JP3400299B2 - ボンディング装置用ツール保持構造 - Google Patents
ボンディング装置用ツール保持構造Info
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Description
ツール保持構造に関する。 【0002】 【従来の技術】ボンディング装置においては、ツールの
下面全体がワークのボンディング面に均一に当たること
が望ましい。かかる構造を有する従来のボンディング装
置用ツール保持構造として、例えば特開平3−3203
8号公報(以下、公知例1という)及び特開平4−16
7535号公報(以下、公知例2という)があげられ
る。 【0003】公知例1は、ツールが固定されたツールホ
ルダと、このツールホルダが取付けられボンディング装
置のツール保持部に固定される取付体と、ツールホルダ
を取付体に首振り可能に取付ける首振り手段と、取付体
のねじ部に螺合し首振り手段をロックしてツールホルダ
を取付体に固定させる固定ホルダとから構成されてい
る。ここで、前記首振り手段は、凹状の球面部を有し取
付体に固定された受座と、前記凹状の球面部に接触する
凸状の球面部を有しツールホルダに固定された回転支点
座とからなっている。 【0004】そこで、固定ホルダを緩めて首振り手段を
フリー状態とし、取付体を下降させてツールの下面をボ
ンドステージに接触させる。これにより、ツールの下面
がボンドステージに自動的に倣う。そこで、固定ホルダ
を締め付けると、首振り手段はロックされる。 【0005】公知例2は、ツールが固定されたシャフト
と、このシャフトに取付けられ球面のボールよりなる首
振り部材と、この首振り部材の球面部が接触する凹状の
球面部を有し首振り部材を首振り可能に支持する首振り
部材固定ブロックと、首振り部材を首振り部材固定ブロ
ックに真空吸着又は電磁石により固定させる真空吸着固
定手段又は電磁石固定手段とからなっている。 【0006】そこで、真空吸着固定手段又は電磁石固定
手段をオフ状態として首振り部材をフリー状態とし、首
振り部材固定ブロックを下降させてツールの下面をボン
ドステージに接触させる。これにより、ツールの下面が
ボンドステージに自動的に倣う。そこで、真空吸着固定
手段の真空吸着又は電磁石固定手段をオンとすると、首
振り部材は首振り部材固定ブロックにロックされる。 【0007】 【発明が解決しようとする課題】公知例1は、非常に多
くの部品によって構成されるので、コスト高になる。ま
たねじ部材である固定ホルダを回して首振り手段を固定
するので、固定ホルダを回す時にツールホルダが僅かに
傾くことがある。またツールをボンドステージに接触さ
せて押し付けた時、受座の球面部と回転支点座の球面部
とが密着し、両者の球面部の摩擦により回転支点座の球
面部が受座の球面部に沿って動かなく、ツールの下面が
ボンドステージに倣わないことがある。 【0008】公知例2は、部品点数が少ないので、コス
ト低減が図れる。しかし、公知例1と同様に、ツールを
ボンドステージに接触させて押し付けた時、首振り部材
の球面部と首振り部材固定ブロックの球面部とが密着
し、両者の球面部の摩擦により首振り部材の球面部が首
振り部材固定ブロックの球面部に沿って動かなく、ツー
ルの下面がボンドステージに倣わないことがある。 【0009】本発明の課題は、コスト低減が図れると共
に、確実にツールの下面の平行出しが行えるボンディン
グ装置用ツール保持構造を提供することにある。 【0010】 【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明の手段は、ツールホルダの下面にツールが配設
され、前記ツールの上面は、該ツールの下面中央を中心
とする凸状の球面部に形成され、前記ツールホルダの下
面には、前記ツールの球面部と同一の半径よりなる凹状
の球面部と、この球面部に環状溝が形成され、更にツー
ルホルダには、前記環状溝に連通するようにエアー供給
及び吸引するエアー穴が形成され、またツールホルダの
下面中央には、ばねを配設するためのばね穴が形成さ
れ、前記ツールの上面中央に設けられたばね掛けピンと
前記ツールホルダの前記ばね穴の上端部に設けられたば
ね掛けピンとにツールを懸垂するばねが掛けられている
ことを特徴とする。 【0011】 【発明の実施の形態】本発明の一実施の形態を図1乃至
図3により説明する。図1に示すように、図示しない上
下駆動手段で上下動させられるツールホルダ10の下面
には、ツール20が配設されている。 【0012】ツール20の上面は、該ツール20の下面
21の中央を中心とした半径Rとする凸状の球面部22
が形成され、球面部22の中央には、ばね掛けピン23
が固定されている。 【0013】ツールホルダ10の下面には、前記球面部
22と同一の半径Rよりなる凹状の球面部11が形成さ
れ、下面中央には、ばね30を配設するための穴よりな
るばね穴12が形成されている。ツールホルダ10のば
ね穴12の上端部にはばね掛けピン13が固定され、ば
ね掛けピン13と23にはばね30が掛けられている。
即ち、ツール20は、ばね30によってツールホルダ1
0に懸垂されている。ここで、ばね30のばね力は、ツ
ール20の重量を相殺するばね力か、またはツール20
の球面部22をツールホルダ10の球面部11に軽く圧
接させるばね力となっている。 【0014】図1及び図3に示すように、ツールホルダ
10の球面部11には、2個の環状溝14、15が形成
されている。環状溝14には3個のエアー穴16が上方
に形成され、環状溝15にも前記エアー穴16の外側に
3個のエアー穴17が上方に形成されている。そして、
対応するエアー穴16と17が連通するように、ツール
ホルダ10の側面より3個のエアー穴18が形成されて
いる。3個のエアー穴18にはそれぞれ配管継手41、
41、42に接続されている。配管継手41と42には
パイプ43が接続され、配管継手42には更にパイプ4
4を介してマニホールド45へ接続されている。 【0015】マニホールド45にはパイプ46、47を
介してエアー供給バルブ48及び真空供給バルブ49が
接続されており、エアー供給バルブ48及び真空供給バ
ルブ49は、制御部50によってオン・オフ制御され
る。エアー供給バルブ48及び真空供給バルブ49は、
それぞれパイプ51、52を介してエアー源53及び真
空源54に接続されている。パイプ51には供給するエ
アー圧力を検知する圧力計55が設けられ、パイプ52
には真空吸引する真空圧力を検知する真空圧力センサー
56が設けられている。 【0016】次にツール20の下面の平行出し調整方法
について説明する。エアー供給バルブ48及び真空供給
バルブ49がオフ状態において、まず、エアー供給バル
ブ48をオンにする。これにより、エアー源53の圧縮
エアー60は、パイプ51、エアー供給バルブ48、パ
イプ46、マニホールド45、パイプ44、43、配管
継手42を通ってエアー穴18に供給される。エアー穴
18に供給された圧縮エアー60は、エアー穴16、1
7を通って図2に示すように環状溝14、15に供給さ
れる。この環状溝14、15に供給された圧縮エアー6
0によってツール20は僅かに押し下げられ、ツール2
0の球面部22はツールホルダ10の球面部11より強
制的に離される。即ち、ツール20はフリー(自由に傾
き得る)状態となる。 【0017】この状態でツールホルダ10を下降させ、
ツール20の下面21を図示しないボンドステージに接
触させる。これにより、ツール20の下面がボンドステ
ージに自動的に倣う。そこで、エアー供給バルブ48を
オフにし、真空供給バルブ49をオンにする。これによ
り、図1に示すようにエアー穴18を通してエアー穴1
6、17及び環状溝14、15は真空吸引61され、ツ
ール20はツールホルダ10に真空吸着によって固定さ
れる。即ち、ツール20は前記のように平行出しされた
状態でツールホルダ10に固定される。 【0018】このように、ツールホルダ10、ツール2
0及びばね30の少ない部品により構成されるので、コ
スト低減が図れる。また圧縮エアー60によって強制的
にツール20をツールホルダ10より離した状態でツー
ル20の平行出しを行うので、ツール20は確実にボン
ドステージに倣う。 【0019】図4は本発明の他の実施の形態を示す。前
記実施の形態においては、環状溝14、15にそれぞれ
3個のエアー穴16、17を設けた。本実施の形態は、
環状溝14、15にそれぞれ1個のエアー穴16、17
を設けた。このように形成しても前記実施の形態と同様
の効果が得られる。 【0020】上記各実施の形態においては、2個の環状
溝14、15を設けた場合について説明したが、1個又
は3個以上設けてもよい。またエアー穴16及び17
は、それぞれ1個又は3個設けた場合について説明した
が、2個又は4個以上設けてもよい。 【0021】 【発明の効果】本発明によれば、ツールホルダの下面に
ツールが配設され、前記ツールの上面は、該ツールの下
面中央を中心とする凸状の球面部に形成され、前記ツー
ルホルダの下面には、前記ツールの球面部と同一の半径
よりなる凹状の球面部と、この球面部に環状溝が形成さ
れ、更にツールホルダには、前記環状溝に連通するよう
にエアー供給及び吸引するエアー穴が形成され、またツ
ールホルダの下面中央には、ばねを配設するためのばね
穴が形成され、前記ツールの上面中央に設けられたばね
掛けピンと前記ツールホルダの前記ばね穴の上端部に設
けられたばね掛けピンとにツールを懸垂するばねが掛け
られた構造よりなるので、コスト低減が図れると共に、
確実にツールの下面の平行出しが行える。
一実施の形態を示す真空吸着状態の一部断面正面図であ
る。 【図2】ツールがフリー状態である場合の一部断面正面
図である。 【図3】ツールホルダの底面及び配管を示す説明図であ
る。 【図4】本発明のボンディング装置用ツール保持構造の
他の実施の形態を示すツールホルダの底面及び配管を示
す説明図である。 【符号の説明】 10 ツールホルダ 11 球面部 14、15 環状溝 16、17、18 エアー穴 20 ツール 21 下面 22 球面部 30 ばね 60 圧縮エアー 61 真空吸引
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 【請求項1】 ツールホルダの下面にツールが配設さ
れ、前記ツールの上面は、該ツールの下面中央を中心と
する凸状の球面部に形成され、前記ツールホルダの下面
には、前記ツールの球面部と同一の半径よりなる凹状の
球面部と、この球面部に環状溝が形成され、更にツール
ホルダには、前記環状溝に連通するようにエアー供給及
び吸引するエアー穴が形成され、またツールホルダの下
面中央には、ばねを配設するためのばね穴が形成され、
前記ツールの上面中央に設けられたばね掛けピンと前記
ツールホルダの前記ばね穴の上端部に設けられたばね掛
けピンとにツールを懸垂するばねが掛けられていること
を特徴とするボンディング装置用ツール保持構造。
Priority Applications (1)
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Applications Claiming Priority (1)
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JP18457997A JP3400299B2 (ja) | 1997-06-26 | 1997-06-26 | ボンディング装置用ツール保持構造 |
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