JP3400299B2 - ボンディング装置用ツール保持構造 - Google Patents
ボンディング装置用ツール保持構造Info
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- JP3400299B2 JP3400299B2 JP18457997A JP18457997A JP3400299B2 JP 3400299 B2 JP3400299 B2 JP 3400299B2 JP 18457997 A JP18457997 A JP 18457997A JP 18457997 A JP18457997 A JP 18457997A JP 3400299 B2 JP3400299 B2 JP 3400299B2
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- Japan
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- tool
- spring
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はボンディング装置用
ツール保持構造に関する。 【０００２】 【従来の技術】ボンディング装置においては、ツールの
下面全体がワークのボンディング面に均一に当たること
が望ましい。かかる構造を有する従来のボンディング装
置用ツール保持構造として、例えば特開平３−３２０３
８号公報（以下、公知例１という）及び特開平４−１６
７５３５号公報（以下、公知例２という）があげられ
る。 【０００３】公知例１は、ツールが固定されたツールホ
ルダと、このツールホルダが取付けられボンディング装
置のツール保持部に固定される取付体と、ツールホルダ
を取付体に首振り可能に取付ける首振り手段と、取付体
のねじ部に螺合し首振り手段をロックしてツールホルダ
を取付体に固定させる固定ホルダとから構成されてい
る。ここで、前記首振り手段は、凹状の球面部を有し取
付体に固定された受座と、前記凹状の球面部に接触する
凸状の球面部を有しツールホルダに固定された回転支点
座とからなっている。 【０００４】そこで、固定ホルダを緩めて首振り手段を
フリー状態とし、取付体を下降させてツールの下面をボ
ンドステージに接触させる。これにより、ツールの下面
がボンドステージに自動的に倣う。そこで、固定ホルダ
を締め付けると、首振り手段はロックされる。 【０００５】公知例２は、ツールが固定されたシャフト
と、このシャフトに取付けられ球面のボールよりなる首
振り部材と、この首振り部材の球面部が接触する凹状の
球面部を有し首振り部材を首振り可能に支持する首振り
部材固定ブロックと、首振り部材を首振り部材固定ブロ
ックに真空吸着又は電磁石により固定させる真空吸着固
定手段又は電磁石固定手段とからなっている。 【０００６】そこで、真空吸着固定手段又は電磁石固定
手段をオフ状態として首振り部材をフリー状態とし、首
振り部材固定ブロックを下降させてツールの下面をボン
ドステージに接触させる。これにより、ツールの下面が
ボンドステージに自動的に倣う。そこで、真空吸着固定
手段の真空吸着又は電磁石固定手段をオンとすると、首
振り部材は首振り部材固定ブロックにロックされる。 【０００７】 【発明が解決しようとする課題】公知例１は、非常に多
くの部品によって構成されるので、コスト高になる。ま
たねじ部材である固定ホルダを回して首振り手段を固定
するので、固定ホルダを回す時にツールホルダが僅かに
傾くことがある。またツールをボンドステージに接触さ
せて押し付けた時、受座の球面部と回転支点座の球面部
とが密着し、両者の球面部の摩擦により回転支点座の球
面部が受座の球面部に沿って動かなく、ツールの下面が
ボンドステージに倣わないことがある。 【０００８】公知例２は、部品点数が少ないので、コス
ト低減が図れる。しかし、公知例１と同様に、ツールを
ボンドステージに接触させて押し付けた時、首振り部材
の球面部と首振り部材固定ブロックの球面部とが密着
し、両者の球面部の摩擦により首振り部材の球面部が首
振り部材固定ブロックの球面部に沿って動かなく、ツー
ルの下面がボンドステージに倣わないことがある。 【０００９】本発明の課題は、コスト低減が図れると共
に、確実にツールの下面の平行出しが行えるボンディン
グ装置用ツール保持構造を提供することにある。 【００１０】 【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明の手段は、ツールホルダの下面にツールが配設
され、前記ツールの上面は、該ツールの下面中央を中心
とする凸状の球面部に形成され、前記ツールホルダの下
面には、前記ツールの球面部と同一の半径よりなる凹状
の球面部と、この球面部に環状溝が形成され、更にツー
ルホルダには、前記環状溝に連通するようにエアー供給
及び吸引するエアー穴が形成され、またツールホルダの
下面中央には、ばねを配設するためのばね穴が形成さ
れ、前記ツールの上面中央に設けられたばね掛けピンと
前記ツールホルダの前記ばね穴の上端部に設けられたば
ね掛けピンとにツールを懸垂するばねが掛けられている
ことを特徴とする。 【００１１】 【発明の実施の形態】本発明の一実施の形態を図１乃至
図３により説明する。図１に示すように、図示しない上
下駆動手段で上下動させられるツールホルダ１０の下面
には、ツール２０が配設されている。 【００１２】ツール２０の上面は、該ツール２０の下面
２１の中央を中心とした半径Ｒとする凸状の球面部２２
が形成され、球面部２２の中央には、ばね掛けピン２３
が固定されている。 【００１３】ツールホルダ１０の下面には、前記球面部
２２と同一の半径Ｒよりなる凹状の球面部１１が形成さ
れ、下面中央には、ばね３０を配設するための穴よりな
るばね穴１２が形成されている。ツールホルダ１０のば
ね穴１２の上端部にはばね掛けピン１３が固定され、ば
ね掛けピン１３と２３にはばね３０が掛けられている。
即ち、ツール２０は、ばね３０によってツールホルダ１
０に懸垂されている。ここで、ばね３０のばね力は、ツ
ール２０の重量を相殺するばね力か、またはツール２０
の球面部２２をツールホルダ１０の球面部１１に軽く圧
接させるばね力となっている。 【００１４】図１及び図３に示すように、ツールホルダ
１０の球面部１１には、２個の環状溝１４、１５が形成
されている。環状溝１４には３個のエアー穴１６が上方
に形成され、環状溝１５にも前記エアー穴１６の外側に
３個のエアー穴１７が上方に形成されている。そして、
対応するエアー穴１６と１７が連通するように、ツール
ホルダ１０の側面より３個のエアー穴１８が形成されて
いる。３個のエアー穴１８にはそれぞれ配管継手４１、
４１、４２に接続されている。配管継手４１と４２には
パイプ４３が接続され、配管継手４２には更にパイプ４
４を介してマニホールド４５へ接続されている。 【００１５】マニホールド４５にはパイプ４６、４７を
介してエアー供給バルブ４８及び真空供給バルブ４９が
接続されており、エアー供給バルブ４８及び真空供給バ
ルブ４９は、制御部５０によってオン・オフ制御され
る。エアー供給バルブ４８及び真空供給バルブ４９は、
それぞれパイプ５１、５２を介してエアー源５３及び真
空源５４に接続されている。パイプ５１には供給するエ
アー圧力を検知する圧力計５５が設けられ、パイプ５２
には真空吸引する真空圧力を検知する真空圧力センサー
５６が設けられている。 【００１６】次にツール２０の下面の平行出し調整方法
について説明する。エアー供給バルブ４８及び真空供給
バルブ４９がオフ状態において、まず、エアー供給バル
ブ４８をオンにする。これにより、エアー源５３の圧縮
エアー６０は、パイプ５１、エアー供給バルブ４８、パ
イプ４６、マニホールド４５、パイプ４４、４３、配管
継手４２を通ってエアー穴１８に供給される。エアー穴
１８に供給された圧縮エアー６０は、エアー穴１６、１
７を通って図２に示すように環状溝１４、１５に供給さ
れる。この環状溝１４、１５に供給された圧縮エアー６
０によってツール２０は僅かに押し下げられ、ツール２
０の球面部２２はツールホルダ１０の球面部１１より強
制的に離される。即ち、ツール２０はフリー（自由に傾
き得る）状態となる。 【００１７】この状態でツールホルダ１０を下降させ、
ツール２０の下面２１を図示しないボンドステージに接
触させる。これにより、ツール２０の下面がボンドステ
ージに自動的に倣う。そこで、エアー供給バルブ４８を
オフにし、真空供給バルブ４９をオンにする。これによ
り、図１に示すようにエアー穴１８を通してエアー穴１
６、１７及び環状溝１４、１５は真空吸引６１され、ツ
ール２０はツールホルダ１０に真空吸着によって固定さ
れる。即ち、ツール２０は前記のように平行出しされた
状態でツールホルダ１０に固定される。 【００１８】このように、ツールホルダ１０、ツール２
０及びばね３０の少ない部品により構成されるので、コ
スト低減が図れる。また圧縮エアー６０によって強制的
にツール２０をツールホルダ１０より離した状態でツー
ル２０の平行出しを行うので、ツール２０は確実にボン
ドステージに倣う。 【００１９】図４は本発明の他の実施の形態を示す。前
記実施の形態においては、環状溝１４、１５にそれぞれ
３個のエアー穴１６、１７を設けた。本実施の形態は、
環状溝１４、１５にそれぞれ１個のエアー穴１６、１７
を設けた。このように形成しても前記実施の形態と同様
の効果が得られる。 【００２０】上記各実施の形態においては、２個の環状
溝１４、１５を設けた場合について説明したが、１個又
は３個以上設けてもよい。またエアー穴１６及び１７
は、それぞれ１個又は３個設けた場合について説明した
が、２個又は４個以上設けてもよい。 【００２１】 【発明の効果】本発明によれば、ツールホルダの下面に
ツールが配設され、前記ツールの上面は、該ツールの下
面中央を中心とする凸状の球面部に形成され、前記ツー
ルホルダの下面には、前記ツールの球面部と同一の半径
よりなる凹状の球面部と、この球面部に環状溝が形成さ
れ、更にツールホルダには、前記環状溝に連通するよう
にエアー供給及び吸引するエアー穴が形成され、またツ
ールホルダの下面中央には、ばねを配設するためのばね
穴が形成され、前記ツールの上面中央に設けられたばね
掛けピンと前記ツールホルダの前記ばね穴の上端部に設
けられたばね掛けピンとにツールを懸垂するばねが掛け
られた構造よりなるので、コスト低減が図れると共に、
確実にツールの下面の平行出しが行える。
ツール保持構造に関する。 【０００２】 【従来の技術】ボンディング装置においては、ツールの
下面全体がワークのボンディング面に均一に当たること
が望ましい。かかる構造を有する従来のボンディング装
置用ツール保持構造として、例えば特開平３−３２０３
８号公報（以下、公知例１という）及び特開平４−１６
７５３５号公報（以下、公知例２という）があげられ
る。 【０００３】公知例１は、ツールが固定されたツールホ
ルダと、このツールホルダが取付けられボンディング装
置のツール保持部に固定される取付体と、ツールホルダ
を取付体に首振り可能に取付ける首振り手段と、取付体
のねじ部に螺合し首振り手段をロックしてツールホルダ
を取付体に固定させる固定ホルダとから構成されてい
る。ここで、前記首振り手段は、凹状の球面部を有し取
付体に固定された受座と、前記凹状の球面部に接触する
凸状の球面部を有しツールホルダに固定された回転支点
座とからなっている。 【０００４】そこで、固定ホルダを緩めて首振り手段を
フリー状態とし、取付体を下降させてツールの下面をボ
ンドステージに接触させる。これにより、ツールの下面
がボンドステージに自動的に倣う。そこで、固定ホルダ
を締め付けると、首振り手段はロックされる。 【０００５】公知例２は、ツールが固定されたシャフト
と、このシャフトに取付けられ球面のボールよりなる首
振り部材と、この首振り部材の球面部が接触する凹状の
球面部を有し首振り部材を首振り可能に支持する首振り
部材固定ブロックと、首振り部材を首振り部材固定ブロ
ックに真空吸着又は電磁石により固定させる真空吸着固
定手段又は電磁石固定手段とからなっている。 【０００６】そこで、真空吸着固定手段又は電磁石固定
手段をオフ状態として首振り部材をフリー状態とし、首
振り部材固定ブロックを下降させてツールの下面をボン
ドステージに接触させる。これにより、ツールの下面が
ボンドステージに自動的に倣う。そこで、真空吸着固定
手段の真空吸着又は電磁石固定手段をオンとすると、首
振り部材は首振り部材固定ブロックにロックされる。 【０００７】 【発明が解決しようとする課題】公知例１は、非常に多
くの部品によって構成されるので、コスト高になる。ま
たねじ部材である固定ホルダを回して首振り手段を固定
するので、固定ホルダを回す時にツールホルダが僅かに
傾くことがある。またツールをボンドステージに接触さ
せて押し付けた時、受座の球面部と回転支点座の球面部
とが密着し、両者の球面部の摩擦により回転支点座の球
面部が受座の球面部に沿って動かなく、ツールの下面が
ボンドステージに倣わないことがある。 【０００８】公知例２は、部品点数が少ないので、コス
ト低減が図れる。しかし、公知例１と同様に、ツールを
ボンドステージに接触させて押し付けた時、首振り部材
の球面部と首振り部材固定ブロックの球面部とが密着
し、両者の球面部の摩擦により首振り部材の球面部が首
振り部材固定ブロックの球面部に沿って動かなく、ツー
ルの下面がボンドステージに倣わないことがある。 【０００９】本発明の課題は、コスト低減が図れると共
に、確実にツールの下面の平行出しが行えるボンディン
グ装置用ツール保持構造を提供することにある。 【００１０】 【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明の手段は、ツールホルダの下面にツールが配設
され、前記ツールの上面は、該ツールの下面中央を中心
とする凸状の球面部に形成され、前記ツールホルダの下
面には、前記ツールの球面部と同一の半径よりなる凹状
の球面部と、この球面部に環状溝が形成され、更にツー
ルホルダには、前記環状溝に連通するようにエアー供給
及び吸引するエアー穴が形成され、またツールホルダの
下面中央には、ばねを配設するためのばね穴が形成さ
れ、前記ツールの上面中央に設けられたばね掛けピンと
前記ツールホルダの前記ばね穴の上端部に設けられたば
ね掛けピンとにツールを懸垂するばねが掛けられている
ことを特徴とする。 【００１１】 【発明の実施の形態】本発明の一実施の形態を図１乃至
図３により説明する。図１に示すように、図示しない上
下駆動手段で上下動させられるツールホルダ１０の下面
には、ツール２０が配設されている。 【００１２】ツール２０の上面は、該ツール２０の下面
２１の中央を中心とした半径Ｒとする凸状の球面部２２
が形成され、球面部２２の中央には、ばね掛けピン２３
が固定されている。 【００１３】ツールホルダ１０の下面には、前記球面部
２２と同一の半径Ｒよりなる凹状の球面部１１が形成さ
れ、下面中央には、ばね３０を配設するための穴よりな
るばね穴１２が形成されている。ツールホルダ１０のば
ね穴１２の上端部にはばね掛けピン１３が固定され、ば
ね掛けピン１３と２３にはばね３０が掛けられている。
即ち、ツール２０は、ばね３０によってツールホルダ１
０に懸垂されている。ここで、ばね３０のばね力は、ツ
ール２０の重量を相殺するばね力か、またはツール２０
の球面部２２をツールホルダ１０の球面部１１に軽く圧
接させるばね力となっている。 【００１４】図１及び図３に示すように、ツールホルダ
１０の球面部１１には、２個の環状溝１４、１５が形成
されている。環状溝１４には３個のエアー穴１６が上方
に形成され、環状溝１５にも前記エアー穴１６の外側に
３個のエアー穴１７が上方に形成されている。そして、
対応するエアー穴１６と１７が連通するように、ツール
ホルダ１０の側面より３個のエアー穴１８が形成されて
いる。３個のエアー穴１８にはそれぞれ配管継手４１、
４１、４２に接続されている。配管継手４１と４２には
パイプ４３が接続され、配管継手４２には更にパイプ４
４を介してマニホールド４５へ接続されている。 【００１５】マニホールド４５にはパイプ４６、４７を
介してエアー供給バルブ４８及び真空供給バルブ４９が
接続されており、エアー供給バルブ４８及び真空供給バ
ルブ４９は、制御部５０によってオン・オフ制御され
る。エアー供給バルブ４８及び真空供給バルブ４９は、
それぞれパイプ５１、５２を介してエアー源５３及び真
空源５４に接続されている。パイプ５１には供給するエ
アー圧力を検知する圧力計５５が設けられ、パイプ５２
には真空吸引する真空圧力を検知する真空圧力センサー
５６が設けられている。 【００１６】次にツール２０の下面の平行出し調整方法
について説明する。エアー供給バルブ４８及び真空供給
バルブ４９がオフ状態において、まず、エアー供給バル
ブ４８をオンにする。これにより、エアー源５３の圧縮
エアー６０は、パイプ５１、エアー供給バルブ４８、パ
イプ４６、マニホールド４５、パイプ４４、４３、配管
継手４２を通ってエアー穴１８に供給される。エアー穴
１８に供給された圧縮エアー６０は、エアー穴１６、１
７を通って図２に示すように環状溝１４、１５に供給さ
れる。この環状溝１４、１５に供給された圧縮エアー６
０によってツール２０は僅かに押し下げられ、ツール２
０の球面部２２はツールホルダ１０の球面部１１より強
制的に離される。即ち、ツール２０はフリー（自由に傾
き得る）状態となる。 【００１７】この状態でツールホルダ１０を下降させ、
ツール２０の下面２１を図示しないボンドステージに接
触させる。これにより、ツール２０の下面がボンドステ
ージに自動的に倣う。そこで、エアー供給バルブ４８を
オフにし、真空供給バルブ４９をオンにする。これによ
り、図１に示すようにエアー穴１８を通してエアー穴１
６、１７及び環状溝１４、１５は真空吸引６１され、ツ
ール２０はツールホルダ１０に真空吸着によって固定さ
れる。即ち、ツール２０は前記のように平行出しされた
状態でツールホルダ１０に固定される。 【００１８】このように、ツールホルダ１０、ツール２
０及びばね３０の少ない部品により構成されるので、コ
スト低減が図れる。また圧縮エアー６０によって強制的
にツール２０をツールホルダ１０より離した状態でツー
ル２０の平行出しを行うので、ツール２０は確実にボン
ドステージに倣う。 【００１９】図４は本発明の他の実施の形態を示す。前
記実施の形態においては、環状溝１４、１５にそれぞれ
３個のエアー穴１６、１７を設けた。本実施の形態は、
環状溝１４、１５にそれぞれ１個のエアー穴１６、１７
を設けた。このように形成しても前記実施の形態と同様
の効果が得られる。 【００２０】上記各実施の形態においては、２個の環状
溝１４、１５を設けた場合について説明したが、１個又
は３個以上設けてもよい。またエアー穴１６及び１７
は、それぞれ１個又は３個設けた場合について説明した
が、２個又は４個以上設けてもよい。 【００２１】 【発明の効果】本発明によれば、ツールホルダの下面に
ツールが配設され、前記ツールの上面は、該ツールの下
面中央を中心とする凸状の球面部に形成され、前記ツー
ルホルダの下面には、前記ツールの球面部と同一の半径
よりなる凹状の球面部と、この球面部に環状溝が形成さ
れ、更にツールホルダには、前記環状溝に連通するよう
にエアー供給及び吸引するエアー穴が形成され、またツ
ールホルダの下面中央には、ばねを配設するためのばね
穴が形成され、前記ツールの上面中央に設けられたばね
掛けピンと前記ツールホルダの前記ばね穴の上端部に設
けられたばね掛けピンとにツールを懸垂するばねが掛け
られた構造よりなるので、コスト低減が図れると共に、
確実にツールの下面の平行出しが行える。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のボンディング装置用ツール保持構造の
一実施の形態を示す真空吸着状態の一部断面正面図であ
る。 【図２】ツールがフリー状態である場合の一部断面正面
図である。 【図３】ツールホルダの底面及び配管を示す説明図であ
る。 【図４】本発明のボンディング装置用ツール保持構造の
他の実施の形態を示すツールホルダの底面及び配管を示
す説明図である。 【符号の説明】 １０ ツールホルダ １１ 球面部 １４、１５ 環状溝 １６、１７、１８ エアー穴 ２０ ツール ２１ 下面 ２２ 球面部 ３０ ばね ６０ 圧縮エアー ６１ 真空吸引
一実施の形態を示す真空吸着状態の一部断面正面図であ
る。 【図２】ツールがフリー状態である場合の一部断面正面
図である。 【図３】ツールホルダの底面及び配管を示す説明図であ
る。 【図４】本発明のボンディング装置用ツール保持構造の
他の実施の形態を示すツールホルダの底面及び配管を示
す説明図である。 【符号の説明】 １０ ツールホルダ １１ 球面部 １４、１５ 環状溝 １６、１７、１８ エアー穴 ２０ ツール ２１ 下面 ２２ 球面部 ３０ ばね ６０ 圧縮エアー ６１ 真空吸引
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(56)参考文献 特開 平４−87344（ＪＰ，Ａ)
特開 平５−3223（ＪＰ，Ａ)
特開 平３−46245（ＪＰ，Ａ)
特開 平３−204949（ＪＰ，Ａ)
特開 平６−45410（ＪＰ，Ａ)
特開 平10−209223（ＪＰ，Ａ)
特開 平４−167535（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H01L 21/60
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】 ツールホルダの下面にツールが配設さ
れ、前記ツールの上面は、該ツールの下面中央を中心と
する凸状の球面部に形成され、前記ツールホルダの下面
には、前記ツールの球面部と同一の半径よりなる凹状の
球面部と、この球面部に環状溝が形成され、更にツール
ホルダには、前記環状溝に連通するようにエアー供給及
び吸引するエアー穴が形成され、またツールホルダの下
面中央には、ばねを配設するためのばね穴が形成され、
前記ツールの上面中央に設けられたばね掛けピンと前記
ツールホルダの前記ばね穴の上端部に設けられたばね掛
けピンとにツールを懸垂するばねが掛けられていること
を特徴とするボンディング装置用ツール保持構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18457997A JP3400299B2 (ja) | 1997-06-26 | 1997-06-26 | ボンディング装置用ツール保持構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18457997A JP3400299B2 (ja) | 1997-06-26 | 1997-06-26 | ボンディング装置用ツール保持構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1116951A JPH1116951A (ja) | 1999-01-22 |
| JP3400299B2 true JP3400299B2 (ja) | 2003-04-28 |
Family
ID=16155686
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18457997A Expired - Fee Related JP3400299B2 (ja) | 1997-06-26 | 1997-06-26 | ボンディング装置用ツール保持構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3400299B2 (ja) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4547652B2 (ja) * | 2000-04-03 | 2010-09-22 | Ｓｍｃ株式会社 | 自動調芯押付け装置 |
| AT414079B (de) * | 2002-12-20 | 2006-08-15 | Datacon Semiconductor Equip | Einrichtung zum positionieren |
| US7555832B2 (en) * | 2007-03-19 | 2009-07-07 | Infineon Technologies Ag | Semiconductor chip attachment |
| FR2951106B1 (fr) * | 2009-10-08 | 2012-01-06 | S E T | Presse a tete articulee |
| KR101382267B1 (ko) * | 2013-12-19 | 2014-04-07 | 주식회사 성진하이메크 | 자동 평탄조정이 가능한 본딩 툴 및 자동 평탄조정 방법 |
| KR20170047058A (ko) * | 2015-10-22 | 2017-05-04 | 한화테크윈 주식회사 | 스핀들 |
| CN114080665A (zh) * | 2020-05-08 | 2022-02-22 | 株式会社新川 | 半导体装置的制造装置以及制造方法 |
| KR20220010003A (ko) * | 2020-05-26 | 2022-01-25 | 가부시키가이샤 신가와 | 반도체 장치의 제조 장치 및 제조 방법 |
-
1997
- 1997-06-26 JP JP18457997A patent/JP3400299B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH1116951A (ja) | 1999-01-22 |
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