JP3390011B2 - テストガス・漏洩探知機 - Google Patents

テストガス・漏洩探知機

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    • G01M3/202—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material using mass spectrometer detection systems
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    • G01N33/0004—Gaseous mixtures, e.g. polluted air
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Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、テストガスの漏洩を探知する漏洩探知機で
あって、テストガス接続部、テストガス検出器、ガス搬
送ポンプ及びテストガス導管を備え、このテストガス導
管が、テストガス接続部とガス搬送ポンプとの間で延び
かつ遮断可能な分岐部を介してテストガス検出器の流入
部に接続されている形式のものに関する。
分岐部が開放された場合（測定運転）、テストガス導
管を介して流れるガスの一部（漏洩が生じた場合にテス
トガスを含む）が、分岐導管を介してテストガス検出器
内に達しかつテストガス検出器において記録される。
前記形式の漏洩探知機においては、応答時間、即ち、
テストガス接続部内へのテストガスの流入時点からテス
トガスの記録時点までの時間は、特に高圧の場合、比較
的長い。
本発明の課題は、応答時間が短縮されるように、冒頭
に述べた形式の漏洩探知機を改良することにある。
前記課題は本発明によれば、請求の範囲第１項の特徴
部分に記載の構成の本発明の漏洩探知機によって解決さ
れた。
本発明の構成によって、運転モード“測定”の場合
に、テストガス導管内で流れるガス全体がほぼ直接テス
トガス検出器内に達するようになる。これによって、高
圧の場合10ファクタ以上、応答時間が著しく短縮され
る。
テストガス検出器が、質量分析計及び質量分析計に前
置された、送出方向とは逆方向でテストガスにより貫流
される高真空ポンプ、有利には、ターボ分子真空ポンプ
を有する場合には、本発明によって、テストガス導管を
介して流れるガスひいては場合によってガス内に存在す
るテストガスが完全にかつ直接高真空ポンプの流出範囲
に達するので、所望の応答時間短縮が達成される。
次に第１図乃至第６図で図示の実施例に基づき本発明
を詳述する。
この場合、第１図乃至第４図は、本発明による漏洩探
知機の概略図であり、第５図及び第６図は、テストガス
導管と高真空ポンプとの間の本発明による接続路を形成
するための実施例を示す図である。
図面では、漏洩探知機が符号１で、テストガス接続部
が符号２で、テストガス検出器が符号３で、ガス搬送ポ
ンプ又は真空ポンプが符号４でかつテストガス接続部２
と真空ポンプ４との間で延びるテストガス導管が符号５
で示されている。テストガス導管５はテストガス検出器
３の流入部６に２本の導管区分7,8を介して接続されて
いる。
第１図の実施例では、各導管区分7,8、並びに、テス
ト導管５に対する導管区分7,8の接続個所間に位置す
る、テストガス導管５の中間導管区分５′は、それぞれ
１つの２ポート２位置切換え弁11,12もしくは13を備え
ている。測定運転の場合には、切換え弁11,12が開放さ
れかつ切換え弁13が閉鎖される。テストガス接続部２内
に達するガス全体は、直接テストガス検出器３の流入部
６を貫流する。切換え弁11,12が閉鎖されかつ切換え弁1
3が開放された場合（ポンプ運転）には、テストガス接
続部２に接続されるテストサンプル又はフラスコを排気
することができる。待機運転の場合、切換え弁11,13が
閉鎖されかつ切換え弁12が閉鎖される。
第２図乃至第４図の実施例では、テストガス検出器３
は質量分析計14及び高真空ポンプ15、有利には、ターボ
分子真空ポンプを有している。高真空ポンプ15は、質量
分析計14を運転するのに必要な真空（ほぼ10-4mバー
ル）を維持するのに用いられる。この実施例では、テス
トガス（軽いガス、通常ヘリウム）が、高真空ポンプを
ポンプ送出方向とは逆方向で貫流する。それ故、テスト
ガス検出器３の流入部６は同時に、高真空ポンプの流出
部を成す。
導管区分内に３つの２ポート２位置切換え弁11,12,13
を設ける代わりに、２つの３ポート２位置切換え弁16,1
7を設けることができ、この切換え弁は同時に、テスト
ガス導管５における導管区分7,8の接続部を成す。第２
図乃至第４図では導管区分7,8及び中間導管区分５′
は、実線（開放状態）及び鎖線（閉鎖状態）で図示され
ている。その都度の開放もしくは閉鎖状態は、切換え弁
16,17の対応する位置によって得られる。第２図では測
定運転を、第３図ではポンプ運転をかつ第４図では待機
運転を図示している。
第５図（測定運転）及び第６図（ポンプ運転）は、テ
ストガス検出器３の流入部６（もしくは高真空ポンプ15
の流出部６）の範囲の有利な構成を図示している。テス
トガス検出器３の流入部６（もしくは高真空ポンプ15の
流出部６）の主要構成部材は、フランジ22を備えた接続
管片21である。前記フランジ22には、（同様にフランジ
23を備えた）導管区分８が接続されている。少なくとも
フランジに隣接する範囲では導管区分８は、導管区分７
よりも大きな直径を有している。この範囲では導管区分
７は、導管区分８内に案内されている。導管区分７は、
フランジに隣接した導管区分８の範囲を貫通していてか
つ導管区分８の開口部の範囲でテストガス検出器３もし
くは高真空ポンプ15内に達している。このような構成に
よって、テストガス導管５を貫流するガス全体が、テス
トガス検出器３の流入部６もしくは高真空ポンプ15の流
出部内に達することが保証される。
フロントページの続き (72)発明者 ウルリッヒ デプラー ドイツ連邦共和国 Ｄ−42929 ヴェル メルスキルヒェン ドルテンホーフ ４ アー (56)参考文献 実開 昭58−57940（ＪＰ，Ｕ) 国際公開94／5990（ＷＯ，Ａ１) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01M 3/20

Claims (7)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】テストガスの漏洩を探知する漏洩探知機
    （１）であって、テストガス接続部（２）、テストガス
    検出器（３）、ガス搬送ポンプ（４）及びテストガス導
    管（５）を備え、このテストガス導管が、テストガス接
    続部（２）とガス搬送ポンプ（４）との間で延びかつ遮
    断可能な分岐部を介してテストガス検出器（３）の流入
    部（６）に接続されている形式のものにおいて、テスト
    ガス導管（５）とテストガス検出器（３）の流入部
    （６）とを接続するのに用いられる案内導管（7,8）
    が、測定運転中に、テストガス導管（５）内で流れるガ
    ス全体をほぼテストガス検出器（３）の流入部（６）内
    に案内するように、選択されていることを特徴とする、
    テストガス・漏洩探知機。
  2. 【請求項２】テストガス導管（５）が、２本の遮断可能
    な導管区分（7,8）を介して、テストガス検出器（３）
    の流入部（６）に接続されており、テストガス検出器に
    案内される導管区分（7,8）の接続個所の間に位置す
    る、テストガス導管（５）の中間導管区分（５′）が同
    様に遮断可能である、請求項１記載の漏洩探知機。
  3. 【請求項３】両導管区分（7,8）とテストガス導管
    （５）の中間導管区分（５′）とが、それぞれ１つの２
    ポート２位置切換え弁を備えている、請求項２記載の漏
    洩探知機。
  4. 【請求項４】テストガス導管（５）に対する両導管区分
    （7,8）の接続個所の範囲に、それぞれ１つの３ポート
    ２位置切換え弁（16もしくは17）が設けられている、請
    求項２記載の漏洩探知機。
  5. 【請求項５】両導管区分（7,8）が、テストガス検出器
    （３）の流入部（６）の範囲で異なる直径を有しかつ互
    いに同心的に案内されている、請求項１から４までのい
    ずれか１項記載の漏洩探知機。
  6. 【請求項６】テストガス検出器（３）が、フランジ（2
    2）を備えた接続管片（21）を有しており、直径の大き
    な分岐導管（７又は８）が、フランジ（23）を介して接
    続管片（21）に接続されており、直径の小さな分岐導管
    （７又は８）が、接続管片（21）を同心的に貫通してい
    る、請求項５記載の漏洩探知機。
  7. 【請求項７】テストガス検出器（３）が、質量分析計、
    及び、送出方向とは逆方向でテストガスによって貫流さ
    れる高真空ポンプ（15）を有しており、高真空ポンプ
    （15）の流出部が、質量分析計（３）の流入部（６）を
    成している、請求項１から４までのいずれか１項記載の
    漏洩探知機。
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