JP3381101B2 - Manufacturing method of magnetic head - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、磁気ヘッドの製造方法
に関し、特に磁性フェライト材と強磁性金属膜により構
成される磁気コア半体により形成される磁気ヘッドの製
造方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of manufacturing a magnetic head, and more particularly to a method of manufacturing a magnetic head formed of a magnetic core half body composed of a magnetic ferrite material and a ferromagnetic metal film.

【０００２】[0002]

【従来の技術】例えば、ＶＴＲ（ビデオテープレコーダ
ー）等の磁気記録再生装置においては、高画質化等を目
的として情報信号の短波長記録化が進められており、こ
れに対応して磁性粉に強磁性粉末を用いたいわゆるメタ
ルテープや、ベースフィルム上に強磁性金属材料を直接
被着した蒸着テープ等の高抗磁力磁気記録媒体が使用さ
れるようになってきている。2. Description of the Related Art For example, in a magnetic recording / reproducing apparatus such as a VTR (video tape recorder), recording of a short wavelength of an information signal has been promoted for the purpose of improving image quality. A high coercive force magnetic recording medium such as a so-called metal tape using a ferromagnetic powder or a vapor deposition tape in which a ferromagnetic metal material is directly deposited on a base film has been used.

【０００３】一方、これに対処するために磁気ヘッドの
分野においても研究が進められており、高抗磁力磁気記
録媒体用の磁気ヘッドとして磁気コアに磁性金属材料を
用いた磁気ヘッドが種々開発されている。このような磁
気ヘッドの代表的なものとしては、強磁性酸化物材料を
主コアとし、強磁性金属材料を磁気ギャップ近傍部に配
したメタル・イン・ギャップヘッド（いわゆるＭＩＧヘ
ッド）が挙げられる。On the other hand, research has been conducted in the field of magnetic heads to deal with this, and various magnetic heads using a magnetic metal material for the magnetic core have been developed as magnetic heads for high coercive force magnetic recording media. ing. As a typical example of such a magnetic head, there is a metal-in-gap head (so-called MIG head) in which a ferromagnetic oxide material is used as a main core and a ferromagnetic metal material is arranged in the vicinity of a magnetic gap.

【０００４】上記ＭＩＧヘッドは、図１０に示されるよ
うに、記録再生として機能する磁気ギャップ（フロント
ギャップ）ｇ₁ 及び磁気ギャップ（バックギャップ）ｇ
₂ を境として左右別々に形成された一対の磁気コア半体
１０１，１０２が磁気ギャップ部を形成して突き合わさ
れ接合一体化されたものである。As shown in FIG. 10, the MIG head described above has a magnetic gap (front gap) g ₁ and a magnetic gap (back gap) g that function as recording / reproducing.
A pair of magnetic core halves 101 and 102, which are separately formed on the left and right with a boundary of ₂ , form a magnetic gap portion and are butted and joined together.

【０００５】上記磁気コア半体１０１，１０２は酸化物
磁性材料である磁性フェライト材１０８，１０９と強磁
性金属膜１１０，１１１によって構成されており、磁気
コア半体１０１，１０２の対向面は強磁性金属膜１１
０，１１１によって構成されている。従って、強磁性金
属膜１１０，１１１の突き合わせ面間にフロントギャッ
プｇ₁ 及びバックギャップｇ₂ が形成されることとな
る。なお、上記強磁性金属膜１１０，１１１の突き合わ
せ面上には図示しないガラス膜が形成されており、これ
らガラス膜によりフロントギャップｇ₁ 及びバックギャ
ップｇ₂ が形成されるとともに、突き合わせ面間が溶融
接合されている。The magnetic core halves 101 and 102 are composed of magnetic ferrite materials 108 and 109, which are oxide magnetic materials, and ferromagnetic metal films 110 and 111, and the opposing surfaces of the magnetic core halves 101 and 102 are strong. Magnetic metal film 11
It is composed of 0,111. Therefore, the front gap g ₁ and the back gap g ₂ are formed between the abutting surfaces of the ferromagnetic metal films 110 and 111. A glass film (not shown) is formed on the abutting surfaces of the ferromagnetic metal films 110 and 111. These glass films form a front gap g ₁ and a back gap g ₂ and melt between the abutting surfaces. It is joined.

【０００６】また、上記磁気コア半体１０１，１０２の
対向面には、フロントギャップｇ₁及びバックギャップ
ｇ₂ のトラック幅を規制するためのトラック幅規制溝１
０３，１０４が設けられている。Further, on the facing surfaces of the magnetic core halves 101 and 102, track width regulating grooves 1 for regulating the track widths of the front gap g ₁ and the back gap g ₂ are formed.
03 and 104 are provided.

【０００７】そして、上記トラック幅規制溝１０３，１
０４間の溝部には融着ガラス１０５が溶融充填されてお
り、磁気コア半体１０１，１０２を接合一体化してい
る。The track width regulating grooves 103, 1
Fused glass 105 is melt-filled in the groove portion between 04, and the magnetic core halves 101 and 102 are joined and integrated.

【０００８】さらに、磁気コア半体１０１，１０２の対
向面側にはコイル巻装用の巻線溝１０６，１０７が設け
られており、これら巻線溝１０６，１０７を通して図示
しないコイルが巻装される。Further, winding grooves 106 and 107 for winding the coil are provided on the facing surfaces of the magnetic core halves 101 and 102, and a coil (not shown) is wound through the winding grooves 106 and 107. .

【０００９】このようなＭＩＧヘッドの製造方法として
は、特開平６−８４１２９号公報に示されるような、強
磁性金属膜１１０，１１１の突き合わせ面上に形成され
るガラス膜同士の溶融接合（いわゆる、ギャップ接合）
とトラック幅規制溝１０３，１０４間の溝部への融着ガ
ラス１０５の溶融充填を分けて行う方法が提案され、実
用化されている。このように、ギャップ接合と融着ガラ
スの溶融充填を分けて行うと、ギャップ接合の際の加圧
により磁性フェライト材１０８，１０９に生じる透磁率
の劣化を防止し、ヘッド再生出力を大幅に向上させるこ
とが可能である。 上記のような方法を適用したＭＩＧ
ヘッドの製造方法の具体例としては、以下のような方法
が挙げられる。As a method of manufacturing such an MIG head, as shown in JP-A-6-84129, melt bonding of glass films formed on the abutting surfaces of the ferromagnetic metal films 110 and 111 (so-called "so-called"). , Gap junction)
A method of separately melting and filling the fused glass 105 into the groove portion between the track width regulating grooves 103 and 104 has been proposed and put into practical use. As described above, when the gap bonding and the fusion filling of the fused glass are performed separately, the deterioration of the magnetic permeability that occurs in the magnetic ferrite materials 108 and 109 due to the pressure applied during the gap bonding is prevented, and the head reproduction output is significantly improved. It is possible to MIG applying the above method
The following method may be mentioned as a specific example of the method of manufacturing the head.

【００１０】すなわち、先ず、板状の磁性フェライト材
のトラック幅規制溝を形成する面の研削加工を行う。次
に、上記磁性フェライト材に機械加工によりトラック幅
規制溝，巻線溝を形成する。続いて、トラック幅規制溝
形成面に鏡面加工を行う。さらに、鏡面加工を行った面
に、スパッタリング法等の手法により強磁性金属膜を形
成する。次に、上記強磁性金属膜上にスパッタリング
法，蒸着法等によりガラス膜を形成し、一対の磁気コア
半体ブロックとする。That is, first, the surface of the plate-shaped magnetic ferrite material on which the track width regulating groove is formed is ground. Next, a track width regulating groove and a winding groove are formed in the magnetic ferrite material by machining. Then, the surface on which the track width regulating groove is formed is mirror-finished. Further, a ferromagnetic metal film is formed on the mirror-finished surface by a method such as a sputtering method. Next, a glass film is formed on the ferromagnetic metal film by a sputtering method, a vapor deposition method or the like to form a pair of magnetic core half blocks.

【００１１】そして、上記一対の磁気コア半体ブロック
を強磁性金属膜を突き合わせるようにして対向させ、加
圧しながら加熱してガラス膜同士を溶融接合させ、ギャ
ップ接合する。このとき、一対の磁気コア半体ブロック
に形成されるトラック幅規制溝同士，巻線溝同士の位置
合わせも行っておく。その後、室温まで冷却し、磁気コ
ア半体ブロックへの加圧を解放する。Then, the pair of magnetic core half blocks are opposed to each other so that the ferromagnetic metal films are abutted against each other, and the glass films are melt-bonded by heating while pressurizing, and gap bonding is performed. At this time, the track width regulation grooves and the winding grooves formed in the pair of magnetic core half blocks are also aligned. Then, it is cooled to room temperature and the pressure on the magnetic core half block is released.

【００１２】ところで、上記磁気コア半体ブロックは、
前述のように、磁性フェライト材と強磁性金属膜により
構成されており、これらの間には熱膨張率に大きな差が
ある。図１３に磁性フェライト材と強磁性金属膜の温度
に対する熱膨張率の変化を示す。なお、図１３中横軸は
温度を示し、縦軸は熱膨張率を示し、図中Ａは磁性フェ
ライト材の結果、図中Ｂは強磁性金属膜の結果を示す。
図１３の結果から、温度が高くなるほど、磁性フェライ
ト材と強磁性金属膜の熱膨張率の差が大きくなることが
わかる。By the way, the magnetic core half block is
As described above, it is composed of the magnetic ferrite material and the ferromagnetic metal film, and there is a large difference in the coefficient of thermal expansion between them. FIG. 13 shows changes in the coefficient of thermal expansion with temperature of the magnetic ferrite material and the ferromagnetic metal film. Note that the horizontal axis in FIG. 13 represents the temperature, and the vertical axis represents the coefficient of thermal expansion. In the figure, A shows the result of the magnetic ferrite material, and B shows the result of the ferromagnetic metal film.
From the results of FIG. 13, it can be seen that the difference in the coefficient of thermal expansion between the magnetic ferrite material and the ferromagnetic metal film increases as the temperature increases.

【００１３】従って、上記のような方法でＭＩＧヘッド
を製造する場合にギャップ接合温度があまり高いと、磁
性フェライト材と強磁性金属膜の熱膨張率の差が大きく
なり、そのために発生する応力が過大となり、図１４に
示すように、製造されるＭＩＧヘッドの磁性フェライト
材１０８，１０９と強磁性金属膜１１０，１１１の境界
に図中に示すようなヒビ１１２，１１３が発生してしま
う。なお、このようなヒビの発生を抑える為には、ギャ
ップ接合温度を６００℃以下にする必要があるとされて
いる。Therefore, when the MIG head is manufactured by the method as described above, if the gap junction temperature is too high, the difference in the coefficient of thermal expansion between the magnetic ferrite material and the ferromagnetic metal film becomes large, and the stress generated due to this increases. As shown in FIG. 14, cracks 112 and 113 as shown in the figure occur at the boundaries between the magnetic ferrite materials 108 and 109 and the ferromagnetic metal films 110 and 111 of the manufactured MIG head, as shown in FIG. In order to suppress the occurrence of such cracks, it is said that the gap junction temperature needs to be 600 ° C. or lower.

【００１４】また、上記ガラス膜等を構成するガラス
は、ある温度以上においては粘性を有する液体となり、
ある温度以下においては固体となるという性質を有して
いる。Further, the glass constituting the glass film or the like becomes a viscous liquid at a certain temperature or higher,
It has the property of becoming solid below a certain temperature.

【００１５】そして、液体状態のガラスは、温度の上昇
とともに粘度が低下するという性質を有している。The liquid glass has a property that its viscosity decreases as the temperature rises.

【００１６】さらに、固体状態のガラスは熱膨張する性
質を有し、温度とガラスの熱膨張の関係を示す熱膨張曲
線は温度に対するガラスの伸び率から求められる。すな
わち、図１５に示すように、標準温度（一般には室温）
Ｔのときのガラスの長さＬ₀に対し、上記標準温度Ｔよ
りもΔｔだけ温度を上げた場合にガラスがΔＬだけ伸び
た場合、伸び率Ｘ（％）はＸ＝（ΔＬ／Ｌ₀ ）×１００
で表される。なお、ガラスの熱膨張曲線は、例えば図１
６のように表される。Further, the glass in the solid state has a property of thermal expansion, and the thermal expansion curve showing the relationship between the temperature and the thermal expansion of the glass is obtained from the elongation rate of the glass with respect to temperature. That is, as shown in FIG. 15, standard temperature (generally room temperature)
When the glass is stretched by ΔL when the temperature is raised by Δt from the standard temperature T with respect to the length L ₀ of the glass at T, the elongation rate X (%) is X = (ΔL / L ₀ ). × 100
It is represented by. The thermal expansion curve of glass is shown in FIG.
It is expressed as 6.

【００１７】一般にガラスの伸び率Ｘはある温度以上で
急激に大きくなり、この温度はガラス転移点Ｔｇ（℃）
と称される。さらにガラスの伸び率Ｘが極大値を示す温
度をガラス屈服点Ｔｃ（℃）と称している。そして、上
記ガラスは、ガラス屈服点Ｔｃ以上の温度においては上
述のように粘性を有する液体となり、該ガラスをガラス
屈服点Ｔｃを越える温度領域から温度を下げて冷却した
場合、温度がガラス屈服点Ｔｃになった時点からガラス
の固化が始まり、ガラス転移点Ｔｇ以下の温度において
は完全に固化する。Generally, the elongation rate X of glass rapidly increases above a certain temperature, and this temperature is a glass transition point Tg (° C.).
Is called. Furthermore, the temperature at which the elongation percentage X of the glass exhibits a maximum value is referred to as the glass yield point Tc (° C.). Then, the glass becomes a liquid having viscosity as described above at a temperature equal to or higher than the glass yield point Tc, and when the glass is cooled by lowering the temperature from a temperature range exceeding the glass yield point Tc, the temperature is the glass yield point. The solidification of the glass starts from the time when it reaches Tc, and it completely solidifies at the temperature below the glass transition point Tg.

【００１８】上述のように、ガラス膜同士を溶融接合し
てギャップ接合する場合、一般に液体状態のガラスの粘
度を１０^6.65Ｐａ・ｓ程度とするのが好ましいとされて
おり、ガラスがこのような粘度を示す温度をガラス軟化
点Ｔｓ（℃）と称している。ガラスの粘度がこれよりも
高いと、言い換えれば温度がガラス軟化点Ｔｓよりも低
いと、十分な接合強度が得られず、ギャップ接合部から
の剥離が発生する。また、ガラスの粘度がこれよりも低
いと、言い換えれば温度がガラス軟化点Ｔｓよりも高い
と、粘度が低すぎてギャップ接合時の加圧によりガラス
膜が変形し、ギャップ長精度が低下する等の問題が発生
する。As described above, when glass films are melt-bonded and gap-bonded to each other, it is generally preferable that the viscosity of glass in a liquid state be about ^10.66 Pa · s. The temperature indicating the viscosity is called the glass softening point Ts (° C). If the viscosity of the glass is higher than this, in other words, if the temperature is lower than the glass softening point Ts, sufficient bonding strength cannot be obtained and peeling from the gap bonding portion occurs. Further, if the viscosity of the glass is lower than this, in other words, if the temperature is higher than the glass softening point Ts, the viscosity is too low and the glass film is deformed by the pressure applied during the gap bonding, which deteriorates the gap length accuracy. Problem occurs.

【００１９】すなわち、上記ガラス膜を構成するガラス
としては、ガラス軟化点Ｔｓが６００℃程度のガラスを
使用することが好ましい。That is, it is preferable to use glass having a glass softening point Ts of about 600 ° C. as the glass constituting the above glass film.

【００２０】次に、巻線溝同士の間に形成される溝部内
に融着ガラス棒をセットし、加熱して上記融着ガラスを
トラック幅規制溝間に形成される溝部内に溶融充填し
て、一対の磁気コア半体ブロックを接合一体化する。Next, a fused glass rod is set in the groove formed between the winding grooves and heated to melt and fill the fused glass into the groove formed between the track width regulating grooves. Then, the pair of magnetic core half blocks are joined and integrated.

【００２１】このとき、融着ガラスの溶融充填温度が、
ギャップ接合に用いた上記ガラス膜を構成するガラスの
ガラス転移点Ｔｇよりも高いと、ガラス膜が軟化してギ
ャップが開いてしまい、ギャップ長精度を維持できな
い。従って、融着ガラス溶融充填温度において、ガラス
膜は完全に固化している必要がある。そこで、融着ガラ
ス溶融充填温度をガラス膜が完全に固化している領域、
すなわちガラス膜のガラス転移点Ｔｇ以下としている。At this time, the melt filling temperature of the fused glass is
If it is higher than the glass transition point Tg of the glass constituting the glass film used for the gap bonding, the glass film is softened to open the gap, and the gap length accuracy cannot be maintained. Therefore, the glass film needs to be completely solidified at the fused glass melt filling temperature. Therefore, the fusion glass melt filling temperature is a region where the glass film is completely solidified,
That is, the glass transition point Tg of the glass film is set to be equal to or lower than Tg.

【００２２】上記のように、ガラス膜を構成するガラス
として、ガラス軟化点Ｔｓが６００℃程度のガラスを用
いた場合においては、ガラス転移点Ｔｇは５００℃程度
であり、融着ガラス溶融充填温度を５００℃程度とする
必要がある。As described above, when the glass having the glass softening point Ts of about 600 ° C. is used as the glass constituting the glass film, the glass transition point Tg is about 500 ° C., and the fusion glass melt filling temperature is Needs to be about 500 ° C.

【００２３】融着ガラスを溶融充填する場合、液体状態
で充填することは言うまでもないが、粘度を１０³ Ｐａ
・ｓ程度とすることが好ましく、ガラスがこのような粘
度を示す温度をガラス作業点Ｔｗ（℃）と称している。
温度がガラス作業点Ｔｗよりも低いと、融着ガラスの粘
度が高すぎて、トラック幅規制溝間に形成される溝部内
に融着ガラスが流れ込まない。また、温度がガラス作業
点Ｔｗよりも高いと、融着ガラスの粘度が低すぎてトラ
ック幅規制溝から融着ガラスが抜けてしまう等の問題が
発生する。Needless to say, when the fused glass is melt-filled, it is filled in a liquid state, but the viscosity is 10 ³ Pa.
It is preferable to be about s, and the temperature at which the glass exhibits such a viscosity is called the glass working point Tw (° C).
When the temperature is lower than the glass working point Tw, the viscosity of the fused glass is too high, and the fused glass does not flow into the groove portion formed between the track width regulating grooves. Further, when the temperature is higher than the glass working point Tw, the viscosity of the fused glass is too low and the fused glass may come out from the track width regulation groove.

【００２４】従って、融着ガラスとしては、ガラス作業
点Ｔｗが５００℃程度であるものを用いる必要がある。Therefore, it is necessary to use a glass having a glass working point Tw of about 500 ° C. as the fused glass.

【００２５】そして、接合一体化された一対の磁気コア
半体ブロックを所定の厚さに切断し、図１０に示すよう
な磁気ヘッドを得る。Then, the pair of magnetic core half blocks integrally joined together is cut into a predetermined thickness to obtain a magnetic head as shown in FIG.

【００２６】[0026]

【発明が解決しようとする課題】上述のガラス膜を構成
するガラス軟化点Ｔｓが６００℃程度のガラスは低融点
ガラスと呼ばれており、ＰｂＯ，ＳｉＯ₂ 等を主成分と
している。そして、一般にこのようなガラスにおいては
ＰｂＯの比率を高めることでガラス転移点Ｔｇやガラス
屈服点Ｔｃを下げて低温での作業を可能としている。The glass having a glass softening point Ts of about 600 ° C. which constitutes the above-mentioned glass film is called a low melting point glass and contains PbO, SiO _{2 and the} like as main components. In general, in such a glass, the glass transition point Tg and the glass yield point Tc can be lowered by increasing the PbO ratio to enable working at a low temperature.

【００２７】一方、上述の融着ガラスとしても、Ｐｂ
Ｏ，ＳｉＯ₂ 等を主成分とした低融点ガラスが使用され
ており、該融着ガラスにおいては、ＰｂＯの比率をさら
に高めて低温での作業を可能としている。しかしなが
ら、上記のようにＰｂＯの比率を高めるとガラス自体の
強度や耐候性等の信頼性が低下してしまう。On the other hand, even if the above fused glass is used, Pb
A low-melting glass containing O, SiO ₂ or the like as a main component is used, and in the fused glass, the ratio of PbO is further increased to enable working at a low temperature. However, if the proportion of PbO is increased as described above, the reliability of the glass itself such as strength and weather resistance will decrease.

【００２８】従って、前述のようにギャップ接合と融着
ガラスの溶融充填を分けて行う方法でＭＩＧヘッドを製
造した場合、磁性フェライト材に生じる透磁率の劣化を
防止し、ヘッド再生出力を大幅に向上させることは可能
であるものの、融着ガラスの強度が良好ではないことか
ら、接合一体化された磁気コア半体ブロックを所定の厚
さに切断する工程中に割れが発生し易く、製造歩留りは
あまり良好ではない。さらに、製造されたＭＩＧヘッド
を高温多湿の環境下に放置しておくと、融着ガラスの耐
候性が良好ではないことから、該融着ガラスの腐食によ
る変色が発生し、信頼性が大きく損なわれる。Therefore, when the MIG head is manufactured by the method in which the gap bonding and the melt filling of the fused glass are separately performed as described above, the deterioration of the magnetic permeability generated in the magnetic ferrite material is prevented, and the head reproduction output is significantly increased. Although it is possible to improve, since the strength of the fused glass is not good, cracks easily occur during the step of cutting the magnetic core half block integrated and joined to a predetermined thickness, and the manufacturing yield Is not very good. Further, if the manufactured MIG head is left in a high temperature and high humidity environment, the weather resistance of the fused glass is not good, so that the fused glass is discolored due to corrosion and the reliability is greatly impaired. Be done.

【００２９】また、融着ガラスとしてガラス作業点Ｔｗ
がガラス膜のガラス転移点Ｔｇよりも高いガラスを用い
て上記の方法でＭＩＧヘッドを製造してみたところ、割
れ，腐食による変色の発生は抑えられるものの、ギャッ
プが開いてしまい、再生出力が得られないといった不都
合が生じた。Further, as a fused glass, a glass working point Tw
When a MIG head was manufactured by using the above-mentioned method using a glass having a glass transition temperature Tg higher than that of the glass film, the generation of cracking and discoloration due to corrosion was suppressed, but a gap was opened and reproduction output was obtained. There was an inconvenience that it was not possible.

【００３０】なお、ギャップ接合と融着ガラスの溶融充
填を同時に行うようにすれば、融着ガラスとしてガラス
作業点Ｔｗが６００℃程度の比較的信頼性の高いガラス
を使用することが可能であるが、このようにしてＭＩＧ
ヘッドを製造すると、ギャップ接合のための加圧により
磁性フェライト材の透磁率の劣化が生じ、ヘッド再生出
力が低下してしまう。If the gap bonding and the melt filling of the fused glass are performed at the same time, it is possible to use a relatively reliable glass having a glass working point Tw of about 600 ° C. as the fused glass. But in this way MIG
When the head is manufactured, the magnetic permeability of the magnetic ferrite material deteriorates due to the pressure applied for gap bonding, and the head reproduction output decreases.

【００３１】そこで本発明は、従来の実情に鑑みて提案
されたものであり、良好な再生出力を有し、信頼性も高
い磁気ヘッドを製造歩留り良好に製造することを可能と
する磁気ヘッドの製造方法を提供することを目的とす
る。Therefore, the present invention has been proposed in view of the conventional circumstances, and a magnetic head which has a good reproduction output and a high reliability can be manufactured with a good manufacturing yield. It is intended to provide a manufacturing method.

【００３２】[0032]

【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに本発明は、磁性フェライト材の対向面にトラック幅
規制溝を形成し、上記対向面上に強磁性金属膜を形成し
て、第１，第２の磁気コア半体を形成し、該第１，第２
の磁気コア半体のそれぞれの強磁性金属膜上にガラス膜
を形成し、上記第１，第２の磁気コア半体のガラス膜同
士を突き合わせた状態で、加圧しながらこれらガラス膜
同士を溶融接合させて磁気ギャップを形成すると同時
に、トラック幅規制溝間に形成される溝部に融着ガラス
を溶融充填して第１，第２の磁気コア半体を接合一体化
する磁気ヘッドの製造方法において、ガラス膜を形成す
るガラスのガラス転移点Ｔｇ₁ （℃）を融着ガラスのガ
ラス屈伏点Ｔｃ₂ （℃）よりも高くしておくとともに、
ガラス転移点Ｔｇ₁ （℃）よりも高温まで昇温した後に
冷却する際に、ガラス転移点Ｔｇ₁ （℃）よりも低い温
度下では加圧を零にすることを特徴とするものである。In order to achieve the above-mentioned object, the present invention forms a track width regulating groove on the facing surface of a magnetic ferrite material, and forms a ferromagnetic metal film on the facing surface, The first and second magnetic core halves are formed, and the first and second magnetic core halves are formed.
Glass films are formed on the respective ferromagnetic metal films of the magnetic core halves, and the glass films of the first and second magnetic core halves are butted against each other, and the glass films are melted while being pressed. A method of manufacturing a magnetic head in which a magnetic gap is formed by joining and at the same time, a groove portion formed between track width regulating grooves is melt-filled with fused glass to join and integrate the first and second magnetic core halves. The glass transition point Tg ₁ (° C.) of the glass forming the glass film is set higher than the glass deformation point Tc ₂ (° C.) of the fused glass, and
When the temperature is raised to a temperature higher than the glass transition point Tg ₁ (° C.) and then cooled, the pressurization is made zero at a temperature lower than the glass transition point Tg ₁ (° C.).

【００３３】なお、本発明の磁気ヘッドの製造方法にお
いては、第１，第２の磁気コア半体の強磁性金属膜が、
該第１，第２の磁気コア半体の対向面に磁気ギャップに
対して平行となるように形成されていても良い。In the method of manufacturing the magnetic head of the present invention, the ferromagnetic metal films of the first and second magnetic core halves are
It may be formed on the facing surfaces of the first and second magnetic core halves so as to be parallel to the magnetic gap.

【００３４】[0034]

【作用】本発明においては、第１，第２の磁気コア半体
の金属磁性膜上のガラス膜を形成するガラスのガラス転
移点Ｔｇ₁ （℃）を、第１，第２の磁気コア半体のトラ
ック幅規制溝間の溝部に溶融充填される融着ガラスのガ
ラス屈伏点Ｔｃ₂ （℃）よりも高くしておき、加圧しな
がら上記ガラス膜同士を溶融接合させると同時に融着ガ
ラスを溶融充填して一対の磁気コア半体を接合一体化す
るが、ガラス転移点Ｔｇ₁ （℃）よりも高温まで昇温し
た後に冷却する時に、ガラス膜のガラス転移点Ｔｇ₁
（℃）よりも低い温度下では加圧を零にするようにして
いる。従って、磁気コア半体を構成する磁性フェライト
材の透磁率の劣化が起こり難い。また、融着ガラスとし
て、そのガラス作業点Ｔｗ₂ が、ガラス膜を形成するガ
ラスのガラス軟化点Ｔｓ₁ と略同等である比較的信頼性
の高いガラスを使用することとなるため、製造される磁
気ヘッドの割れ，融着ガラスの腐食による変色の発生が
抑えられる。In the present invention, the glass transition point Tg ₁ (° C.) of the glass forming the glass film on the metal magnetic film of the first and second magnetic core halves is set to the first and second magnetic core halves. The temperature is set higher than the glass deformation point Tc ₂ (° C.) of the fused glass to be melt-filled in the groove portion between the track width regulation grooves of the body, and the glass films are melt-bonded to each other while pressurizing the fused glass. The pair of magnetic core halves are melt-filled and joined together, but when the temperature is raised to a temperature higher than the glass transition point Tg ₁ (° C.) and then cooled, the glass transition point Tg ₁ of the glass film.
The pressure is set to zero at a temperature lower than (° C). Therefore, the magnetic permeability of the magnetic ferrite material forming the magnetic core half body is unlikely to deteriorate. Moreover, since the glass working point Tw ₂ is a glass having a relatively high reliability, which is approximately the same as the glass softening point Ts ₁ of the glass forming the glass film, the fused glass is manufactured. The occurrence of discoloration due to cracking of the magnetic head and corrosion of the fused glass is suppressed.

【００３５】[0035]

【実施例】以下、本発明の好適な実施例について図面を
参照しながら詳細に説明する。なお、本実施例において
は、ＭＩＧヘッドを製造するものとする。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Preferred embodiments of the present invention will be described in detail below with reference to the drawings. In this example, the MIG head is manufactured.

【００３６】先ず、図１に示されるように、磁性フェラ
イト材よりなるブロック１を用意し、対向面１ａに研削
加工を行う。次に、図２に示されるように上記対向面１
ａに磁気コア半体の突き合わせ幅、すなわち後工程によ
って形成される磁気ギャップのトラック幅を規制するた
めのトラック幅規制溝２を機械加工により複数形成す
る。First, as shown in FIG. 1, a block 1 made of a magnetic ferrite material is prepared, and the facing surface 1a is ground. Next, as shown in FIG.
A plurality of track width regulating grooves 2 for regulating the abutting width of the magnetic core halves, that is, the track width of the magnetic gap formed in the subsequent step, is formed by machining in a.

【００３７】上記のようなブロック１としては、磁性フ
ェライト材の単結晶或いは多結晶、これらの接合材等が
挙げられる。なお、本実施例においては、単結晶の磁性
フェライト材を用いた。Examples of the block 1 as described above include a single crystal or a polycrystal of a magnetic ferrite material, and a bonding material of these. In this example, a single crystal magnetic ferrite material was used.

【００３８】次いで、図３に示すように、コイルを巻装
するための断面略台形形状の巻線溝３、断面略コ字状を
なすガラス溝４をトラック幅規制溝２と直交するように
機械加工によって形成し、ブロック１の対向面１ａにポ
リッシング等により鏡面加工を施す。この時、巻線溝３
の一方の側面３ａは、後工程で形成される磁気ギャップ
（フロントギャップ）の深さ（デプス）を規制すること
となるために傾斜面とする。なお、巻線溝３の他方の側
面３ｂは、傾斜面または垂直面のいずれでも良い。Next, as shown in FIG. 3, the winding groove 3 having a substantially trapezoidal cross section for winding the coil and the glass groove 4 having a substantially U-shaped cross section are arranged so as to be orthogonal to the track width regulating groove 2. It is formed by machining, and the facing surface 1a of the block 1 is mirror-finished by polishing or the like. At this time, winding groove 3
One side surface 3a is an inclined surface because it restricts the depth (depth) of a magnetic gap (front gap) formed in a later step. The other side surface 3b of the winding groove 3 may be an inclined surface or a vertical surface.

【００３９】そして、上記ブロック１を切断し、図４に
示すような一対のブロック半体（図中には一方のブロッ
ク半体５のみを示す。）を形成する。Then, the block 1 is cut to form a pair of block halves (only one block half 5 is shown in the figure) as shown in FIG.

【００４０】次いで、図５に示すようにトラック幅規制
溝２，巻線溝３，ガラス溝４の形成された上記ブロック
半体５の対向面５ａに、強磁性金属膜６をスパッタリン
グ法，蒸着法等により形成する。この際、強磁性金属膜
６とブロック半体５の付着力を向上させるために、これ
らの間に下地層を介在させても良い。Then, as shown in FIG. 5, a ferromagnetic metal film 6 is formed on the facing surface 5a of the block half body 5 having the track width regulating groove 2, winding groove 3 and glass groove 4 formed thereon by sputtering and vapor deposition. It is formed by the method. At this time, in order to improve the adhesive force between the ferromagnetic metal film 6 and the block half body 5, an underlayer may be interposed therebetween.

【００４１】上記強磁性金属膜６としては、センダスト
（Ｆｅ−Ａｌ−Ｓｉ）及びＦｅ−Ａｌ−Ｓｉ−Ｔｉ，Ｆ
ｅ−Ｒｕ−Ｇａ−Ｓｉ等の結晶質磁性金属膜、或いはＦ
ｅ系，Ｃｏ系の微結晶磁性金属膜が挙げられ、これらの
合金膜，積層膜を用いても良い。また、下地層として
は、ＳｉＯ₂ ，Ｔａ₂ Ｏ₅ 等の酸化物膜、Ｓｉ₃ Ｎ₄ 等
の窒化物膜、Ｃｒ，Ａｌ，Ｐｔ等の金属膜が挙げられ、
これらの積層膜を用いても良い。なお、本実施例におい
ては、強磁性金属膜６としてＦｅ−Ｒｕ−Ｇａ−Ｓｉ膜
を形成し、下地層としてＳｉＯ₂ 膜を形成した。As the ferromagnetic metal film 6, sendust (Fe-Al-Si) and Fe-Al-Si-Ti, F are used.
Crystalline magnetic metal film such as e-Ru-Ga-Si, or F
Examples include e-based and Co-based microcrystalline magnetic metal films, and alloy films or laminated films of these may be used. Examples of the underlayer include oxide films such as SiO ₂ and Ta ₂ O ₅ , nitride films such as Si ₃ N ₄ and metal films such as Cr, Al and Pt,
You may use these laminated films. In the present embodiment, the Fe-Ru-Ga-Si film was formed as the ferromagnetic metal film 6 was formed an SiO ₂ film as an underlying layer.

【００４２】次に、図６に示すように、強磁性金属膜６
の上にガラス膜７をスパッタリング法，蒸着法等の手法
により形成し、磁気コア半体ブロック８を形成する。こ
のとき、強磁性金属膜６とガラス膜７の付着力を向上さ
せるために、ＳｉＯ₂ ，Ａｌ₂ Ｏ₃ ，Ｔａ₂ Ｏ₅ ，Ｃｒ
₂ Ｏ₃ ，ＺｒＯ₂ 等の酸化物膜、Ｃｒ等の金属膜よりな
る図示しない下地膜を形成しても良い。Next, as shown in FIG. 6, the ferromagnetic metal film 6 is formed.
A glass film 7 is formed thereon by a method such as a sputtering method or a vapor deposition method to form a magnetic core half block 8. At this time, in order to improve the adhesive force between the ferromagnetic metal film 6 and the glass film 7, SiO ₂ , Al ₂ O ₃ , Ta ₂ O ₅ , and Cr are used.
_A base film (not shown) made of an oxide film such as ₂ O ₃ or ZrO ₂ or a metal film such as Cr may be formed.

【００４３】なお、本実施例においては、下地膜として
ＳｉＯ₂ 膜を形成し、その上にガラス転移点Ｔｇ₁ が５
００℃，ガラス屈服点Ｔｃ₁ が５３０℃，ガラス軟化点
Ｔｓ₁ が６００℃のガラスよりなるガラス膜７を形成し
た。In this embodiment, a SiO ₂ film is formed as a base film, and the glass transition point Tg ₁ is 5 on the SiO ₂ film.
A glass film 7 made of glass having a glass melting point Tc ₁ of 530 ° C. and a glass softening point Ts ₁ of 600 ° C. was formed.

【００４４】次に、図７に示すように、上記のようにし
て得られた磁気コア半体ブロック８とこれと同様に形成
される磁気コア半体ブロック９のそれぞれに形成される
トラック幅規制溝２同士、巻線溝３同士、ガラス溝４同
士の位置合わせを行う。なお、図７以降においては、各
磁気コア半体ブロック８，９に形成されている強磁性金
属膜６及びガラス膜７の図示は省略するが、磁気コア半
体ブロック８，９の位置合わせはこれらのガラス膜７同
士を突き合わせるようにして行う。Next, as shown in FIG. 7, the track width regulation is formed on each of the magnetic core half blocks 8 obtained as described above and the magnetic core half blocks 9 formed in the same manner. The grooves 2, the winding grooves 3, and the glass grooves 4 are aligned with each other. In FIG. 7 and subsequent figures, the ferromagnetic metal film 6 and the glass film 7 formed on the magnetic core half blocks 8 and 9 are not shown, but the magnetic core half blocks 8 and 9 are aligned with each other. These glass films 7 are abutted against each other.

【００４５】さらに、図７中に示すように、位置合わせ
された磁気コア半体ブロック８，９の巻線溝３間に形成
される溝部及びガラス溝４間に形成される溝部内に融着
ガラス１０，１１をそれぞれ配する。このとき、本実施
例の製造方法においては、融着ガラス１０，１１とし
て、そのガラス屈伏点Ｔｃ₂ （℃）がガラス膜７を形成
するガラスのガラス転移点Ｔｇ₁ （℃）よりも低いもの
を使用し、実際にはガラス転移点Ｔｇ₂ が４２０℃，ガ
ラス屈服点Ｔｃ₂ が４４０℃，ガラス作業点Ｔｗ₂ が６
００℃のガラスを使用した。なお、この融着ガラス１
０，１１の温度に対する粘度の変化を図８に示す。Further, as shown in FIG. 7, fusion is performed in the groove formed between the winding grooves 3 of the aligned magnetic core half blocks 8 and 9 and the groove formed between the glass grooves 4. Glasses 10 and 11 are arranged respectively. At this time, in the manufacturing method of this example, the glass melting points Tc ₂ (° C.) of the fused glasses 10 and 11 are lower than the glass transition point Tg ₁ (° C.) of the glass forming the glass film 7. The glass transition point Tg ₂ is 420 ° C., the glass yield point Tc ₂ is 440 ° C., and the glass working point Tw ₂ is 6
Glass at 00 ° C was used. In addition, this fused glass 1
The change in viscosity with respect to the temperatures of 0 and 11 is shown in FIG.

【００４６】そして、図７中矢印Ｐで示す方向で加圧し
ながら、ガラス膜７のガラス軟化点Ｔｓ₁ （６００℃）
まで昇温する。すると、一対の磁気コア半体ブロック
８，９のガラス膜７同士は溶融接合される。また、６０
０℃は融着ガラス１０，１１のガラス作業点Ｔｗ₂ でも
あり、該融着ガラス１０，１１は溶融充填するのに適し
た粘度を有する液体状となり、一対の磁気コア半体ブロ
ック８，９のトラック幅規制溝２間の溝部内へ溶融充填
されていく。なお、本実施例においては、加圧の圧力を
４０ＭＰａとした。Then, the glass softening point Ts ₁ (600 ° C.) of the glass film 7 is applied while applying pressure in the direction indicated by the arrow P in FIG.
Up to. Then, the glass films 7 of the pair of magnetic core half blocks 8 and 9 are fusion-bonded to each other. Also, 60
0 ° C. is also the glass working point Tw ₂ of the fused glass 10, 11, and the fused glass 10, 11 becomes a liquid having a viscosity suitable for melt filling, and a pair of magnetic core half blocks 8, 9 are formed. The groove portions between the track width regulating grooves 2 are melt-filled. In this example, the pressure applied was 40 MPa.

【００４７】続いて、冷却していくと、ガラス膜７は徐
々に固化していき、ガラス転移点Ｔｇ₁ （５００℃）に
達した時に完全に固化され、ギャップ接合がなされ、磁
気ギャップが形成される。そして、本実施例において
は、温度がガラス膜７のガラス転移点Ｔｇ₁ （５００
℃）よりも低くなったところで、上記の圧力を解放し、
零とした。なお、このように圧力を解放しても、ガラス
膜７は完全に固化しているため、ギャップ接合部分が開
いてしまうことはない。Then, as it is cooled, the glass film 7 gradually solidifies, and when it reaches the glass transition point Tg ₁ (500 ° C.), it is completely solidified, gap junction is made, and a magnetic gap is formed. To be done. In this embodiment, the glass transition temperature Tg ₁ (500
℃) lower, release the pressure above,
It was zero. Even if the pressure is released in this manner, the glass film 7 is completely solidified, so that the gap junction portion does not open.

【００４８】また、圧力を解放して零とすることにより
磁気コア半体ブロック８，９の磁性フェライト材に発生
していた歪も解放されて零となり、残留歪による磁性フ
ェライト材の透磁率の劣化は防止され、製造されるＭＩ
Ｇヘッドの再生出力は良好なものとなるものと思われ
る。Further, when the pressure is released to zero, the strain generated in the magnetic ferrite material of the magnetic core half blocks 8 and 9 is also released to zero, and the magnetic permeability of the magnetic ferrite material due to the residual strain is reduced. Deterioration prevented and manufactured MI
The reproduction output of the G head seems to be good.

【００４９】一方、融着ガラス１０，１１は、温度がガ
ラス膜７のガラス転移点Ｔｇ₁ （５００℃）となった時
点においては、まだ固化しておらず、粘性を有した液状
となっている。On the other hand, when the temperature reaches the glass transition point Tg ₁ (500 ° C.) of the glass film 7, the fused glasses 10 and 11 are not solidified yet and become a viscous liquid. There is.

【００５０】さらに続いて、冷却を行うと、融着ガラス
１０，１１も固化し、図９に示すように、磁気コア半体
ブロック８，９がギャップ接合されて磁気ギャップｇ₁
が形成されるとともに、トラック幅規制溝２間の溝部内
に融着ガラス１０が固化された状態で充填されて磁気コ
ア半体ブロック８，９が接合一体化され、磁気ヘッドブ
ロック１２が形成される。なお、このとき、磁気コア半
体ブロック８，９の巻線溝３間、ガラス溝４間の溝部に
も融着ガラス１０，１１がそれぞれ充填されている。Further, when it is further cooled, the fused glasses 10 and 11 are also solidified, and as shown in FIG. 9, the magnetic core half blocks 8 and 9 are gap-bonded to each other to form the magnetic gap g _1.
And the fused glass 10 is filled in the groove portion between the track width regulating grooves 2 in a solidified state, the magnetic core half blocks 8 and 9 are joined and integrated, and the magnetic head block 12 is formed. It At this time, the fused glass 10 and 11 are filled in the groove portions between the winding grooves 3 and the glass grooves 4 of the magnetic core half blocks 8 and 9, respectively.

【００５１】最後に、磁気コア半体ブロック８，９の巻
線溝３に相対向する位置に巻線補助溝を形成し、これら
の媒体対向面に円筒研削を施し、所定のアジマス角に傾
斜させ、当たり幅加工を行い、所定のチップ厚に切断し
て図１０に示すようなＭＩＧヘッドを完成する。Finally, a winding auxiliary groove is formed at a position facing the winding groove 3 of the magnetic core half blocks 8 and 9, and these medium facing surfaces are subjected to cylindrical grinding to be inclined at a predetermined azimuth angle. Then, the contact width is processed and cut into a predetermined chip thickness to complete the MIG head as shown in FIG.

【００５２】本実施例においては、上述のように、融着
ガラス１０，１１としてガラス作業点Ｔｗ₂ が６００℃
で、ガラス膜７を形成するガラスのガラス軟化点Ｔｓ₁
と略同等である比較的信頼性の高いガラスを使用してい
るため、上記切断工程においてヘッドの割れが発生し難
く、製造歩留りが向上するものと思われる。In this embodiment, as described above, the glass working point Tw ₂ of the fused glass 10, 11 is 600 ° C.
At the glass softening point Ts ₁ of the glass forming the glass film 7.
Since a relatively reliable glass that is substantially equivalent to the above is used, it is considered that cracking of the head is unlikely to occur in the cutting step and the manufacturing yield is improved.

【００５３】本実施例において製造されるＭＩＧヘッド
は、図１０中に示されるように、記録再生として機能す
る磁気ギャップ（フロントギャップ）ｇ₁ 及び磁気ギャ
ップ（バックギャップ）ｇ₂ を境として左右別々に形成
された一対の磁気コア半体１０１，１０２が磁気ギャッ
プ部を形成して突き合わされ接合一体化されたものであ
る。As shown in FIG. 10, the MIG head manufactured in this embodiment has a magnetic gap (front gap) g ₁ and a magnetic gap (back gap) g ₂ which function as recording / reproducing as a boundary. A pair of magnetic core halves 101 and 102 formed in the above are formed into a magnetic gap portion, but are butted and joined together.

【００５４】上記磁気コア半体１０１，１０２は酸化物
磁性材料である磁性フェライト材１０８，１０９と強磁
性金属膜１１０，１１１によって構成されており、磁気
コア半体１０１，１０２の対向面は強磁性金属膜１１
０，１１１によって構成されている。従って、強磁性金
属膜１１０，１１１の突き合わせ面間にフロントギャッ
プｇ₁ 及びバックギャップｇ₂ が形成されることとな
り、上記強磁性金属膜１１０，１１１はフロントギャッ
プｇ₁ に対して平行となる。なお、上記強磁性金属膜１
１０，１１１の突き合わせ面上には図示しないガラス膜
が形成されており、これらガラス膜によりフロントギャ
ップｇ₁ 及びバックギャップｇ₂ が形成されるととも
に、突き合わせ面間が溶融接合されている。The magnetic core halves 101 and 102 are composed of magnetic ferrite materials 108 and 109, which are oxide magnetic materials, and ferromagnetic metal films 110 and 111. The opposing surfaces of the magnetic core halves 101 and 102 are strong. Magnetic metal film 11
It is composed of 0,111. Therefore, the front gap g ₁ and the back gap g ₂ are formed between the abutting surfaces of the ferromagnetic metal films 110 and 111, and the ferromagnetic metal films 110 and 111 are parallel to the front gap g ₁ . The ferromagnetic metal film 1
A glass film (not shown) is formed on the abutting faces of 10, 111, and the front gap g ₁ and the back gap g ₂ are formed by these glass films, and the abutting faces are fusion-bonded to each other.

【００５５】また、上記磁気コア半体１０１，１０２の
対向面には、フロントギャップｇ₁及びバックギャップ
ｇ₂ のトラック幅を規制するためのトラック幅規制溝１
０３，１０４が設けられている。Further, on the opposing surfaces of the magnetic core halves 101 and 102, the track width regulating groove 1 for regulating the track widths of the front gap g ₁ and the back gap g ₂ is formed.
03 and 104 are provided.

【００５６】そして、上記トラック幅規制溝１０３，１
０４間の溝部には融着ガラス１０５が溶融充填されてお
り、磁気コア半体１０１，１０２を接合一体化してい
る。Then, the track width regulating grooves 103, 1
Fused glass 105 is melt-filled in the groove portion between 04, and the magnetic core halves 101 and 102 are joined and integrated.

【００５７】さらに、磁気コア半体１０１，１０２の対
向面側にはコイル巻装用の巻線溝１０６，１０７が設け
られており、これら巻線溝１０６，１０７を通して図示
しないコイルが巻装される。Further, winding grooves 106 and 107 for winding the coil are provided on the facing surfaces of the magnetic core halves 101 and 102, and a coil (not shown) is wound through the winding grooves 106 and 107. .

【００５８】また、上記巻線溝１０６，１０７に相対向
する位置には巻線補助溝１１２，１１３が設けられ、媒
体対向面には当たり幅を規制する段差加工が施されてい
る。Winding auxiliary grooves 112 and 113 are provided at positions opposite to the winding grooves 106 and 107, and the medium facing surface is stepped so as to limit the contact width.

【００５９】このような本実施例において製造されるＭ
ＩＧヘッドにおいては、融着ガラス１０５として比較的
信頼性の高いものを使用しているため、耐候性が良好で
あり、上記融着ガラスの腐食による変色等が発生しにく
く、信頼性が良好なものとなると思われる。M produced in this embodiment
In the IG head, since the fused glass 105 having relatively high reliability is used, the weather resistance is good, and discoloration due to the corrosion of the fused glass hardly occurs, and the reliability is good. It seems to be a thing.

【００６０】次に、本実施例の効果を確認すべく、以下
のような実験を行った。すなわち、本実施例において製
造したＭＩＧヘッドの他に、表１に示すような４種類の
ガラスを使用してＭＩＧヘッドを製造し、各ＭＩＧヘッ
ドのヘッド出力，ヘッドの割れの発生率を評価し、また
高温多湿下に放置した後のＭＩＧヘッドの様子を観察し
た。Next, in order to confirm the effect of this embodiment, the following experiment was conducted. That is, in addition to the MIG head manufactured in this example, four types of glass as shown in Table 1 were used to manufacture MIG heads, and the head output of each MIG head and the occurrence rate of head cracks were evaluated. Also, the state of the MIG head after being left under high temperature and high humidity was observed.

【００６１】[0061]

【表１】 [Table 1]

【００６２】なお、高温多湿下に放置した後のＭＩＧヘ
ッドの様子は、各ＭＩＧヘッドを温度６０℃，湿度９０
％の環境下に１００時間放置した後に観察した。The state of the MIG heads after being left under high temperature and high humidity is as follows.
% Environment and left for 100 hours, then observed.

【００６３】上述の実施例で製造されたＭＩＧヘッドを
実施サンプルとした。なお、上記実施サンプルにおいて
は、ガラス膜を構成するガラスとして表１中のガラスＡ
を使用し、融着ガラスとして表１中のガラスＢを使用し
ている。The MIG head manufactured in the above-mentioned embodiment was used as a working sample. In the above-mentioned practical samples, the glass A in Table 1 was used as the glass constituting the glass film.
And the glass B in Table 1 is used as the fused glass.

【００６４】また、比較のために実施サンプルと同様に
ガラス膜を構成するガラスとしてガラスＡを使用し、融
着ガラスとしてガラスＢを使用し、ギャップ接合と融着
ガラス溶融充填を同時に行って製造したＭＩＧヘッドを
比較サンプル１とした。ただし、ギャップ接合と融着ガ
ラスの溶融充填の際の温度は６００℃とし、４０ＭＰａ
の加圧を施したままとした。For comparison, glass A was used as the glass constituting the glass film and glass B was used as the fused glass, and gap bonding and fused glass melt filling were performed at the same time. The MIG head was used as Comparative Sample 1. However, the temperature at the time of gap bonding and melt filling of the fused glass is 600 ° C., and 40 MPa.
The pressure was kept applied.

【００６５】さらに、比較のためにガラス膜を構成する
ガラスとしてガラスＡを使用し、融着ガラスとしてガラ
スＤを使用し、ギャップ接合と融着ガラスの溶融充填を
分けて行って製造したＭＩＧヘッドを比較サンプル２と
した。なお、このとき、ギャップ接合は６００℃の温度
下で４０ＭＰａの加圧を施して行い、融着ガラスの溶融
充填は５００℃の温度下で加圧せずに行った。Further, for comparison, glass A was used as the glass constituting the glass film, glass D was used as the fusion glass, and the gap bonding and the fusion filling of the fusion glass were separately performed to manufacture the MIG head. Was designated as Comparative Sample 2. At this time, the gap bonding was performed under a pressure of 40 MPa at a temperature of 600 ° C., and the fused glass was melt-filled at a temperature of 500 ° C. without applying pressure.

【００６６】さらにまた、比較のためにガラス膜を構成
するガラスとしてガラスＡを使用し、融着ガラスとして
ガラスＣを使用し、ギャップ接合と融着ガラスの溶融充
填を分けて行って製造したＭＩＧヘッドを比較サンプル
３とした。なお、このとき、ギャップ接合は６００℃の
温度下で４０ＭＰａの加圧を施して行い、融着ガラスの
溶融充填は５５０℃の温度下で加圧せずに行った。Further, for comparison, MIG manufactured by using glass A as the glass constituting the glass film and glass C as the fused glass, and performing gap bonding and melt filling of the fused glass separately. The head was a comparative sample 3. At this time, the gap bonding was performed under a pressure of 40 MPa at a temperature of 600 ° C., and the melt filling of the fused glass was performed at a temperature of 550 ° C. without applying pressure.

【００６７】各ＭＩＧヘッドの結果を表２に示す。The results of each MIG head are shown in Table 2.

【００６８】[0068]

【表２】 [Table 2]

【００６９】表２の結果から明らかなように、ガラス膜
を形成するガラスのガラス転移点Ｔｇ₁ （℃）を、融着
ガラスのガラス屈伏点Ｔｃ₂ （℃）よりも高くしてお
き、加圧しながらガラス膜同士を溶融接合させてギャッ
プ接合を行うと同時に融着ガラスを溶融充填して一対の
磁気コア半体ブロックを接合一体化する際に、ガラス転
移点Ｔｇ₁ （℃）よりも高温まで昇温した後に冷却し、
ガラス膜のガラス転移点Ｔｇ₁ （℃）よりも低い温度下
では加圧を零としている実施サンプルにおいては、磁気
コア半体を構成する磁性フェライト材の透磁率の劣化が
起こり難く、再生出力が良好なものとなっている。ま
た、実施サンプルにおいては、融着ガラスとして、その
ガラス作業点Ｔｗ₂ が、ガラス膜を形成するガラスのガ
ラス軟化点Ｔｓ₁ と略同等である比較的信頼性の高いガ
ラスを使用しているため、製造時のヘッド割れが発生し
にくく、製造歩留りが向上し、高温多湿下での融着ガラ
スの腐食による変色の発生も抑えられ、信頼性が良好な
ものとなる。As is clear from the results in Table 2, the glass transition point Tg ₁ (° C.) of the glass forming the glass film is set higher than the glass deformation point Tc ₂ (° C.) of the fused glass, and A temperature higher than the glass transition point Tg ₁ (° C.) when the glass films are melt-bonded to each other under pressure and gap bonding is performed, and at the same time, the fused glass is melt-filled to integrally bond the pair of magnetic core half blocks. After heating up to, cool down,
In the practical sample in which the pressurization is zero at a temperature lower than the glass transition point Tg ₁ (° C.) of the glass film, the magnetic ferrite of the magnetic core half body is less likely to deteriorate in magnetic permeability, and the reproduction output is It is good. Further, in the practical sample, since the glass working point Tw ₂ is a glass having a relatively high reliability, which is approximately the same as the glass softening point Ts ₁ of the glass forming the glass film, is used as the fused glass. Further, head cracks are less likely to occur during manufacturing, the manufacturing yield is improved, and the occurrence of discoloration due to corrosion of the fused glass under high temperature and high humidity is suppressed, resulting in good reliability.

【００７０】一方、ギャップ接合と融着ガラスの溶融充
填を加圧を施したままで同時に行った比較サンプル１に
おいては、磁性フェライト材の透磁率の劣化が起こるた
め、再生出力が良好なものとならない。また、ギャップ
接合と融着ガラスの溶融充填を分けて行う比較サンプル
２，３においては、融着ガラスとしてガラス作業点の低
いものを使用せざるを得ないことから、ヘッド割れや融
着ガラスの腐食による変色が発生し易く、製造歩留りの
低下や信頼性の低下といった問題が生じている。On the other hand, in Comparative Sample 1 in which the gap bonding and the melt filling of the fused glass were simultaneously performed with the pressure applied, the magnetic ferrite material had a deteriorated magnetic permeability, so that the reproduction output was good. I won't. Further, in Comparative Samples 2 and 3 in which the gap bonding and the melt filling of the fused glass are performed separately, it is unavoidable to use one having a low glass working point as the fused glass. Discoloration due to corrosion is likely to occur, which causes problems such as a decrease in manufacturing yield and a decrease in reliability.

【００７１】なお、本発明の磁気ヘッドの製造方法は、
以下のような磁気ヘッドの製造にも適用可能である。The method of manufacturing the magnetic head of the present invention is
It is also applicable to the manufacture of the following magnetic heads.

【００７２】例えば、図１１に示すような、磁性フェラ
イト材１２３，１２４の対向面に強磁性金属膜１２５，
１２６が形成されてなる第１，第２の磁気コア半体１２
１，１２２が磁気ギャップｇ₃ を形成して接合一体化さ
れ、上記強磁性金属膜１２５，１２６が磁気ギャップｇ
₃ に対して斜交して略一直線状に連なるように形成され
ている磁気ヘッドの製造においても適用可能である。For example, as shown in FIG. 11, the ferromagnetic metal films 125,
First and second magnetic core halves 12 having 126 formed
1, 122 form a magnetic gap g ₃ and are joined and integrated, and the ferromagnetic metal films 125, 126 have a magnetic gap g 3.
_It can also be applied to the manufacture of a magnetic head that is formed so as to be oblique to ₃ and be continuous in a substantially straight line.

【００７３】また、図１２に示すような、強磁性金属膜
１３３を一対の磁性フェライト材１３５ａ，１３５ｂに
より膜厚方向から挟み込んでなる第１の磁気コア半体１
３１と、同様に強磁性金属膜１３４を一対の磁性フェラ
イト材１３６ａ，１３６ｂにより膜厚方向から挟み込ん
でなる第２の磁気コア半体１３２が磁気ギャップｇ₄を
形成して接合一体化され、上記強磁性金属膜１３３，１
３４が磁気ギャップｇ₄ に対して直交して略一直線状に
連なるように形成されている磁気ヘッドの製造において
も適用可能である。Further, as shown in FIG. 12, the first magnetic core half body 1 in which the ferromagnetic metal film 133 is sandwiched by the pair of magnetic ferrite materials 135a and 135b from the film thickness direction.
31, similarly the ferromagnetic metal film 134 a pair of magnetic ferrite material 136a, 136 b second magnetic core halves 132 Naru sandwich film thickness direction are integrally joined to form a magnetic gap g ₄ by, the Ferromagnetic metal film 133,1
The present invention is also applicable to the manufacture of a magnetic head in which 34 is formed so as to be orthogonal to the magnetic gap g ₄ and continuous in a substantially straight line.

【００７４】[0074]

【発明の効果】以上の説明からも明らかなように、本発
明は、磁性フェライト材の対向面にトラック幅規制溝を
形成し、上記対向面上に強磁性金属膜を形成して、第
１，第２の磁気コア半体を形成し、該第１，第２の磁気
コア半体のそれぞれの強磁性金属膜上にガラス膜を形成
し、上記第１，第２の磁気コア半体のガラス膜同士を突
き合わせた状態で、加圧しながらこれらガラス膜同士を
溶融接合させて磁気ギャップを形成すると同時に、トラ
ック幅規制溝間に形成される溝部に融着ガラスを溶融充
填して第１，第２の磁気コア半体を接合一体化する磁気
ヘッドの製造方法において、ガラス膜を形成するガラス
のガラス転移点Ｔｇ₁ （℃）を融着ガラスのガラス屈伏
点Ｔｃ₂ （℃）よりも高くしておくとともに、ガラス転
移点Ｔｇ₁ （℃）よりも高温まで昇温した後に冷却する
際に、ガラス転移点Ｔｇ₁ （℃）よりも低い温度下では
加圧を零にするようにしている。As is apparent from the above description, according to the present invention, the track width regulating groove is formed on the facing surface of the magnetic ferrite material, and the ferromagnetic metal film is formed on the facing surface. , A second magnetic core half is formed, and a glass film is formed on each of the ferromagnetic metal films of the first and second magnetic core halves. In a state where the glass films are butted against each other, these glass films are melt-bonded to each other while being pressed to form a magnetic gap, and at the same time, a groove portion formed between the track width regulating grooves is melt-filled with a fused glass to form a first gap. In the method of manufacturing a magnetic head in which the second magnetic core halves are joined and integrated, the glass transition point Tg ₁ (° C.) of the glass forming the glass film is higher than the glass deformation point Tc ₂ (° C.) of the fused glass. along with the keep, the glass transition point Tg ₁ (℃) Even when cooled after heating to a high temperature, in a temperature lower than the glass transition point Tg ₁ (° C.) so that to zero pressure.

【００７５】従って、磁気コア半体を構成する磁性フェ
ライト材の透磁率の劣化が起こり難く、製造される磁気
ヘッドの再生出力は良好なものとなる。また、融着ガラ
スとして、そのガラス作業点Ｔｗ₂ が、ガラス膜を形成
するガラスのガラス軟化点Ｔｓ₁ と略同等である比較的
信頼性の高いガラスを使用することとなるため、製造さ
れる磁気ヘッドの割れが抑えられ、製造歩留りが向上す
る。さらには、融着ガラスとして比較的信頼性の高いも
のを使用することとなるため、製造される磁気ヘッドの
融着ガラスの腐食による変色の発生も抑えられ、信頼性
も高いものとなる。Therefore, the magnetic permeability of the magnetic ferrite material constituting the magnetic core half body is unlikely to deteriorate, and the reproduction output of the manufactured magnetic head becomes good. Moreover, since the glass working point Tw ₂ is a glass having a relatively high reliability, which is approximately the same as the glass softening point Ts ₁ of the glass forming the glass film, the fused glass is manufactured. The cracking of the magnetic head is suppressed, and the manufacturing yield is improved. Further, since the fused glass having relatively high reliability is used, the occurrence of discoloration due to corrosion of the fused glass of the magnetic head to be manufactured is suppressed, and the reliability is also high.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】本発明を適用した磁気ヘッドの製造方法を工程
順に示すもので、ブロックに研削加工を行う工程を示す
斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing a method of manufacturing a magnetic head to which the present invention is applied, in the order of steps, showing steps of grinding a block.

【図２】本発明を適用した磁気ヘッドの製造方法を工程
順に示すもので、ブロックにトラック幅規制溝を形成す
る工程を示す斜視図である。FIG. 2 is a perspective view showing a method of manufacturing a magnetic head to which the present invention is applied, in the order of steps, showing a step of forming a track width regulating groove in a block.

【図３】本発明を適用した磁気ヘッドの製造方法を工程
順に示すもので、ブロックに巻線溝，ガラス溝を形成す
る工程を示す斜視図である。FIG. 3 is a perspective view showing a method of manufacturing a magnetic head to which the present invention is applied in the order of steps, showing steps of forming a winding groove and a glass groove in a block.

【図４】本発明を適用した磁気ヘッドの製造方法を工程
順に示すもので、ブロックを切断して形成したブロック
半体を示す斜視図である。FIG. 4 is a perspective view showing a block half formed by cutting a block, showing a method of manufacturing a magnetic head to which the present invention is applied in order of steps.

【図５】本発明を適用した磁気ヘッドの製造方法を工程
順に示すもので、ブロック半体に強磁性金属膜を形成す
る工程を示す斜視図である。FIG. 5 is a perspective view showing a method of manufacturing a magnetic head to which the present invention is applied, in the order of steps, showing a step of forming a ferromagnetic metal film on a block half body.

【図６】本発明を適用した磁気ヘッドの製造方法を工程
順に示すもので、強磁性金属膜上にガラス膜を形成する
工程を示す模式図である。FIG. 6 shows a method of manufacturing a magnetic head to which the present invention is applied in the order of steps, and is a schematic view showing a step of forming a glass film on a ferromagnetic metal film.

【図７】本発明を適用した磁気ヘッドの製造方法を工程
順に示すもので、一対の磁気コア半体ブロックの位置合
わせを行い、融着ガラスを配する工程を示す斜視図であ
る。FIG. 7 is a perspective view showing a method of manufacturing a magnetic head to which the present invention is applied in the order of steps, showing a step of aligning a pair of magnetic core half blocks and disposing a fused glass.

【図８】融着ガラスの温度に対する粘度の変化を示す特
性図である。FIG. 8 is a characteristic diagram showing a change in viscosity of fused glass with temperature.

【図９】本発明を適用した磁気ヘッドの製造方法を工程
順に示すもので、一対の磁気コア半体ブロックを接合一
体化して磁気ヘッドブロックを形成する工程を示す斜視
図である。FIG. 9 is a perspective view showing a method of manufacturing a magnetic head to which the present invention is applied, in the order of steps, and showing a step of forming a magnetic head block by joining and integrating a pair of magnetic core half blocks.

【図１０】ＭＩＧヘッドの一例を示す斜視図である。FIG. 10 is a perspective view showing an example of an MIG head.

【図１１】磁気ヘッドの一例を示す斜視図である。FIG. 11 is a perspective view showing an example of a magnetic head.

【図１２】磁気ヘッドの他の例を示す斜視図である。FIG. 12 is a perspective view showing another example of the magnetic head.

【図１３】磁性フェライト材と強磁性金属膜の温度に対
する熱膨張率の変化を示す特性図である。FIG. 13 is a characteristic diagram showing changes in coefficient of thermal expansion with temperature of a magnetic ferrite material and a ferromagnetic metal film.

【図１４】ＭＩＧヘッドに発生するヒビを示す模式図で
ある。FIG. 14 is a schematic diagram showing a crack generated in the MIG head.

【図１５】ガラスの伸びを示す模式図である。FIG. 15 is a schematic view showing elongation of glass.

【図１６】ガラスの熱膨張曲線を示す特性図である。FIG. 16 is a characteristic diagram showing a thermal expansion curve of glass.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１ ブロック １ａ，５ａ 対向面 ２，１０３，１０４ トラック幅規制溝 ５ ブロック半体 ６，１１０，１１１ 強磁性金属膜 ７ ガラス膜 ８，９ 磁気コア半体ブロック １０，１１，１０５ 融着ガラス １２ 磁気ヘッドブロック １０１，１０２ 磁気コア半体 １０８，１０９ 磁性フェライト材 ｇ₁ ，ｇ₂ 磁気ギャップ1 Block 1a, 5a Opposing Surfaces 2, 103, 104 Track Width Regulating Groove 5 Block Half 6, 110, 111 Ferromagnetic Metal Film 7 Glass Film 8, 9 Magnetic Core Half Block 10, 11, 105 Fused Glass 12 Magnetic Head blocks 101, 102 Magnetic core halves 108, 109 Magnetic ferrite materials g ₁ , g ₂ Magnetic gap

フロントページの続き (72)発明者 本多 順一 東京都品川区北品川６丁目７番35号 ソ ニー株式会社内 (56)参考文献 特開 平６−122566（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−353606（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−61212（ＪＰ，Ａ) 特開 昭54−130009（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G11B 5/127 - 5/255 Continuation of front page (72) Inventor Junichi Honda 6-735 Kitashinagawa, Shinagawa-ku, Tokyo Within Sony Corporation (56) Reference JP-A-6-122566 (JP, A) JP-A-4- 353606 (JP, A) JP 61-61212 (JP, A) JP 54-130009 (JP, A) (58) Fields investigated (Int.Cl. ⁷ , DB name) G11B 5/127-5 / 255

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項１】 磁性フェライト材の対向面にトラック幅
規制溝を形成し、上記対向面上に強磁性金属膜を形成し
て、第１，第２の磁気コア半体を形成し、 該第１，第２の磁気コア半体のそれぞれの強磁性金属膜
上にガラス膜を形成し、 上記第１，第２の磁気コア半体のガラス膜同士を突き合
わせた状態で、加圧しながらこれらガラス膜同士を溶融
接合させて磁気ギャップを形成すると同時に、トラック
幅規制溝間に形成される溝部に融着ガラスを溶融充填し
て第１，第２の磁気コア半体を接合一体化する磁気ヘッ
ドの製造方法において、 ガラス膜を形成するガラスのガラス転移点Ｔｇ₁ （℃）
を融着ガラスのガラス屈伏点Ｔｃ₂ （℃）よりも高くし
ておくとともに、ガラス転移点Ｔｇ₁ （℃）よりも高温
まで昇温した後に冷却する際に、ガラス転移点Ｔｇ₁
（℃）よりも低い温度下では加圧を零にすることを特徴
とする磁気ヘッドの製造方法。1. A track width regulating groove is formed on an opposing surface of a magnetic ferrite material, and a ferromagnetic metal film is formed on the opposing surface to form first and second magnetic core halves. A glass film is formed on each of the ferromagnetic metal films of the first and second magnetic core halves, and the glass films of the first and second magnetic core halves are butted against each other while being pressed. A magnetic head in which the first and second magnetic core halves are joined and integrated by melt-bonding the films to form a magnetic gap and at the same time melt-filling the fused glass into the groove formed between the track width regulating grooves. Glass transition temperature Tg ₁ (° C.) of the glass forming the glass film
Is higher than the glass deformation point Tc ₂ (° C.) of the fused glass, and when the temperature is raised to a temperature higher than the glass transition point Tg ₁ (° C.) and then cooled, the glass transition point Tg ₁
A method of manufacturing a magnetic head, characterized in that the pressure is made zero at a temperature lower than (° C.). 【請求項２】 第１，第２の磁気コア半体の強磁性金属
膜が、該第１，第２の磁気コア半体の対向面に磁気ギャ
ップに対して平行となるように形成されていることを特
徴とする請求項１記載の磁気ヘッドの製造方法。2. The ferromagnetic metal films of the first and second magnetic core halves are formed on the facing surfaces of the first and second magnetic core halves so as to be parallel to the magnetic gap. The method of manufacturing a magnetic head according to claim 1, wherein