JP3404208B2 - 走査電子顕微鏡 - Google Patents
走査電子顕微鏡Info
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- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 4
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
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- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、視野表示操作装置
を有する走査電子顕微鏡に関する。
を有する走査電子顕微鏡に関する。
【０００２】
【従来の技術】電子顕微鏡像上で、ポインタで指定した
位置にクロスカーソルを表示し、その位置を視野中心に
移動させるためのＧＵＩ（グラフィカルユーザーインタ
フェイス）スイッチと電子顕微鏡の像倍率を上げるＧＵ
Ｉスイッチ、および、電子顕微鏡の像倍率を下げるＧＵ
Ｉボタンが存在し、オペレータはターゲットを目的の倍
率で観察するために以下の作業を行う。
位置にクロスカーソルを表示し、その位置を視野中心に
移動させるためのＧＵＩ（グラフィカルユーザーインタ
フェイス）スイッチと電子顕微鏡の像倍率を上げるＧＵ
Ｉスイッチ、および、電子顕微鏡の像倍率を下げるＧＵ
Ｉボタンが存在し、オペレータはターゲットを目的の倍
率で観察するために以下の作業を行う。
【０００３】１．電子顕微鏡像倍率を下げた状態でター
ゲットを探す。
ゲットを探す。
【０００４】２．ターゲットを視野中心に移動させるた
めに、ポインタを移動し、クロスカーソルをターゲット
に合わせる。
めに、ポインタを移動し、クロスカーソルをターゲット
に合わせる。
【０００５】３．クロスカーソル位置の電子顕微鏡像を
視野中心に移動させるために、視野中心に移動させるた
めのＧＵＩスイッチにポインタを移動し、ポインティン
グデバイスのスイッチをクリックする。
視野中心に移動させるために、視野中心に移動させるた
めのＧＵＩスイッチにポインタを移動し、ポインティン
グデバイスのスイッチをクリックする。
【０００６】４．目的の倍率にするために、電子顕微鏡
の像倍率を上げるＧＵＩボタンにポインタを移動し、ポ
インティングデバイスのスイッチをクリックする。
の像倍率を上げるＧＵＩボタンにポインタを移動し、ポ
インティングデバイスのスイッチをクリックする。
【０００７】５．目的の倍率に達する前に、ターゲット
が電子顕微鏡像表示エリア外に出た場合（倍率中心と視
野中心の誤差により発生する。）は、一度、倍率を下げ
るために、電子顕微鏡の像倍率を下げるＧＵＩスイッチ
にポインタを移動し、ポインティングデバイスのスイッ
チをクリックする。
が電子顕微鏡像表示エリア外に出た場合（倍率中心と視
野中心の誤差により発生する。）は、一度、倍率を下げ
るために、電子顕微鏡の像倍率を下げるＧＵＩスイッチ
にポインタを移動し、ポインティングデバイスのスイッ
チをクリックする。
【０００８】６．２〜５を繰返し、ターゲットを目的の
倍率で表示させる。
倍率で表示させる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】電子顕微鏡を操作する
オペレータの視点は、たいていの場合、電子顕微鏡像で
あるが、視野を移動させる、および、電子顕微鏡の像倍
率を変更するためには、それぞれの機能のＧＵＩボタン
にポインティングデバイスを用いてポインタを移動し、
ポインティングデバイスのスイッチをクリックしなけれ
ばならない。ポインティングデバイスで各ＧＵＩボタン
にポインタを合わせる操作は、ターゲットを目的の倍率
で観察するまでにかなりの回数になるためオペレータに
とっても容易な作業ではなく、また、ポインティングデ
バイスで各ＧＵＩスイッチにポインタを合わせるために
ターゲットから視点を離すことにもなる。本発明の目的
は、オペレータが電子顕微鏡像のターゲットから目を離
すことなく、かつ、ポインティングデバイスの移動を最
小にすることで、オペレーションの容易性および操作性
の向上を図ることにある。
オペレータの視点は、たいていの場合、電子顕微鏡像で
あるが、視野を移動させる、および、電子顕微鏡の像倍
率を変更するためには、それぞれの機能のＧＵＩボタン
にポインティングデバイスを用いてポインタを移動し、
ポインティングデバイスのスイッチをクリックしなけれ
ばならない。ポインティングデバイスで各ＧＵＩボタン
にポインタを合わせる操作は、ターゲットを目的の倍率
で観察するまでにかなりの回数になるためオペレータに
とっても容易な作業ではなく、また、ポインティングデ
バイスで各ＧＵＩスイッチにポインタを合わせるために
ターゲットから視点を離すことにもなる。本発明の目的
は、オペレータが電子顕微鏡像のターゲットから目を離
すことなく、かつ、ポインティングデバイスの移動を最
小にすることで、オペレーションの容易性および操作性
の向上を図ることにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明では電子顕微鏡画像の拡大或いは縮小に伴っ
て、電子線の照射領域を変化させる偏向手段、或いは電
子顕微鏡画像に表示される試料像の移動に伴って試料を
移動させる試料移動機構を備えた走査電子顕微鏡の表示
画面上にポイントを表示し、このポイントが、試料像を
表示する電子顕微鏡画像内に位置するとき、ポインティ
ングデバイスのスイッチが押されたときの処理として、
ポインティングデバイスの各スイッチに以下の機能をも
たせることで達成する。
に、本発明では電子顕微鏡画像の拡大或いは縮小に伴っ
て、電子線の照射領域を変化させる偏向手段、或いは電
子顕微鏡画像に表示される試料像の移動に伴って試料を
移動させる試料移動機構を備えた走査電子顕微鏡の表示
画面上にポイントを表示し、このポイントが、試料像を
表示する電子顕微鏡画像内に位置するとき、ポインティ
ングデバイスのスイッチが押されたときの処理として、
ポインティングデバイスの各スイッチに以下の機能をも
たせることで達成する。
【００１１】１．ポインタで指定された位置の電子顕微
鏡像を視野中心に移動させる。
鏡像を視野中心に移動させる。
【００１２】２．決まったステップで電子顕微鏡の像倍
率を上げる。
率を上げる。
【００１３】３．決まったステップで電子顕微鏡の像倍
率を下げる。
率を下げる。
【００１４】従来の技術であれば、オペレータは、電子
顕微鏡の視野を移動する、倍率を上げる、または、倍率
を下げるたびに、ＧＵＩ上の各機能のＧＵＩスイッチに
ポインタを合わせ、クリックする作業と電子顕微鏡画像
内でターゲットの位置指定をする作業を繰り返さなけれ
ばならず、非常に操作性の悪いものとなる。しかし、上
記、手段を用いれば、電子顕微鏡像表示エリア内に常に
ポインタを入れた（常にターゲットにポインタを合わせ
た）状態で電子顕微鏡像を見ながら視野と倍率を設定す
ることが可能となり、オペレーションの容易性および操
作性が飛躍的に向上させることができる。
顕微鏡の視野を移動する、倍率を上げる、または、倍率
を下げるたびに、ＧＵＩ上の各機能のＧＵＩスイッチに
ポインタを合わせ、クリックする作業と電子顕微鏡画像
内でターゲットの位置指定をする作業を繰り返さなけれ
ばならず、非常に操作性の悪いものとなる。しかし、上
記、手段を用いれば、電子顕微鏡像表示エリア内に常に
ポインタを入れた（常にターゲットにポインタを合わせ
た）状態で電子顕微鏡像を見ながら視野と倍率を設定す
ることが可能となり、オペレーションの容易性および操
作性が飛躍的に向上させることができる。
【００１５】また本発明では表示画像上に配置された電
子顕微鏡画像にポインタが位置するときに、上記したよ
うな機能をポインティングデバイスの各スイッチに持た
せ、それ以外の表示画像領域では、逆にアイコン選択機
能等の一般的なポインティングデバイスとしての機能を
持たせる。
子顕微鏡画像にポインタが位置するときに、上記したよ
うな機能をポインティングデバイスの各スイッチに持た
せ、それ以外の表示画像領域では、逆にアイコン選択機
能等の一般的なポインティングデバイスとしての機能を
持たせる。
【００１６】このようにポインタの位置に応じてスイッ
チの機能を変えることにより、電子顕微鏡画像の表示条
件の操作を操作者の意に沿って行うことができる。即ち
電子顕微鏡画像外にポインタが存在する場合、従来と同
様の手段でＧＵＩスイッチで拡大，縮小或いは視野移動
を行うことができ、またポイントが電子顕微鏡画像内に
存在するときは上述したようにポインティングデバイス
のスイッチで拡大，縮小或いは視野移動を行うことがで
きるので、操作者の使い易さや、その使用状況に応じて
両者を使い分けることができる。そしてその切り替えも
ポインティングデバイスによってポインタの位置を変え
るだけで行うことができる。
チの機能を変えることにより、電子顕微鏡画像の表示条
件の操作を操作者の意に沿って行うことができる。即ち
電子顕微鏡画像外にポインタが存在する場合、従来と同
様の手段でＧＵＩスイッチで拡大，縮小或いは視野移動
を行うことができ、またポイントが電子顕微鏡画像内に
存在するときは上述したようにポインティングデバイス
のスイッチで拡大，縮小或いは視野移動を行うことがで
きるので、操作者の使い易さや、その使用状況に応じて
両者を使い分けることができる。そしてその切り替えも
ポインティングデバイスによってポインタの位置を変え
るだけで行うことができる。
【００１７】本発明では更に電子顕微鏡画像上で指定さ
れた矩形領域に基づいて電子顕微鏡画像上で拡大表示を
行い、この拡大表示を行うのに、偏向手段によって試料
像の拡大，試料移動機構によって試料像の移動をおこな
っている。このような構成によって、所望の像を得るま
でに複数回、試料像の移動，拡大を繰り返さなければな
らなかった従来技術と比較して、簡易に所望の像を得る
ことができるようになる。
れた矩形領域に基づいて電子顕微鏡画像上で拡大表示を
行い、この拡大表示を行うのに、偏向手段によって試料
像の拡大，試料移動機構によって試料像の移動をおこな
っている。このような構成によって、所望の像を得るま
でに複数回、試料像の移動，拡大を繰り返さなければな
らなかった従来技術と比較して、簡易に所望の像を得る
ことができるようになる。
【００１８】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図１〜図
６を用いて説明する。また、ポインティングデバイスに
は、３ボタン式のマウスを使用した例を用いる。
６を用いて説明する。また、ポインティングデバイスに
は、３ボタン式のマウスを使用した例を用いる。
【００１９】図１は本発明を実施するための装置の略図
であり、電子銃８から放出された電子ビーム９は偏向コ
イル３により、試料６上を走査する。偏向コイル３と電
子顕微鏡像の表示に用いるワークステーション（パソコ
ン）１のＣＲＴには走査信号発生部１０より走査信号が
供給される。また、検出器４で検出された２次電子７
は、ワークステーション（パソコン）１のＣＲＴに輝度
信号として供給され、ワークステーション（パソコン）
１のＣＲＴに電子顕微鏡像を表示させる。電子顕微鏡制
御ＣＰＵ２は、走査信号データを走査信号発生部１０に
供給することで、偏向コイル３を制御し、電子顕微鏡像
倍率を設定する。また、試料ステージ５を制御すること
で、電子顕微鏡像の視野を移動する。オペレータは、ワ
ークステーション（パソコン）１の操作により、電子顕
微鏡制御ＣＰＵ２に各種命令を出すことで、電子顕微鏡
像の倍率や視野を変えることができる。
であり、電子銃８から放出された電子ビーム９は偏向コ
イル３により、試料６上を走査する。偏向コイル３と電
子顕微鏡像の表示に用いるワークステーション（パソコ
ン）１のＣＲＴには走査信号発生部１０より走査信号が
供給される。また、検出器４で検出された２次電子７
は、ワークステーション（パソコン）１のＣＲＴに輝度
信号として供給され、ワークステーション（パソコン）
１のＣＲＴに電子顕微鏡像を表示させる。電子顕微鏡制
御ＣＰＵ２は、走査信号データを走査信号発生部１０に
供給することで、偏向コイル３を制御し、電子顕微鏡像
倍率を設定する。また、試料ステージ５を制御すること
で、電子顕微鏡像の視野を移動する。オペレータは、ワ
ークステーション（パソコン）１の操作により、電子顕
微鏡制御ＣＰＵ２に各種命令を出すことで、電子顕微鏡
像の倍率や視野を変えることができる。
【００２０】電子顕微鏡を操作するためのワークステー
ション（パソコン）の詳細を図２に示すとともに、本発
明を実現する手段について説明する。本発明の表示画像
であるＣＲＴ表示１１はオペレータが操作するためのＧ
ＵＩおよび電子顕微鏡画像を表示する。ＣＲＴ表示１１
の構成は、電子顕微鏡画像表示エリア１２、電子顕微鏡
の像倍率を上げるＧＵＩボタン１３，電子顕微鏡の像倍
率を下げるＧＵＩボタン１４，電子顕微鏡像のオペレー
タが指定した位置を示すクロスカーソル１８，クロスカ
ーソル１８の位置のターゲットを視野中心に移動させる
ＧＵＩボタン１５，クロスカーソルを表示させるＧＵＩ
ボタン１６，ポインティングデバイス用のポインタ１７
からなる。この、ＣＲＴ１１のＧＵＩを操作するための
ポインティングデバイスは、３ボタン式のマウス１９で
あり、左ボタン２０，中ボタン２１，右ボタン２２から
構成される。
ション（パソコン）の詳細を図２に示すとともに、本発
明を実現する手段について説明する。本発明の表示画像
であるＣＲＴ表示１１はオペレータが操作するためのＧ
ＵＩおよび電子顕微鏡画像を表示する。ＣＲＴ表示１１
の構成は、電子顕微鏡画像表示エリア１２、電子顕微鏡
の像倍率を上げるＧＵＩボタン１３，電子顕微鏡の像倍
率を下げるＧＵＩボタン１４，電子顕微鏡像のオペレー
タが指定した位置を示すクロスカーソル１８，クロスカ
ーソル１８の位置のターゲットを視野中心に移動させる
ＧＵＩボタン１５，クロスカーソルを表示させるＧＵＩ
ボタン１６，ポインティングデバイス用のポインタ１７
からなる。この、ＣＲＴ１１のＧＵＩを操作するための
ポインティングデバイスは、３ボタン式のマウス１９で
あり、左ボタン２０，中ボタン２１，右ボタン２２から
構成される。
【００２１】電子顕微鏡の像倍率を上げるときはＧＵＩ
ボタン１３，電子顕微鏡の像倍率を下げるときはＧＵＩ
ボタン１４をマウス１９の左ボタン２０でクリックす
る。視野移動するときは、クロスカーソルを表示するＧ
ＵＩボタン１６をマウス１９の左ボタン２０でクリック
し、クロスカーソル１８を表示させ、ポインタ１７でク
ロスカーソル位置を指定した後、ＧＵＩボタン１５をマ
ウス１９の左ボタン２０でクリックする。
ボタン１３，電子顕微鏡の像倍率を下げるときはＧＵＩ
ボタン１４をマウス１９の左ボタン２０でクリックす
る。視野移動するときは、クロスカーソルを表示するＧ
ＵＩボタン１６をマウス１９の左ボタン２０でクリック
し、クロスカーソル１８を表示させ、ポインタ１７でク
ロスカーソル位置を指定した後、ＧＵＩボタン１５をマ
ウス１９の左ボタン２０でクリックする。
【００２２】本発明では以上の機能をポインタ１７が電
子顕微鏡画像表示エリア１２に入ったときに発生させる
ようにする。
子顕微鏡画像表示エリア１２に入ったときに発生させる
ようにする。
【００２３】このようにすることによって表示エリア外
にポインタが存在するときは、マウス１９の各ボタンは
アイコン選択などのマウスにとって通常の機能を有し、
表示エリア内にポインタが存在するときは上述したよう
に拡大，縮小及び視野移動の電子顕微鏡の表示形態の制
御を行うように機能する。
にポインタが存在するときは、マウス１９の各ボタンは
アイコン選択などのマウスにとって通常の機能を有し、
表示エリア内にポインタが存在するときは上述したよう
に拡大，縮小及び視野移動の電子顕微鏡の表示形態の制
御を行うように機能する。
【００２４】即ち、本発明はポインタの存在位置に応じ
てポインティングデバイスのボタンの機能を変化させて
いる。
てポインティングデバイスのボタンの機能を変化させて
いる。
【００２５】このような方式をとることによって昨今の
表示画面のマルチウインドウ化に適した操作環境を提供
することが可能となる。
表示画面のマルチウインドウ化に適した操作環境を提供
することが可能となる。
【００２６】具体的には以下のような手段をとってい
る。
る。
【００２７】図３のフローチャートに示すイベント処理
を行い、ポインタ１７が電子顕微鏡画像表示エリア１２
に入ったときに、マウス１９の各ボタンに、マウス左ボ
タン２０には、ボタンを押したイベントでポインタ１７
が示す位置にクロスカーソル１８を表示する機能、ボタ
ンを離したイベントで、ＧＵＩボタン１５をクリックし
たのと同等の機能をもたせることで電子顕微鏡画像表示
エリア１２の任意の位置をクリックしただけで目的のタ
ーゲットを視野中心に移動させることができる機能と、
マウス中ボタン２１に、電子顕微鏡の像倍率を上げるＧ
ＵＩボタン１３をクリックしたのと同等の機能、およ
び、マウス右ボタン２２に、電子顕微鏡の像倍率を下げ
るＧＵＩボタン１４をクリックしたのと同等の機能をも
たせることで容易に倍率を変更する機能により、ポイン
タ１７を電子顕微鏡画像表示エリア１２から移動するこ
と無く、目的の像を任意の像倍率で表示させることが可
能となる。
を行い、ポインタ１７が電子顕微鏡画像表示エリア１２
に入ったときに、マウス１９の各ボタンに、マウス左ボ
タン２０には、ボタンを押したイベントでポインタ１７
が示す位置にクロスカーソル１８を表示する機能、ボタ
ンを離したイベントで、ＧＵＩボタン１５をクリックし
たのと同等の機能をもたせることで電子顕微鏡画像表示
エリア１２の任意の位置をクリックしただけで目的のタ
ーゲットを視野中心に移動させることができる機能と、
マウス中ボタン２１に、電子顕微鏡の像倍率を上げるＧ
ＵＩボタン１３をクリックしたのと同等の機能、およ
び、マウス右ボタン２２に、電子顕微鏡の像倍率を下げ
るＧＵＩボタン１４をクリックしたのと同等の機能をも
たせることで容易に倍率を変更する機能により、ポイン
タ１７を電子顕微鏡画像表示エリア１２から移動するこ
と無く、目的の像を任意の像倍率で表示させることが可
能となる。
【００２８】また、ポインティングデバイスが２ボタン
式のマウスおよび２ボタン式のトラックボール等であっ
た場合でも、目的のターゲットを視野中心に移動させる
機能と、電子顕微鏡の像倍率を上げる機能をもたせるこ
とは、容易に考えられる。
式のマウスおよび２ボタン式のトラックボール等であっ
た場合でも、目的のターゲットを視野中心に移動させる
機能と、電子顕微鏡の像倍率を上げる機能をもたせるこ
とは、容易に考えられる。
【００２９】本発明の他の実施例を図４を用いて説明す
る。先に示した実施例では図２のクロスカーソルを表示
するＧＵＩボタン１６で、クロスカーソル１８を表示し
たが、ここでは、図４の矩形カーソル２３を表示させ
る、この矩形カーソル２３はポインティングデバイスの
ドラッグ（ポインティングデバイスのボタンを押したま
まポインタを移動させる）機能で大きさを変更可能と
し、ポインティングデバイスのボタンを離すイベント等
で、矩形カーソル２３の大きさにより倍率を逆算し、矩
形カーソル２３内の電子顕微鏡拡大像２４を表示する。
る。先に示した実施例では図２のクロスカーソルを表示
するＧＵＩボタン１６で、クロスカーソル１８を表示し
たが、ここでは、図４の矩形カーソル２３を表示させ
る、この矩形カーソル２３はポインティングデバイスの
ドラッグ（ポインティングデバイスのボタンを押したま
まポインタを移動させる）機能で大きさを変更可能と
し、ポインティングデバイスのボタンを離すイベント等
で、矩形カーソル２３の大きさにより倍率を逆算し、矩
形カーソル２３内の電子顕微鏡拡大像２４を表示する。
【００３０】本発明の更に他の実施例を図５を用いて説
明する。先に示した実施例では図２のクロスカーソルを
表示するＧＵＩボタン１６で、クロスカーソル１８を表
示したが、ここでは、図５のグリッドカーソル２５を表
示させる、このグリッドカーソル２５で９分割されるエ
リアのうち中心のエリアを除く８エリアに移動方向の意
味をもたせ、ポインティングデバイスのボタンを離す、
または押すイベント等が発生したとき、どのエリアにポ
インタが存在するかでその方向の電子顕微鏡像を設定さ
れた移動量（１，３／４，２／３，１／２，１／４画面
等、または、ドット単位で任意に設定可能とする）だけ
視野中心の方向に移動させ電子顕微鏡像２６（本例で
は、１／４画面移動したもの）を表示する。
明する。先に示した実施例では図２のクロスカーソルを
表示するＧＵＩボタン１６で、クロスカーソル１８を表
示したが、ここでは、図５のグリッドカーソル２５を表
示させる、このグリッドカーソル２５で９分割されるエ
リアのうち中心のエリアを除く８エリアに移動方向の意
味をもたせ、ポインティングデバイスのボタンを離す、
または押すイベント等が発生したとき、どのエリアにポ
インタが存在するかでその方向の電子顕微鏡像を設定さ
れた移動量（１，３／４，２／３，１／２，１／４画面
等、または、ドット単位で任意に設定可能とする）だけ
視野中心の方向に移動させ電子顕微鏡像２６（本例で
は、１／４画面移動したもの）を表示する。
【００３１】このように構成することによって任意の方
向に連続的に試料像の視野移動が可能となる。即ち、中
心エリア以外の任意のエリアを指定して視野移動を行う
際、ポインティングデバイスの指定箇所は試料像に伴っ
て動くわけではなく、試料像のみがポインティングデバ
イスの指定に基づいて移動するので、ポインタは操作者
が動かさない限り同じエリアに配置されたままである。
この状態で何度も同じエリアを指定すれば同一方向に同
じピッチで連続的な移動が可能となる。
向に連続的に試料像の視野移動が可能となる。即ち、中
心エリア以外の任意のエリアを指定して視野移動を行う
際、ポインティングデバイスの指定箇所は試料像に伴っ
て動くわけではなく、試料像のみがポインティングデバ
イスの指定に基づいて移動するので、ポインタは操作者
が動かさない限り同じエリアに配置されたままである。
この状態で何度も同じエリアを指定すれば同一方向に同
じピッチで連続的な移動が可能となる。
【００３２】本発明の更に他の実施例を図６を用いて説
明する。図６は３ボタン式のマウスのイベントへの機能
登録用画面で、機能項目のテキストボックス２７に設定
されているテキストは先の実施例の通りである。このテ
キストボックス２７には、存在する機能を入力可能とす
ることで、ポインティングデバイスのボタンイベントに
自由に機能を割り当てることができる。
明する。図６は３ボタン式のマウスのイベントへの機能
登録用画面で、機能項目のテキストボックス２７に設定
されているテキストは先の実施例の通りである。このテ
キストボックス２７には、存在する機能を入力可能とす
ることで、ポインティングデバイスのボタンイベントに
自由に機能を割り当てることができる。
【００３３】また、本発明ではローテーションの角度の
増減及び試料ステージ傾斜角度の増減及びＺ軸の上昇／
下降などの機能をポインティングデバイスに割り当てて
も良い。
増減及び試料ステージ傾斜角度の増減及びＺ軸の上昇／
下降などの機能をポインティングデバイスに割り当てて
も良い。
【００３４】
【発明の効果】本発明によれば、ポインティングデバイ
スの移動を最小限にとどめ、かつ、ＧＵＩの部品であ
る、各機能のＧＵＩボタンにポインタを合わせる必要が
無くなり、電子顕微鏡像から目を離さないで操作可能と
なるため、オペレーションの容易性および操作性の向上
を図ることができる。
スの移動を最小限にとどめ、かつ、ＧＵＩの部品であ
る、各機能のＧＵＩボタンにポインタを合わせる必要が
無くなり、電子顕微鏡像から目を離さないで操作可能と
なるため、オペレーションの容易性および操作性の向上
を図ることができる。
【００３５】例えば、半導体の検査用走査型電子顕微鏡
においては、オペレ−タが電子顕微鏡像を観察している
ときに、電子顕微鏡像から目を離さないで操作可能なた
め、ウェーハ上の異物等、オペレータにとって重要な情
報の見落としが減少するなど、有効な効果が期待でき
る。
においては、オペレ−タが電子顕微鏡像を観察している
ときに、電子顕微鏡像から目を離さないで操作可能なた
め、ウェーハ上の異物等、オペレータにとって重要な情
報の見落としが減少するなど、有効な効果が期待でき
る。
【００３６】更に本発明によれば以上の効果をマルチウ
インドウ上に電子顕微鏡像が表示される如き表示形態を
有する装置において容易に実現可能となる。
インドウ上に電子顕微鏡像が表示される如き表示形態を
有する装置において容易に実現可能となる。
【００３７】また、ポインティングデバイスのボタンイ
ベントの機能を変更可能なことにより、像移動の方法を
目的に応じて自由に選択する、像表示のための他の機能
を割り当てる、および、左ききの人には左右逆の割当て
をするといったような、オペレータにとって使い易い環
境を提供できる。
ベントの機能を変更可能なことにより、像移動の方法を
目的に応じて自由に選択する、像表示のための他の機能
を割り当てる、および、左ききの人には左右逆の割当て
をするといったような、オペレータにとって使い易い環
境を提供できる。
【図１】本発明を実施する装置の構成図。
【図２】本発明の実施例の表示説明図。
【図３】本発明のイベント処理の説明図。
【図４】本発明の他の実施例の説明図。
【図５】本発明の更に他の実施例を示す説明図。
【図６】本発明の更に他の実施例を示す説明図。
１…ワークステーション（パソコン）、２…電子顕微鏡
制御ＣＰＵ、３…偏向コイル、４…検出器、５…試料ス
テージ、６…試料、７…２次電子、８…電子銃、９…電
子ビーム、１０…走査信号発生部、１１…ＣＲＴ表示、
１２…電子顕微鏡画像表示エリア、１３…電子顕微鏡像
倍率を上げるＧＵＩボタン、１４…電子顕微鏡像倍率を
下げるＧＵＩボタン、１５…クロスカーソル位置のター
ゲットを視野中心に移動させるＧＵＩボタン、１６…ク
ロスカーソルを表示するＧＵＩボタン、１７…ポイン
タ、１８…クロスカーソル、１９…マウス、２０…マウ
ス左ボタン、２１…マウス中ボタン、２２…マウス右ボ
タン、２３…矩形カーソル、２４…矩形カーソル内の電
子顕微鏡拡大像、２５…グリッドカーソル、２６…右側
の像を１／４画面視野中心の方向に移動した電子顕微鏡
像、２７…テキストボックス。
制御ＣＰＵ、３…偏向コイル、４…検出器、５…試料ス
テージ、６…試料、７…２次電子、８…電子銃、９…電
子ビーム、１０…走査信号発生部、１１…ＣＲＴ表示、
１２…電子顕微鏡画像表示エリア、１３…電子顕微鏡像
倍率を上げるＧＵＩボタン、１４…電子顕微鏡像倍率を
下げるＧＵＩボタン、１５…クロスカーソル位置のター
ゲットを視野中心に移動させるＧＵＩボタン、１６…ク
ロスカーソルを表示するＧＵＩボタン、１７…ポイン
タ、１８…クロスカーソル、１９…マウス、２０…マウ
ス左ボタン、２１…マウス中ボタン、２２…マウス右ボ
タン、２３…矩形カーソル、２４…矩形カーソル内の電
子顕微鏡拡大像、２５…グリッドカーソル、２６…右側
の像を１／４画面視野中心の方向に移動した電子顕微鏡
像、２７…テキストボックス。
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平７−21962（ＪＰ，Ａ)
特開 平６−310072（ＪＰ，Ａ)
特開 平７−29536（ＪＰ，Ａ)
特開 平５−28705（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H01J 37/22
H01J 37/20
H01J 37/28
Claims (3)
- 【請求項１】電子顕微鏡画像の拡大或いは縮小に伴っ
て、電子線の照射領域を変化させる偏向手段を備えた走
査電子顕微鏡であって、前記電子顕微鏡画像をその一部
に含む表示画像上にポイントを表示する機能と、該ポイ
ントを移動させるためのポインティングデバイスを備
え、前記電子顕微鏡画像内に前記ポイントが位置すると
き、前記ポインティングデバイスに設けられた少なくと
も２つのスイッチは、それぞれ前記電子顕微鏡の像倍率
の上昇，下降を調節するように機能することを特徴とす
る走査電子顕微鏡。 - 【請求項２】請求項１において、前記ポインティングデ
バイスには少なくとも３つのスイッチが配置されると共
にその中の１つのスイッチは、前記電子顕微鏡画像内に
前記ポイントが位置する際に、そのポイントの位置を前
記電子顕微鏡画像の中心とすべく試料移動機構を制御す
るように機能することを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 【請求項３】請求項１または２において、前記各スイッ
チの機能を割り当てるための手段を備えたことを特徴と
する走査電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03165496A JP3404208B2 (ja) | 1996-02-20 | 1996-02-20 | 走査電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03165496A JP3404208B2 (ja) | 1996-02-20 | 1996-02-20 | 走査電子顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09231934A JPH09231934A (ja) | 1997-09-05 |
| JP3404208B2 true JP3404208B2 (ja) | 2003-05-06 |
Family
ID=12337157
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03165496A Expired - Lifetime JP3404208B2 (ja) | 1996-02-20 | 1996-02-20 | 走査電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3404208B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006108005A (ja) * | 2004-10-08 | 2006-04-20 | Hitachi High-Technologies Corp | 電子顕微鏡 |
| JP5537737B2 (ja) * | 2012-06-08 | 2014-07-02 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置 |
-
1996
- 1996-02-20 JP JP03165496A patent/JP3404208B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH09231934A (ja) | 1997-09-05 |
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