JP3401138B2 - Sample transfer device - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、表面に半導体集積
回路を形成するためのウエハー、または表面に半導体集
積回路が形成されたウエハー等の試料（物品）を検査、
測長等のために外部から真空試料室に搬入したり、検
査、測長済の試料（物品）を外部に搬出したりする際に
使用する試料搬送装置に関する。本発明の試料搬送装置
は、電子顕微鏡等を用いて試料の検査を行ったり、イオ
ンビーム等を用いた描画装置により前記ウエハー表面に
パターンを描画したりする真空試料室（真空作業室）
と、大気に開放された外部との間でウエハー等の試料を
交換する際に使用される。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention inspects a sample (article) such as a wafer for forming a semiconductor integrated circuit on the surface, or a wafer on which the semiconductor integrated circuit is formed.
The present invention relates to a sample transport device used for carrying in a vacuum sample chamber from the outside for length measurement and the like, and for carrying out a sample (article) that has been inspected and measured to the outside. The sample transfer device of the present invention is a vacuum sample chamber (vacuum working chamber) for inspecting a sample using an electron microscope or the like, or for drawing a pattern on the wafer surface by a drawing device using an ion beam or the like.
And when exchanging a sample such as a wafer between the outside and the atmosphere open to the atmosphere.

【０００２】[0002]

【従来の技術】前記試料搬送装置としては、図６、図７
に示す技術が知られている。なお、以後の説明の理解を
容易にするために、図面において互いに直交する座標軸
Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸を定義し、矢印Ｘ方向を前方、矢印Ｙ
方向を左方、 矢印Ｚ方向を上方とする。この場合、Ｘ
方向と逆向き（−Ｘ方向）は後方、Ｙ方向と逆向き（−
Ｙ方向）は右方、Ｚ方向と逆向き（−Ｚ方向）は下方と
なる。また、Ｘ方向及び−Ｘ方向を含めて前後方向又は
Ｘ軸方向といい、Ｙ方向及び−Ｙ方向を含めて左右方向
又はＹ軸方向といい、Ｚ方向及び−Ｚ方向を含めて上下
方向又はＺ軸方向ということにする。さらに図中、
「○」の中に「・」が記載されたものは紙面の裏から表
に向かう矢印を意味し、「○」の中に「×」が記載され
たものは紙面の表から裏に向かう矢印を意味するものと
する。2. Description of the Related Art FIG. 6 and FIG.
The technology shown in is known. In order to facilitate understanding of the following description, coordinate axes X, Y, and Z that are orthogonal to each other in the drawings are defined, and the arrow X direction is the forward direction and the arrow Y direction is the Y axis.
The direction is left and the arrow Z direction is upward. In this case, X
The direction opposite to the direction (-X direction) is backward, and the direction opposite to the Y direction (-
The direction Y is rightward, and the direction opposite to the direction Z (-Z direction) is downward. Further, it is referred to as the front-rear direction or the X-axis direction including the X direction and the -X direction, the left-right direction including the Y direction and the -Y direction, or the Y-axis direction, the vertical direction including the Z direction and the -Z direction, or the The direction is the Z axis. Furthermore, in the figure,
"○" in "○" means an arrow from the back of the paper to the front, and "X" in "○" means an arrow from the front to the back of the paper. Shall mean.

【０００３】（Ｊ01）図６、図７に示す技術 図６は前記種類の試料搬送装置の従来例の説明図で、図
６Ａは平断面図、図６Ｂは側断面図である。図７は試料
ホルダおよび試料ホルダを支持するステージの説明図
で、図７Ａは前記図６のＶIIＡ−ＶIIＡ線断面から見た
図、図７Ｂは図６Ｂの矢印ＶIIＢから見た図である。図
６、図７において、ウエハーの測長を行う際の作業に使
用される真空試料室（真空作業室）０１には、内部仕切
弁０２を介して試料交換室（予備排気室）０３が接続さ
れている。また、試料交換室０３は外部仕切弁０４を介
して大気に接続されている。(J01) Techniques shown in FIGS. 6 and 7 FIGS. 6A and 6B are explanatory views of a conventional example of a sample transporting device of the type described above. FIG. 6A is a plan sectional view and FIG. 6B is a side sectional view. 7A and 7B are explanatory views of a sample holder and a stage that supports the sample holder. FIG. 7A is a view seen from a section taken along the line VIIA-VIIA of FIG. 6, and FIG. 7B is a view seen from an arrow VIIB of FIG. 6B. In FIG. 6 and FIG. 7, a sample exchange chamber (preliminary exhaust chamber) 03 is connected via an internal sluice valve 02 to a vacuum sample chamber (vacuum working chamber) 01 used in the work for measuring the length of a wafer. Has been done. The sample exchange chamber 03 is connected to the atmosphere via an external sluice valve 04.

【０００４】前記試料交換室０３の外壁にスライド可能
に支持された試料交換棒０６は、その内端部が前記試料
交換室０３内に配置され、その外端部は試料交換室０３
外側に配置されている。試料交換棒０６の内端部には、
ホルダチャック０７が装着されている。ホルダチャック
０７は、片持式の一対の弾性アーム０７a，０７aを有
し、前記一対の弾性アーム０７a，０７aの自由端（左
端）は外方に拡開可能である。前記ホルダチャック０７
により着脱自在に保持される試料ホルダ０１１は、円板
状の試料保持部０１２およびこの試料保持部０１２の下
面中央部から下方に突出する円筒状の被チャック部０１
３を有している。前記円板状の試料保持部０１２の上面
には、試料Ｗを保持するための試料保持用凹部０１２a
が形成されている。また、前記円筒状の被チャック部０
１３の下面には台形溝０１３aが形成されている。A sample exchange rod 06 slidably supported on the outer wall of the sample exchange chamber 03 has an inner end portion arranged in the sample exchange chamber 03, and an outer end portion thereof arranged in the sample exchange chamber 03.
It is located outside. At the inner end of the sample exchange rod 06,
The holder chuck 07 is attached. The holder chuck 07 has a pair of cantilevered elastic arms 07a and 07a, and the free ends (left ends) of the pair of elastic arms 07a and 07a can be expanded outward. The holder chuck 07
The sample holder 011 removably held by the disk holder 011 has a disk-shaped sample holding portion 012 and a cylindrical chucked portion 01 protruding downward from the central portion of the lower surface of the sample holding portion 012.
Have three. A sample holding concave portion 012a for holding the sample W is formed on the upper surface of the disk-shaped sample holding portion 012.
Are formed. Also, the cylindrical chucked portion 0
On the lower surface of 13, a trapezoidal groove 013a is formed.

【０００５】前記真空試料室０１内には、水平面内で移
動可能なＸＹテーブル０１４が配置されており、ＸＹテ
ーブル０１４には、鉛直軸周りに回転可能な回転テーブ
ル０１６が支持されている。回転テーブル０１６上面に
は、前記台形溝０１３aにスライド可能に嵌合する断面
台形の台形突条０１６aが設けられている。台形凸条０
１６aの一端には、前記台形凸条０１６aに前記被チャッ
ク部０１３の台形溝０１３aが嵌合してスライドしたと
きに被チャック部０１３に当接するストッパ０１６bが
設けられている。図６Ａにおいて、前記台形凸条０１６
aの他端部（図６Ａで右端部）は前記台形溝０１３aとの
嵌合が容易に行われるように、幅が狭く形成され、図６
Ａで左方に行くに従って広くなるように形成されてい
る。In the vacuum sample chamber 01, an XY table 014 movable in a horizontal plane is arranged, and the XY table 014 supports a rotary table 016 rotatable about a vertical axis. On the upper surface of the rotary table 016, there is provided a trapezoidal ridge 016a having a trapezoidal cross section which is slidably fitted in the trapezoidal groove 013a. Trapezoidal ridge 0
A stopper 016b is provided at one end of 16a. The stopper 016b comes into contact with the chucked portion 013 when the trapezoidal groove 013a of the chucked portion 013 is fitted into the trapezoidal ridge 016a and slides. In FIG. 6A, the trapezoidal ridge 016
The other end of a (the right end in FIG. 6A) is formed to have a small width so that the trapezoidal groove 013a can be easily fitted.
It is formed so that it becomes wider toward the left at A.

【０００６】次に、前述の従来の試料交換棒０６を用い
て、試料交換室０３から真空試料室０１に試料Ｗを搬送
する方法を説明する。前記内部仕切弁０２を閉塞して前
記真空試料室０１内を真空にした状態で、前記外部仕切
弁０４を開いて試料ホルダ０１１を前記ホルダチャック
０７に装着する。その装着の際、前記試料交換棒０６を
左方に移動させた時に、前記試料ホルダ０１１の被チャ
ック部０１３に形成された台形溝０１３aが、前記回転
テーブル０１６の台形凸条０１６aに嵌合するような向
きに装着する。Next, a method of transporting the sample W from the sample exchange chamber 03 to the vacuum sample chamber 01 using the above-described conventional sample exchange rod 06 will be described. With the internal sluice valve 02 closed and the inside of the vacuum sample chamber 01 evacuated, the external sluice valve 04 is opened and the sample holder 011 is attached to the holder chuck 07. At the time of mounting, when the sample exchange rod 06 is moved to the left, the trapezoidal groove 013a formed in the chucked portion 013 of the sample holder 011 fits into the trapezoidal ridge 016a of the rotary table 016. Install it in such a direction.

【０００７】図６に示す状態で、外部仕切弁０４を閉じ
て、試料交換室０３内を真空にしてから、前記内部仕切
弁０２を開いて、前記試料交換棒０６を左方に移動させ
ると、試料ホルダ０１１は試料交換棒０６と一緒に左方
に移動して、被チャック部０１３の台形溝０１３aは、
前記回転テーブル０１６上の台形凸条０１６aに嵌合す
る。そして、被チャック部０１３がストッパ０１６bに
当接した状態で、前記回転テーブル０１６を鉛直軸周り
に９０°回転させる。その状態で試料交換棒０６を右方
に（試料交換室０３側に）移動させると、試料ホルダ０
１１は前記台形溝０１３aが回転テーブル０１６上の台
形凸条０１６aに嵌合した状態で回転テーブル０１６上
に残る。したがって、試料交換棒０６だけが試料交換室
０３に移動する。その状態で内部仕切弁０２を閉塞し
て、前記回転テーブル０１６上に支持された試料ホルダ
０１１に保持された試料Ｗに対する作業を行う。In the state shown in FIG. 6, the external sluice valve 04 is closed to evacuate the inside of the sample exchange chamber 03, and then the internal sluice valve 02 is opened to move the sample exchange rod 06 to the left. , The sample holder 011 moves leftward together with the sample exchange rod 06, and the trapezoidal groove 013a of the chucked portion 013 is
It fits into the trapezoidal ridge 016a on the rotary table 016. Then, with the chucked portion 013 in contact with the stopper 016b, the rotary table 016 is rotated 90 ° about the vertical axis. When the sample exchange rod 06 is moved to the right (to the sample exchange chamber 03 side) in that state, the sample holder 0
11 is left on the rotary table 016 with the trapezoidal groove 013a fitted to the trapezoidal ridge 016a on the rotary table 016. Therefore, only the sample exchange rod 06 moves to the sample exchange chamber 03. In this state, the internal sluice valve 02 is closed, and the work on the sample W held by the sample holder 011 supported on the rotary table 016 is performed.

【０００８】[0008]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記図
６、図７に示す従来技術では次の問題点があった。 （前記（Ｊ01）の問題点）前記試料交換棒０６が試料交
換室０３の外壁から外方に長く延び出しているため、周
囲の作業者が前記試料交換棒０６とぶつかって怪我をし
たり、試料交換棒０６が損傷する可能性がある。試料交
換棒０６が試料交換室０３の外壁の外方に延び出してい
るため、作業者のフットスペース（歩いて移動しなけれ
ばならないスペース）が大きくなる。However, the conventional techniques shown in FIGS. 6 and 7 have the following problems. (Problem of (J01)) Since the sample exchange rod 06 extends outwardly from the outer wall of the sample exchange chamber 03, surrounding workers collide with the sample exchange rod 06 to get injured, The sample exchange rod 06 may be damaged. Since the sample exchange rod 06 extends to the outside of the outer wall of the sample exchange chamber 03, the operator's foot space (the space that must be moved by walking) becomes large.

【０００９】前述の問題点を解決する技術として、蛙の
両足のように、前後に延びた状態と、左右に広がって前
後方向には縮んだ状態との間で移動可能なフロッグレッ
グ型のリンク機構を用いて試料ホルダを進退移動させる
下記の（Ｊ02）〜（Ｊ04）の技術が知られている。 （Ｊ02）特開平４−１５２０７８号公報記載の技術 この公報には、互いに噛み合うギアプレート２０，２１
と一体の駆動アーム１２，１５を設け、この駆動アーム
１２，１５と連結された被駆動アーム１３，１６の先端
に移動対象物載置用の移動台２５を支持した装置が記載
されている。As a technique for solving the above-mentioned problems, a frog leg-type link which can move between a state in which it extends forward and backward like a frog's legs and a state in which it spreads left and right and contracts in the front-rear direction. The following techniques (J02) to (J04) for moving a sample holder forward and backward using a mechanism are known. (J02) Technology described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 4-152078 In this publication, gear plates 20 and 21 that mesh with each other are provided.
There is described a device in which drive arms 12 and 15 integrated with the above are provided, and a movable base 25 for mounting a moving object is supported on the tips of driven arms 13 and 16 connected to the drive arms 12 and 15.

【００１０】（Ｊ03）特開平５−１２９４１８号公報記
載の技術 この公報には、連動リンク機構により被搬送体を載置す
る載置部を直線的に移動させるフロッグレッグ型の搬送
アームが記載されている。 （Ｊ04）特開平４−２７９０４３号公報記載の技術 この公報には、フロッグレッグを構成するアームを、タ
イミングベルトおよびプーリを用いて作動させるウエハ
搬送装置が記載されている。(J03) Technology described in Japanese Patent Laid-Open No. 5-129418 This publication describes a frog leg type transfer arm that linearly moves a mounting portion on which a transferred object is mounted by an interlocking link mechanism. ing. (J04) Japanese Unexamined Patent Publication (Kokai) No. 4-279043 discloses a wafer transfer device which operates an arm constituting a frog leg by using a timing belt and a pulley.

【００１１】（前記（Ｊ02）〜（Ｊ04）の問題点）前記
（Ｊ02）の技術では、円周の一部のみにギアが形成され
た互いに噛み合う一対のギアプレートが２組必要であ
り、製造コストが高くなるという問題点がある。また、
前記（Ｊ03）および（Ｊ04）の技術では、フロッグレッ
グを構成するアームの連動リンク機構の構成が複雑であ
り、やはり製造コストが高くなるという問題点がある。
また、前記（Ｊ02）〜（Ｊ04）の技術では、フロッグレ
ッグの先端部に被搬送体載置部が支持されているだけで
あり、小さな外力の作用により、被搬送体載置部の位置
が変化し易く、不安定である。(Problems of (J02) to (J04)) In the technique of (J02), two pairs of gear plates which mesh with each other and have gears formed only on a part of the circumference are required. There is a problem that the cost becomes high. Also,
The technologies (J03) and (J04) have a problem that the structure of the interlocking link mechanism of the arms forming the frog leg is complicated and the manufacturing cost is also high.
Further, in the techniques of (J02) to (J04), the transferred-object mounting part is only supported by the tip of the frog leg, and the position of the transferred-object mounting part is changed by the action of a small external force. It is volatile and unstable.

【００１２】本発明は、前述の事情に鑑み、下記の記載
内容を課題とする。 （Ｏ01）構成が簡素で丈夫な試料搬送装置の提供。 （Ｏ02）外力の影響を受け難く、試料を安定した姿勢で
搬送できるようにすること。In view of the above-mentioned circumstances, the present invention has the following contents. (O01) Providing a robust sample transport device with a simple structure. (O02) To be able to convey a sample in a stable posture without being easily affected by external force.

【００１３】[0013]

【課題を解決するための手段】次に、前記課題を解決す
るために案出した本発明を説明するが、本発明の要素に
は、後述の実施例の要素との対応を容易にするため、実
施例の要素の符号をカッコで囲んだものを付記する。ま
た、本発明を後述の実施例の符号と対応させて説明する
理由は、本発明の理解を容易にするためであり、本発明
の範囲を実施例に限定するためではない。The present invention devised to solve the above problems will now be described. The elements of the present invention are to facilitate correspondence with the elements of the embodiments described later. Note that the reference numerals of the elements of the embodiments are enclosed in parentheses. Further, the reason why the present invention is described in association with the reference numerals of the embodiments described later is to facilitate understanding of the present invention and not to limit the scope of the present invention to the embodiments.

【００１４】（第１発明）前記課題を解決するために、
本出願の第１発明の試料搬送装置は、下記の要件を備え
たことを特徴とする、（Ａ01）開閉可能な内部仕切弁
（７）を介して真空試料室（１）に接続された試料交換
室（６）に配置され、外周部に互いに噛み合うギアが形
成された回転可能な同径の円板状の一対のギアプレート
（２１，２２）、（Ａ02）前記一対のギアプレート（２
１，２２）の中心位置を結ぶ線分の垂直二等分線の上方
に、前記試料交換室（６）と真空試料室（１）との間で
試料ホルダ（１７）を移動させる際の前記試料ホルダ
（１７）の移動経路が設定され、前記移動経路上に配置
された前記内部仕切弁（７）、（Ａ03）前記一対のギア
プレート（２１，２２）の一方を回転駆動するギアプレ
ート駆動装置、（Ａ05）前記垂直二等分線の上方位置で
前記垂直二等分線に沿って移動可能に配置され、前記試
料ホルダ（１７）を着脱可能に保持するホルダチャック
（１４）、（Ａ06）一端部が前記ホルダチャック（１
４）に回転可能に連結され、他端部が前記一対の各ギア
プレート（２１，２２）の上面の外周部近傍にそれぞれ
回転可能に連結された一対のクランクレバー（２６，２
７）、（Ａ07）前記垂直二等分線に対して平面図で対称
に配置され且つ、前記ギアプレート（２１，２２）が回
転する際互いに干渉することなく上下に別れて回転する
ように形成された前記一対のクランクレバー（２６，２
７）。(First Invention) In order to solve the above problems,
The sample transport apparatus of the first invention of the present application is provided with the following requirements: (A01) A sample connected to a vacuum sample chamber (1) through an openable / closable internal sluice valve (7). A pair of rotatable disc-shaped gear plates (21, 22) having the same diameter, which are arranged in the exchange chamber (6) and have gears meshing with each other on the outer periphery thereof, (A02) The pair of gear plates (2)
When moving the sample holder (17) between the sample exchange chamber (6) and the vacuum sample chamber (1) above the vertical bisector of the line segment connecting the center positions of A movement of the sample holder (17) is set, and the internal sluice valves (7) and (A03) arranged on the movement path are driven by a gear plate for rotationally driving one of the pair of gear plates (21, 22). Apparatus (A05) Holder chuck (14), (A06), which is arranged above the vertical bisector so as to be movable along the vertical bisector and which detachably holds the sample holder (17). ) One end is the holder chuck (1
4) is rotatably connected, and the other end is rotatably connected to the upper surface of each of the pair of gear plates (21, 22) in the vicinity of the outer periphery of the pair of crank levers (26, 2).
7) and (A07) are arranged symmetrically in a plan view with respect to the vertical bisector, and are formed so that the gear plates (21, 22) rotate separately from each other without interfering with each other when rotating. The pair of crank levers (26, 2)
7).

【００１５】（第２発明）また、本出願の第２発明の試
料搬送装置は、下記の要件を備えたことを特徴とする、
（Ｂ01）開閉可能な内部仕切弁（７）を介して真空試料
室（１）に接続された試料交換室（６）に配置され、外
周部に互いに噛み合うギアが形成された回転可能な同径
の円板状の一対のギアプレート（２１，２２）、（Ｂ0
2）前記一対のギアプレート（２１，２２）の中心位置
を結ぶ線分の垂直二等分線の上方に、前記試料交換室
（６）と真空試料室（１）との間で試料ホルダ（１７）
を移動させる際の前記試料ホルダ（１７）の移動経路が
設定され、前記移動経路上に配置された前記内部仕切弁
（７）、（Ｂ03）前記一対のギアプレート（２１，２
２）の一方を回転駆動するギアプレート駆動装置、（Ｂ
04）前記移動経路に沿って前記試料交換室（６）に配置
されたガイドレール（１１）および前記ガイドレール
（１１）にスライド可能に支持されたスライダ（１
２）、（Ｂ05）前記スライダ（１２）に連結されて前記
垂直二等分線の上方位置で前記垂直二等分線に沿って移
動可能に配置され、前記試料ホルダ（１７）を着脱可能
に保持するホルダチャック（１４）、（Ｂ06）一端部が
前記ホルダチャック（１４）に回転可能に連結され、他
端部が前記一対の各ギアプレート（２１，２２）の上面
の外周部近傍にそれぞれ回転可能に連結された一対のク
ランクレバー（２６，２７）、（Ｂ07）前記垂直二等分
線に対して平面図で対称に配置された前記一対のクラン
クレバー（２６，２７）。(Second Invention) A sample transporting apparatus according to the second invention of the present application is characterized by having the following requirements:
(B01) A rotatable and equal diameter, which is arranged in a sample exchange chamber (6) connected to a vacuum sample chamber (1) through an openable / closable internal sluice valve (7) and in which gears meshing with each other are formed on an outer peripheral portion. A pair of disc-shaped gear plates (21, 22), (B0
2) Above the vertical bisector of the line segment connecting the center positions of the pair of gear plates (21, 22), between the sample exchange chamber (6) and the vacuum sample chamber (1), a sample holder ( 17)
A movement path of the sample holder (17) when moving the sample holder (17) is set, and the internal sluice valves (7) and (B03) arranged on the movement path are paired with the pair of gear plates (21, 2).
2) a gear plate driving device for rotating one side, (B
04) A guide rail (11) arranged in the sample exchange chamber (6) along the movement path and a slider (1) slidably supported by the guide rail (11).
2) and (B05) are connected to the slider (12) and are movably arranged above the vertical bisector along the vertical bisector so that the sample holder (17) can be attached and detached. One end of the holder chucks (14) and (B06) to be held is rotatably connected to the holder chuck (14), and the other ends thereof are near the outer peripheral portions of the upper surfaces of the pair of gear plates (21, 22), respectively. A pair of rotatably connected crank levers (26, 27), (B07) The pair of crank levers (26, 27) symmetrically arranged in a plan view with respect to the vertical bisector.

【００１６】[0016]

【作用】次に、前述の特徴を備えた本発明の作用を説明
する。 （第１発明の作用）前述の特徴を備えた本出願の第１発
明の試料搬送装置では、開閉可能な内部仕切弁（７）を
介して真空試料室（１）に接続された試料交換室（６）
に配置された回転可能な同径の円板状の一対のギアプレ
ート（２１，２２）は、外周部に互いに噛み合うギアが
形成されている。前記試料交換室（６）と真空試料室
（１）との間で試料ホルダ（１７）を移動させる際の前
記試料ホルダ（１７）の移動経路は、前記一対のギアプ
レート（２１，２２）の中心位置を結ぶ線分の垂直二等
分線の上方に設定され、前記内部仕切弁（７）は、前記
移動経路上に配置される。ギアプレート駆動装置は、前
記一対のギアプレート（２１，２２）の一方を回転駆動
する。その際、前記一対のギアプレート（２１，２２）
は、それらの外周のギアが噛み合っているので同時に回
転する。Next, the operation of the present invention having the above features will be described. (Operation of First Invention) In the sample transporting apparatus of the first invention of the present application having the above-mentioned characteristics, the sample exchange chamber connected to the vacuum sample chamber (1) through the openable / closable internal sluice valve (7). (6)
The pair of rotatable disc-shaped gear plates (21, 22) having the same diameter are formed with gears meshing with each other on the outer peripheral portion. The movement path of the sample holder (17) when the sample holder (17) is moved between the sample exchange chamber (6) and the vacuum sample chamber (1) is the movement path of the pair of gear plates (21, 22). It is set above the vertical bisector of the line segment connecting the center positions, and the internal sluice valve (7) is arranged on the movement path. The gear plate drive device rotationally drives one of the pair of gear plates (21, 22). At that time, the pair of gear plates (21, 22)
Rotate at the same time because their outer gears mesh.

【００１７】一端部が前記ホルダチャック（１４）に回
転可能に連結され、他端部が前記一対の各ギアプレート
（２１，２２）の上面の外周部近傍にそれぞれ回転可能
に連結された一対のクランクレバー（２６，２７）は、
前記一対のギアプレート（２１，２２）の中心位置を結
ぶ線分の垂直二等分線に対して平面図で対称に配置され
る。この一対のクランクレバー（２６，２７）は、前記
ギアプレート（２１，２２）が回転する際互いに干渉す
ることなく上下に別れて回転する。前記一対のクランク
レバー（２６，２７）が回転する際、一対のクランクレ
バー（２６，２７）の前記一端部に連結されたホルダチ
ャック（１４）は、前記垂直二等分線の上方位置で前記
垂直二等分線に沿って移動する。この時のホルダチャッ
ク（１４）の移動ストロークは、前記クランクレバー
（２６，２７）および前記ギアプレート（２１，２２）
の連結点の、前記ギヤプレート（２１，２２）の中心位
置からの半径長さと、前記クランクレバー（２６，２
７）の長さとにより定まる。One end is rotatably connected to the holder chuck (14), and the other end is rotatably connected to the upper surfaces of the pair of gear plates (21, 22) in the vicinity of their outer peripheral portions. The crank levers (26, 27) are
The pair of gear plates (21, 22) are arranged symmetrically in a plan view with respect to a vertical bisector of a line segment that connects the center positions of the gear plates (21, 22). The pair of crank levers (26, 27) rotate separately while not interfering with each other when the gear plates (21, 22) rotate. When the pair of crank levers (26, 27) are rotated, the holder chuck (14) connected to the one end of the pair of crank levers (26, 27) is located above the vertical bisector. Move along the vertical bisector. The movement stroke of the holder chuck (14) at this time is the crank lever (26, 27) and the gear plate (21, 22).
Of the connecting point of the crank plate (26, 2) from the center position of the gear plate (21, 22).
It depends on the length of 7).

【００１８】したがって、前記ギアプレート（２１，２
２）として適当な直径のものを採用して前記連結点の前
記中心位置からの半径方向の長さを適当な値に設定し、
前記クランクレバー（２６，２７）の長さを適当に設定
することによりホルダチャック（１４）の搬送方向の必
要なストロークが得られる。この第１発明では、前記ギ
アプレート（２１，２２）の中心からクランクレバー
（２６，２７）の連結点までの半径方向の長さが、前記
ホルダチャック（１４）の搬送方向のストロークを得る
ために所定の長さを必要としているので、前記ストロー
クを得るために前記円板状のギアプレート（２１，２
２）の直径はある程度の大きさに形成される。このた
め、一対のギアプレート（２１，２２）の外周部の互い
に噛み合うギヤは、比較的半径の大きな円板の外周部に
形成されるので、半径の小さなギヤが噛み合う場合に比
べて回転力の伝達が滑らかに行える。したがって、ホル
ダチャック（１４）の移動も滑らかに行える。Therefore, the gear plates (21, 2)
Adopting a suitable diameter as 2), the radial length from the center position of the connecting point is set to an appropriate value,
By setting the lengths of the crank levers (26, 27) appropriately, a necessary stroke in the carrying direction of the holder chuck (14) can be obtained. In the first aspect of the invention, the length in the radial direction from the center of the gear plate (21, 22) to the connecting point of the crank lever (26, 27) obtains the stroke of the holder chuck (14) in the transport direction. In order to obtain the stroke, the disc-shaped gear plate (21, 21,
The diameter of 2) is formed to a certain size. For this reason, the gears meshing with each other on the outer peripheral portions of the pair of gear plates (21, 22) are formed on the outer peripheral portion of the circular plate having a relatively large radius, so that the rotational force of the rotating force is smaller than that in the case where the gears having a small radius mesh. Transmission can be done smoothly. Therefore, the holder chuck (14) can be moved smoothly.

【００１９】前記ホルダチャック（１４）は前記試料ホ
ルダ（１７）を着脱可能に保持する。したがって、試料
ホルダ（１７）は、ホルダチャック（１４）と共に、前
記一対のギアプレート（２１，２２）の中心位置を結ぶ
線分の垂直二等分線の上方に設定された、前記試料ホル
ダ（１７）の移動経路に沿って前記試料交換室（６）と
真空試料室（１）との間で前記内部仕切弁（７）を通っ
て搬送される。The holder chuck (14) detachably holds the sample holder (17). Therefore, the sample holder (17), together with the holder chuck (14), is set above the vertical bisector of the line segment connecting the center positions of the pair of gear plates (21, 22). It is conveyed through the internal sluice valve (7) between the sample exchange chamber (6) and the vacuum sample chamber (1) along the movement path of 17).

【００２０】（第２発明の作用）また、前述の特徴を備
えた本出願の第２発明の試料搬送装置では、開閉可能な
内部仕切弁（７）を介して真空試料室（１）に接続され
た試料交換室（６）に配置された回転可能な同径の円板
状の一対のギアプレート（２１，２２）は、外周部に互
いに噛み合うギアが形成されている。前記試料交換室
（６）と真空試料室（１）との間で試料ホルダ（１７）
を移動させる際の前記試料ホルダ（１７）の移動経路
は、前記一対のギアプレート（２１，２２）の中心位置
を結ぶ線分の垂直二等分線の上方に設定され、前記内部
仕切弁（７）は、前記移動経路上に配置される。ギアプ
レート駆動装置は、前記一対のギアプレート（２１，２
２）の一方を回転駆動する。その際、前記一対のギアプ
レート（２１，２２）は、それらの外周のギアが噛み合
っているので同時に回転する。前記移動経路に沿って前
記試料交換室（６）に配置されたガイドレール（１１）
には、スライダ（１２）がスライド可能に支持される。
前記スライダ（１２）に連結されたホルダチャック（１
４）は、前記垂直二等分線の上方位置で前記垂直二等分
線に沿って移動可能に配置される。(Operation of the Second Invention) Further, in the sample transporting apparatus of the second invention of the present application having the above-mentioned characteristics, it is connected to the vacuum sample chamber (1) through the open / close internal sluice valve (7). A pair of rotatable disk-shaped gear plates (21, 22) having the same diameter and arranged in the sample exchange chamber (6) are formed with gears meshing with each other on the outer peripheral portion. A sample holder (17) is provided between the sample exchange chamber (6) and the vacuum sample chamber (1).
The moving path of the sample holder (17) when moving the sample holder (17) is set above the vertical bisector of the line segment connecting the center positions of the pair of gear plates (21, 22), and the internal sluice valve ( 7) is arranged on the moving route. The gear plate driving device includes a pair of gear plates (21, 2).
2) Rotate one of them. At this time, the pair of gear plates (21, 22) rotate simultaneously because the gears on the outer circumferences of the pair of gear plates mesh with each other. A guide rail (11) arranged in the sample exchange chamber (6) along the movement path.
A slider (12) is slidably supported by the slider.
A holder chuck (1) connected to the slider (12)
4) is arranged above the vertical bisector so as to be movable along the vertical bisector.

【００２１】一端部が前記ホルダチャック（１４）に回
転可能に連結され、他端部が前記一対の各ギアプレート
（２１，２２）の上面の外周部近傍にそれぞれ回転可能
に連結された一対のクランクレバー（２６，２７）は、
前記一対のギアプレート（２１，２２）の中心位置を結
ぶ線分の垂直二等分線に対して平面図で対称に配置され
る。前記一対のクランクレバー（２６，２７）が回転す
る際、一対のクランクレバー（２６，２７）の前記一端
部に連結されたホルダチャック（１４）は、前記垂直二
等分線の上方位置で前記垂直二等分線に沿って移動す
る。この時のホルダチャック（１４）の移動ストローク
は、前記クランクレバー（２６，２７）および前記ギア
プレート（２１，２２）の連結点の前記ギヤプレート
（２１，２２）の中心位置からの半径長さと、前記クラ
ンクレバー（２６，２７）の長さとにより定まる。この
第２発明も前記第１発明と同様に、一対のギアプレート
（２１，２２）の外周部の互いに噛み合うギヤは、比較
的半径の大きな円板の外周部に形成されるので、半径の
小さなギヤが噛み合う場合に比べて回転力の伝達が滑ら
かに行える。したがって、ホルダチャック（１４）の移
動も滑らかに行える。One end is rotatably connected to the holder chuck (14), and the other end is rotatably connected to the upper surfaces of the pair of gear plates (21, 22) in the vicinity of their outer peripheral portions. The crank levers (26, 27) are
The pair of gear plates (21, 22) are arranged symmetrically in a plan view with respect to a vertical bisector of a line segment that connects the center positions of the gear plates (21, 22). When the pair of crank levers (26, 27) are rotated, the holder chuck (14) connected to the one end of the pair of crank levers (26, 27) is located above the vertical bisector. Move along the vertical bisector. The movement stroke of the holder chuck (14) at this time is the radial length from the center position of the gear plate (21, 22) at the connecting point of the crank lever (26, 27) and the gear plate (21, 22). , The length of the crank lever (26, 27). Also in the second invention, as in the first invention, the gears meshing with each other on the outer peripheral portions of the pair of gear plates (21, 22) are formed on the outer peripheral portions of the disks having a relatively large radius, so that the radius is small. Rotational force can be transmitted more smoothly than when gears mesh. Therefore, the holder chuck (14) can be moved smoothly.

【００２２】前記ホルダチャック（１４）は前記試料ホ
ルダ（１７）を着脱可能に保持する。したがって、試料
ホルダ（１７）は、ホルダチャック（１４）と共に、前
記一対のギアプレート（２１，２２）の中心位置を結ぶ
線分の垂直二等分線の上方に設定された、前記試料ホル
ダ（１７）の移動経路に沿って前記試料交換室（６）と
真空試料室（１）との間で前記内部仕切弁（７）を通っ
て搬送される。その際、ホルダチャック（１４）および
試料ホルダ（１７）は、前記移動経路に沿って前記試料
交換室（６）に配置されたガイドレール（１１）にスラ
イド可能に支持された前記スライダ（１２）と共に移動
するので、移動経路からずれること無く、定まった移動
経路に沿って搬送される。The holder chuck (14) detachably holds the sample holder (17). Therefore, the sample holder (17), together with the holder chuck (14), is set above the vertical bisector of the line segment connecting the center positions of the pair of gear plates (21, 22). It is conveyed through the internal sluice valve (7) between the sample exchange chamber (6) and the vacuum sample chamber (1) along the movement path of 17). At that time, the holder chuck (14) and the sample holder (17) are slidably supported by a guide rail (11) arranged in the sample exchange chamber (6) along the movement path. Since it moves along with it, it is conveyed along a fixed movement route without deviating from the movement route.

【００２３】[0023]

【発明の実施の形態】次に図面を参照しながら、本発明
の試料搬送装置の実施の態様の例（実施例）を説明する
が、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。 （実施例１）図１は本発明の実施例１の試料搬送装置の
説明図で、電子顕微鏡装置を使用して試料（ウエハー）
Ｗの測長を行う真空試料室と試料交換室との間で試料を
搬送する試料搬送装置の平面図である。図２は前記図１
のII−II線断面図である。図３は前記図１のIII−III線
断面図である。図４は前記図１の状態から試料を真空試
料室側に向けて一定距離搬送した状態を示す平面図であ
る。図５は前記図４のＶ−Ｖ線断面図である。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Next, an example (embodiment) of an embodiment of the sample carrying device of the present invention will be described with reference to the drawings, but the present invention is not limited to the following embodiments. . (Embodiment 1) FIG. 1 is an explanatory view of a sample carrying device according to a first embodiment of the present invention, in which a sample (wafer) is prepared by using an electron microscope.
It is a top view of the sample conveyance device which conveys a sample between the vacuum sample room which measures the length of W, and a sample exchange room. 2 is the same as FIG.
11 is a sectional view taken along line II-II of FIG. FIG. 3 is a sectional view taken along line III-III in FIG. FIG. 4 is a plan view showing a state in which the sample is conveyed toward the vacuum sample chamber side from the state of FIG. 1 by a predetermined distance. FIG. 5 is a sectional view taken along line VV of FIG.

【００２４】図１において、電子顕微鏡、電子ビーム描
画装置等の電子線装置（図示せず）が配置された真空試
料室１は、図示しない真空装置により真空にすることが
可能に構成されている。この真空試料室１には、ＸＹ移
動テーブル２およびこのＸＹ移動テーブル２上に鉛直軸
周りに回転可能に支持された回転テーブル３が配置され
ている。回転テーブル３上には上底の幅が下底の幅より
も広く形成された台形凸条４が形成されている。この台
形凸条４の左端には、後述の試料ホルダ（１７）の台形
溝がスライド可能に嵌合した際に試料ホルダ（１７）が
当接して位置決めされるストッパ５が設けられている。In FIG. 1, a vacuum sample chamber 1 in which an electron beam device (not shown) such as an electron microscope and an electron beam drawing device is arranged can be evacuated by a vacuum device (not shown). . In this vacuum sample chamber 1, an XY moving table 2 and a rotary table 3 rotatably supported on the XY moving table 2 about a vertical axis are arranged. On the rotary table 3, there is formed a trapezoidal ridge 4 having an upper bottom width wider than a lower bottom width. At the left end of the trapezoidal ridge 4, there is provided a stopper 5 with which the sample holder (17) contacts and is positioned when a trapezoidal groove of the sample holder (17) described later is slidably fitted.

【００２５】前記真空試料室１には、試料交換室６が接
続されている。この試料交換室６と前記真空試料室１と
の間には内部仕切弁７が設けられており、また、試料交
換室６は外部仕切弁８（図２、図３参照）を介して外部
の大気と接続されている。そして、試料交換室６は図示
しない真空装置により真空にすることが可能に構成され
ている。前記試料交換室６の前側壁９内面にはガイドレ
ール１１が左右に延びて設けられている。ガイドレール
１１にはスライダ１２が左右方向（Ｙ軸方向）にスライ
ド可能に支持されている。スライダ１２は連結レバー１
３によりホルダチャック１４の前側面（Ｘ側の側面）に
連結されている。A sample exchange chamber 6 is connected to the vacuum sample chamber 1. An internal sluice valve 7 is provided between the sample exchange chamber 6 and the vacuum sample chamber 1, and the sample exchange chamber 6 is connected to the outside via an external sluice valve 8 (see FIGS. 2 and 3). Connected to the atmosphere. The sample exchange chamber 6 can be evacuated by a vacuum device (not shown). A guide rail 11 is provided on the inner surface of the front side wall 9 of the sample exchange chamber 6 so as to extend left and right. A slider 12 is supported on the guide rail 11 so as to be slidable in the left-right direction (Y-axis direction). The slider 12 is the connecting lever 1
3 is connected to the front side surface (side surface on the X side) of the holder chuck 14.

【００２６】ホルダチャック１４は、その右側面（−Ｙ
側の側面）の前後方向の中央部から右方（−Ｙ方向）に
突出するクランク連結部１５を有している。また、ホル
ダチャック１４はその左側面の、前後方向両端からそれ
ぞれ左方（Ｙ方向）に延びる片持式の一対の弾性アーム
１６，１６を有し、前記一対の弾性アーム１６，１６の
自由端（左端）は外方に拡開可能である。図３におい
て、前記ホルダチャック１４の一対の弾性アーム１６，
１６により挟持されて着脱自在に保持される試料ホルダ
１７は、円板状の試料保持部１８およびこの試料保持部
１８の下面中央部から下方に突出する円筒状の被チャッ
ク部１９を有している。前記円板状の試料保持部１８の
上面には、試料Ｗを保持するための試料保持用凹部１８
aが形成されている。また、前記円筒状の被チャック部
１９の下面には台形溝１９aが形成されている。The holder chuck 14 has a right side surface (-Y
It has a crank connecting portion 15 protruding rightward (-Y direction) from the central portion in the front-rear direction of the side surface). Further, the holder chuck 14 has a pair of cantilevered elastic arms 16, 16 extending leftward (Y direction) from both ends in the front-rear direction on the left side surface thereof, and the free ends of the pair of elastic arms 16, 16 are provided. (Left edge) can be expanded outward. In FIG. 3, a pair of elastic arms 16 of the holder chuck 14,
The sample holder 17, which is sandwiched by 16 and is detachably held, has a disk-shaped sample holding portion 18 and a cylindrical chucked portion 19 which projects downward from a central portion of the lower surface of the sample holding portion 18. There is. A sample holding concave portion 18 for holding the sample W is formed on the upper surface of the disk-shaped sample holding portion 18.
a is formed. A trapezoidal groove 19a is formed on the lower surface of the cylindrical chucked portion 19.

【００２７】図３において、前記試料交換室６の底壁２
０には互いに噛み合う同じ直径の駆動ギアプレート２１
および従動ギアプレート２２が回転自在に支持されてお
り、駆動ギアプレート２１は図示しない駆動モータによ
り一定角度θ（図１参照）の範囲内で往復回転駆動され
るように構成されている。図２、図５において、前記ギ
アプレート２１、２２の上面には、軸２３、２４により
クランクレバー２６、２７の基端部が回転可能に支持さ
れている。前記クランクレバー２６，２７の先端部２６
a，２７aは軸２８により、前記ホルダチャック１４のク
ランク連結部１５に回転自在に連結されている。なお、
前記クランクレバー２６の先端部２６aはクランクレバ
ー２７の先端部２７aの上側に配置されており、両クラ
ンクレバー先端部２６a，２７aは互いに干渉することな
く、回転可能に形成されている。In FIG. 3, the bottom wall 2 of the sample exchange chamber 6 is shown.
Drive gear plates 21 of the same diameter that mesh with each other
The driven gear plate 22 is rotatably supported, and the drive gear plate 21 is configured to be reciprocally rotated within a range of a constant angle θ (see FIG. 1) by a drive motor (not shown). 2 and 5, the base ends of crank levers 26 and 27 are rotatably supported on the upper surfaces of the gear plates 21 and 22 by shafts 23 and 24, respectively. Tip portions 26 of the crank levers 26, 27
The shafts 28 a and 27 a are rotatably connected to the crank connecting portion 15 of the holder chuck 14. In addition,
The tip end portion 26a of the crank lever 26 is disposed above the tip end portion 27a of the crank lever 27, and both crank lever tip end portions 26a, 27a are rotatably formed without interfering with each other.

【００２８】（実施例１の作用）次に、前述の構成を備
えた前記実施例１の作用を説明する。図１，２におい
て、内部仕切弁７を閉塞し、真空試料室１内を真空にし
た状態で、前記外部仕切弁８（図２、図３参照）を開放
状態として、試料ホルダ１７を試料交換室６内の前記ホ
ルダチャック１４の一対の弾性アーム１６，１６により
挟持させる。その際、試料ホルダ１７の前記円筒状の被
チャック部１９の下面に形成された台形溝１９aが左方
（Ｙ方向）に移動したときに前記台形凸条４に嵌合する
ように配置する。その状態で、前記外部仕切弁８を閉塞
して、試料交換室６内を真空にする。その後、内部仕切
弁７を開放して、真空試料室１および試料交換室６を連
通状態とする。(Operation of First Embodiment) Next, the operation of the first embodiment having the above-described structure will be described. In FIGS. 1 and 2, with the internal sluice valve 7 closed and the vacuum sample chamber 1 evacuated, the external sluice valve 8 (see FIGS. 2 and 3) is opened, and the sample holder 17 is replaced with a sample. The holder chuck 14 in the chamber 6 is clamped by a pair of elastic arms 16, 16. At that time, the trapezoidal groove 19a formed on the lower surface of the cylindrical chucked portion 19 of the sample holder 17 is arranged so as to fit into the trapezoidal ridge 4 when moved to the left (Y direction). In this state, the external sluice valve 8 is closed, and the sample exchange chamber 6 is evacuated. After that, the internal sluice valve 7 is opened to bring the vacuum sample chamber 1 and the sample exchange chamber 6 into communication with each other.

【００２９】その状態（図１に実線で示す状態）で、前
記駆動ギアプレート２１を時計方向（図１の矢印ａ方
向）に回転させると、ギアプレート２１、２２が共に回
転して、ホルダチャック１４は左方（Ｙ方向）に移動す
る。そしてホルダチャック１４は、図４に実線で示す状
態となり、さらに、図４の２点鎖線で示す位置に移動す
る。この時のホルダチャック１４の移動ストロークは、
前記クランクレバー２６，２７および前記ギアプレート
２１，２２の連結点の前記ギヤプレート２１，２２の中
心位置からの半径長さと、前記クランクレバー（２６，
２７）の長さとにより定まる。When the drive gear plate 21 is rotated clockwise (in the direction of arrow a in FIG. 1) in this state (indicated by the solid line in FIG. 1), the gear plates 21 and 22 rotate together, and the holder chuck is rotated. 14 moves to the left (Y direction). Then, the holder chuck 14 becomes the state shown by the solid line in FIG. 4, and further moves to the position shown by the chain double-dashed line in FIG. The movement stroke of the holder chuck 14 at this time is
The radial length of the connecting point between the crank levers 26, 27 and the gear plates 21, 22 from the center position of the gear plates 21, 22 and the crank lever (26,
It depends on the length of 27).

【００３０】したがって、前記ギアプレート２１，２２
として適当な直径のものを採用し、前記連結点の前記中
心位置からの半径方向の長さを適当な値に設定し、前記
クランクレバー２６，２７の長さを適当に設定すること
によりホルダチャック１４の搬送方向の必要なストロー
クが得られる。前記ギアプレート２１，２２の中心から
クランクレバー２６，２７の連結点までの半径方向の長
さが、前記ホルダチャック１４の搬送方向のストローク
を得るために所定の長さを必要としているので、前記ス
トロークを得るために前記円板状のギアプレート２１，
２２の直径はある程度の大きさに形成される。このた
め、一対のギアプレート２１，２２の外周部の互いに噛
み合うギヤは、比較的半径の大きな円板の外周部に形成
されることになるので、半径の小さなギヤが噛み合う場
合に比べて回転力の伝達が滑らかに行える。したがっ
て、ホルダチャック１４の移動も滑らかに行える。ま
た、このホルダチャック１４は、前記ガイドレール１１
に沿ってスライドするスライダ１２および前記連結レバ
ー１３と一体的に移動するので、直線状のガイドレール
に沿った安定した移動が行われる。このホルダチャック
１４の移動に伴って、ホルダチャック１４に保持された
試料ホルダ１７は、真空試料室１内に搬送される。Therefore, the gear plates 21, 22 are
As the holder chuck by setting the length of the connecting point in the radial direction from the center position to an appropriate value and the crank levers 26 and 27 to appropriate lengths. The required stroke of 14 transport directions is obtained. Since the radial length from the center of the gear plates 21 and 22 to the connection point of the crank levers 26 and 27 requires a predetermined length to obtain the stroke of the holder chuck 14 in the transport direction, The disk-shaped gear plate 21, to obtain a stroke,
The diameter of 22 is formed to a certain size. For this reason, the gears meshing with each other on the outer peripheral portions of the pair of gear plates 21 and 22 are formed on the outer peripheral portion of the disk having a relatively large radius, and therefore the rotational force is larger than that in the case where the gears having a small radius mesh. Can be transmitted smoothly. Therefore, the holder chuck 14 can be moved smoothly. Further, the holder chuck 14 is provided with the guide rail 11
Since it moves integrally with the slider 12 and the connecting lever 13 that slide along, the stable movement is performed along the linear guide rail. As the holder chuck 14 moves, the sample holder 17 held by the holder chuck 14 is transported into the vacuum sample chamber 1.

【００３１】真空試料室１内に搬送された試料ホルダ１
７は、被チャック部１９下面の台形溝１９aが、前記回
転テーブル３上の台形凸条４に嵌合する。そして、被チ
ャック部１９がストッパ５に当接した状態で、前記回転
テーブル３を９０°回転させる。その状態でギアプレー
ト２１を反時計方向（図１の矢印ｂ方向）に回転させ
て、前記ホルダチャック１４を右方に（試料交換室６側
に）移動させると、試料ホルダ１７は前記台形溝１９a
が回転テーブル３上の台形凸条４に嵌合した状態で回転
テーブル３上に残る。したがって、ホルダチャック１４
だけが試料交換室６に移動する。その状態で内部仕切弁
７を閉塞して、前記ＸＹテーブル２上の回転テーブル３
上に支持された試料ホルダ１７に保持された試料Ｗに対
する作業を行う。Sample holder 1 transferred into vacuum sample chamber 1
7, the trapezoidal groove 19a on the lower surface of the chucked portion 19 fits into the trapezoidal ridge 4 on the rotary table 3. Then, the rotary table 3 is rotated by 90 ° with the chucked portion 19 in contact with the stopper 5. In that state, when the gear plate 21 is rotated counterclockwise (direction of arrow b in FIG. 1) to move the holder chuck 14 to the right (to the sample exchange chamber 6 side), the sample holder 17 moves to the trapezoidal groove. 19a
Remains on the rotary table 3 while being fitted to the trapezoidal ridges 4 on the rotary table 3. Therefore, the holder chuck 14
Only move to the sample exchange chamber 6. In that state, the internal sluice valve 7 is closed, and the rotary table 3 on the XY table 2 is closed.
Work is performed on the sample W held by the sample holder 17 supported above.

【００３２】（変更例）以上、本発明の実施例を詳述し
たが、本発明は、前記実施例に限定されるものではな
く、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内
で、種々の変更を行うことが可能である。本発明の変更
実施例を下記に例示する。(Modifications) The embodiments of the present invention have been described in detail above, but the present invention is not limited to the above-mentioned embodiments, and is within the scope of the gist of the present invention described in the claims. Thus, various changes can be made. A modified embodiment of the present invention is illustrated below.

【００３３】（Ｈ01）本発明は、ウエハー以外の試料搬
送装置に適用可能である。 （Ｈ02）試料Ｗを保持する試料ホルダ１７を回転テーブ
ル３上に搬送し、回転テーブル３上に支持させる構成と
しては、従来公知の種々の構成を採用することが可能で
ある。 （Ｈ03）前記試料Ｗを試料ホルダ１７と共に回転テーブ
ル３上に支持させる代わりに、試料Ｗのみを回転テーブ
ル３上に支持させることが可能である。その場合、前記
ホルダチャック１４および試料ホルダ１７は別々に構成
せずに一体的に構成する。そのような構成は従来公知で
あり、従来公知の種々の構成（試料Ｗのみを回転テーブ
ル上に支持させる構成）を採用することが可能である。(H01) The present invention can be applied to a sample transfer device other than a wafer. (H02) As a configuration for transporting the sample holder 17 holding the sample W onto the rotary table 3 and supporting it on the rotary table 3, various conventionally known configurations can be adopted. (H03) Instead of supporting the sample W on the rotary table 3 together with the sample holder 17, it is possible to support only the sample W on the rotary table 3. In that case, the holder chuck 14 and the sample holder 17 are integrally formed instead of separately. Such a configuration is conventionally known, and various conventionally known configurations (a configuration in which only the sample W is supported on the rotary table) can be adopted.

【００３４】[0034]

【発明の効果】前述の本発明の試料搬送装置は、下記の
効果を奏することができる。 （Ｅ01）構成が簡素で丈夫な試料搬送装置の提供するこ
とができる。 （Ｅ02）外力の影響を受け難く、試料を安定した姿勢で
搬送することができる。The sample transport apparatus of the present invention described above can achieve the following effects. (E01) It is possible to provide a sample transport device having a simple structure and robustness. (E02) The sample is hardly affected by external force, and the sample can be transported in a stable posture.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】 図１は本発明の実施例１の試料搬送装置の説
明図で、電子顕微鏡装置を使用して試料（ウエハー）Ｗ
の測長を行う真空試料室と試料交換室との間で試料を搬
送する試料搬送装置の平面図である。FIG. 1 is an explanatory diagram of a sample transport device according to a first embodiment of the present invention, in which a sample (wafer) W is formed by using an electron microscope device.
FIG. 3 is a plan view of a sample transporting device that transports a sample between a vacuum sample chamber and a sample exchange chamber for measuring the length.

【図２】 図２は前記図１のII−II線断面図である。FIG. 2 is a sectional view taken along line II-II of FIG.

【図３】 図３は前記図１のIII−III線断面図である。FIG. 3 is a sectional view taken along line III-III in FIG.

【図４】 図４は前記図１の状態から試料を真空試料室
側に搬送した状態を示す平面図である。FIG. 4 is a plan view showing a state in which the sample is conveyed from the state of FIG. 1 to the vacuum sample chamber side.

【図５】 図５は前記図４のＶ−Ｖ線断面図である。5 is a sectional view taken along line VV of FIG.

【図６】 図６は前記種類の試料搬送装置の従来例の説
明図で、図６Ａは平断面図、図６Ｂは側断面図である。6A and 6B are explanatory views of a conventional example of the sample transport device of the type described above, FIG. 6A is a plan sectional view, and FIG. 6B is a side sectional view.

【図７】 図７は試料ホルダおよび試料ホルダを支持す
るステージの説明図で、図７Ａは前記図６のＶIIＡ−Ｖ
IIＡ線断面から見た図、図７Ｂは図６Ｂの矢印ＶIIＢか
ら見た図である。7 is an explanatory view of a sample holder and a stage that supports the sample holder, and FIG. 7A is a view of VIIA-V of FIG.
FIG. 7B is a view seen from a cross section taken along line IIA, and FIG. 7B is a view seen from an arrow VIIB in FIG. 6B.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１…真空試料室、６…試料交換室、７…内部仕切弁、１
１…ガイドレール、１２…スライダ、１４…ホルダチャ
ック、１７…試料ホルダ、２１，２２…ギアプレート、
２６，２７…クランクレバー1 ... Vacuum sample chamber, 6 ... Sample exchange chamber, 7 ... Internal gate valve, 1
1 ... Guide rail, 12 ... Slider, 14 ... Holder chuck, 17 ... Sample holder 21, 22, 22 ... Gear plate,
26, 27 ... Crank lever

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H01L 21/68 B65G 49/06 - 49/07 B25J 9/00 - 9/08 B25J 11/00 B25J 18/00 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (58) Fields surveyed (Int.Cl. ⁷ , DB name) H01L 21/68 B65G 49/06-49/07 B25J 9/00-9/08 B25J 11/00 B25J 18 / 00

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項１】 下記の要件を備えたことを特徴とする試
料搬送装置、（Ａ01）開閉可能な内部仕切弁を介して真
空試料室に接続された試料交換室に配置され、外周部に
互いに噛み合うギアが形成された回転可能な同径の円板
状の一対のギアプレート、（Ａ02）前記一対のギアプレ
ートの中心位置を結ぶ線分の垂直二等分線の上方に、前
記試料交換室と真空試料室との間で試料ホルダを移動さ
せる際の前記試料ホルダの移動経路が設定され、前記移
動経路上に配置された前記内部仕切弁、（Ａ03）前記一
対のギアプレートの一方を回転駆動するギアプレート駆
動装置、（Ａ05）前記垂直二等分線の上方位置で前記垂
直二等分線に沿って移動可能に配置され、前記試料ホル
ダを着脱可能に保持するホルダチャック、（Ａ06）一端
部が前記ホルダチャックに回転可能に連結され、他端部
が前記一対の各ギアプレートの上面の外周部近傍にそれ
ぞれ回転可能に連結された一対のクランクレバー、（Ａ
07）前記垂直二等分線に対して平面図で対称に配置され
且つ、前記ギアプレートが回転する際互いに干渉するこ
となく上下に別れて回転するように形成された前記一対
のクランクレバー。1. A sample transfer device having the following requirements, (A01) arranged in a sample exchange chamber connected to a vacuum sample chamber via an openable / closable internal sluice valve, and each other on an outer peripheral portion thereof. A pair of rotatable disc-shaped gear plates of the same diameter with meshing gears formed thereon, (A02) above the vertical bisector of a line segment connecting the center positions of the pair of gear plates, A moving path of the sample holder when moving the sample holder between the vacuum sample chamber and the vacuum sample chamber, the internal sluice valve arranged on the moving path, (A03) rotating one of the pair of gear plates A gear plate driving device for driving, (A05) a holder chuck which is arranged above the vertical bisector so as to be movable along the vertical bisector, and which detachably holds the sample holder, (A06) One end is the holder Rotatably coupled, the other end portion respectively rotatably connected to a pair of crank levers near an outer periphery of the upper surface of the pair of gears plate, (A
07) The pair of crank levers, which are arranged symmetrically in a plan view with respect to the vertical bisector, and are formed so as to rotate separately while not interfering with each other when the gear plates rotate. 【請求項２】 下記の要件を備えたことを特徴とする試
料搬送装置、（Ｂ01）開閉可能な内部仕切弁を介して真
空試料室に接続された試料交換室に配置され、外周部に
互いに噛み合うギアが形成された回転可能な同径の円板
状の一対のギアプレート、（Ｂ02）前記一対のギアプレ
ートの中心位置を結ぶ線分の垂直二等分線の上方に、前
記試料交換室と真空試料室との間で試料ホルダを移動さ
せる際の前記試料ホルダの移動経路が設定され、前記移
動経路上に配置された前記内部仕切弁、（Ｂ03）前記一
対のギアプレートの一方を回転駆動するギアプレート駆
動装置、（Ｂ04）前記移動経路に沿って前記試料交換室
に配置されたガイドレールおよび前記ガイドレールにス
ライド可能に支持されたスライダ、（Ｂ05）前記スライ
ダに連結されて前記垂直二等分線の上方位置で前記垂直
二等分線に沿って移動可能に配置され、前記試料ホルダ
を着脱可能に保持するホルダチャック、（Ｂ06）一端部
が前記ホルダチャックに回転可能に連結され、他端部が
前記一対の各ギアプレートの上面の外周部近傍にそれぞ
れ回転可能に連結された一対のクランクレバー、（Ｂ0
7）前記垂直二等分線に対して平面図で対称に配置され
た前記一対のクランクレバー。2. A sample transfer device having the following requirements, (B01) arranged in a sample exchange chamber connected to a vacuum sample chamber through an openable / closable internal sluice valve, and mutually arranged on an outer peripheral portion thereof. A pair of rotatable disc-shaped gear plates having the same diameter, in which meshed gears are formed, (B02) above the vertical bisector of a line segment connecting the center positions of the pair of gear plates, A moving path of the sample holder when moving the sample holder between the vacuum sample chamber and the vacuum sample chamber, the internal sluice valve arranged on the moving path, (B03) rotating one of the pair of gear plates A gear plate driving device for driving, (B04) a guide rail disposed in the sample exchange chamber along the movement path, and a slider slidably supported by the guide rail, (B05) the slider connected to the slider and suspended. A holder chuck movably arranged along the vertical bisector at a position above the bisector and detachably holding the sample holder, (B06) one end of which is rotatably connected to the holder chuck. , A pair of crank levers, the other ends of which are rotatably connected to the upper surfaces of the pair of gear plates near the outer peripheral portions thereof, respectively (B0
7) The pair of crank levers arranged symmetrically in a plan view with respect to the vertical bisector.