JP3374550B2 - 光波長計 - Google Patents
光波長計Info
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- JP3374550B2 JP3374550B2 JP26174594A JP26174594A JP3374550B2 JP 3374550 B2 JP3374550 B2 JP 3374550B2 JP 26174594 A JP26174594 A JP 26174594A JP 26174594 A JP26174594 A JP 26174594A JP 3374550 B2 JP3374550 B2 JP 3374550B2
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は光波長計についてのも
のであり、特に、被測定光の波長を干渉計を用いて測定
する光波長計についてのものである。
のであり、特に、被測定光の波長を干渉計を用いて測定
する光波長計についてのものである。
【0002】
【従来の技術】つぎに、従来技術による光波長計の構成
を図3に示す。また図3の波形図を図4に示す。図4の
縦軸は電流、横軸は移動ステージの移動距離を示す。図
4の符号は図3の同一符号に対応する。
を図3に示す。また図3の波形図を図4に示す。図4の
縦軸は電流、横軸は移動ステージの移動距離を示す。図
4の符号は図3の同一符号に対応する。
【0003】図3の1は基準光源、2はビームスプリッ
タ、3は固定鏡、4は移動鏡、5はλ/8位相差板、6
は線形移動機構、7は偏光ビームスプリッタ、8〜10
は受光器、11〜13はコンパレート部、14・15は
インバータ、16・17・22〜24はカウント部、1
9は演算部、20は表示部、21被測定光源である。
タ、3は固定鏡、4は移動鏡、5はλ/8位相差板、6
は線形移動機構、7は偏光ビームスプリッタ、8〜10
は受光器、11〜13はコンパレート部、14・15は
インバータ、16・17・22〜24はカウント部、1
9は演算部、20は表示部、21被測定光源である。
【0004】図3で、基準光源1から出力された波長が
既知であり任意の直線偏光を有する基準光25は、ビー
ムスプリッタ2により反射光25aと通過光25bに二
分岐される。このうち、反射光25aは、λ/8位相差
板5により垂直波成分の位相がλ/8だけ遅らされた後
に固定鏡3で反射され、また再びλ/8位相差板5によ
って垂直波成分の位相がλ/8だけ遅らされ、ビームス
プリッタ1に入射される。
既知であり任意の直線偏光を有する基準光25は、ビー
ムスプリッタ2により反射光25aと通過光25bに二
分岐される。このうち、反射光25aは、λ/8位相差
板5により垂直波成分の位相がλ/8だけ遅らされた後
に固定鏡3で反射され、また再びλ/8位相差板5によ
って垂直波成分の位相がλ/8だけ遅らされ、ビームス
プリッタ1に入射される。
【0005】通過光25bは移動鏡4により反射され、
ビームスプリッタ2内で反射光25aと合波されて、水
平方向偏波の干渉縞26aと水平方向偏波とは位相が9
0゜遅れた垂直方向偏波の干渉縞26bとなり、偏光ビ
ームスプリッタ7に入射される。
ビームスプリッタ2内で反射光25aと合波されて、水
平方向偏波の干渉縞26aと水平方向偏波とは位相が9
0゜遅れた垂直方向偏波の干渉縞26bとなり、偏光ビ
ームスプリッタ7に入射される。
【0006】水平方向偏波の干渉縞26aは、偏光ビー
ムスプリッタ7により反射されて受光器8に入射され、
受光器8でアナログ信号27aに光電変換される。ま
た、垂直方向偏波の干渉縞26bは、偏光ビームスプリ
ッタ7を通過して受光器9に入射され、受光器9でアナ
ログ信号27bに光電変換される。同様に、被測定光源
21から出力された波長が未知である被測定光30は、
ビームスプリッタ2により反射光30aと通過光30b
に二分岐される。
ムスプリッタ7により反射されて受光器8に入射され、
受光器8でアナログ信号27aに光電変換される。ま
た、垂直方向偏波の干渉縞26bは、偏光ビームスプリ
ッタ7を通過して受光器9に入射され、受光器9でアナ
ログ信号27bに光電変換される。同様に、被測定光源
21から出力された波長が未知である被測定光30は、
ビームスプリッタ2により反射光30aと通過光30b
に二分岐される。
【0007】反射光30aは固定鏡3で反射され、ビー
ムスプリッタ2に入射される。また通過光30bは移動
鏡4により反射され、ビームスプリッタ2内で反射光3
0aと合波されて干渉縞31となり、受光器10に入射
される。受光器10に入射された干渉縞31は、アナロ
グ信号32に光電変換される。
ムスプリッタ2に入射される。また通過光30bは移動
鏡4により反射され、ビームスプリッタ2内で反射光3
0aと合波されて干渉縞31となり、受光器10に入射
される。受光器10に入射された干渉縞31は、アナロ
グ信号32に光電変換される。
【0008】ここで、移動鏡4は例えばステージとレー
ルで構成される線形移動機構6のステージに固定されて
いる。ステージがレール上を移動すると、アナログ信号
27aと27bと32は、干渉による周期的に繰り返す
光強度変化に対応したアナログ信号となる。ここで、ア
ナログ信号27a・27bとアナログ信号32の波長比
は、基準光25と被測定光30の波長比に相当する。
ルで構成される線形移動機構6のステージに固定されて
いる。ステージがレール上を移動すると、アナログ信号
27aと27bと32は、干渉による周期的に繰り返す
光強度変化に対応したアナログ信号となる。ここで、ア
ナログ信号27a・27bとアナログ信号32の波長比
は、基準光25と被測定光30の波長比に相当する。
【0009】アナログ信号27a・27bは、コンパレ
ート部11・12によりパルス信号28a・28bに変
換され、カウント部23・16に入力されるとともに、
インバータ14・15により位相が180゜反転された
29a・29bとなり、カウント部24・22に入力さ
れる。また、アナログ信号32は、コンパレート部13
によりパルス信号33に変換され、カウント部17に入
力される。
ート部11・12によりパルス信号28a・28bに変
換され、カウント部23・16に入力されるとともに、
インバータ14・15により位相が180゜反転された
29a・29bとなり、カウント部24・22に入力さ
れる。また、アナログ信号32は、コンパレート部13
によりパルス信号33に変換され、カウント部17に入
力される。
【0010】カウント部23・16・24・22は、基
準光のパルス信号28a・28b・29a・29bの波
形数を計数し、計数結果を演算部19に出力する。ま
た、カウント部17は、被測定光のパルス信号33の波
形数を計数し、計数結果を演算部19に出力する。
準光のパルス信号28a・28b・29a・29bの波
形数を計数し、計数結果を演算部19に出力する。ま
た、カウント部17は、被測定光のパルス信号33の波
形数を計数し、計数結果を演算部19に出力する。
【0011】演算部19は、カウント部23・16・2
4・22からの波形数と、カウント部17からの波形数
から、次の(a)・(b)式の演算を行い、被測定光3
0の波長を演算して求める。この演算結果は表示部20
に出力されて表示される。なお、Lは移動鏡の移動距離
×2、λ1 は被測定光30の波長、kはパルス信号33
の波形数、n1 、n2 、n3 、n4 は各々パルス信号2
8a28b29a29bの波形数、λ2 は基準光25の
波長である。
4・22からの波形数と、カウント部17からの波形数
から、次の(a)・(b)式の演算を行い、被測定光3
0の波長を演算して求める。この演算結果は表示部20
に出力されて表示される。なお、Lは移動鏡の移動距離
×2、λ1 は被測定光30の波長、kはパルス信号33
の波形数、n1 、n2 、n3 、n4 は各々パルス信号2
8a28b29a29bの波形数、λ2 は基準光25の
波長である。
【0012】
L =λ1 k=(n1 +n2 +n3 +n4 )×λ2 /4 …(a)
λ1 =(n1 +n2 +n3 +n4 )×λ2 /4/k …(b)
【0013】
【発明が解決しようとする課題】ところで、図3の従来
の光波長計では、測定確度を上げるために、基準光源の
干渉縞一周期を0゜、90゜、180゜、270゜に4
分割して波形数の計数を行っている。しかし、この構成
では、分割数と同じ数のカウント部が必要であり、この
ため回路規模大きくなる。実際の回路構成では、例え
ば、移動鏡の移動距離を100mmとして4分割した場
合、基準光の干渉縞波形を計数するカウンタだけで76
bit必要となってしまう。この発明は、回路規模が小
さく、しかも高確度な光波長計を提供することを目的と
する。
の光波長計では、測定確度を上げるために、基準光源の
干渉縞一周期を0゜、90゜、180゜、270゜に4
分割して波形数の計数を行っている。しかし、この構成
では、分割数と同じ数のカウント部が必要であり、この
ため回路規模大きくなる。実際の回路構成では、例え
ば、移動鏡の移動距離を100mmとして4分割した場
合、基準光の干渉縞波形を計数するカウンタだけで76
bit必要となってしまう。この発明は、回路規模が小
さく、しかも高確度な光波長計を提供することを目的と
する。
【0014】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、この発明は、基準光源からの基準光と被測定光を分
岐するビームスプリッタと、前記ビームスプリッタによ
り反射された基準光と被測定光をビームスプリッタに再
入力する固定鏡と、前記ビームスプリッタを通過した基
準光と被測定光をビームスプリッタに再入力する移動鏡
と、前記ビームスプリッタと前記固定鏡の間に配置され
基準光の垂直偏波成分の位相をλ/8だけ遅らせるλ/
8位相差板と、前記移動鏡を光軸方向に移動させる線形
移動機構と、前記ビームスピリッタにおいて基準光が干
渉する際に生じる干渉縞を水平方向偏波とこの水平方向
偏波とは位相が90゜異なる垂直方向偏波とに分離する
偏光ビームスプリッタと、前記干渉縞の水平方向偏波を
光電変換する第1の受光器と、前記干渉縞の垂直方向偏
波を光電変換する第2の受光器と、被測定光が干渉する
際に生じる干渉縞を光電変換する第3の受光器と、前記
第1〜第3の受光器からのアナログ信号をそれぞれパル
ス信号に変換する第1〜第3のコンパレート部と、前記
第1、第2のコンパレート部から出力されるパルス信号
の位相を180゜反転する第1、第2のインバータと、
前記第2、第3のコンパレート部から出力されるパルス
信号の波形数を計数する第1、第2のカウント部と、前
記第1、第2のコンパレート部と前記第1、第2のイン
バータから出力されるパルス信号から、前記第1、第2
のカウント部が波形数を計数し始める直前と計数終了直
前における前記第1のカウント部の計数値の端数を光路
長変化量λ/4を単位として検出する分割部と、前記第
1のカウント部からの波形数、前記第2のカウント部か
らの波形数、並びに前記分割部からの検出信号から測定
光源の波長を計算する演算部とを有してなることを特徴
とする。
め、この発明は、基準光源からの基準光と被測定光を分
岐するビームスプリッタと、前記ビームスプリッタによ
り反射された基準光と被測定光をビームスプリッタに再
入力する固定鏡と、前記ビームスプリッタを通過した基
準光と被測定光をビームスプリッタに再入力する移動鏡
と、前記ビームスプリッタと前記固定鏡の間に配置され
基準光の垂直偏波成分の位相をλ/8だけ遅らせるλ/
8位相差板と、前記移動鏡を光軸方向に移動させる線形
移動機構と、前記ビームスピリッタにおいて基準光が干
渉する際に生じる干渉縞を水平方向偏波とこの水平方向
偏波とは位相が90゜異なる垂直方向偏波とに分離する
偏光ビームスプリッタと、前記干渉縞の水平方向偏波を
光電変換する第1の受光器と、前記干渉縞の垂直方向偏
波を光電変換する第2の受光器と、被測定光が干渉する
際に生じる干渉縞を光電変換する第3の受光器と、前記
第1〜第3の受光器からのアナログ信号をそれぞれパル
ス信号に変換する第1〜第3のコンパレート部と、前記
第1、第2のコンパレート部から出力されるパルス信号
の位相を180゜反転する第1、第2のインバータと、
前記第2、第3のコンパレート部から出力されるパルス
信号の波形数を計数する第1、第2のカウント部と、前
記第1、第2のコンパレート部と前記第1、第2のイン
バータから出力されるパルス信号から、前記第1、第2
のカウント部が波形数を計数し始める直前と計数終了直
前における前記第1のカウント部の計数値の端数を光路
長変化量λ/4を単位として検出する分割部と、前記第
1のカウント部からの波形数、前記第2のカウント部か
らの波形数、並びに前記分割部からの検出信号から測定
光源の波長を計算する演算部とを有してなることを特徴
とする。
【0015】
【作用】この発明の光波長計は、基準光の干渉縞波形の
一周期を分割して波形数を計数する場合に、分割部によ
って、波形数を計数し始める直前と計数終了直前におけ
る第1のカウント部の計数値の端数を光路長変化量λ/
4を単位として検出し、これらに基づいて測定光源の波
長を計算する構成としたので、回路規模が小さく、しか
も高確度な光波長計が構成できる。
一周期を分割して波形数を計数する場合に、分割部によ
って、波形数を計数し始める直前と計数終了直前におけ
る第1のカウント部の計数値の端数を光路長変化量λ/
4を単位として検出し、これらに基づいて測定光源の波
長を計算する構成としたので、回路規模が小さく、しか
も高確度な光波長計が構成できる。
【0016】
【実施例】つぎに、この発明による光波長計の実施例の
構成を図1に示す。図1の光波長計は、基準光源1、ビ
ームスプリッタ2、固定鏡3、移動鏡4、λ/8位相差
板5、線形移動機構6、偏光ビームスプリッタ7、受光
器8〜10、コンパレート部11〜13、インバータ1
4・15、カウント部16・17、分割部18、演算部
19、表示部20、および被測定光源21から構成され
る。
構成を図1に示す。図1の光波長計は、基準光源1、ビ
ームスプリッタ2、固定鏡3、移動鏡4、λ/8位相差
板5、線形移動機構6、偏光ビームスプリッタ7、受光
器8〜10、コンパレート部11〜13、インバータ1
4・15、カウント部16・17、分割部18、演算部
19、表示部20、および被測定光源21から構成され
る。
【0017】図1で、基準光源1から出力された波長が
既知であり任意の直線偏光を有する基準光25は、ビー
ムスプリッタ2により反射光25aと通過光25bに二
分岐される。反射光25aは、λ/8位相差板5により
垂直波成分の位相がλ/8だけ遅らされた後固定鏡3で
反射され、再びλ/8位相差板5により垂直波成分の位
相がλ/8だけ遅らされてビームスプリッタ2に入射さ
れる。通過光25bは、移動鏡4により反射され、ビー
ムスプリッタ2内で前記反射光25aと合波されて水平
方向偏波の干渉縞26aと水平方向偏波とは位相が90
゜遅れた垂直方向偏波の干渉縞26bとなり、偏光ビー
ムスプリッタ7に入射される。
既知であり任意の直線偏光を有する基準光25は、ビー
ムスプリッタ2により反射光25aと通過光25bに二
分岐される。反射光25aは、λ/8位相差板5により
垂直波成分の位相がλ/8だけ遅らされた後固定鏡3で
反射され、再びλ/8位相差板5により垂直波成分の位
相がλ/8だけ遅らされてビームスプリッタ2に入射さ
れる。通過光25bは、移動鏡4により反射され、ビー
ムスプリッタ2内で前記反射光25aと合波されて水平
方向偏波の干渉縞26aと水平方向偏波とは位相が90
゜遅れた垂直方向偏波の干渉縞26bとなり、偏光ビー
ムスプリッタ7に入射される。
【0018】水平方向偏波の干渉縞26aは、偏光ビー
ムスプリッタ7により反射されて受光器8に入射され、
受光器8でアナログ信号27aに光電変換される。ま
た、垂直方向偏波の干渉縞26bは、偏光ビームスプリ
ッタ7を通過して受光器9に入射され、受光器9でアナ
ログ信号27bに光電変換される。同様に、被測定光源
21から出力された波長が未知である被測定光30は、
ビームスプリッタ2により反射光30aと通過光30b
に二分岐される。
ムスプリッタ7により反射されて受光器8に入射され、
受光器8でアナログ信号27aに光電変換される。ま
た、垂直方向偏波の干渉縞26bは、偏光ビームスプリ
ッタ7を通過して受光器9に入射され、受光器9でアナ
ログ信号27bに光電変換される。同様に、被測定光源
21から出力された波長が未知である被測定光30は、
ビームスプリッタ2により反射光30aと通過光30b
に二分岐される。
【0019】反射光30aは固定鏡3で反射され、ビー
ムスプリッタ2に入射される。通過光30bは移動鏡4
により反射され、ビームスプリッタ2内で前記反射光3
0aと合波されて干渉縞31となり、受光器10に入射
される。受光器10に入射された干渉縞31は、アナロ
グ信号32に光電変換される。
ムスプリッタ2に入射される。通過光30bは移動鏡4
により反射され、ビームスプリッタ2内で前記反射光3
0aと合波されて干渉縞31となり、受光器10に入射
される。受光器10に入射された干渉縞31は、アナロ
グ信号32に光電変換される。
【0020】ここで、移動鏡4は、ステージとレールで
構成される線形移動機構6のステージに固定されてい
る。したがって、ステージがレール上を移動すること
で、アナログ信号27aと27bと32は、干渉による
周期的に繰り返す光強度変化に対応したアナログ信号と
なる。これらアナログ信号27a・27bは、コンパレ
ート部11・12によりパルス信号28a・28bに変
換される。
構成される線形移動機構6のステージに固定されてい
る。したがって、ステージがレール上を移動すること
で、アナログ信号27aと27bと32は、干渉による
周期的に繰り返す光強度変化に対応したアナログ信号と
なる。これらアナログ信号27a・27bは、コンパレ
ート部11・12によりパルス信号28a・28bに変
換される。
【0021】パルス信号28aは分割部18に入力され
るとともに、インバータ14により位相が180゜反転
された29aとなり、分割部18に入力される。またパ
ルス信号28bはカウント部16と分割部18に入力さ
れるとともに、インバータ15により位相が180゜反
転された29bとなり、分割部18に入力される。さら
に、アナログ信号32はコンパレート部13によりパル
ス信号33に変換され、カウント部17に入力される。
るとともに、インバータ14により位相が180゜反転
された29aとなり、分割部18に入力される。またパ
ルス信号28bはカウント部16と分割部18に入力さ
れるとともに、インバータ15により位相が180゜反
転された29bとなり、分割部18に入力される。さら
に、アナログ信号32はコンパレート部13によりパル
ス信号33に変換され、カウント部17に入力される。
【0022】カウント部16は基準光のパルス信号28
bの波形数を計数し、計数結果を演算部19に出力す
る。カウント部17は被測定光のパルス信号33の波形
数を計数し、計数結果を演算部19に出力する。分割部
18はコンパレータ11・12とインバータ14・15
から出力されるパルス信号28a・28b・29a・2
9bの位相から、カウント部16・17が波形数を計数
する直前と計数終了直前の干渉縞を4分割して検出し、
演算部19に出力する。
bの波形数を計数し、計数結果を演算部19に出力す
る。カウント部17は被測定光のパルス信号33の波形
数を計数し、計数結果を演算部19に出力する。分割部
18はコンパレータ11・12とインバータ14・15
から出力されるパルス信号28a・28b・29a・2
9bの位相から、カウント部16・17が波形数を計数
する直前と計数終了直前の干渉縞を4分割して検出し、
演算部19に出力する。
【0023】演算部19はカウント部16・17からの
波形数と分割部18で得られた検出結果n5 ・n6 か
ら、下記の(c)、(d)式の演算を行って被測定光3
0の波長を求め、演算結果を表示部20へ出力するとと
もに、カウント部16・17が波形数を計数する直前と
計数終了直前に分割部18をリセットする。また、表示
部20は、演算部19からの演算結果を表示する。
波形数と分割部18で得られた検出結果n5 ・n6 か
ら、下記の(c)、(d)式の演算を行って被測定光3
0の波長を求め、演算結果を表示部20へ出力するとと
もに、カウント部16・17が波形数を計数する直前と
計数終了直前に分割部18をリセットする。また、表示
部20は、演算部19からの演算結果を表示する。
【0024】
L =λ1 k=(n2 ×4+n5 +n6 )×λ2 /4 …(c)
λ1 =(n2 ×4+n5 +n6 )×λ2 /4/k …(d)
ここで、Lは移動鏡の移動距離×2、λ1 は被測定光3
0の波長、kはパルス信号33の波形数、n2 はパルス
信号28b波形数、λ2 は基準光25の波長、n5 は分
割部18で得られた波形数を計数する直前の検出結果、
n6 は分割部18で得られた波形数を計数終了する直前
の検出結果である。
0の波長、kはパルス信号33の波形数、n2 はパルス
信号28b波形数、λ2 は基準光25の波長、n5 は分
割部18で得られた波形数を計数する直前の検出結果、
n6 は分割部18で得られた波形数を計数終了する直前
の検出結果である。
【0025】つぎに、分割部18の構成例の構成を図2
に示す。図2で、分割部18は4入力NORゲート3
8、ANDゲート39〜42、およびフリップフロップ
(以下、FFという。)34〜37を備える。
に示す。図2で、分割部18は4入力NORゲート3
8、ANDゲート39〜42、およびフリップフロップ
(以下、FFという。)34〜37を備える。
【0026】分割部18は、カウント部16・17が波
形数を計数する直前にFF34〜37が演算部19から
のリセット信号によってリセットされているものとする
と、FF34〜37にパルス信号28a・28b・29
a・29bの内のいずれかの立ち上がりが入力される
と、FF34〜37のうち入力に対応したFFの出力が
アクティブになり、その後、4入力NORゲート38と
ANDゲート39〜42によってこのアクティブ状態が
保持される。
形数を計数する直前にFF34〜37が演算部19から
のリセット信号によってリセットされているものとする
と、FF34〜37にパルス信号28a・28b・29
a・29bの内のいずれかの立ち上がりが入力される
と、FF34〜37のうち入力に対応したFFの出力が
アクティブになり、その後、4入力NORゲート38と
ANDゲート39〜42によってこのアクティブ状態が
保持される。
【0027】演算部19はカウント部16・17が波形
数を計数スタートした後に分割部18のFF34〜37
のQ出力を監視し、例えばFF34のQ出力がHIであ
れば、(c)式、(d)式内の検出結果n5 の値を1と
する。同様にしてFF35のQ出力がHIであればn5
の値を0とし、FF36のQ出力がHIであればn5の
値を3とし、FF37のQ出力がHIであればn5 の値
を2とする。分割部18はカウント部16・17が波形
数を計数終了する直前の場合にも同様な検出動作を行
う。また、演算部19は、計数終了する直前のn6 値を
検出結果とする。
数を計数スタートした後に分割部18のFF34〜37
のQ出力を監視し、例えばFF34のQ出力がHIであ
れば、(c)式、(d)式内の検出結果n5 の値を1と
する。同様にしてFF35のQ出力がHIであればn5
の値を0とし、FF36のQ出力がHIであればn5の
値を3とし、FF37のQ出力がHIであればn5 の値
を2とする。分割部18はカウント部16・17が波形
数を計数終了する直前の場合にも同様な検出動作を行
う。また、演算部19は、計数終了する直前のn6 値を
検出結果とする。
【0028】以上のように構成される実施例の光波長計
では、例えば移動鏡の移動距離が100mmである場合
に、従来例と比べて回路規模を1/3とでき、しかも高
確度な光波長計を構成できた。
では、例えば移動鏡の移動距離が100mmである場合
に、従来例と比べて回路規模を1/3とでき、しかも高
確度な光波長計を構成できた。
【0029】
【発明の効果】この発明によれば、基準光の干渉縞波形
の一周期を分割して波形数を計数する場合において、分
割部によって、波形数を計数し始める直前と計数終了直
前における第1のカウント部の計数値の端数を光路長変
化量λ/4を単位として検出し、これらに基づいて測定
光源の波長を計算する構成としたので、回路規模が小さ
く、しかも高確度な光波長計が構成できる。
の一周期を分割して波形数を計数する場合において、分
割部によって、波形数を計数し始める直前と計数終了直
前における第1のカウント部の計数値の端数を光路長変
化量λ/4を単位として検出し、これらに基づいて測定
光源の波長を計算する構成としたので、回路規模が小さ
く、しかも高確度な光波長計が構成できる。
【図1】この発明の光波長計の実施例の構成を示した説
明図である。
明図である。
【図2】図1における分割部の構成例を示した説明図で
ある。
ある。
【図3】光波長計の従来例を示した説明図である。
【図4】光波長計における各部の波形を示した波形図で
ある。
ある。
1 基準光源
2 ビームスプリッタ
3 固定鏡
4 移動鏡
5 λ/8位相差板
6 線形移動機構
7 偏光ビームスプリッタ
8〜10 受光器
11〜13 コンパレート部
14・15 インバータ
16・17・22〜24 カウント部
18 分割部
19 演算部
20 表示部
21 被測定光源
34〜37 フリップフロップ
38 4入力NORゲート
39〜42 ANDゲート
Claims (3)
- 【請求項1】 基準光源(1) からの基準光と被測定光を
分岐するビームスプリッタ(2) と、 前記ビームスプリッタ(2) により反射された基準光と被
測定光をビームスプリッタ(2) に再入力する固定鏡(3)
と、 前記ビームスプリッタ(2) を通過した基準光と被測定光
をビームスプリッタ(2) に再入力する移動鏡(4) と、 前記ビームスプリッタ(2) と前記固定鏡(3) の間に配置
され基準光の垂直偏波成分の位相をλ/8だけ遅らせる
λ/8位相差板(5) と、 前記移動鏡(4) を光軸方向に移動させる線形移動機構
(6) と、 前記ビームスピリッタ(2) において基準光が干渉する際
に生じる干渉縞を水平方向偏波とこの水平方向偏波とは
位相が90゜異なる垂直方向偏波とに分離する偏光ビー
ムスプリッタ(7) と、 前記干渉縞の水平方向偏波を光電変換する第1の受光器
(8) と、 前記干渉縞の垂直方向偏波を光電変換する第2の受光器
(9) と、 被測定光が干渉する際に生じる干渉縞を光電変換する第
3の受光器(10)と、 前記第1〜第3の受光器(8,9,10)からのアナログ信号を
それぞれパルス信号に変換する第1〜第3のコンパレー
ト部(11,12,13)と、 前記第1、第2のコンパレート部(11,12) から出力され
るパルス信号の位相を180゜反転する第1、第2のイ
ンバータ(14,15) と、 前記第2、第3のコンパレート部(12,13) から出力され
るパルス信号の波形数を計数する第1、第2のカウント
部(16,17) と、 前記第1、第2のコンパレート部(11,12) と前記第1、
第2のインバータ(14,15) から出力されるパルス信号か
ら、前記第1、第2のカウント部(16,17) が波形数を計
数し始める直前と計数終了直前における前記第1のカウ
ント部(16)の計数値の端数を光路長変化量λ/4を単位
として検出する分割部(18)と、 前記第1のカウント部(16)からの波形数、前記第2のカ
ウント部(17)からの波形数、並びに前記分割部(18)から
の検出信号から測定光源の波長を計算する演算部(19)と
を有してなることを特徴とする光波長計。 - 【請求項2】 前記演算部(19)により計算した被測定光
源の波長値を表示する表示部(20)を備えることを特徴と
する請求項1記載の光波長計。 - 【請求項3】 前記基準光源(1) が、波長が既知であり
任意の直線偏光を有する光を出力することを特徴とする
請求項1または2記載の光波長計。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26174594A JP3374550B2 (ja) | 1994-09-30 | 1994-09-30 | 光波長計 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26174594A JP3374550B2 (ja) | 1994-09-30 | 1994-09-30 | 光波長計 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08101073A JPH08101073A (ja) | 1996-04-16 |
JP3374550B2 true JP3374550B2 (ja) | 2003-02-04 |
Family
ID=17366125
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP26174594A Expired - Fee Related JP3374550B2 (ja) | 1994-09-30 | 1994-09-30 | 光波長計 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3374550B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4566401B2 (ja) * | 2000-12-28 | 2010-10-20 | アンリツ株式会社 | 光波長測定装置 |
JP4693097B2 (ja) * | 2005-03-31 | 2011-06-01 | 株式会社アドバンテスト | 波長導出装置および該装置を備えた波長計、波長導出方法、プログラムおよび記録媒体 |
JP5141189B2 (ja) * | 2007-10-31 | 2013-02-13 | 横河電機株式会社 | 干渉計及び波長測定装置 |
-
1994
- 1994-09-30 JP JP26174594A patent/JP3374550B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH08101073A (ja) | 1996-04-16 |
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