrically with respect to an axially central alignment center axis.
上に形成された透明電極がストライプ状であることを特
徴とする請求項1または2に記載の液晶表示装置。3. The liquid crystal display device according to claim 1, wherein the transparent electrode formed on at least one of the pair of substrates has a stripe shape.
膜、または多層の金属薄膜からなる請求項1ないし3の
いずれかに記載の液晶表示装置。4. The liquid crystal display device according to claim 1, wherein the conductive region of the convex portion is a single-layer metal thin film or a multi-layer metal thin film.
り、該導電性領域の上に該絶縁層が積層された構成とな
っている請求項1ないし4のいずれかに記載の液晶表示
装置。5. The liquid crystal according to claim 1, wherein the convex portion comprises a conductive region and an insulating layer, and the insulating layer is laminated on the conductive region. Display device.
り、該導電性領域を覆うように該絶縁層が形成された構
成となっている請求項1ないし4のいずれかに記載の液
晶表示装置。6. The structure according to claim 1, wherein the convex portion includes a conductive region and an insulating layer, and the insulating layer is formed so as to cover the conductive region. Liquid crystal display device.
ム、ニッケル、モリブデン、チタン、銅、銀もしくは金
の単体、またはこれらの2種以上の合金からなることを
特徴とする請求項4に記載の液晶表示装置。7. The liquid crystal according to claim 4, wherein the metal thin film is made of aluminum, chromium, nickel, molybdenum, titanium, copper, silver or gold, or an alloy of two or more of these. Display device.
であることを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに
記載の液晶表示装置。8. The liquid crystal display device according to claim 1, wherein the width of the convex portion is 5 μm or more and 20 μm or less.
ローム以上4000オングストローム以下の範囲内にあ
ることを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載
の液晶表示装置。9. The liquid crystal display device according to claim 1, wherein the film thickness of the transparent electrode is in the range of 700 angstroms or more and 4000 angstroms or less.
□以上2.0オーム/□以下の範囲内にあることを特徴
とする請求項1ないし4のいずれかに記載の液晶表示装
置。10. The surface resistivity of the convex portion is 0.5 ohm /
5. The liquid crystal display device according to claim 1, wherein the liquid crystal display device is in the range of □ or more and 2.0 Ω / □ or less.
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2620498A JP3408134B2 (en) | 1998-02-06 | 1998-02-06 | Liquid crystal display |
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JP2620498A JP3408134B2 (en) | 1998-02-06 | 1998-02-06 | Liquid crystal display |
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